特開 2023-39003 試験装置、試験方法およびプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023039003

(43)【公開日】2023-03-20

(54)【発明の名称】試験装置、試験方法およびプログラム

(51)【国際特許分類】

   H01L 33/00 20100101AFI20230313BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20230313BHJP

【ＦＩ】

H01L33/00 K

G01R31/26 F

【審査請求】有

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021145919

(22)【出願日】2021-09-08

(71)【出願人】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 宏太郎

(72)【発明者】

【氏名】宮内 康司

【テーマコード（参考）】

2G003

5F241

【Ｆターム（参考）】

2G003AA06

2G003AA10

2G003AB01

2G003AB02

2G003AF03

2G003AF06

2G003AH01

2G003AH02

2G003AH10

5F241AA42

5F241AA46

(57)【要約】      （修正有）

【課題】装置構成の変更も試験対象となるＬＥＤの移動も要することなく、複数のＬＥＤの波長特性を包括的に試験し、且つ輝度特性又は光度特性を個別に試験することができる試験装置を提供する。
【解決手段】試験装置１００は、試験対象となる複数のＬＥＤ１０を発光させる制御部１２０と、複数のＬＥＤからの光を受光して、受光した光の波長を測定する光測定部１１０と、光測定部により測定された複数のＬＥＤからの光の波長の強度分布に基づいて、複数のＬＥＤのうちの少なくとも１つのＬＥＤに異常があるか否かを判定する判定部１２３とを備える。試験装置は、光源１３０と、光源からの光を複数のＬＥＤへ照射する光学系１４０と、複数のＬＥＤのそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定部１５５とを更に備えてもよく、光測定部は複数のＬＥＤからの光を光学系を介して受光してもよい。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

試験対象となる複数の発光素子を発光させる発光制御部と、
前記複数の発光素子からの光を受光して、受光した光の波長を測定する光測定部と、
前記光測定部により測定された前記複数の発光素子からの光の波長の強度分布に基づいて、前記複数の発光素子のうちの少なくとも１つの発光素子に異常があるか否かを判定する判定部と
を備える試験装置。

【請求項2】

光源と、
前記光源からの光を前記複数の発光素子へと照射する光学系と、
前記複数の発光素子のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定部と
を更に備え、
前記光測定部は、前記複数の発光素子からの光を前記光学系を介して受光する、
請求項１に記載の試験装置。

【請求項3】

前記判定部は、
前記電気測定部により測定された前記複数の発光素子からの前記光電信号に基づいて、前記複数の発光素子のそれぞれの良否を判定し、
不良と判定した発光素子を、前記発光制御部によって発光させる対象から除外する、
請求項２に記載の試験装置。

【請求項4】

前記光学系は、
前記光源からの光を拡散させることにより、前記光源からの光を前記複数の発光素子へと一括照射させ、
前記複数の発光素子からの拡散光を集光することにより、前記光測定部へと導光する、
請求項２または３に記載の試験装置。

【請求項5】

前記光学系は、
分岐している側の端部が前記光源および前記光測定部に接続された分岐ファイバと、
１又は複数のレンズを含むレンズユニットと
を有する、
請求項４に記載の試験装置。

【請求項6】

前記光学系は、互いに異なる波長帯域の光を放射する複数の前記光源からの光を纏めて前記複数の発光素子へと照射する、
請求項２から５の何れか一項に記載の試験装置。

【請求項7】

前記判定部は、前記強度分布を、前記発光素子の数に対応する基準の強度分布と比較した結果に基づいて、前記異常があるか否かを判定する、
請求項１から６の何れか一項に記載の試験装置。

【請求項8】

前記異常があると判定されたことに応じて、前記複数の発光素子を複数のグループに分割するグループ分割部を更に備え、
前記発光制御部および前記光測定部は、前記複数のグループのそれぞれについて、全ての発光素子を発光させて光の波長を測定し、
前記判定部は、前記複数のグループのそれぞれに含まれる全ての発光素子からの光の波長の強度分布に基づいて、前記複数のグループのそれぞれに含まれる少なくとも１つの発光素子に異常があるか否かを判定する、
請求項１から７の何れか一項に記載の試験装置。

【請求項9】

光源と、
前記光源からの光を試験対象となる複数の発光素子へと照射する光学系と、
前記複数の発光素子のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定部と、
前記複数の発光素子を発光させる発光制御部と、
前記複数の発光素子からの光を前記光学系を介して受光して、受光した光の波長を測定する光測定部と、
前記電気測定部および前記光測定部のうちの少なくとも１つの測定結果に基づいて、複数の発光素子の良否を判定する判定部と
を備える試験装置。

【請求項10】

前記判定部は、
前記電気測定部により測定された前記複数の発光素子からの前記光電信号に基づいて、前記複数の発光素子のそれぞれの良否を判定し、
不良と判定した発光素子を、前記発光制御部によって発光させる対象から除外する、
請求項９に記載の試験装置。

【請求項11】

前記光学系は、
前記光源からの光を拡散させることにより、前記光源からの光を前記複数の発光素子へと一括照射させ、
前記複数の発光素子からの拡散光を集光することにより、前記光測定部へと導光する、
請求項９または１０に記載の試験装置。

【請求項12】

前記光学系は、
分岐している側の端部が前記光源および前記光測定部に接続された分岐ファイバと、
１又は複数のレンズを含むレンズユニットと
を有する、
請求項１１に記載の試験装置。

【請求項13】

試験対象となる複数の発光素子を発光させる発光制御段階と、
前記複数の発光素子からの光を受光して、受光した光の波長を測定する光測定段階と、
前記光測定段階で測定された前記複数の発光素子からの光の波長の強度分布に基づいて、前記複数の発光素子のうちの少なくとも１つの発光素子に異常があるか否かを判定する判定段階と
を備える試験方法。

【請求項14】

光源からの光を光学系によって試験対象となる複数の発光素子へと照射する光照射段階と、
前記複数の発光素子のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定段階と、
前記複数の発光素子を発光させる発光制御段階と、
前記複数の発光素子からの光を前記光学系を介して受光して、受光した光の波長を測定する光測定段階と、
前記電気測定段階および前記光測定段階のうちの少なくとも１つの測定結果に基づいて、複数の発光素子の良否を判定する判定段階と
を備える試験装置。

【請求項15】

発光素子を試験する試験装置に、
試験対象となる複数の発光素子を発光させる発光制御手順と、
前記複数の発光素子からの光を受光して、受光した光の波長を測定する光測定手順と、
前記光測定手順で測定された前記複数の発光素子からの光の波長の強度分布に基づいて、前記複数の発光素子のうちの少なくとも１つの発光素子に異常があるか否かを判定する判定手順と
を実行させるプログラム。

【請求項16】

発光素子を試験する試験装置に、
光源からの光を光学系によって試験対象となる複数の発光素子へと照射する光照射手順と、
前記複数の発光素子のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定手順と、
前記複数の発光素子を発光させる発光制御手順と、
前記複数の発光素子からの光を前記光学系を介して受光して、受光した光の波長を測定する光測定手順と、
前記電気測定手順および前記光測定手順のうちの少なくとも１つの測定結果に基づいて、複数の発光素子の良否を判定する判定手順と
を実行させるプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試験装置、試験方法およびプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

