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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023038829
(43)【公開日】2023-03-17
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
H02K 33/18 20060101AFI20230310BHJP
【ＦＩ】
H02K33/18 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021145748
(22)【出願日】2021-09-07
(71)【出願人】
【識別番号】000010098
【氏名又は名称】アルプスアルパイン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(72)【発明者】
【氏名】竹本 匡孝
(72)【発明者】
【氏名】春日 恭二
(72)【発明者】
【氏名】黒田 嘉成
(72)【発明者】
【氏名】松下 敏久
【テーマコード（参考）】
5H633
【Ｆターム（参考）】
5H633BB02
5H633BB09
5H633BB10
5H633BB16
5H633BB20
5H633GG03
5H633GG09
5H633HH02
5H633HH06
5H633JA03
5H633JB05
(57)【要約】
【課題】被駆動部材を大きく傾けることができるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１００は、ケース部材１、可動部材ＭＢ、上側支持部材２Ｕ、及び下側支持部材２Ｄを有する。上側支持部材２Ｕは、ケース部材１の上端部に接続される上固定側部分２Ｕ３と、四つの可動部材ＭＢのそれぞれの上端部に回動可能に連結される上可動側部分２Ｕ１と、上固定側部分２Ｕ３と上可動側部分２Ｕ１とを繋ぐ上中間部分２Ｕ２とを含む。下側支持部材２Ｄは、ケース部材１の下端部に接続される下固定側部分２Ｄ３と、四つの可動部材ＭＢのそれぞれの下端部に回動可能に連結される下可動側部分２Ｄ１と、下固定側部分２Ｄ３と下可動側部分２Ｄ１とを繋ぐ下中間部分２Ｄ２とを含む。アクチュエータ１００は、四つの可動部材ＭＢの少なくとも一つを駆動方向に移動させて上可動側部分２Ｕ１に固定された光学素子ＯＥを傾ける。
【選択図】図２
【解決手段】アクチュエータ１００は、ケース部材１、可動部材ＭＢ、上側支持部材２Ｕ、及び下側支持部材２Ｄを有する。上側支持部材２Ｕは、ケース部材１の上端部に接続される上固定側部分２Ｕ３と、四つの可動部材ＭＢのそれぞれの上端部に回動可能に連結される上可動側部分２Ｕ１と、上固定側部分２Ｕ３と上可動側部分２Ｕ１とを繋ぐ上中間部分２Ｕ２とを含む。下側支持部材２Ｄは、ケース部材１の下端部に接続される下固定側部分２Ｄ３と、四つの可動部材ＭＢのそれぞれの下端部に回動可能に連結される下可動側部分２Ｄ１と、下固定側部分２Ｄ３と下可動側部分２Ｄ１とを繋ぐ下中間部分２Ｄ２とを含む。アクチュエータ１００は、四つの可動部材ＭＢの少なくとも一つを駆動方向に移動させて上可動側部分２Ｕ１に固定された光学素子ＯＥを傾ける。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
固定部材と、
複数の可動部材と、
前記固定部材に対して複数の前記可動部材のそれぞれを所定の駆動方向に移動させる駆動装置と、
前記固定部材に対して複数の前記可動部材のそれぞれを前記駆動方向に移動可能に支持する第１支持部材及び第２支持部材と、を有するアクチュエータであって、
前記第１支持部材は、前記固定部材の前記駆動方向における一端部に接続される第１固定側部分と、複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における一端部に回動可能に連結される第１可動側部分と、前記第１固定側部分と前記第１可動側部分との間を弾性的に繋ぐ第１中間部分と、を含み、
前記第２支持部材は、前記固定部材の前記駆動方向における他端部に接続される第２固定側部分と、複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における他端部に回動可能に連結される第２可動側部分と、前記第２固定側部分と前記第２可動側部分との間を弾性的に繋ぐ第２中間部分と、を含み、
前記駆動装置は、複数の前記可動部材の少なくとも一つを前記駆動方向に移動させることによって前記第１可動側部分に固定された被駆動部材を駆動させるように構成されている、
アクチュエータ。
複数の可動部材と、
前記固定部材に対して複数の前記可動部材のそれぞれを所定の駆動方向に移動させる駆動装置と、
前記固定部材に対して複数の前記可動部材のそれぞれを前記駆動方向に移動可能に支持する第１支持部材及び第２支持部材と、を有するアクチュエータであって、
前記第１支持部材は、前記固定部材の前記駆動方向における一端部に接続される第１固定側部分と、複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における一端部に回動可能に連結される第１可動側部分と、前記第１固定側部分と前記第１可動側部分との間を弾性的に繋ぐ第１中間部分と、を含み、
前記第２支持部材は、前記固定部材の前記駆動方向における他端部に接続される第２固定側部分と、複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における他端部に回動可能に連結される第２可動側部分と、前記第２固定側部分と前記第２可動側部分との間を弾性的に繋ぐ第２中間部分と、を含み、
前記駆動装置は、複数の前記可動部材の少なくとも一つを前記駆動方向に移動させることによって前記第１可動側部分に固定された被駆動部材を駆動させるように構成されている、
アクチュエータ。
【請求項2】
複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における一端部は、弾性部材又はボールジョイントである連結部材を介して前記第１可動側部分に回動可能に連結されており、
複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における他端部は、弾性部材又はボールジョイントである別の連結部材を介して前記第２可動側部分に回動可能に連結されている、
請求項１に記載のアクチュエータ。
複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における他端部は、弾性部材又はボールジョイントである別の連結部材を介して前記第２可動側部分に回動可能に連結されている、
請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記固定部材は、複数の前記可動部材に対応する複数の凹部を有する磁性体で形成されたケース部材であり、
複数の前記可動部材のそれぞれは、複数の前記凹部のうちの対応する一つの内側に非接触の状態で収容されている、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
複数の前記可動部材のそれぞれは、複数の前記凹部のうちの対応する一つの内側に非接触の状態で収容されている、
請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記被駆動部材は、光学素子である、
請求項１から請求項３の何れかに記載のアクチュエータ。
請求項１から請求項３の何れかに記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記第１中間部分は、回転軸を構成する一対の軸部を含み、
前記第２中間部分は、前記回転軸に平行な別の回転軸を構成する別の一対の軸部を含み、
前記駆動装置は、複数の前記可動部材の少なくとも一つを前記駆動方向に移動させることにより、前記第１支持部材を前記回転軸の回りで回転させ、且つ、前記第２支持部材を前記別の回転軸の回りで回転させる、
請求項１から請求項４の何れかに記載のアクチュエータ。
前記第２中間部分は、前記回転軸に平行な別の回転軸を構成する別の一対の軸部を含み、
前記駆動装置は、複数の前記可動部材の少なくとも一つを前記駆動方向に移動させることにより、前記第１支持部材を前記回転軸の回りで回転させ、且つ、前記第２支持部材を前記別の回転軸の回りで回転させる、
請求項１から請求項４の何れかに記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記第１中間部分は、第１回転軸を構成する一対の第１軸部と第２回転軸を構成する一対の第２軸部とを含み、
前記第２中間部分は、前記第１回転軸に平行な第３回転軸を構成する一対の第３軸部と前記第２回転軸に平行な第４回転軸を構成する一対の第４軸部とを含み、
前記駆動装置は、複数の前記可動部材の少なくとも一つを前記駆動方向に移動させることにより、前記第１支持部材を前記第１回転軸及び前記第２回転軸の少なくとも一方の回りに回転させ、且つ、前記第２支持部材を前記第３回転軸及び前記第４回転軸の少なくとも一方の回りに回転させる、
請求項１から請求項４の何れかに記載のアクチュエータ。
前記第２中間部分は、前記第１回転軸に平行な第３回転軸を構成する一対の第３軸部と前記第２回転軸に平行な第４回転軸を構成する一対の第４軸部とを含み、
前記駆動装置は、複数の前記可動部材の少なくとも一つを前記駆動方向に移動させることにより、前記第１支持部材を前記第１回転軸及び前記第２回転軸の少なくとも一方の回りに回転させ、且つ、前記第２支持部材を前記第３回転軸及び前記第４回転軸の少なくとも一方の回りに回転させる、
