特開 2023-37788 静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023037788

(43)【公開日】2023-03-16

(54)【発明の名称】静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H02N 13/00 20060101AFI20230309BHJP

【ＦＩ】

H02N13/00 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021144567

(22)【出願日】2021-09-06

(71)【出願人】

【識別番号】599016431

【氏名又は名称】学校法人 芝浦工業大学

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100105946

【弁理士】

【氏名又は名称】磯野 富彦

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 忠大

(72)【発明者】

【氏名】中島 丈裕

(57)【要約】

【課題】対象物に対する吸着力をさらに高め、対象物をより確実に保持することが可能な静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法を提供すること。
【解決手段】静電吸着部材１０は、誘電体により形成され、対象物１００の表面１００ｆに対向する第１側１１ａに対象物１００の表面に倣って変形可能な接触面１１ｆを有する接触部材１１と、接触部材１１において第１側１１ａとは反対側の第２側１１ｂに設けられ、接触部材１１に電圧を印加可能な電極部２０と、を備え、電極部２０は、絶縁層２５を挟んで積層された複数層の電極２１Ａ、２１Ｂを備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

誘電体により形成され、対象物の表面に対向する第１側に前記対象物の表面に倣って変形可能な接触面を有する接触部材と、
前記接触部材において前記第１側とは反対側の第２側に設けられ、前記接触部材に電圧を印加可能な電極部と、を備え、
前記電極部は、絶縁層を挟んで積層された複数層の電極を備える、静電吸着部材。

【請求項2】

前記電極部は、前記接触部材に接触して設けられ、前記接触部材とともに変形可能である、請求項１に記載の静電吸着部材。

【請求項3】

前記複数層の電極は、各層において、それぞれ第１電極と、前記第１電極に対して絶縁部材を介して配置された第２電極と、を備え、
前記電極部の積層方向から見て、複数の前記第１電極どうし、及び前記第２電極どうしがそれぞれ重なる、請求項１又は請求項２に記載の静電吸着部材。

【請求項4】

各層における前記第１電極、及び各層における前記第２電極は、同一又はほぼ同一形状である、請求項３に記載の静電吸着部材。

【請求項5】

前記積層方向から見て、複数の前記第１電極、及び複数の前記第２電極の外周縁がそれぞれ合致する、請求項４に記載の静電吸着部材。

【請求項6】

前記接触面は、前記第１側に突出する複数の凸部と、前記第２側に窪む複数の凹部の少なくとも一方を備える、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の静電吸着部材。

【請求項7】

請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の静電吸着部材を備える、静電吸着装置。

【請求項8】

前記接触部材を支持する支持部材と、
前記接触部材が前記支持部材によって支持される被支持部分にて前記電極に一端が接続される配線と、を備える、請求項７に記載の静電吸着装置。

【請求項9】

前記複数層の電極に電圧を印加する電圧印加部を備える、請求項７又は請求項８に記載の静電吸着装置。

【請求項10】

対象物の表面に対向する第１側に前記対象物の表面に倣って変形可能な接触面を有する接触部材を誘電体により形成することと、
前記接触部材において前記第１側とは反対側の第２側に、前記接触部材に電圧を印加可能な電極部として、絶縁層を挟んで積層された複数層の電極を設けることと、を含む、静電吸着部材の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、対象物の表面に倣って変形可能な誘電体からなる接触部材と、接触部材に電圧を印加可能な一対の電極と、を備えた構成が開示されている。この構成において、接触部材の接触面は、凹部と凸部とが連続する凹凸部を有する。このような構成より、対象物に対する吸着力を高め、対象物を確実に保持することを可能としている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－６１６８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

重い対象物を吸着して搬送することが必要な状況があり、静電吸着による吸着力は、より一層大きくすることが望まれている。

【0005】

本発明は、対象物に対する吸着力をさらに高め、対象物をより確実に保持することが可能な静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係る静電吸着部材は、誘電体により形成され、対象物の表面に対向する第１側に対象物の表面に倣って変形可能な接触面を有する接触部材と、接触部材において第１側とは反対側の第２側に設けられ、接触部材に電圧を印加可能な電極部と、を備え、電極部は、絶縁層を挟んで積層された複数層の電極を備える。

【0007】

本発明の一態様に係る静電吸着装置は、上記態様の静電吸着部材を備える。

【0008】

本発明の一態様に係る静電吸着部材の製造方法は、対象物の表面に対向する第１側に対象物の表面に倣って変形可能な接触面を有する接触部材を誘電体により形成することと、接触部材において第１側とは反対側の第２側に、接触部材に電圧を印加可能な電極部として、絶縁層を挟んで積層された複数層の電極を設けることと、を含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明の一態様に係る静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法によれば、絶縁層を挟んで積層された複数層の電極を備えるので、対象物に作用させる電界を強くすることができ、その結果、対象物に対する吸着力をさらに高め、対象物をより確実に保持することができる。

【0010】

また、上記態様の静電吸着部材において、電極部は、接触部材に接触して設けられ、接触部材とともに変形可能であってもよい。この態様によれば、電極部が接触部材とともに変形するので、接触部材が対象物の表面に倣って変形する追従性を高めることができる。また、上記態様の静電吸着部材において、複数層の電極は、各層において、それぞれ第１電極と、第１電極に対して絶縁部材を介して配置された第２電極と、を備え、電極部の積層方向から見て、複数の第１電極どうし、及び第２電極どうしがそれぞれ重なってもよい。この態様によれば、第１電極どうし、第２電極どうしが積層方向と直交する方向にずれることによって電気力線が打ち消されるのを抑え、吸着力を効率よく高めることができる。

【0011】

また、上記態様の静電吸着部材において、各層における第１電極、及び各層における第２電極は、同一又はほぼ同一形状であってもよい。この態様によれば、各層における第１電極及び第２電極の形状が同一なので、第１電極及び第２電極を容易に作成できる。また、上記態様の静電吸着部材において、積層方向から見て、複数の第１電極、及び複数の第２電極の外周縁がそれぞれ合致してもよい。この態様によれば、第１電極どうし、第２電極どうしの積層方向と直交する方向のずれを最小限に抑え、吸着力をより一層高めることができる。また、上記態様の静電吸着部材において、接触面は、第１側に突出する複数の凸部と、第２側に窪む複数の凹部の少なくとも一方を備えてもよい。この態様によれば、接触面の凸部、凹部が対象物の表面の粗面に馴染む割合が高くなり、接触面積が大きくなる。その結果、対象物に対する吸着力（静電吸着力）が大きくなり、対象物を強固に吸着して、対象物を確実に保持することができる。