検査対象となる一対のＬＥＤの一方を発光させて他方で受光し、光電効果により出力される電流の電流値を用いてＬＥＤの光学特性を検査する方法が知られている（例えば、特許文献１、２を参照）。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特表２０１９－５０７９５３号公報
［特許文献２］ 特開２０１０－２３０５６８号公報

【発明の概要】

【0003】

本発明の第１の態様においては、試験装置を提供する。試験装置は、試験対象となる複数の発光素子を発光させる発光制御部を備えてもよい。試験装置は、複数の発光素子からの光を受光して、受光した光の波長を測定する光測定部を備えてもよい。試験装置は、光測定部により測定された複数の発光素子からの光の波長の強度分布に基づいて、複数の発光素子のうちの少なくとも１つの発光素子に異常があるか否かを判定する判定部を備えてもよい。

【0004】

試験装置は、光源を更に備えてもよい。試験装置は、光源からの光を複数の発光素子へと照射する光学系を更に備えてもよい。試験装置は、複数の発光素子のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定部を更に備えてもよい。光測定部は、複数の発光素子からの光を光学系を介して受光してもよい。

【0005】

判定部は、電気測定部により測定された複数の発光素子からの光電信号に基づいて、複数の発光素子のそれぞれの良否を判定し、不良と判定した発光素子を、発光制御部によって発光させる対象から除外してもよい。

【0006】

光学系は、光源からの光を拡散させることにより、光源からの光を複数の発光素子へと一括照射させ、複数の発光素子からの拡散光を集光することにより、光測定部へと導光してもよい。

【0007】

光学系は、分岐している側の端部が光源および光測定部に接続された分岐ファイバと、１又は複数のレンズを含むレンズユニットとを有してもよい。

【0008】

光学系は、互いに異なる波長帯域の光を放射する複数の光源からの光を纏めて複数の発光素子へと照射してもよい。

【0009】

判定部は、強度分布を、発光素子の数に対応する基準の強度分布と比較した結果に基づいて、異常があるか否かを判定してもよい。

【0010】

試験装置は、異常があると判定されたことに応じて、複数の発光素子を複数のグループに分割するグループ分割部を更に備えてもよい。発光制御部および光測定部は、複数のグループのそれぞれについて、全ての発光素子を発光させて光の波長を測定し、判定部は、複数のグループのそれぞれに含まれる全ての発光素子からの光の波長の強度分布に基づいて、複数のグループのそれぞれに含まれる少なくとも１つの発光素子に異常があるか否かを判定してもよい。

【0011】

本発明の第２の態様においては、試験装置を提供する。試験装置は、光源を備えてもよい。試験装置は、光源からの光を試験対象となる複数の発光素子へと照射する光学系を備えてもよい。試験装置は、複数の発光素子のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定部を備えてもよい。試験装置は、複数の発光素子を発光させる発光制御部を備えてもよい。試験装置は、複数の発光素子からの光を光学系を介して受光して、受光した光の波長を測定する光測定部を備えてもよい。試験装置は、電気測定部および光測定部のうちの少なくとも１つの測定結果に基づいて、複数の発光素子の良否を判定する判定部とを備える試験装置。

【0012】

判定部は、電気測定部により測定された複数の発光素子からの光電信号に基づいて、複数の発光素子のそれぞれの良否を判定し、不良と判定した発光素子を、発光制御部によって発光させる対象から除外してもよい。

【0013】

光学系は、光源からの光を拡散させることにより、光源からの光を複数の発光素子へと一括照射させ、複数の発光素子からの拡散光を集光することにより、光測定部へと導光してもよい。

【0014】

光学系は、分岐している側の端部が光源および光測定部に接続された分岐ファイバと、１又は複数のレンズを含むレンズユニットとを有してもよい。

【0015】

本発明の第３の態様においては、試験方法を提供する。試験方法は、試験対象となる複数の発光素子を発光させる発光制御段階を備えてもよい。試験方法は、複数の発光素子からの光を受光して、受光した光の波長を測定する光測定段階を備えてもよい。試験方法は、光測定段階で測定された複数の発光素子からの光の波長の強度分布に基づいて、複数の発光素子のうちの少なくとも１つの発光素子に異常があるか否かを判定する判定段階を備えてもよい。

【0016】

本発明の第４の態様においては、試験方法を提供する。試験方法は、光源からの光を光学系によって試験対象となる複数の発光素子へと照射する光照射段階を備えてもよい。試験方法は、複数の発光素子のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定段階を備えてもよい。試験方法は、複数の発光素子を発光させる発光制御段階を備えてもよい。試験方法は、複数の発光素子からの光を光学系を介して受光して、受光した光の波長を測定する光測定段階を備えてもよい。試験方法は、電気測定段階および光測定段階のうちの少なくとも１つの測定結果に基づいて、複数の発光素子の良否を判定する判定段階を備えてもよい。

【0017】

本発明の第５の態様においては、プログラムを提供する。プログラムは、発光素子を試験する試験装置に、試験対象となる複数の発光素子を発光させる発光制御手順を実行させてもよい。プログラムは、発光素子を試験する試験装置に、複数の発光素子からの光を受光して、受光した光の波長を測定する光測定手順を実行させてもよい。プログラムは、発光素子を試験する試験装置に、光測定手順で測定された複数の発光素子からの光の波長の強度分布に基づいて、複数の発光素子のうちの少なくとも１つの発光素子に異常があるか否かを判定する判定手順を実行させてもよい。

【0018】

本発明の第６の態様においては、プログラムを提供する。プログラムは、発光素子を試験する試験装置に、光源からの光を光学系によって試験対象となる複数の発光素子へと照射する光照射手順を実行させてもよい。プログラムは、発光素子を試験する試験装置に、複数の発光素子のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定手順を実行させてもよい。プログラムは、発光素子を試験する試験装置に、複数の発光素子を発光させる発光制御手順を実行させてもよい。プログラムは、発光素子を試験する試験装置に、複数の発光素子からの光を光学系を介して受光して、受光した光の波長を測定する光測定手順を実行させてもよい。プログラムは、発光素子を試験する試験装置に、電気測定手順および光測定手順のうちの少なくとも１つの測定結果に基づいて、複数の発光素子の良否を判定する判定手順を実行させてもよい。

【0019】

なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】複数のＬＥＤ１０を試験する試験装置１００の概略を示す全体図の一例である。

【図2】複数のＬＥＤ１０を試験する試験装置１００の概略を示す全体図の一例である。

【図3】試験装置１００による試験方法のフローを説明するフロー図の一例である。

【図4】測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布を示すグラフの一例である。

【図5】測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布を示すグラフの一例である。

【図6】測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布を示すグラフの一例である。

【図7】本発明の複数の態様が全体的又は部分的に具現化されうるコンピュータ１２００の例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

【0022】

図１および図２は、複数のＬＥＤ１０を試験する試験装置１００の概略を示す全体図の一例である。図１および図２では、紙面に向かって右方向が＋Ｘ方向となるＸ軸と、紙面に向かって上方向が＋Ｚ方向となるＺ軸と、紙面に向かって奥行き方向が＋Ｙ方向となるＹ軸とが、互いに直交するように示されている。以降では、これらの３軸を用いて説明する場合がある。

