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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023044110
(43)【公開日】2023-03-30
(54)【発明の名称】電磁アクチュエータ及び振動発生装置
(51)【国際特許分類】
H02K 33/16 20060101AFI20230323BHJP
【ＦＩ】
H02K33/16 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】24
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021151974
(22)【出願日】2021-09-17
(71)【出願人】
【識別番号】000194918
【氏名又は名称】ホシデン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100104569
【弁理士】
【氏名又は名称】大西 正夫
(72)【発明者】
【氏名】稲毛 康介
【テーマコード（参考）】
5H633
【Ｆターム（参考）】
5H633BB03
5H633GG02
5H633GG04
5H633GG08
5H633GG17
5H633HH03
5H633HH06
5H633JA02
(57)【要約】 （修正有）
【課題】弾性体の復元力を小さくした電磁アクチュエータ及び振動発生装置を提供する。
【解決手段】電磁アクチュエータＡ１は、永久磁石Ｍを有する可動部１００と、可動部１００に対してＺ－Ｚ’方向に配置され且つコイルＣａを有する非可動部２００ａと、可動部１００と非可動部２００ａの間に配置された空隙Ｇを有する弾性体３００ａとを備える。永久磁石Ｍ及びコイルＣａは、コイルＣａに電流が印加され、可動部１００を非可動部２００ａに対してＸ方向に移動させる。弾性体３００ａは可動部１００を非可動部２００ａに対して初期位置で保持する。可動部１００が非可動部２００ａに対してＸ方向に移動し、弾性体３００ａの可動部１００固定の第１固定部３０１ａが弾性体３００ａの非可動部２００ａ固定の第２固定部３０２ｂに対してＸ方向に移動する。可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動し、弾性体３００ａが弾性変形する。
【選択図】図１Ａ
【解決手段】電磁アクチュエータＡ１は、永久磁石Ｍを有する可動部１００と、可動部１００に対してＺ－Ｚ’方向に配置され且つコイルＣａを有する非可動部２００ａと、可動部１００と非可動部２００ａの間に配置された空隙Ｇを有する弾性体３００ａとを備える。永久磁石Ｍ及びコイルＣａは、コイルＣａに電流が印加され、可動部１００を非可動部２００ａに対してＸ方向に移動させる。弾性体３００ａは可動部１００を非可動部２００ａに対して初期位置で保持する。可動部１００が非可動部２００ａに対してＸ方向に移動し、弾性体３００ａの可動部１００固定の第１固定部３０１ａが弾性体３００ａの非可動部２００ａ固定の第２固定部３０２ｂに対してＸ方向に移動する。可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動し、弾性体３００ａが弾性変形する。
【選択図】図１Ａ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
可動部と、
前記可動部に対して第１方向に配置された第１非可動部と、
前記可動部と前記第１非可動部との間に配置された少なくとも一つの空隙を有する少なくとも一つの第１弾性体とを備えており、
前記可動部及び前記第１非可動部のうちの一方は、永久磁石を有しており、
前記可動部及び前記第１非可動部のうちの他方は、前記永久磁石に対して前記第１方向に配置されたコイルを有しており、
少なくとも前記永久磁石及び前記コイルが、前記コイルに対して電流が印加されることによって、前記可動部を前記第１非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第１駆動力を発生させる第１磁気回路を構成しており、前記第１方向は、前記可動部及び前記第１非可動部の並び方向であり、前記第２方向は、前記第１方向に略直交しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体は、前記可動部に固定された第１固定部と、前記第１非可動部に固定された第２固定部とを有しており、且つ、前記可動部を前記第１非可動部に対して初期位置で保持しており、
前記可動部が前記第１非可動部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動することにより、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第１弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
前記可動部に対して第１方向に配置された第１非可動部と、
前記可動部と前記第１非可動部との間に配置された少なくとも一つの空隙を有する少なくとも一つの第１弾性体とを備えており、
前記可動部及び前記第１非可動部のうちの一方は、永久磁石を有しており、
前記可動部及び前記第１非可動部のうちの他方は、前記永久磁石に対して前記第１方向に配置されたコイルを有しており、
少なくとも前記永久磁石及び前記コイルが、前記コイルに対して電流が印加されることによって、前記可動部を前記第１非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第１駆動力を発生させる第１磁気回路を構成しており、前記第１方向は、前記可動部及び前記第１非可動部の並び方向であり、前記第２方向は、前記第１方向に略直交しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体は、前記可動部に固定された第１固定部と、前記第１非可動部に固定された第２固定部とを有しており、且つ、前記可動部を前記第１非可動部に対して初期位置で保持しており、
前記可動部が前記第１非可動部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動することにより、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第１弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
【請求項2】
請求項１記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記少なくとも一つの第１弾性体は、前記第１固定部に対して前記第２方向の一方側の第１非固定部と、前記第２固定部に対して前記第２方向の一方側の第２非固定部とを更に有しており、
前記第１非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第１非固定部の前記対向面は、前記第１固定部に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記第１非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第１非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記第２非固定部は、前記第１非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第２非固定部の前記対向面は、前記第２固定部に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記第１非可動部に接触する接触領域と、前記第２非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記第１非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第２非固定部の前記非接触領域と前記第１非可動部との間隔が前記第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記第１非固定部の前記接触領域、前記第１非固定部の前記非接触領域、前記第２非固定部の前記接触領域及び前記第２非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（１）前記第１非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記第１非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（２）前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第１非可動部に対する接触が、前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
前記少なくとも一つの第１弾性体は、前記第１固定部に対して前記第２方向の一方側の第１非固定部と、前記第２固定部に対して前記第２方向の一方側の第２非固定部とを更に有しており、
前記第１非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第１非固定部の前記対向面は、前記第１固定部に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記第１非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第１非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記第２非固定部は、前記第１非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第２非固定部の前記対向面は、前記第２固定部に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記第１非可動部に接触する接触領域と、前記第２非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記第１非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第２非固定部の前記非接触領域と前記第１非可動部との間隔が前記第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記第１非固定部の前記接触領域、前記第１非固定部の前記非接触領域、前記第２非固定部の前記接触領域及び前記第２非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（１）前記第１非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記第１非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（２）前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第１非可動部に対する接触が、前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
【請求項3】
請求項１又は２記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記少なくとも一つの第１弾性体は、前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側の第３非固定部と、前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有しており、
前記第３非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第３非固定部の前記対向面は、前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記第３非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第３非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記第４非固定部は、前記第１非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第４非固定部の前記対向面は、前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第１非可動部に接触する接触領域と、前記第４非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第１非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第４非固定部の前記非接触領域と前記第１非可動部との間隔が前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記第３非固定部の前記接触領域、前記第３非固定部の前記非接触領域、前記第４非固定部の前記接触領域及び前記第４非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（３）前記第３非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記第３非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（４）前記第４非固定部の前記接触領域の前記第１非可動部からの離反が、前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
前記少なくとも一つの第１弾性体は、前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側の第３非固定部と、前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有しており、
前記第３非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第３非固定部の前記対向面は、前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記第３非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第３非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記第４非固定部は、前記第１非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第４非固定部の前記対向面は、前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第１非可動部に接触する接触領域と、前記第４非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第１非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第４非固定部の前記非接触領域と前記第１非可動部との間隔が前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記第３非固定部の前記接触領域、前記第３非固定部の前記非接触領域、前記第４非固定部の前記接触領域及び前記第４非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（３）前記第３非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記第３非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（４）前記第４非固定部の前記接触領域の前記第１非可動部からの離反が、前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
【請求項4】
請求項１～３の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第１磁気回路は、前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を第２位置から第１位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第１位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の一方側の位置であり、前記第２位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の他方側の位置であり、前記初期位置は、前記第１方向において前記第１位置と前記第２位置との間の位置であり、
前記可動部が前記第２位置から前記第１位置へ移動すると共に、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動し、前記可動部が前記第１位置から前記第２位置へ移動すると共に、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動することにより、前記少なくとも一つの第１弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
前記第１磁気回路は、前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を第２位置から第１位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第１位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の一方側の位置であり、前記第２位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の他方側の位置であり、前記初期位置は、前記第１方向において前記第１位置と前記第２位置との間の位置であり、
前記可動部が前記第２位置から前記第１位置へ移動すると共に、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動し、前記可動部が前記第１位置から前記第２位置へ移動すると共に、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動することにより、前記少なくとも一つの第１弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
【請求項5】
請求項２記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記少なくとも一つの第１弾性体は、前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側の第３非固定部と、前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有しており、
前記第３非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第３非固定部の前記対向面は、前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記第３非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第３非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記第４非固定部は、前記第１非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第４非固定部の前記対向面は、前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第１非可動部に接触する接触領域と、前記第４非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第１非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第４非固定部の前記非接触領域と前記第１非可動部との間隔が前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記第３非固定部の前記接触領域、前記第３非固定部の前記非接触領域、前記第４非固定部の前記接触領域及び前記第４非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記第１磁気回路は、前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を第２位置から第１位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第１位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の一方側の位置であり、前記第２位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の他方側の位置であり、前記初期位置は、前記第１方向において前記第１位置と前記第２位置との間の位置であり、
前記可動部が前記第２位置から前記第１位置へ移動すると共に、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動し、前記可動部が前記第１位置から前記第２位置へ移動すると共に、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動することにより、前記少なくとも一つの第１弾性体が弾性変形するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（１）前記第１非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記第１非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（２）前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第１非可動部に対する接触が、前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（３）前記第３非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記第３非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（４）前記第４非固定部の前記接触領域の前記第１非可動部からの離反が、前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動するにしたがって、（５）前記第３非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記第３非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（６）前記第４非固定部の前記非接触領域の前記第１非可動部に対する接触が、前記第４非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（７）前記第１非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記第１非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（８）前記第２非固定部の前記接触領域の前記第１非可動部からの離反が、前記第２非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
前記少なくとも一つの第１弾性体は、前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側の第３非固定部と、前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有しており、
前記第３非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第３非固定部の前記対向面は、前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記第３非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第３非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記第４非固定部は、前記第１非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記第４非固定部の前記対向面は、前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第１非可動部に接触する接触領域と、前記第４非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第１非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記第４非固定部の前記非接触領域と前記第１非可動部との間隔が前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記第３非固定部の前記接触領域、前記第３非固定部の前記非接触領域、前記第４非固定部の前記接触領域及び前記第４非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記第１磁気回路は、前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を第２位置から第１位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第１位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の一方側の位置であり、前記第２位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の他方側の位置であり、前記初期位置は、前記第１方向において前記第１位置と前記第２位置との間の位置であり、
