特開 2023-36357 オゾン発生器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023036357

(43)【公開日】2023-03-14

(54)【発明の名称】オゾン発生器

(51)【国際特許分類】

   C01B 13/11 20060101AFI20230307BHJP

【ＦＩ】

C01B13/11 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021143362

(22)【出願日】2021-09-02

(71)【出願人】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(71)【出願人】

【識別番号】598076591

【氏名又は名称】東芝インフラシステムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】橋本 美智子

(72)【発明者】

【氏名】高橋 良一

(72)【発明者】

【氏名】村田 隆昭

(72)【発明者】

【氏名】久保 貴恵

【テーマコード（参考）】

4G042

【Ｆターム（参考）】

4G042CA01

4G042CC03

4G042CC09

(57)【要約】

【課題】オゾン発生器に振動が伝わっても容器に収容された構成要素の位置ずれの発生を抑制する。
【解決手段】実施形態のオゾン発生器は、容器と、複数の放電管と、給電部材と、ヒューズと、連結体と、連結体支持部と、を備える。複数の放電管は、容器に収容されている。給電部材は、放電管の内側に配置されている。ヒューズは、給電部材と結合されるとともに電気的に接続され、少なくとも一部分が放電管の内側に配置されている。連結体は、各ヒューズが電気的に接続されるように各ヒューズを連結している。連結体は、導電性である。連結体支持部は、容器及び容器の外側と、連結体とを電気的に絶縁する。連結体支持部は、容器に対する連結体の移動を制限する。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

容器と、
前記容器に収容された複数の放電管と、
前記放電管の内側に配置された給電部材と、
前記給電部材と結合されるとともに電気的に接続され、少なくとも一部分が前記放電管の内側に配置されたヒューズと、
各前記ヒューズが電気的に接続されるように各前記ヒューズを連結した導電性の連結体と、
前記容器及び前記容器の外側と、前記連結体とを電気的に絶縁し、前記容器に対する前記連結体の移動を制限する連結体支持部と、
を備えたオゾン発生器。

【請求項2】

前記給電部材は、
前記放電管と接した接触部材と、
弾性力によって前記接触部材を前記放電管に押し付けることにより、前記接触部材と前記放電管との間に摩擦力を発生させて前記接触部材に対する前記放電管の移動を制限する弾性部材と、
を有した、
請求項１に記載のオゾン発生器。

【請求項3】

前記連結体は、
複数の前記ヒューズを支持するとともに各前記ヒューズと電気的に接続された複数のヒューズ支持部と、
複数の前記ヒューズ支持部と結合された枠部と、
を有し、
前記連結体支持部は、前記容器と前記枠部との間に介在した、
請求項１または２に記載のオゾン発生器。

【請求項4】

前記連結体を挟んだ一対の前記連結体支持部を備えた、
請求項１～３のうちいずれか一つに記載のオゾン発生器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

実施形態は、オゾン発生器に関する。

【背景技術】

【0002】

オゾンを発生させるオゾン発生器が知られている。例えば、オゾン発生器は、容器と、容器に収容された筒状の第１の電極と、容器に収容され、第１の電極との間に放電ギャップを空けて第１の電極の内側に配置され、内周に第２の電極を有した放電管と、を備える。オゾン発生器は、第１の電極と第２の電極との間に電圧を印加して、放電ギャップに無声放電を発生させる。これにより、オゾン発生器は、放電ギャップ間に供給された酸素等を含む原料ガスからオゾンを発生させる。このようなオゾン発生器には、容器に収容され、電源からの電圧を第２の電極に印加する給電部材と、容器に収容され、給電部材と電源との間に設けられたヒューズと、を有するものがある。この種のオゾン発生器では、例えば、オゾン発生器に振動が伝わっても容器に収容された構成要素の位置ずれの発生を抑制することができれば有益である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１８／２２０７３５号

【特許文献2】特開昭５７－２０５３０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、振動が伝わっても容器に収容された構成要素の位置ずれの発生を抑制することができるオゾン発生器を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