【0012】

また、上記態様の静電吸着装置において、接触部材を支持する支持部材と、接触部材が支持部材によって支持される被支持部分にて電極に一端が接続される配線と、を備えてもよい。この態様によれば、対象物の表面にならって接触部材が変形した状態でも、支持部材によって接触部材が支持される被支持部分では、接触部材の変形量が少なくなる。従って、接触部材に一端が接続される電極が、接触部材から剥がれるのを抑えることができる。また、上記態様の静電吸着装置において、複数層の電極に電圧を印加する電圧印加部を備えてもよい。この態様によれば、電圧印加部で複数層の電極に電圧を印加することによって、接触部材に大きな静電力を発生させ、対象物を強固に吸着することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】実施形態に係る静電吸着部材の一例を示す図である。

【図2】静電吸着部材における接触部材の接触面に形成された凸部の断面の一例を示す図である。

【図3】接触面に形成された凸部を接触面に直交する方向から見た図である。

【図4】静電吸着部材における接触部材の接触面に形成された凹部の断面の一例を示す図である。

【図5】静電吸着部材の構成を示す断面図である。

【図6】静電吸着部材における第１電極、第２電極の一例を示す平面図である。

【図7】静電吸着部材に生じる電気力線を模式的に示す図である。

【図8】接触部材の製造方法の一例を示すフローチャートである。

【図9】接触部材を形成するための転写型の構成を示す断面図である。

【図10】転写型に窪みを形成する手順を示す図であり、転写面上に感光膜を形成した状態を示す断面図である。

【図11】転写型に窪みを形成する手順を示す図であり、第２感光膜を形成した状態を示す断面図である。

【図12】転写型に窪みを形成する手順を示す図であり、第２感光膜上にフォトマスクを配置した状態を示す断面図である。

【図13】接触部材形成工程において、転写型の転写面上に、液状の誘電体材料を供給した状態を示す断面図である。

【図14】転写面上において誘電体材料が固化することにより接触部材が作成された状態を示す断面図である。

【図15】電極部形成工程において、１層目の電極を形成するため、電極パターン型を接触部材上にセットした状態を示す図である。

【図16】電極パターン型に導電性材料を吹き付けた状態を示す断面図である。

【図17】電極に金属材を載せた状態を示す断面図である。

【図18】電極上に、絶縁層を形成した状態を示す断面図である。

【図19】上記したような静電吸着部材を用いた静電吸着装置の一例を示す図である。

【図20】静電吸着部材における接触部材の接触面を、対象物の表面に押し当てた状態を示す図である。

【図21】静電吸着部材で吸着した対象物の一部を持ち上げた状態を示す図である。

【図22】静電吸着部材で持ち上げた対象物をトレー上に載せた状態を示す図である。

【図23】ダンボール容器の持ち上げ動作中の荷重の測定結果を示す図である。

【図24】実施例１、２、比較例１、２のそれぞれにおいて、対象物を持ち上げた結果を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現しており、実際の製品とは大きさ、形状等が異なっている場合がある。図１は、実施形態に係る静電吸着部材１０の一例を示す図である。図１に示すように、本実施形態に係る静電吸着部材１０は、例えば、ダンボール容器等の対象物１００を静電吸着する。静電吸着部材１０は、対象物１００を吸着して保持する。

【0015】

なお、静電吸着部材１０は、対象物１００として、ダンボール容器に限らず、例えば、ベニヤ板やコンクリート等、粗面を有する対象物を吸着保持することが可能である。また、粗面を有した対象物に限らず、平滑な表面を有する対象物１００を吸着して保持するために、この静電吸着部材１０を用いることが可能である。

【0016】

静電吸着部材１０は、接触部材１１と、電極部２０と、を備える。接触部材１１は、誘電体により形成される。接触部材１１は、対象物１００の表面１００ｆに対向する第１側１１ａに、表面１００ｆに接触する接触面１１ｆを有する。接触部材１１は、第１側１１ａと反対側の第２側１１ｂとを結ぶ方向（厚み方向）から見て、例えば、一辺が１０ｍｍ～５００ｍｍの矩形状に設定されている。接触部材１１は、厚み方向から見て、円形状であってもよい。この場合、接触部材１１は、例えば外径が１０ｍｍ～５００ｍｍ程度に設定されてもよい。接触部材１１の厚みは、例えば、厚さ３０μｍ～８００μｍ程度に設定されている。本実施形態では、接触部材１１は、例えば、１００μｍ程度の厚さを有している。

【0017】

接触部材１１は、少なくとも接触面１１ｆが対象物１００の表面１００ｆに倣って変形可能である。本実施形態では、静電吸着部材１０は、その全体が、対象物１００の表面１００ｆに倣って変形可能であるが、この形態に限定されない。例えば、接触部材１１の第１側１１ａと、その反対側の第２側１１ｂとを結ぶ方向（接触面１１ｆに直交する方向）において、接触面１１ｆ側の一部のみが、対象物１００の表面１００ｆに倣って変形可能であってもよい。

【0018】

接触部材１１は、誘電体材料により形成され、誘電体としての性質と絶縁体としての性質とを兼ね備えている。誘電体は、分極を有する材料であり、絶縁体は、分極が起きない材料である。また、接触部材１１は、対象物１００の表面１００ｆに倣って変形可能となる弾性、及び柔軟性を有する誘電体材料で形成されている。

【0019】

なお、誘電体材料は、形成された接触部材１１を弾性的に変形可能とする材料に限定されない。例えば、接触部材１１を形成する誘電体材料は、屈曲可能であるが実質的に弾性的に伸縮しない薄膜、層状体を形成するための材料が用いられてもよい。また、接触部材１１を形成する誘電体材料は、例えば、１０ＭＰａ未満の弾性率、特に１ＭＰａ未満の弾性率を有する柔軟性を有しているのが好ましい。