【0023】

図１および図２において、制御信号の流れを黒塗りの矢印で示す。また、図１および図２において、電気接続部１５０の移動方向を白抜きの矢印で示す。また、図１では、複数のＬＥＤ１０からの光を斜線で示し、同様に図２では、光源１３０からの光を斜線で示す。また、図１および図２において、載置部１６０の貫通孔１６１を破線で示す。

【0024】

試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布に基づいて、複数のＬＥＤ１０の波長などの光学特性を一括して試験する。本実施形態による試験装置１００は更に、ＬＥＤ１０の光電効果を利用し、光を照射したＬＥＤ１０から出力される光電信号に基づいて、複数のＬＥＤ１０の輝度特性又は光度特性を一括して試験する。

【0025】

本実施形態による試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０の波長測定と光電信号測定とを、同じ光学系を用いて双方向で行う。本実施形態による試験装置１００は、波長測定および光電信号測定の一方を終えて他方を開始する際に、装置構成の変更も、試験対象となるＬＥＤ１０の移動も行う必要が無い。

【0026】

本実施形態における試験装置１００は、例えばＬＥＤウェハであるウェハ１５に複数のＬＥＤ１０が形成されたＬＥＤ群が載置部１６０上に載置された状態で、当該複数のＬＥＤ１０の波長などの光学特性と輝度特性又は光度特性とを一括して試験する。なお、以降の説明では、ＬＥＤ１０の波長などの光学特性のことを、単に波長特性と呼ぶ場合がある。

【0027】

本実施形態におけるＬＥＤ１０は、寸法が１００μｍ以下のマイクロＬＥＤである。なお、ＬＥＤ１０は、マイクロＬＥＤに代えて、寸法が１００μｍよりも大きく２００μｍ以下のミニＬＥＤや、寸法が２００μｍよりも大きいＬＥＤであってもよく、その他に、ＬＤ等の他の発光素子であってもよい。

【0028】

また、本実施形態における複数のＬＥＤ１０は、ウェハ１５上で、互いに電気的に接続されていない。ＬＥＤ群は、複数のＬＥＤ１０の発光面がウェハ１５に面している裏面発光型であり、ウェハ１５は光を透過する。各ＬＥＤ１０上には、２つの端子１１がＹ軸方向に互いに離間して形成されている。複数のＬＥＤ１０の各端子１１は、ウェハ１５に面していない。なお、本実施形態のような裏面発光型のＬＥＤ群については、複数のＬＥＤ１０と、複数のＬＥＤ１０が実装されたウェハ１５とを総称して、ウェハと呼ぶ場合がある。なお、ＬＥＤ群は、複数のＬＥＤ１０の発光面がウェハ１５に面していない表面発光型であってもよく、この場合、ウェハ１５は光を透過しなくてもよく、また、複数のＬＥＤ１０の各端子１１は、ウェハ１５に面していなくてもよく、ウェハ１５に面していてもよい。複数のＬＥＤ１０の各端子１１がウェハ１５に面している場合、ウェハ１５には、各端子１１に電力供給用プローブを接触させるべく、各端子１１の位置にＺ軸方向に延在するビアが形成されていてもよい。

【0029】

なお、複数のＬＥＤ１０は、電気配線が設けられたウェハに、または、略方形の外形を有するガラスベースのパネル（ＰＬＰ）に形成され、互いに電気的に接続されてユニット化またはセル化されていてもよい。

【0030】

試験装置１００は、光測定部１１０と、制御部１２０とを備える。光測定部１１０は、試験装置１００による試験対象となる複数のＬＥＤ１０からの光を受光して、受光した光の波長を測定する。換言すると、光測定部１１０は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれからの光を合成した合成光の波長を測定する。光測定部１１０は、試験対象となる全てのＬＥＤ１０を幾つかのグループに分けたグループ毎に、グループ内の１または複数のＬＥＤ１０を発光させた光の波長を測定してもよい。また、光測定部１１０は、試験対象となる当該複数のＬＥＤ１０のそれぞれからの光の波長を個別に測定してもよい。

【0031】

本実施形態による光測定部１１０は、例えば波長計を含み、制御部１２０による制御に従い、ＬＥＤ１０からの光の波長を測定し、当該光の波長の強度分布を特定する。光測定部１１０は、当該強度分布に基づいて当該光のピーク波長や半値幅を特定してもよく、また、当該光を目で見た際の色に相当する波長である主波長を測定してもよい。光測定部１１０は、波長計に代えて、スペクトロメータや光スペクトラムアナライザなどであってもよい。光測定部１１０は、特定した当該強度分布を示すデータを制御部１２０に出力する。

【0032】

制御部１２０は、試験装置１００の各構成を制御する。より具体的には、制御部１２０は、試験装置１００における各構成を制御するためのシーケンスやプログラムなどを格納する格納部１８０を参照することにより、試験装置１００における複数の構成をシーケンス制御する。

【0033】

例えば、制御部１２０は、電気接続部１５０および電気測定部１５５を制御して複数のＬＥＤ１０に予め定められた電流値の電流を供給させることにより、複数のＬＥＤ１０を発光させる発光制御部１２１として機能する。制御部１２０は、電気接続部１５０および電気測定部１５５を制御して複数のＬＥＤ１０に予め定められた電圧値の電圧を供給させることにより、複数のＬＥＤ１０を発光させてもよく、以降では重複する説明を省略する。また、制御部１２０は、光測定部１１０により測定された当該複数のＬＥＤ１０からの光の波長を光測定部１１０から受け取り、光の波長の強度分布に基づいて、当該複数のＬＥＤ１０のうちの少なくとも１つのＬＥＤ１０に異常があるか否かを判定する判定部１２３として機能する。換言すると、制御部１２０は、電流を供給した当該複数のＬＥＤ１０を全点灯させて測定される合成光の波長の強度分布に基づいて、当該複数のＬＥＤ１０全体として異常有無を判定する。

【0034】

なお、制御部１２０は、格納部１８０に格納された、複数のＬＥＤ１０全体の異常有無を判定するための参照データ、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの良否を判定するための参照データ、それらの判定結果、電気接続部１５０を移動させるための参照データ、などを参照してもよい。

【0035】

また、試験装置１００は更に、複数のＬＥＤ１０の光電試験を行なうために、光源１３０と、光学系１４０と、電気測定部１５５とを備えてもよい。光源１３０は、図１および図２に示すように、光測定部１１０と共通の光学系１４０に接続され、光学系１４０に向けて光を放射する。光源１３０は、制御部１２０による制御に従い、複数のＬＥＤ１０の反応波長帯域の光を放射する。光源１３０は、制御部１２０によって、放射する光の照射時間、波長、強度などを制御される。

【0036】

光源１３０は、例えばキセノン光源のように広い波長帯域の光を発する光源であってもよく、レーザー光源のように狭い波長帯域の光を発する光源であってもよい。光源１３０は、互いに波長が異なる複数のレーザー光源を含んでもよい。なお、ＬＥＤ１０の反応波長と発光波長とが相違する場合、ＬＥＤ１０に対して当該ＬＥＤ１０の発光波長の光を照射しても、当該相違に起因して適切に光電変換されない。