請求項１から請求項４の何れかに記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ミラーを含む可動部材に接続された四つの磁石と固定部材に接続された四つのコイルとの間に生じるローレンツ力を利用して光学素子を傾斜させる機器が知られている（特許文献１参照）。また、ミラーを含む可動部材に接続された四つのコイルと固定部材に接続された八つの磁石との間に生じるローレンツ力を利用してミラーを傾斜させる機器が知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特表２０１７－５３４０７５号公報
【特許文献2】再表２０１１－００７６２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上述の機器は、ミラーを所望の向きに傾けることができる。しかしながら、上述のような機器では、ミラーを大きく傾けてしまうと磁石とコイルとが干渉してしまうおそれがある。
【0005】
そこで、ミラー等の被駆動部材を大きく傾けることができるアクチュエータを提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の実施形態に係るアクチュエータは、固定部材と、複数の可動部材と、前記固定部材に対して複数の前記可動部材のそれぞれを所定の駆動方向に移動させる駆動装置と、前記固定部材に対して複数の前記可動部材のそれぞれを前記駆動方向に移動可能に支持する第１支持部材及び第２支持部材と、を有するアクチュエータであって、前記第１支持部材は、前記固定部材の前記駆動方向における一端部に接続される第１固定側部分と、複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における一端部に回動可能に連結される第１可動側部分と、前記第１固定側部分と前記第１可動側部分との間を弾性的に繋ぐ第１中間部分と、を含み、前記第２支持部材は、前記固定部材の前記駆動方向における他端部に接続される第２固定側部分と、複数の前記可動部材のそれぞれの前記駆動方向における他端部に回動可能に連結される第２可動側部分と、前記第２固定側部分と前記第２可動側部分との間を弾性的に繋ぐ第２中間部分と、を含み、前記駆動装置は、複数の前記可動部材の少なくとも一つを前記駆動方向に移動させることによって前記第１可動側部分に固定された被駆動部材を駆動させるように構成されている。
【発明の効果】
【0007】
上述のアクチュエータは、被駆動部材を大きく傾けることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図2】一部の部材の図示が省略された状態のアクチュエータの斜視図である。
【図3】光学素子が取り付けられた上側支持部材の上面図である。
【図4】可動部材及び支持部材の分解斜視図である。
【図5】コイルアセンブリの分解斜視図である。
【図6】コイル保持部材の斜視図である。
【図7】固定部材の分解斜視図である。
【図8】固定部材の上面図及び下面図である。
【図9】固定部材の断面図である。
【図10】アクチュエータの上面図である。
【図11】アクチュエータの断面図である。
【図12】アクチュエータの断面図である。
【図13】第１上側弾性部材の斜視図である。
【図14】第１上側弾性部材の上面図である。
【図15】可動部材及び支持部材の右側面図である。
【図16】アクチュエータの断面図である。
【図18】上側支持部材の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１００について説明する。図１は、アクチュエータ１００の斜視図である。図２は、一部の部材（ケース部材１及び締結部材３）の図示が省略された状態のアクチュエータ１００の斜視図である。図１において、Ｘ１は三次元直交座標系を構成するＸ軸の一方の向きを表し、Ｘ２はＸ軸の他方の向きを表す。また、Ｙ１は三次元直交座標系を構成するＹ軸の一方の向きを表し、Ｙ２はＹ軸の他方の向きを表す。同様に、Ｚ１は三次元直交座標系を構成するＺ軸の一方の向きを表し、Ｚ２はＺ軸の他方の向きを表す。本実施形態では、アクチュエータ１００のＸ１側は、アクチュエータ１００の前側（正面側）に相当し、アクチュエータ１００のＸ２側は、アクチュエータ１００の後側（背面側）に相当する。また、アクチュエータ１００のＹ１側は、アクチュエータ１００の左側に相当し、アクチュエータ１００のＹ２側は、アクチュエータ１００の右側に相当する。そして、アクチュエータ１００のＺ１側は、アクチュエータ１００の上側に相当し、アクチュエータ１００のＺ２側は、アクチュエータ１００の下側に相当する。他の図においても同様である。また、アクチュエータ１００を構成する部材についても同様である。
【0010】
図示例では、アクチュエータ１００は、被駆動部材としての光学素子ＯＥを動かすことができるように構成されている。具体的には、アクチュエータ１００は、Ｚ軸方向に平行に延びるアクチュエータ１００の中心軸ＣＸに沿って光学素子ＯＥを平行移動させ、且つ、中心軸ＣＸに垂直な平面における回転軸ＡＸの回りで光学素子ＯＥを回転させることができるように構成されている。より具体的には、回転軸ＡＸは、Ｘ軸に平行な第１回転軸ＡＸ１と、Ｙ軸に平行な第２回転軸ＡＸ２とを含む。中心軸ＣＸ、第１回転軸ＡＸ１、及び第２回転軸ＡＸ２は互いに垂直であり、光学素子ＯＥの中心点ＣＰで互いに直交している。光学素子ＯＥの中心点ＣＰは、光学素子ＯＥの上面（Ｚ１側の面）上の点であってもよく、光学素子ＯＥの下面（Ｚ２側の面）上の点であってもよく、光学素子ＯＥの上面と下面との間の中間に位置する仮想的な平面上の点であってもよい。図示例では、光学素子ＯＥの中心点ＣＰは、光学素子ＯＥの上面（Ｚ１側の面）上の点である。この場合、アクチュエータ１００は、中心軸ＣＸと光学素子ＯＥの上面との交点の位置を変化させることなく、光学素子ＯＥを傾けることができる。
【0011】
具体的には、アクチュエータ１００は、図１に示すように、固定部材ＦＢとしてのケース部材１と、可動部材ＭＢ（第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４）と、ケース部材１に対して可動部材ＭＢを移動可能に支持する支持部材２と、支持部材２をケース部材１に締結するための締結部材３と、を含む。
【0012】
ケース部材１は、アクチュエータ１００の本体を構成する部材である。図示例では、ケース部材１は、後述の磁気回路の一部を構成する磁性体で形成されている。但し、ケース部材１は、非磁性体で形成されていてもよい。この場合、後述の磁気回路の一部はケース部材１とは別の部材としてケース部材１に埋め込まれていてもよく、ケース部材１に固定されていてもよい。具体的には、ケース部材１は、合成樹脂で形成されていてもよく、金属で形成されていてもよく、或いは、セラミックス、ゴム、若しくはガラス等で形成されていてもよい。或いは、ケース部材１は、二つ以上の材料で形成されていてもよい。例えば、ケース部材１は、合成樹脂で形成された部分と金属で形成された部分とを含むものであってもよい。この場合、ケース部材１は、インサート成形によって形成されていてもよい。
【0013】
可動部材ＭＢは、固定部材ＦＢに対して相対的に移動可能な部材である。図示例では、可動部材ＭＢは、駆動装置ＤＭ（図１１、図１２、及び図１５参照）により、Ｚ軸方向に平行な方向である駆動方向に移動できるように構成されている。具体的には、可動部材ＭＢは、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４を含み、駆動装置ＤＭは第１駆動装置ＤＭ１～第４駆動装置ＤＭ４を含む。そして、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４は、第１駆動装置ＤＭ１～第４駆動装置ＤＭ４によって互いに独立して移動できるように構成されている。より具体的には、第１可動部材ＭＢ１は、第１駆動装置ＤＭ１（図１１参照）によって駆動方向に移動できるように構成され、第２可動部材ＭＢ２は、第２駆動装置ＤＭ２（図１１参照）によって駆動方向に移動できるように構成され、第３可動部材ＭＢ３は、第３駆動装置ＤＭ３（図１２参照）によって駆動方向に移動できるように構成され、第４可動部材ＭＢ４は、第４駆動装置ＤＭ４（図１５参照）によって駆動方向に移動できるように構成されている。そして、第１可動部材ＭＢ１と第２可動部材ＭＢ２とは、上面視において、第２回転軸ＡＸ２に関して線対称となるように配置され、第３可動部材ＭＢ３と第４可動部材ＭＢ４とは、上面視において、第２回転軸ＡＸ２に関して線対称となるように配置されている。また、第１可動部材ＭＢ１と第４可動部材ＭＢ４とは、上面視において、第１回転軸ＡＸ１に関して線対称となるように配置され、第２可動部材ＭＢ２と第３可動部材ＭＢ３とは、上面視において、第１回転軸ＡＸ１に関して線対称となるように配置されている。
【0014】
支持部材２は、ケース部材１の上端部（Ｚ１側の端部）に固定される上側支持部材２Ｕと、ケース部材１の下端部（Ｚ２側の端部）に固定される下側支持部材２Ｄと、を含む。図示例では、上側支持部材２Ｕと下側支持部材２Ｄとは、板ばねで形成された同一の部品であり同じ形状及び同じ大きさを有する。
【0015】
具体的には、上側支持部材２Ｕは、図３に示すように、最も内側に位置する上可動側部分２Ｕ１と、最も外側に位置する上固定側部分２Ｕ３と、上可動側部分２Ｕ１と上固定側部分２Ｕ３との間に位置する上中間部分２Ｕ２とを含む。
【0016】
図３は、光学素子ＯＥが取り付けられた上側支持部材２Ｕの上面図である。図３では、明瞭化のため、上可動側部分２Ｕ１及び上固定側部分２Ｕ３に粗いドットパターンが付され、上中間部分２Ｕ２に細かいドットパターンが付されている。
【0017】