実施形態のオゾン発生器は、容器と、複数の放電管と、給電部材と、ヒューズと、連結体と、連結体支持部と、を備える。複数の放電管は、容器に収容されている。給電部材は、放電管の内側に配置されている。ヒューズは、給電部材と結合されるとともに電気的に接続され、少なくとも一部分が放電管の内側に配置されている。連結体は、各ヒューズが電気的に接続されるように各ヒューズを連結している。連結体は、導電性である。連結体支持部は、容器及び容器の外側と、連結体とを電気的に絶縁する。連結体支持部は、容器に対する連結体の移動を制限する。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１は、第１の実施形態のオゾン発生器の全体構成を示す断面図である。

【図2】図２は、第１の実施形態の誘電体電極の近傍の拡大断面図である。

【図3】図３は、第１の実施形態の給電部材の側面図である。

【図4】図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った給電部材の断面図である。

【図5】図５は、第１の実施形態の給電部材の弾性部材の全体斜視図である。

【図6】図６は、第１の実施形態の弾性部材の側面図である。

【図7】図７は、第１の実施形態の給電部材の接触部材の側面図である。

【図8】図８は、図７のＶＩＩＩ部の拡大図である。

【図9】図９は、第１の実施形態のオゾン発生器の一部の正面図である。

【図10】図１０は、第２の実施形態の給電部材の断面図である。

【図11】図１１は、第３の実施形態の給電部材の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下の複数の実施形態には、同様の構成要素が含まれている。それら同様の構成要素には共通の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される。また、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合がある。また、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。

【0008】

＜第１の実施形態＞
図１は、第１の実施形態のオゾン発生器１０の全体構成を示す断面図である。図２は、第１の実施形態の放電管２４の近傍の拡大断面図である。図１に矢印で示すＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸で示されるそれぞれの方向を、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする。Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向は、互いに直交する。Ｘ方向及びＹ方向は水平方向に沿う。Ｚ方向は、鉛直方向（上下方向）の上方と一致する。

【0009】

図１及び図２に示すように、オゾン発生器１０は、装置本体１２と、電源１４と、冷却水供給部１６と、を備える。

【0010】

装置本体１２は、容器２０と、一対の端板２１ａ，２１ｂと、複数の金属電極２２（第１の電極の一例）と、内周に導電膜３６（第２の電極の一例）を有した複数の放電管２４と、複数の給電部材３８と、複数のヒューズ４０と、複数のスペーサ４２と、連結体７１と、第１の絶縁体７４と、複数の連結体支持部７５Ａ～７５Ｅ（図９）と、を備える。放電管２４、給電部材３８、ヒューズ４０、及びスペーサ４２は、金属電極２２ごとに設けられている。なお、以後、複数の連結体支持部７５Ａ～７５Ｅの総称として、連結体支持部７５を用いる。

【0011】

容器２０は、Ｙ方向に沿った中心軸を有する中空の筒状（管状）に形成されている。すなわち、容器２０の中心軸の軸方向は、Ｙ方向に沿う。容器２０は、筒部２０ａと、第１の扉２０ｂと、第２の扉２０ｃと、を有する。筒部２０ａは、Ｙ方向に沿った中心軸を有する円筒状である。第１の扉２０ｂは、筒部２０ａのＹ方向側の端部の開口を開閉可能にとりつけられている。第２の扉２０ｃは、筒部２０ａのＹ方向の反対方向側の端部を開閉可能にとりつけられている。

【0012】

容器２０は、一対の端板２１ａ，２１ｂ、複数の金属電極２２、複数の放電管２４、複数の給電部材３８、複数のヒューズ４０、複数のスペーサ４２、連結体７１、及び複数の連結体支持部７５を収容している。容器２０は、一対の端板２１ａ，２１ｂ、複数の金属電極２２、複数の放電管２４、複数の給電部材３８、複数のヒューズ４０、複数のスペーサ４２、連結体７１、及び複数の連結体支持部７５を支持している。一対の端板２１ａ，２１ｂ、複数の金属電極２２、複数の放電管２４、複数の給電部材３８、複数のヒューズ４０、複数のスペーサ４２、連結体７１、及び複数の連結体支持部７５は、容器２０に収容される構成要素である。

