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特開 2023-35701出願番号 特願 2021-142743
製造プラント及び製造プラントにおける機器の設置方法
出願人 伸和コントロールズ株式会社（識別番号 594185097）
2026年 特許公開件数ランキング 3390位 5件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 2872位 4件（※）
公報発行日 2023年3月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-35701 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】所定処理が行われる処理室の状態をエネルギー消費量を抑制しつつ所望状態に高精度に制御し易くなる製造プラントの提供。
【解決手段】一実施の形態に係る製造プラントＰ１は、気体導入口５Ａで受け入れた気体を供給される処理室３を有する処理装置２を備えた処理システム１と、気体を気体供給口１１Ｂから供給する気体供給装置１００を備えた熱媒体供給システム１０と、気体導入口５Ａと気体供給口１１Ｂとを接続するダクト３０と、を備える。そして、気体供給口１１Ｂの中心と気体導入口５Ａの中心とを結んだ直線Ｌ１が鉛直方向となす角度が、０度以上４５度以下である。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、所定処理が行われる処理室の状態をエネルギー消費量を抑制しつつ所望状態に高精度に制御し易くなる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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