図示例では、光学素子ＯＥは、上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１の中央部に接着剤で接着固定されている。但し、光学素子ＯＥは、上可動側部分２Ｕ１の中央部に形成された貫通孔に嵌め込まれていてもよい。また、図示例では、光学素子ＯＥは、上面視で矩形状となるように構成されているが、上面視で円形、楕円形、又は多角形等の他の形状となるように構成されていてもよい。また、図示例では、光学素子ＯＥは、平板状となるように構成されているが、球状、円錐台状、角錐台状、円柱状、楕円柱状、又は多角柱状等の立体状となるように構成されていてもよい。
【0018】
具体的には、上側支持部材２Ｕは、ケース部材１の上端部に接続される上固定側部分２Ｕ３と、四つの可動部材ＭＢ（第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４）のそれぞれの上端部に回動可能に連結される上可動側部分２Ｕ１と、上固定側部分２Ｕ３と上可動側部分２Ｕ１との間を弾性的に繋ぐ上中間部分２Ｕ２と、を含む。
【0019】
上可動側部分２Ｕ１が第１可動部材ＭＢ１の上端部に関して回動可能であることは、例えば、第１可動部材ＭＢ１の駆動方向に延びる第１可動部材ＭＢ１の中心線（Ｚ軸に平行な線）に関して上可動側部分２Ｕ１の上面を含む仮想平面が任意の方向に所定の角度範囲内の傾斜角で傾斜できることを意味する。図示例では、所定の角度範囲は、－２０度から＋２０度である。
【0020】
上中間部分２Ｕ２は、軸部２Ｓ及び環状部２Ｍを含む。軸部２Ｓは、後側軸部２ＳＢ、前側軸部２ＳＦ、左側軸部２ＳＬ、及び右側軸部２ＳＲを含む。一対の軸部である後側軸部２ＳＢ及び前側軸部２ＳＦは、第１回転軸ＡＸ１を構成し、別の一対の軸部である左側軸部２ＳＬ及び右側軸部２ＳＲは、第２回転軸ＡＸ２を構成している。
【0021】
具体的には、左側軸部２ＳＬ及び右側軸部２ＳＲは、環状部２Ｍと上可動側部分２Ｕ１とを弾性的に連結するように構成され、後側軸部２ＳＢ及び前側軸部２ＳＦは、環状部２Ｍと上固定側部分２Ｕ３とを弾性的に連結するように構成されている。環状部２Ｍは、弾性変形しないように構成されている。可動部材ＭＢが移動したときに軸部２Ｓが確実に弾性変形できるようにするためである。但し、環状部２Ｍは、僅かに弾性変形するように構成されていてもよい。
【0022】
図示例では、上固定側部分２Ｕ３は、後側辺部２Ｕ３Ｂ、前側辺部２Ｕ３Ｆ、左側辺部２Ｕ３Ｌ、及び右側辺部２Ｕ３Ｒを有する。そして、後側軸部２ＳＢは、環状部２Ｍと上固定側部分２Ｕ３の後側辺部２Ｕ３Ｂとを弾性的に連結するように構成され、前側軸部２ＳＦは、環状部２Ｍと上固定側部分２Ｕ３の前側辺部２Ｕ３Ｆとを弾性的に連結するように構成されている。また、左側軸部２ＳＬは、環状部２Ｍと上可動側部分２Ｕ１の左側部とを弾性的に連結するように構成され、右側軸部２ＳＲは、環状部２Ｍと上可動側部分２Ｕ１の右側部とを弾性的に連結するように構成されている。しかしながら、左側軸部２ＳＬは、環状部２Ｍと上固定側部分２Ｕ３の左側辺部２Ｕ３Ｌとを弾性的に連結するように構成され、右側軸部２ＳＲは、環状部２Ｍと上固定側部分２Ｕ３の右側辺部２Ｕ３Ｒとを弾性的に連結するように構成されていてもよい。この場合、後側軸部２ＳＢは、環状部２Ｍと上可動側部分２Ｕ１の後側部とを弾性的に連結するように構成され、前側軸部２ＳＦは、環状部２Ｍと上可動側部分２Ｕ１の前側部とを弾性的に連結するように構成されていてもよい。
【0023】
また、図示例では、四つの軸部２Ｓは、第１回転軸ＡＸ１と第２回転軸ＡＸ２とが互いに直交するように配置されているが、第１回転軸ＡＸ１と第２回転軸ＡＸ２とが直角以外の角度で互いに交差するように配置されていてもよい。また、四つの軸部２Ｓは、第１回転軸ＡＸ１が矩形の光学素子ＯＥの二つの対角線のうちの一方に沿って延び且つ第２回転軸ＡＸ２が二つの対角線のうちの他方に沿って延びるように配置されていてもよい。
【0024】
また、上可動側部分２Ｕ１と上固定側部分２Ｕ３とは四つの軸部２Ｓ（後側軸部２ＳＢ、前側軸部２ＳＦ、左側軸部２ＳＬ、及び右側軸部２ＳＲ）によって弾性的に連結されていてもよい。すなわち、上中間部分２Ｕ２は、後側軸部２ＳＢ、前側軸部２ＳＦ、左側軸部２ＳＬ、及び右側軸部２ＳＲによって構成され、環状部２Ｍは省略されてもよい。この場合、上可動側部分２Ｕ１と上固定側部分２Ｕ３とは二つ又は三つの軸部によって弾性的に連結されていてもよく、五つ以上の軸部によって弾性的に連結されていてもよい。
【0025】
また、図示例では、四つの軸部２Ｓのそれぞれは、ミアンダ形状を有するように構成されている。上可動側部分２Ｕ１が第１回転軸ＡＸ１の回りに回転して後側軸部２ＳＢ及び前側軸部２ＳＦのそれぞれにねじり応力が作用したときの後側軸部２ＳＢ及び前側軸部２ＳＦのそれぞれの破損を抑制するためである。また、上可動側部分２Ｕ１が第２回転軸ＡＸ２の回りに回転して左側軸部２ＳＬ及び右側軸部２ＳＲのそれぞれにねじり応力が作用したときの左側軸部２ＳＬ及び右側軸部２ＳＲのそれぞれの破損を抑制するためである。但し、軸部２Ｓは、直線状の形状等、ミアンダ形状以外の形状を有していてもよい。
【0026】
下側支持部材２Ｄは、光学素子ＯＥが取り付けられている点を除き、上側支持部材２Ｕと同様に構成されている。すなわち、下側支持部材２Ｄは、図４に示すように、ケース部材１の下端部に接続される下固定側部分２Ｄ３と、四つの可動部材ＭＢ（第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４）のそれぞれの下端部に回動可能に連結される下可動側部分２Ｄ１と、下固定側部分２Ｄ３と下可動側部分２Ｄ１との間を弾性的に繋ぐ下中間部分２Ｄ２と、を含む。そして、下可動側部分２Ｄ１は、中心軸ＣＸに沿って平行移動できるように、且つ、中心軸ＣＸに垂直な平面における回転軸ＢＸの回りで回転できるように構成されている。具体的には、回転軸ＢＸは、図２に示すように、Ｘ軸に平行な第１回転軸ＢＸ１と、Ｙ軸に平行な第２回転軸ＢＸ２とを含む。中心軸ＣＸ、第１回転軸ＢＸ１、及び第２回転軸ＢＸ２は互いに垂直であり、中心軸ＣＸ上で互いに直交している。また、第１回転軸ＡＸ１と第１回転軸ＢＸ１とは互いに平行であり、第２回転軸ＡＸ２と第２回転軸ＢＸ２とは互いに平行である。
【0027】
締結部材３は、支持部材２をケース部材１に締結できるように構成されている。図示例では、締結部材３はボルトであり、上側支持部材２Ｕをケース部材１の上端部に締結するための六つの上側締結部材３Ｕと、下側支持部材２Ｄをケース部材１の下端部に締結するための六つの下側締結部材３Ｄと、を含む。なお、図１では、六つの下側締結部材３Ｄのうちの後側の三つはケース部材１の陰に隠れて不可視となっている。上側支持部材２Ｕの上固定側部分２Ｕ３には、図３に示すように、上側締結部材３Ｕが挿通される貫通孔２Ｈが形成されている。下固定側部分２Ｄ３についても同様である。
【0028】
【0029】
可動部材ＭＢは、図４に示すように、固着部材４、弾性部材５、及びコイルアセンブリＣＡを含む。
【0030】
固着部材４は、弾性部材５を支持部材２に固着させるための部材である。弾性部材５は、駆動方向における可動部材ＭＢ（コイルアセンブリＣＡ）の端部が支持部材２に対して回動可能となるように可動部材ＭＢ（コイルアセンブリＣＡ）の端部を支持部材２に連結するための連結部材の一例である。連結部材は、可動部材ＭＢ（コイルアセンブリＣＡ）の直動運動を被駆動部材（光学素子ＯＥ）の回転運動に変換する機能をもたらす。
【0031】
図示例では、固着部材４は合成樹脂で形成され、弾性部材５はゴムで形成されている。そして、固着部材４は上側固着部材４Ｕ及び下側固着部材４Ｄを含み、弾性部材５は上側弾性部材５Ｕ及び下側弾性部材５Ｄを含む。なお、固着部材４は、弾性を有するように構成されていてもよい。例えば、固着部材４は、熱硬化性エラストマー又は熱可塑性エラストマー等で形成されていてもよい。
【0032】
具体的には、上側弾性部材５Ｕは、可動部材ＭＢ（コイルアセンブリＣＡ）の上端部が上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に対して回動可能となるように可動部材ＭＢ（コイルアセンブリＣＡ）の上端部を上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に連結できるように構成されている。同様に、下側弾性部材５Ｄは、可動部材ＭＢ（コイルアセンブリＣＡ）の下端部が下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に対して回動可能となるように可動部材ＭＢ（コイルアセンブリＣＡ）の下端部を下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に連結できるように構成されている。
【0033】
上側固着部材４Ｕは、上側弾性部材５Ｕを上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に固定できるように構成され、下側固着部材４Ｄは、下側弾性部材５Ｄを下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に固定できるように構成されている。
【0034】
より具体的には、上側固着部材４Ｕは第１上側固着部材４Ｕ１～第４上側固着部材４Ｕ４を含み、下側固着部材４Ｄは第１下側固着部材４Ｄ１～第４下側固着部材４Ｄ４を含む。また、上側弾性部材５Ｕは第１上側弾性部材５Ｕ１～第４上側弾性部材５Ｕ４を含み、下側弾性部材５Ｄは第１下側弾性部材５Ｄ１～第４下側弾性部材５Ｄ４を含む。また、コイルアセンブリＣＡは、第１コイルアセンブリＣＡ１～第４コイルアセンブリＣＡ４を含む。
【0035】