【0013】

容器２０の外周部には、ガス入口２７、ガス出口２８、冷却水入口３０、及び冷却水出口３２が設けられている。ガス入口２７は、外部から供給される酸素を含む原料ガスを容器２０内に導入する。ガス出口２８は、未反応の原料ガス及びオゾン（Ｏ_３）を外部へ排出する。冷却水入口３０は、容器２０の下部に設けられている。冷却水入口３０は、外部から供給された冷却水供給部１６を金属電極２２の外周部へ導入する。冷却水出口３２は、容器２０の上部に設けられている。冷却水出口３２は、金属電極２２の外周部を流れた冷却水を外部へ排出する。

【0014】

一対の端板２１ａ，２１ｂは、ステンレス等の導電性の材料を含む。端板２１ａ，２１ｂは、円板状に形成されている。端板２１ａ，２１ｂの外周部は、容器２０に固定されている。端板２１ａ，２１ｂは、Ｙ方向に間隔を空けて配置されている。端板２１ｂは、端板２１ａのＹ方向の反対方向側で端板２１ａと対向して、かつ、端板２１ａと平行になるように配置されている。端板２１ａ，２１ｂは、容器２０を介して、接地電位と接続されている。端板２１ａ，２１ｂには、複数の円形状の穴２６ａ、２６ｂが形成されている。穴２６ａ、２６ｂは、金属電極２２の端部とほぼ同じ形状である。複数の穴２６ａ、２６ｂは、ほぼ等間隔で配置されている。

【0015】

金属電極２２は、端板２１ａ，２１ｂと同じ材料であって、ステンレス等の導電性の材料を含み、導電性を有する。複数の金属電極２２は、容器２０内に設けられている。複数の金属電極２２は、それぞれの長手方向（即ち、中心軸の軸方向）がＹ方向に沿った平行な状態で、かつ、Ｘ方向及びＺ方向にほぼ均等な間隔で配列されている。金属電極２２は、容器２０の中心軸と平行なＹ方向に沿った中心軸を有する筒状（管状）に形成されている。金属電極２２の一端部は、一方の端板２１ａの円形状の穴２６ａと連結されている。金属電極２２の他端部は、他方の端板２１ｂの円形状の穴２６ｂと連結されている。金属電極２２の端部は、例えば、端板２１ａ，２１ｂと溶接によって連結されている。これにより、金属電極２２の両端部は、塞がれることなく一対の端板２１ａ，２１ｂに保持され、端板２１ａ，２１ｂと電気的に接続される。金属電極２２は、端板２１ａ，２１ｂを介して、接地電位と接続されている。複数の金属電極２２のうち、最も外周に設けられた金属電極２２は、容器２０の内周面２０ｄとの間に冷却水の水路４６を形成する。水路４６は、容器２０の冷却水入口３０及び冷却水出口３２と繋がっている。水路４６は、最も外周に設けられた金属電極２２以外の中央部の金属電極２２の外周部にも形成されている。

【0016】

複数の放電管２４は、容器２０に収容されている。各放電管２４は、容器２０内であって、いずれかの金属電極２２の内側（中空側）に金属電極２２と同軸になるように配置されている。各放電管２４は、Ｙ方向に伸びている。すなわち、放電管２４の中心軸の軸方向は、Ｙ方向に沿う。Ｙ方向は、第１の方向の一例である。放電管２４は、誘電体部３４と、導電膜３６と、を有する。