【0020】

このような誘電体材料としては、例えば、ゴム系材料、樹脂系材料等が挙げられる。より具体的には、接触部材１１を形成する誘電体材料としては、架橋性のゴム、非架橋性の熱可塑性エラストマ、軟質樹脂等が挙げられる。接触部材１１を形成する誘電体材料として用いられる架橋性のゴムには、例えば、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、アクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、アクリルゴム（ＡＣＭ）、クロロスルホルン化ポリエチレンゴム（ＣＳＭ）、ウレタンゴム（Ｕ）、シリコーンゴム（Ｑ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、エピクロルヒドリンゴム（ＣＯ）、多硫化ゴム（Ｔ）、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）等がある。

【0021】

また、接触部材１１を形成する誘電体材料として用いられる非架橋性の熱可塑性エラストマには、例えば、スチレン系、オレフィン系、ウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリイミド系、塩ビ系、フッ素系、アクリル系等の各種の熱可塑性エラストマ等が挙げられる。また、接触部材１１を形成する誘電体材料として用いられる軟質樹脂には、例えば、エチレン酢酸ビニル樹脂（ＥＶＡ）、軟質ポリエステル樹脂、低密度ポリエチレン、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、アクリル樹脂等の、それ自体が軟質である樹脂が挙げられ、さらに、各種の樹脂に可塑剤を添加して軟質化したもの等、種々の軟質樹脂等が適用可能である。また、接触部材１１を形成する誘電体材料には、ガラス繊維又は炭素繊維等を用いた繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）をはじめとする各種の複合材料、ガラス、セラミック等を含ませてもよい。

【0022】

図２は、静電吸着部材１０における接触部材１１の接触面１１ｆに形成された凸部１４の断面の一例を示す図である。図３は、接触面１１ｆに形成された凸部１４を接触面１１ｆに直交する方向から見た図である。図２、図３に示すように、接触部材１１の接触面１１ｆは、凸部１４を有する。凸部１４は、接触面１１ｆの面方向に対して垂直方向に突出している。凸部１４は、接触面１１ｆの全面にわたって、接触面１１ｆの面方向に適宜の間隔をあけて複数形成されている。凸部１４は、接触面１１ｆに直交する方向から見て、例えば円形に形成されている。本実施形態において、凸部１４は、例えば、直径６０μｍの円形で、高さ５μｍで形成されている。凸部１４を、接触面１１ｆに直交する方向から見たときの形状、接触面１１ｆからの突出寸法は、何ら限定するものではなく、対象物１００の表面１００ｆの粗面状態、材質等に応じて適宜設定することができる。凸部１４は、接触面１１ｆの面方向に沿って規則的に連続して形成されていてもよいし、規則性を有さず、不規則（ランダム）に形成されてもよい。

【0023】

なお、上記においては、接触部材の接触面１１ｆに凸部１４を備えるようにしたが、これに限らない。図４は、静電吸着部材１０における接触部材１１の接触面１１ｆに形成された凹部１５の断面の一例を示す図である。図４に示すように、接触面１１ｆに、凸部１４に代えて凹部１５を備えるようにしてもよい。凹部１５は、接触面１１ｆの面方向に対して垂直方向に窪んでいる。さらに、接触面１１ｆに、凸部１４と凹部１５とを備えるようにしてもよい。

【0024】

図５は、静電吸着部材１０の構成を示す断面図である。図５に示すように、電極部２０は、接触部材１１において第１側１１ａとは反対側の第２側１１ｂに設けられている。電極部２０は、後述する電圧印加部４０によって印加される電圧により、接触部材１１の接触面１１ｆに静電吸着力を発生させる。

【0025】

電極部２０は、接触部材１１の第２側１１ｂに、接触部材１１に接触して設けられている。電極部２０は、少なくとも一部が接触部材１１中に埋没していてもよい。電極部２０は、接触面１１ｆに直交する方向（以下、この方向を積層方向Ｄと適宜称する）に積層された複数層の（２層の）電極２１Ａ、２１Ｂを備える。本実施形態において、電極部２０は、２層の電極２１Ａ、２１Ｂを備える。電極部２０は、２層に限らず、３層、または４層以上の電極を積層して備える構成としてもよい。

【0026】

複数層の電極２１Ａ、２１Ｂは、絶縁層２５を挟んで積層されている。複数層の電極２１Ａ、２１Ｂは、各層において、それぞれ第１電極２２と、第２電極２３と、を備える。第１電極２２、および第２電極２３は、複数層の電極２１Ａ、２１Ｂの積層方向Ｄに直交する面（接触面１１ｆと平行な面）に沿って設けられている。

【0027】

図６は、静電吸着部材１０における第１電極２２、第２電極２３の一例を示す平面図である。図６に示すように、各層の電極２１Ａ、２１Ｂを構成する第１電極２２、第２電極２３は、それぞれ、電極基部２２ａ、２３ａと、複数の電極延伸部２２ｂ、２３ｂと、を有した、いわゆる櫛形電極である。電極基部２２ａと電極延伸部２２ｂのそれぞれと、電極基部２３ａと電極延伸部２３ｂのそれぞれとが、電気的に接続されている。複数の電極延伸部２２ｂ、２３ｂは、電極基部２２ａ、２３ａが延びる電極幅方向Ｄａに間隔をあけて設けられている。各電極延伸部２２ｂ、２３ｂは、電極幅方向Ｄａに直交する電極長方向Ｄｂに延びている。第１電極２２に形成された電極延伸部２２ｂは、電極基部２２ａから、第２電極２３の電極基部２３ａに向かって電極長方向Ｄｂに延びている。第２電極２３に形成された電極延伸部２３ｂは、電極基部２３ａから、第１電極２２の電極基部２２ａに向かって電極長方向Ｄｂに延びている。このように、第１電極２２、第２電極２３は、平面視において互いに間隔をあけて対向するように配置されている。本実施形態では、電極幅方向Ｄａと電極長方向Ｄｂとは直交関係にある。