前記可動部が前記第２位置から前記第１位置へ移動すると共に、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動し、前記可動部が前記第１位置から前記第２位置へ移動すると共に、前記第１固定部が前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動することにより、前記少なくとも一つの第１弾性体が弾性変形するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（１）前記第１非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記第１非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（２）前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第１非可動部に対する接触が、前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（３）前記第３非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記第３非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（４）前記第４非固定部の前記接触領域の前記第１非可動部からの離反が、前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動するにしたがって、（５）前記第３非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記第３非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（６）前記第４非固定部の前記非接触領域の前記第１非可動部に対する接触が、前記第４非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（７）前記第１非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記第１非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（８）前記第２非固定部の前記接触領域の前記第１非可動部からの離反が、前記第２非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
【請求項6】
請求項１～５の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第１非可動部は、前記可動部に対して前記第１方向の一方側に配置されており、
前記電磁アクチュエータは、前記可動部に対して前記第１方向の他方側に配置された第２非可動部と、
前記可動部と前記第２非可動部との間に配置された少なくとも一つの空隙を有する少なくとも一つの第２弾性体とを更に備えており、
前記可動部が前記永久磁石を有しており、
前記第１非可動部は、前記可動部の前記永久磁石に対して前記第１方向の一方側に配置された前記コイルを有しており、
前記第２非可動部は、前記可動部の前記永久磁石に対して前記第１方向の他方側に配置されたコイルを有しており、
少なくとも前記可動部の前記永久磁石及び前記第２非可動部の前記コイルが、前記第２非可動部の前記コイルに対して電流が印加されることによって、前記可動部を前記第２非可動部に対して前記相対的に前記第２方向の一方に移動させる第３駆動力を発生させる第２磁気回路を構成しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記可動部に固定された第１固定部と、前記第２非可動部に固定された第２固定部とを有しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体及び前記少なくとも一つの第２弾性体が、前記可動部を前記第１非可動部及び前記第２非可動部に対して前記初期位置で保持しており、
前記可動部が前記第２非可動部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動すると共に、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部が前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
前記第１非可動部は、前記可動部に対して前記第１方向の一方側に配置されており、
前記電磁アクチュエータは、前記可動部に対して前記第１方向の他方側に配置された第２非可動部と、
前記可動部と前記第２非可動部との間に配置された少なくとも一つの空隙を有する少なくとも一つの第２弾性体とを更に備えており、
前記可動部が前記永久磁石を有しており、
前記第１非可動部は、前記可動部の前記永久磁石に対して前記第１方向の一方側に配置された前記コイルを有しており、
前記第２非可動部は、前記可動部の前記永久磁石に対して前記第１方向の他方側に配置されたコイルを有しており、
少なくとも前記可動部の前記永久磁石及び前記第２非可動部の前記コイルが、前記第２非可動部の前記コイルに対して電流が印加されることによって、前記可動部を前記第２非可動部に対して前記相対的に前記第２方向の一方に移動させる第３駆動力を発生させる第２磁気回路を構成しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記可動部に固定された第１固定部と、前記第２非可動部に固定された第２固定部とを有しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体及び前記少なくとも一つの第２弾性体が、前記可動部を前記第１非可動部及び前記第２非可動部に対して前記初期位置で保持しており、
前記可動部が前記第２非可動部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動すると共に、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部が前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
【請求項7】
請求項１～５の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第１非可動部は、前記可動部に対して前記第１方向の一方側に配置されており、
前記電磁アクチュエータは、前記可動部に対して前記第１方向の他方側に配置された第２非可動部と、
前記可動部と前記第２非可動部との間に配置された少なくとも一つの空隙を有する少なくとも一つの第２弾性体とを更に備えており、
前記可動部が前記コイルを有しており、
前記第１非可動部は、前記可動部の前記コイルに対して前記第１方向の一方側に配置された前記永久磁石を有しており、
前記第２非可動部は、前記可動部の前記コイルに対して前記第１方向の他方側に配置された永久磁石を有しており、
少なくとも前記可動部の前記コイル及び前記第２非可動部の前記永久磁石が、前記可動部の前記コイルに対して電流が印加されることによって、前記可動部を前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる第３駆動力を発生させる第２磁気回路を構成しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記可動部に固定された第１固定部と、前記第２非可動部に固定された第２固定部とを有しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体及び前記少なくとも一つの第２弾性体が、前記可動部を前記第１非可動部及び前記第２非可動部に対して前記初期位置で保持しており、
前記可動部が前記第２非可動部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動すると共に、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部が前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
前記第１非可動部は、前記可動部に対して前記第１方向の一方側に配置されており、
前記電磁アクチュエータは、前記可動部に対して前記第１方向の他方側に配置された第２非可動部と、
前記可動部と前記第２非可動部との間に配置された少なくとも一つの空隙を有する少なくとも一つの第２弾性体とを更に備えており、
前記可動部が前記コイルを有しており、
前記第１非可動部は、前記可動部の前記コイルに対して前記第１方向の一方側に配置された前記永久磁石を有しており、
前記第２非可動部は、前記可動部の前記コイルに対して前記第１方向の他方側に配置された永久磁石を有しており、
少なくとも前記可動部の前記コイル及び前記第２非可動部の前記永久磁石が、前記可動部の前記コイルに対して電流が印加されることによって、前記可動部を前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる第３駆動力を発生させる第２磁気回路を構成しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記可動部に固定された第１固定部と、前記第２非可動部に固定された第２固定部とを有しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体及び前記少なくとも一つの第２弾性体が、前記可動部を前記第１非可動部及び前記第２非可動部に対して前記初期位置で保持しており、
前記可動部が前記第２非可動部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動すると共に、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部が前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の一方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
【請求項8】
請求項６又は７記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の一方側の第１非固定部と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の一方側の第２非固定部とを更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部は、前記第２非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記第２非可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記第２非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域と前記第２非可動部との間隔が前記第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域及び前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（９）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（１０）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２非可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の一方側の第１非固定部と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の一方側の第２非固定部とを更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部は、前記第２非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記第２非可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の一方側に位置しており且つ前記第２非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域と前記第２非可動部との間隔が前記第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域及び前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（９）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（１０）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２非可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
【請求項9】
請求項６～８の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側の第３非固定部と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部は、前記第２非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第２非可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第２非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域と前記第２非可動部との間隔が前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域及び前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（１１）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（１２）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２非可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側の第３非固定部と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部は、前記第２非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第２非可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第２非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域と前記第２非可動部との間隔が前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域及び前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（１１）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（１２）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２非可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
【請求項10】
請求項６～９の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第１磁気回路は、前記第１非可動部又は前記可動部の前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を第２位置から第１位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第２磁気回路は、前記第２非可動部又は前記可動部の前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を前記第２位置から前記第１位置へ前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第３駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第４駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第１位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の一方側の位置であり、前記第２位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の他方側の位置であり、前記初期位置は、前記第１方向において前記第１位置と前記第２位置との間の位置であり、
前記可動部が前記第１位置から前記第２位置へ移動すると共に、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部が前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形し、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
前記第１磁気回路は、前記第１非可動部又は前記可動部の前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を第２位置から第１位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第２磁気回路は、前記第２非可動部又は前記可動部の前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を前記第２位置から前記第１位置へ前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第３駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第４駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第１位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の一方側の位置であり、前記第２位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の他方側の位置であり、前記初期位置は、前記第１方向において前記第１位置と前記第２位置との間の位置であり、
前記可動部が前記第１位置から前記第２位置へ移動すると共に、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部が前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形し、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形する電磁アクチュエータ。
【請求項11】
請求項８記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側の第３非固定部と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部は、前記第２非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第２非可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第２非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域と前記第２非可動部との間隔が前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域及び前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記第１磁気回路は、前記第１非可動部又は前記可動部の前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を第２位置から第１位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第２磁気回路は、前記第２非可動部又は前記可動部の前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を前記第２位置から前記第１位置へ前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第３駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第４駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第１位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の一方側の位置であり、前記第２位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の他方側の位置であり、前記初期位置は、前記第１方向において前記第１位置と前記第２位置との間の位置であり、
前記可動部が前記第１位置から前記第２位置へ移動すると共に、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部が前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形し、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（９）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（１０）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２非可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（１１）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（１２）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２非可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動するにしたがって、（１３）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（１４）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域の前記第２非可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域が漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（１５）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域が漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（１６）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域の前記第２非可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域が漸次減少する一方、前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
前記少なくとも一つの第２弾性体は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側の第３非固定部と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部は、前記可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域と前記可動部との前記第１方向の間隔は、前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部は、前記第２非可動部側に凸の円弧面である対向面を有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記対向面は、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第２非可動部に接触する接触領域と、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域に対して前記第２方向の他方側に位置しており且つ前記第２非可動部に非接触である非接触領域とを有しており、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域と前記第２非可動部との間隔が前記第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大しており、
前記可動部が前記初期位置に位置している状態における前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域及び前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域が初期領域となっており、
前記第１磁気回路は、前記第１非可動部又は前記可動部の前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を第２位置から第１位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第２磁気回路は、前記第２非可動部又は前記可動部の前記コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、前記可動部を前記第２位置から前記第１位置へ前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第３駆動力と、前記可動部を前記第１位置から前記第２位置へ前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の他方に移動させる第４駆動力とを交互に発生させるようになっており、
前記第１位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の一方側の位置であり、前記第２位置は、前記初期位置に対して前記第１方向の他方側の位置であり、前記初期位置は、前記第１方向において前記第１位置と前記第２位置との間の位置であり、
