特開2023-36038ウェーハ上の半導体部品のポジションを復元するための方法及び装置

発明の名称　ウェーハ上の半導体部品のポジションを復元するための方法及び装置

出願人　ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング　（識別番号 390023711）

　　　　特許公開件数ランキング 211 位（146件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 303 位（83件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-36038

公報発行日　2023年3月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-36038

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2023-36038「ウェーハ上の半導体部品のポジションを復元するための方法及び装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録