【0028】

第１電極２２の各部と、第２電極２３の各部とは、絶縁部材２６を介して配置されている。第１電極２２の電極延伸部２２ｂは、第２電極２３において電極幅方向Ｄａで互いに隣り合う２つの電極延伸部２３ｂの間に配置されている。また、第２電極２３の電極延伸部２３ｂは、第１電極２２において電極幅方向Ｄａで互いに隣り合う２つの電極延伸部２２ｂの間に配置されている。その結果、第１電極２２の電極延伸部２２ｂと、第２電極２３の電極延伸部２３ｂとは、電極幅方向Ｄａに間隔をあけて交互に配置されている。

【0029】

第１電極２２、第２電極２３において、電極幅方向Ｄａで隣り合う電極延伸部２２ｂ、２３ｂが複数組設けられることが好ましい。また、第１電極２２、第２電極２３において、電極幅方向Ｄａにおいて互いに隣り合う電極延伸部２２ｂ、２３ｂを、２組以上備えることが好ましい。また、第１電極２２、第２電極２３において、電極幅方向Ｄａにおいて互いに隣り合う電極延伸部２２ｂ、２３ｂを３組以上備えることが特に好ましい。なお、第１電極２２、第２電極２３において、電極幅方向Ｄａで隣り合う電極延伸部２２ｂ、２３ｂの数（組数）は、静電吸着部材１０の外形寸法、対象物である対象物１００の重量、表面１００ｆの粗さ等に応じて適宜に選択される。

【0030】

複数層の電極２１Ａ、２１Ｂの積層方向Ｄから見て、各層の複数の第１電極２２どうし、及び第２電極２３どうしはそれぞれ重なっている。積層方向Ｄから見て、各層の複数の第１電極２２どうし、及び第２電極２３どうしは、それぞれ同極のものが積層されている。各層における第１電極２２、及び各層における第２電極２３は、同一又はほぼ同一形状である、本実施形態において、各層における第１電極２２、及び各層における第２電極２３は、同一形状である、積層方向Ｄから見て、複数の第１電極２２、及び複数の第２電極２３の外周縁は、それぞれ合致している。つまり、複数層の電極２１Ａ、２１Ｂで、第１電極２２、第２電極２３の形状、大きさ、及び位置が一致しており、積層方向Ｄに直交する方向（交差する方向）への位置ずれが極めて小さい。

【0031】

このような第１電極２２、第２電極２３は、接触部材１１とともに変形可能となっている。このため、第１電極２２、第２電極２３は、例えば、カーボンブラック、各種の金属材料を含む導電性材料が膜厚２００μｍ以下に形成された薄膜状であることが好ましい。第１電極２２、第２電極２３をカーボンブラックにより形成する場合、その膜厚は、例えば２０μｍ程度である。

【0032】

絶縁層２５は、積層方向Ｄにおいて最も接触部材１１側に位置する１層目の電極２１Ａと、２層目の電極２１Ｂとの間に設けられている。絶縁層２５は、積層方向Ｄにおいて接触部材１１と、１層目の電極２１Ａとの間に設けられている。絶縁層２５は、２層目の電極２１Ｂにおいて、１層目の電極２１Ａとは反対側の面を覆うように設けられている。すなわち、２層の電極２１Ａ、２１Ｂは、３層の絶縁層２５に挟まれた状態で設けられている。絶縁層２５は、絶縁性材料から形成されている。絶縁層２５を形成する絶縁性材料としては、例えば、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、アクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、アクリルゴム（ＡＣＭ）、クロロスルホルン化ポリエチレンゴム（ＣＳＭ）、ウレタンゴム（Ｕ）、シリコーンゴム（Ｑ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、エピクロルヒドリンゴム（ＣＯ）、多硫化ゴム（Ｔ）等が挙げられる。絶縁層２５は、接触部材１１、及び複数層の電極２１Ａ、２１Ｂとともに弾性変形可能であることが好ましい。絶縁層２５は、例えば、膜厚１００～２００μｍとするのが好ましい。

【0033】

図５に示すように、複数層の電極２１Ａ、２１Ｂの第１電極２２、第２電極２３どうしは、電気的に接続されている。例えば、複数層の電極２１Ａ、２１Ｂの間で、第１電極２２どうし、第２電極２３どうしを、絶縁層２５を貫通するよう設けられた貫通電極（ビア）等の導通部材２４によって接続してもよい。また、接触部材１１側と反対側の層の電極２１Ｂの第１電極２２、第２電極２３には、それぞれ配線２７が接続されている。配線２７は、後述する電圧印加部４０に接続される。また、各層の電極２１Ａ、２１Ｂの第１電極２２、第２電極２３から、各層に沿って配線を側方に引き出し、電圧印加部４０に接続するようにしてもよい。

【0034】

接触面１１ｆは、第１電極２２、第２電極２３に電圧を印加することで発生する静電吸着力によって、対象物１００の表面１００ｆを吸着する。なお、接触面１１ｆが対象物１００の表面１００ｆを吸着した状態において、対象物１００と接触面１１ｆとの間に生じるせん断摩擦力が、予め設定した基準値以上となるように、接触部材１１の材料、凸部１４の数、大きさ、突出寸法、材質等が設定されることが好ましい。このような接触面１１ｆを有した静電吸着部材１０は、対象物である対象物１００に対して高い静電吸着力を有する。

【0035】

図１に示すように、静電吸着部材１０は、支持部材３０を備える。支持部材３０は、樹脂等の絶縁性材料又は非導電性の材料により形成されている。また、支持部材３０を導電性の金属材料等で形成した場合、支持部材３０と静電吸着部材１０との間に絶縁性材料を介在させる。支持部材３０は、各種機械に着脱可能に装着される。静電吸着部材１０において支持部材３０によって保持された被支持部分１１ｃは、静電吸着部材１０の変形量が少ない。このため、前述の配線２７を、接触部材１１とともに変形する電極部２０において、変形量が少ない支持部材３０による被支持部分１１ｃの近傍で第１電極２２、第２電極２３に接続するのが好ましい。被支持部分１１ｃは、積層方向Ｄから見て、接触部材１１の中央に配置され、第１電極２２の一部、及び第２電極２３の一部を含む領域に設定されている（図６参照）。

