特開 2023-41131 部品搭載装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023041131

(43)【公開日】2023-03-24

(54)【発明の名称】部品搭載装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20230316BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021148316

(22)【出願日】2021-09-13

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106116

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 健司

(74)【代理人】

【識別番号】100131495

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 健児

(72)【発明者】

【氏名】岡村 浩志

【テーマコード（参考）】

5E353

【Ｆターム（参考）】

5E353CC03

5E353CC12

5E353GG01

5E353HH11

5E353JJ21

5E353JJ48

5E353KK01

5E353MM04

5E353MM08

5E353QQ22

(57)【要約】

【課題】従来に比してより一層の節電を図ることができる部品搭載装置を提供することを目的とする。
【解決手段】作業ヘッド２３の吸引ノズルで部品を保持して基板に搭載する部品搭載装置１４Ａが、直前の上流設備から基板を受け取って位置決めし、部品搭載作業によって部品が搭載された基板を下流設備へ搬出する基板搬送部２１、部品を保持するための負圧を吸引ノズルに供給する真空ポンプ２５および作業ヘッド２３が部品搭載作業を行わないときに真空ポンプ２５の運転を停止させ、部品搭載作業を再開する前に運転を再開させる真空ポンプ制御部３２を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

作業ヘッドの吸引ノズルで部品を保持して基板に搭載する部品搭載装置であって、
直前の上流設備から基板を受け取って位置決めし、部品搭載作業によって部品が搭載された基板を下流設備へ搬出する基板搬送部と、
部品を保持するための負圧を前記吸引ノズルに供給する真空ポンプと、
前記作業ヘッドが部品搭載作業を行わないときに前記真空ポンプの運転を停止させ、前記作業ヘッドが部品搭載作業を再開する前に前記真空ポンプの運転を再開させる真空ポンプ制御部と、
を備えた部品搭載装置。

【請求項2】

前記真空ポンプ制御部は、前記真空ポンプの運転を停止させる場合は、前記真空ポンプの運転開始からの継続時間である運転時間が所定の第１の時間に達した以降のタイミングで実行する、請求項１に記載の部品搭載装置。

【請求項3】

前記真空ポンプ制御部は、少なくとも前記基板搬送部と前記作業ヘッドの状態を判定する設備状態判定部と、前記運転時間を計測する第１タイマと、前記設備状態判定部における判定結果に基づいて前記真空ポンプの運転を停止させる要求を行い或いは停止している前記真空ポンプの運転を再開させる要求を行う要求部と、前記要求部が前記真空ポンプの運転の停止を要求した時点で前記第１タイマが計測する前記運転時間が前記第１の時間に達していれば前記真空ポンプの運転を停止させ、達していなければ前記要求部が前記真空ポンプの運転の停止を要求した時点では前記真空ポンプの運転を停止させない停止制御部と、を有する請求項２に記載の部品搭載装置。

【請求項4】

前記真空ポンプ制御部は、前記真空ポンプの運転を再開する場合は、前記真空ポンプの停止開始からの継続時間である停止時間が所定の第２の時間に達した以降のタイミングで実行する、請求項１に記載の部品搭載装置。

【請求項5】

前記真空ポンプ制御部は、少なくとも前記基板搬送部と前記作業ヘッドの状態を判定する設備状態判定部と、前記停止時間を計測する第２タイマと、前記設備状態判定部における判定結果に基づいて前記真空ポンプの運転を停止させ、或いは停止している前記真空ポンプの運転を再開させる要求を行う要求部と、前記要求部が前記真空ポンプの運転の再開を要求した時点で前記第２タイマが計測する前記停止時間が前記第２の時間に達していれば前記真空ポンプの運転を再開させ、達していなければ前記要求部が前記真空ポンプの運転の再開を要求した時点では前記真空ポンプの運転を再開させない再開制御部と、を有する請求項４に記載の部品搭載装置。

【請求項6】

前記作業ヘッドが１枚の基板に対する部品搭載作業を終えてからの経過時間を計測する停止要求タイマを有し、前記要求部は、前記真空ポンプの運転を停止させる要求を行う場合は前記経過時間が所定時間に達した後に行う、請求項３または請求項５に記載の部品搭載装置。

【請求項7】

前記要求部は、前記基板搬送部が前記直前の上流設備が基板の搬送を開始した時点で前記真空ポンプが停止している場合は前記真空ポンプの運転を再開させる要求を行う、請求項３または請求項５に記載の部品搭載装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、作業ヘッドの吸引ノズルで部品を保持して基板に搭載する部品搭載装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、作業ヘッドの吸引ノズルで部品を保持して基板に搭載する部品搭載装置が知られている。このような部品搭載装置では、吸引ノズルは真空吸着により部品を保持するようになっている。このため部品搭載装置は負圧を発生させる真空ポンプを備えており、部品搭載装置は作業ヘッドにより部品搭載作業を行っている間は真空ポンプの電源をオンにして負圧を吸引ノズルに供給し続ける。真空ポンプの駆動には大きな電力が必要である。このため節電対策として、部品搭載作業が行われていない間は真空ポンプに供給する電力を低減するようにした技術が知られている（例えば、下記の特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１５／０９７８８０号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、真空ポンプに供給する電力を低減する手法では真空ポンプの運転自体は継続される。このため節電対策としてはまだ不十分であり、更なる改善が望まれている。

