特開 2023-39463 燃料電池用ガスケットとこれを備えた燃料電池

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023039463

(43)【公開日】2023-03-22

(54)【発明の名称】燃料電池用ガスケットとこれを備えた燃料電池

(51)【国際特許分類】

   H01M 8/0284 20160101AFI20230314BHJP

   H01M 8/0286 20160101ALI20230314BHJP

   H01M 4/92 20060101ALI20230314BHJP

   F16J 15/10 20060101ALI20230314BHJP

   H01M 8/10 20160101ALN20230314BHJP

【ＦＩ】

H01M8/0284

H01M8/0286

H01M4/92

F16J15/10 Y

H01M8/10 101

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021146549

(22)【出願日】2021-09-09

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106116

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 健司

(74)【代理人】

【識別番号】100131495

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 健児

(72)【発明者】

【氏名】吉本 規寿

(72)【発明者】

【氏名】山内 将樹

(72)【発明者】

【氏名】武田 憲有

【テーマコード（参考）】

3J040

5H018

5H126

【Ｆターム（参考）】

3J040EA05

3J040EA16

3J040FA06

3J040HA15

5H018AA06

5H018BB01

5H018BB03

5H018EE16

5H018EE17

5H018EE18

5H018HH00

5H018HH03

5H018HH05

5H126AA13

5H126BB06

5H126DD02

5H126GG17

5H126GG18

5H126JJ00

5H126JJ03

5H126JJ05

(57)【要約】

【課題】本開示は、燃料電池の電圧低下の原因となるガスケット製造時に発生する架橋剤分解生成物の芳香族カルボニル化合物の透過を抑え、燃料電池の電極にある触媒被毒とそれに伴う電圧低下を抑制できる燃料電池用ガスケットを提供する。
【解決手段】本開示の燃料電池用ガスケットは、表層と表層より内側が同じゴム材料で構成され、かつ、表層の架橋密度が、表層より内側の架橋密度に対し、＋０．０１％以上になるように構成される。ガスケット表層からブリードアウトする架橋剤分解生成物であり、それ自身もまた架橋剤である芳香族カルボニル化合物に対し、架橋反応を促進させることで、ガスケット表層の架橋密度を向上させる。これにより、芳香族カルボニル化合物の透過を抑え、燃料電池の電極にある触媒被毒を抑制し、電圧低下を抑制することができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

表層と前記表層より内側がゴム系材料で構成され、かつ、前記表層の架橋密度が、前記表層より内側の架橋密度に対し、＋０．０１％以上である燃料電池用ガスケット。

【請求項2】

前記表層の層厚みが、０．１ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の燃料電池用ガスケット。

【請求項3】

前記表層には、ガスケット材の未架橋ポリマーを架橋するラジカル生成物を有する請求項１または２に記載の燃料電池用ガスケット。

【請求項4】

前記ガスケット材の未架橋ポリマーを架橋するラジカル生成物が、芳香族カルボニル、ないしはその化合物のラジカル生成物であることを特徴とする請求項３記載の燃料電池用ガスケット。

【請求項5】

請求項１から４のいずれか１項に記載の燃料電池用ガスケットと、
白金を用いたアノード触媒層またはカソード触媒層と、
を備える燃料電池。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、燃料電池用ガスケットとこれを用いた燃料電池に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１は、触媒層に付着した有機物を効率的に除去する燃料電池の製造方法を開示する。この製造方法は、アノード側に水素、カソード側に窒素又は水素を封入した状態で燃料電池の電圧を０Ｖに保ち、触媒層から有機物を脱離させる工程と、燃料電池内の温度を上げて脱離させた有機物を蒸発させる工程と、蒸発させた有機物を燃料電池から排気する工程と、を備える。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第６２１０２２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、燃料電池の電極にある触媒の被毒を抑制し、電圧低下を抑制できる燃料電池用ガスケットとこれを備えた燃料電池を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の燃料電池用ガスケットは、表層と表層より内側が同じゴム材料で構成され、かつ、表層の架橋密度が、表層より内側の架橋密度に対し、＋０．０１％以上になるように構成されている。