そして、第１可動部材ＭＢ１は、第１上側固着部材４Ｕ１、第１上側弾性部材５Ｕ１、第１コイルアセンブリＣＡ１、第１下側固着部材４Ｄ１、及び第１下側弾性部材５Ｄ１で構成されている。また、第２可動部材ＭＢ２は、第２上側固着部材４Ｕ２、第２上側弾性部材５Ｕ２、第２コイルアセンブリＣＡ２、第２下側固着部材４Ｄ２、及び第２下側弾性部材５Ｄ２で構成されている。また、第３可動部材ＭＢ３は、第３上側固着部材４Ｕ３、第３上側弾性部材５Ｕ３、第３コイルアセンブリＣＡ３、第３下側固着部材４Ｄ３、及び第３下側弾性部材５Ｄ３で構成されている。また、第４可動部材ＭＢ４は、第４上側固着部材４Ｕ４、第４上側弾性部材５Ｕ４、第４コイルアセンブリＣＡ４、第４下側固着部材４Ｄ４、及び第４下側弾性部材５Ｄ４で構成されている。
【0036】
そして、第１可動部材ＭＢ１に関しては、第１上側弾性部材５Ｕ１は、筒状の中央環状部ＭＲ（図１３及び図１４参照）が上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に形成された貫通丸孔２Ｔ（第１貫通丸孔２Ｔ１、図３参照）に嵌め込まれる。第１上側固着部材４Ｕ１は、第１上側固着部材４Ｕ１と第１上側弾性部材５Ｕ１との間で上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１が挟持された状態で、接着剤により上側支持部材２Ｕ及び第１上側弾性部材５Ｕ１に接着固定される。同様に、第１下側弾性部材５Ｄ１は、筒状の中央環状部ＭＲ（図示せず）が下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に形成された貫通丸孔２Ｔ（第１貫通丸孔２Ｔ１、図示せず）に嵌め込まれる。第１下側固着部材４Ｄ１は、第１下側固着部材４Ｄ１と第１下側弾性部材５Ｄ１との間で下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１が挟持された状態で、接着剤により下側支持部材２Ｄ及び第１下側弾性部材５Ｄ１に接着固定される。第２可動部材ＭＢ２～第４可動部材ＭＢ４についても同様である。
【0037】
なお、図示例では、可動部材ＭＢは、上側支持部材２Ｕの上側に上側固着部材４Ｕが配置され、上側支持部材２Ｕの下側に上側弾性部材５Ｕが配置されるように構成されているが、上側支持部材２Ｕの上側に上側弾性部材５Ｕが上下を反転させた状態で配置され、上側支持部材２Ｕの下側に上側固着部材４Ｕが上下を反転させた状態で配置されるように構成されていてもよい。また、図示例では、可動部材ＭＢは、下側支持部材２Ｄの上側に下側固着部材４Ｄが配置され、下側支持部材２Ｄの下側に下側弾性部材５Ｄが配置されるように構成されているが、下側支持部材２Ｄの上側に下側弾性部材５Ｄが上下を反転させた状態で配置され、下側支持部材２Ｄの下側に下側固着部材４Ｄが上下を反転させた状態で配置されるように構成されていてもよい。
【0038】
【0039】
コイルアセンブリＣＡは、図５に示すように、コイル６、コイル保持部材７、基板８、下側板部材９、及び下側筒部材１０を含む。
【0040】
コイル６は、駆動装置ＤＭの構成要素である。図示例では、コイル６は、絶縁材料で表面を被覆された導電線が巻回されて形成される巻き線コイルであり、コイル保持部材７に固定されている。図５は、明瞭化のため、導電線の詳細な巻回状態の図示を省略している。コイル６を図示する他の図においても同様である。
【0041】
コイル保持部材７は、コイル６を保持するための部材である。図示例では、コイル保持部材７は合成樹脂で形成されている。
【0042】
基板８は、コイル６と可動部材ＭＢの外側に配置された制御部（図示せず）との接続を実現するための部材である。図示例では、基板８は、コイル保持部材７に固定された絶縁基板である。コイル６を構成する導電線の両端は基板８上に設けられた端子に接続されている。
【0043】
制御部は、電子回路及び不揮発性記憶装置等を含む装置であり、コイル６を流れる電流の向き及び大きさを制御できるように構成されている。制御部は、コンピュータ等の外部装置からの制御指令に応じてコイル６を流れる電流の向き及び大きさを制御するように構成されていてもよく、外部装置からの制御指令を受けずにコイル６を流れる電流の向き及び大きさを制御するように構成されていてもよい。なお、図示例では、制御部は、ケース部材１の外部に設置されているが、ケース部材１の内部に設置されていてもよい。
【0044】
下側板部材９は、コイル保持部材７の下端部に取り付けられる部材である。図示例では、下側板部材９は、ＸＹ平面に平行な平面に沿って延びる円板状の部材であり、合成樹脂で形成されている。
【0045】
下側筒部材１０は、下側板部材９の下側に取り付けられる部材である。図示例では、下側筒部材１０は、駆動方向（Ｚ軸方向）に延びる二段円筒状の部材であり、合成樹脂で形成されている。
【0046】
また、図示例では、コイル６は第１コイル６Ａ～第４コイル６Ｄを含み、コイル保持部材７は、第１コイル保持部材７Ａ～第４コイル保持部材７Ｄを含み、基板８は第１基板８Ａ～第４基板８Ｄを含む。また、下側板部材９は第１下側板部材９Ａ～第４下側板部材９Ｄを含み、下側筒部材１０は第１下側筒部材１０Ａ～第４下側筒部材１０Ｄを含む。
【0047】
そして、第１コイルアセンブリＣＡ１は、第１コイル６Ａ、第１コイル保持部材７Ａ、第１基板８Ａ、第１下側板部材９Ａ、及び第１下側筒部材１０Ａで構成され、第２コイルアセンブリＣＡ２は、第２コイル６Ｂ、第２コイル保持部材７Ｂ、第２基板８Ｂ、第２下側板部材９Ｂ、及び第２下側筒部材１０Ｂで構成されている。また、第３コイルアセンブリＣＡ３は、第３コイル６Ｃ、第３コイル保持部材７Ｃ、第３基板８Ｃ、第３下側板部材９Ｃ、及び第３下側筒部材１０Ｃで構成され、第４コイルアセンブリＣＡ４は、第４コイル６Ｄ、第４コイル保持部材７Ｄ、第４基板８Ｄ、第４下側板部材９Ｄ、及び第４下側筒部材１０Ｄで構成されている。
【0048】
次に、図６を参照し、コイル保持部材７について説明する。図６は、コイル保持部材７の斜視図である。具体的には、図６は、第１コイル保持部材７Ａの斜視図である。図６を参照する以下の説明は、第１コイル保持部材７Ａに関するが、第２コイル保持部材７Ｂ～第４コイル保持部材７Ｄのそれぞれにも同様に適用される。
【0049】
第１コイル保持部材７Ａは、図６に示すように、第１上側筒部７ＡＴ、第１上側板部７ＡＵ、第１中央筒部７ＡＳ、第１基板保持部７ＡＦ、及び第１脚部７ＡＬを含む。
【0050】
第１上側筒部７ＡＴは、駆動方向（Ｚ軸方向）に延びる円筒状の部分であり、第１下側筒部材１０Ａに対応している。
【0051】
第１上側板部７ＡＵは、ＸＹ平面に平行な平面に沿って延びる円板状の部分であり、第１下側板部材９Ａに対応している。図示例では、第１上側板部７ＡＵは、第１中央筒部７ＡＳの上蓋を構成している。
【0052】
第１中央筒部７ＡＳは、第１コイル６Ａが固定される部分である。図示例では、第１中央筒部７ＡＳは、円筒形状を有する。また、第１中央筒部７ＡＳは、第１駆動装置ＤＭ１を構成する第１磁性部材１１Ａ及び第１磁石１２Ａ（図７参照）を収容するための空間をその内部に定めるように構成されている。
【0053】
第１基板保持部７ＡＦは、第１基板８Ａが取り付けられる部分である。図示例では、第１基板保持部７ＡＦは、第１中央筒部７ＡＳの下端部から左側（Ｙ１側）に突出するように構成されている。
【0054】
第１脚部７ＡＬは、第１コイル保持部材７Ａの第１中央筒部７ＡＳと第１下側板部材９Ａとを繋ぐ部分である。図示例では、第１脚部７ＡＬは、駆動方向（Ｚ軸方向）に延びる三つの延在部（第１延在部７ＡＬ１～第３延在部７ＡＬ３）を有する。第１下側板部材９Ａは、これら三つの延在部（第１延在部７ＡＬ１～第３延在部７ＡＬ３）のそれぞれの下端を連結できるように構成されている。
【0055】
次に、図７～図９を参照し、固定部材ＦＢについて説明する。図７は固定部材ＦＢの分解斜視図である。図８の上図は、固定部材ＦＢの上面図であり、図８の下図は、固定部材ＦＢの下面図である。図９は、固定部材ＦＢの断面図である。具体的には、図９は、図８に示す切断線（破線ＩＸ－ＩＸ）を含むＸＺ平面に平行な平面におけるアクチュエータ１００の断面をＹ２側から見たときの図である。図８及び図９では、明瞭化のため、ケース部材１にドットパターンが付されている。また、図８の上図では、明瞭化のため、磁性部材１１にクロスパターンが付されている。
【0056】
固定部材ＦＢは、図７に示すように、ケース部材１、磁性部材１１、及び磁石１２を含む。
【0057】
【0058】
上側凹部１Ｐには、図８の上図に示すように、可動部材ＭＢの上部を収容するための円柱状凹部１Ｖ、及び、基板８を収容するための角柱状凹部１Ｒが形成されている。
【0059】
【0060】
具体的には、円柱状凹部１Ｖは、第１可動部材ＭＢ１の上部を収容するための第１円柱状凹部１ＶＡ、第２可動部材ＭＢ２の上部を収容するための第２円柱状凹部１ＶＢ、第３可動部材ＭＢ３の上部を収容するための第３円柱状凹部１ＶＣ、及び、第４可動部材ＭＢ４の上部を収容するための第４円柱状凹部１ＶＤを含む。
【0061】
また、第１円柱状凹部１ＶＡには、第１底部１ＫＡが形成され、第１底部１ＫＡの周囲には、三つの第１貫通孔１ＨＡ（第１孔１ＨＡ１～第３孔１ＨＡ３）と三つの第１架橋部１ＪＡ（第１桟１ＪＡ１～第３桟１ＪＡ３）とが形成されている。第２円柱状凹部１ＶＢ～第４円柱状凹部１ＶＤについても同様である。
【0062】
また、角柱状凹部１Ｒは、第１基板８Ａを収容するための第１角柱状凹部１ＲＡ、第２基板８Ｂを収容するための第２角柱状凹部１ＲＢ、第３基板８Ｃを収容するための第３角柱状凹部１ＲＣ、及び、第４基板８Ｄを収容するための第４角柱状凹部１ＲＤを含む。
【0063】
下側凹部１Ｑには、図８の下図に示すように、可動部材ＭＢの下部を収容するための角柱状凹部１Ｗが形成されている。
【0064】
磁性部材１１は、駆動装置ＤＭの構成要素である。図示例では、磁性部材１１は、磁石１２の上端部に固定される円柱状の磁性体（軟鉄）であり、磁石１２が発生させる磁束の密度を増大させるヨークとして機能する。
【0065】
