特開2023-35994IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

ファンフィルタユニットを有するインターフェースモジュール、記憶媒体、安全確認方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】低コスト化に好適なインターフェースモジュール、記憶媒体、安全確認方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ファンとフィルタを有するファンフィルタユニットと、ドアを有し、該フィルタに隣接する空間を囲むハウジングと、該ファンに隣接する空間を囲む上部ハウジングと、該上部ハウジングに設けられた第1ポートと、該ファンフィルタユニットにおける該ファンと該フィルタの間の空間であるファンフィルタ間空間に通じる第2ポートと、該第1ポートと該第2ポートに接続され、該上部ハウジングの内部と、該ファンフィルタ間空間との差圧を検知する差圧計と、を備える。
【選択図】図1



発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

インターフェースモジュールのメンテナンスの際には、インターフェースモジュールの内部に人が立ち入る必要がある。N2ガスで満たされたインターフェースモジュールの中に人が立ち入ることは非常に危険である。インターフェースモジュールの中に人が立ち入る前に、インターフェースモジュールの内部のN2ガスをクリーンドライエア(CDA)に置換する。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本願の開示に係るインターフェースモジュールは、ファンとフィルタを有するファンフィルタユニットと、ドアを有し、該フィルタに隣接する空間を囲むハウジングと、該ファンに隣接する空間を囲む上部ハウジングと、該上部ハウジングに設けられた第1ポートと、該ファンフィルタユニットにおける該ファンと該フィルタの間の空間であるファンフィルタ間空間に通じる第2ポートと、該第1ポートと該第2ポートに接続され、該上部・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

低コスト化に好適なインターフェースモジュール、記憶媒体、安全確認方法を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 インターフェースモジュールの構成図である。
【図2】 インターフェースモジュールの中のガスの流れの例を示す図である。
【図3】 差圧計の接続位置の例を示す図である。
【図4】 FFUなどの構成例を示す図である。
【図5】 インターフェースモジュールを含む半導体製造装置の構成例を示す図である。
【図6】 安全確認方法のフローチャートである。
【図7】 セーフティPLCの機能ブロック図である。
【図8】 セーフティPLCが処理回路である例を示す図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

10 ハウジング、 20 フィルタ、 22 FFUハウジング、 22s ファンフィルタ間空間、 24 ファン、 25 FFU、 26 上部ハウジング、

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