【0017】

誘電体部３４は、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、高ケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラス、セラミックス等の誘電体材料を含み、電気的に絶縁性である。誘電体部３４は、Ｙ方向に延びる筒状（管状）に形成されている。誘電体部３４の端板２１ａ側の端部すなわちＹ方向側の端部は、開口している。誘電体部３４の端板２１ｂ側の端部すなわちＹ方向の反対方向側の端部は、閉口している。誘電体部３４は、いずれかの金属電極２２の内部に設けられている。誘電体部３４は、金属電極２２との間に原料ガスが供給される放電ギャップ４４を空けて配置されている。誘電体部３４の中心軸が容器２０及び金属電極２２の中心軸とほぼ平行になるように、かつ、誘電体部３４の外周面が金属電極２２の内周面２０ｄと対向するように設けられている。誘電体部３４の開口側の端部は、端板２１ａよりも外側に突出している。誘電体部３４は、いずれかの金属電極２２の内部に設けられているが、金属電極２２に完全に収容されている必要はなく、少なくとも一部が金属電極２２の内側に配置されていればよい。

【0018】

導電膜３６は、ステンレス、ニッケル、カーボンあるいはアルミニウム等の導電性の材料を含み、導電性を有する。導電膜３６は、放電管２４の内周に設けられている。具体的には、導電膜３６は、導電性の材料をスパッタリング、溶射、蒸着、無電解メッキ、電解メッキ、塗料塗布等により誘電体部３４の内面に設けられている。したがって、導電膜３６は、誘電体部３４の内面とほぼ同形の管状に形成される。

【0019】

給電部材３８は、ステンレス等の導電性の材料を含み、導電性及び耐オゾン性を有する。給電部材３８は、放電管２４の内側に配置されている。給電部材３８は、誘電体部３４の開口部の近傍の内側（中空側）に配置されていてもよい。給電部材３８は、導電膜３６及びヒューズ４０と電気的に接続されている。これにより、給電部材３８は、ヒューズ４０を介して印加される電源１４の交流電圧を導電膜３６に印加する。

【0020】

ヒューズ４０は、中心軸が誘電体部３４の中心軸とほぼ一致するように配置されている。ヒューズ４０のＹ方向側の端部である一端部は、連結体７１と結合（固定）され連結体７１と電気的に接続されている。ヒューズ４０の一端部は、連結体７１、接続部７２、及びリード線７３を介して、電源１４と電気的に接続されている。ヒューズ４０のＹ方向の反対方向側の端部である他端部は、給電部材３８と結合（固定）され給電部材３８と電気的に接続されている。ヒューズ４０は、少なくとも一部分が放電管２４の内側（中空側）に配置されている。ヒューズ４０は、例えば、誘電体部３４が絶縁破壊によって破損した場合に、導電膜３６に対して流れる過電流を遮断し、破損した放電管２４を他の放電管２４から切り離すことによって、オゾン発生器１０の運転を継続する。

【0021】

連結体７１は、ヒューズ４０が電気的に接続されるように各ヒューズ４０を連結している。連結体７１と接続部７２とは、電気的に接続され、接続部７２とリード線７３とは、電気的に接続されている。リード線７３は、電源１４と電気的に接続されている。上記から分かるように、接続部７２は、連結体７１と電源１４とをリード線７３を介して電気的に接続している。なお、接続部７２が電源１４と直接接続されていてもよい。接続部７２は、例えば、導電性の板部材等によって構成されている。接続部７２とリード線７３とは、第１の絶縁体７４に支持されている。第１の絶縁体７４は、容器２０の上部に固定されている。第１の絶縁体７４は、碍子によって構成されている。連結体７１の詳細は、後述する。

【0022】

スペーサ４２は、金属電極２２と放電管２４との間に介在している。スペーサ４２は、金属電極２２と放電管２４との間の放電ギャップ４４を所定間隔に維持する。スペーサ４２は、放電管２４を支持している。なお、スペーサ４２は、金属電極２２と一体化された突起であってもよい。

【0023】

電源１４は、リード線７３、連結体７１、及びヒューズ４０を介して、給電部材３８と電気的に接続されている。電源１４は、リード線７３、連結体７１、ヒューズ４０、及び給電部材３８を介して、高周波かつ高電圧の交流電圧を導電膜３６に印加する。

【0024】

冷却水供給部１６は、例えば、チラーユニットである。冷却水供給部１６は、容器２０の冷却水入口３０と接続され、冷却水入口３０から容器２０の内部の水路４６へ冷却水を供給する。