磁石１２は、駆動装置ＤＭの構成要素である。図示例では、磁石１２は、上下方向（Ｚ軸方向）に二極着磁された永久磁石であり、ケース部材１の円柱状凹部１Ｖの底部１Ｋの上面に固定されている。図９では、明瞭化のため、磁石１２のＳ極部分には粗いクロスパターンが付され、磁石１２のＮ極部分とそのＮ極部分に固定された磁性部材１１には細かいドットパターンが付されている。また、図９における点線は、磁石１２が発生させる磁束の一部を表している。すなわち、図９における点線は、ケース部材１、磁性部材１１、及び磁石１２によって磁気回路が構成されることを表している。
【0066】
具体的には、磁性部材１１は第１磁性部材１１Ａ～第４磁性部材１１Ｄを含み、磁石１２は第１磁石１２Ａ～第４磁石１２Ｄを含む。
【0067】
そして、第１円柱状凹部１ＶＡには第１磁性部材１１Ａ及び第１磁石１２Ａが収容され、第２円柱状凹部１ＶＢには第２磁性部材１１Ｂ及び第２磁石１２Ｂが収容され、第３円柱状凹部１ＶＣには第３磁性部材１１Ｃ及び第３磁石１２Ｃが収容され、第４円柱状凹部１ＶＤには第４磁性部材１１Ｄ及び第４磁石１２Ｄが収容されている。
【0068】
そして、第１円柱状凹部１ＶＡに収容された第１コイル６Ａ、第１磁性部材１１Ａ、及び第１磁石１２Ａは第１駆動装置ＤＭ１を構成し、第２円柱状凹部１ＶＢに収容された第２コイル６Ｂ、第２磁性部材１１Ｂ、及び第２磁石１２Ｂは第２駆動装置ＤＭ２を構成し、第３円柱状凹部１ＶＣに収容された第３コイル６Ｃ、第３磁性部材１１Ｃ、及び第３磁石１２Ｃは第３駆動装置ＤＭ３を構成し、第４円柱状凹部１ＶＤに収容された第４コイル６Ｄ、第４磁性部材１１Ｄ、及び第４磁石１２Ｄは第４駆動装置ＤＭ４を構成している。
【0069】
また、第１円柱状凹部１ＶＡの第１底部１ＫＡの周囲に形成された三つの第１貫通孔１ＨＡ（第１孔１ＨＡ１～第３孔１ＨＡ３）は、第１コイル保持部材７Ａの第１脚部７ＡＬ（図６参照）を構成する三つの延在部（第１延在部７ＡＬ１～第３延在部７ＡＬ３）に対応するように構成されている。具体的には、第１孔１ＨＡ１は、第１延在部７ＡＬ１を受け入れるように配置され、第２孔１ＨＡ２は、第２延在部７ＡＬ２を受け入れるように配置され、第３孔１ＨＡ３は、第３延在部７ＡＬ３を受け入れるように配置されている。第２コイル保持部材７Ｂ～第４コイル保持部材７Ｄについても同様である。
【0070】
次に、図１０～図１２を参照し、駆動装置ＤＭについて説明する。図１０は、アクチュエータ１００の上面図である。図１１及び図１２は、アクチュエータ１００の断面図である。具体的には、図１１は、図１０に示す切断線（破線ＸＩ－ＸＩ）を含むＸＺ平面に平行な平面におけるアクチュエータ１００の断面をＹ２側から見たときの図である。図１２は、図１０に示す切断線（破線ＸＩＩ－ＸＩＩ）を含むＹＺ平面に平行な平面におけるアクチュエータ１００の断面をＸ１側から見たときの図である。なお、図１０～図１２では、明瞭化のため、ケース部材１にはドットパターンが付されている。
【0071】
駆動装置ＤＭは、コイル６、磁性部材１１、及び磁石１２によって構成されている。具体的には、駆動装置ＤＭは、磁石１２が発生させる磁場においてコイル６を流れる電流（荷電粒子）に作用するローレンツ力を利用して可動部材ＭＢを駆動方向（Ｚ軸方向）に往復動させることができるように構成されている。磁石１２は、その磁束密度がヨークとして機能する磁性部材１１によって高められ、その磁束がコイル６を構成する導電線を垂直に横切るように構成されている。
【0072】
具体的には、第１駆動装置ＤＭ１は、図１１に示すように、第１コイル保持部材７Ａによって保持された第１コイル６Ａと、ケース部材１の第１底部１ＫＡの上面に固定された第１磁石１２Ａと、第１磁石１２Ａの上面に固定された第１磁性部材１１Ａとによって構成されている。そして、第１駆動装置ＤＭ１は、両矢印ＡＲ１で示すように、第１可動部材ＭＢ１を駆動方向（Ｚ軸方向）に沿って往復動させることができるように構成されている。また、第１可動部材ＭＢ１は、その上端部が第１上側固着部材４Ｕ１及び第１上側弾性部材５Ｕ１を介して上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に回動可能に連結され、その下端部が第１下側固着部材４Ｄ１及び第１下側弾性部材５Ｄ１を介して下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に回動可能に連結されている。
【0073】
また、第２駆動装置ＤＭ２は、図１１に示すように、第２コイル保持部材７Ｂによって保持された第２コイル６Ｂと、ケース部材１の第２底部１ＫＢの上面に固定された第２磁石１２Ｂと、第２磁石１２Ｂの上面に固定された第２磁性部材１１Ｂとによって構成されている。そして、第２駆動装置ＤＭ２は、両矢印ＡＲ２で示すように、第２可動部材ＭＢ２を駆動方向（Ｚ軸方向）に沿って往復動させることができるように構成されている。また、第２可動部材ＭＢ２は、その上端部が第２上側固着部材４Ｕ２及び第２上側弾性部材５Ｕ２を介して上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に回動可能に連結され、その下端部が第２下側固着部材４Ｄ２及び第２下側弾性部材５Ｄ２を介して下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に回動可能に連結されている。
【0074】
また、第３駆動装置ＤＭ３は、図１２に示すように、第３コイル保持部材７Ｃによって保持された第３コイル６Ｃと、ケース部材１の第３底部１ＫＣの上面に固定された第３磁石１２Ｃと、第３磁石１２Ｃの上面に固定された第３磁性部材１１Ｃとによって構成されている。そして、第３駆動装置ＤＭ３は、両矢印ＡＲ３で示すように、第３可動部材ＭＢ３を駆動方向（Ｚ軸方向）に沿って往復動させることができるように構成されている。また、第３可動部材ＭＢ３は、その上端部が第３上側固着部材４Ｕ３及び第３上側弾性部材５Ｕ３を介して上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に回動可能に連結され、その下端部が第３下側固着部材４Ｄ３及び第３下側弾性部材５Ｄ３を介して下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に回動可能に連結されている。
【0075】
同様に、第４駆動装置ＤＭ４は、図１５に示すように、第４コイル保持部材７Ｄによって保持された第４コイル６Ｄと、ケース部材１の第４底部１ＫＤの上面に固定された第４磁石１２Ｄと、第４磁石１２Ｄの上面に固定された第４磁性部材１１Ｄとによって構成されている。そして、第４駆動装置ＤＭ４は、第４可動部材ＭＢ４を駆動方向（Ｚ軸方向）に沿って往復動させることができるように構成されている。また、第４可動部材ＭＢ４は、その上端部が第４上側固着部材４Ｕ４及び第４上側弾性部材５Ｕ４を介して上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に回動可能に連結され、その下端部が第４下側固着部材４Ｄ４及び第４下側弾性部材５Ｄ４を介して下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に回動可能に連結されている。
【0076】
制御部は、第１駆動装置ＤＭ１～第４駆動装置ＤＭ４のそれぞれを別々に動作させることにより、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４のそれぞれを駆動方向（Ｚ軸方向）に沿って別々に上下動させることができる。そのため、制御部は、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４のそれぞれの上端部が連結された上側支持部材２Ｕにおける上可動側部分２Ｕ１の、第１回転軸ＡＸ１の回りの回転、第２回転軸ＡＸ２の回りの回転、及び、中心軸ＣＸに沿った平行移動を実現できる。また、制御部は、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４のそれぞれの下端部が連結された下側支持部材２Ｄにおける下可動側部分２Ｄ１の、第１回転軸ＢＸ１の回りの回転、第２回転軸ＢＸ２の回りの回転、及び、中心軸ＣＸに沿った平行移動を実現できる。
【0077】
次に、図１３及び図１４を参照し、弾性部材５の詳細について説明する。図１３は、第１上側弾性部材５Ｕ１の斜視図であり、図１４は、第１上側弾性部材５Ｕ１の上面図である。図１３及び図１４を参照する以下の説明は、第１上側弾性部材５Ｕ１に関するが、同じ大きさ及び同じ形状を有する第２上側弾性部材５Ｕ２～第４上側弾性部材５Ｕ４及び第１下側弾性部材５Ｄ１～第４下側弾性部材５Ｄ４のそれぞれにも同様に適用される。
【0078】
第１上側弾性部材５Ｕ１は、合成ゴム等の弾性変形可能な材料で形成された部材（ゴムブッシュ）である。図示例では、第１上側弾性部材５Ｕ１は、連結部ＳＰ、内側環状部ＩＲ、中央環状部ＭＲ、及び外側環状部ＯＲを含む。
【0079】
連結部ＳＰは、内側環状部ＩＲと中央環状部ＭＲとを連結する部分である。図示例では、連結部ＳＰは、内側環状部ＩＲの外周面から上面視で放射状に延びて中央環状部ＭＲの内周面に連結される六本のスポーク部（第１スポーク部ＳＰ１～第６スポーク部ＳＰ６）を含む。但し、連結部ＳＰは、五本以下のスポーク部で構成されていてもよく、七本以上のスポーク部で構成されていてもよい。また、図示例では、連結部ＳＰは、直線状に延びる六本のスポーク部で構成されているが、渦巻き状に延びる複数のスポーク部で構成されていてもよく、他の形状を有する複数のスポーク部で構成されていてもよい。或いは、連結部は、内側環状部ＩＲの外周面から上面視で全周方向に広がって中央環状部ＭＲの内周面に連結される円環状の薄膜部で構成されていてもよい。この場合、薄膜部は、平板状であってもよく、上側に凸となるドーム状であってもよく、下側に凸となるドーム状であってもよい。