【0005】

そこで本発明は、従来に比してより一層の節電を図ることができる部品搭載装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の部品搭載装置は、作業ヘッドの吸引ノズルで部品を保持して基板に搭載する部品搭載装置であって、直前の上流設備から基板を受け取って位置決めし、部品搭載作業によって部品が搭載された基板を下流設備へ搬出する基板搬送部と、部品を保持するための負圧を前記吸引ノズルに供給する真空ポンプと、前記作業ヘッドが部品搭載作業を行わないときに前記真空ポンプの運転を停止させ、前記作業ヘッドが部品搭載作業を再開する前に前記真空ポンプの運転を再開させる真空ポンプ制御部と、を備えた。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、従来に比してより一層の節電を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施の形態における実装基板製造システムの構成を示すブロック図

【図2】本発明の一実施の形態における実装基板製造システムが備える部品搭載装置の模式的側面図

【図3】本発明の一実施の形態における部品搭載装置の制御系統を示すブロック図

【図4】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える真空ポンプ制御部が実行するオン／オフ要求処理の流れを示すフローチャート

【図5】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える真空ポンプ制御部が実行する真空ポンプオフ制御の流れを示すフローチャート

【図6】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える真空ポンプ制御部が実行する真空ポンプオン制御の流れを示すフローチャート

【図7】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が実行する部品搭載作業のタイムテーブルの第１例を示す図

【図8】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が実行する部品搭載作業のタイムテーブルの第２例を示す図

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品搭載装置を含む実装基板製造システム１の構成を示している。実装基板製造システム１は、図１に示すように、基板供給装置１１、スクリーン印刷装置１２、半田検査装置１３、複数の部品搭載装置１４Ａから成る部品搭載ライン１４、搭載状態検査装置１５、リフロー装置１６、実装基板検査装置１７、基板収納装置１８および情報管理部１９を備えている。

【0010】

基板供給装置１１は複数の基板をストックしており、下流側のスクリーン印刷装置１２に基板を１枚ずつ送出する。スクリーン印刷装置１２は基板供給装置１１から送出された基板を受け取って搬入し、スクリーン印刷によってその基板に半田を塗布する。スクリーン印刷装置１２は基板に半田を塗布したら、その基板を下流側の部品搭載ライン１４に送出する。

【0011】

部品搭載ライン１４は、複数の部品搭載装置１４Ａが直列に並べられた構成となっている。本実施の形態では、図１に示すように、番号＃１，＃２，＃３，＃４で示す４台の部品搭載装置１４Ａがこの順で上流側から並べられている。これら４台の部品搭載装置１４Ａはいずれも同じ構成であり、上流側の装置から基板を搬入して位置決めし、部品を搭載して下流側に搬出する。最も上流側に位置する番号＃１の部品搭載装置１４Ａは半田検査装置１３から基板を受け取り、最も下流側に位置する番号＃４の部品搭載装置１４Ａは搭載状態検査装置１５に基板を搬出する。部品搭載装置１４Ａの構成の詳細については後述する。

【0012】

搭載状態検査装置１５は部品搭載ライン１４の最も下流側に位置する番号＃４の部品搭載装置１４Ａから基板を受け取って搬入し、その基板における部品の搭載状態の検査を行う。搭載状態検査装置１５は図示しないカメラで基板を上方から撮像し、所定の位置に予め定められた部品が正常に搭載されているかどうかを視認して検査する。搭載状態検査装置１５は、基板の検査を終えたらその基板を下流側のリフロー装置１６に搬出する。

【0013】

リフロー装置１６は、搭載状態検査装置１５から受け取った基板を搬入し、下流側に向けて搬送しつつ、その基板にリフロー処理を施す。これによりスクリーン印刷装置によって基板に塗布された半田が溶融・固化され、部品搭載ライン１４において搭載された部品がそれぞれ基板上に保持される。リフロー装置１６はリフロー処理が施された基板を下流側の実装基板検査装置１７に搬出する。

【0014】

実装基板検査装置１７は、リフロー装置１６から受け取った基板を搬入して位置決めし、リフロー処理が施された基板における部品の状態を検査する実装基板検査を実行する。実装基板検査装置１７は、実装基板検査が終了した基板を下流側の基板収納装置１８に搬出する。基板収納装置１８は、実装基板検査装置１７から受け取った基板を収納する。

【0015】

次に、部品搭載装置１４Ａについて説明する。部品搭載装置１４Ａは、図２および図３に示すように、基板搬送部２１、部品供給部２２、作業ヘッド２３、バルブシステム２４、真空ポンプ２５、制御部２６および操作・入力部２７を備えている。

【0016】

基板搬送部２１は例えばベルトコンベア機構から成り、直前の上流設備から基板ＫＢを受け取って位置決めする。また、基板搬送部２１は作業ヘッド２３の部品搭載作業によって部品が搭載された基板ＫＢを下流設備へ搬出する。ここで、部品搭載装置１４Ａにとっての「直前の上流設備」とは、その部品搭載装置１４Ａの上流側に隣接して設けられた設備であり、部品搭載ライン１４を構成する４台の部品搭載装置１４Ａのうち、最も上流側に位置する番号＃１の部品搭載装置１４Ａにとっては半田検査装置１３であり、他の部品搭載装置１４Ａにとっては、その上流側に隣接して位置する他の部品搭載装置１４Ａ（例えば、番号＃２の部品搭載装置１４Ａにとっては番号＃１の部品搭載装置１４Ａ）である。