【0037】

本実施形態において、光学系１４０は、図２に示すように、光源１３０からの光を複数のＬＥＤ１０へと照射する。より具体的には、本実施形態による光学系１４０は、図２に示すように、光源１３０からの光を拡散させることにより、光源１３０からの光を複数のＬＥＤ１０へと一括照射させる。すなわち、光学系１４０を介して放射される光源１３０からの光の、ＸＹ平面における投影面は、少なくともＬＥＤ群の複数のＬＥＤ１０を覆う。

【0038】

本実施形態による光学系１４０はまた、図１に示すように、複数のＬＥＤ１０からの拡散光を集光することにより、光測定部１１０へと導光する。換言すると、本実施形態による光測定部１１０は、複数のＬＥＤ１０からの光を光学系１４０を介して受光する。このような、光学系１４０、光源１３０および光測定部１１０の相互の接続構成により、試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０の波長測定と光電信号測定とを共通の光学系１４０を用いて双方向で行うことができる。

【0039】

なお、本実施形態では、光学系１４０は、図１に示すように、複数のＬＥＤ１０からの光を光測定部１１０および光源１３０の両方に導光するが、これに代えて、光学系１４０は、複数のＬＥＤ１０からの光を、光測定部１１０のみへ導光し、光源１３０へは導光しないように構成されてもよい。

【0040】

本実施形態による光学系１４０は、２分岐ファイバ１４１を有する。２分岐ファイバ１４１は、Ｙ字型の光ファイバである。２分岐ファイバ１４１は、分岐している側の端部が光源１３０および光測定部１１０に接続される。

【0041】

２分岐ファイバ１４１は、分岐ファイバの一例であり、２分岐ファイバ１４１に代えて３分岐ファイバや４分岐ファイバなどの多分岐ファイバを用いてもよい。この場合、試験装置１００は、２以上の光源１３０を備えてもよく、多分岐ファイバの分岐側の各端部に光源１３０が１つずつ接続されてもよい。この場合、光学系１４０は、互いに異なる波長帯域の光を放射する複数の光源１３０からの光を纏めて複数のＬＥＤ１０へと照射してもよい。光源１３０が特定の波長帯域の光を放射する場合には、このように複数の光源１３０を光学系１４０に接続することで、ＬＥＤ１０に照射する光の波長帯域幅を広め、より確実に、ＬＥＤ１０に光電変換させることができる。

【0042】

また、光学系１４０は更に、１又は複数のレンズを含むレンズユニット１４３を有してもよく、レンズユニット１４３は、光学系１４０における光学経路上に配置される。また、レンズユニット１４３は、図２に示すように、複数のＬＥＤ１０から放射される拡散光を収束させ、２分岐ファイバ１４１に進入させる。

【0043】

電気測定部１５５は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する。より具体的には、電気測定部１５５は、制御部１２０による制御に従い、複数のＬＥＤ１０から電気接続部１５０を介して出力される電流の電流値を測定する。電気測定部１５５は、各ＬＥＤ１０について測定した電流値を制御部１２０に出力する。なお、電気測定部１５５は、複数のＬＥＤ１０から出力される電流の電流値に代えて、当該電流値に対応する電圧値を測定してもよい。なお、上述の通り、本実施形態による電気測定部１５５はまた、制御部１２０による制御に従い、電気接続部１５０を介して複数のＬＥＤ１０に電流を供給する。

【0044】

また、試験装置１００は更に、電気接続部１５０と、載置部１６０と、遮蔽部１７０と、格納部１８０とを備えてよい。電気接続部１５０は、例えばプローブカード（プローブ基板）であって、試験対象となる複数のＬＥＤ１０のそれぞれの端子１１に電気的に接続される。なお、本願明細書において、「電気的に接続される」と定義する場合、接触することで電気的に接続されること、または、非接触で電気的に接続されること、を意図する。電気接続部１５０は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの端子１１に接することで電気的に接続されるが、例えば電磁誘導や近距離無線通信により非接触で電気的に接続されてもよい。

【0045】

電気接続部１５０は、電気回路および複数の電気配線が設けられた基板１５１と、基板１５１から複数のＬＥＤ１０のそれぞれに向かって延伸し、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの端子１１に接触する複数のプローブ１５３とを有する。

【0046】

電気接続部１５０は、制御部１２０によって駆動制御されることで、ＸＹ平面内を二次元的に移動し、且つ、Ｚ軸方向に昇降する。電気接続部１５０は、制御部１２０によって駆動制御されることにより、光源１３０および電気接続部１５０の間に複数のＬＥＤ１０が位置するように配置される。この状態において、電気接続部１５０の複数のプローブ１５３は、ウェハ１５のＺ軸正方向側から複数のＬＥＤ１０の各端子１１に接触する。各プローブ１５３における、端子１１に接触する一端の反対側の他端は、基板１５１に設けられた電気配線に電気的に接続される。複数のプローブ１５３の複数の電気配線は、基板１５１の側面から延出し、電気測定部１５５に電気的に接続される。

【0047】

載置部１６０は、Ｚ軸正方向側にＬＥＤ群が載置される。図示の例における載置部１６０は、平面視において、略円形の外形を有するが、他の外形であってもよい。載置部１６０は、真空チャック、静電チャック等の保持機能を有し、載置されたＬＥＤ群のウェハ１５を保持する。載置部１６０は、複数のＬＥＤ１０が発してウェハ１５を透過した光を遮らないよう、ＸＹ平面の中央部に貫通孔１６１を有し、当該貫通孔１６１の周囲においてウェハ１５を保持する。

【0048】

遮蔽部１７０は、光源１３０からの光以外の光を遮蔽する。本実施形態における遮蔽部１７０は、表面が全て黒塗りされており、表面での光の乱反射を防ぐ。また、図１に示すように、遮蔽部１７０は、レンズユニット１４３、載置部１６０およびウェハ１５によって密閉空間を形成するように設けられ、当該構成によって、光源１３０からの光以外の光を遮蔽する。

【0049】

なお、試験装置１００は、電気接続部１５０、載置部１６０および遮蔽部１７０を備えなくてもよい。これに加えて又は代えて、試験装置１００は、光源１３０、光学系１４０および電気測定部１５５を備えなくてもよい。

【0050】

図３は、試験装置１００による試験方法のフローを説明するフロー図の一例である。本実施形態による試験装置１００の制御部１２０は、電気測定部１５５による複数のＬＥＤ１０の光電試験、および光測定部１１０による複数のＬＥＤ１０の波長特性試験を行い、電気測定部１５５または光測定部１１０のうちの少なくとも１つの測定結果に基づいて、複数のＬＥＤ１０の良否を判定する。

【0051】

図３に示すフローは、載置部１６０上にＬＥＤ群が載置された状態で、例えば試験装置１００に対して当該ＬＥＤ群の試験を開始するための入力をユーザが行うことにより開始する。

【0052】

試験装置１００は、試験対象となる複数のＬＥＤ１０に電気測定部１５５から電気接続部１５０を介して電流を供給することにより、複数のＬＥＤ１０の電気特性を試験する電気接続段階を実行する（ステップＳ１０１）。