【発明の効果】

【0006】

本開示における燃料電池用ガスケットは、濃度拡散でガスケット表層から大気へ拡散（以下、ブリードアウトという）する架橋剤分解生成物であり、それ自身もまた架橋剤である芳香族カルボニル化合物に対し、架橋反応を促進させることで、ガスケット表層の架橋密度を向上させる。これにより、芳香族カルボニル化合物の透過を抑え、燃料電池の電極にある触媒被毒を抑制し、電圧低下を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】実施の形態１における燃料電池用ガスケットを用いた燃料電池の断面図

【図2】実施の形態１における光照射前の燃料電池用ガスケットの断面図

【図3】実施の形態１における光照射による架橋を示した燃料電池用ガスケットの断面図

【図4】実施の形態１における光照射後の燃料電池用ガスケットの断面図

【図5】他の実施の形態における燃料電池用ガスケットの断面図

【図6】他の実施の形態における燃料電池用ガスケットの光照射による架橋を行っているときの断面図

【発明を実施するための形態】

【0008】

（本開示の基礎となった知見等）
発明者らが本開示に想到するに至った当時、電解質として高分子電解質膜を用い、電解質膜－電極－枠体接合体に、系外へのガスリークを抑制するガスケットを配置し、ガス流路が形成されたセパレータで挟持して燃料電池を形成する技術があった。

【0009】

この燃料電池を形成する技術は、アノード及びカソード中にそれぞれ備えられる触媒層の触媒作用によって水素含有ガスと空気との電気化学反応を進行させ、外部回路に電子を取り出す構成を有するものであった。

【0010】

しかしながら、この燃料電池のアノード触媒層及びカソード触媒層には、特に燃料電池組立直後において、新品の燃料電池構成部材から溶出される有機物などの不純物が付着し、触媒層中の触媒である白金を被毒し、水素含有ガスと空気との電気化学反応を阻害し、発電電圧を低下させていた。

【0011】

こうした状況において、発明者らは、燃料電池構成部材から溶出される有機物の同定と発生源の探索を行った。

【0012】

そして、発明者らは、燃料電池用ガスケットの製造過程で生じたガスケットの架橋分解生成物が要因であることが分かった。

【0013】

即ち、ガスケット成型法として、未架橋ゴム材を密閉状態で加圧加熱処理してセパレータへ転写する際に同時に架橋反応を行う。このとき、架橋剤をあらかじめゴム材中に配合していた。

【0014】

架橋剤は、高い架橋効率や反応性を考慮した場合、有機過酸化物架橋剤の一種を用いる。これを用いると、ガスケット中に、架橋剤分解生成物である芳香族カルボニル化合物が残留し、ガスケット表層へ移動し、ブリードアウトが起こる。

【0015】

この芳香族カルボニル化合物は、カルボニル基を有し、触媒層中の白金表面に吸着して被毒し、電気化学反応を阻害して発電電圧を低下させていた。

【0016】

ここで、芳香族カルボニル化合物はラジカル分解により、その後再び架橋剤として反応できるようになるため、ガスケット表層の芳香族カルボニル化合物の架橋を促進させて架橋密度を高めれば、ガスケットの内部の芳香族カルボニル化合物がガスケット表層からブリードアウトすることを遅延させることができるという着想を得た。

【0017】

そこで、本開示は、製造後の燃料電池のガスケット材からブリードアウトする芳香族カルボニル化合物を、ラジカル分解させ、ガスケット表層を架橋させることで、芳香族カルボニル化合物がガスケットより外側にブリードアウトすることを抑制し、燃料電池の発電性能の低下を抑制することができる燃料電池用ガスケットとこれを用いた燃料電池を提供する。

【0018】

以下、図面を参照しながら実施の形態を詳細に説明する。ただし、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明、または、実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。

【0019】

なお、添付図面及び以下の説明は、当事者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することを意図していない。
（実施の形態１）
以下、図１～３を用いて、実施の形態１を説明する。
［１－１．構成］
図１において、燃料電池１００は、電解質膜－電極接合体１０４と、アノードガス拡散層１０５と、カソードガス拡散層１０６と、セパレータ１０７と、枠体１０８と、ガスケット１１０とから構成される。