【0017】

部品供給部２２は、例えばテープフィーダから構成される。テープフィーダは複数の部品が一列に並んで収納されたキャリアテープをスプロケットで送りながら所定の部品取り出し位置に部品を供給する構成を有する。部品供給部２２はテープフィーダのほか、複数の部品が整列状態で配置されたトレイを所定の位置に移動させることで部品を供給するトレイフィーダ等であってもよい。

【0018】

作業ヘッド２３は基板搬送部２１によって位置決めされた基板ＫＢに対して移動自在に設けられており、下方に延びる複数の吸引ノズル２３Ｎを備えている。作業ヘッド２３は内蔵したノズル駆動機構（図示せず）によって各吸引ノズル２３Ｎを上下方向に移動（昇降）させ、また上下軸まわりに回転させる。

【0019】

図２において、バルブシステム２４は作業ヘッド２３に内蔵されており、複数の管路２４Ｈを通じて各吸引ノズル２３Ｎと繋がっている。バルブシステム２４は作業ヘッド２３内を延びて設けられた配管２３Ｔを通じて真空ポンプ２５に接続されている。真空ポンプ２５は、部品を保持するための負圧を作業ヘッド２３の吸引ノズル２３Ｎに供給するようになっており、真空ポンプ２５から負圧が供給されている状態でバルブシステム２４を駆動することで、各吸引ノズル２３Ｎに個別に吸引動作と吸引解除動作を行わせることができる。

【0020】

図３において、制御部２６は、基板搬送処理部３１、真空ポンプ制御部３２、部品搭載作業処理部３３および通信処理部３４を備えている。制御部２６は、基板搬送部２１、部品供給部２２、作業ヘッド２３、バルブシステム２４および真空ポンプ２５を制御する。操作・入力部２７は例えばタッチパネルから成り、制御部２６に繋がっている。作業者は操作・入力部２７から所要の操作を行うことで、必要な入力を制御部２６に対して行うことができる。

【0021】

基板搬送処理部３１は、上流設備（半田検査装置１３または他の部品搭載装置１４Ａ）と連携して、基板搬送部２１に基板ＫＢの搬入動作を行わせる。基板搬送処理部３１は、基板ＫＢを搬入するときには先ず、基板搬送部２１が停止している状態で、信号線ＬＮ（図２）を通じて上流設備に基板ＫＢの搬入許可を求める搬入許可信号を送信する（図２中に示す矢印Ｓ１）。

【0022】

基板搬送処理部３１は、上流設備に搬入許可信号を送信したら、信号線ＬＮを通じて上流設備から基板ＫＢの搬出を許可する基板搬出許可信号が送られてくるのを待つ。そして、上流設備から基板搬出許可が送られてきたことを検知したら、基板搬入待ち状態に入る。そして、その後（図２中に示す矢印Ｓ２）、上流設備から基板ＫＢが搬出されたら、基板搬送部２１を作動させてその基板ＫＢを搬入し、所定の作業位置に到達したところで基板搬送部２１を停止させて基板ＫＢをその位置に保持する。

【0023】

また、基板搬送処理部３１は、下流設備（他の部品搭載装置１４Ａまたは搭載状態検査装置１５）と連携して、基板搬送部２１に基板ＫＢの搬出動作を行わせる。基板搬送処理部３１は、基板ＫＢを搬出するときには先ず、基板搬送部２１が停止している状態で、信号線ＬＮを通じて下流設備から搬入許可信号が送信されるかどうかを監視する。そして、下流設備から搬入許可信号が送信されたら（図２中に示す矢印Ｓ３）、基板ＫＢを下流設備に搬出できるか否かを判断し、基板ＫＢを下流設備に搬出できると判断したら、信号線ＬＮを通じて下流設備に基板搬出許可を出力する（図２中に示す矢印Ｓ４）。基板搬送処理部３１は、基板搬出許可を下流設備に送信したら、基板搬送部２１を作動させて、基板ＫＢを下流設備に搬出する。

【0024】

真空ポンプ制御部３２は、部品搭載装置１４Ａの状態に応じて真空ポンプ２５をオンにし、或いはオフにする。真空ポンプ２５は真空ポンプ制御部３２によってオンにされている状態では。配管２３Ｔを通じてバルブシステム２４に負圧を供給する。一方、真空ポンプ２５は、真空ポンプ制御部３２によってオフにされている状態では、バルブシステム２４に負圧を供給しない。この真空ポンプ制御部３２の動作の詳細については後述する。

【0025】

部品搭載作業処理部３３は、部品供給部２２、作業ヘッド２３、バルブシステム２４および真空ポンプ２５の各作動を連動させ、基板ＫＢに部品を搭載する部品搭載作業を実行する。部品搭載作業では、作業ヘッド２３は、部品供給部２２の上方位置と基板ＫＢの上方位置の間を往復移動し、部品供給部２２が供給する部品を吸引ノズル２３Ｎで吸引（保持）する動作と、基板ＫＢ上の目標搭載位置で部品の保持（吸着）を解除する動作とを行う。ここで、作業ヘッド２３による部品の保持とその解除との切り替えは、真空ポンプ２５が配管２３Ｔを通じてバルブシステム２４に負圧を供給している状態で、部品搭載作業処理部３３がバルブシステム２４を作動させることによって行う。

