特開2023-41540ＭＥＭＳ異物検出素子及び、ＭＥＭＳ異物検出素子の製造方法

発明の名称　ＭＥＭＳ異物検出素子及び、ＭＥＭＳ異物検出素子の製造方法

出願人　ＭＭＩセミコンダクター株式会社　（識別番号 521515735）

　　　　特許公開件数ランキング 6871 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24536 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-41540

公報発行日　2023年3月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-41540

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