【0025】

次に、給電部材３８について説明する。図３は、第１の実施形態の給電部材３８の側面図である。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った給電部材３８の断面図である。図５は、給電部材３８の弾性部材５０の全体斜視図である。図６は、弾性部材５０の側面図である。図７は、給電部材３８の接触部材５２の側面図である。図８は、図７のＶＩＩＩ部の拡大図である。図３では、接触部材５２の一部を省略している。

【0026】

図３及び図４に示すように、給電部材３８は、弾性部材５０と、接触部材５２と、を有する。

【0027】

図３から図６に示すように、弾性部材５０は、筒状（管状）に形成されている。弾性部材５０は、誘電体部３４と同軸になるように、誘電体部３４の内側に配置されている。弾性部材５０は、ステンレス等の導電性の材料を含み、導電性及び耐オゾン性を有する。例えば、弾性部材５０は、ステンレス鋼（一例として、ＳＵＳ３０４ＣＳＰ）によって構成される。ステンレス鋼は、例えば、耐力が８８０［Ｎ／ｍｍ^２］以上のものである。なお、弾性部材５０の材料及び材料の耐力は、上記に限定されない。弾性部材５０のＹ方向の端部である一端部は、ヒューズ４０の他端部と固定され、ヒューズ４０の他端部と電気的に接続されている。弾性部材５０の中央部には、弾性変形可能な弾性部５４が形成されている。弾性部５４は、中央部が両端部に比べて大径の筒状に形成されている。弾性部５４は、誘電体部３４の径方向に弾性変形可能に構成されている。弾性部５４には、弾性部材５０の軸方向に長い複数の開口部５４ａが形成されている。弾性部材５０の軸方向は、弾性部材５０の中心軸の軸方向である。これにより、弾性部５４は、より容易に弾性変形して、外周部に設けられた接触部材５２を導電膜３６へと押圧する。

【0028】

図３、図４、図７、及び図８に示すように、接触部材５２は、長手方向の両端部が開口した筒状に形成されている。接触部材５２は、弾性部材５０の外周面に設けられ、弾性部材５０の外周面のほぼ全面を覆う。接触部材５２は、ステンレス等の導電性の材料を含み、導電性及び耐オゾン性を有する。接触部材５２は、複数の金属線材５６を有する。複数の金属線材５６は、ほぼ等間隔で配置された複数の経糸と複数の緯糸とを含み、メリヤス編み等によって編み込まれている。これにより、接触部材５２は、弾性部材５０の周方向及び長手方向に複数の金属線材５６がほぼ均等に配置され、複数の開口がほぼ等間隔で二方向に配列された網目状となる。各金属線材５６は、複数（例えば、２本）の金属細線５８を有する。複数の金属細線５８は、撚られている。金属細線５８の線径は、８０μｍ以上である。接触部材５２は、弾性部材５０の弾性力によって径方向の外側に押圧されることによって、導電膜３６と接触して電気的に接続される。これにより、接触部材５２は、導電膜３６と弾性部材５０とを電気的に接続する。

【0029】

また、弾性部材５０は、弾性力によって接触部材５２を導電膜３６に押し付けることにより、接触部材５２と導電膜３６との間に放電管２４の軸方向の摩擦力を発生させて導電膜３６と接触部材５２とのＹ方向の相対移動を制限する。上記摩擦力は、例えば、１０［Ｎ］～２０［Ｎ］である。上記摩擦力によって、放電管２４の加速度を所定値にする軸方向の力が放電管２４に作用しても、接触部材５２と導電膜３６とが放電管２４の軸方向に相対移動せず、ひいては放電管２４と給電部材３８及びヒューズ４０とが軸方向に相対移動しない。

【0030】

次に、連結体７１及び連結体支持部７５について説明する。図９は、第１の実施形態のオゾン発生器１０の一部の正面図である。

【0031】

図１及び図９に示すように、連結体７１は、容器２０内において放電管２４の内側（中空側）ではなく、放電管２４の外側に配置されている。詳細には、連結体７１は、放電管２４のＹ方向側に配置されている。連結体７１は、各ヒューズ４０を連結するとともに各ヒューズ４０と電気的に接続されている。連結体７１は、導電性を有する。