【0026】

通信処理部３４は、図２および図３に示すように、通信ネットワークＮＷを通じて他の設備と繋がるとともに、情報管理部１９に繋がっている。このため部品搭載装置１４Ａの制御部２６は、情報管理部１９を通じて他の設備と情報のやり取りを行うことが可能である。

【0027】

次に、真空ポンプ制御部３２について説明する。真空ポンプ制御部３２は、図３に示すように、設備状態判定部４１、停止要求タイマ４２、第１タイマ４３、第２タイマ４４、オン／オフ要求部４５、停止制御部４６および再開制御部４７を備えている。

【0028】

設備状態判定部４１は、設備内部のセンサやプログラムを監視することにより、少なくとも基板搬送部２１と作業ヘッド２３の状態を判定する。例えば、基板搬送部２１については、上流設備から基板ＫＢが搬出されるのを待っている「基板搬入待ち状態」、上流設備から搬出される基板ＫＢを受け取って搬入している「基板搬入状態」、基板ＫＢを作業位置に保持している「基板保持状態」、下流設備に基板ＫＢを搬出している「基板搬出状態」のいずれであるかを判定する。また、作業ヘッド２３については、１枚の基板ＫＢに対する部品搭載動作を行っている「作業状態」と、１枚の基板ＫＢに対する部品搭載作業を終えた後、次の１枚の基板ＫＢに対する部品搭載作業を行う前の間の「作業待ち状態」のいずれかであるかを判定する。

【0029】

停止要求タイマ４２は、作業ヘッド２３が１枚の基板ＫＢに対する部品搭載作業を終えてからの経過時間を計測する。詳細には、設備状態判定部４１の判定結果に基づいて、作業ヘッド２３が「作業状態」から「作業待ち状態」になったことを検知した場合に起動し、時間の計測を開始する。また、停止要求タイマ４２は、設備状態判定部４１の判定結果に基づいて、作業ヘッド２３が「作業待ち状態」から「作業状態」になったことを検知した場合に時間の計測を終了し、計測した時間をリセットする。

【0030】

第１タイマ４３は真空ポンプ２５の運転開始からの継続時間（以下、「運転時間」と称する）を計測する。第２タイマ４４は真空ポンプ２５の運転停止からの継続時間（以下、「停止時間」と称する）を計測する。

【0031】

オン／オフ要求部４５は、設備状態判定部４１における判定結果に基づいて,運転中の真空ポンプ２５を停止させる要求（真空ポンプオフ要求）を行う。具体的には、オン／オフ要求部４５は、設備状態判定部４１の判定結果が基板搬送部２１について「搬入待ち状態」にある場合には、真空ポンプオフ要求を行う。但し、基板搬送部２１が「搬入待ち状態」にある場合であっても、停止要求タイマ４２によって計測される時間（作業ヘッド２３の１枚の基板ＫＢに対する部品搭載作業を終えてからの経過時間）が所定時間に達していない場合や、真空ポンプ２５が既に停止中である場合には、真空ポンプオフ要求は行わない。

【0032】

また、またオン／オフ要求部４５は、設備状態判定部４１における判定結果に基づいて、停止中の真空ポンプ２５の運転を再開させる要求（真空ポンプオン要求）を行う。具体的には、オン／オフ要求部４５は、設備状態判定部４１の判定結果が基板搬送部２１について「基板搬入待ち状態」以外の状態、すなわち「基板搬入状態」、「基板保持状態」および「基板搬出状態」のいずれかである場合には、真空ポンプオン要求を行う。但し、真空ポンプ２５が既に運転中である場合には、真空ポンプオン要求は行わない。

【0033】

停止制御部４６は、オン／オフ要求部４５から真空ポンプオフ要求があった場合に、第１タイマ４３によって計測される運転時間が所定の第１の時間に達しているか（第１タイマ４３がタイムアップしているか）否かに応じて真空ポンプ２５の運転制御を行う、具体的には、停止制御部４６は、オン／オフ要求部４５が真空ポンプオフ要求を行った時点において第１タイマ４３によって計測されている時間が第１の時間に達していた（タイムアップしていた）場合には真空ポンプ２５の運転を停止させたうえで、第１タイマ４３による時間の計測を終了させ、第１タイマ４３が計測した時間をリセットする。

【0034】

一方、停止制御部４６は、第１タイマ４３によって計測される時間が第１の時間に達していなかった（タイムアップしていなかった）場合には、その時点では真空ポンプ２５の運転を停止させず、第１タイマ４３がタイムアップする）のを待って、真空ポンプ２５を停止させる。但し、第１タイマ４３がタイムアップするまでの間に真空ポンプオン要求があった場合には、真空ポンプ２５を停止させずに第１タイマ４３による運転時間の計測を終了させ、第１タイマ４３が計測した時間をリセットする。

【0035】

このように本実施の形態において、停止制御部４６は、オン／オフ要求部４５が真空ポンプ２５の運転の停止を要求した時点で第１タイマ４３が計測する真空ポンプ２５の運転時間が第１の時間に達していれば真空ポンプ２５の運転を停止させ、達していなければオン／オフ要求部４５が真空ポンプ２５の運転の停止を要求した時点では真空ポンプ２５の運転を停止させないようになっている。

