特開 2023-46317 ピックアンドプレース装置のための可撓性のピックアーム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023046317

(43)【公開日】2023-04-03

(54)【発明の名称】ピックアンドプレース装置のための可撓性のピックアーム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/52 20060101AFI20230327BHJP

   H01L 21/60 20060101ALI20230327BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20230327BHJP

【ＦＩ】

H01L21/52 F

H01L21/60 311T

H05K13/04 A

【審査請求】有

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2022150390

(22)【出願日】2022-09-21

(31)【優先権主張番号】17/481,390

(32)【優先日】2021-09-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】504133796

【氏名又は名称】エーエスエムピーティー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(74)【代理人】

【識別番号】100133400

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 達彦

(72)【発明者】

【氏名】チャク・トン・ツェ

(72)【発明者】

【氏名】ペイ・ウェイ・ツァイ

(72)【発明者】

【氏名】ウィン・ツェ・チャン

(72)【発明者】

【氏名】ワイ・ヒン・ユン

【テーマコード（参考）】

5E353

5F044

5F047

【Ｆターム（参考）】

5E353GG21

5E353HH61

5E353JJ28

5E353QQ12

5F044PP16

5F047FA01

5F047FA08

(57)【要約】

【課題】可撓部を利用するピックアンドプレース装置のための向上させたピックアームを提供する。
【解決手段】電子デバイスのためのピックアンドプレース装置のためのピックアームは、ピックアームをピックアームサポート上に取付け可能にする近位端と、電子デバイスを保持するためのコレットが取り付けられる遠位端と、を有する主本体を有する。第１の剛体は、ピックアームの近位端に隣接して位置し、第２の剛体は、ピックアームの遠位端に隣接して位置する。第１の可撓部および第２の可撓部は、第１の剛体を第２の剛体に接続する。第１の可撓部は、第２の可撓部から離間されており、第１の可撓部および第２の可撓部は、互いに実質的に平行に配置された対向面を有する。作動器は、ピックアームのコレットを付勢して移動させるために、第１の可撓部および第２の可撓部を第１の剛体に対して曲げるべく、第２の剛体上に付勢力を加えるように動作可能である。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子デバイスのためのピックアンドプレース装置のためのピックアームであって、
前記ピックアームをピックアームサポート上に取付け可能な近位端、および、コレットが電子デバイスを保持するために取り付けられる遠位端、を有する主本体と、
前記ピックアームの前記近位端に隣接して位置する第１の剛体、および、前記ピックアームの前記遠位端に隣接して位置する第２の剛体と、
前記第１の剛体を前記第２の剛体に接続する第１の可撓部および第２の可撓部であって、前記第１の可撓部は前記第２の可撓部から離間され、前記第１の可撓部および前記第２の可撓部は、互いに実質的に平行に配置された対向面を有する、第１の可撓部および第２の可撓部と、
前記ピックアームの前記コレットを付勢して移動させるために、前記第１の剛体に対して前記第１の可撓部および前記第２の可撓部を曲げるべく、前記第２の剛体の上に付勢力を加えるように動作可能な作動器と、
を備えるピックアーム。

【請求項2】

前記ピックアームサポートは回転タレットを備え、前記回転タレットは、前記回転タレットの周縁に沿って複数のピックアームを取り付けるように構成される、請求項１に記載のピックアーム。

【請求項3】

前記作動器は、電子デバイスをボンディングするために配置位置の上方に固定されて位置する配置作動器を備え、前記ピックアームは、前記配置作動器に隣接して位置するように前記配置作動器に対して移動可能であり、それにより、前記配置位置において前記配置作動器により付勢される、請求項１に記載のピックアーム。

【請求項4】

前記作動器は、ピックアップ位置において、電子デバイスの供給部の上に固定されて位置するピックアップ作動器をさらに備え、前記ピックアームは、前記ピックアップ作動器に隣接して位置するように前記ピックアップ作動器に対して移動可能であり、それにより、前記ピックアップ位置において、前記ピックアップ作動器により付勢される、請求項３に記載のピックアーム。

【請求項5】

前記第１の可撓部は、前記第１の剛体および前記第２の剛体の上部分に取り付けられ、前記第２の可撓部は、前記第１の剛体および前記第２の剛体の下部分に取り付けられる、請求項１に記載のピックアーム。