【0032】

図９に示すように、連結体７１は、複数のヒューズ支持部７１ａと、枠部７１ｂと、補強部７１ｃと、を有する。複数のヒューズ支持部７１ａ、枠部７１ｂ、及び複数の補強部７１ｃは、ステンレス等の導電性材料によって構成されている。なお、図９では、複数のヒューズ支持部７１ａ、枠部７１ｂ、及び補強部７１ｃは、模式的に示されている。また、図９では、複数の放電管２４及び複数のヒューズ４０は、一部だけが示されている。

【0033】

複数のヒューズ支持部７１ａは、それぞれ、Ｙ方向に延びた帯板状に形成されている。複数のヒューズ支持部７１ａは、Ｚ方向に間隔を空けて並べられている。ヒューズ支持部７１ａは、一つの部材（例えば板部材）によって構成されていてもよいし、複数の板部材（例えば板部材）によって構成されていてもよい。各ヒューズ支持部７１ａには、複数のヒューズ４０の一端部がネジ等の結合具（不図示）によって固定されており、ヒューズ支持部７１ａは、複数のヒューズ４０を支持している。ヒューズ支持部７１ａは、ヒューズ４０と電気的に接続されている。なお、ヒューズ支持部７１ａの形状は、帯板状以外であってもよい。

【0034】

枠部７１ｂは、例えば、多角形状に形成されている。枠部７１ｂは、一つの部材（例えば板部材）によって構成されていてもいし、複数の板部材（例えば板部材）によって構成されていてもよい。枠部７１ｂには、各ヒューズ支持部７１ａの両端部がネジ等の結合具（不図示）によって固定されており、枠部７１ｂは、複数のヒューズ４０を支持している。なお、枠部７１ｂの形状は、円環状であってもよい。

【0035】

複数の補強部７１ｃは、それぞれ、Ｚ方向に伸びた帯板状に形成されている。複数の補強部７１ｃは、Ｘ方向に間隔を空けて並べられている。補強部７１ｃは、一つの部材（例えば板部材）によって構成されていてもいし、複数の板部材（例えば板部材）によって構成されていてもよい。各補強部７１ｃの両端部は、枠部７１ｂにネジ等の結合具（不図示）によって固定されている。なお、補強部７１ｃの形状は、帯板状以外であってもよい。

【0036】

複数のヒューズ支持部７１ａ、枠部７１ｂ、及び補強部７１ｃは、互いに電気的に接続されている。

【0037】

連結体７１は、複数の連結体支持部７５を介して容器２０に固定されている。

【0038】

複数の連結体支持部７５は、接続部７２と離間して容器２０と連結体７１との間に介在し、容器２０に対する連結体７１の移動を制限する。複数の連結体支持部７５は、Ｙ方向、Ｙ方向の反対方向、及びＹ方向と交差する方向の連結体７１の移動を制限する。複数の連結体支持部７５は、容器２０の筒部２０ａの内周面２０ｄに筒部２０ａの周方向に間隔を空けて並べられている。複数の連結体支持部７５は、容器２０及び容器２０の外側（外部）と、連結体７１とを電気的に絶縁する。複数の連結体支持部７５は、碍子によって構成されてもよい。本実施形態では、連結体支持部７５に用いる絶縁体を第２の絶縁体という。連結体支持部７５は、容器２０及び容器２０の外側（外部）と、連結体７１とを電気的に絶縁可能な構成であればよく、連結体支持部７５の全体が第２の絶縁体であってもよいし、一部が第２の絶縁体であってもよい。第１の絶縁体７４と連結体支持部７５（第２の絶縁体）との違いの一つは、容器２０の外側（外部）と連結体７１とを電気的に絶縁するか否かである。第１の絶縁体７４は、容器２０と連結体７１とを電気的に絶縁するが、容器２０の外側にある電源１４と連結体７１とを電気的に絶縁しない。それに対し、連結体支持部７５（第２の絶縁体）は、容器２０と連結体７１とを電気的に絶縁し、容器２０の外側と連結体７１とを電気的に絶縁する。