【0036】

再開制御部４７は、オン／オフ要求部４５から真空ポンプオン要求があった場合に、第２タイマ４４によって計測される停止時間が所定の第２の時間に達しているか（第２タイマ４４がタイムアップしているか）否かに応じて真空ポンプ２５の運転制御を行う。具体的には、再開制御部４７は、オン／オフ要求部４５が真空ポンプオフ要求を行った時点において第２タイマ４４によって計測されている時間が第２の時間に達していた（タイムアップしていた）場合には真空ポンプ２５の運転を再開させたうえで、第２タイマ４４による時間の計測を終了させ、第２タイマ４４が計測した時間をリセットする。

【0037】

一方、再開制御部４７は、第２タイマ４４によって計測される時間が第２の時間に達していなかった（タイムアップしていなかった）場合には、その時点では運転を再開させず、第２タイマ４４がタイムアップするのを待って、真空ポンプ２５の運転を再開させる。但し、第２タイマ４４がタイムアップするまでの間に真空ポンプオフ要求があった場合には、真空ポンプ２５の運転を再開させずに第２タイマ４４による停止時間の計測を終了させ、第２タイマ４４が計測した時間をリセットする。

【0038】

このように本実施の形態において、再開制御部４７は、オン／オフ要求部４５が真空ポンプ２５の運転の再開を要求した時点で第２タイマ４４が計測する真空ポンプ２５の停止時間が第２の時間に達していれば真空ポンプ２５の運転を再開させ、達していなければオン／オフ要求部４５が真空ポンプ２５の運転の再開を要求した時点では真空ポンプ２５の運転を再開させないようになっている。

【0039】

図４に示すフローチャートは、オン／オフ要求部４５における制御の流れを示している。図４において、オン／オフ要求部４５は、設備状態判定部４１の判定結果に基づいて、基板搬送部２１が「基板搬入待ち状態」であるかどうかを監視しており（ステップＳＴ１）、基板搬送部２１が「基板搬入待ち状態」であった場合には、停止要求タイマ４２によって計測される時間（作業ヘッド２３が１枚の基板ＫＢに対する部品搭載作業を終えてからの経過時間）が所定の時間に達しているか否か（停止要求タイマ４２がタイムアップしているか否か）を判断する（ステップＳＴ２）。

【0040】

オン／オフ要求部４５は、ステップＳＴ２において、停止要求タイマ４２がタイムアップしていないと判断した場合にはステップＳＴ１に戻り、停止要求タイマ４２がタイムアップしていると判断した場合には、真空ポンプ２５が運転中であるか否かを判断する（ステップＳＴ３）。その結果、真空ポンプ２５が運転中でなかった場合にはステップＳＴ１に戻り、真空ポンプ２５が運転中であった場合には、停止制御部４６に真空ポンプオフ要求を行ったうえで（ステップＳＴ４）、ステップＳＴ１に戻る。

【0041】

一方、オン／オフ要求部４５は、ステップＳＴ１において、基板搬送部２１が「基板搬入待ち状態」でないと判断した場合には、真空ポンプ２５が運転中であるか否かを判断する（ステップＳＴ５）。その結果、真空ポンプ２５が運転中であった場合にはステップＳＴ１に戻り、真空ポンプ２５が運転中でなかった場合には、再開制御部４７に真空ポンプオン要求を行ったうえで（ステップＳＴ６）、ステップＳＴ１に戻る。

【0042】

図５のフローチャートは、停止制御部４６が行う真空ポンプオフ制御の流れを示している。図５に示すように、停止制御部４６は、オン／オフ要求部４５から真空ポンプオフ要求があるか否かを監視しており（ステップＳＴ１１）、オン／オフ要求部４５から真空ポンプオフ要求があった場合には、第１タイマ４３によって計測される運転時間が第１の時間に達しているか否か（第１タイマ４３がタイムアップしているか否か）を判断する（ステップＳＴ１２）。

【0043】

停止制御部４６は、ステップＳＴ１２において、第１タイマ４３がタイムアップしていると判断した場合には運転中の真空ポンプ２５をオフにする（ステップＳＴ１３）。そして、第２タイマ４４を起動して真空ポンプ２５の停止時間の計測を開始したうえで（ステップＳＴ１４）、第１タイマ４３を停止させ、かつ、第１タイマ４３が計測した時間をリセットする（ステップＳＴ１５）。

【0044】

一方、停止制御部４６は、ステップＳＴ１２において、第１タイマ４３がタイムアップしていないと判断した場合には、真空ポンプオン要求がなされているか否かを判断する（ステップＳＴ１６）。そして、真空ポンプオン要求がなされていないと判断した場合には、真空ポンプ２５の運転を継続させたままステップＳＴ１２に戻り、真空ポンプオン要求がなされている（すなわち第１タイマ４３がタイムアップする前に真空ポンプオン要求がなされた）と判断した場合には、真空ポンプ２５の運転を継続させたまま第１タイマ４３を停止させ、かつ、第１タイマ４３が計測した時間をリセットする（ステップＳＴ１５）。

【0045】

ここで、上記のステップＳＴ１４で第２タイマ４４を起動させて真空ポンプ２５の停止時間の計測を開始するのは、その後に起こり得る真空ポンプ２５の運転開始（後述の再開制御部４７による真空ポンプオン制御）に備えるためである。また、ステップＳＴ１５で第１タイマ４３を停止させてリセットするのは、第１タイマ４３は既にタイムアップしており、真空ポンプ２５の運転時間をそれ以上計測する必要がないからである。