【請求項6】

前記第１の剛体における前記第１の可撓部と前記第２の可撓部との間の距離は、前記第２の剛体における前記第１の可撓部と前記第２の可撓部との間の距離に実質的に等しい、請求項５に記載のピックアーム。

【請求項7】

前記第１の可撓部の可撓性の軸は、前記第２の可撓部の可撓性の軸と一致する、請求項６に記載のピックアーム。

【請求項8】

前記第１の可撓部および前記第２の可撓部ならびに前記第１の剛体および前記第２の剛体は、可撓性のある４バー機構として構成され、前記第２の剛体は、前記コレットの垂直運動を制御するために前記作動器により付勢されるように構成される、請求項５に記載のピックアーム。

【請求項9】

前記第１の剛体および前記第２の剛体のそれぞれは、前記第１の可撓部および前記第２の可撓部を分離するスペーサと、前記第１の剛体および前記第２の剛体のそれぞれに前記第１の可撓部をロックするための第１のロッキングプレートと、前記第１の剛体および前記第２の剛体のそれぞれに前記第２の可撓部をロックするための第２のロッキングプレートと、を含む、請求項５に記載のピックアーム。

【請求項10】

前記第１の可撓部および前記第２の可撓部を、前記第１のロッキングプレートおよび前記第２のロッキングプレートに固定することは、前記第１の可撓部および前記第２の可撓部にリベット留めすることにより、または接着剤を塗布することにより行われる、請求項９に記載のピックアーム。

【請求項11】

前記作動器により付勢力が加えられない場合の前記ピックアームの待機方向において、前記第１の可撓部および前記第２の可撓部の面は、それぞれの水平面上に配置される、請求項１に記載のピックアーム。

【請求項12】

前記第２の剛体上に、前記作動器により前記付勢力を加えることは、前記第２の剛体が前記水平面から反れるように、前記第１の可撓部および前記第２の可撓部を湾曲させる、請求項１１に記載のピックアーム。

【請求項13】

前記作動器は、前記作動器が前記第２の剛体上に付勢力を加えない後退位置と付勢力を加え前記第２の剛体を押して移動させる延長位置との間で所定の距離だけ移動可能である、請求項１に記載のピックアーム。

【請求項14】

前記作動器により押されたとき前記第２の剛体によって移動される距離は、４ｍｍ未満に制限される、請求項１３に記載のピックアーム。

【請求項15】

前記第１の可撓部および前記第２の可撓部は、それぞれ板ばねを備える、請求項１に記載のピックアーム。

【請求項16】

前記第１の可撓部および前記第２の可撓部は、オーステナイト系ステンレス鋼シート、または炭素繊維シートから製作される、請求項１５に記載のピックアーム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子デバイスをボンディングのためにピックアップする、電子デバイスのためのボンダーなど、ピックアンドプレース装置のためのピックアームに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体パッケージング産業において使用される電子デバイスに対するボンダーは、半導体ダイまたはチップなど、電子デバイスをボンディングするための１つまたは複数のピックアームを有する。通常、ピックアンドプレース動作の過程における回転／直線運動と垂直運動との両方に対して、ピックアームを設計する必要があり、それは、１つの場所において、電子デバイスの供給部から電子デバイスを拾い上げて、電子デバイスを別の場所にある基板上にボンディングすることを含む。

【0003】

具体的に、ピックアームを垂直軸に沿って移動させる機構に関しては、このような運動をガイドするために、従来、軸受デバイスが使用される。軸受デバイスは、例えば、クロスローラガイド、直線運動ガイド、またはケージ軸受を備えることができる。このような軸受デバイスは、垂直軸に沿って、ある程度のコンプライアンスを導入するために、片持ち梁アーム上のばねの枢動部と共に使用され得る。他の進んだピックアーム設計はまた、垂直軸に沿った運動のための軸受デバイス、ならびにピックアームにおいてさらにわずかな微小垂直動作を可能にするように設計されたリニアモータを使用することができる。