【0020】

電解質膜－電極接合体１０４は、電解質膜１０１と、電解質膜１０１を挟んで一方の面に配置されるアノード触媒層１０２と、他方の面に配置されるカソード触媒層１０３と、を備える。

【0021】

電解質膜１０１は、アノード触媒層１０２で生成する水素イオンをカソード触媒層１０３に輸送する機能を果たし、水素イオン伝導性を有する高分子材料で構成され、具体的には、水素イオン交換基としてスルホン酸基を有するパーフルオロスルホン酸系の高分子材料で構成されている。

【0022】

アノード触媒層１０２は、アノード側のセパレータ１０７のガス流路１０９からアノードガス拡散層１０５を通過してアノード触媒層１０２に供給される水素含有ガスに含まれる水素を水素イオンに解離する電気化学反応を促進する機能を果たし、触媒として白金（Ｐｔ）を担持したカーボン粒子と高分子電解質樹脂とを含んでいる。

【0023】

カソード触媒層１０３は、アノード触媒層１０２から電解質膜１０１を通ってカソードガス拡散層１０６を通過してカソード触媒層１０３に移動する水素イオンと、カソード側のセパレータ１０７のガス流路１０９からカソード触媒層１０３に供給される空気に含まれる酸素から水を生成する電気化学反応を促進する機能を果たし、触媒として白金（Ｐｔ）を担持したカーボン粒子と高分子電解質樹脂とを含んでいる。

【0024】

アノードガス拡散層１０５は、アノード触媒層１０２の電解質膜１０１と接している面と反対側に配置される。

【0025】

アノードガス拡散層１０５は、アノード触媒層１０２への水素含有ガスの供給と、アノード触媒層１０２との間で電子の授受を行う機能を果たし、ガス透過性と電子伝導性を併せ持つ導電性カーボンペーパーを主な構成部材として構成されている。

【0026】

カソードガス拡散層１０６は、カソード触媒層１０３の電解質膜１０１と接している面と反対側に配置される。

【0027】

カソードガス拡散層１０６は、カソード触媒層１０３への空気の供給と、カソード触媒層１０３との間で電子の授受を行う機能を果たし、ガス透過性と電子伝導性を併せ持つ導電性カーボンペーパーを主な構成部材として構成されている。

【0028】

セパレータ１０７は、アノードガス拡散層１０５のアノード触媒層１０２と接している面と反対側と、カソードガス拡散層１０６のカソード触媒層１０３と接している面と反対側とに配置され、ガス透過性のない導電性部材である圧縮カーボンによって構成されている。

【0029】

ガスケット１１０は、セパレータ１０７の周縁部に配置され、架橋剤分解生成物として芳香族カルボニル化合物を含有するガスケット内部１１１と、ガスケット内部１１１の表層に配置され、ガスケット内部１１１の架橋密度ν１（ｍｏｌ／ｃｃ）に対し、架橋密度ν２（ｍｏｌ／ｃｃ）が＋０．０１％以上であるガスケット表層１１２と、を備える。

【0030】

架橋密度ν（ｍｏｌ／ｃｃ）は、未加硫ゴムである純ゴムに架橋剤などで架橋反応させたものである加硫ゴム中における膨潤した純ゴムの容積（純ゴム容積＋吸収した溶剤の容積）に対する純ゴムの容積分率νＲ（単位なし）、ゴム―溶剤間の相互作用定数μ、溶剤の分子容量Ｖ０（ｃｃ）を用いて、Ｆｌｏｒｙ?Ｒｅｈｎｅｒの式（数１）で表される有効網目鎖濃度（ｍｏｌ／ｃｃ）のことを指す。

【0031】

【数1】

枠体１０８は、製造時のハンドリング性の向上のため、比較的硬度が高い非導電性樹脂によって構成され、セパレータ１０７の間かつ電解質膜１０１の外周領域に額縁状に形成されている。