【0046】

このように本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、基板搬送部２１が「基板搬入待ち状態」になっており、かつ作業ヘッド２３が「作業待ち状態」になってから一定時間経過した場合であって（ステップＳＴ１，ＳＴ２）、真空ポンプ２５が運転中であるときには（ステップＳＴ３）、真空ポンプオフ要求がなされるようになっている（ステップＳＴ４）。そして、真空ポンプオフ要求がなされた場合には（ステップＳＴ１１）、真空ポンプ２５の運転時間が第１の時間に達しているか否かが判断され（ステップＳＴ１２）、真空ポンプ２５の運転時間が第１の時間に達していた場合にはすぐに、達していなかった場合には運転時間が第１の時間に達するのを待って、真空ポンプ２５の運転が停止されるようになっている（ステップＳＴ１３）。このように本実施の形態において、真空ポンプ制御部３２は、真空ポンプ２５の運転を停止させる場合には、その運転の停止を、真空ポンプ２５の運転時間が第１の時間に達した以降のタイミングで実行するようになっている。

【0047】

本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、基板搬送部２１が基板搬入待ちの状態（すなわち真空ポンプ２５の運転が不要な状態）になった場合には、真空ポンプ２５の運転時間が第１の時間に達した以降のタイミングで真空ポンプ２５の運転を停止させるので、不使用状態の真空ポンプ２５に給電する無駄を省いて節電を図ることができる。また、本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、真空ポンプ２５の運転を停止させる際には、真空ポンプ２５の運転開始から一定時間（第１の時間）が経過するまでは真空ポンプ２５の運転を継続させ、その一定時間が経過したタイミングで運転を停止させるようにしているので、真空ポンプ２５の運転を頻繁に停止させることによって故障（例えば急激な温度変化によって生じる結露による故障）が発生する事態を防止することができる。

【0048】

図６のフローチャートは、再開制御部４７が行う真空ポンプオン制御の流れを示している。図６に示すように、再開制御部４７は、オン／オフ要求部４５から真空ポンプオン要求があるか否かを監視しており（ステップＳＴ２１）、オン／オフ要求部４５から真空ポンプオン要求があった場合には、第２タイマ４４によって計測される時間（真空ポンプ２５の停止時間）が第２の時間に達しているか否か（第２タイマ４４がタイムアップしているか否か）を判断する（ステップＳＴ２２）。

【0049】

再開制御部４７は、ステップＳＴ２２において、第２タイマ４４がタイムアップしていると判断した場合には運転停止中の真空ポンプ２５をオンにする（ステップＳＴ２３）。そして、第１タイマ４３を起動して真空ポンプ２５の運転時間の計測を開始したうえで（ステップＳＴ２４）、第２タイマ４４を停止させ、かつ第２タイマ４４が計測した時間をリセットする（ステップＳＴ２５）。

【0050】

一方、再開制御部４７は、ステップＳＴ２２において、第２タイマ４４がタイムアップしていないと判断した場合には、真空ポンプオフ要求がなされているか否かを判断する（ステップＳＴ２６）。そして、真空ポンプオフ要求がなされていないと判断した場合には、真空ポンプ２５の運転停止を継続させたままステップＳＴ２２に戻り、真空ポンプオフ要求がなされている（すなわち第２タイマ４４がタイムアップする前に真空ポンプオフ要求がなされた）と判断した場合には、真空ポンプ２５の運転停止を継続させたまま第２タイマ４４を停止させ、かつ第２タイマ４４が計測した時間をリセットする（ステップＳＴ２５）。

【0051】

ここで、上記のステップＳＴ２４で第２タイマ４４を起動させて真空ポンプ２５の運転時間の計測を開始するのは、その後に起こり得る真空ポンプ２５の運転停止（前述の停止制御部４６による真空ポンプオフ制御）に備えるためである。また、ステップＳＴ２５で第２タイマ４４を停止させてリセットするのは、第２タイマ４４は既にタイムアップしており、真空ポンプ２５の停止時間をそれ以上計測する必要がないからである。

【0052】

このように本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、基板搬送部２１が「基板搬入待ち状態」以外の状態になっている場合であって（ステップＳＴ１）、真空ポンプ２５が運転停止中であるときには（ステップＳＴ５）、真空ポンプオン要求がなされるようになっている（ステップＳＴ６）。そして、真空ポンプオン要求がなされた場合には（ステップＳＴ２１）、真空ポンプ２５の停止時間が第２の時間に達しているか否かが判断され（ステップＳＴ２２）、真空ポンプ２５の停止時間が第２の時間に達していた場合にはすぐに、達していなかった場合には停止時間が第２の時間に達するのを待って、真空ポンプ２５の運転が再開されるようになっている（ステップＳＴ２３）。このように本実施の形態において、真空ポンプ制御部３２は、真空ポンプ２５の運転を再開させる場合には、その運転の再開を、真空ポンプ２５の停止時間が第２の時間に達した以降のタイミングで実行するようになっている。

【0053】

本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、停止している真空ポンプ２５を再開させる際には、真空ポンプ２５の運転停止から一定時間（第２の時間）が経過するまでは真空ポンプ２５の停止を継続させ、その一定時間が経過したタイミングで運転を再開させるようにしているので、真空ポンプ２５の運転を停止させた直後に真空ポンプ２５の運転を再開させることによって故障（例えば真空ポンプ２５を構成するファンブレードが逆回転して破損する故障）が発生する事態を防止することができる。