【0004】

しかし、前述のものなどの軸受デバイスは、ボンダーのボンドヘッドモジュールにより担持される負荷を増加し、かつボンドヘッドモジュールの慣性モーメントを増加することが避けられず、それは、ボンドヘッドモジュールが、高速のダイボンディングシステムで使用される場合、重大な欠点になる。さらに、これらの軸受デバイスは、軸方向に隙間を有することになり、それは、ピックアンドプレース動作中に横方向の遊び、または端点の振動を誘起することになり、劣った位置精度を生ずる。さらに、このような軸受デバイスは、定期的な保守を必要とし、それは、不適切な保守に起因してボンドヘッドの寿命長さが低減され得るので望ましくない。生産および設計の観点からすると、このような軸受デバイスを実装することは、ボンドアーム構造の複雑さをさらに高め、また保守もしくは交換する必要のあるボンドアームモジュールで使用される部品の合計数をさらに増加し、動作コストを増加させる。

【0005】

このような軸受デバイスを利用する従来のピックアンドプレース装置により直面する少なくともいくつかの前述の欠点を回避するために、ピックアームにおける軸受デバイスの使用を低減できると有益なはずである。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

したがって、本発明の目的は、ピックアームの性能を向上させるために、少なくとも１つの従来の軸受デバイスに代えて、可撓部を利用するピックアンドプレース装置のための向上させたピックアームを提供することを求めるものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

したがって、本発明は、電子デバイスのためのピックアンドプレース装置のためのピックアームを提供し、それは、ピックアームをピックアームサポート上に取付け可能な近位端、およびコレットが電子デバイスを保持するために取り付けられる遠位端を有する主本体と、ピックアームの近位端に隣接して位置する第１の剛体、およびピックアームの遠位端に隣接して位置する第２の剛体と、第１の剛体を第２の剛体に接続する第１の可撓部および第２の可撓部であって、第１の可撓部は第２の可撓部から離間され、第１の可撓部および第２の可撓部は、互いに実質的に平行に配置された対向面を有する、第１の可撓部および第２の可撓部と、ピックアームのコレットを付勢して移動させるために、第１の剛体に対して第１の可撓部および第２の可撓部を曲げるべく、第２の剛体の上に付勢力を加えるように動作可能な作動器と、を備える。

【0008】

これらのおよび他の特徴、態様、および利点は、記述セクション、添付の特許請求の範囲、および添付図面を考慮すればよく理解されよう。

【0009】

本発明の実施形態が、例示のために過ぎないが、次に添付図面を参照して述べられる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の好ましい実施形態による複数のピックアームを組み込むボンディング装置の等角図である。

【図2】図１で示されたボンディング装置の側面図である。

【図3】本発明の好ましい実施形態によるピックアームの等角図である。

【図4】図３で示されたピックアームの側面断面図である。

【図5】電子デバイスのピックアップを行うとき、電子デバイスに接触するピックアームのコレットを示す図である。

【図6】図６Ａは、待機位置にあるピックアームを示す図であり、図６Ｂは、コレットを電子デバイスに接触させるように垂直力がピックアームに加えられた後のピックアームを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

図面では、同様の部品は、同様の参照数字により示される。

【0012】

図１は、本発明の好ましい実施形態による複数のピックアーム１２を組み込むピックアンドプレース、またはボンディング装置の等角図である。ボンディング装置は、複数のピックアーム１２が、半導体チップなどの電子デバイス５６（図５を参照）を基板１４上にボンディングするように回転可能に構成されたボンドヘッドモジュール１０を備えるダイボンディング装置とすることができる。基板１４は、基板位置決めテーブル１６上に配置され、かつ固定され、テーブル１６は、ベース２０上に積み重ねられ、かつ互いに直交するように配置された２つのガイドレール１８上に取り付けられる。ガイドレール１８は、ピックアーム１２の下の基板１４上の複数のボンディング位置を正確に特定するために、基板位置決めテーブル１６を、水平面上の様々な位置へと移動するようにガイドする。基板１４のボンディング位置がピックアーム１２の下に位置決めされた後、ピックアーム１２は、保持している電子デバイス５６をボンディング位置上にボンドすることができる。