【0053】

具体的な一例として、試験装置１００の制御部１２０は、電気接続部１５０を駆動制御し、電気接続部１５０の複数のプローブ１５３を、載置部１６０上のＬＥＤ群における、試験対象となる複数のＬＥＤ１０のそれぞれの端子１１に電気的に接続する。制御部１２０は、当該複数のＬＥＤ１０に電気測定部１５５から電気接続部１５０を介して電流もしくは電圧を供給し、ＬＥＤ１０に対して電気的特性試験を行い、測定電圧もしくは電流値が閾値範囲外であるＬＥＤ１０を電気特性が不良のものとして特定する。当該閾値は、格納部１８０に格納されている。制御部１２０は、電気特性が不良であると判定したＬＥＤ１０を、当該電気特性試験以降の試験の対象から除外する。なお、当該フローにおけるステップＳ１０１以降の各ステップでは、制御部１２０は、電気接続部１５０がＬＥＤ群における複数のＬＥＤ１０と電気的に接続された状態で各試験を実行するものとし、重複する説明を省略する。

【0054】

当該電気特性試験に続けて、試験装置１００は、ＬＥＤ１０の光電効果を利用し、光を照射したＬＥＤ１０から出力される光電信号に基づいて、複数のＬＥＤ１０の輝度特性又は光度特性を一括して試験する。試験装置１００は、光電信号測定結果から輝度又は光度が不良のＬＥＤ１０を特定し、当該ＬＥＤ１０を後続の試験の対象から除外する。

【0055】

具体的には先ず、試験装置１００は、光源１３０からの光を、光学系１４０によって、光電信号測定の試験対象となる複数のＬＥＤ１０へと照射する光照射段階を実行する（ステップＳ１０３）。

【0056】

具体的な一例として、制御部１２０は、光源１３０に命令を出力し、光学系１４０を介して複数のＬＥＤ１０へと光を放射させる。光学系１４０は、２分岐ファイバ１４１の一端から進入する光源１３０からの光を、２分岐ファイバ１４１の他端に接続されたレンズユニット１４３で拡散させることにより、光源１３０からの光を複数のＬＥＤ１０へと一括照射させる。

【0057】

試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号を測定する電気測定段階を実行する（ステップＳ１０５）。具体的な一例として、制御部１２０は、電気測定部１５５に命令を出し、複数のＬＥＤ１０のそれぞれから電気接続部１５０を介して出力される光電信号、すなわち電流の電流値を一括して測定させ、それぞれの測定結果を制御部１２０に出力させる。

【0058】

制御部１２０は、電気測定部１５５により測定された複数のＬＥＤ１０からの光電信号に基づいて、複数のＬＥＤ１０のそれぞれの良否を判定し、不良と判定したＬＥＤ１０を、当該輝度特性又は光度特性の試験以降の試験で発光させる対象から除外する。制御部１２０は、格納部１８０に予め格納されている、光電信号の電流値の正常範囲を示すデータを参照することにより、測定された光電信号が正常範囲外となったＬＥＤ１０を不良と判定し、当該ＬＥＤ１０を後続の試験の対象から除外してもよい。ここで言う正常範囲の一例として、複数のＬＥＤ１０がそれぞれ出力する光電信号に応じた統計量を基準とした範囲を用いてもよい。より具体的には、正常範囲の一例として、複数のＬＥＤ１０のそれぞれから出力された電流の平均電流値±１σ以内の範囲、当該平均電流値±２σ以内の範囲、または当該平均電流値±３σ以内の範囲を用いてもよい。この場合、制御部１２０は、格納部１８０に格納されている、複数のＬＥＤ１０のそれぞれから出力された電流の電流値に基づいて、当該平均電流値と標準偏差σを算出してもよい。

【0059】

ＬＥＤ１０の光電効果によって出力される当該光電信号の大きさは、当該ＬＥＤ１０の輝度特性および光度特性と相関を有する。そこで、制御部１２０は、光電信号の電流値の正常範囲を示すデータを参照してＬＥＤ１０の良否を判定することに加えて又は代えて、格納部１８０に予め格納されている、ＬＥＤ１０が出力する光電信号とＬＥＤ１０が発する光の輝度との相関を示すデータを参照することにより、測定された光電信号から輝度を算出してもよい。制御部１２０は、輝度の算出方法と同様に、輝度に代えて又は加えて光度を算出してもよい。

【0060】

制御部１２０は更に、算出した輝度及び又は光度に基づいて、ＬＥＤ１０の良否を判定してもよい。例えば、制御部１２０は、格納部１８０に予め格納されている、輝度及び又は光度の正常範囲を示すデータを参照することにより、ＬＥＤ１０の良否を判定してもよい。なお、前述した相関は、試験装置１００によって予め算出されたものであってもよく、外部の装置によって算出されたものであってもよい。外部の装置で当該相関が算出される場合には、試験装置１００は当該相関を示すデータを外部の装置から取得してもよい。

【0061】

以降の複数のステップでは、試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布に基づいて、複数のＬＥＤ１０の波長特性を一括して試験する。試験装置１００は、上述の光電試験で除外されずに残った複数のＬＥＤ１０からの合成光の波長の強度分布を用いて、当該複数のＬＥＤ１０の中に波長が異常のＬＥＤ１０が含まれるか否かを判定する。

【0062】

上述の通り、試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０の波長測定を、光電信号測定と共通の光学系１４０を用いて行う。また、試験装置１００は、光電信号測定を終えて波長測定を開始する際に、装置構成の変更も、試験対象となるＬＥＤ１０の移動も行う必要が無い。

【0063】

具体的には先ず、試験装置１００は、複数のＬＥＤ１０を発光させる発光制御段階を実行する（ステップＳ１０７）。具体的な一例として、制御部１２０は、電気測定部１５５に命令を出し、波長特性の試験対象となる複数のＬＥＤ１０のうちの一部又は全てに対して、電気接続部１５０を介して予め定められた電流値の電流を供給させることにより、電流を供給した複数のＬＥＤ１０を一括して発光させる。

【0064】

なお、制御部１２０は、波長特性の試験対象となる複数のＬＥＤ１０のうちの一部のＬＥＤ１０を一括して発光させる場合には、波長特性の試験対象となる複数のＬＥＤ１０のうちの残りのＬＥＤ１０についても、一部又は全てのＬＥＤ１０を一括して発光させることを繰り返すことにより、波長特性の試験対象となる全てのＬＥＤ１０を段階的に順次発光させる。なお、本願明細書では、波長特性の試験において、このように一括して発光させる複数のＬＥＤ１０を、ＬＥＤ群の測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０と称する場合がある。この場合、ＬＥＤ群には、それぞれが複数のＬＥＤ１０を含む、１つ又は複数の測定対象エリアが存在することになる。

【0065】

試験装置１００は、発光制御段階で発光させた複数のＬＥＤ１０からの光を受光して、受光した光の波長を測定する光測定段階を実行する（ステップＳ１０９）。具体的な一例として、制御部１２０は、光測定部１１０に命令を出し、光学系１４０で集光される、ＬＥＤ群の測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０のそれぞれからの光を受光させ、当該複数のＬＥＤ１０の合成光の波長を測定させ、測定結果を制御部１２０に出力させる。なお、ＬＥＤ群に複数の測定対象エリアが存在する場合、制御部１２０は、光測定部１１０に、それぞれの測定対象エリアの当該測定結果を制御部１２０に出力させる。