前記可動部が前記第１位置から前記第２位置へ移動すると共に、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部が前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部に対して前記第２方向の他方に相対的に移動するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形し、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動することにより、前記少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形するようになっており、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の一方に移動するにしたがって、（９）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（１０）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２非可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（１１）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（１２）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２非可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、
前記可動部が前記初期位置に対して前記第２方向の他方に移動するにしたがって、（１３）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域の前記可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第３非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（１４）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域の前記第２非可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記非接触領域が漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第４非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、（１５）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域の前記可動部に対する接触が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域の前記第２方向の他方側から前記第２方向の一方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記非接触領域が漸次減少する一方、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１非固定部の前記接触領域がその前記初期領域から漸次増加し、且つ、（１６）前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域の前記第２非可動部からの離反が、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域の前記第２方向の一方側から前記第２方向の他方側に漸次進行して、前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２非固定部の前記接触領域が漸次減少する一方、前記第２非固定部の前記非接触領域がその前記初期領域から漸次増加する電磁アクチュエータ。
【請求項12】
請求項１～１１の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第１非可動部が、磁性体を更に有しており、
前記第１磁気回路は、前記可動部及び前記第１非可動部のうちの前記一方の前記永久磁石、前記可動部及び前記第１非可動部のうちの前記他方の前記コイル及び前記第１非可動部の前記磁性体で構成されている電磁アクチュエータ。
前記第１非可動部が、磁性体を更に有しており、
前記第１磁気回路は、前記可動部及び前記第１非可動部のうちの前記一方の前記永久磁石、前記可動部及び前記第１非可動部のうちの前記他方の前記コイル及び前記第１非可動部の前記磁性体で構成されている電磁アクチュエータ。
【請求項13】
請求項６記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第２非可動部が、磁性体を更に有しており、
前記第２磁気回路は、前記可動部の前記永久磁石、前記第２非可動部の前記コイル及び前記第２非可動部の前記磁性体で構成されている電磁アクチュエータ。
前記第２非可動部が、磁性体を更に有しており、
前記第２磁気回路は、前記可動部の前記永久磁石、前記第２非可動部の前記コイル及び前記第２非可動部の前記磁性体で構成されている電磁アクチュエータ。
【請求項14】
請求項７記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第２非可動部が、磁性体を更に有しており、
前記第２磁気回路は、前記可動部の前記コイル、前記第２非可動部の前記永久磁石及び前記第２非可動部の前記磁性体で構成されている電磁アクチュエータ。
前記第２非可動部が、磁性体を更に有しており、
前記第２磁気回路は、前記可動部の前記コイル、前記第２非可動部の前記永久磁石及び前記第２非可動部の前記磁性体で構成されている電磁アクチュエータ。
【請求項15】
請求項１～１４の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記少なくとも一つの第１弾性体は、複数であり、
前記複数の第１弾性体の各々が、前記可動部と前記第１非可動部との間に配置されている電磁アクチュエータ。
前記少なくとも一つの第１弾性体は、複数であり、
前記複数の第１弾性体の各々が、前記可動部と前記第１非可動部との間に配置されている電磁アクチュエータ。
【請求項16】
請求項６～１１、１３及び１４の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記少なくとも一つの第２弾性体は、複数であり、
前記複数の第２弾性体の各々が、前記可動部と前記第２非可動部との間に配置されている電磁アクチュエータ。
前記少なくとも一つの第２弾性体は、複数であり、
前記複数の第２弾性体の各々が、前記可動部と前記第２非可動部との間に配置されている電磁アクチュエータ。
【請求項17】
請求項１～１６の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第１非可動部は、前記第１非可動部の前記コイル又は前記永久磁石と前記少なくとも一つの第１弾性体との間に位置する被固定部を更に有しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体の前記第２固定部は、前記第１非可動部の前記被固定部に固定されている電磁アクチュエータ。
前記第１非可動部は、前記第１非可動部の前記コイル又は前記永久磁石と前記少なくとも一つの第１弾性体との間に位置する被固定部を更に有しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体の前記第２固定部は、前記第１非可動部の前記被固定部に固定されている電磁アクチュエータ。
【請求項18】
請求項６～１１、１３、１４及び１６の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第２非可動部は、前記第２非可動部の前記コイル又は前記永久磁石と前記少なくとも一つの第２弾性体との間に位置する被固定部を更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部は、前記第２非可動部の前記被固定部に固定されている電磁アクチュエータ。
前記第２非可動部は、前記第２非可動部の前記コイル又は前記永久磁石と前記少なくとも一つの第２弾性体との間に位置する被固定部を更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第２固定部は、前記第２非可動部の前記被固定部に固定されている電磁アクチュエータ。
【請求項19】
請求項１～１８の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記可動部は、前記可動部の前記永久磁石又は前記コイルと前記少なくとも一つの第１弾性体との間に位置する被固定部を更に有しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体の前記第１固定部は、前記可動部の前記被固定部に固定されている電磁アクチュエータ。
前記可動部は、前記可動部の前記永久磁石又は前記コイルと前記少なくとも一つの第１弾性体との間に位置する被固定部を更に有しており、
前記少なくとも一つの第１弾性体の前記第１固定部は、前記可動部の前記被固定部に固定されている電磁アクチュエータ。
【請求項20】
請求項６～１１、１３、１４、１６及び１８の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記可動部は、前記可動部の前記永久磁石又は前記コイルと前記少なくとも一つの第２弾性体との間に位置する被固定部を更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部は、前記可動部の前記被固定部に固定されている電磁アクチュエータ。
前記可動部は、前記可動部の前記永久磁石又は前記コイルと前記少なくとも一つの第２弾性体との間に位置する被固定部を更に有しており、
前記少なくとも一つの第２弾性体の前記第１固定部は、前記可動部の前記被固定部に固定されている電磁アクチュエータ。
【請求項21】
請求項１～３の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第１磁気回路は、前記コイルに対して一方の極性を有する電流が間欠的に印加されることによって、前記可動部を前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力を間欠的に発生させるようになっており、
前記少なくとも一つの第１弾性体が復元することによって、前記可動部を前記第１非可動部に対して前記第２方向の他方に相対的に移動させる電磁アクチュエータ。
前記第１磁気回路は、前記コイルに対して一方の極性を有する電流が間欠的に印加されることによって、前記可動部を前記第１非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第１駆動力を間欠的に発生させるようになっており、
前記少なくとも一つの第１弾性体が復元することによって、前記可動部を前記第１非可動部に対して前記第２方向の他方に相対的に移動させる電磁アクチュエータ。
【請求項22】
請求項６～１１の何れかに記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記第２磁気回路は、前記コイルに対して一方の極性を有する電流が間欠的に印加されることによって、前記可動部を前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第３駆動力を間欠的に発生させるようになっており、
前記少なくとも一つの第１弾性体及び前記少なくとも一つの第２弾性体が復元することによって、前記可動部を前記第１非可動部及び前記第２非可動部に対して前記第２方向の他方に相対的に移動させる電磁アクチュエータ。
前記第２磁気回路は、前記コイルに対して一方の極性を有する電流が間欠的に印加されることによって、前記可動部を前記第２非可動部に対して相対的に前記第２方向の一方に移動させる前記第３駆動力を間欠的に発生させるようになっており、
前記少なくとも一つの第１弾性体及び前記少なくとも一つの第２弾性体が復元することによって、前記可動部を前記第１非可動部及び前記第２非可動部に対して前記第２方向の他方に相対的に移動させる電磁アクチュエータ。
【請求項23】
請求項１～２２の何れかに記載の電磁アクチュエータを備えており、
前記可動部の移動によって振動を発生させる振動発生装置。
前記可動部の移動によって振動を発生させる振動発生装置。
【請求項24】
請求項２３記載の電磁アクチュエータにおいて、
前記可動部の共振周波数が、前記可動部の振動周波数よりも小さい振動発生装置。
前記可動部の共振周波数が、前記可動部の振動周波数よりも小さい振動発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電磁アクチュエータ及び振動発生装置に関する。
【背景技術】
【0002】
下記特許文献１には、従来の電磁アクチュエータが記載されている。この電磁アクチュエータは、支持体と、可動部と、第１、第２弾性体とを備えている。可動部は、略四角枠状のヨークと、第１、第２磁石とを有している。ヨークは、第１方向で互いに対向する第１、第２内面と、第１、第２内面の反対側の第１、第２外面とを有している。第１、第２磁石は、第１、第２内面に接着等によって固定されている。支持体は、第１、第２カバーと、ホルダと、コイルを有している。コイルは、ホルダに保持されており且つ第１、第２磁石の間に配置されている。第１、第２カバーはホルダを保持しており且つ第１、第２外面に対して間隔をあけて配置されている。第１弾性体は、第１カバーとヨークの第１外面との間に介在しており、第２弾性体は、第２カバーとヨークの第２外面との間に介在している。コイルに電流が印加されることによって、可動部の第１、第２磁石及びヨークが支持体のコイルに対して第１方向に略直交する第２方向に移動し、第１、第２弾性体が第１方向に交差するせん断方向に変形する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－１３０８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
第１、第２弾性体は、中実の矩形状であって、せん断方向に変形するため、第１、第２弾性体の復元力が強い。
【0005】
本発明は、弾性体の復元力を小さくした電磁アクチュエータ及び振動発生装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一態様の電磁アクチュエータは、可動部と、可動部に対して第１方向に配置された第１非可動部と、可動部と第１非可動部との間に配置された少なくとも一つの空隙を有する少なくとも一つの第１弾性体とを備えている。
【0007】
可動部及び第１非可動部のうちの一方は、永久磁石を有しており、可動部及び第１非可動部のうちの他方は、永久磁石に対して第１方向に配置されたコイルを有する構成とすることが可能である。少なくとも永久磁石及びコイルが、コイルに対して電流が印加されることによって、可動部を第１非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第１駆動力を発生させる第１磁気回路を構成することが可能である。第１方向は、可動部及び第１非可動部の並び方向とすることが可能である。第２方向は、第１方向に略直交しているとよい。
【0008】
少なくとも一つの第１弾性体は、可動部に固定された第１固定部と、第１非可動部に固定された第２固定部とを有しており、且つ、可動部を第１非可動部に対して初期位置で保持する構成とすることが可能である。可動部が第１非可動部に対して第２方向の一方に相対的に移動することにより、第１固定部が第２固定部に対して第２方向の一方に相対的に移動してもよい。可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動することにより、少なくとも一つの第１弾性体が弾性変形する構成とすることが可能である。
【0009】
このような態様の電磁アクチュエータは、少なくとも一つの第１弾性体が少なくとも一つの空隙を有しているため、少なくとも一つの第１弾性体の復元力を小さくできる。
【0010】
少なくとも一つの第１弾性体は、第１固定部に対して第２方向の一方側の第１非固定部と、第２固定部に対して第２方向の一方側の第２非固定部とを更に有していてもよい。
【0011】
第１非固定部は、可動部側に凸の円弧面である対向面を有していてもよい。第１非固定部の対向面は、第１固定部に対して第２方向の一方側に位置しており且つ可動部に接触する接触領域と、第１非固定部の接触領域に対して第２方向の一方側に位置しており且つ可動部に非接触である非接触領域とを有していてもよい。第１非固定部の非接触領域と可動部との第１方向の間隔は、第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大していてもよい。
【0012】
第２非固定部は、第１非可動部側に凸の円弧面である対向面を有していてもよい。第２非固定部の対向面は、第２固定部に対して第２方向の一方側に位置しており且つ第１非可動部に接触する接触領域と、第２非固定部の接触領域に対して第２方向の一方側に位置しており且つ第１非可動部に非接触である非接触領域とを有していてもよい。第２非固定部の非接触領域と第１非可動部との間隔が第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大していてもよい。
【0013】
可動部が初期位置に位置している状態における第１非固定部の接触領域、第１非固定部の非接触領域、第２非固定部の接触領域及び第２非固定部の非接触領域が初期領域となっていてもよい。
【0014】
可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動するにしたがって、（１）第１非固定部の接触領域の可動部からの離反が、第１非固定部の接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、第１非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第１非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加し、且つ、（２）第２非固定部の非接触領域の第１非可動部に対する接触が、第２非固定部の非接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、第２非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第２非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加するようになっていてもよい。
【0015】
少なくとも一つの第１弾性体は、第１固定部に対して第２方向の他方側の第３非固定部と、第２固定部に対して第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有していてもよい。
【0016】
第３非固定部は、可動部側に凸の円弧面である対向面を有していてもよい。第３非固定部の対向面は、第１固定部に対して第２方向の他方側に位置しており且つ可動部に接触する接触領域と、第３非固定部の接触領域に対して第２方向の他方側に位置しており且つ可動部に非接触である非接触領域とを有していてもよい。第３非固定部の非接触領域と可動部との第１方向の間隔は、第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大していてもよい。
【0017】
第４非固定部は、第１非可動部側に凸の円弧面である対向面を有していてもよい。第４非固定部の対向面は、第２固定部に対して第２方向の他方側に位置しており且つ第１非可動部に接触する接触領域と、第４非固定部の接触領域に対して第２方向の他方側に位置しており且つ第１非可動部に非接触である非接触領域とを有していてもよい。第４非固定部の非接触領域と第１非可動部との間隔が第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大していてもよい。
【0018】
可動部が初期位置に位置している状態における第３非固定部の接触領域、第３非固定部の非接触領域、第４非固定部の接触領域及び第４非固定部の非接触領域が初期領域となっていてもよい。
【0019】
可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動するにしたがって、（３）第３非固定部の非接触領域の可動部に対する接触が、第３非固定部の非接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、第３非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第３非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、且つ、（４）第４非固定部の接触領域の第１非可動部からの離反が、第４非固定部の接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、第４非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第４非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加するようになっていてもよい。
【0020】
第１磁気回路は、コイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、可動部を第２位置から第１位置へ第１非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第１駆動力と、可動部を第１位置から第２位置へ第１非可動部に対して相対的に第２方向の他方に移動させる第２駆動力とを交互に発生させるようになっていてもよい。第１位置は、初期位置に対して第１方向の一方側の位置としてもよい。第２位置は、初期位置に対して第１方向の他方側の位置としてもよい。初期位置は、第１方向において第１位置と第２位置との間の位置としてもよい。可動部が第２位置から第１位置へ移動すると共に、第１固定部が第２固定部に対して第２方向の一方に相対的に移動し、可動部が第１位置から第２位置へ移動すると共に、第１固定部が第２固定部に対して第２方向の一方に相対的に移動するようになっていてもよい。可動部が初期位置に対して第２方向の他方に移動することにより、少なくとも一つの第１弾性体が弾性変形するようになっていてもよい。
【0021】
少なくとも一つの第１弾性体が第１非固定部～第４非固定部を有しており且つ第１磁気回路が上記第１駆動力と上記第２駆動力とを交互に発生させるようになっている場合、可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動するにしたがって、（１）第１非固定部の接触領域の可動部からの離反が、第１非固定部の接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、第１非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第１非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加し、（２）第２非固定部の非接触領域の第１非可動部に対する接触が、第２非固定部の非接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、第２非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第２非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、（３）第３非固定部の非接触領域の可動部に対する接触が、第３非固定部の非接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、第３非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第３非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、且つ、（４）第４非固定部の接触領域の第１非可動部からの離反が、第４非固定部の接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、第４非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第４非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加し、可動部が初期位置に対して第２方向の他方に移動するにしたがって、（５）第３非固定部の接触領域の可動部からの離反が、第３非固定部の接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、第３非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第３非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加し、（６）第４非固定部の非接触領域の第１非可動部に対する接触が、第４非固定部の非接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、第４非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第４非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、（７）第１非固定部の非接触領域の可動部に対する接触が、第１非固定部の非接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、第１非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第１非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、且つ、（８）第２非固定部の接触領域の第１非可動部からの離反が、第２非固定部の接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、第２非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第２非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加するようになっていてもよい。
【0022】