【0080】
内側環状部ＩＲは、第１コイル保持部材７Ａの第１上側筒部７ＡＴ（図６参照）の上端部に固定される部分である。図示例では、内側環状部ＩＲは、ボルトＢＴ及びナットＮＴ（後述の図１７参照）によって第１上側筒部７ＡＴに締結されている。
【0081】
中央環状部ＭＲは、第１上側固着部材４Ｕ１の内周面に固定される部分である。図示例では、中央環状部ＭＲは、後述の図１７に示すように、外側環状部ＯＲの上面よりも上方に突出するように形成され、且つ、外側環状部ＯＲの上面と上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１の下面とが接しているときに上可動側部分２Ｕ１の上面よりも上方に突出するように形成されている。
【0082】
外側環状部ＯＲは、上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１の下面に固定される部分である。図１７に示す例では、中央環状部ＭＲの上面及び外周面と第１上側固着部材４Ｕ１の天井面及び内周面とは、第１上側固着部材４Ｕ１の下面と外側環状部ＯＲの上面との間に上可動側部分２Ｕ１が挟持された状態で、接着剤によって接着固定されている。
【0083】
次に、図１５～図１８を参照し、光学素子ＯＥが動かされたときの各部材の状態について説明する。具体的には、図１５～図１８は、第１可動部材ＭＢ１及び第４可動部材ＭＢ４を同じ距離だけ下方へ移動させ、且つ、第２可動部材ＭＢ２及び第３可動部材ＭＢ３を同じ距離だけ上方へ移動させたときの各部材の状態を示す。
【0084】
より具体的には、図１５は、可動部材ＭＢ及び支持部材２の右側面図である。図１６は、アクチュエータ１００の断面を右側（Ｙ２側）から見た図であり、切断線の位置は図１１における切断線の位置に対応している。図１７は、図１６における破線で囲まれた範囲Ｒ１の拡大図である。図１８は、上側支持部材２Ｕの斜視図である。
【0085】
制御部は、駆動装置ＤＭを駆動することによって上側支持部材２Ｕに取り付けられた光学素子ＯＥを動かすことができる。図１５及び図１６に示す例では、制御部は、第１駆動装置ＤＭ１及び第４駆動装置ＤＭ４のそれぞれを駆動して第１可動部材ＭＢ１及び第４可動部材ＭＢ４のそれぞれを距離ＨＴ１（図１６参照）だけ下方に移動させ、且つ、第２駆動装置ＤＭ２及び第３駆動装置ＤＭ３のそれぞれを駆動して第２可動部材ＭＢ２及び第３可動部材ＭＢ３のそれぞれを距離ＨＴ２（図１６参照）だけ上方に移動させている。その結果、制御部は、図１５に示すように、光学素子ＯＥを第２回転軸ＡＸ２の回りで反時計回り方向に傾斜角θ１だけ回転させている。図示例では、距離ＨＴ１と距離ＨＴ２とは同じ大きさである。但し、距離ＨＴ１と距離ＨＴ２とは互いに異なる大きさであってもよい。
【0086】
図１５の破線で表される第１平面ＰＬ１は、上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に平行で且つ第２回転軸ＡＸ２を含む仮想平面である。図１５の破線で表される第２平面ＰＬ２は、下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１に平行で且つ第２回転軸ＢＸ２を含む仮想平面である。
【0087】
図１５に示すように、下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１は、上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１と同じように回転するように構成されている。具体的には、下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１と上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１とは、第２平面ＰＬ２とＸＹ平面との間に形成される角度（傾斜角θ１）と第１平面ＰＬ１とＸＹ平面との間に形成される角度（傾斜角θ２）とが等しくなるように連動するように構成されている。
【0088】
また、駆動装置ＤＭは、図１６に示すように、ケース部材１に形成された円柱状凹部１Ｖの内周面とコイル６との間の距離を維持しながら可動部材ＭＢを上下動させるように構成されている。
【0089】
図示例では、制御部は、所定の大きさの電流がリード線（図示せず）を介して第２コイル６Ｂに供給されるように第２駆動装置ＤＭ２を制御し、距離ＨＴ２だけ第２可動部材ＭＢ２を上昇させている。同様に、制御部は、所定の大きさの電流がリード線（図示せず）を介して第３コイル６Ｃに供給されるように第３駆動装置ＤＭ３を制御し、距離ＨＴ２だけ第３可動部材ＭＢ３を上昇させている。一方で、制御部は、所定の大きさの電流がリード線（図示せず）を介して第１コイル６Ａに供給されるように第１駆動装置ＤＭ１を制御し、距離ＨＴ１だけ第１可動部材ＭＢ１を下降させている。同様に、制御部は、所定の大きさの電流がリード線（図示せず）を介して第４コイル６Ｄに供給されるように第４駆動装置ＤＭ４を制御し、距離ＨＴ１だけ第４可動部材ＭＢ４を下降させている。
【0090】
図示例では、第１可動部材ＭＢ１及びケース部材１は、第１可動部材ＭＢ１が初期状態のときも或いは駆動状態のときも、ケース部材１に形成された第１円柱状凹部１ＶＡの内周面と第１コイル６Ａとの間のＸ軸方向における距離ＧＰ１（図１６参照）が所定の範囲内に収まるように構成されている。
【0091】
第１可動部材ＭＢ１の初期状態は、第１コイル６Ａに電流が供給されていないときの第１可動部材ＭＢ１の状態を意味する。初期状態では、第１可動部材ＭＢ１は、第１可動部材ＭＢ１とケース部材１とが非接触となるように上側支持部材２Ｕ及び下側支持部材２Ｄによって支持されている。具体的には、第１可動部材ＭＢ１は、第１コイル保持部材７Ａの第１中央筒部７ＡＳの下端部とケース部材１の第１底部１ＫＡの上面との間のＺ軸方向における距離（高さ）が高さＳＴ（図１１参照）となるように上側支持部材２Ｕ及び下側支持部材２Ｄによって支持されている。
【0092】
第１可動部材ＭＢ１の駆動状態は、第１コイル６Ａに電流が供給されているときの第１可動部材ＭＢ１の状態を意味する。駆動状態では、第１可動部材ＭＢ１は、第１中央筒部７ＡＳの下端部と第１底部１ＫＡの上面との間の距離（高さ）が高さＳＴとは異なる高さになるように駆動される。
【0093】
駆動状態にあった第１可動部材ＭＢ１の第１コイル６Ａへの電流の供給が中止されると、第１可動部材ＭＢ１は初期状態に戻る。具体的には、第１可動部材ＭＢ１は、弾性的に変形した支持部材２（板ばね）の復元力によって初期状態のときの位置に戻される。
【0094】
同様に、第２可動部材ＭＢ２及びケース部材１は、第２可動部材ＭＢ２が初期状態のときも或いは駆動状態のときも、ケース部材１に形成された第２円柱状凹部１ＶＢの内周面と第２コイル６Ｂとの間のＸ軸方向における距離ＧＰ２（図１６参照）が所定の範囲内に収まるように構成されている。また、第３可動部材ＭＢ３及びケース部材１は、第３可動部材ＭＢ３が初期状態のときも或いは駆動状態のときも、ケース部材１に形成された第３円柱状凹部１ＶＣの内周面と第３コイル６Ｃとの間のＸ軸方向における距離ＧＰ３（図示せず）が所定の範囲内に収まるように構成されている。また、第４可動部材ＭＢ４及びケース部材１は、第４可動部材ＭＢ４が初期状態のときも或いは駆動状態のときも、ケース部材１に形成された第４円柱状凹部１ＶＤの内周面と第４コイル６Ｄとの間のＸ軸方向における距離ＧＰ４（図示せず）が所定の範囲内に収まるように構成されている。
【0095】
なお、図示例では、アクチュエータ１００は、距離ＧＰ１～距離ＧＰ４のそれぞれが同じ大きさの範囲内に収まるように構成されている。但し、アクチュエータ１００は、距離ＧＰ１～距離ＧＰ４のそれぞれが互いに異なる大きさの範囲内に収まるように構成されていてもよい。典型的には、距離ＧＰ１は、第１可動部材ＭＢ１の移動量が最大となるときに最小値となり、第１可動部材ＭＢ１が初期状態のときに最大値となる。距離ＧＰ２～距離ＧＰ４についても同様である。また、アクチュエータ１００は、可動部材ＭＢとケース部材１とが接触しない限りにおいて、距離ＧＰ１～距離ＧＰ４のそれぞれの最大値ができるだけ小さくなるように構成されている。磁性体としてのケース部材１と磁性部材１１との間の距離をできるだけ小さくすることによってコイル６を通過する磁束の密度ができるだけ大きくなるようにするためである。すなわち、駆動装置ＤＭによる駆動力を効率的に利用できるようにするためである。また、アクチュエータ１００のサイズを小さくできるようにするためである。
【0096】
図１５及び図１６に示すように上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１がＸＹ平面に対して傾くと、第１上側弾性部材５Ｕ１の連結部ＳＰは、図１７に示すように弾性的に変形する。図１７は、六つの連結部ＳＰのうちの第１スポーク部ＳＰ１及び第４スポーク部ＳＰ４が弾性的に変形した様子を示している。しかしながら、実際には、図１７では不可視の第２スポーク部ＳＰ２、第３スポーク部ＳＰ３、第５スポーク部ＳＰ５、及び第６スポーク部ＳＰ６も同様に弾性的に変形している。第２上側弾性部材５Ｕ２～第４上側弾性部材５Ｕ４のそれぞれにおける連結部ＳＰについても同様である。
【0097】
また、上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１がＸＹ平面に対して傾くと、下側支持部材２Ｄの下可動側部分２Ｄ１もＸＹ平面に対して傾くため、第１下側弾性部材５Ｄ１の連結部ＳＰも、図１７に示す第１上側弾性部材５Ｕ１の連結部ＳＰと同様に弾性的に変形する。第２下側弾性部材５Ｄ２～第４下側弾性部材５Ｄ４のそれぞれにおける連結部ＳＰについても同様である。
