特開2023-39420基板処理装置、基板処理設備、及び基板処理方法

発明の名称　基板処理装置、基板処理設備、及び基板処理方法

出願人　セメス　カンパニー，リミテッド　（識別番号 518162784）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2725 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-39420

公報発行日　2023年3月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-39420

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2023-39420「基板処理装置、基板処理設備、及び基板処理方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録