【0036】

また、支持部材３０に配線２７を内蔵するとともに、静電吸着部材１０に対向する部分に、接触部材１１側と反対側の２層目の電極２１Ｂの第１電極２２、第２電極２３に接続される接続端子（図示無し）を設けるようにしてもよい。静電吸着部材１０は、支持部材３０に対して着脱可能であってもよい。この形態により、静電吸着部材１０を交換できる。なお、静電吸着部材１０は、支持部材３０に対して例えば、剥離可能な接着剤等により貼り付けられる。

【0037】

静電吸着部材１０は、電圧印加部４０により、電極部２０に印加される。電圧印加部４０は静電吸着部材１０の接触部材１１に対して電圧を印加する。電圧印加部４０は、図示しない電源と配線２７を介して電気的に接続されており、所定の電圧を各層の第１電極２２、第２電極２３に印加する。静電吸着部材１０は、図示しないコントローラにより動作が制御され、電圧印加部４０における電圧の印加についてもこのコントローラにより制御される。

【0038】

図７は、静電吸着部材１０に生じる電気力線を模式的に示す図である。図７に示すように、電圧印加部４０により静電吸着部材１０の電極部２０の各層の第１電極２２、第２電極２３に電圧を印加すると、第１電極２２と第２電極２３との間に電気力線Ｓが発生する。発生した電気力線Ｓは、誘電体からなる接触部材１１を貫通し、接触面１１ｆに接触した対象物１００の内部に到達する。対象物１００の表面１００ｆに到達した電気力線Ｓは、対象物１００の内部に誘電分極を発生させて帯電させる。このため、静電吸着部材１０と対象物１００との間にクーロン力が発生し、接触部材１１の接触面１１ｆに、対象物１００が静電吸着される。このようにして、接触部材１１の接触面１１ｆを対象物１００の表面１００ｆに接触させた状態で、静電力を発生させることにより、対象物１００を接触部材１１の接触面１１ｆに吸着させることができる。

【0039】

このとき、静電力によって静電吸着部材１０が対象物１００を吸着した状態では、接触部材１１の接触面１１ｆが、対象物１００の表面１００ｆに倣って変形する。接触面１１ｆに形成された凸部１４により、対象物１００の表面１００ｆを形成する粗面の微細な凹凸に倣った状態となり、対象物１００の表面１００ｆと接触面１１ｆとの接触面積が増大する。その結果、対象物１００の表面１００ｆに対する吸着力が高くなり、静電吸着部材１０が対象物１００を強固に吸着する。

【0040】

次に、上記したような静電吸着部材１０の製造方法について説明する。図８は、接触部材１１の製造方法の一例を示すフローチャートである。図８に示すように、接触部材１１の製造方法は、転写型製造工程Ｓ１０と、接触部材形成工程Ｓ２０と、電極部形成工程Ｓ３０を含む。転写型製造工程Ｓ１０は、接触部材１１を形成するための転写型５０を製造する工程である。図９は、接触部材１１を形成するための転写型５０の構成を示す断面図である。図９に示すように、転写型５０は、例えば鉄、アルミ、ＳＵＳ等の金属材料、ガラス系材料、樹脂系材料等からなる型本体５１と、外枠部材５２と、を備えている。型本体５１は、所定の厚さを有した板状である。型本体５１の上面は、接触部材１１の接触面１１ｆを形成するための転写面５１ｆとなる。

【0041】

外枠部材５２は、型本体５１上に設けられている。外枠部材５２は、転写面５１ｆの外周側に、転写面５１ｆから上方に突出しかつ転写面５１ｆを取り囲むように設けられている。この外枠部材５２は、その内側に平面視において接触部材１１の外形形状に応じた形状の開口５２ａを有する。本実施形態において、外枠部材５２は、平面視において矩形の枠状体で、開口５２ａは矩形状に形成されている。外枠部材５２の厚さ（転写面５１ｆから上方への突出高さ）は、形成する接触部材１１の厚さと同一又はほぼ同一である。すなわち、形成する接触部材１１の厚さは、外枠部材５２の厚さにより設定される。

【0042】

転写面５１ｆには、接触面１１ｆの凸部１４を形成するための窪み５１ｋが形成される。窪み５１ｋは、例えば、以下のようにして、感光性材料を用いたフォトグラフィ法によって、転写面５１ｆ上に所定のパターンで形成される。図１０は、転写型５０に窪み５１ｋを形成する手順を示す図であり、転写面５１ｆ上に感光膜５３を形成した状態を示す断面図である。図１０に示すように、具体的には、転写面５１ｆ上に、感光性材料を塗布し、スピンコータ法によって均一な膜厚の感光膜５３を形成する。このとき、転写面５１ｆにプラズマ処理等を施し、感光膜５３との密着性を高めるのが好ましい。続いて、感光膜５３を露光し、下地となる層を形成する。

【0043】

図１１は、転写型５０に窪み５１ｋを形成する手順を示す図であり、第２感光膜５４を形成した状態を示す断面図である。図１２は、転写型５０に窪み５１ｋを形成する手順を示す図であり、第２感光膜５４上にフォトマスク５５を配置した状態を示す断面図である。図１１に示すように、露光された感光膜５３上に、感光性材料を塗布し、スピンコータ法によって均一な膜厚の第２感光膜５４を形成する。このときも、感光膜５３にプラズマ処理等を施し、第２感光膜５４との密着性を高めるのが好ましい。

【0044】

続いて、図１２に示すように、第２感光膜５４上に、形成すべき凸部１４に合わせて形成したフォトマスク５５を配置し、露光を行う。その後、フォトマスク５５を外し、現像処理を施すことで、図９に示した複数の窪み５１ｋが形成された転写型５０が製作される。なお、本実施形態では、窪み５１ｋを、転写面５１ｆ上に感光性材料を用いてフォトグラフィ法によって形成する構成としたが、これに限られない。窪み５１ｋは、形成すべき凸部１４の形状、寸法等によっては、各種の機械加工やモールド成形等の成形加工によって、転写面５１ｆに一体に形成してもよい。