【0039】

各連結体支持部７５は、接続部７２と離間して容器２０と連結体７１との間に介在している。具体的には、連結体支持部７５の一端部は、固定部材（不図示）によって容器２０の内周面２０ｄに固定されている。連結体支持部７５の他端部には、連結体７１の枠部７１ｂが固定部材（不図示）によって固定されている。すなわち、各連結体支持部７５は、連結体７１を容器２０に固定している。

【0040】

また、一対の連結体支持部７５Ａ，７５Ｄは、Ｙ方向と直交する方向に連結体７１を挟んでいる。また一対の連結体支持部７５Ｂ，７５Ｅは、Ｙ方向と直交する方向に連結体７１を挟んでいる。

【0041】

また、図１に示すように。連結体支持部７５Ｃと第１の絶縁体７４とは、Ｙ方向と直交する方向に連結体７１を挟んでいる。

【0042】

次に、オゾン発生器１０の動作について説明する。図１に示すオゾン発生器１０では、冷却水入口３０から供給された冷却水が金属電極２２の外側の水路４６を流れつつ、金属電極２２を冷却している状態で、ガス入口２７から原料ガスが供給される。この状態で、電源１４が、ヒューズ４０、給電部材３８の弾性部材５０及び接触部材５２を介して、導電膜３６と金属電極２２との間に交流電圧を供給する。これにより、金属電極２２と放電管２４との間の放電ギャップ４４に高電圧が印加され、放電ギャップ４４に生じた無声放電によって原料ガス中の酸素からオゾンが生成される。生成されたオゾンは、ガス出口２８から排出される。

【0043】

以上のように、第１の実施形態では、オゾン発生器１０は、容器２０と、複数の放電管２４と、給電部材３８と、ヒューズ４０と、連結体７１と、連結体支持部７５と、を備える。複数の放電管２４は、容器２０に収容されている。給電部材３８は、放電管２４の内側に配置されている。ヒューズ４０は、給電部材３８と結合されるとともに電気的に接続され、少なくとも一部分が放電管２４の内側に配置されている。連結体７１は、各ヒューズ４０が電気的に接続されるように各ヒューズ４０を連結している。連結体７１は、導電性である。連結体支持部７５は、容器２０及び容器２０の外側と、連結体７１とを電気的に絶縁する。連結体支持部７５は、容器２０に対する連結体７１の移動を制限する。

【0044】

このような構成によれば、連結体支持部７５が、容器２０に対する連結体７１の移動を制限するので、容器２０に対する給電部材３８及びヒューズ４０の移動が連結体７１を介して連結体支持部７５によって制限される。よって、オゾン発生器１０の輸送中や設置後に、オゾン発生器１０に外部から振動が伝わっても、給電部材３８及びヒューズ４０の位置ずれの発生が抑制される。また、上記構成では、容器２０に対する給電部材３８及びヒューズ４０の移動が連結体７１を介して連結体支持部７５によって制限されるので、給電部材３８及びヒューズ４０の振動が抑制される。

【0045】

また、給電部材３８は、接触部材５２と、弾性部材５０と、を有する。接触部材５２は、放電管２４の導電膜３６と接している。弾性部材５０は、弾性力によって接触部材５２を放電管２４の導電膜３６に押し付けることにより、接触部材５２と放電管２４の導電膜３６との間に摩擦力を発生させて接触部材５２に対する放電管２４の移動を制限する。

【0046】

このような構成によれば、弾性部材５０が、放電管２４と接触部材５２との軸方向の相対移動を制限するので、給電部材３８及びヒューズ４０と放電管２４との軸方向の相対移動が制限される。よって、オゾン発生器１０の輸送中や設置後に、オゾン発生器１０に外部から振動が伝わっても、放電管２４の軸方向の位置ずれの発生が抑制され、放電管２４が金属電極２２から飛び出すのが抑制される。また、上記構成では、弾性部材５０が、放電管２４と接触部材５２との軸方向の相対移動を制限するので、放電管２４の振動が抑制される。