【0098】
この構成により、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４のそれぞれは、上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１がＸＹ平面に対して傾いた場合であっても、駆動方向に沿って延びる中心線に対して傾くことなく、駆動方向（Ｚ軸方向）に平行移動できる。
【0099】
また、図１５～図１８に示す例では、制御部は、第１可動部材ＭＢ１及び第４可動部材ＭＢ４を同時に下降させ且つ第２可動部材ＭＢ２及び第３可動部材ＭＢ３を同時に上昇させることによって光学素子ＯＥを第２回転軸ＡＸ２の回りに右側面視で反時計回り方向に回転させている。しかしながら、制御部は、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４の少なくとも一つを上昇或いは下降させることによって任意の方向に向けて光学素子ＯＥを傾けてもよい。すなわち、制御部は、光学素子ＯＥの表面に垂直な法線ベクトルＮＬ（図１５及び図１８参照）の向きを任意の向きに向けることができる。また、制御部は、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４の全てをＺ軸方向に同じ距離だけ上昇させることによって光学素子ＯＥを上方に平行移動させてもよく、第１可動部材ＭＢ１～第４可動部材ＭＢ４の全てをＺ軸方向に同じ距離だけ下降させることによって光学素子ＯＥを下方に平行移動させてもよい。
【0100】
例えば、制御部は、第１可動部材ＭＢ１及び第４可動部材ＭＢ４を同時に上昇させ且つ第２可動部材ＭＢ２及び第３可動部材ＭＢ３を同時に下降させることによって光学素子ＯＥを第２回転軸ＡＸ２の回りに右側面視で時計回り方向に回転させることができる。
【0101】
また、制御部は、第１可動部材ＭＢ１及び第２可動部材ＭＢ２を同時に下降させ且つ第３可動部材ＭＢ３及び第４可動部材ＭＢ４を同時に上昇させることによって光学素子ＯＥを第１回転軸ＡＸ１の回りに正面視で反時計回り方向に回転させることができる。
【0102】
また、制御部は、第３可動部材ＭＢ３及び第４可動部材ＭＢ４を同時に上昇させ且つ第１可動部材ＭＢ１及び第２可動部材ＭＢ２を同時に下降させることによって光学素子ＯＥを第１回転軸ＡＸ１の回りに正面視で時計回り方向に回転させることができる。
【0103】
また、制御部は、第２可動部材ＭＢ２及び第４可動部材ＭＢ４を移動させることなく、第１可動部材ＭＢ１を上昇させ且つ第３可動部材ＭＢ３を下降させることによって、或いは、第１可動部材ＭＢ１を下降させ且つ第３可動部材ＭＢ３を上昇させることによって、光学素子ＯＥを第３回転軸ＡＸ３（図３参照）の回りに回転させることができる。なお、第３回転軸ＡＸ３は、矩形の光学素子ＯＥの二つの対角線のうちの一方に沿って延びる回転軸である。
【0104】
また、制御部は、第１可動部材ＭＢ１及び第３可動部材ＭＢ３を移動させることなく、第２可動部材ＭＢ２を上昇させ且つ第４可動部材ＭＢ４を下降させることによって、或いは、第２可動部材ＭＢ２を下降させ且つ第４可動部材ＭＢ４を上昇させることによって、光学素子ＯＥを第４回転軸ＡＸ４（図３参照）の回りに回転させることができる。なお、第４回転軸ＡＸ４は、矩形の光学素子ＯＥの二つの対角線のうちの他方に沿って延びる回転軸である。
【0105】
また、制御部は、第１可動部材ＭＢ１及び第４可動部材ＭＢ４を移動させることなく第２可動部材ＭＢ２及び第３可動部材ＭＢ３を同時に上昇させることによって光学素子ＯＥをＹ軸に平行な回転軸の回りに右側面視で反時計回り方向に回転させることができる。
【0106】
また、制御部は、第１可動部材ＭＢ１及び第４可動部材ＭＢ４を移動させることなく第２可動部材ＭＢ２及び第３可動部材ＭＢ３を同時に下降させることによって光学素子ＯＥをＹ軸に平行な回転軸の回りに右側面視で時計回り方向に回転させることができる。
【0107】
また、制御部は、第２可動部材ＭＢ２及び第３可動部材ＭＢ３を移動させることなく第１可動部材ＭＢ１及び第４可動部材ＭＢ４を同時に上昇させることによって光学素子ＯＥをＹ軸に平行な回転軸の回りに右側面視で時計回り方向に回転させることができる。
【0108】
また、制御部は、第２可動部材ＭＢ２及び第３可動部材ＭＢ３を移動させることなく第１可動部材ＭＢ１及び第４可動部材ＭＢ４を同時に下降させることによって光学素子ＯＥをＹ軸に平行な回転軸の回りに右側面視で反時計回り方向に回転させることができる。
【0109】
また、制御部は、第１可動部材ＭＢ１及び第２可動部材ＭＢ２を移動させることなく第３可動部材ＭＢ３及び第４可動部材ＭＢ４を同時に上昇させることによって光学素子ＯＥをＸ軸に平行な回転軸の回りに正面視で反時計回り方向に回転させることができる。
【0110】
また、制御部は、第１可動部材ＭＢ１及び第２可動部材ＭＢ２を移動させることなく第３可動部材ＭＢ３及び第４可動部材ＭＢ４を同時に下降させることによって光学素子ＯＥをＸ軸に平行な回転軸の回りに正面視で時計回り方向に回転させることができる。
【0111】
また、制御部は、第３可動部材ＭＢ３及び第４可動部材ＭＢ４を移動させることなく第１可動部材ＭＢ１及び第２可動部材ＭＢ２を同時に上昇させることによって光学素子ＯＥをＸ軸に平行な回転軸の回りに正面視で時計回り方向に回転させることができる。
【0112】
また、制御部は、第３可動部材ＭＢ３及び第４可動部材ＭＢ４を移動させることなく第１可動部材ＭＢ１及び第２可動部材ＭＢ２を同時に下降させることによって光学素子ＯＥをＸ軸に平行な回転軸の回りに正面視で反時計回り方向に回転させることができる。
【0113】
また、制御部は、第１駆動装置ＤＭ１～第４駆動装置ＤＭ４のそれぞれを別々に動作させることにより、Ｙ軸に平行な回転軸の回りの光学素子ＯＥの回転、Ｘ軸に平行な回転軸の回りの光学素子ＯＥの回転、及び、Ｚ軸方向における光学素子ＯＥの平行移動のうちの少なくとも二つを同時に実行してもよい。
【0114】
上述のように、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１００は、固定部材ＦＢ（ケース部材１）と、複数の可動部材ＭＢと、固定部材ＦＢ（ケース部材１）に対して複数の可動部材ＭＢのそれぞれを所定の駆動方向（Ｚ軸方向）に移動させる駆動装置ＤＭと、固定部材ＦＢ（ケース部材１）に対して複数の可動部材ＭＢのそれぞれを駆動方向（Ｚ軸方向）に移動可能に支持する第１支持部材（上側支持部材２Ｕ）及び第２支持部材（下側支持部材２Ｄ）と、を有する。そして、第１支持部材（上側支持部材２Ｕ）は、固定部材ＦＢ（ケース部材１）の駆動方向（Ｚ軸方向）における一端部に接続される第１固定側部分（上固定側部分２Ｕ３）と、複数の可動部材ＭＢのそれぞれの駆動方向における一端部に回動可能に連結される第１可動側部分（上可動側部分２Ｕ１）と、第１固定側部分（上固定側部分２Ｕ３）と第１可動側部分（上可動側部分２Ｕ１）との間を弾性的に繋ぐ第１中間部分（上中間部分２Ｕ２）と、を含む。また、第２支持部材（下側支持部材２Ｄ）は、固定部材ＦＢ（ケース部材１）の駆動方向における他端部に接続される第２固定側部分（下固定側部分２Ｄ３）と、複数の可動部材ＭＢのそれぞれの駆動方向における他端部に回動可能に連結される第２可動側部分（下可動側部分２Ｄ１）と、第２固定側部分（下固定側部分２Ｄ３）と第２可動側部分（下可動側部分２Ｄ１）との間を弾性的に繋ぐ第２中間部分（下中間部分２Ｄ２）と、を含む。そして、駆動装置ＤＭは、複数の可動部材ＭＢの少なくとも一つを駆動方向に移動させることによって第１可動側部分（上可動側部分２Ｕ１）に固定された被駆動部材（光学素子ＯＥ）を駆動させるように構成されている。
【0115】
この構成は、被駆動部材を大きく傾けることができるという効果をもたらす。図示例では、アクチュエータ１００は、２０度以上の傾斜角で光学素子ＯＥを傾けることができるという効果をもたらす。アクチュエータ１００は、光学素子ＯＥが２０度以上の傾斜角で大きく傾けられたときであっても、アクチュエータ１００を構成している部材同士が干渉しないように構成されているためである。また、アクチュエータ１００は、複数の可動部材ＭＢのそれぞれを傾けることなく駆動方向に移動させながら、被駆動部材を傾けることができ、或いは、被駆動部材を駆動方向に平行移動させることができる。そのため、アクチュエータ１００は、可動部材ＭＢと固定部材ＦＢとの接触を回避しながら被駆動部材を動かすことができる。
【0116】
複数の可動部材ＭＢのそれぞれの駆動方向における一端部は、弾性部材（上側弾性部材５Ｕ）又はボールジョイントである連結部材を介して第１可動側部分（上可動側部分２Ｕ１）に回動可能に連結されていてもよい。また、複数の可動部材ＭＢのそれぞれの駆動方向における他端部は、弾性部材（下側弾性部材５Ｄ）又はボールジョイントである別の連結部材を介して第２可動側部分（下可動側部分２Ｄ１）に回動可能に連結されていてもよい。なお、連結部材は、支持部材２を構成する板ばねに一体化されていてもよい。すなわち、連結部材は、板ばねの一部であってもよい。この場合、板ばねの一部である連結部材は、渦巻き形状を有するように形成されていてもよく、放射形状を有するように形成されていてもよく、渦巻き形状及び放射計状以外の他の形状を有するように形成されていてもよい。
【0117】
この構成は、複数の可動部材ＭＢのそれぞれの直動運動を被駆動部材の回転運動に容易に変換できるという効果をもたらす。
【0118】
固定部材ＦＢは、複数の可動部材ＭＢに対応する複数の凹部（円柱状凹部１Ｖ）を有する磁性体で形成されたケース部材１であってもよい。そして、複数の可動部材ＭＢのそれぞれは、複数の凹部（円柱状凹部１Ｖ）のうちの対応する一つの内側に非接触の状態で収容されていてもよい。
【0119】