【0054】

このように、本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、作業ヘッド２３が部品搭載作業を行わないときには吸引ノズル２３Ｎに負圧を供給する真空ポンプ２５の運転を停止させ、作業ヘッド２３が部品搭載作業を再開する前に真空ポンプ２５の運転を再開させるようになっている。このように部品搭載装置１４Ａは、自動で真空ポンプ２５を停止させる機能と停止した真空ポンプ２５の運転を再開させる機能を有しており、真空ポンプ２５を運転させる必要がない場合にはこれを停止させ、真空ポンプ２５を運転させる必要があるときにはその運転を再開させることが可能である。

【0055】

次に、具体的なタイムテーブルを用いて真空ポンプ２５のオンオフ制御の例を説明する。図７は部品搭載装置１４Ａが実行する部品搭載作業のタイムテーブルの第１例を示すものであり、図８は部品搭載装置１４Ａが実行する部品搭載作業のタイムテーブルの第２例を示すものである。

【0056】

図７および図８から分かるように、第１例および第２例では、基板搬送部２１、作業ヘッド２３および真空ポンプ２５それぞれの状態の変化を経過時間（横軸）に対応させて示している。第１例および第２例とも、基板搬送部２１は基板搬入待ち→基板搬入→基板保持→基板搬出→基板搬入待ち→・・・と進行し、作業ヘッド２３は作業待ち→部品搭載作業→作業待ち→・・・と進行する。また、真空ポンプ２５は、停止→運転→停止→・・・と進行する。

【0057】

図７および図８から分かるように、第１例および第２例とも、基板搬送部２１の基板保持状態と作業ヘッド２３の部品搭載作業はほぼ同時に終了し（図７における時間Ｔａ、図８における時間Ｔｇ）、そこから基板搬送部２１は基板搬出状態を経て基板搬入待ちに移行する。また、作業ヘッド２３は作業待ち状態に移行し、移行と同時に停止要求タイマ４２が時間計測を開始する。そして、所定の時間（停止要求待ち時間）が経過した時点でタイムアップとなって（図７における時間Ｔｂ、図８における時間Ｔｈ）、オン／オフ要求部４５から真空ポンプオフ要求が出される。また、第１例および第２例とも、基板搬送部２１が基板搬入待ち状態からそれ以外の状態（基板搬入状態）に移行したときに（図７における時間Ｔｄ、図８における時間Ｔｋ）、オン／オフ要求部４５から真空ポンプオン要求が出される。

【0058】

図７に示す第１例では、停止要求タイマ４２がタイムアップとなって真空ポンプオフ要求が出されたとき（図４におけるステップＳＴ１（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ２（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ３（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ４。図７における時間Ｔｂ）、第１タイマ４３はそれよりも前にタイムアップしている（図７における時間Ｔｘ。図５におけるステップＳＴ１１（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ１２（Ｙｅｓ））。このため真空ポンプ２５は真空ポンプオフ要求が出されると同時に運転が停止される（図７における時間Ｔｂ。図５におけるステップＳＴ１３）。

【0059】

一方、図８に示す第２例では、停止要求タイマ４２がタイムアップとなって真空ポンプオフ要求が出されたとき（図４におけるステップＳＴ１（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ２（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ３（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ４。図８における時間Ｔｈ）、第１タイマ４３はまだタイムアップしていない。このため真空ポンプオフ要求が出されると同時には真空ポンプ２５の運転は停止されず、その後、第１タイマ４３がタイムアップするのを待って（図５におけるステップＳＴ１１（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ１２（Ｎｏ）→ステップＳＴ１６（Ｎｏ）→ステップＳＴ１２（Ｎｏ）→ステップＳＴ１６（Ｎｏ）→・・・→ステップＳＴ１２（Ｙｅｓ））、真空ポンプ２５の運転が停止される（図８における時間Ｔｊ。図５におけるステップＳＴ１３）。

【0060】

また、図７に示す第１例では、基板搬送部２１が基板搬入待ち状態から基板搬入状態に移行して真空ポンプオン要求が出されたとき（図４におけるステップＳＴ１（Ｎｏ）→ステップＳＴ５（Ｎｏ）→ステップＳＴ６。図７における時間Ｔｄ）、第２タイマ４４はそれよりも前にタイムアップしている（図７における時間Ｔｃ。図６におけるステップＳ２１（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ２２（Ｙｅｓ））。このため真空ポンプ２５は真空ポンプオン要求が出されると同時に運転が再開される（図７における時間Ｔｄ。図６におけるステップＳＴ２３）。

【0061】

一方、図８に示す第２例では、基板搬送部２１が基板搬入待ち状態から基板搬入状態に移行して真空ポンプオン要求が出されたとき（図４におけるステップＳＴ１（Ｎｏ）→ステップＳＴ５（Ｎｏ）→ステップＳＴ６。図８における時間Ｔｋ）、第２タイマ４４はまだタイムアップしていない。このため真空ポンプオン要求が出されると同時には真空ポンプ２５の運転は再開されず、その後、第２タイマ４４がタイムアップするのを待って（図６におけるステップＳＴ２１（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ２２（Ｎｏ）→ステップＳＴ２６（Ｎｏ）→ステップＳＴ２２（Ｎｏ）→ステップＳＴ２６（Ｎｏ）→・・・→ステップＳＴ２２（Ｙｅｓ））、真空ポンプ２５の運転が再開される（図８における時間Ｔｍ。図６におけるステップＳＴ２３）。