上記した何れかの態様の電磁アクチュエータは、可動部に対して第１方向の他方側に配置された第２非可動部と、可動部と第２非可動部との間に配置された少なくとも一つの空隙を有する少なくとも一つの第２弾性体とを更に備えていてもよい。第１非可動部は、可動部に対して第１方向の一方側に配置されていてもよい。
【0023】
可動部が永久磁石を有しており、第１非可動部は、可動部の永久磁石に対して第１方向の一方側に配置されたコイルを有しており、第２非可動部は、可動部の永久磁石に対して第１方向の他方側に配置されたコイルを有していてもよい。少なくとも可動部の永久磁石及び第２非可動部のコイルが、第２非可動部のコイルに対して電流が印加されることによって、可動部を第２非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第３駆動力を発生させる第２磁気回路を構成していてもよい。
【0024】
又は、可動部がコイルを有しており、第１非可動部は、可動部のコイルに対して第１方向の一方側に配置された永久磁石を有しており、第２非可動部は、可動部のコイルに対して第１方向の他方側に配置された永久磁石を有していてもよい。少なくとも可動部のコイル及び第２非可動部の永久磁石が、可動部のコイルに対して電流が印加されることによって、可動部を第２非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第３駆動力を発生させる第２磁気回路を構成していてもよい。
【0025】
少なくとも一つの第２弾性体は、可動部に固定された第１固定部と、第２非可動部に固定された第２固定部とを有していてもよい。少なくとも一つの第１弾性体及び少なくとも一つの第２弾性体が、可動部を第１非可動部及び第２非可動部に対して初期位置で保持していてもよい。可動部が第２非可動部に対して第２方向の一方に相対的に移動すると共に、少なくとも一つの第２弾性体の第１固定部が少なくとも一つの第２弾性体の第２固定部に対して第２方向の一方に相対的に移動するようになっていてもよい。可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動することにより、少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形するようになっていてもよい。
【0026】
少なくとも一つの第２弾性体は、少なくとも一つの第２弾性体の第１固定部に対して第２方向の一方側の第１非固定部と、少なくとも一つの第２弾性体の第２固定部に対して第２方向の一方側の第２非固定部とを更に有していてもよい。
【0027】
少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部は、可動部側に凸の円弧面である対向面を有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の対向面は、少なくとも一つの第２弾性体の第１固定部に対して第２方向の一方側に位置しており且つ可動部に接触する接触領域と、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域に対して第２方向の一方側に位置しており且つ可動部に非接触である非接触領域とを有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の非接触領域と可動部との第１方向の間隔は、第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大していてもよい。
【0028】
少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部は、第２非可動部側に凸の円弧面である対向面を有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の対向面は、少なくとも一つの第２弾性体の第２固定部に対して第２方向の一方側に位置しており且つ第２非可動部に接触する接触領域と、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の接触領域に対して第２方向の一方側に位置しており且つ第２非可動部に非接触である非接触領域とを有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の非接触領域と第２非可動部との間隔が第２方向の一方にいくにしたがって漸次拡大していてもよい。
【0029】
可動部が初期位置に位置している状態における少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の非接触領域、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の接触領域及び少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の非接触領域が初期領域となっていてもよい。
【0030】
可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動するにしたがって、（９）少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域の可動部からの離反が、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加し、且つ、（１０）少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の非接触領域の第２非可動部に対する接触が、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の非接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加するようになっていてもよい。
【0031】
少なくとも一つの第２弾性体は、少なくとも一つの第２弾性体の第１固定部に対して第２方向の他方側の第３非固定部と、少なくとも一つの第２弾性体の第２固定部に対して第２方向の他方側の第４非固定部とを更に有していてもよい。
【0032】
少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部は、可動部側に凸の円弧面である対向面を有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の対向面は、少なくとも一つの第２弾性体の第１固定部に対して第２方向の他方側に位置しており且つ可動部に接触する接触領域と、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の接触領域に対して第２方向の他方側に位置しており且つ可動部に非接触である非接触領域とを有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域と可動部との第１方向の間隔は、第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大していてもよい。
【0033】
少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部は、第２非可動部側に凸の円弧面である対向面を有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の対向面は、少なくとも一つの第２弾性体の第２固定部に対して第２方向の他方側に位置しており且つ第２非可動部に接触する接触領域と、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域に対して第２方向の他方側に位置しており且つ第２非可動部に非接触である非接触領域とを有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の非接触領域と第２非可動部との間隔が第２方向の他方にいくにしたがって漸次拡大していてもよい。
【0034】
可動部が初期位置に位置している状態における少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の接触領域、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域及び少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の非接触領域が初期領域となっていてもよい。
【0035】
可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動するにしたがって、（１１）少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域の可動部に対する接触が、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、且つ、（１２）少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域の第２非可動部からの離反が、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加するようになっていてもよい。
【0036】
第１磁気回路が上記第１駆動力と上記第２駆動力とを交互に発生させる場合、第２磁気回路は、第２非可動部又は可動部のコイルに対して極性を所定の間隔で交互に反転させた電流が印加されることによって、可動部を第２位置から第１位置へ第２非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第３駆動力と、可動部を第１位置から第２位置へ第２非可動部に対して相対的に第２方向の他方に移動させる第４駆動力とを交互に発生させるようになっていてもよい。
【0037】
可動部が第１位置から第２位置へ移動すると共に、少なくとも一つの第２弾性体の第１固定部が少なくとも一つの第２弾性体の第２固定部に対して第２方向の他方に相対的に移動するようになっていてもよい。可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動することにより、少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形し、可動部が初期位置に対して第２方向の他方に移動することにより、少なくとも一つの第２弾性体が弾性変形するようになっていてもよい。
【0038】
少なくとも一つの第２弾性体が第１非固定部～第４非固定部を有しており且つ第２磁気回路が上記第３駆動力と上記第４駆動力とを交互に発生させるようになっている場合、可動部が初期位置に対して第２方向の一方に移動するにしたがって、（９）少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域の可動部からの離反が、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加し、（１０）少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の非接触領域の第２非可動部に対する接触が、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の非接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、（１１）少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域の可動部に対する接触が、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、且つ、（１２）少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域の第２非可動部からの離反が、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加し、可動部が初期位置に対して第２方向の他方に移動するにしたがって、（１３）少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の接触領域の可動部からの離反が、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第３非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加し、（１４）少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の非接触領域の第２非可動部に対する接触が、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の非接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第４非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、（１５）少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の非接触領域の可動部に対する接触が、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の非接触領域の第２方向の他方側から第２方向の一方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、少なくとも一つの第２弾性体の第１非固定部の接触領域がその初期領域から漸次増加し、且つ、（１６）少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の接触領域の第２非可動部からの離反が、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の接触領域の第２方向の一方側から第２方向の他方側に漸次進行して、少なくとも一つの第２弾性体の第２非固定部の接触領域がその初期領域から漸次減少する一方、第２非固定部の非接触領域がその初期領域から漸次増加するようになっていてもよい。
【0039】
第１非可動部が、磁性体を更に有していてもよい。第１磁気回路は、可動部及び第１非可動部のうちの一方の永久磁石、可動部及び第１非可動部のうちの他方のコイル及び第１非可動部の磁性体で構成可能である。
【0040】
第２非可動部が、磁性体を更に有していてもよい。第２磁気回路は、可動部の永久磁石、第２非可動部のコイル及び第２非可動部の磁性体で構成可能である。又は、第２磁気回路は、可動部のコイル、第２非可動部の永久磁石及び第２非可動部の磁性体で構成可能である。
【0041】
可動部が磁性体を更に有していてもよい。第１磁気回路は、可動部の磁性体を更に有していてもよい。第２磁気回路が設けられている場合、第２磁気回路は、可動部の磁性体を更に有していてもよい。
【0042】
少なくとも一つの第１弾性体は、複数とすることが可能である。複数の第１弾性体の各々が、可動部と第１非可動部との間に配置されていてもよい。
【0043】
少なくとも一つの第２弾性体は、複数とすることが可能である。複数の第２弾性体の各々が、可動部と第２非可動部との間に配置されていてもよい。
【0044】
第１非可動部は、第１非可動部のコイル又は永久磁石と少なくとも一つの第１弾性体との間に位置する被固定部を更に有していてもよい。少なくとも一つの第１弾性体の第２固定部は、第１非可動部の被固定部に固定されていてもよい。
【0045】
第２非可動部は、第２非可動部のコイル又は永久磁石と少なくとも一つの第２弾性体との間に位置する被固定部を更に有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第２固定部は、第２非可動部の被固定部に固定されていてもよい。
【0046】
可動部は、可動部の永久磁石又はコイルと少なくとも一つの第１弾性体との間に位置する被固定部を更に有していてもよい。少なくとも一つの第１弾性体の第１固定部は、可動部の被固定部に固定されていてもよい。
【0047】
可動部は、可動部の永久磁石又はコイルと少なくとも一つの第２弾性体との間に位置する被固定部を更に有していてもよい。少なくとも一つの第２弾性体の第１固定部は、可動部の被固定部に固定されていてもよい。
【0048】
第１磁気回路は、コイルに対して一方の極性を有する電流が間欠的に印加されることによって、可動部を第１非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第１駆動力を間欠的に発生させるようになっていてもよい。少なくとも一つの第１弾性体が復元することによって、可動部を第１非可動部に対して第２方向の他方に相対的に移動させるようになっていてもよい。
【0049】
第２磁気回路は、コイルに対して一方の極性を有する電流が間欠的に印加されることによって、可動部を第２非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第３駆動力を間欠的に発生させるようになっていてもよい。少なくとも一つの第１弾性体及び少なくとも一つの第２弾性体が復元することによって、可動部を第１非可動部及び第２非可動部に対して第２方向の他方に相対的に移動させるようになっていてもよい。
【0050】
本発明の一態様の振動発生装置は、上記した何れかの態様の電磁アクチュエータを備えており、可動部の移動によって振動を発生させるようになっている。
【0051】
可動部の共振周波数が、可動部の振動周波数よりも小さくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【0052】
【図1A】本発明の実施例１に係る振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図1B】実施例１の振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が第１位置に位置した状態を示す図である。
【図1C】実施例１の振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が第２位置に位置した状態を示す図である。
【図2A】実施例１の振動発生装置の第１設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図2B】第１設計変形例の振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が第１位置に位置した状態を示す図である。
【図2C】第１設計変形例の振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が第２位置に位置した状態を示す図である。
【図3】実施例１の振動発生装置の第２設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図4】実施例１の振動発生装置の第３設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図5】実施例１の振動発生装置の第４設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図6】実施例１の振動発生装置の第５設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図7A】本発明の実施例２に係る振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図7B】実施例２の振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が第１位置に位置した状態を示す図である。
【図7C】実施例２の振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が第２位置に位置した状態を示す図である。
【図8A】実施例２の振動発生装置の第１設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図8B】実施例２の第１設計変形例の振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が第１位置に位置した状態を示す図である。
【図8C】実施例２の第１設計変形例の振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が第２位置に位置した状態を示す図である。
【図9】本発明の実施例３に係る振動発生装置の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図10】実施例３の振動発生装置の第１設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図11】実施例３の振動発生装置の第２設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【図12】実施例３の振動発生装置の第３設計変形例の模式的断面図であって、前記振動発生装置の可動部が初期位置に位置した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0053】
以下、本発明の実施例１、２、３及びこれらの設計変形例を含む複数の実施例について説明する。なお、後述する実施例及び設計変形例の各構成要素は、互いに矛盾しない限り、相互に組み合わせることが可能であることに留意されたい。また、後述する実施例の各態様及び設計変形例における各構成要素を構成する素材、形状、寸法、数及び配置等はその一例を説明したものであって、同様の機能を実現し得る限り任意に設計変形することが可能であることにも留意されたい。
【実施例0054】
以下、本発明の実施例１及びその設計変形例を含む複数の実施例に係る振動発生装置Ｂ１について、図１Ａ～図６を参照しつつ説明する。図１Ａ～図１Ｃには、実施例１に係る振動発生装置Ｂ１が示されている。図１Ａ～図１Ｃには、実施例１の振動発生装置Ｂ１の第１設計変型例が示されている。図３には、実施例１の振動発生装置Ｂ１の第２設計変型例が示されている。図４には、実施例１の振動発生装置Ｂ１の第３設計変型例が示されている。図５には、実施例１の振動発生装置Ｂ１の第４設計変型例が示されている。図６には、実施例１の振動発生装置Ｂ１の第５設計変型例が示されている。図１Ａ～図６には、Ｚ－Ｚ’方向（第１方向）が示されている。Ｚ－Ｚ’方向は、Ｚ方向（第１方向の一方）と、Ｚ’方向（第１方向の他方）とを含む。図１Ａ～図６には、Ｚ－Ｚ’方向に略直交するＸ－Ｘ’方向（第２方向）が示されている。Ｘ－Ｘ’方向は、Ｘ方向（第２方向の一方）と、Ｘ’方向（第２方向の他方）とを含む。
【0055】
振動発生装置Ｂ１は、電磁アクチュエータＡ１（以下、単にアクチュエータＡ１とも称する。）を備えている。アクチュエータＡ１は、可動部１００と、第１非可動部２００ａと、第２非可動部２００ｂとを備えている。
【0056】
可動部１００は、Ｚ－Ｚ’方向において第１非可動部２００ａと第２非可動部２００ｂとの間に、第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対して相対的にＸ－Ｘ’方向に移動可能に配置されている。可動部１００は、少なくとも初期位置（図１Ａ及び図２Ａ、図３～図６参照）と第１位置（図１Ｂ及び図２Ｂ参照）との間をＸ－Ｘ’方向に移動可能となっている。可動部１００は、第１位置（図１Ｂ及び図２Ｂ参照）と第２位置（図１Ｃ及び図２Ｃ参照）との間をＸ－Ｘ’方向に移動可能になっていてもよい。第１位置は初期位置に対してＸ方向側に位置する。第２位置は初期位置に対してＸ’方向側に位置する。以下、説明の便宜上、可動部１００が初期位置に位置している状態を「初期状態」とも称し、可動部１００が第１位置と第２位置との間を移動する態様を「第１移動態様」と称し、可動部１００が初期位置と第１位置との間を移動する態様を「第２移動態様」と称する。第１移動態様の場合、初期位置は、Ｘ－Ｘ’方向において第１位置と第２位置との間に位置しており、可動部１００は、第１位置から第２位置へ移動及び第２位置から第１位置への移動において初期位置を経由する。第２移動態様の場合、第２位置は省略される。なお、Ｚ－Ｚ’方向は、可動部１００、第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂの並び方向である。Ｘ－Ｘ’方向は可動部１００の移動方向である。
【0057】
可動部１００は永久磁石Ｍを有している。永久磁石Ｍは、例えば、Ｘ－Ｘ’方向に延びた板又は円柱状若しくは多角柱状の柱である。永久磁石Ｍは、Ｚ方向側の部分とＺ’方向側の部分とを有している。永久磁石ＭのＺ方向側の部分がＳ極、永久磁石ＭのＺ’方向側の部分がＮ極となっていてもよいし、その逆であってもよい。又は、永久磁石ＭのＺ方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＳ極、Ｎ極であり且つ永久磁石ＭのＺ’方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＮ極、Ｓ極であってもよいし、永久磁石ＭのＺ方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＮ極、Ｓ極であり且つ永久磁石ＭのＺ’方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＳ極、Ｎ極であってもよい。
【0058】
可動部１００は図示しないホルダを更に有していてもよい。ホルダは、樹脂等の非磁性体で構成されており且つ永久磁石Ｍを保持している。例えば、ホルダは、環状体であって、その内部に永久磁石Ｍが嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）された構成、任意の形状のブロックであって、その内部に永久磁石Ｍがインサート成形された構成、又は、箱体であって、その内部に永久磁石Ｍが収容された構成とすることが可能である。なお、可動部１００のホルダは省略可能である。
【0059】
可動部１００は、第１被固定部及び第２被固定部を有している。可動部１００のホルダが設けられていない場合、第１被固定部は、永久磁石ＭのＺ方向側の面であり、第２被固定部は、永久磁石ＭのＺ’方向側の面である。可動部１００のホルダが設けられている場合、第１被固定部は、ホルダの永久磁石Ｍに対してＺ方向側の部分であり、第２被固定部は、ホルダの永久磁石Ｍに対してＺ’方向側の部分である。
【0060】
第１非可動部２００ａは可動部１００に対してＺ方向側に配置されている。第１非可動部２００ａはコイルＣａを有している。コイルＣａが可動部１００の永久磁石Ｍに対してＺ方向側に配置されている。コイルＣａは、例えば、スパイラルコイルである。コイルＣａは、振動発生装置Ｂ１の外部の第１発振回路（図示しない。）に電気的に接続可能である。又は、第１発振回路は、振動発生装置Ｂ１の外部ではなく、振動発生装置Ｂ１に設けられており、第１発振回路がコイルＣａに電気的に接続されていてもよい。何れの場合も、第１発振回路によって、コイルＣａに矩形波又は正弦波の電流が印加される。