【0045】

図１３は、接触部材形成工程Ｓ２０において、転写型５０の転写面５１ｆ上に、液状の誘電体材料を供給した状態を示す断面図である。接触部材形成工程Ｓ２０では、転写型５０を用いて接触部材１１が作成される。接触部材形成工程Ｓ２０では、図８に示すように、転写型５０の転写面５１ｆ上に、例えばＰＤＭＳ等の液状の誘電体材料６０を供給する。誘電体材料６０は、外枠部材５２の開口５２ａから内側の転写面５１ｆ上に供給される。誘電体材料６０は、外枠部材５２の上端と同じ高さ以上となる量が供給される。誘電体材料６０は、ディスペンサ（図示無し）により転写面５１ｆ上に供給される。誘電体材料６０は、例えばスピンコータ法により、転写型５０が回転し、供給された誘電体材料６０が遠心力によって転写面５１ｆ上で拡がる。スピンコータ法を用いることにより、転写面５１ｆ上において誘電体材料６０が均一に拡がる。

【0046】

なお、接触部材形成工程Ｓ２０では、スピンコータ法に代えて、スプレーコータ等、他の方法・装置が用いられてもよい。これらの装置を用いることによって、接触部材１１の膜厚を、薄く均一に成形できる。静電吸着部材１０において、電極部２０から接触面１１ｆまでの距離（すなわち接触部材１１の膜厚）が、薄いほど静電吸着力は向上する。また、接触部材形成工程Ｓ２０では、転写面５１ｆと誘電体材料６０との間に気泡が残るのを防止するため、転写型５０が振動されてもよいし、誘電体材料６０に向けてマイクロ波等が照射されてもよい。また、転写面５１ｆにおける誘電体材料６０の濡れ性を向上させるために、転写面５１ｆ上に親液膜が被膜されてもよい。

【0047】

続いて、転写面５１ｆ上に供給された誘電体材料６０が固化する。誘電体材料６０を固化するには、大気中において所定時間放置して自然乾燥させるだけでなく、誘電体材料６０に応じた温度条件で加熱等を行ってもよい。また、転写型５０を、減圧雰囲気に設定されたチャンバ等に収容し、減圧乾燥させてもよい。誘電体材料６０が固化することにより、転写面５１ｆ上の外枠部材５２の内側において、窪み５１ｋを有した転写面５１ｆのパターンが転写される。

【0048】

図１４は、転写型５０の転写面５１ｆから接触部材１１を取り出す状態を示す断面図である。その後、図１４に示すように、固化した接触部材１１を、転写型５０の外枠部材５２及び転写面５１ｆから取り外す。取り出された接触部材１１には、転写面５１ｆの窪み５１ｋが転写された凸部１４を有する接触面１１ｆが形成される。接触部材１１を取り出した後の転写型５０には、再度液状の誘電体材料６０を供給することにより、次の接触部材１１を作成することができる。すなわち、転写型５０は再利用できる。

【0049】

電極部形成工程Ｓ３０では、接触部材１１の第２側１１ｂに、電極部２０を形成する。電極部形成工程Ｓ３０は、電極パターン形成工程Ｓ３１と、絶縁層形成工程Ｓ３２と、を備える。図１５は、電極部形成工程Ｓ３０において、１層目の電極２１Ａを形成するため、電極パターン型７０を接触部材１１上にセットした状態を示す図である。まず、接触部材形成工程Ｓ２０で形成した接触部材１１の第２側１１ｂ上に、例えばＰＤＭＳ等の絶縁性材料を塗布し、例えばスピンコータ法により、所定の膜厚の絶縁層２５を形成する。このとき、絶縁性材料と接触部材１１の第２側１１ｂとの密着性を高めるため、接触部材１１にプラズマ処理等を施してもよい。続いて、図１５に示すように、電極パターン形成工程Ｓ３１では、先に形成した絶縁層２５上に、電極パターン型７０を載せる。電極パターン型７０は、各層の第１電極２２、第２電極２３に対応した形状の開口７０ａを有する。電極パターン型７０は、第１電極２２、第２電極２３の膜厚に応じた厚みを有している。

【0050】

図１６は、電極パターン型７０に導電性材料７１を吹き付けた状態を示す断面図である。続いて、図１６に示すように、第１電極２２、第２電極２３を形成する導電性材料７１として、例えばカーボンブラックを吹き付ける。このとき、導電性材料７１と絶縁層２５との密着性を高めるため、絶縁層２５にプラズマ処理等を施してもよい。導電性材料７１を、電極パターン型７０の上面レベルまで吹き付けることで、最も第２側１１ｂに位置する１層目の電極２１Ａの第１電極２２、第２電極２３が形成される。

【0051】

図１７は、電極２１Ａに導通部材２４を載せた状態を示す断面図である。続いて、図１７に示すように、電極２１Ａの第１電極２２、第２電極２３の所定位置に、例えば金属箔等の導通部材２４を載せる。導通部材２４は、１層目の電極２１Ａの第１電極２２、第２電極２３と、２層目の電極２１Ｂの第１電極２２、第２電極２３とを電気的に接続する導通部材２４を形成する、

【0052】

図１８は、電極２１Ａ上に、絶縁層２５を形成した状態を示す断面図である。続いて、図１８に示すように、絶縁層形成工程Ｓ３２では、１層目の電極２１Ａの第１電極２２、第２電極２３上に、例えばＰＤＭＳ等の絶縁性材料を塗布し、例えばスピンコータ法により、所定の膜厚の絶縁層２５を形成する。このとき、導通部材２４の上面は、マスキング等を施しておくのが好ましい。第１電極２２と第２電極２３との隙間に流れ込む絶縁性材料により、第１電極２２と第２電極２３との間の絶縁部材２６が形成される。

【0053】

この後、電極の積層数に応じて、上記の電極パターン形成工程Ｓ３１、及び絶縁層形成工程Ｓ３２を繰り返す。図５に示したように、電極部２０が例えば２層の電極２１Ａ、２１Ｂを備える場合、電極パターン形成工程Ｓ３１、及び絶縁層形成工程Ｓ３２を繰り返し、絶縁層２５上に、２層目の電極２１Ｂの第１電極２２、第２電極２３を形成した後、電極２１Ｂ上に絶縁層２５を形成する。これにより、接触部材１１上に電極部２０が一体に形成され、静電吸着部材１０が製造される。