【0062】

また、図８に示す第２例において、時間Ｔｎで基板搬送部２１が基板搬入待ち状態から基板搬入状態に移行しているが、このとき既に真空ポンプ２５は運転中であるので（図４におけるステップＳＴ１（Ｎｏ）→ステップＳＴ５（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ１）、真空ポンプオン要求は出されない（図４においてステップＳＴ６に進まない）。また、第２例において、時間Ｔｐで停止要求タイマ４２がタイムアップしているが、このとき基板搬送部２１は基板搬入待ち状態ではなく（図４におけるステップＳＴ１（Ｙｅｓ））、真空ポンプ２５は運転中であるので（図４におけるステップＳＴ５（Ｙｅｓ）→ステップＳＴ１）、真空ポンプオフ要求は出されない（図４においてステップＳＴ４に進まない）。

【0063】

これまで述べたように、本実施の形態における部品搭載装置１４Ａは真空ポンプ制御部３２を備えており、真空ポンプ制御部３２は、作業ヘッド２３が部品搭載作業を行わないときには真空ポンプ２５の運転を停止させ、部品搭載作業を行うときには真空ポンプ２５の運転を再開させるようになっている。本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、真空ポンプ２５を運転させる必要がない状況では真空ポンプ２５の運転を完全に停止させるので、従来に比してより一層の節電を図ることができる。

【0064】

また、本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、真空ポンプ制御部３２は停止制御部４６を備えており、停止制御部４６は、真空ポンプ２５の運転を停止させる場合には、真空ポンプ２５の運転を停止させる要求がなされた時点において、真空ポンプ２５の運転開始からの継続時間である運転時間が所定の時間（第１の時間）に達していれば真空ポンプの運転を停止させるが、達していなければその時点では真空ポンプ２５の運転を停止させない（運転時間が第１の時間に達した以降のタイミングで実行する）ようになっている。このため、真空ポンプ２５が頻繁に停止される場合に生じる故障の発生を少なくすることができる。

【0065】

また、本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、真空ポンプ制御部３２は再開制御部４７を備えており、再開制御部４７は、停止した真空ポンプ２５の運転を再開する場合には、真空ポンプ２５の運転を再開させる要求がなされた時点において、真空ポンプ２５の運転停止からの継続時間である停止時間が所定の時間（第２の時間）に達していれば前記真空ポンプ２５の運転を再開させるが、達していなければその時点では真空ポンプ２５の運転を再開させない（停止時間が第２の時間に達した以降のタイミングで実行する）ようになっている。このため、真空ポンプ２５の運転を再開させる場合に生じる故障の発生を少なくすることができる。

【0066】

また、本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、オン／オフ要求部４５は、真空ポンプ２５の運転を停止させる要求または真空ポンプ２５の運転を再開させる要求を、作業ヘッド２３が１枚の基板ＫＢに対する部品搭載作業を終えてからの経過時間が所定時間に達した後に行うようになっている。このため、停止頻度の調整をきめ細かく行うことが可能であり、例えば、生産性を確保したい場合には時間を長めに設定して真空ポンプ２５の停止頻度を少なくし、こまめに真空ポンプ２５を停止させて大きな節電効果を得たい場合には、時間を短く（或いは零に）すればよい。

【0067】

また、本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、オン／オフ要求部４５は、基板搬送部２１が直前の上流設備が基板ＫＢの搬送を開始した時点（直前の上流設備から基板搬出許可信号が出された時点）で真空ポンプ２５が停止している場合は真空ポンプ２５の運転を再開させる要求を行うようになっている（ステップＳＴ１→ステップＳＴ５→ステップＳＴ６）ので、作業ヘッド２３による部品搭載作業を開始する前に真空ポンプ２５を起動させることができる（但し、この効果は停止制御部４６によって真空ポンプ２５の運転再開が制限されていない場合に限る）。

【0068】

以上説明したように、本実施の形態における部品搭載装置１４Ａでは、作業ヘッド２３が部品搭載作業を行わないときには真空ポンプ２５の運転を停止させ、部品搭載作業を行うときには真空ポンプ２５の運転を再開させるようになっている。真空ポンプ２５を運転させる必要がない状況では真空ポンプ２５の運転を完全に停止させるので、従来に比してより一層の節電を図ることができる。

【0069】

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、上述の実施の形態では、真空ポンプ制御部３２は、作業ヘッド２３が部品搭載作業を行わないときに真空ポンプ２５の運転を停止させ、作業ヘッド２３が部品搭載作業を再開する前に真空ポンプ２５の運転を再開させるようになっていればよい。従って、必ずしも上述の実施の形態に示したように、真空ポンプ２５の運転を停止させる場合に真空ポンプ２５の運転時間が所定の時間（第１の時間）に達した以降のタイミングで実行するようになっていなくてもよく、真空ポンプ２５の運転を再開する場合に真空ポンプ２５の停止時間が所定の時間（第２の時間）に達した以降のタイミングで実行するようになっていなくてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0070】

従来に比してより一層の節電を図ることができる部品搭載装置を提供する。

【符号の説明】

【0071】

１ 実装基板製造システム
１４Ａ 部品搭載装置
２１ 基板搬送部
２３ 作業ヘッド
２３Ｎ 吸引ノズル
２５ 真空ポンプ
３２ 真空ポンプ制御部
４１ 設備状態判定部
４２ 停止要求タイマ
４３ 第１タイマ
４４ 第２タイマ
４５ オン／オフ要求部（要求部）
４６ 停止制御部
４７ 再開制御部
ＫＢ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】