【0061】
第１非可動部２００ａは軟鉄（ヨーク）等の磁性体Ｙａを更に有していてもよい。磁性体Ｙａは、Ｘ－Ｘ’方向に延びており且つコイルＣａに対してＺ方向側に配置されている。磁性体ＹａのＸ－Ｘ’方向の寸法は、コイルＣａのＸ－Ｘ’方向の寸法より大きい又は略同じにするとよいが、小さくても構わない。磁性体ＹａのＸ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向に略直交する直交方向の寸法は、コイルＣａの直交方向の寸法より大きい又は略同じにするとよいが、小さくても構わない。なお、磁性体Ｙａは省略可能である。
【0062】
磁性体Ｙａが設けられていない場合、可動部１００の永久磁石Ｍ及び第１非可動部２００ａのコイルＣａが第１磁気回路を構成している。この場合、コイルＣａは、その導線が永久磁石Ｍに対してＺ方向側で生じる第１磁界を横切るように当該第１磁界内に配置されている。磁性体Ｙａが設けられている場合、可動部１００の永久磁石Ｍ、第１非可動部２００ａのコイルＣａ及び第１非可動部２００ａの磁性体Ｙａが第１磁気回路を構成している。この場合、コイルＣａは、その導線が可動部１００の永久磁石Ｍと磁性体Ｙａとの間に生じる第２磁界を横切るように当該第２磁界内に配置されている。
【0063】
第２非可動部２００ｂは可動部１００に対してＺ’方向側に配置されている。第２非可動部２００ｂはコイルＣｂを有している。コイルＣｂが可動部１００の永久磁石Ｍに対してＺ’方向側に配置されている。コイルＣｂは、例えば、スパイラルコイルである。コイルＣｂは、振動発生装置Ｂ１の外部の第２発振回路（図示しない。）に電気的に接続可能である。又は、第２発振回路は、振動発生装置Ｂ１の外部ではなく、振動発生装置Ｂ１に設けられており、第２発振回路がコイルＣｂに電気的に接続されていてもよい。何れの場合も、第２発振回路によって、コイルＣｂに矩形波又は正弦波の電流が印加される。
【0064】
第２非可動部２００ｂは軟鉄（ヨーク）等の磁性体Ｙｂを更に有することが可能である。磁性体Ｙｂは、Ｘ－Ｘ’方向に延びており且つコイルＣｂに対してＺ’方向側に配置されている。磁性体ＹｂのＸ－Ｘ’方向の寸法は、コイルＣｂのＸ－Ｘ’方向の寸法より大きい又は略同じにするとよいが、小さくても構わない。磁性体ＹｂのＸ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向に略直交する直交方向の寸法は、コイルＣｂの直交方向の寸法より大きい又は略同じにするとよいが、小さくても構わない。なお、磁性体Ｙｂは省略可能である。
【0065】
磁性体Ｙｂが設けられていない場合、可動部１００の永久磁石Ｍ及び第２非可動部２００ｂのコイルＣｂが第２磁気回路を構成している。コイルＣｂは、その導線が永久磁石Ｍに対してＺ’方向側で生じる第３磁界を横切るように当該第３磁界内に配置されている。磁性体Ｙｂが設けられている場合、可動部１００の永久磁石Ｍ、第２非可動部２００ｂのコイルＣｂ及び第２非可動部２００ｂの磁性体Ｙｂが第２磁気回路を構成している。コイルＣｂは、その導線が可動部１００の永久磁石Ｍと磁性体Ｙｂとの間に生じる第４磁界を横切るように当該第４磁界内に配置されている。
【0066】
上記第１移動態様の場合、第１磁気回路は、極性（正極及び負極）が所定の間隔で交互に反転する電流がコイルＣａに印加されることによって、永久磁石ＭをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）と永久磁石ＭをＸ’方向に移動させる第２駆動力（ローレンツ力）とを交互に発生させ、且つ、第２磁気回路は、極性（正極及び負極）が所定の間隔で交互に反転する電流がコイルＣｂに印加されることによって、永久磁石ＭをＸ方向に移動させる第３駆動力（ローレンツ力）と永久磁石ＭをＸ’方向に移動させる第４駆動力（ローレンツ力）とを交互に発生させる。具体的には、第１磁界又は第２磁界と、第１磁界又は第２磁界を横切るようにコイルＣａに流れる電流との電磁相互作用によって、永久磁石ＭをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）と永久磁石ＭをＸ’方向に移動させる第２駆動力（ローレンツ力）とが交互に発生し、且つ、第３磁界又は第４磁界と、第３磁界又は第４磁界を横切るようにコイルＣｂに流れる電流との電磁相互作用によって、永久磁石ＭをＸ方向に移動させる第３駆動力（ローレンツ力）と永久磁石ＭをＸ’方向に移動させる第４駆動力（ローレンツ力）とが交互に発生する。可動部１００は永久磁石Ｍを有しているので、第１駆動力及び第３駆動力と、第２駆動力及び第４駆動力とが交互に発生することによって、可動部１００が、第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対して相対的に、第２位置から第１位置へのＸ方向の移動と、第１位置から第２位置へのＸ’方向の移動とを交互に繰り返すようになっている。
【0067】
上記第２移動態様の場合、第１磁気回路は、一方の極性（正極又は負極）を有する電流がコイルＣａに間欠的に印加されることによって、永久磁石ＭをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）を間欠的に発生させ、且つ、第２磁気回路は、一方の極性（正極又は負極）を有する電流がコイルＣｂに間欠的に印加されることによって、永久磁石ＭをＸ方向に移動させる第３駆動力（ローレンツ力）を間欠的に発生させる。具体的には、第１磁界又は第２磁界と、第１磁界又は第２磁界を横切るようにコイルＣａに流れる電流との電磁相互作用によって、永久磁石ＭをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）が間欠的に発生し、且つ、第３磁界又は第４磁界と、第３磁界又は第４磁界を横切るようにコイルＣｂに流れる電流との電磁相互作用によって、永久磁石ＭをＸ方向に移動させる第３駆動力（ローレンツ力）が間欠的に発生する。可動部１００が永久磁石Ｍを有しているので、第１駆動力及び第３駆動力が間欠的に発生することによって、可動部１００が、第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対して相対的に、初期位置から第１位置へのＸ方向の移動を間欠的に繰り返すようになっている。
【0068】
第１非可動部２００ａは、ホルダ２１０ａを更に有する構成とすることが可能である。ホルダ２１０ａは、樹脂等の非磁性体で構成されており且つ少なくともコイルＣａを保持している。例えば、ホルダ２１０ａは、任意の形状のブロック（図１Ａ～図６参照）であって、その内部にコイルＣａがインサート成形された構成、箱体であって、その内部にコイルＣａが収容された構成、又は、環状体であって、その内部にコイルＣａが嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）された構成等とすることが可能である。磁性体Ｙａが設けられている場合、磁性体Ｙａは、ブロックであるホルダ２１０ａ内にコイルＣａと共にインサート成形された構成、箱体であるホルダ２１０ａ内にコイルＣａと共に収容された構成、環状体、ブロック又は箱体であるホルダ２１０ａのＺ方向側の面に接着剤やネジ等で構成された構成（図１Ａ～図６参照）とすることが可能である。ホルダ２１０ａは、コイルＣａに対してＺ’方向側に位置する被固定部２０１ａを有する構成とすることが可能である。
【0069】
ホルダ２１０ａは省略可能である。ホルダ２１０ａが設けられておらず且つ磁性体Ｙａが設けられている場合、コイルＣａは、磁性体ＹａのＺ’方向側の面に固定されているとよい。この場合、コイルＣａのＺ’方向側の面が被固定部となっているとよい。ホルダ２１０ａ及び磁性体Ｙａが設けられていない場合、第１非可動部２００ａのコイルＣａのＺ’方向側の面が被固定部となっているとよい。
【0070】
第１非可動部２００ａは、ホルダ２１０ａに代えて、樹脂等の非磁性体で構成されたスペーサである被固定部を更に有する構成とすることが可能である。被固定部はコイルＣａに対してＺ’方向側に位置する。コイルＣａは、被固定部にＺ方向側から固定されている。
【0071】
第２非可動部２００ｂは、ホルダ２１０ｂを更に有する構成とすることが可能である。ホルダ２１０ｂは、樹脂等の非磁性体で構成されており且つ少なくともコイルＣｂを保持している。例えば、ホルダ２１０ｂは、任意の形状のブロック（図１Ａ～図６参照）であって、その内部にコイルＣｂがインサート成形された構成、箱体であって、その内部にコイルＣｂが収容された構成、又は、環状体であって、その内部にコイルＣｂが嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）された構成等とすることが可能である。磁性体Ｙｂが設けられている場合、磁性体Ｙｂは、ブロックであるホルダ２１０ｂ内にコイルＣｂと共にインサート成形された構成、箱体であるホルダ２１０ｂ内にコイルＣｂと共に収容された構成、環状体、ブロック又は箱体であるホルダ２１０ｂのＺ’方向側の面に接着剤やネジ等で構成された構成（図１Ａ～図６参照）とすることが可能である。ホルダ２１０ｂは、コイルＣｂに対してＺ方向側に位置する被固定部２０１ｂを有する構成とすることが可能である。
【0072】
ホルダ２１０ｂは省略可能である。ホルダ２１０ｂが設けられておらず且つ磁性体Ｙｂが設けられている場合、コイルＣｂは、磁性体ＹｂのＺ方向側の面に固定されているとよい。この場合、コイルＣｂのＺ方向側の面が被固定部となっているとよい。ホルダ２１０ｂ及び磁性体Ｙｂが設けられていない場合、第２非可動部２００ｂのコイルＣｂのＺ方向側の面が被固定部となっているとよい。
【0073】
第２非可動部２００ｂは、ホルダ２１０ｂに代えて、樹脂等の非磁性体で構成されたスペーサである被固定部を更に有する構成とすることが可能である。被固定部はコイルＣｂに対してＺ方向側に位置する。コイルＣｂは、被固定部にＺ’方向側から固定されている。
【0074】
アクチュエータＡ１は、第１弾性体３００ａと、第２弾性体３００ｂとを更に備えている。
【0075】
第１弾性体３００ａは、ゴム（例えば、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、又は熱可塑性エラストマー等）で構成されていてもよいし、金属や樹脂等で構成されていてもよい。
【0076】
第１弾性体３００ａは、少なくとも一つの空隙Ｇを有する。第１弾性体３００ａが一つの空隙Ｇを有する場合、第１弾性体３００ａは、一つの空隙Ｇを有する中空体とすることが可能である。例えば、第１弾性体３００ａは、Ｚ－Ｚ’方向及びＸ－Ｘ’方向の断面視において、中空（空隙Ｇ）の楕円形（図１Ａ～図１Ｃ及び図３参照）、中空（空隙Ｇ）の長方形（図２Ａ～図２Ｃ及び図４参照）、Ｘ方向側が円弧状であり且つＸ’方向側が略コ字状である中空（空隙Ｇ）の片側楕円形（以下、第１片側楕円形と称する。（図５参照））、又は、Ｘ’方向側が円弧状であり且つＸ方向側が略コ字状である中空（空隙Ｇ）の片側楕円形（以下、第２片側楕円形と称する。（図６参照））とすることが可能である。中空体である第１弾性体３００ａは、ゴム、金属又は樹脂等の材料をブロー成形（例えば、押出ブロー成形、多次元ブロー成形、エクスチェンジブロー成形又はインジェクションブロー成形等）、二枚のシート使用した熱成形（シートブロー成形）、射出成形（例えば、ガスアシスト射出成形、ダイスライド成形（ＤＳＩ）又はハイホールド成形（Ｈ２Ｍ）等）、ロストコア成形又は回転成形を行うことによって作成してもよいし、ゴム、金属又は樹脂等の材料で中空ではない成形品を作成した後に、後融着法等によって成形品に中空（空隙Ｇ）を形成することによって作成してもよい。
【0077】
第１弾性体３００ａ内には、複数の空隙Ｇが設けられていてもよい。なお、第１弾性体３００ａが中空である場合であっても、第１弾性体３００ａ内には、中空をなす一つの空隙Ｇとは別に、一又は複数の空隙Ｇが設けられていてもよい。
【0078】
第１弾性体３００ａは、可動部１００と第１非可動部２００ａとの間に配置されている。第１弾性体３００ａは、第１固定部３０１ａと、第２固定部３０２ａとを有している。図１Ａ～図６においては、説明の便宜上、第１固定部３０１ａが仮想線Ｌ１ａ及びＬ２ａによって区画され、第２固定部３０２ａが仮想線Ｌ１ｂ及びＬ２ｂによって区画されている。
【0079】
第１固定部３０１ａは可動部１００に固定されている。例えば、第１固定部３０１ａは可動部１００の上記第１被固定部に接着又は溶着されていてもよい（図１Ａ～図６参照）。又は、第１固定部３０１ａ及び可動部１００の第１被固定部の一方が、他方側に凸の係合凸部を有しており、他方が係合凹部を有していてもよい（図示なし）。この場合、係合凸部が係合凹部に嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）することによって、第１固定部３０１ａが可動部１００に固定されている。
【0080】
第２固定部３０２ａは、第１非可動部２００ａに固定されている。例えば、第２固定部３０２ａは第１非可動部２００ａの上記被固定部に接着又は溶着されていてもよい（図１Ａ～図２Ｃ及び図５～図６参照）。又は、第２固定部３０２ａ及び第１非可動部２００ａの上記被固定部の一方が、他方側に凸の係合凸部を有しており、他方が係合凹部を有していてもよい（図３及び図４参照）。この場合、係合凸部が係合凹部に嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）することによって、第２固定部３０２ａが第１非可動部２００ａに固定されている。なお、図３及び図４では、第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａが係合凸部であり、可動部１００の被固定部２０１ａが係合凹部である。
【0081】
第２弾性体３００ｂは、次の構成で相違する以外、上記した何れかの態様の第１弾性体３００ａと同様の構成とすることが可能である。第２弾性体３００ｂは、可動部１００と第２非可動部２００ｂとの間に配置されている。第２弾性体３００ｂの第１固定部３０１ｂは、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａと同様に、可動部１００の上記第２被固定部に固定されている（図１～図６参照）。第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂは、第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａと同様に、第２非可動部２００ｂの上記被固定部に固定されている（図１～図６参照）。
【0082】
第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが、可動部１００を第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対する初期位置で保持している。換言すると、第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが弾性変形する前の状態で、可動部１００の第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対するＸ－Ｘ’方向の位置が可動部１００の初期位置となる。可動部１００が初期位置に位置している状態（上記初期状態）で、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａの第２固定部３０２ａに対するＸ－Ｘ’方向の位置は任意に決定可能である。例えば、上記初期状態で、第１固定部３０１ａのＸ－Ｘ’方向の位置と第２固定部３０２ａのＸ－Ｘ’方向の位置とが一致するように第１固定部３０１ａが第２固定部３０２ａに対して配置されていてもよい（図１Ａ、図２Ａ及び図３～図５参照）。又は、可動部１００が初期位置に位置している状態で、第１固定部３０１ａのＸ方向側の端部が第２固定部３０２ａのＸ方向側の端よりもＸ方向側に位置するように又は第１固定部３０１ａのＸ’方向側の端部が第２固定部３０２ａのＸ’方向側の端よりもＸ’方向側に位置するように第１固定部３０１ａが第２固定部３０２ａに対して配置されていてもよい（図示なし）。上記初期状態における第２弾性体３００ｂの第１固定部３０１ｂの第２固定部３０２ｂに対するＸ－Ｘ’方向の位置も、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａの第２固定部３０２ａに対するＸ－Ｘ’方向の位置と同様に、決定できる。
【0083】
上記第１移動態様の場合、可動部１００が、第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対して相対的に、第２位置から第１位置へのＸ方向の移動と、第１位置から第２位置へのＸ’方向の移動とを交互に繰り返すことにより、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａが第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに対して相対的にＸ方向の移動とＸ’方向の移動とを交互に繰り返すと共に、第２弾性体３００ｂの第１固定部３０１ｂが第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに対して相対的にＸ方向の移動とＸ’方向の移動とを交互に繰り返す。可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することにより（可動部１００が初期位置を越えてＸ方向に移動することにより）、第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが弾性変形（以下、第１弾性変形という。）する。可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動することにより（可動部１００が初期位置を越えてＸ’方向に移動することにより）、第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが弾性変形（以下、第２弾性変形という。）する。第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが第１弾性変形から復元することにより、可動部１００を第１位置から第２位置へＸ’方向に移動させる第１復元力が可動部１００に付与される。第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが第２弾性変形から復元することにより、可動部１００を第２位置から第１位置へＸ方向に移動させる第２復元力が可動部１００に付与される。上記第１移動態様の場合、可動部１００は、上記第１駆動力及び第３駆動力と第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂの第２復元力とによる第２位置から第１位置へのＸ方向の移動と、上記第２駆動力及び第４駆動力と第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂの第１復元力とによる第１位置から第２位置へのＸ’方向の移動とを交互に繰り返すことによって、振動が発生する。
【0084】
上記第２移動態様の場合、可動部１００が、第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対して相対的に、初期位置から第１位置へのＸ方向の移動を間欠的に繰り返すことにより、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａが第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに対して相対的にＸ方向の移動を間欠的に繰り返す。可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することにより（可動部１００が初期位置を越えてＸ方向に移動することにより）、第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが弾性変形（以下、第３弾性変形という。）する。コイルＣａ及びコイルＣｂに対する電流の印加が間欠的に休止している間に、第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが第３弾性変形から復元し、この第３復元力によって可動部１００が第１位置から初期位置にかけて間欠的に移動する。上記第２移動態様の場合、可動部１００が、間欠的に発生する上記第１駆動力及び第３駆動力の初期位置から第１位置へのＸ方向の移動と、間欠的に発生する第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂの第３復元力による第１位置から初期位置へのＸ’方向の移動とを交互に繰り返すことによって、振動が発生する。
【0085】
第１弾性体３００ａが上記中空の楕円形である場合（図１Ａ～図１Ｃ及び図３参照）、第１弾性体３００ａは、第１非固定部３１１ａと、第２非固定部３１２ａと、第３非固定部３１３ａと、第４非固定部３１４ａとを更に有している。
【0086】
第１非固定部３１１ａは第１固定部３０１ａに対してＸ方向側に位置している。第１非固定部３１１ａは、Ｚ’方向側の対向面を有している。第１非固定部３１１ａの対向面は、Ｚ’方向側（可動部１００側）に凸の円弧面であって、接触領域３１１ａ１と、非接触領域３１１ａ２とを有している。接触領域３１１ａ１は、第１非固定部３１１ａの対向面のうち、第１固定部３０１ａに対してＸ方向側に位置しており且つ可動部１００の第１被固定部に接触する領域である。非接触領域３１１ａ２は、第１非固定部３１１ａの対向面のうち、接触領域３１１ａ１に対してＸ方向側に位置しており且つ可動部１００の第１被固定部に非接触である領域である。第１非固定部３１１ａの非接触領域３１１ａ２と可動部１００の第１被固定部とのＺ－Ｚ’方向の間隔は、Ｘ方向にいくにしたがって漸次拡大している。
【0087】
第２非固定部３１２ａは第２固定部３０２ａに対してＸ方向側に位置している。第２非固定部３１２ａは、Ｚ方向側の対向面を有している。第２非固定部３１２ａの対向面は、Ｚ方向側（第１非可動部２００ａ側）に凸の円弧面であって、接触領域３１２ａ１と、非接触領域３１２ａ２とを有している。接触領域３１２ａ１は、第２非固定部３１２ａの対向面のうち、第２固定部３０２ａに対してＸ方向側に位置しており且つ第１非可動部２００ａの被固定部に接触する領域である。非接触領域３１２ａ２は、第２非固定部３１２ａの対向面のうち、接触領域３１２ａ１に対してＸ方向側に位置しており且つ第１非可動部２００ａの被固定部に対して非接触である領域である。第２非固定部３１２ａの非接触領域３１２ａ２と第１非可動部２００ａの被固定部とのＺ－Ｚ’方向の間隔がＸ方向側にいくにしたがって漸次拡大している。
【0088】
第３非固定部３１３ａは第１固定部３０１ａに対してＸ’方向側に位置している。第３非固定部３１３ａは、Ｚ’方向側の対向面を有している。第３非固定部３１３ａの対向面は、Ｚ’方向側（可動部１００側）に凸の円弧面であって、接触領域３１３ａ１と、非接触領域３１３ａ２とを有している。接触領域３１３ａ１は、第３非固定部３１３ａの対向面のうち、第１固定部３０１ａに対してＸ’方向側に位置しており且つ可動部１００の第１被固定部に接触する領域である。非接触領域３１３ａ２は、第３非固定部３１３ａの対向面のうち、接触領域３１３ａ１に対してＸ’方向側に位置しており且つ可動部１００の第１被固定部に非接触である領域である。第３非固定部３１３ａの非接触領域３１３ａ２の第１被固定部と可動部１００とのＺ－Ｚ’方向の間隔は、Ｘ’方向にいくにしたがって漸次拡大している。
【0089】
第４非固定部３１４ａは第２固定部３０２ａに対してＸ’方向側に位置している。第４非固定部３１４ａは、Ｚ方向側の対向面を有している。第４非固定部３１４ａの対向面は、Ｚ方向側（第１非可動部２００ａ側）に凸の円弧面であって、接触領域３１４ａ１と、非接触領域３１４ａ２とを有している。接触領域３１４ａ１は、第４非固定部３１４ａの対向面のうち、第２固定部３０２ａに対してＸ’方向側に位置しており且つ第１非可動部２００ａの被固定部に接触する領域である。非接触領域３１４ａ２は、第４非固定部３１４ａの対向面のうち、接触領域３１４ａ１に対してＸ’方向側に位置しており且つ第１非可動部２００ａの被固定部に対して非接触である領域である。第４非固定部３１４ａの非接触領域３１４ａ２と第１非可動部２００ａの被固定部とのＺ－Ｚ’方向の間隔がＸ’方向側にいくにしたがって漸次拡大している。
【0090】
以下、説明の便宜上、初期状態における第１弾性体３００ａの接触領域３１１ａ１、非接触領域３１１ａ２、接触領域３１２ａ１、非接触領域３１２ａ２、接触領域３１３ａ１、非接触領域３１３ａ２、接触領域３１４ａ１、非接触領域３１４ａ２の領域のそれぞれを「初期領域」という。
【0091】
図１Ａ、図２Ａ及び図３においては、第１非固定部３１１ａの接触領域３１１ａ１の初期領域が仮想線Ｌ１ａ及び仮想線Ｌ３ａによって区画され、第１非固定部３１１ａの非接触領域３１１ａ２の初期領域が仮想線Ｌ３ａ及び仮想線Ｌ４ａによって区画され、第２非固定部３１２ａの接触領域３１２ａ１の初期領域が仮想線Ｌ１ｂ及び仮想線Ｌ３ｂによって区画され、第２非固定部３１２ａの非接触領域３１２ａ２の初期領域が仮想線Ｌ３ｂ及び仮想線Ｌ４ｂによって区画され、第３非固定部３１３ａの接触領域３１３ａ１の初期領域が仮想線Ｌ２ａ及び仮想線Ｌ５ａによって区画され、第３非固定部３１３ａの非接触領域３１３ａ２の初期領域が仮想線Ｌ５ａ及び仮想線Ｌ６ａによって区画され、第４非固定部３１４ａの接触領域３１４ａ１の初期領域が仮想線Ｌ２ｂ及び仮想線Ｌ５ｂによって区画され、第４非固定部３１４ａの非接触領域３１４ａ２の初期領域が仮想線Ｌ５ｂ及び仮想線Ｌ６ｂによって区画されている。また、図１Ａ、図２Ａ及び図３においては、仮想線Ｌ３ａは、初期状態における第１非固定部３１１ａの接触領域３１１ａ１と非接触領域３１１ａ２との境界線を示しており、仮想線Ｌ３ｂは、初期状態における第２非固定部３１２ａの接触領域３１２ａ１と非接触領域３１２ａ２との境界線を示しており、仮想線Ｌ５ａは、初期状態における第３非固定部３１３ａの接触領域３１３ａ１と非接触領域３１３ａ２との境界線を示しており、仮想線Ｌ５ｂは、初期状態における第４非固定部３１４ａの接触領域３１４ａ１と非接触領域３１４ａ２との境界線を示している。
【0092】
第２弾性体３００ｂが上記中空の楕円形である場合、第２弾性体３００ｂは、第１非固定部３１１ｂと、第２非固定部３１２ｂと、第３非固定部３１３ｂと、第４非固定部３１４ｂとを更に有している。
【0093】