【0054】

なお、上記の電極パターン形成工程Ｓ３１では、予め用意された第１電極２２、第２電極２３を接着剤等により接触部材１１、絶縁層２５上に貼り付けてもよいし、導電性のペーストを用いて第１電極２２、第２電極２３のパターンを作成し、接触部材１１が溶融しない温度に加熱することで第１電極２２、第２電極２３を形成してもよい。また、接触部材１１と、電極部２０とを別々に製作し、これらを互いに貼り付けてもよい。この後、図１に示すように、製造された静電吸着部材１０を、支持部材３０に取り付けることで、静電吸着部材１０が製造される。このような静電吸着部材１０は、ダンボール容器等の対象物１００を上方から吸着することで、対象物１００を吸着保持するようにしてもよいし、対象物１００の側面などを吸着するようにしてもよい。

【0055】

図１９は、上記したような静電吸着部材１０を用いた静電吸着装置１の一例を示す図である。この図１９に示すように、静電吸着装置１は、装置本体２と、静電吸着部材１０と、を備えている。装置本体２は、床面Ｆ上、又は床面Ｆ上に敷設された軌道Ｒ上で移動可能に構成されている。装置本体２は、静電吸着部材１０の支持部材３０が装着されるアーム３と、アーム３を昇降させるシリンダ等の昇降機構４と、を備える。また、本実施形態において、静電吸着装置１は、トレー５を備えている。トレー５は、装置本体２から、静電吸着部材１０が設けられている前方に向けて進退可能に構成されている。

【0056】

図２０は、静電吸着部材１０における接触部材１１の接触面１１ｆを、対象物１００の表面１００ｆに押し当てた状態を示す図である。図２０に示すように、静電吸着装置１で対象物１００を吸着保持するには、まず、装置本体２を対象物１００に向けて前進させ、静電吸着部材１０の接触部材１１の接触面１１ｆを、対象物１００の表面１００ｆに押し当てる。この状態で、電圧印加部４０により、電極部２０の各層の電極２１Ａ、２１Ｂに電圧を印加する。すると、各層の第１電極２２、第２電極２３からの電界により、静電吸着部材１０が接触している対象物１００の内部に誘電分極が発生して帯電する。このため、静電吸着部材１０と対象物１００との間にクーロン力が発生し、接触部材１１の接触面１１ｆに、対象物１００が静電吸着される。

【0057】

図２１は、静電吸着部材１０で吸着した対象物１００の一部を持ち上げた状態を示す図である。図２１に示すように、静電吸着装置１では、昇降機構４によりアーム３を上昇させ、対象物１００を吸着した静電吸着部材１０を持ち上げる。すると、対象物１００が、少なくとも、静電吸着部材１０に吸着された側１００ｐで持ち上がる。このとき、対象物１００の重量、大きさ等によっては、対象物１００の全体が持ち上がることもある。

【0058】

図２２は、静電吸着部材１０で持ち上げた対象物１００をトレー上に載せた状態を示す図である。図２２に示すように、静電吸着装置１では、トレー５を装置本体２から前進させ、対象物１００の下方に差し込む。その後、昇降機構４によりアーム３とともに静電吸着部材１０を下降させる。これにより、対象物１００がトレー５によって下方から支持される。この状態で、装置本体２を床面Ｆ上、または軌道Ｒ上で移動させることにより、対象物１００を搬送することができる。

【実施例0059】

出願人は、上記のような静電吸着部材１０について、吸着力を評価する実験・検証を行った。その結果について説明する。まず、上記したような静電吸着部材の製造方法により、静電吸着部材１０を製造した。

【0060】

（実施例１）
接触部材１１は、積層方向Ｄから見て７５ｘ７５［ｍｍ］の矩形状とした。電極部２０は、２層の電極２１Ａ、２１Ｂを備える構成とした。２層の電極２１Ａ、２１Ｂは、それぞれ積層方向Ｄから見て６５ｘ６５［ｍｍ］の矩形状とした。各層の電極２１Ａ、２１Ｂにおいて、第１電極２２と第２電極との間隔は１ｍｍとした。また、１層目の電極２１Ａと接触面１１ｆとの間隔は１００［μｍ］、１層目の電極２１Ａと２層目の電極２１Ｂとの間の絶縁層２５の厚さは２００［μｍ］となっている。接触面１１ｆには、直径約５１［μｍ］、高さ約６［μｍ］の凸部１４を複数設けた。

【0061】

（実施例２）
実施例１に対し、接触面１１ｆを平面としたもの（凸部１４を設けていないもの）を、実施例２として用意した。

【0062】

（比較例１、２）
比較のため、電極を１層のみとし、接触面１１ｆを平面とした比較例１、電極を１層のみとし、接触面１１ｆに複数の凸部１４を設けた比較例２を用意した。

【0063】

上記したような実施例、及び比較例１～３のそれぞれにおいて、接触面１１ｆを対象物１００としての段ボール箱の側面に押し付け、電極部２０に±５［ｋＶ］の電圧を印加し、対象物１００を吸着保持させた。さらに、対象物１００を吸着保持した静電吸着部材１０を、静電吸着装置１のアーム３に装着した。静電吸着部材１０を固定するアーム３に６軸力覚センサを設置して、静電吸着部材１０にかかる荷重を測定した。

【0064】

まず、実施例１の静電吸着部材１０において、重量４ｋｇのダンボール容器（対象物１００）を持ち上げたときの荷重を６軸力覚センサで検出した。ここで、静電吸着部材１０が対象物１００に接近する方向をＺ軸、下向き方向をＹ軸、右手座標系に則り力覚センサを正面に見て左方向をＸ軸とした。図２３は、ダンボール容器の持ち上げ動作中の荷重の測定結果を示す図である。図２３に示すように、電圧印加することにより静電吸着部材１０を吸着させることで、Ｚ軸に荷重がかかることが分かる。次に、対象物１００の持ち上げ動作へ移行すると、Ｙ軸へ荷重がかかり、対象物１００を持ち上げて保持できていることが分かる。対象物１００を持ち上げた後から保持している間のＹ軸荷重に注目すると、重量４ｋｇの対象物１００を持ち上げるためには、Ｙ軸荷重が約１３［Ｎ］必要なことが確認できた。