【0032】

ガス流路１０９は、セパレータ１０７に形成される。

【0033】

ガスケット１１０は、水素含有ガスの外部への漏出を遮断又は抑制するため、セパレータ１０７と枠体１０８との間に配置され、ガスケット内部１１１とガスケット表層１１２ともに弾性体であるゴム系材料で形成される。ガスケット１１０はセパレータ１０７に圧接着されてガスケット一体セパレータ１２０となり、燃料電池１００組立て時に枠体１０８との間で圧縮されて反力を発生し、ガスケット１１０としての機能を発揮する。ゴム系材料としては、耐久性に優れたフッ素ゴムを用いる。

【0034】

［１－２．ガスケット一体セパレータの製造方法］
ガスケット一体セパレータ１２０を製造する方法を図２～３を用いて説明する。

【0035】

まず、未架橋ゴムであるガスケット１１０をセパレータ１０７に転写成型した後、密閉下で、加圧加熱処理をして架橋反応を行い、ゴム架橋を行う（図示せず）。

【0036】

この処理により、図２に示すようにガスケット一体型セパレータができる。

【0037】

本実施の形態では、圧力３０ＭＰａ、温度１８０度で加圧加熱処理を行ったが、この値は一例であり、この値に限定されない。ゴム系材料の種類や加圧加熱処理を行う装置によって他の値を用いてもよい。

【0038】

このとき、架橋剤をあらかじめゴム材中に配合しておくことが必要である。架橋剤としては、高い架橋効率や反応性を考慮した場合、有機過酸化物架橋剤を用いる。

【0039】

次に、図３に示すようにガスケット表層１１２に光照射装置１３０から紫外線照射を行い、ガスケット１１０のガスケット表層１１２の架橋密度を向上させる。

【0040】

これにより、図４に示すように、ガスケット表層１１２の架橋密度ν２がガスケット内部１１１の架橋密度ν１より高いガスケット１１０を得ることができる。

【0041】

このとき、ガスケット表層１１２の架橋密度ν２は、ガスケット内部１１１の架橋密度ν１に対し、＋０．０１％以上になるように構成されている。
［１－３．作用］
以上のように構成された燃料電池１００において、図３～４に基づいて、その動作、作用を以下に説明する。

【0042】

架橋剤として有機過酸化物架橋剤を用いた場合、架橋反応の際に、熱分解によりガスケット１１０中に芳香族カルボニル化合物が生成する。架橋剤分解生成物である芳香族カルボニル化合物は、製造直後のガスケット１１０中に残留し、ガスケット１１０の内部から外部へブリードアウトして放出される。

【0043】

ここで図３に示すように、紫外線照射によりガスケット１１０の表面であるガスケット表層１１２の芳香族カルボニル化合物が更に架橋反応をすることで、図４に示すように、ガスケット１１０の表層にガスケット内部１１１より架橋密度の高いガスケット表層１１２を有したガスケット一体セパレータ１２０を得る。

【0044】

これを用いた燃料電池１００は、ガスケット１１０のガスケット内部１１１中に残存した芳香族カルボニル化合物が燃料電池１００内部に拡散することをガスケット表層１１２の架橋された層により抑制し、アノード触媒層１０２またはカソード触媒層１０３中の白金表面への吸着を抑制する。
［１－４．効果等］
以上のように、本実施の形態において、燃料電池１００は、電解質膜－電極接合体１０４と、アノードガス拡散層１０５と、カソードガス拡散層１０６と、セパレータ１０７と、枠体１０８と、ガスケット１１０とから構成される。

【0045】

電解質膜－電極接合体１０４は、電解質膜１０１と、電解質膜１０１を挟んで一方の面に配置されるアノード触媒層１０２と、他方の面に配置されるカソード触媒層１０３と、を備える。

【0046】

ガスケット１１０は、セパレータ１０７の周縁部に配置され、架橋剤分解生成物として芳香族カルボニル化合物を含有する。ガスケット１１０のガスケット表層１１２の架橋密度ν２が、ガスケット１１０のガスケット内部１１１の架橋密度ν１に対し、＋０．０１％以上であるように構成されている。