第１非固定部３１１ｂは第１固定部３０１ｂに対してＸ方向側に位置している。第１非固定部３１１ｂは、Ｚ方向側の対向面を有している。第１非固定部３１１ｂの対向面は、Ｚ方向側（可動部１００側）に凸の円弧面であって、接触領域３１１ｂ１と、非接触領域３１１ｂ２とを有している。接触領域３１１ｂ１は、第１非固定部３１１ｂの対向面のうち、第１固定部３０１ｂに対してＸ方向側に位置しており且つ可動部１００の第２被固定部に接触する領域である。非接触領域３１１ｂ２は、第１非固定部３１１ｂの対向面のうち、接触領域３１１ｂ１に対してＸ方向側に位置しており且つ可動部１００の第２被固定部に非接触である領域である。第１非固定部３１１ｂの非接触領域３１１ｂ２と可動部１００の第２被固定部とのＺ－Ｚ’方向の間隔は、Ｘ方向にいくにしたがって漸次拡大している。
【0094】
第２非固定部３１２ｂは第２固定部３０２ｂに対してＸ方向側に位置している。第２非固定部３１２ｂは、Ｚ’方向側の対向面を有している。第２非固定部３１２ｂの対向面は、Ｚ’方向側（第２非可動部２００ｂ側）に凸の円弧面であって、接触領域３１２ｂ１と、非接触領域３１２ｂ２とを有している。接触領域３１２ｂ１は、第２非固定部３１２ｂの対向面のうち、第２固定部３０２ｂに対してＸ方向側に位置しており且つ第２非可動部２００ｂの被固定部に接触する領域である。非接触領域３１２ｂ２は、第２非固定部３１２ｂの対向面のうち、接触領域３１２ｂ１に対してＸ方向側に位置しており且つ第２非可動部２００ｂの被固定部に対して非接触である領域である。第２非固定部３１２ｂの非接触領域３１２ｂ２と第２非可動部２００ｂの被固定部とのＺ－Ｚ’方向の間隔がＸ方向側にいくにしたがって漸次拡大している。
【0095】
第３非固定部３１３ｂは第１固定部３０１ｂに対してＸ’方向側に位置している。第３非固定部３１３ｂは、Ｚ方向側の対向面を有している。第３非固定部３１３ｂの対向面は、Ｚ方向側（可動部１００側）に凸の円弧面であって、接触領域３１３ｂ１と、非接触領域３１３ｂ２とを有している。接触領域３１３ｂ１は、第３非固定部３１３ｂの対向面のうち、第１固定部３０１ｂに対してＸ’方向側に位置しており且つ可動部１００の第２被固定部に接触する領域である。非接触領域３１３ｂ２は、第３非固定部３１３ｂの対向面のうち、接触領域３１３ｂ１に対してＸ’方向側に位置しており且つ可動部１００の第２被固定部に非接触である領域である。第３非固定部３１３ｂの非接触領域３１３ｂ２と可動部１００の第２被固定部とのＺ－Ｚ’方向の間隔は、Ｘ’方向にいくにしたがって漸次拡大している。
【0096】
第４非固定部３１４ｂは第２固定部３０２ｂに対してＸ’方向側に位置している。第４非固定部３１４ｂは、Ｚ’方向側の対向面を有している。第４非固定部３１４ｂの対向面は、Ｚ’方向側（第２非可動部２００ｂ側）に凸の円弧面であるって、接触領域３１４ｂ１と、非接触領域３１４ｂ２とを有している。接触領域３１４ｂ１は、第４非固定部３１４ｂの対向面のうち、第２固定部３０２ｂに対してＸ’方向側に位置しており且つ第２非可動部２００ｂの被固定部に接触する領域である。非接触領域３１４ｂ２は、第４非固定部３１４ｂの対向面のうち、接触領域３１４ｂ１に対してＸ’方向側に位置しており且つ第２非可動部２００ｂの被固定部に対して非接触である領域である。第４非固定部３１４ｂの非接触領域３１４ｂ２と第２非可動部２００ｂの被固定部とのＺ－Ｚ’方向の間隔がＸ’方向側にいくにしたがって漸次拡大している。
【0097】
以下、説明の便宜上、初期状態における第２弾性体３００ｂの接触領域３１１ｂ１、非接触領域３１１ｂ２、接触領域３１２ｂ１、非接触領域３１２ｂ２、接触領域３１３ｂ１、非接触領域３１３ｂ２、接触領域３１４ｂ１、非接触領域３１４ｂ２の領域のそれぞれを「初期領域」という。
【0098】
なお、図１Ａ、図２Ａ及び図３においては、第２弾性体３００ｂの第１非固定部３１１ｂの接触領域３１１ｂ１の初期領域は第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａの接触領域３１１ａ１の初期領域と同様の領域となっており、第２弾性体３００ｂの第１非固定部３１１ｂの非接触領域３１１ｂ２の初期領域は第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａの非接触領域３１１ａ２の初期領域と同様の領域となっており、第２弾性体３００ｂの第２非固定部３１２ｂの接触領域３１２ｂ１の初期領域は第１弾性体３００ａの第２非固定部３１２ａの接触領域３１２ａ１の初期領域と同様の領域となっており、第２弾性体３００ｂの第２非固定部３１２ｂの非接触領域３１２ｂ２の初期領域は第１弾性体３００ａの第２非固定部３１２ａの非接触領域３１２ａ２の初期領域と同様の領域となっており、第２弾性体３００ｂの第３非固定部３１３ｂの接触領域３１３ｂ１の初期領域は第１弾性体３００ａの第３非固定部３１３ａの接触領域３１３ａ１の初期領域と同様の領域となっており、第２弾性体３００ｂの第３非固定部３１３ｂの非接触領域３１３ｂ２の初期領域は第１弾性体３００ａの第３非固定部３１３ａの非接触領域３１３ａ２の初期領域と同様の領域となっており、第２弾性体３００ｂの第４非固定部３１４ｂの接触領域３１４ｂ１の初期領域は第１弾性体３００ａの第４非固定部３１４ａの接触領域３１４ａ１の初期領域と同様の領域となっており、第２弾性体３００ｂの第４非固定部３１４ｂの非接触領域３１４ｂ２の初期領域は第１弾性体３００ａの第４非固定部３１４ａの非接触領域３１４ａ２の初期領域と同様の領域となっている。
【0099】
上記中空の楕円形の第１弾性体３００ａが第１移動態様の通りに移動する場合、第１弾性体３００ａは、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することにより、上記第１弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ａ～第４非固定部３１４ａが下記（Ａ）の通り動作する（図１Ｂ参照）一方、第１弾性体３００ａは、可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動することにより、上記第２弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ａ～第４非固定部３１４ａが下記（Ｂ）の通り動作する（図１Ｃ参照）。
【0100】
（Ａ）可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、（１）第１非固定部３１１ａの接触領域３１１ａ１の可動部１００からの離反が、第１非固定部３１１ａの接触領域３１１ａ１のＸ方向側からＸ’方向側に漸次進行して（換言すると、第１非固定部３１１ａの接触領域３１１ａ１と非接触領域３１１ａ２との境界線（仮想線Ｌ３ａ参照）がＸ’方向に移動して）、第１非固定部３１１ａの接触領域３１１ａ１がその初期領域から漸次減少する一方、第１非固定部３１１ａの非接触領域３１１ａ２がその初期領域から漸次増加し、（２）第２非固定部３１２ａの非接触領域３１２ａ２の第１非可動部２００ａに対する接触が、第２非固定部３１２ａの非接触領域３１２ａ２のＸ’方向側からＸ方向側に漸次進行して（換言すると、第２非固定部３１２ａの非接触領域３１２ａ２と接触領域３１２ａ１との境界線（仮想線Ｌ３ｂ参照）がＸ方向に移動して）、第２非固定部３１２ａの非接触領域３１２ａ２がその初期領域から漸次減少する一方、第２非固定部３１２ａの接触領域３１２ａ１がその初期領域から漸次増加し、（３）第３非固定部３１３ａの非接触領域３１３ａ２の可動部１００に対する接触が、第３非固定部３１３ａの非接触領域３１３ａ２のＸ方向側からＸ’方向側に漸次進行して（換言すると、第３非固定部３１３ａの非接触領域３１３ａ２と接触領域３１３ａ１との境界線（仮想線Ｌ５ａ参照）がＸ’方向に移動して）、第３非固定部３１３ａの非接触領域３１３ａ２がその初期領域から漸次減少する一方、第３非固定部３１３ａの接触領域３１３ａ１がその初期領域から漸次増加し、且つ、（４）第４非固定部３１４ａの接触領域３１４ａ１の第１非可動部２００ａからの離反が、第４非固定部３１４ａの接触領域３１４ａ１のＸ’方向側からＸ方向側に漸次進行して（換言すると、第４非固定部３１４ａの接触領域３１４ａ１と非接触領域３１４ａ２との境界線（仮想線Ｌ５ｂ参照）がＸ方向に移動して）、第４非固定部３１４ａの接触領域３１４ａ１がその初期領域から漸次減少する一方、第４非固定部３１４ａの非接触領域３１４ａ２がその初期領域から漸次増加する。
【0101】
（Ｂ）可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動するにしたがって、（５）第３非固定部３１３ａの接触領域３１３ａ１の可動部１００からの離反が、第３非固定部３１３ａの接触領域３１３ａ１のＸ’方向側からＸ方向側に漸次進行して（換言すると、第３非固定部３１３ａの接触領域３１３ａ１と非接触領域３１３ａ２との境界線（仮想線Ｌ５ａ参照）がＸ方向に移動して）、第３非固定部３１３ａの接触領域３１３ａ１がその初期領域から漸次減少する一方、第３非固定部３１３ａの非接触領域３１３ａ２がその初期領域から漸次増加し、（６）第４非固定部３１４ａの非接触領域３１４ａ２の第１非可動部２００ａに対する接触が、第４非固定部３１４ａの非接触領域３１４ａ２のＸ方向側からＸ’方向側に漸次進行して（換言すると、第４非固定部３１４ａの非接触領域３１４ａ２と接触領域３１４ａ１との境界線（仮想線Ｌ５ｂ参照）がＸ’方向に移動して）、第４非固定部３１４ａの非接触領域３１４ａ２がその初期領域から漸次減少する一方、第４非固定部３１４ａの接触領域３１４ａ１がその初期領域から漸次増加し、（７）第１非固定部３１１ａの非接触領域３１１ａ２の可動部１００に対する接触が、第１非固定部３１１ａの非接触領域３１１ａ２のＸ’方向側からＸ方向側に漸次進行して（換言すると、第１非固定部３１１ａの非接触領域３１１ａ２と接触領域３１１ａ１との境界線（仮想線Ｌ３ａ参照）がＸ方向に移動して）、第１非固定部３１１ａの非接触領域３１１ａ２がその初期領域から漸次減少する一方、第１非固定部３１１ａの接触領域３１１ａ１がその初期領域から漸次増加し、且つ、（８）第２非固定部３１２ａの接触領域３１２ａ１の第１非可動部２００ａからの離反が、第２非固定部３１２ａの接触領域３１２ａ１のＸ方向側からＸ’方向側に漸次進行して（換言すると、第２非固定部３１２ａの接触領域３１２ａ１と非接触領域３１２ａ２との境界線（仮想線Ｌ３ｂ参照）がＸ’方向に移動して）、第２非固定部３１２ａの接触領域３１２ａ１がその初期領域から漸次減少する一方、第２非固定部３１２ａの非接触領域３１２ａ２がその初期領域から漸次増加する。
【0102】
上記中空の楕円形の第２弾性体３００ｂが第１移動態様の通りに移動する場合、第２弾性体３００ｂは、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することにより、上記第１弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ｂ～第４非固定部３１４ｂが下記（Ｃ）の通り動作する（図１Ｂ参照）一方、第２弾性体３００ｂは、可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動することにより、上記第２弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ｂ～第４非固定部３１４ｂが下記（Ｄ）の通り動作する（図１Ｃ参照）。
【0103】
（Ｃ）可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、（９）第１非固定部３１１ｂの接触領域３１１ｂ１の可動部１００からの離反が、第１非固定部３１１ｂの接触領域３１１ｂ１のＸ方向側からＸ’方向側に漸次進行して（換言すると、第１非固定部３１１ｂの接触領域３１１ｂ１と非接触領域３１１ｂ２との境界線がＸ’方向に移動して）、第１非固定部３１１ｂの接触領域３１１ｂ１がその初期領域から漸次減少する一方、第１非固定部３１１ｂの非接触領域３１１ｂ２がその初期領域から漸次増加し、（１０）第２非固定部３１２ｂの非接触領域３１２ｂ２の第２非可動部２００ｂに対する接触が、第２非固定部３１２ｂの非接触領域３１２ｂ２のＸ’方向側からＸ方向側に漸次進行して（換言すると、第２非固定部３１２ｂの非接触領域３１２ｂ２と接触領域３１２ｂ１との境界線がＸ方向に移動して）、第２非固定部３１２ｂの非接触領域３１２ｂ２がその初期領域から漸次減少する一方、第２非固定部３１２ｂの接触領域３１２ｂ１がその初期領域から漸次増加し、（１１）第３非固定部３１３ｂの非接触領域３１３ｂ２の可動部１００に対する接触が、第３非固定部３１３ｂの非接触領域３１３ｂ２のＸ方向側からＸ’方向側に漸次進行して（換言すると、第３非固定部３１３ｂの非接触領域３１３ｂ２と接触領域３１３ｂ１との境界線がＸ’方向に移動して）、第３非固定部３１３ｂの非接触領域３１３ｂ２がその初期領域から漸次減少する一方、第３非固定部３１３ｂの接触領域３１３ｂ１がその初期領域から漸次増加し、且つ、（１２）第４非固定部３１４ｂの接触領域３１４ｂ１の第２非可動部２００ｂからの離反が、第４非固定部３１４ｂの接触領域３１４ｂ１のＸ’方向側からＸ方向側に漸次進行して（換言すると、第４非固定部３１４ｂの接触領域３１４ｂ１と非接触領域３１４ｂ２との境界線がＸ方向に移動して）、第４非固定部３１４ｂの接触領域３１４ｂ１がその初期領域から漸次減少する一方、第４非固定部３１４ｂの非接触領域３１４ｂ２がその初期領域から漸次増加する。
【0104】
（Ｄ）可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動するにしたがって、（１３）第３非固定部３１３ｂの接触領域３１３ｂ１の可動部１００からの離反が、第３非固定部３１３ｂの接触領域３１３ｂ１のＸ’方向側からＸ方向側に漸次進行して（換言すると、第３非固定部３１３ｂの接触領域３１３ｂ１と非接触領域３１３ｂ２との境界線がＸ方向に移動して）、第３非固定部３１３ｂの接触領域３１３ｂ１がその初期領域から漸次減少する一方、第３非固定部３１３ｂの非接触領域３１３ｂ２がその初期領域から漸次増加し、（１４）第４非固定部３１４ｂの非接触領域３１４ｂ２の第２非可動部２００ｂに対する接触が、第４非固定部３１４ｂの非接触領域３１４ｂ２のＸ方向側からＸ’方向側に漸次進行して（換言すると、第４非固定部３１４ｂの非接触領域３１４ｂ２と接触領域３１４ｂ１との境界線がＸ’方向に移動して）、第４非固定部３１４ｂの非接触領域３１４ｂ２がその初期領域から漸次減少する一方、第４非固定部３１４ｂの接触領域３１４ｂ１がその初期領域から漸次増加し、（１５）第１非固定部３１１ｂの非接触領域３１１ｂ２の可動部１００に対する接触が、第１非固定部３１１ｂの非接触領域３１１ｂ２のＸ’方向側からＸ方向側に漸次進行して（換言すると、第１非固定部３１１ｂの非接触領域３１１ｂ２と接触領域３１１ｂ１との境界線がＸ方向に移動して）、第１非固定部３１１ｂの非接触領域３１１ｂ２がその初期領域から漸次減少する一方、第１非固定部３１１ｂの接触領域３１１ｂ１がその初期領域から漸次増加し、且つ、（１６）第２非固定部３１２ｂの接触領域３１２ｂ１の第２非可動部２００ｂからの離反が、第２非固定部３１２ｂの接触領域３１２ｂ１のＸ方向側からＸ’方向側に漸次進行して（換言すると、第２非固定部３１２ｂの接触領域３１２ｂ１と非接触領域３１２ｂ２との境界線がＸ’方向に移動して）、第２非固定部３１２ｂの接触領域３１２ｂ１がその初期領域から漸次減少する一方、第２非固定部３１２ｂの非接触領域３１２ｂ２がその初期領域から漸次増加する。
【0105】
上記中空の楕円形の第１弾性体３００ａが第２移動態様の通りに移動する場合、第１弾性体３００ａは、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することにより、上記第３弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ａ～第４非固定部３１４ａが以下の通り動作する（図１Ｂを借りて参照）。可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第１非固定部３１１ａが上記（１）のとおり動作し、第２非固定部３１２ａが上記（２）のとおり動作し、第３非固定部３１３ａが上記（３）のとおり動作し、且つ、第４非固定部３１４ａが上記（４）の通り動作する。
【0106】
上記中空の楕円形の第２弾性体３００ｂが第２移動態様の通りに移動する場合、第２弾性体３００ｂは、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することにより、上記第３弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ｂ～第４非固定部３１４ｂが以下の通り動作する（図１Ｂを借りて参照）。可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第１非固定部３１１ｂが上記（９）のとおり動作し、第２非固定部３１２ｂが上記（１０）のとおり動作し、第３非固定部３１３ｂが上記（１１）のとおり動作し、且つ、第４非固定部３１４ｂが上記（１２）のとおり動作する。
【0107】
第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが第３弾性変形から復元し、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａが第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに対してＸ’方向に相対的に移動すると共に、第２弾性体３００ｂの第１固定部３０１ｂが第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに対してＸ’方向に相対的に移動することにより、可動部１００が初期位置に復帰する。これにより、第１弾性体３００ａの接触領域３１１ａ１、非接触領域３１１ａ２、接触領域３１２ａ１、非接触領域３１２ａ２、接触領域３１３ａ１、非接触領域３１３ａ２、接触領域３１４ａ１、非接触領域３１４ａ２が、それぞれ、自身の初期領域に復帰し、且つ、第２弾性体３００ｂの接触領域３１１ｂ１、非接触領域３１１ｂ２、接触領域３１２ｂ１、非接触領域３１２ｂ２、接触領域３１３ｂ１、非接触領域３１３ｂ２、接触領域３１４ｂ１、非接触領域３１４ｂ２が、それぞれ、自身の初期領域に復帰する。
【0108】
第１弾性体３００ａが上記中空の長方形である場合、初期状態における第１弾性体３００ａは、Ｘ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向の断面視において中空の長方形である（図２Ａ及び図４参照）。第２弾性体３００ｂが上記中空の長方形である場合、初期状態における第２弾性体３００ｂは、Ｘ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向の断面視において中空の長方形である（図２Ａ及び図４参照）。
【0109】
上記中空の長方形である第１弾性体３００ａが第１移動態様のとおりに移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することによって、第１弾性体３００ａがＸ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向の断面視において中空の略平行四辺形となるように上記第１弾性変形をし（図２Ｂ参照）、可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動することによって、第１弾性体３００ａが、断面視において第１弾性変形時の中空の平行四辺形とは逆向きの中空の略平行四辺形となるように上記第２弾性変形をする（図２Ｃ参照）。
【0110】
上記中空の長方形である第２弾性体３００ｂが第１移動態様のとおりに移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することによって、第２弾性体３００ｂがＸ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向の断面視において中空の略平行四辺形となるように上記第１弾性変形をし（図２Ｂ参照）、可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動することによって、第２弾性体３００ｂが、断面視において第１弾性変形時の中空の平行四辺形とは逆向きの中空の略平行四辺形となるように上記第２弾性変形をする（図２Ｃ参照）。
【0111】
上記中空の長方形である第１弾性体３００ａが第２移動態様のとおりに移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することによって、第１弾性体３００ａがＸ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向の断面視において中空の略平行四辺形となるように上記第３弾性変形をする（図２Ｂを借りて参照）。
【0112】
上記中空の長方形である第２弾性体３００ｂが第２移動態様のとおりに移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動することによって、第２弾性体３００ｂがＸ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向の断面視において中空の略平行四辺形となるように上記第３弾性変形をする（図２Ｂを借りて参照）。
【0113】
第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが第３弾性変形から復元し、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａが第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに対してＸ’方向に相対的に移動すると共に、第２弾性体３００ｂの第１固定部３０１ｂが第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに対してＸ’方向に相対的に移動することにより、可動部１００が初期位置に復帰する。
【0114】
第１弾性体３００ａが上記第１片側楕円形である場合（図５参照）、第１弾性体３００ａは、第１非固定部３１１ａ及び第２非固定部３１２ａを更に有している。この場合、第１弾性体３００ａの第３非固定部３１３ａ及び第４非固定部３１４ａは省略されている。第２弾性体３００ｂが上記第１片側楕円形である場合（図５参照）、第２弾性体３００ｂは、第１非固定部３１１ｂ及び第２非固定部３１２ｂを更に有している。この場合、第２弾性体３００ｂの第３非固定部３１３ｂ及び第４非固定部３１４ｂは省略されている。
【0115】
上記第１片側楕円形の第１弾性体３００ａが第１移動態様のとおり移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第１弾性体３００ａが上記第１弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ａが上記（１）のとおりに動作し、第２非固定部３１２ａが上記（２）のとおりに動作し、且つ、第１弾性体３００ａのＸ’方向側の端部が傾斜し、可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動するにしたがって、第１弾性体３００ａが上記第２弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ａが上記（７）のとおり動作し、第２非固定部３１２ａが上記（８）のとおり動作し、且つ、第１弾性体３００ａのＸ’方向側の端部が、第１弾性変形時とは逆向きに傾斜する。
【0116】
上記第１片側楕円形の第２弾性体３００ｂが第１移動態様のとおりに移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第２弾性体３００ｂが上記第１弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ｂが上記（９）のとおり動作し、第２非固定部３１２ｂが上記（１０）のとおり動作し、且つ、第２弾性体３００ｂのＸ’方向側の端部が傾斜し、可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動するにしたがって、第２弾性体３００ｂが上記第２弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ｂが上記（１５）のとおり動作し、第２非固定部３１２ｂが上記（１６）のとおり動作し、且つ、第２弾性体３００ｂのＸ’方向側の端部が、第１弾性変形時とは逆向きに傾斜する。
【0117】
上記第１片側楕円形の第１弾性体３００ａが第２移動態様のとおり移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第１弾性体３００ａが上記第３弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ａが上記（１）のとおりに動作し、第２非固定部３１２ａが上記（２）のとおりに動作し、且つ、第１弾性体３００ａのＸ’方向側の端部が傾斜する。
【0118】
上記第１片側楕円形の第２弾性体３００ｂが第２移動態様のとおりに移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第２弾性体３００ｂが上記第３弾性変形をしつつ、第１非固定部３１１ｂが上記（９）のとおり動作し、第２非固定部３１２ｂが上記（１０）のとおり動作し、且つ、第２弾性体３００ｂのＸ’方向側の端部が傾斜する。
【0119】
第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが第３弾性変形から復元し、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａが第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに対してＸ’方向に相対的に移動すると共に、第２弾性体３００ｂの第１固定部３０１ｂが第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに対してＸ’方向に相対的に移動することにより、可動部１００が初期位置に復帰する。これにより、第１弾性体３００ａの接触領域３１１ａ１、非接触領域３１１ａ２、接触領域３１２ａ１、非接触領域３１２ａ２が、それぞれ、自身の初期領域に復帰し、且つ、第２弾性体３００ｂの接触領域３１１ｂ１、非接触領域３１１ｂ２、接触領域３１２ｂ１、非接触領域３１２ｂ２が、それぞれ、自身の初期領域に復帰する。
【0120】
第１弾性体３００ａが上記第２片側楕円形である場合（図６参照）、第１弾性体３００ａは、第３非固定部３１３ａ及び第４非固定部３１４ａを更に有している。この場合、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ及び第２非固定部３１２ａは省略されている。第２弾性体３００ｂが上記第２片側楕円形である場合（図６参照）、第２弾性体３００ｂは、第３非固定部３１３ｂ及び第４非固定部３１４ｂを更に有している。この場合、第２弾性体３００ｂの第１非固定部３１１ｂ及び第２非固定部３１２ｂは省略されている。