【0066】

試験装置１００は、光測定段階で測定された複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布に基づいて、当該複数のＬＥＤ１０のうちの少なくとも１つのＬＥＤ１０に異常があるか否かを判定する判定段階を実行し（ステップＳ１１１）、当該フローは終了する。

【0067】

具体的な一例として、制御部１２０は、光測定部１１０から入力される測定対象エリアごとの測定結果に示される光の波長の強度分布に基づいて、当該測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０のうちの少なくとも１つのＬＥＤ１０に異常があるか否かを判定する。より具体的には、制御部１２０は、当該測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布を、当該ＬＥＤ１０の数に対応する基準の強度分布と比較した結果に基づいて、当該複数のＬＥＤ１０のうちの少なくとも１つのＬＥＤ１０に異常があるか否かを判定する。

【0068】

制御部１２０は、図３のフローを実行した結果として、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０において異常があると判定されたことに応じて、電気測定部１５５および光測定部１１０に命令を出し、当該複数のＬＥＤ１０のそれぞれに対して順にステップＳ１０７～ステップＳ１１１の各段階を実行することで、個別に波長特性試験を実行してもよい。ただし、この場合におけるステップＳ１１１の判定段階では、制御部１２０は、光測定段階で測定された１つのＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布に基づいて、当該ＬＥＤ１０に異常があるか否かを判定する。例えば、制御部１２０は、当該強度分布を、ＬＥＤ１０が１つの場合における基準の強度分布と比較した結果に基づいて、当該ＬＥＤ１０に異常があるか否かを判定する。

【0069】

これに代えて、制御部１２０は、図３のフローを実行した結果として、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０において異常があると判定されたことに応じて、複数のＬＥＤ１０を複数のグループに分割する機能を有してもよい。この場合、制御部１２０および光測定部１１０は、複数のグループのそれぞれについて、全てのＬＥＤ１０を発光させて光の波長を測定してもよい。制御部１２０は更に、複数のグループのそれぞれに含まれる全てのＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布に基づいて、複数のグループのそれぞれに含まれる少なくとも１つのＬＥＤ１０に異常があるか否かを判定してもよい。例えば、制御部１２０は、２分岐法で不良のＬＥＤ１０を徐々に絞り込んでいってもよい。なお、この場合の制御部１２０はグループ分割部の一例である。

【0070】

なお、試験装置１００は、図３のフロー中の各ステップの順序を異ならせてもよく、１つ又は複数のステップを省略してもよい。例えば、試験装置１００は、ステップＳ１０１の電気特性試験を実行した後に、ステップＳ１０７～ステップＳ１１１の波長特性試験を実行し、続けてステップＳ１０３～ステップＳ１０５の輝度又は光度特性試験を実行してもよい。また例えば、試験装置１００は、ステップＳ１０１の電気特性試験およびステップＳ１０３～ステップＳ１０５の輝度又は光度特性試験を実行せずに、ステップＳ１０７～ステップＳ１１１の波長特性試験を実行してもよい。また例えば、試験装置１００は、ステップＳ１０１の電気特性試験を実行せずに、ステップＳ１０３～ステップＳ１０５の輝度又は光度特性試験、および、ステップＳ１０７～ステップＳ１１１の波長特性試験を順不同に実行してもよい。

【0071】

図４は、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布を示すグラフの一例である。図４のグラフにおいて、横軸は光の波長を指し、縦軸は光の強度を指す。図４のグラフ上、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０からの光の、個々の波長の強度分布を（１）で示し、合成の波長の強度分布を（２）で示す。以降の図においても同様とし、重複する説明を省略する。

【0072】

ＬＥＤ１０からの光の強度は、ＬＥＤ１０からの光の輝度や光度との間に相関を有し、また、ＬＥＤ１０が照射された光を光電変換した光電信号の電流値との間に相関を有する。図４の例においては、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０の全てが、本来ＬＥＤ１０の発光光の波長として期待されている波長において、互いに同じ強度で発光している。すなわち、図４の例においては、複数のＬＥＤ１０は、波長に異常が無く、且つ、同一の光源１３０から一括照射された光を光電変換した光電信号の電流値が互いに同等である。

【0073】

このように、光電信号の電流値が互いに同等であって且つ波長に異常がない複数のＬＥＤ１０からの合成光の波長の強度分布は、図４に示す合成の波長の強度分布（２）のようになる。試験装置１００は、例えば図４に示す合成の波長の強度分布（２）を、前述した基準の強度分布の１つとする。試験装置１００は、当該基準の強度分布を示すデータを、波長の強度分布が合成されるＬＥＤ１０の数毎に格納部１８０に予め格納し、図３のフローにおけるステップＳ１１１で参照してもよい。例えば、試験装置１００は、測定対象エリアごとに測定された合成光の波長の強度分布が、当該測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０の数に対応する基準の強度分布と一致する場合に、当該測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０の何れにも異常が無いと判定してもよい。

【0074】

図５は、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布を示すグラフの一例である。図５の例においては、当該複数のＬＥＤ１０のうちの１つが、強度分布（ｆ）で示したように、本来ＬＥＤ１０の発光光の波長として期待されている波長からずれた波長において、他のＬＥＤ１０よりも弱い強度で発光している。すなわち、図５の例においては、複数のＬＥＤ１０のうちの当該１つが、残りのＬＥＤ１０と比べて、波長に異常があり、且つ、同一の光源１３０から一括照射された光を光電変換した光電信号の電流値が低い。それにも拘らず、図５に示す合成の波長の強度分布（２）は、図４に示す合成の波長の強度分布（２）と似たものとなっている。

【0075】

図５の例のように、複数のＬＥＤ１０の中に、波長に異常があるＬＥＤ１０が含まれていたとしても、当該ＬＥＤ１０からの光電信号の電流値が他のＬＥＤ１０に比べて低い場合、当該複数のＬＥＤ１０からの合成光の波長の強度分布が、当該複数のＬＥＤ１０の数に対応する基準の強度分布と一致してしまう場合がある。この場合、当該ＬＥＤ１０の波長の異常を検知することが困難になり得る。

【0076】

図６は、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０からの光の波長の強度分布を示すグラフの一例である。図６の例においては、当該複数のＬＥＤ１０のうちの１つが、強度分布（ｆ）で示したように、本来ＬＥＤ１０の発光光の波長として期待されている波長からずれた波長において、他のＬＥＤ１０と同等の強度で発光している。すなわち、図６の例においては、複数のＬＥＤ１０のうちの当該１つが、残りのＬＥＤ１０と比べて、波長に異常があり、その一方で、同一の光源１３０から一括照射された光を光電変換した光電信号の電流値が残りのＬＥＤ１０と同等である。その結果として、図６に示す合成の波長の強度分布（２）は、図４に示す合成の波長の強度分布（２）とは異なり、（Ｆ）で示した箇所において変異している。