【0047】

また、連結体７１は、複数のヒューズ４０を支持するとともに各ヒューズ４０と電気的に接続された複数のヒューズ支持部７１ａと、複数のヒューズ支持部７１ａと結合された枠部７１ｂと、を有する。連結体支持部７５は、容器２０と枠部７１ｂとの間に介在している。

【0048】

このような構成によれば、複数のヒューズ支持部７１ａが枠部７１ｂによって結合されているので、枠部７１ｂが設けられていない構成に比べて、連結体７１の剛性を大きくすることができる。

【0049】

また、オゾン発生器１０は、連結体７１を挟んだ一対の連結体支持部７５（連結体支持部７５Ａ、７５Ｄ、連結体支持部７５Ｂ、７５Ｅ）を備える。

【0050】

このような構成によれば、連結体７１の移動がより一層抑制されやすい。

【0051】

また、弾性部材５０は、耐力が８８０［Ｎ／ｍｍ^２］以上の材料によって構成されている。

【0052】

このような構成によれば、弾性部材５０の弾性変形量（ストローク量）を比較的大きくしやすい。よって、内径が比較的小さい放電管２４であっても、内径が比較的大きい放電管２４であっても、弾性部材５０が弾性変形することができる。すなわち、一つの弾性部材５０が、内径が異なる複数種類の放電管２４に対応することができる。よって、弾性部材５０の種類を少なくすることができる。

【0053】

＜第２の実施形態＞
図１０は、第２の実施形態の給電部材３８Ａの断面図である。図１０に示すように、給電部材３８Ａは、弾性部材５０と、接触部材５２Ａとを有する。接触部材５２Ａは、一方（例えば、ヒューズ４０側）が開口し、他方が閉口した管状に構成されている。接触部材５２Ａは、接触部６０と、閉口部６２とを有する。

【0054】

接触部６０は、第１の実施形態の接触部材５２とほぼ同様の構成を有する。したがって、接触部６０は、両端が開口した管状に形成されている。接触部６０は、弾性部材５０の外周部に設けられる。接触部６０は、弾性部材５０に押圧されて導電膜３６と電気的に接続される。

【0055】

閉口部６２は、管状の接触部材５２の他方（即ち、誘電体部３４の閉口端側）の開口に連結されている。閉口部６２は、接触部材５２の他方の開口を覆って閉じる。閉口部６２は、接触部材５２及び接触部６０と同様に、複数の金属細線５８が撚られた金属線材５６が編み込まれた網目状に構成されている。

【0056】

＜第３の実施形態＞
図１１は、第３の実施形態の給電部材３８Ｂの断面図である。図１１に示すように、第３の実施形態の給電部材３８Ｂは、弾性部材５０と、複数の接触部材５２Ｂとを備える。

【0057】

接触部材５２Ｂは、第１の実施形態の接触部材５２と同様の構成を有する。複数の接触部材５２Ｂは、弾性部材５０の外周部に積層されている。

【0058】

上述の実施形態の構成の形状、個数、配置、及び、数値等は適宜変更してよい。各実施形態は、適宜組み合わされてもよい。

【0059】

例えば、上述の実施形態では、２本の金属細線５８を有する金属線材５６を例に挙げたが、金属細線５８の本数は適宜変更してよい。例えば、金属線材５６は、１本または３本以上の金属細線５８を有してもよい。

【0060】

上述の実施形態では、金属細線５８の線径を８０μｍ以上としたが、線径は８０μｍ以上に限定されない。例えば、金属細線５８は、７０μｍ以上であってもよく、１２０μｍ以下であってもよい。

【0061】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0062】

１０：オゾン発生器、２０：容器、２４：放電管、３８，３８Ａ，３８Ｂ：給電部材、５０：弾性部材、５２，５２Ａ，５２Ｂ：接触部材、７１：連結体、７５，７５Ａ～７５Ｅ：連結体支持部、７１ａ：ヒューズ支持部、７１ｂ：枠部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】