【0047】

これにより、ガスケット１１０のガスケット内部１１１中に残存した芳香族カルボニル化合物が燃料電池１００内部に拡散することをガスケット表層１１２のガスケット内部１１１より架橋密度が高い層により抑制し、アノード触媒層１０２またはカソード触媒層１０３中の白金表面への吸着を抑制することができる。そのため、燃料電池１００の触媒被毒による電圧低下を抑制することができる。

【0048】

本実施の形態の燃料電池１００は、ガスケット表層１１２の層厚みが０．１ｎｍ以上１０００ｎｍ以下のガスケット１１０を用いる方が好ましい。

【0049】

ガスケット表層１１２の層厚みが０．１ｎｍ以上であれば、芳香族カルボニル化合物が燃料電池１００内部に拡散することを防止でき、１０００ｎｍ以下であれば、燃料電池１００の組立時にガスケット１１０の反力が組み立てを阻害しない。

【0050】

そのため、ガスケット１１０中に残存した芳香族カルボニル化合物が燃料電池１００内部に拡散することを抑制し、アノード触媒層１０２またはカソード触媒層１０３中の白金表面への吸着を抑制し、触媒被毒による電圧低下を抑制することができる。

【0051】

また本実施の形態において、ガスケット１１０は、紫外線照射により生成された、ガスケット材の未架橋ポリマーを架橋するラジカル生成物をガスケット表層１１２に備えている。

【0052】

これにより、ガスケット表層１１２にある未架橋ポリマーと芳香族カルボニル化合物がラジカル反応し、素早く架橋反応が進むため、効率よくガスケット内部１１１より架橋密度の高いガスケット表層１１２を形成し、ガスケット１１０中に残存した芳香族カルボニル化合物が燃料電池１００内部に拡散することを抑制し、アノード触媒層１０２またはカソード触媒層１０３中の白金表面への吸着を抑え、触媒被毒による電圧低下を抑制することができる。

【0053】

また、本実施の形態において、ガスケット１１０は、図３に示すように、光照射装置１３０の波長１００ｎｍ～４００ｎｍの紫外線照射により分解してラジカル生成物を生成することができる芳香族カルボニル化合物を備える。

【0054】

これにより、簡便な設備で、効率よく、ガスケット表層１１２を架橋することができ、ガスケット１１０中に残存した芳香族カルボニル化合物が燃料電池１００内部の拡散を抑え、アノード触媒層１０２またはカソード触媒層１０３中の白金表面への吸着を抑制し、アノード触媒層１０２またはカソード触媒層１０３の触媒被毒による電圧低下を抑制することができる。

【0055】

（他の実施の形態）
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、実施の形態１を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、変更、付加、省略などを行った実施の形態にも適用できる。また、上記実施の形態１で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。

【0056】

そこで、以下、他の実施の形態を図５および図６を用いて例示する。

【0057】

実施の形態１では、燃料電池用ガスケットの一例として、ガスケット一体セパレータ１２０を説明した。燃料電池用ガスケットは、ガスケット表層１１２の架橋密度ν２が、ガスケット内部１１１の架橋密度ν１に対し、＋０．０１％以上のガスケット表層１１２を有しておればよい。したがって、燃料電池用ガスケットとセパレータを組み合わせた構造体は、ガスケット一体セパレータ１２０に限定されない。

【0058】

例えば、燃料電池用ガスケットとセパレータとを組み合わせた構造体として、図５に示すように特定の場所に設けられたガスケット保持溝２２１を有したセパレータ２０７と、そのガスケット保持溝２２１に設置されるガスケット１１０とから構成される、ガスケット別体セパレータ２２０であっても良い。

【0059】

ガスケット別体セパレータ２２０は、ガスケット１１０をセパレータ２０７のガスケット保持溝２２１に設置する前に、ガスケット１１０のガスケット表層１１２にＵＶ照射などの処理を行うことで、ガスケット表層１１２の架橋密度を向上させたのち、セパレータ２０７のガスケット保持溝２２１に嵌め込むことで固定し、ガスケット一体セパレータ１２０と同じように構成することができる。

