発明の名称 保護膜形成装置
出願人 芝浦メカトロニクス株式会社 (識別番号 2428)
特許公開件数ランキング 480 位(56件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 393 位(64件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2023-35904
公報発行日 2023年3月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-35904
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