【0121】
上記第２片側楕円形の第１弾性体３００ａが第１移動態様のとおり移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第１弾性体３００ａが上記第１弾性変形をしつつ、第３非固定部３１３ａが上記（３）のとおりに動作し、第４非固定部３１４ａが上記（４）のとおりに動作し、且つ、第１弾性体３００ａのＸ方向側の端部が傾斜し、可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動するにしたがって、第１弾性体３００ａが上記第２弾性変形をしつつ、第３非固定部３１３ａが上記（５）のとおりに動作し、第４非固定部３１４ａが上記（６）のとおりに動作し、且つ、第１弾性体３００ａのＸ方向側の端部が、第１弾性変形時とは逆向きに傾斜する。
【0122】
上記第２片側楕円形の第２弾性体３００ｂが第１移動態様のとおりに移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第２弾性体３００ｂが上記第１弾性変形をしつつ、第３非固定部３１３ｂが上記（１１）のとおりに動作し、第４非固定部３１４ｂが上記（１２）のとおりに動作し、且つ、第２弾性体３００ｂのＸ方向側の端部が傾斜し、可動部１００が初期位置に対してＸ’方向に移動するにしたがって、第２弾性体３００ｂが上記第２弾性変形をしつつ、第３非固定部３１３ｂが上記（１３）のとおりに動作し、第４非固定部３１４ｂが上記（１４）のとおりに動作し、且つ、第２弾性体３００ｂのＸ方向側の端部が、第１弾性変形時とは逆向きに傾斜する。
【0123】
上記第２片側楕円形の第１弾性体３００ａが第２移動態様のとおり移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第１弾性体３００ａが上記第３弾性変形をしつつ、第３非固定部３１３ａが上記（３）のとおりに動作し、第４非固定部３１４ａが上記（４）のとおりに動作し、且つ、第１弾性体３００ａのＸ方向側の端部が傾斜する。
【0124】
上記第２片側楕円形の第２弾性体３００ｂが第２移動態様のとおりに移動する場合、可動部１００が初期位置に対してＸ方向に移動するにしたがって、第２弾性体３００ｂが上記第３弾性変形をしつつ、第３非固定部３１３ｂが上記（１１）のとおりに動作し、第４非固定部３１４ｂが上記（１２）のとおりに動作し、且つ、第２弾性体３００ｂのＸ方向側の端部が傾斜する。
【0125】
第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが第３弾性変形から復元し、第１弾性体３００ａの第１固定部３０１ａが第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに対してＸ’方向に相対的に移動すると共に、第２弾性体３００ｂの第１固定部３０１ｂが第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに対してＸ’方向に相対的に移動することにより、可動部１００が初期位置に復帰する。これにより、第１弾性体３００ａの接触領域３１３ａ１、非接触領域３１３ａ２、接触領域３１４ａ１、非接触領域３１４ａ２が、それぞれ、自身の初期領域に復帰し、且つ、第２弾性体３００ｂの接触領域３１３ｂ１、非接触領域３１３ｂ２、接触領域３１４ｂ１、非接触領域３１４ｂ２が、それぞれ、自身の初期領域に復帰する。
【0126】
アクチュエータＡ１は、一対の連結部４００ａ、４００ｂを更に備えていてもよい。連結部４００ａは、第１非可動部２００ａと第２非可動部２００ｂのＸ方向側の端部を連結し、連結部４００ｂは、第１非可動部２００ａと第２非可動部２００ｂのＸ’方向側の端部を連結している。なお、一対の連結部４００ａ、４００ｂは省略可能である。この場合、第１非可動部２００ａは、振動発生装置Ｂ１が備えられる電子機器の第１部に固定され、第２非可動部２００ｂが電子機器の第２部に固定されるようになっていればよい。
【0127】
振動発生装置Ｂ１の可動部１００の共振周波数ｆは、下記数式１で求められる。同数式１における「Ｍ」は可動部１００の質量である。同数式１における「Ｋ」は、第１移動態様の場合、可動部１００が初期位置を越えて移動方向（Ｘ方向又はＸ’方向）に移動したときに、可動部１００を移動方向の反対方向（Ｘ’方向又はＸ方向）に移動させるように、可動部１００に対して作用する力であり、第２移動態様の場合、可動部１００が初期位置から移動方向（Ｘ方向）に移動したときに、可動部１００を移動方向の反対方向（Ｘ’方向）に移動させるように、可動部１００に対して作用する力である。実施例１及びその設計変形例では、「Ｋ」は、「ｋ１」＋「ｋ２」＋「ｋ３」である。「ｋ１」は第１弾性体３００ａのばね定数である。「ｋ２」は第２弾性体３００ｂのばね定数である。「ｋ３」は、可動部１００の振幅（移動）の範囲内において、可動部１００の初期位置からの変位量（移動量）をｘとし、復帰力Ｆ（第１、第２磁気吸着力の和）としたとき、Ｆ=ｋ３・ｘの線形近似として扱うことができる。より具体的には、可動部１００の振幅（移動）の範囲内において、変位量（移動量）ｘを縦軸とし、復帰力Ｆを横軸として得られる曲線を線形近似した際の傾きを「ｋ３」とすることが可能である。第１磁気吸着力は、可動部１００の永久磁石Ｍと第１非可動部２００ａの磁性体Ｙａとの間で生じ、移動した可動部１００を移動方向の反対方向に移動させる力である。第２磁気吸着力は、可動部１００の永久磁石Ｍと第２非可動部２００ｂの磁性体Ｙｂとの間で生じ且つ移動した可動部１００を移動方向の反対方向に移動させる力である。第１移動態様の場合、第１、第２磁気吸着力の各々は、可動部１００が初期位置を越えてＸ方向又はＸ’方向に移動するにしたがって漸次増大し、可動部１００を移動方向（Ｘ方向又はＸ’方向）の反対方向（Ｘ’方向又はＸ方向）に移動させるように、可動部１００に作用する力である。第２移動態様の場合、第１、第２磁気吸着力の各々は、可動部１００が初期位置からＸ方向に移動するにしたがって漸次増大し、可動部１００を移動方向（Ｘ方向）の反対方向（Ｘ’方向）に移動させるように、可動部１００に作用する力である。
【0128】
【数1】
【0129】
上記した振動発生装置Ｂ１及びアクチュエータＡ１による場合、以下の技術的特徴及び効果を奏する。
【0130】
（１）技術的特徴及び効果
第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂのそれぞれに一又は複数の空隙Ｇが設けられていることによって、第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂのそれぞれの質量が低減されている。これにより、第１弾性体３００ａ及び第２非可動部２００ｂのそれぞれの弾性力（復元力）を小さくすることができる。第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが上記した何れかの中空体である場合、その質量及び弾性力（復元力）を低減し易くなる。
第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂのそれぞれに一又は複数の空隙Ｇが設けられていることによって、第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂのそれぞれの質量が低減されている。これにより、第１弾性体３００ａ及び第２非可動部２００ｂのそれぞれの弾性力（復元力）を小さくすることができる。第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが上記した何れかの中空体である場合、その質量及び弾性力（復元力）を低減し易くなる。
【0131】
（２）技術的特徴及び効果
振動発生装置Ｂ１の可動部１００の共振周波数を小さくすることができる。その理由は以下の通りである。第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂは、一又は複数の空隙Ｇが設けられていることによって、そのせん断応力が小さくなり、その結果として、そのばね定数も小さくなる。第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂのばね定数が小さくなることによって、上記の通り求められる可動部１００の共振周波数も小さく設定できる。その一方で、第１移動態様の移動又は第２移動態様の移動により生じる可動部１００の振動周波数は、一般的に、コイルＣａ及びコイルＣｂに印加される電流の周波数に対応するため、可動部１００の振動周波数が、可動部１００の共振周波数と一致しないように、コイルＣａ及びコイルＣｂに印加される電流の周波数を設定することが可能である。具体的には、可動部１００の共振周波数が小さく設定されているので、可動部１００の振動周波数が、可動部１００の共振周波数よりも大きくなるように、コイルＣａ及びコイルＣｂに印加される電流の周波数を設定することが可能である。このようにすれば、振動発生装置Ｂ１は、共振が起こる可能性が低減されるため、可動部１００の共振周波数を越える広い振動周波数帯域で略一定の出力を得られる。すなわち、振動発生装置Ｂ１は、広い振動周波数帯域で、可動部１００の略一定の振動を得ることが可能になる。
振動発生装置Ｂ１の可動部１００の共振周波数を小さくすることができる。その理由は以下の通りである。第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂは、一又は複数の空隙Ｇが設けられていることによって、そのせん断応力が小さくなり、その結果として、そのばね定数も小さくなる。第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂのばね定数が小さくなることによって、上記の通り求められる可動部１００の共振周波数も小さく設定できる。その一方で、第１移動態様の移動又は第２移動態様の移動により生じる可動部１００の振動周波数は、一般的に、コイルＣａ及びコイルＣｂに印加される電流の周波数に対応するため、可動部１００の振動周波数が、可動部１００の共振周波数と一致しないように、コイルＣａ及びコイルＣｂに印加される電流の周波数を設定することが可能である。具体的には、可動部１００の共振周波数が小さく設定されているので、可動部１００の振動周波数が、可動部１００の共振周波数よりも大きくなるように、コイルＣａ及びコイルＣｂに印加される電流の周波数を設定することが可能である。このようにすれば、振動発生装置Ｂ１は、共振が起こる可能性が低減されるため、可動部１００の共振周波数を越える広い振動周波数帯域で略一定の出力を得られる。すなわち、振動発生装置Ｂ１は、広い振動周波数帯域で、可動部１００の略一定の振動を得ることが可能になる。
【0132】
（３）技術的特徴及び効果
第１弾性体３００ａが上記中空の楕円形である場合、第１弾性変形時及び第２弾性変形時、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ～第４非固定部３１４ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の弾性変形量が小さくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。又は、第３弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ～第４非固定部３１４ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向の弾性変形量が小さくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。第２弾性体３００ｂが上記中空の楕円形である場合、第２弾性体３００ｂは、上記中空の楕円形の第１弾性体３００ａと同様に、第２弾性体３００ｂのＸ方向及びＸ’方向の復元力又はＸ’方向の復元力が小さくなるので、第２弾性体３００ｂが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動又は第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。
第１弾性体３００ａが上記中空の楕円形である場合、第１弾性変形時及び第２弾性変形時、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ～第４非固定部３１４ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の弾性変形量が小さくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。又は、第３弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ～第４非固定部３１４ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向の弾性変形量が小さくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。第２弾性体３００ｂが上記中空の楕円形である場合、第２弾性体３００ｂは、上記中空の楕円形の第１弾性体３００ａと同様に、第２弾性体３００ｂのＸ方向及びＸ’方向の復元力又はＸ’方向の復元力が小さくなるので、第２弾性体３００ｂが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動又は第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。
【0133】
（４）技術的特徴及び効果
第１弾性体３００ａが上記第１片側楕円形である場合、第１弾性変形時及び第２弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ及び第２非固定部３１２ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の弾性変形量が少なくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。又は、第３弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ及び第２非固定部３１２ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向の弾性変形量が少なくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。第２弾性体３００ｂが上記第１片側楕円形である場合、第２弾性体３００ｂは、上記第１片側楕円形の第１弾性体３００ａと同様に、第２弾性体３００ｂのＸ方向及びＸ’方向の復元力又はＸ’方向の復元力が小さくなるので、第２弾性体３００ｂが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動又は第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。
第１弾性体３００ａが上記第１片側楕円形である場合、第１弾性変形時及び第２弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ及び第２非固定部３１２ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の弾性変形量が少なくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。又は、第３弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第１非固定部３１１ａ及び第２非固定部３１２ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向の弾性変形量が少なくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。第２弾性体３００ｂが上記第１片側楕円形である場合、第２弾性体３００ｂは、上記第１片側楕円形の第１弾性体３００ａと同様に、第２弾性体３００ｂのＸ方向及びＸ’方向の復元力又はＸ’方向の復元力が小さくなるので、第２弾性体３００ｂが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動又は第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。
【0134】
（５）技術的特徴及び効果
第１弾性体３００ａが上記第２片側楕円形である場合、第１弾性変形時及び第２弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第３非固定部３１３ａ及び第４非固定部３１４ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の弾性変形量が少なくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。又は、第３弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第３非固定部３１３ａ及び第４非固定部３１４ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向の弾性変形量が少なくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。第２弾性体３００ｂが上記第２片側楕円形である場合、第２弾性体３００ｂは、上記第２片側楕円形の第１弾性体３００ａと同様に、第２弾性体３００ｂのＸ方向及びＸ’方向の復元力又はＸ’方向の復元力が小さくなるので、第２弾性体３００ｂが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動又は第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。
第１弾性体３００ａが上記第２片側楕円形である場合、第１弾性変形時及び第２弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第３非固定部３１３ａ及び第４非固定部３１４ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の弾性変形量が少なくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ方向及びＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。又は、第３弾性変形時に、第１弾性体３００ａの第３非固定部３１３ａ及び第４非固定部３１４ａが上記の通り動作するため、第１弾性体３００ａのＸ方向の弾性変形量が少なくなる。その結果、第１弾性体３００ａのＸ’方向の復元力が小さくなるので、第１弾性体３００ａが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。第２弾性体３００ｂが上記第２片側楕円形である場合、第２弾性体３００ｂは、上記第２片側楕円形の第１弾性体３００ａと同様に、第２弾性体３００ｂのＸ方向及びＸ’方向の復元力又はＸ’方向の復元力が小さくなるので、第２弾性体３００ｂが振動発生装置Ｂ１の可動部１００の第１移動態様の移動又は第２移動態様の移動により生じる振動と共振し難くなる。
【0135】
（６）技術的特徴及び効果
第１非可動部２００ａが磁性体Ｙａを有し且つ第２非可動部２００ｂが磁性体Ｙｂを有している場合、可動部１００の永久磁石Ｍが磁性体ＹａにＺ方向側に磁気吸着されると共に、磁性体ＹｂにＺ’方向側に磁気吸着される。しかし、第１非可動部２００ａと可動部１００との間には、第１弾性体３００ａが介在しており、第２非可動部２００ｂと可動部１００との間には、第２弾性体３００ｂが介在しているので、可動部１００がＺ方向又はＺ’方向にズレ難くなり、仮にズレたとしても、第１弾性体３００ａ又は第２弾性体３００ｂがＺ－Ｚ’方向で圧縮されるので、その復元によって可動部１００をＺ－Ｚ’方向における第１非可動部２００ａと第２非可動部２００ｂの間の中間に戻すことができる。
第１非可動部２００ａが磁性体Ｙａを有し且つ第２非可動部２００ｂが磁性体Ｙｂを有している場合、可動部１００の永久磁石Ｍが磁性体ＹａにＺ方向側に磁気吸着されると共に、磁性体ＹｂにＺ’方向側に磁気吸着される。しかし、第１非可動部２００ａと可動部１００との間には、第１弾性体３００ａが介在しており、第２非可動部２００ｂと可動部１００との間には、第２弾性体３００ｂが介在しているので、可動部１００がＺ方向又はＺ’方向にズレ難くなり、仮にズレたとしても、第１弾性体３００ａ又は第２弾性体３００ｂがＺ－Ｚ’方向で圧縮されるので、その復元によって可動部１００をＺ－Ｚ’方向における第１非可動部２００ａと第２非可動部２００ｂの間の中間に戻すことができる。
【実施例0136】
以下、本発明の実施例２及びその設計変形例を含む複数の実施例に係る振動発生装置Ｂ２について、図７Ａ～図８Ｃを参照しつつ説明する。図７Ａ～図７Ｃには、実施例２に係る振動発生装置Ｂ２が示されている。図８Ａ～図８Ｃには、実施例２の振動発生装置Ｂ２の第１設計変型例が示されている。図７Ａ～図８Ｃにも、振動発生装置Ｂ１と同様に、Ｚ－Ｚ’方向及びＸ－Ｘ’方向が示されている。
【0137】
振動発生装置Ｂ２は電磁アクチュエータＡ２（以下、単にアクチュエータＡ２とも称する。）を備えている。アクチュエータＡ２は、可動部１００が、永久磁石Ｍの代わりにコイルＣを有し、第１非可動部２００ａがコイルＣａの代わりに永久磁石Ｍａを有し且つ第２非可動部２００ｂがコイルＣａの代わりに永久磁石Ｍｂを有する構成である点で、振動発生装置Ｂ１のアクチュエータＡ１と相違する以外、アクチュエータＡ１と略同じ構成である。以下、アクチュエータＡ２の説明のうち、アクチュエータＡ１との相違点について詳しく説明し、アクチュエータＡ１と重複する説明については省略する。
【0138】
可動部１００のコイルＣは、例えば、スパイラルコイルである。コイルＣは、振動発生装置Ｂ２の外部の発振回路（図示しない。）に電気的に接続可能な構成とすることが可能である。又は、発振回路は、振動発生装置Ｂ２の外部ではなく、振動発生装置Ｂ２に設けられており、発振回路がコイルＣに電気的に接続された構成とすることも可能である。発振回路によって、コイルＣに矩形波又は正弦波の電流が印加される。
【0139】
可動部１００のホルダが設けられている場合、ホルダは、永久磁石Ｍの代わりにコイルＣを保持している。例えば、ホルダは、環状体であって、その内部にコイルＣが嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）された構成、任意の形状のブロックであって、その内部にコイルＣがインサート成形された構成、又は、箱体であって、その内部にコイルＣが収容された構成とすることが可能である。なお、可動部１００のホルダは省略可能である。
【0140】
可動部１００のホルダが設けられていない場合、可動部１００の第１被固定部は、コイルＣのＺ方向側の面であり、可動部１００の第２被固定部は、コイルＣのＺ’方向側の面である。可動部１００のホルダが設けられている場合、可動部１００の第１被固定部は、ホルダのコイルＣに対してＺ方向側の部分であり、可動部１００の第２被固定部は、ホルダのコイルＣに対してＺ’方向側の部分である。
【0141】
第１非可動部２００ａの永久磁石Ｍａが可動部１００のコイルＣに対してＺ方向側に配置されており、第２非可動部２００ｂの永久磁石Ｍｂが可動部１００のコイルＣに対してＺ’方向側に配置されている。永久磁石Ｍａ及び永久磁石Ｍｂは、振動発生装置Ｂ１の可動部１００の永久磁石Ｍと同様の構成とすることが可能である。但し、永久磁石Ｍａと永久磁石Ｍｂとの間に磁界が形成されているとよい。例えば、永久磁石ＭａのＺ方向側の部分がＳ極、永久磁石ＭａのＺ’方向側の部分がＮ極である場合、永久磁石ＭｂのＺ方向側の部分がＳ極、永久磁石ＭｂのＺ’方向側の部分がＮ極であり、永久磁石ＭａのＺ方向側の部分がＮ極、永久磁石ＭａのＺ’方向側の部分がＳ極である場合、永久磁石ＭｂのＺ方向側の部分がＮ極、永久磁石ＭｂのＺ’方向側の部分がＳ極とすることが可能である。又は、永久磁石ＭａのＺ方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＳ極、Ｎ極であり且つ永久磁石ＭａのＺ’方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＮ極、Ｓ極である場合、第２非可動部２００ｂの永久磁石ＭｂのＺ方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＳ極、Ｎ極であり且つ永久磁石ＭｂのＺ’方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＮ極、Ｓ極であり、永久磁石ＭａのＺ方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＮ極、Ｓ極であり且つ永久磁石ＭａのＺ’方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＳ極、Ｎ極である場合、永久磁石ＭｂのＺ方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＮ極、Ｓ極であり且つ永久磁石ＭｂのＺ’方向側の部分のＸ方向側、Ｘ’方向側がＳ極、Ｎ極とすることが可能である。
【0142】
第１非可動部２００ａの磁性体Ｙａが設けられている場合、磁性体Ｙａは、永久磁石Ｍａに対してＺ方向側に配置されている。磁性体ＹａのＸ－Ｘ’方向の寸法は、永久磁石ＭａのＸ－Ｘ’方向の寸法より大きい又は略同じにするとよいが、小さくても構わない。磁性体ＹａのＸ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向に略直交する直交方向の寸法は、永久磁石Ｍａの前記直交方向の寸法より大きい又は略同じにするとよいが、小さくても構わない。なお、磁性体Ｙａは省略可能である。
【0143】
第２非可動部２００ｂの磁性体Ｙｂが設けられている場合、磁性体Ｙｂは、永久磁石Ｍｂに対してＺ’方向側に配置されている。磁性体ＹｂのＸ－Ｘ’方向の寸法は、永久磁石ＭｂのＸ－Ｘ’方向の寸法より大きい又は略同じにするとよいが、小さくても構わない。磁性体ＹｂのＸ－Ｘ’方向及びＺ－Ｚ’方向に略直交する直交方向の寸法は、永久磁石Ｍｂの前記直交方向の寸法より大きい又は略同じにするとよいが、小さくても構わない。なお、磁性体Ｙｂは省略可能である。
【0144】