【0077】

試験装置１００は、図３のフローにおけるステップＳ１０５で説明した通り、試験対象となる複数のＬＥＤ１０からの光電信号に基づいて、当該複数のＬＥＤ１０のそれぞれの良否を判定し、不良と判定したＬＥＤ１０を、当該輝度特性又は光度特性の試験以降の試験で発光させる対象から除外してもよい。一例として、試験装置１００は、試験対象となる複数のＬＥＤ１０について、同一の光源１３０から光を一括照射して光電変換された光電信号の電流値が、当該複数のＬＥＤ１０の中で相対的に低いＬＥＤ１０を除外してもよい。

【0078】

これにより、試験装置１００は、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０の中に、光の強度は正常且つ光の波長は異常なＬＥＤ１０が含まれている場合には、図６に示すような、基準の強度分布から変異している合成光の波長の強度分布（２）を生成する。よって、試験装置１００は、図５の例のようにＬＥＤ１０の波長の異常を検知することが困難になる、という事態を予め回避できる。すなわち、試験装置１００は、光電試験と波長特性試験とを組み合わせることにより、試験対象となる複数のＬＥＤ１０の中に、輝度又は光度に不良があるＬＥＤ１０が含まれることも、波長に異常があるＬＥＤ１０が含まれることも、正しく判定することができる。試験装置１００は、波長特性試験の対象から光電信号等に異常があるＬＥＤ１０を除外しない場合に比べて、波長特性試験の試験精度を高めることができる、とも言える。

【0079】

また、試験装置１００は、図６に示すような合成光の波長の強度分布を生成し、生成した強度分布を基準の強度分布と比較した結果として上述の変異の存在を確認した場合には、例えばフーリエ変換、GMMなどの手法を用いて周波数毎の波長成分を算出してもよい。これにより、試験装置１００は、測定対象エリアに含まれる複数のＬＥＤ１０のそれぞれの波長成分の中に、本来無いはずの波長成分が含まれるか否かをより確実に確認でき、よって、当該複数のＬＥＤ１０の中に当該波長成分の光を放射する不良なＬＥＤ１０が含まれるか否かをより確実に確認できる。換言すると、試験装置１００は、合成光の波長の強度分布における変異が、測定エラーや外乱などに起因するものではなく、本来ＬＥＤ１０の発光光の波長として期待されている波長からずれた波長の光を放射するＬＥＤ１０の存在に起因するものであることを確認できる。

【0080】

以上、本実施形態による試験装置１００によれば、試験対象となる複数のＬＥＤ１０を一括して発光させ、当該複数のＬＥＤ１０からの光の波長を包括的に測定し、当該包括的な波長の強度分布に基づいて、当該複数のＬＥＤ１０のうちの少なくとも１つのＬＥＤ１０に異常があるか否かを判定する。これにより、試験装置１００は、試験対象となる複数のＬＥＤ１０を個別に順次発光させて波長特性を試験する場合に比べて、試験の実行時間を短縮することができる。

【0081】

また、本実施形態による試験装置１００によれば、複数のＬＥＤ１０の波長特性試験と輝度特性試験又は光度特性試験とを、同じ光学系を用いて双方向で行う。より具体的には、試験装置１００は、光学系１４０を介して、当該複数のＬＥＤ１０からの光を包括的に受光し、且つ、光源１３０からの光を当該複数のＬＥＤ１０へと一括して照射する。試験装置１００は、当該複数のＬＥＤ１０からの光によって当該複数のＬＥＤ１０の波長特性を包括的に試験し、且つ、当該複数のＬＥＤ１０のそれぞれが照射された光を光電変換した光電信号によって当該複数のＬＥＤ１０の輝度特性又は光度特性を個別に試験する。

【0082】

このように、試験装置１００によれば、装置構成の変更も試験対象となるＬＥＤ１０の移動も要することなく、同じ光学系を用いて、試験対象となる複数のＬＥＤ１０の波長特性を包括的に試験し、且つ、当該複数のＬＥＤ１０の輝度特性又は光度特性を個別に試験することができる。これにより、試験装置１００は、これらの試験を切り替える際に装置構成の変更や試験対象となるＬＥＤ１０の移動を要する場合に比べて試験の実行時間を短縮することができるだけでなく、各試験で異なる光学系を用いる場合の環境差異による測定誤差を防止することもできる。

【0083】

以上の複数の実施形態において、試験装置１００は、光学系１４０において、２分岐ファイバ１４１などの分岐ファイバの代わりに、プリズム等の別の機構を備えてもよい。この場合、プリズム等は、上記の実施形態で説明した２分岐ファイバ１４１の機能構成と同様の機能構成を有する。

【0084】

以上の複数の実施形態において、ＬＥＤ群が、電気配線が形成された略方形の外形を有するガラスベースのパネル（ＰＬＰ）に複数のＬＥＤが形成された構成である場合、電気接続部は、パネルの２つの側面に配された、行方向および列方向の各配線にプローブを接触させる構成であってもよい。

【0085】

本発明の様々な実施形態は、フローチャートおよびブロック図を参照して記載されてよく、ここにおいてブロックは、（１）操作が実行されるプロセスの段階または（２）操作を実行する役割を持つ装置のセクションを表わしてよい。特定の段階およびセクションが、専用回路、コンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプログラマブル回路、および／またはコンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプロセッサによって実装されてよい。専用回路は、デジタルおよび／またはアナログハードウェア回路を含んでよく、集積回路（ＩＣ）および／またはディスクリート回路を含んでよい。プログラマブル回路は、論理ＡＮＤ、論理ＯＲ、論理ＸＯＲ、論理ＮＡＮＤ、論理ＮＯＲ、および他の論理操作、フリップフロップ、レジスタ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブルロジックアレイ（ＰＬＡ）等のようなメモリ要素等を含む、再構成可能なハードウェア回路を含んでよい。

【0086】

コンピュータ可読媒体は、適切なデバイスによって実行される命令を格納可能な任意の有形なデバイスを含んでよく、その結果、そこに格納される命令を有するコンピュータ可読媒体は、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく実行され得る命令を含む、製品を備えることになる。コンピュータ可読媒体の例としては、電子記憶媒体、磁気記憶媒体、光記憶媒体、電磁記憶媒体、半導体記憶媒体等が含まれてよい。コンピュータ可読媒体のより具体的な例としては、フロッピー（登録商標）ディスク、ディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭまたはフラッシュメモリ）、電気的消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、静的ランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、コンパクトディスクリードオンリメモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイ（ＲＴＭ）ディスク、メモリスティック、集積回路カード等が含まれてよい。

【0087】

コンピュータ可読命令は、アセンブラ命令、命令セットアーキテクチャ（ＩＳＡ）命令、マシン命令、マシン依存命令、マイクロコード、ファームウェア命令、状態設定データ、またはＳｍａｌｌｔａｌｋ（登録商標）、ＪＡＶＡ（登録商標）、Ｃ＋＋等のようなオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語または同様のプログラミング言語のような従来の手続型プログラミング言語を含む、１または複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで記述されたソースコードまたはオブジェクトコードのいずれかを含んでよい。

【0088】

コンピュータ可読命令は、汎用コンピュータ、特殊目的のコンピュータ、若しくは他のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサまたはプログラマブル回路に対し、ローカルにまたはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、インターネット等のようなワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を介して提供され、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく、コンピュータ可読命令を実行してよい。プロセッサの例としては、コンピュータプロセッサ、処理ユニット、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ等を含む。