【0065】

次に、実施例１、２、比較例１、２のそれぞれにおいて、対象物１００としてのダンボール容器の重量を、１．０ｋｇ、１．５ｋｇ、２．０ｋｇ、４．０ｋｇの４通りとし、対象物１００を途中で落とさずに持ち上げることができるかどうかを確認した。図２４は、実施例１、２、比較例１、２のそれぞれにおいて、対象物１００を持ち上げた結果を示す図である。この図２４に示すように、電極を１層のみとし、接触面１１ｆを平面とした比較例１では、１．０ｋｇの対象物１００のみ、持ち上げることに成功した。電極を１層のみとし、接触面１１ｆに凸部１４を設けた比較例２では、２．０ｋｇまでの対象物１００について、持ち上げることに成功した。

【0066】

電極を２層とし、接触面１１ｆを平面とした実施例２では、２．０ｋｇまでの対象物１００について、持ち上げることに成功した。これにより、電極を複数層に積層すること、接触面１１ｆに凸部１４を設けることで、吸着力が高まることが確認された。また、電極を２層とし、接触面１１ｆに凸部１４を設けた実施例１では、４ｋｇまでの対象物１００を持ち上げることに成功した。このように、電極部の電極を複数積層し、さらに接触面１１ｆに凸部１４を設けることで、静電吸着部材１０における吸着力が向上することが確認できる。

【0067】

以上の説明のように、本実施形態の静電吸着部材１０によれば、誘電体により形成され、対象物１００の表面に対向する第１側１１ａに対象物１００の表面に倣って変形可能な接触面１１ｆを有する接触部材１１と、接触部材１１において第１側１１ａとは反対側の第２側１１ｂに設けられ、接触部材１１に電圧を印加可能な電極部２０と、を備え、電極部２０は、絶縁層２５を挟んで積層された複数層の電極２１Ａ、２１Ｂを備える。

【0068】

本実施形態の静電吸着部材１０において、電極部２０が、絶縁層２５を挟んで積層された複数層の電極２１Ａ、２１Ｂを備えることで、対象物１００に対する吸着力をさらに高め、対象物１００をより確実に保持することが可能となる。

【0069】

また、電極２１Ａ、２１Ｂは、接触部材１１に接触して設けられ、接触部材１１とともに変形可能である場合、電極２１Ａ、２１Ｂが接触部材１１とともに変形するので、接触部材１１が対象物１００の表面に倣って変形する追従性を高めることができる。また、電極部２０の積層方向Ｄから見て、複数の第１電極２２どうし、及び第２電極２３どうしがそれぞれ重なる場合、第１電極２２どうし、第２電極２３どうしが積層方向Ｄと直交する方向にずれることによって電気力線を打ち消しあうのを抑え、吸着力を効率よく高めることができる。

【0070】

また、各層における第１電極２２、及び各層における第２電極２３は、同一又はほぼ同一形状である場合、積層方向Ｄから見て、複数の第１電極２２どうし、及び第２電極２３どうしのずれをより一層抑えることができ、吸着力を効率よく高めることができる。また、積層方向Ｄから見て、複数の第１電極２２、及び複数の第２電極２３の外周縁がそれぞれ合致する場合、第１電極２２どうし、第２電極２３どうしの積層方向Ｄと直交する方向のずれを最小限に抑え、吸着力を最大限に高めることができる。また、接触面１１ｆは、第１側１１ａに突出する複数の凸部１４と、第２側１１ｂに窪む複数の凹部１５の少なくとも一方を備える場合、接触面１１ｆの凸部１４、凹部１５が対象物１００の表面の粗面に馴染む割合が高く、接触面積が大きくなる。その結果、対象物１００に対する吸着力（静電吸着力）が大きくなり、対象物１００が強固に吸着される。従って、対象物１００が確実に保持される。

【0071】

本実施形態に係る静電吸着装置１によれば、上記したような静電吸着部材１０を備えることで、対象物１００に対する吸着力をさらに高め、対象物１００をより確実に保持することが可能となる静電吸着部材１０を備えた静電吸着装置１を提供できる。

【0072】

また、接触部材１１が支持部材３０によって支持される被支持部分１１ｃにて電極２１Ａ、２１Ｂに一端が接続される配線２７を備える場合、対象物１００の表面にならって接触部材１１が変形した場合であっても、支持部材によって接触部材１１が支持される被支持部分１１ｃでは、接触部材１１の変形量が少なくて済む。従って、対象物１００の表面に倣って張り付いた接触部材１１が、対象物１００の表面から剥がれるのを抑えることができる。

【0073】

また、複数層の電極２１Ａ、２１Ｂに電圧を印加する電圧印加部４０を備える場合、電圧印加部４０で複数層の電極２１Ａ、２１Ｂに電圧を印加することによって、接触部材１１が、より大きな静電力を発生し、対象物１００を強固に吸着することができる。

【0074】

本発明に係る静電吸着部材１０の製造方法によれば、第１側１１ａに接触面１１ｆを有する接触部材１１を誘電体により形成することと、第２側１１ｂに接触部材１１に電圧を印加可能な電極部２０として、絶縁層２５を挟んで積層された複数層の電極２１Ａ、２１Ｂを設けることにより、対象物１００に対する吸着力をさらに高め、対象物１００をより確実に保持することが可能となる静電吸着部材１０を製造することができる。

【0075】

以上、本発明の実施形態及び実施例について説明したが、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態及び実施例に限定されない。上記した実施形態及び実施例に多様な変更又は改良を加えることが可能であることは当業者において明らかである。また、そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上記した実施形態及び実施例で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上記した実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、本実施形態において示した各工程の実行順序は、前の工程の結果を後の工程で用いるものでない限り、任意の順序で実現可能である。また、上記した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須ではない。

【符号の説明】

【0076】

１・・・静電吸着装置
１１・・・接触部材
１１ａ・・・第１側
１１ｂ・・・第２側
１１ｃ・・・被支持部分
１１ｆ・・・接触面
１４・・・凸部
１５・・・凹部
２０・・・電極部
２１Ａ、２１Ｂ・・・電極
２２・・・第１電極
２３・・・第２電極
２５・・・絶縁層
２６・・・絶縁部材
２７・・・配線
３０・・・支持部材
４０・・・電圧印加部
１００・・・対象物
１００ｆ・・・表面
Ｄ・・・積層方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】