磁性体Ｙａが設けられていない場合、可動部１００のコイルＣ及び第１非可動部２００ａの永久磁石Ｍａが第１磁気回路を構成している。磁性体Ｙａが設けられている場合、可動部１００のコイルＣ、第１非可動部２００ａの永久磁石Ｍａ及び第１非可動部２００ａの磁性体Ｙａが第１磁気回路を構成している。
【0145】
磁性体Ｙｂが設けられていない場合、可動部１００のコイルＣ及び第２非可動部２００ｂの永久磁石Ｍｂが第２磁気回路を構成している。磁性体Ｙｂが設けられている場合、可動部１００のコイルＣ、第２非可動部２００ｂの永久磁石Ｍｂ及び第２非可動部２００ｂの磁性体Ｙｂが第２磁気回路を構成している。
【0146】
コイルＣａは、その導線が永久磁石Ｍａと永久磁石Ｍｂとの間に形成された磁界を横切るように当該磁界内に配置されている。
【0147】
上記第１移動態様の場合、第１磁気回路は、極性（正極及び負極）が所定の間隔で交互に反転する電流がコイルＣに印加されることによって、コイルＣをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）とコイルＣをＸ’方向に移動させる第２駆動力（ローレンツ力）とを交互に発生させ、且つ、第２磁気回路は、極性（正極及び負極）が所定の間隔で交互に反転する電流がコイルＣに印加されることによって、コイルＣをＸ方向に移動させる第３駆動力（ローレンツ力）とコイルＣをＸ’方向に移動させる第４駆動力（ローレンツ力）とを交互に発生させる。具体的には、磁界と、当該磁界を横切るようにコイルＣに流れる前記電流との電磁相互作用によって、コイルＣをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）及び第３駆動力（ローレンツ力）とコイルＣをＸ’方向に移動させる第２駆動力（ローレンツ力）及び第４駆動力（ローレンツ力）とが交互に発生する。可動部１００はコイルＣを有しているので、第１駆動力及び第３駆動力と、第２駆動力及び第４駆動力とが交互に発生することによって、可動部１００が、第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対して相対的に、第２位置から第１位置へのＸ方向の移動と、第１位置から第２位置へのＸ’方向の移動とを交互に繰り返すようになっている。
【0148】
上記第２移動態様の場合、第１磁気回路は、一方の極性（正極又は負極）を有する電流がコイルＣに間欠的に印加されることによって、コイルＣをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）を間欠的に発生させ、且つ、第２磁気回路は、一方の極性（正極又は負極）を有する電流がコイルＣに間欠的に印加されることによって、コイルＣをＸ方向に移動させる第３駆動力（ローレンツ力）を間欠的に発生させる。具体的には、磁界と、当該磁界を横切るようにコイルＣに流れる前記電流との電磁相互作用によって、コイルＣをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）及び第３駆動力（ローレンツ力）が間欠的に発生する。可動部１００がコイルＣを有しているので、第１駆動力及び第３駆動力が間欠的に発生することによって、可動部１００が、第１非可動部２００ａ及び第２非可動部２００ｂに対して相対的に、初期位置から第１位置へのＸ方向の移動を間欠的に繰り返すようになっている。
【0149】
第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａが設けられている場合、ホルダ２１０ａは、コイルＣａの代わりに、少なくとも永久磁石Ｍａを保持している。例えば、ホルダ２１０ａは、任意の形状のブロック（図７Ａ～図８Ｃ参照）であって、その内部に永久磁石Ｍａがインサート成形された構成、箱体であって、その内部に永久磁石Ｍａが収容された構成、又は、環状体であって、その内部に永久磁石Ｍａが嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）された構成等とすることが可能である。磁性体Ｙａが設けられている場合、磁性体Ｙａは、ブロックであるホルダ２１０ａ内に永久磁石Ｍａと共にインサート成形された構成、箱体であるホルダ２１０ａ内に永久磁石Ｍａと共に収容された構成、環状体、ブロック又は箱体であるホルダ２１０ａのＺ方向側の面に接着剤やネジ等で構成された構成（図７Ａ～図８Ｃ参照）とすることが可能である。ホルダ２１０ａは、永久磁石Ｍａに対してＺ’方向側に位置する被固定部２０１ａを有する構成とすることが可能である。
【0150】
ホルダ２１０ａは省略可能である。ホルダ２１０ａが設けられておらず且つ磁性体Ｙａが設けられている場合、永久磁石Ｍａは、磁性体ＹａのＺ’方向側の面に固定されているとよい。この場合、永久磁石ＭａのＺ’方向側の面が被固定部となっているとよい。ホルダ２１０ａ及び磁性体Ｙａが設けられていない場合、第１非可動部２００ａの永久磁石ＭａのＺ’方向側の面が被固定部となっているとよい。
【0151】
また、第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａに代えて、第１非可動部２００ａのスペーサである被固定部が設けられている場合、被固定部は永久磁石Ｍａに対してＺ’方向側に位置する。永久磁石Ｍａは、被固定部にＺ方向側から固定されている又は接触している。
【0152】
第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂが設けられている場合、ホルダ２１０ｂは、コイルＣｂの代わりに、少なくとも永久磁石Ｍｂを保持している。例えば、ホルダ２１０ｂは、任意の形状のブロック（図７Ａ～図８Ｃ参照）であって、その内部に永久磁石Ｍｂがインサート成形された構成、箱体であって、その内部に永久磁石Ｍｂが収容された構成、又は、環状体であって、その内部に永久磁石Ｍｂが嵌合（ＦＩＴ ＩＮ）された構成等とすることが可能である。磁性体Ｙｂが設けられている場合、磁性体Ｙｂは、ブロックであるホルダ２１０ｂ内に永久磁石Ｍｂと共インサート成形された構成、箱体であるホルダ２１０ｂ内に永久磁石Ｍｂと共収容された構成、環状体、ブロック又は箱体であるホルダ２１０ｂのＺ’方向側の面に接着剤やネジ等で構成された構成（図７Ａ～図８Ｃ参照）とすることが可能である。ホルダ２１０ｂは、コイルＣｂに対してＺ方向側に位置する被固定部２０１ｂを有する構成とすることが可能である。
【0153】
ホルダ２１０ｂは省略可能である。ホルダ２１０ｂが設けられておらず且つ磁性体Ｙｂが設けられている場合、永久磁石Ｍｂは、磁性体ＹｂのＺ方向側の面に固定されているとよい。この場合、永久磁石ＭｂのＺ方向側の面が被固定部となっているとよい。ホルダ２１０ｂ及び磁性体Ｙｂが設けられていない場合、第２非可動部２００ｂの永久磁石ＭｂのＺ方向側の面が被固定部となっているとよい。
【0154】
第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂに代えて、第２非可動部２００ｂのスペーサである被固定部が設けられている場合、被固定部は永久磁石Ｍｂに対してＺ方向側に位置する。永久磁石Ｍｂは、被固定部にＺ’方向側から固定されている。
【0155】
アクチュエータＡ２は、第１弾性体３００ａと、第２弾性体３００ｂとを更に備えている。アクチュエータＡ２の第１弾性体３００ａは、アクチュエータＡ１の第１弾性体３００ａの何れかの態様と同様の構成である。アクチュエータＡ２の第２弾性体３００ｂは、アクチュエータＡ１の第２弾性体３００ｂの何れかの態様と同様の構成である。
【0156】
振動発生装置Ｂ２の可動部１００の生じる共振周波数は、上記数式１で求めることはできる。但し、実施例２及びその設計変形例では、第１非可動部２００ａが永久磁石Ｍａ及び磁性体Ｙａを有し且つ第２非可動部２００ｂが永久磁石Ｍｂ及び磁性体Ｙａを有するため、可動部１００の移動時に「ｋ３」が生じない。そのため、数式１の「Ｋ」は、「ｋ１」＋「ｋ２」である。
【0157】
上記した振動発生装置Ｂ２及びアクチュエータＡ２は、振動発生装置Ｂ１及びアクチュエータＡ１の（１）～（６）技術的特徴及び効果と同様の技術的特徴及び効果を奏する。上記した振動発生装置Ｂ２及びアクチュエータＡ２は、下記（７）技術的特徴及び効果を奏する。
【0158】
（７）技術的特徴及び効果
永久磁石Ｍａを保持する第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａが設けられている場合又は第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａに代えて、第１非可動部２００ａのスペーサである被固定部が設けられている場合、第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａの被固定部又はスペーサである被固定部が、第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに固定されるため、永久磁石Ｍａを第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに固定できる大きさにする必要がなくなる。このため、永久磁石Ｍａを必要最小限の大きさとすることが可能になる。永久磁石Ｍｂを保持する第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂが設けられている場合又は第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂに代えて、第２非可動部２００ｂのスペーサである被固定部が設けられている場合、第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂの被固定部又はスペーサである被固定部が、第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに固定されるため、永久磁石Ｍｂを第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに固定できる大きさにする必要がなくなる。このため、永久磁石Ｍｂを必要最小限の大きさとすることが可能になる。
永久磁石Ｍａを保持する第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａが設けられている場合又は第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａに代えて、第１非可動部２００ａのスペーサである被固定部が設けられている場合、第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａの被固定部又はスペーサである被固定部が、第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに固定されるため、永久磁石Ｍａを第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａに固定できる大きさにする必要がなくなる。このため、永久磁石Ｍａを必要最小限の大きさとすることが可能になる。永久磁石Ｍｂを保持する第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂが設けられている場合又は第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂに代えて、第２非可動部２００ｂのスペーサである被固定部が設けられている場合、第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂの被固定部又はスペーサである被固定部が、第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに固定されるため、永久磁石Ｍｂを第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂに固定できる大きさにする必要がなくなる。このため、永久磁石Ｍｂを必要最小限の大きさとすることが可能になる。
【実施例0159】
以下、本発明の実施例３及びその設計変形例を含む複数の実施例に係る振動発生装置Ｂ３について、図９～図１２を参照しつつ説明する。図９には、実施例３に係る振動発生装置Ｂ３が示されている。図１０には、実施例３の振動発生装置Ｂ３の第１設計変型例が示されている。図１１には、実施例３の振動発生装置Ｂ３の第２設計変型例が示されている。図１２には、実施例３の振動発生装置Ｂ３の第３設計変型例が示されている。図９～図１２にも、振動発生装置Ｂ１と同様に、Ｚ－Ｚ’方向及びＸ－Ｘ’方向が示されている。
【0160】
振動発生装置Ｂ３は、電磁アクチュエータＡ３（以下、単にアクチュエータＡ３とも称する。）を備えている。アクチュエータＡ３は、第１弾性体３００ａ及び第２弾性体３００ｂが複数である点で、振動発生装置Ｂ１のアクチュエータＡ１又は振動発生装置Ｂ２のアクチュエータＡ２と相違する以外、アクチュエータＡ１又はアクチュエータＡ２と略同じ構成である。以下、アクチュエータＡ３の説明のうち、アクチュエータＡ１又はアクチュエータＡ２との相違点について詳しく説明し、アクチュエータＡ１又はアクチュエータＡ２と重複する説明については省略する。
【0161】
複数の第１弾性体３００ａの各々が可動部１００と第１非可動部２００ａとの間に配置されている。複数の第１弾性体３００ａは、Ｘ－Ｘ’方向に間隔をあけて配置されていてもよいし、Ｚ－Ｚ’方向及びＸ－Ｘ’方向に略直交する直交方向に間隔をあけて配置されていてもよいし、マトリックス状に間隔をあけて配置されていてもよい。これ以外については、アクチュエータＡ３の複数の第１弾性体３００ａの各々は、アクチュエータＡ１又はアクチュエータＡ２の第１弾性体３００ａの何れかの態様と同様の構成である。
【0162】
複数の第２弾性体３００ｂの各々が可動部１００と第２非可動部２００ｂとの間に配置されている。複数の第２弾性体３００ｂは、Ｘ－Ｘ’方向に間隔をあけて配置されていてもよいし、Ｚ－Ｚ’方向及びＸ－Ｘ’方向に略直交する直交方向に間隔をあけて配置されていてもよいし、マトリックス状に間隔をあけて配置されていてもよい。これ以外については、アクチュエータＡ３の複数の第２弾性体３００ｂの各々は、アクチュエータＡ１又はアクチュエータＡ２の第２弾性体３００ｂの何れかの態様と同様の構成である。
【0163】
なお、図９においては、可動部１００が永久磁石Ｍを有し、第１非可動部２００ａがコイルＣａを有し、第２非可動部２００ｂがコイルＣｂを有しており且つ複数の第１弾性体３００ａ及び複数の第２弾性体３００ｂの各々が上記中空の楕円形である。図１０においては、可動部１００が永久磁石Ｍを有し、第１非可動部２００ａがコイルＣａを有し、第２非可動部２００ｂがコイルＣｂを有しており且つ複数の第１弾性体３００ａ及び複数の第２弾性体３００ｂの各々が上記中空の長方形である。図１１においては、可動部１００がコイルＣを有し、第１非可動部２００ａが永久磁石Ｍａを有し、第２非可動部２００ｂが永久磁石Ｍｂを有しており且つ複数の第１弾性体３００ａ及び複数の第２弾性体３００ｂの各々が上記中空の楕円形である。図１０においては、可動部１００がコイルＣａを有し、第１非可動部２００ａが永久磁石Ｍａを有し、第２非可動部２００ｂが永久磁石Ｍｂを有しており且つ複数の第１弾性体３００ａ及び複数の第２弾性体３００ｂの各々が上記中空の長方形である。アクチュエータＡ３においても、複数の第１弾性体３００ａ及び複数の第２弾性体３００ｂの各々が上記第１片側楕円形又は上記第２片側楕円形とすることも当然可能である。
【0164】
第１非可動部２００ａのホルダ２１０ａが設けられておらず且つ磁性体Ｙａが設けられている場合、第１非可動部２００ａのコイルＣａ又は永久磁石Ｍａは磁性体ＹａのＺ’方向側の面に固定され且つ複数の第１弾性体３００ａのうちの隣り合う二つの第１弾性体３００ａの間に配置されていても良い。この場合、磁性体ＹａのＺ’方向側の面が第１非可動部２００ａの被固定部となり、複数の第１弾性体３００ａの第２固定部３０２ａが第１非可動部２００ａの被固定部に上記何れかの態様で固定されている。
【0165】
第２非可動部２００ｂのホルダ２１０ｂが設けられておらず且つ磁性体Ｙｂが設けられている場合、第２非可動部２００ｂのコイルＣｂ又は永久磁石Ｍｂは磁性体ＹｂのＺ方向側の面に固定され且つ複数の第２弾性体３００ｂのうちの隣り合う二つの第２弾性体３００ｂの間に配置されていても良い。この場合、磁性体ＹｂのＺ方向側の面が第２非可動部２００ｂの被固定部となり、複数の第２弾性体３００ｂの第２固定部３０２ｂが第２非可動部２００ｂの被固定部に上記何れかの態様で固定されている。
【0166】
振動発生装置Ｂ３の可動部１００が永久磁石Ｍを有し且つ第１非可動部２００ａ、第２非可動部２００ｂがコイルＣａ、Ｃｂを有する場合、振動発生装置Ｂ３の可動部１００の共振周波数ｆは、上記数式１で求められる。この場合、同数式１のｋ１は複数の第１弾性体３００ａのばね定数の和であり、ｋ２は複数の第２弾性体３００ｂのばね定数の和であり、Ｋは永久磁石ＭとコイルＣａ間及び永久磁石ＭとコイルＣｂ間の力のバネ定数であり、Ｍは可動部１００の質量である。
【0167】
振動発生装置Ｂ３の可動部１００がコイルＣを有し且つ第１非可動部２００ａ、第２非可動部２００ｂが永久磁石Ｍａ、Ｍｂを有する場合、振動発生装置Ｂ３の可動部１００の共振周波数ｆは、上記数式１で求められる。この場合、同数式１のｋ１は複数の第１弾性体３００ａのばね定数の和であり、ｋ２は複数の第２弾性体３００ｂのばね定数の和であり、Ｋは永久磁石ＭａとコイルＣ間及び永久磁石ＭｂとコイルＣ間の力のバネ定数であり、Ｍは可動部１００の質量である。
【0168】
上記した振動発生装置Ｂ３及びアクチュエータＡ３は、による場合、振動発生装置Ｂ１及びアクチュエータＡ１の（１）～（６）技術的特徴及び効果と同様の技術的特徴及び効果を奏する。
【0169】
なお、上記した振動発生装置及びアクチュエータは、上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載範囲において任意に設計変形することが可能である。以下、詳しく述べる。
【0170】
上記した何れかの態様のアクチュエータは、第２非可動部２００ｂ及び一又は複数の第２弾性体３００ｂを省略することが可能である。換言すると、上記した何れかの態様のアクチュエータは、上記した何れかの態様の可動部１００、上記した何れかの態様の第１非可動部２００ａ及び上記した何れかの態様の少なくとも一つの第１弾性体３００ａを備えた構成とすることが可能である。このように設計変形した場合であっても、少なくとも一つの第１弾性体３００ａは、一又は複数の空隙Ｇが設けられていることによって、そのせん断応力が小さくなり、その結果として、そのばね定数も小さくなる。また、少なくとも一つの第１弾性体３００ａのばね定数が小さくなることによって、可動部１００の共振周波数も小さく設定できる。その一方で、可動部１００の振動周波数が、可動部１００の共振周波数よりも大きくなるように、コイルＣａ又はコイルＣに印加される電流の周波数を設定することが可能である。この場合、可動部１００の振動周波数は、以下の通り求めることができる。可動部１００が永久磁石Ｍを有し且つ第１非可動部２００ａがコイルＣａを有する場合、可動部１００の共振周波数ｆは、上記数式１で求められる。但し、一又は複数の第２弾性体３００ｂが省略されているので、数式１の「Ｋ」は、「ｋ１」＋「ｋ３’」である。「ｋ３’」は、「ｋ３」と同様に、可動部１００の振幅（移動）の範囲内において、可動部１００の初期位置からの変位量（移動量）をｘとし、復帰力Ｆとしたとき、Ｆ=ｋ３・ｘの線形近似として扱うことができる。より具体的には、可動部１００の振幅（移動）の範囲内において、変位量（移動量）ｘを縦軸とし、復帰力Ｆを横軸として得られる曲線を線形近似した際の傾きを「ｋ３’」とすることが可能である。但し、ここでは、第２非可動部２００ｂが省略されているので、復帰力Ｆは、第１磁気吸着力とする。可動部１００がコイルＣを有し且つ第１非可動部２００ａが永久磁石Ｍａを有する場合も、可動部１００の共振周波数ｆは、下記数式１で求められる。但し、一又は複数の第２弾性体３００ｂが省略されており且つ実施例２及びその設計変形例と同様に、「ｋ３」が生じないため、数式１の「Ｋ」＝「ｋ１」である。
【0171】
上記した何れかの態様の第１非可動部２００ａは、上記した何れかの態様の可動部１００に対してＺ－Ｚ’方向に配置されていればよい。例えば、上記した何れかの態様の第１非可動部２００ａが上記した何れかの態様の可動部１００に対してＺ－Ｚ’方向において同心円状に配置される円筒状とすることが可能である。この場合、一又は複数の第１弾性体３００ａが第１非可動部２００ａと可動部１００との間に介在するように配置されているとよい。第１非可動部２００ａがコイルＣａを有する場合、コイルＣａはソレノイドコイルとすることが可能である。
【0172】
上記した何れかの態様の可動部１００は、図示しない軟鉄（ヨーク）等の磁性体を更に備えていてもよい。例えば、第２非可動部２００ｂ及び一又は複数の第２弾性体３００ｂが設けられていない場合、可動部１００の磁性体は、可動部１００の永久磁石Ｍ又はコイルＣに対してＺ’方向に配置されていてもよい。この場合、上記第１磁気回路は、可動部１００の磁性体、可動部１００の永久磁石Ｍ及び第１非可動部２００ａのコイルＣａで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、可動部１００の永久磁石Ｍ、第１非可動部２００ａのコイルＣａ及び第１非可動部２００ａの磁性体Ｙａで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、可動部１００のコイルＣ及び第１非可動部２００ａの永久磁石Ｍａで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、可動部１００のコイルＣ、第１非可動部２００ａの永久磁石Ｍａ及び第１非可動部２００ａの磁性体Ｙａで構成されていてもよい。何れの構成の第１磁気回路も、極性（正極及び負極）が所定の間隔で交互に反転する電流がコイルＣａ又はコイルＣに印加されることによって、可動部１００の永久磁石Ｍ又はコイルＣをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）と永久磁石Ｍ又はコイルＣをＸ’方向に移動させる第２駆動力（ローレンツ力）とを交互に発生させる、又は、一方の極性（正極又は負極）を有する電流がコイルＣａ又はコイルＣに間欠的に印加されることによって、可動部１００の永久磁石Ｍ又はコイルＣをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）を間欠的に発生させる。
【0173】
第２非可動部２００ｂ及び一又は複数の第２弾性体３００ｂが設けられている場合、可動部１００の永久磁石Ｍ又はコイルＣを二つとし、Ｚ－Ｚ’方向における二つの永久磁石Ｍの間又は二つのコイルＣの間に磁性体が配置されていてもよい。この場合、上記第１磁気回路は、可動部１００の磁性体、二つの永久磁石ＭのうちのＺ方向側の永久磁石Ｍ及び第１非可動部２００ａのコイルＣａで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、Ｚ方向側の永久磁石Ｍ、可動部１００の磁性体、第１非可動部２００ａのコイルＣａ及び第１非可動部２００ａの磁性体Ｙａで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、二つのコイルＣのうちのＺ方向側のコイルＣ及び第１非可動部２００ａの永久磁石Ｍａで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、二つのコイルＣのうちのＺ方向側のコイルＣ、第１非可動部２００ａの永久磁石Ｍａ及び第１非可動部２００ａの磁性体Ｙａで構成されていてもよい。何れの構成の第１磁気回路も、極性（正極及び負極）が所定の間隔で交互に反転する電流がコイルＣａに印加されることによって、可動部１００の永久磁石Ｍ又はコイルＣをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）と永久磁石Ｍ又はコイルＣをＸ’方向に移動させる第２駆動力（ローレンツ力）とを交互に発生させる、又は、一方の極性（正極又は負極）を有する電流がコイルＣａに間欠的に印加されることによって、可動部１００の永久磁石Ｍ又はコイルＣをＸ方向に移動させる第１駆動力（ローレンツ力）を間欠的に発生させる。上記第２磁気回路は、可動部１００の磁性体、二つの永久磁石ＭのうちのＺ方向側の永久磁石Ｍ及び第２非可動部２００ｂのコイルＣｂで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、Ｚ方向側の永久磁石Ｍ、可動部１００の磁性体、第２非可動部２００ｂのコイルＣｂ及び第２非可動部２００ｂの磁性体Ｙｂで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、二つのコイルＣのうちのＺ方向側のコイルＣ及び第２非可動部２００ｂの永久磁石Ｍｂで構成されていてもよいし、可動部１００の磁性体、Ｚ方向側のコイルＣ、第２非可動部２００ｂの永久磁石Ｍｂ及び第１非可動部２００ａの磁性体Ｙｂで構成されていてもよい。何れの構成の第２磁気回路も、極性（正極及び負極）が所定の間隔で交互に反転する電流がコイルＣｂ又はコイルＣに印加されることによって、可動部１００の永久磁石Ｍ又はコイルＣをＸ方向に移動させる第３駆動力（ローレンツ力）と永久磁石ＭをＸ’方向に移動させる第４駆動力（ローレンツ力）とを交互に発生させる、又は、一方の極性（正極又は負極）を有する電流がコイルＣｂ又はコイルＣに間欠的に印加されることによって、可動部１００の永久磁石Ｍ又はコイルＣをＸ方向に移動させる第３駆動力（ローレンツ力）を間欠的に発生させる。
【0174】
可動部１００のホルダが設けられている場合、このホルダが上記した何れかの態様の可動部の磁性体を保持していてもよい。なお、可動部の磁性体は、省略可能である。
【0175】
上記した何れかの態様の第１磁気回路は、コイルに対して電流が印加されることによって、少なくとも可動部の永久磁石又はコイルを第１非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第１駆動力を発生させる構成であればよい。上記した何れかの態様の第２磁気回路が設けられている場合、上記した何れかの態様の第２磁気回路は、コイルに対して電流が印加されることによって、少なくとも可動部の永久磁石又はコイルを第１非可動部に対して相対的に第２方向の一方に移動させる第１駆動力を発生させる構成であればよい。
【0176】
上記した何れかの態様の電磁アクチュエータは、振動発生装置以外に適用可能である。例えば、本発明の電磁アクチュエータは、ソレノイドや弁を可動部の移動によって開閉する電磁弁等にも適用可能である。
【0177】
なお、本発明の第１方向は、本発明の可動部と第１非可動部の並び方向である限り任意に設定可能である。本発明の第２方向は、第１方向に交差する限り任意に設定可能である。