【0089】

図７は、本発明の複数の態様が全体的又は部分的に具現化されうるコンピュータ１２００の例を示す。コンピュータ１２００にインストールされたプログラムは、コンピュータ１２００に、本発明の実施形態に係る装置に関連付けられるオペレーション又は当該装置の１又は複数の「部」として機能させ、又は当該オペレーション又は当該１又は複数の「部」を実行させることができ、及び／又はコンピュータ１２００に、本発明の実施形態に係るプロセス又は当該プロセスの段階を実行させることができる。このようなプログラムは、コンピュータ１２００に、本明細書に記載のフローチャート及びブロック図のブロックのうちのいくつか又はすべてに関連付けられた特定のオペレーションを実行させるべく、ＣＰＵ１２１２によって実行されてよい。

【0090】

本実施形態によるコンピュータ１２００は、ＣＰＵ１２１２、ＲＡＭ１２１４、グラフィックコントローラ１２１６、及びディスプレイデバイス１２１８を含み、これらはホストコントローラ１２１０によって相互に接続される。コンピュータ１２００はまた、通信インターフェース１２２２、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６、及びＩＣカードドライブのような入出力ユニットを含み、これらは入出力コントローラ１２２０を介してホストコントローラ１２１０に接続される。コンピュータはまた、ＲＯＭ１２３０及びキーボード１２４２のようなレガシの入出力ユニットを含み、これらは入出力チップ１２４０を介して入出力コントローラ１２２０に接続される。

【0091】

ＣＰＵ１２１２は、ＲＯＭ１２３０及びＲＡＭ１２１４内に格納されたプログラムに従い動作し、これにより各ユニットを制御する。グラフィックコントローラ１２１６は、ＲＡＭ１２１４内に提供されるフレームバッファ等又は当該グラフィックコントローラ１２１６自体の中に、ＣＰＵ１２１２によって生成されるイメージデータを取得し、イメージデータがディスプレイデバイス１２１８上に表示させる。

【0092】

通信インターフェース１２２２は、ネットワークを介して他の電子デバイスと通信する。ハードディスクドライブ１２２４は、コンピュータ１２００内のＣＰＵ１２１２によって使用されるプログラム及びデータを格納する。ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６は、プログラム又はデータをＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１から読み取り、ハードディスクドライブ１２２４にＲＡＭ１２１４を介してプログラム又はデータを提供する。ＩＣカードドライブは、プログラム及びデータをＩＣカードから読み取り、及び／又はプログラム及びデータをＩＣカードに書き込む。

【0093】

ＲＯＭ１２３０は、内部に、アクティブ化時にコンピュータ１２００によって実行されるブートプログラム等、及び／又はコンピュータ１２００のハードウェアに依存するプログラムを格納する。入出力チップ１２４０はまた、様々な入出力ユニットをパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して、入出力コントローラ１２２０に接続してよい。

【0094】

プログラムが、ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１又はＩＣカードのようなコンピュータ可読記憶媒体によって提供される。プログラムは、コンピュータ可読記憶媒体から読み取られ、コンピュータ可読記憶媒体の例でもあるハードディスクドライブ１２２４、ＲＡＭ１２１４、又はＲＯＭ１２３０にインストールされ、ＣＰＵ１２１２によって実行される。これらのプログラム内に記述される情報処理は、コンピュータ１２００に読み取られ、プログラムと、上記様々なタイプのハードウェアリソースとの間の連携をもたらす。装置又は方法が、コンピュータ１２００の使用に従い情報のオペレーション又は処理を実現することによって構成されてよい。

【0095】

例えば、通信がコンピュータ１２００及び外部デバイス間で実行される場合、ＣＰＵ１２１２は、ＲＡＭ１２１４にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理に基づいて、通信インターフェース１２２２に対し、通信処理を命令してよい。通信インターフェース１２２２は、ＣＰＵ１２１２の制御の下、ＲＡＭ１２１４、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１、又はＩＣカードのような記録媒体内に提供される送信バッファ領域に格納された送信データを読み取り、読み取られた送信データをネットワークに送信し、又はネットワークから受信した受信データを記録媒体上に提供される受信バッファ領域等に書き込む。

【0096】

また、ＣＰＵ１２１２は、ハードディスクドライブ１２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ１２２６（ＤＶＤ－ＲＯＭ１２０１）、ＩＣカード等のような外部記録媒体に格納されたファイル又はデータベースの全部又は必要な部分がＲＡＭ１２１４に読み取られるようにし、ＲＡＭ１２１４上のデータに対し様々なタイプの処理を実行してよい。ＣＰＵ１２１２は次に、処理されたデータを外部記録媒体にライトバックしてよい。

【0097】

様々なタイプのプログラム、データ、テーブル、及びデータベースのような、様々なタイプの情報が、情報処理されるべく、記録媒体に格納されてよい。ＣＰＵ１２１２は、ＲＡＭ１２１４から読み取られたデータに対し、本開示の随所に記載され、プログラムの命令シーケンスによって指定される様々なタイプのオペレーション、情報処理、条件判断、条件分岐、無条件分岐、情報の検索／置換等を含む、様々なタイプの処理を実行してよく、結果をＲＡＭ１２１４に対しライトバックする。また、ＣＰＵ１２１２は、記録媒体内のファイル、データベース等における情報を検索してよい。例えば、各々が第２の属性の属性値に関連付けられた第１の属性の属性値を有する複数のエントリが記録媒体内に格納される場合、ＣＰＵ１２１２は、当該複数のエントリの中から、第１の属性の属性値が指定されている条件に一致するエントリを検索し、当該エントリ内に格納された第２の属性の属性値を読み取り、これにより予め定められた条件を満たす第１の属性に関連付けられた第２の属性の属性値を取得してよい。

【0098】

以上の説明によるプログラム又はソフトウェアモジュールは、コンピュータ１２００上又はコンピュータ１２００近傍のコンピュータ可読記憶媒体に格納されてよい。また、専用通信ネットワーク又はインターネットに接続されたサーバシステム内に提供されるハードディスク又はＲＡＭのような記録媒体が、コンピュータ可読記憶媒体として使用可能であり、これにより、プログラムをコンピュータ１２００にネットワークを介して提供する。

【0099】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【0100】

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

【符号の説明】

【0101】

１０ ＬＥＤ
１１ 端子
１５ ウェハ
１００ 試験装置
１１０ 光測定部
１２０ 制御部
１３０ 光源
１４０ 光学系
１５０ 電気接続部
１５１ 基板
１５３ プローブ
１５５ 電気測定部
１６０ 載置部
１７０ 遮蔽部
１８０ 格納部
１２００ コンピュータ
１２０１ ＤＶＤ－ＲＯＭ
１２１０ ホストコントローラ
１２１２ ＣＰＵ
１２１４ ＲＡＭ
１２１６ グラフィックコントローラ
１２１８ ディスプレイデバイス
１２２０ 入出力コントローラ
１２２２ 通信インターフェース
１２２４ ハードディスクドライブ
１２２６ ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ
１２３０ ＲＯＭ
１２４０ 入出力チップ
１２４２ キーボード

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】