この構成は、複数の可動部材ＭＢのそれぞれが駆動軸（Ｚ軸に平行な軸）に関して過度に傾いてしまうのを抑制できるという効果をもたらす。凹部（円柱状凹部１Ｖ）の内壁がストッパとして機能し得るためである。また、この構成は、駆動装置ＤＭの駆動力を増大させることができるという効果をもたらす。磁気回路を構成するケース部材１と磁性部材１１との間の距離を小さくできるためである。
【0120】
被駆動部材は、光学素子ＯＥであってもよい。光学素子ＯＥは、例えば、ミラー、プリズム、又は、ＣＣＤ若しくはＣＭＯＳ等の撮像素子等であってもよい。或いは、被駆動部材は、ＬＩＤＡＲを構成する光源（レーザ照射装置）であってもよく、照明装置を構成する光源であってもよく、プロジェクタを構成する光源であってもよい。
【0121】
この構成は、例えば、アクチュエータ１００が光学素子ＯＥの軸（光軸）を任意の向きに向けることができるようになるという効果をもたらす。或いは、この構成は、アクチュエータ１００がＬＩＤＡＲ、照明装置、又は投影装置等の光源の光軸を任意の向きに向けることができるようになるという効果をもたらす。
【0122】
第１中間部分（上中間部分２Ｕ２）は、回転軸ＡＸを構成する一対の軸部２Ｓを含んでいてもよい。また、第２中間部分（下中間部分２Ｄ２）は、回転軸ＡＸに平行な別の回転軸ＢＸを構成する別の一対の軸部２Ｓを含んでいてもよい。そして、駆動装置ＤＭは、複数の可動部材ＭＢの少なくとも一つを駆動方向に移動させることにより、第１支持部材（上側支持部材２Ｕ）を回転軸ＡＸの回りで回転させ、且つ、第２支持部材（下側支持部材２Ｄ）を回転軸ＢＸの回りで回転させてもよい。
【0123】
この構成は、上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に取り付けられた被駆動部材（光学素子ＯＥ）が回転軸ＡＸの回りで回転可能になるという効果をもたらす。
【0124】
第１中間部分（上中間部分２Ｕ２）は、第１回転軸ＡＸ１を構成する一対の第１軸部（上中間部分２Ｕ２の後側軸部２ＳＢ及び前側軸部２ＳＦ）と第２回転軸ＡＸ２を構成する一対の第２軸部（上中間部分２Ｕ２の左側軸部２ＳＬ及び右側軸部２ＳＲ）とを含んでいてもよい。また、第２中間部分（下中間部分２Ｄ２）は、第１回転軸ＡＸ１に平行な第３回転軸（第１回転軸ＢＸ１）を構成する一対の第３軸部（下中間部分２Ｄ２の後側軸部２ＳＢ及び前側軸部２ＳＦ）と第２回転軸ＡＸ２に平行な第４回転軸（第２回転軸ＢＸ２）を構成する一対の第４軸部（下中間部分２Ｄ２の左側軸部２ＳＬ及び右側軸部２ＳＲ）とを含んでいてもよい。この場合、駆動装置ＤＭは、複数の可動部材ＭＢの少なくとも一つを駆動方向に移動させることにより、第１支持部材（上側支持部材２Ｕ）を第１回転軸ＡＸ１及び第２回転軸ＡＸ２の少なくとも一方の回りに回転させ、且つ、第２支持部材（下側支持部材２Ｄ）を第１回転軸ＢＸ１及び第２回転軸ＢＸ２の少なくとも一方の回りに回転させてもよい。
【0125】
この構成は、上側支持部材２Ｕの上可動側部分２Ｕ１に取り付けられた被駆動部材（光学素子ＯＥ）が第１回転軸ＡＸ１及び第２回転軸ＡＸ２のそれぞれの回りで回転可能になるという効果をもたらす。
【0126】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳説した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態に制限されることはない。上述した実施形態は、本発明の範囲を逸脱することなしに、種々の変形又は置換等が適用され得る。また、上述の実施形態を参照して説明された特徴のそれぞれは、技術的に矛盾しない限り、適宜に組み合わされてもよい。
【0127】
例えば、上述の実施形態では、可動部材ＭＢは、合成ゴムで形成された連結部材である弾性部材５を介して支持部材２に連結されているが、支持部材２に直接連結されていてもよい。すなわち、連結部材は支持部材２の一部であってもよい。この場合、弾性部材５は省略されてもよい。
【0128】
また、上述の実施形態では、弾性部材５は、固着部材４を利用して支持部材２に固定されているが、インサート成形によって支持部材２に固定されていてもよい。この場合、固着部材４は省略されてもよい。
【0129】
また、上述の実施形態では、駆動装置ＤＭは、可動部材ＭＢとしてのコイル６と、固定部材ＦＢとしての磁性部材１１及び磁石１２とによって構成されたムービングコイル方式のボイスコイルモータを利用した装置であるが、ムービングマグネット方式のボイスコイルモータを利用した装置であってもよい。
【0130】
また、上述の実施形態では、駆動装置ＤＭは、ボイスコイルモータを利用した装置であるが、圧電素子を利用した装置、形状記憶合金ワイヤを利用した装置、又は、ソレノイドを利用した装置等であってもよい。
【符号の説明】
【0131】
１・・・ケース部材 １Ｈ・・・貫通孔 １ＨＡ・・・第１貫通孔 １ＨＢ・・・第２貫通孔 １ＨＣ・・・第３貫通孔 １ＨＤ・・・第４貫通孔 １ＨＡ１、１ＨＢ１、１ＨＣ１、１ＨＤ１・・・第１孔 １ＨＡ２、１ＨＢ２、１ＨＣ２、１ＨＤ２・・・第２孔 １ＨＡ３、１ＨＢ３、１ＨＣ３、１ＨＤ３・・・第３孔 １Ｊ・・・架橋部 １ＪＡ・・・第１架橋部 １ＪＢ・・・第２架橋部 １ＪＣ・・・第３架橋部 １ＪＤ・・・第４架橋部 １ＪＡ１、１ＪＢ１、１ＪＣ１、１ＪＤ１・・・第１桟 １ＪＡ２、１ＪＢ２、１ＪＣ２、１ＪＤ２・・・第２桟 １ＪＡ３、１ＪＢ３、１ＪＣ３、１ＪＤ３・・・第３桟 １Ｋ・・・底部 １ＫＡ・・・第１底部 １ＫＢ・・・第２底部 １ＫＣ・・・第３底部 １ＫＤ・・・第４底部 １Ｐ・・・上側凹部 １Ｑ・・・下側凹部 １Ｒ・・・角柱状凹部 １ＲＡ・・・第１角柱状凹部 １ＲＢ・・・第２角柱状凹部 １ＲＣ・・・第３角柱状凹部 １ＲＤ・・・第４角柱状凹部 １Ｖ・・・円柱状凹部 １ＶＡ・・・第１円柱状凹部 １ＶＢ・・・第２円柱状凹部 １ＶＣ・・・第３円柱状凹部 １ＶＤ・・・第４円柱状凹部 １Ｗ・・・角柱状凹部 ２・・・支持部材 ２Ｄ・・・下側支持部材 ２Ｄ１・・・下可動側部分 ２Ｄ２・・・下中間部分 ２Ｄ３・・・下固定側部分 ２Ｈ・・・貫通孔 ２Ｍ・・・環状部 ２Ｓ・・・軸部 ２ＳＢ・・・後側軸部 ２ＳＦ・・・前側軸部 ２ＳＬ・・・左側軸部 ２ＳＲ・・・右側軸部 ２Ｔ・・・貫通丸孔 ２Ｔ１・・・第１貫通丸孔 ２Ｔ２・・・第２貫通丸孔 ２Ｔ３・・・第３貫通丸孔 ２Ｔ４・・・第４貫通丸孔 ２Ｕ・・・上側支持部材 ２Ｕ１・・・上可動側部分 ２Ｕ２・・・上中間部分 ２Ｕ３・・・上固定側部分 ２Ｕ３Ｂ・・・後側辺部 ２Ｕ３Ｆ・・・前側辺部 ２Ｕ３Ｌ・・・左側辺部 ２Ｕ３Ｒ・・・右側辺部 ３・・・締結部材 ３Ｄ・・・下側締結部材 ３Ｕ・・・上側締結部材 ４・・・固着部材 ４Ｄ・・・下側固着部材 ４Ｄ１・・・第１下側固着部材 ４Ｄ２・・・第２下側固着部材 ４Ｄ３・・・第３下側固着部材 ４Ｄ４・・・第４下側固着部材 ４Ｕ・・・上側固着部材 ４Ｕ１・・・第１上側固着部材 ４Ｕ２・・・第２上側固着部材 ４Ｕ３・・・第３上側固着部材 ４Ｕ４・・・第４上側固着部材 ５・・・弾性部材 ５Ｄ・・・下側弾性部材 ５Ｄ１・・・第１下側弾性部材 ５Ｄ２・・・第２下側弾性部材 ５Ｄ３・・・第３下側弾性部材 ５Ｄ４・・・第４下側弾性部材 ５Ｕ・・・上側弾性部材 ５Ｕ１・・・第１上側弾性部材 ５Ｕ２・・・第２上側弾性部材 ５Ｕ３・・・第３上側弾性部材 ５Ｕ４・・・第４上側弾性部材 ６・・・コイル ６Ａ・・・第１コイル ６Ｂ・・・第２コイル ６Ｃ・・・第３コイル ６Ｄ・・・第４コイル ７・・・コイル保持部材 ７Ａ・・・第１コイル保持部材 ７ＡＦ・・・第１基板保持部 ７ＡＬ・・・第１脚部 ７ＡＬ１・・・第１延在部 ７ＡＬ２・・・第２延在部 ７ＡＬ３・・・第３延在部 ７ＡＳ・・・第１中央筒部 ７ＡＴ・・・第１上側筒部 ７ＡＵ・・・第１上側板部 ７Ｂ・・・第２コイル保持部材 ７Ｃ・・・第３コイル保持部材 ７Ｄ・・・第４コイル保持部材 ８・・・基板 ８Ａ・・・第１基板 ８Ｂ・・・第２基板 ８Ｃ・・・第３基板 ８Ｄ・・・第４基板 ９・・・下側板部材 ９Ａ・・・第１下側板部材 ９Ｂ・・・第２下側板部材 ９Ｃ・・・第３下側板部材 ９Ｄ・・・第４下側板部材 １０・・・下側筒部材 １０Ａ・・・第１下側筒部材 １０Ｂ・・・第２下側筒部材 １０Ｃ・・・第３下側筒部材 １０Ｄ・・・第４下側筒部材 １１・・・磁性部材 １１Ａ・・・第１磁性部材 １１Ｂ・・・第２磁性部材 １１Ｃ・・・第３磁性部材 １１Ｄ・・・第４磁性部材 １２・・・磁石 １２Ａ・・・第１磁石 １２Ｂ・・・第２磁石 １２Ｃ・・・第３磁石 １２Ｄ・・・第４磁石 １００・・・アクチュエータ ＡＸ・・・回転軸 ＡＸ１・・・第１回転軸 ＡＸ２・・・第２回転軸 ＡＸ３・・・第３回転軸 ＡＸ４・・・第４回転軸 ＢＸ・・・回転軸 ＢＸ１・・・第１回転軸 ＢＸ２・・・第２回転軸 ＣＡ・・・コイルアセンブリ ＣＡ１・・・第１コイルアセンブリ ＣＡ２・・・第２コイルアセンブリ ＣＡ３・・・第３コイルアセンブリ ＣＡ４・・・第４コイルアセンブリ ＣＰ・・・中心点 ＣＸ・・・中心軸 ＤＭ・・・駆動装置 ＤＭ１・・・第１駆動装置 ＤＭ２・・・第２駆動装置 ＤＭ３・・・第３駆動装置 ＤＭ４・・・第４駆動装置 ＦＢ・・・固定部材 ＧＰ１、ＧＰ２、ＨＴ１、ＨＴ２・・・距離 ＩＲ・・・内側環状部 ＭＢ・・・可動部材 ＭＢ１・・・第１可動部材 ＭＢ２・・・第２可動部材 ＭＢ３・・・第３可動部材 ＭＢ４・・・第４可動部材 ＭＲ・・・中央環状部 ＮＬ・・・法線ベクトル ＯＥ・・・光学素子 ＯＲ・・・外側環状部 ＳＰ・・・連結部 ＳＰ１・・・第１スポーク部 ＳＰ２・・・第２スポーク部 ＳＰ３・・・第３スポーク部 ＳＰ４・・・第４スポーク部 ＳＰ５・・・第５スポーク部 ＳＰ６・・・第６スポーク部 ＳＴ・・・高さ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】