【0060】

これにより、ガスケット１１０をセパレータ２０７とは別で分けて処理することができるので、セパレータ２０７の耐熱温度などの制約条件に左右されずに処理することができる。

【0061】

実施の形態１では、架橋剤のラジカルを生成させる方法として、紫外線照射を説明したが、ラジカル生成物を発生させる方法であれば、特に制限されない。例えば他に、加圧、加湿などの条件を伴う加熱処理や、光（活性エネルギー線）を照射する照射法があり、それぞれ単独で用いても組み合わせで用いても良い。ここで活性エネルギー線とは、α線やβ線等の放射線、γ線やＸ線等の電磁波、電子線（ＥＢ）、波長が１００～４００ｎｍ程度の紫外線、波長が４００～８００ｎｍ程度の可視光線等の広義の光全てを含むものであり、好ましくは紫外線である。

【0062】

また、架橋剤分解生成物の芳香族カルボニル化合物を生成する成分としては、例えば、アセトフェノン系、ベンゾイン系、ベンゾフェノン系、チオキサントン系、アシルホスフィンオキサイド系、チタノセン系、ベンゾインエーテル系等が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数種類を組み合わせて使用してもよい。

【0063】

また、ゴムの架橋密度としては、ガスケット表層１１２の架橋密度がガスケット内部１１１の架橋密度より＋０．０１％以上であれば、特に制限されないが、＋０．５％以上が好適に用いられる。

【0064】

また、ゴムの架橋密度が高くなると、ゴム材の硬度が高くなり、締結時にガスケット１１０の圧縮割れの原因となるため、ガスケット表層１１２のゴムの硬度（ショアＡ硬度）が、ガスケット表層１１２より内側のガスケット内部１１１のゴムの硬度（ショアＡ硬度）よりも＋２０度以内であればよい。これは＋２０度より大きくなるとガスケット１１０が割れてしまう場合があることが実験的にわかったためである。

【0065】

実施の形態１では、光照射装置１３０から締結工程前の非締結状態のガスケット１１０に光照射することによるラジカル生成の一例として、ガスケット表層１１２に波長１００ｎｍ～４００ｎｍの紫外線照射する方法を説明した。非締結状態の方が、ガスケット１１０の表面全体を照射することができる。

【0066】

ただし、光照射装置１３０を用いたガスケット１１０への紫外線照射は、非締結状態に限定されない。光照射装置１３０を用いたガスケット１１０への紫外線照射は、先に締結時に近い状態に加工した上での照射であっても良い。図６に示すように光透過締結板１４０を用いて、ガスケット１１０を一定量押しつぶして紫外線照射することで、照射面積を大きくすることができ、ガスケット表層１１２における架橋面積を増やすことができる。

【0067】

このため、架橋剤分解生成物のガスケット表層１１２の透過を抑制し、ガスケット１１０中に残存した芳香族カルボニル化合物が燃料電池１００内部に拡散することを抑え、アノード触媒層１０２またはカソード触媒層１０３中の白金表面への吸着を抑制し、触媒被毒による電圧低下を抑制することができる。

【0068】

なお、上述の実施の形態は、本開示における技術を例示するためのものであるから、特許請求の範囲またはその均等の範囲において種々の変更、置き換え、付加、省略などを行うことができる。

【産業上の利用可能性】

【0069】

本開示は、高耐久な燃料電池用ガスケット材であり、燃料電池車や定置型燃料電池等に適用可能である。

【符号の説明】

【0070】

１００ 燃料電池
１０１ 電解質膜
１０２ アノード触媒層
１０３ カソード触媒層
１０４ 電解質膜－電極接合体
１０５ アノードガス拡散層
１０６ カソードガス拡散層
１０７ セパレータ
１０８ 枠体
１０９ ガス流路
１１０ ガスケット
１１１ ガスケット内部
１１２ ガスケット表層
１２０ ガスケット一体セパレータ
１３０ 光照射装置
１４０ 光透過締結板
２０７ セパレータ
２２０ ガスケット別体セパレータ
２２１ ガスケット保持溝

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】