【0013】

ボンドヘッドモジュール１０は、複数のピックアーム１２を基板位置決めテーブル１６に対して回転させるための、ボンドヘッドモジュール１０上に中心に位置するピックアーム回転モータ２２をさらに含む。したがって、電子デバイス５６を保持する各ピックアーム１２は、電子デバイス５６を基板１４上にボンディングするために、基板位置決めテーブル１６上の位置へと回転され得る。さらに、基板位置決めテーブル１６上の配置位置の上方にある各ピックアーム１２の停止位置の上方に位置する垂直作動器２４がある。垂直作動器２４は、電子デバイス５６のボンディング中に、基板位置決めテーブル１６上に位置するピックアーム１２の上部を押して付勢力を加え、ピックアーム１２を偏向させて基板１４の方向に移動させるように動作可能である。

【0014】

図２は、図１で示されたボンディング装置の側面図である。この図では、ロータ取付け部２６が、回転タレット２８の周縁に沿って取り付けられた複数のピックアーム１２をサポートする回転タレット２８の形態であり得るピックアームサポートを、ピックアーム回転モータ２２に接続することが分かる。ピックアーム回転モータ２２は、ピックアーム１２が基板位置決めテーブル１６の上の位置へと順次回転できるように、ロータ取付け部２６およびタレット２８を駆動して回転させる。

【0015】

本発明の好ましい実施形態において示されるボンドヘッドモジュール１０は、半導体デバイスなどの電子デバイスを基板にボンディングするためのタレット式ボンダーに対するものであり、基板は、事前にプリントされた半田またはフラックスを備えたＰＣＢ回路板の形態とすることができる。しかし、好ましい実施形態によるピックアーム１２はまた、単一のピックアームを備えるボンダーなど、他のタイプのピックアンドプレース装置に対しても使用可能であることを理解されたい。

【0016】

電子デバイスの供給部３０は、ボンドヘッドモジュール１０の１つの側部に位置し、一方、基板位置決めテーブル１６は、ボンドヘッドモジュール１０の反対側に位置する。電子デバイスの供給部３０は、半導体ウェーハから分離された半導体チップなど、分離された電子デバイスの母材（ｍａｔｒｉｘ）を保持するウェーハリングを備えることができる。したがって、電子デバイスの供給部３０の下に位置する排出器３２は、各電子デバイス５６を上方に押して電子デバイス５６を排出し、電子デバイス５６の上に位置するピックアーム１２によるそのピックアップを容易にすることができる。ピックアップ作動器２４ａは、ピックアップ位置における電子デバイスの供給部３０の上に固定されて位置し、ピックアップ作動器２４ａに対してピックアップ位置へと移動されたピックアーム１２に付勢力を加える。

【0017】

電子デバイス５６が拾い上げられ、ピックアーム１２により保持された後、ピックアーム回転モータ２２は、別の電子デバイス５６をピックアップするために隣接するピックアーム１２を電子デバイスの供給部３０の上に配置するように、タレット２８を所定角だけ回転させる。その間に、ピックアーム１２によりピックアップされた電子デバイス５６は、ピックアーム１２が、基板位置決めテーブル１６上に固定されている基板１４の上の配置位置に達するまで、ピックアーム回転モータ２２の回転により、徐々に移動される。配置作動器２４ｂは、電子デバイス５６を付勢するために、配置位置の上に固定されて位置し、配置作動器２４ｂに対して配置位置へと移動されたピックアーム１２に付勢力を加える。この配置位置において、電子デバイス５６は、基板１４上へと下ろされ、そこで、電子デバイス５６はボンディングされる。電子デバイス５６を運ぶ次のピックアーム１２は、次いで、基板１４上に次の電子デバイス５６をボンディングするために、基板１４上の配置位置へと運ばれ、基板１４上のすべてのボンディング位置が、ボンドされた電子デバイス５６により占められるまで、以下同様に行われる。

【0018】

図３は、本発明の好ましい実施形態によるピックアーム１２の等角図である。ピックアーム１２の主本体は、近位端を有し、そこで、ピックアーム１２は、タレット２８上に取り付けられる、または取付け可能である。第１の、または近位の剛性取付け部４０は、ピックアーム１２の近位端に隣接して位置する。ピックアームはまた、遠位端を有し、そこに、コレット４４が、電子デバイス５６を保持するために取り付けられる。第２の、または遠位の剛性取付け部４２は、ピックアーム１２の遠位端に隣接して位置し、また遠位の剛性取付け部４２は、近位の剛性取付け部４０および遠位の剛性取付け部４２の上部に存在する上部板ばね３４、および近位の剛性取付け部４０および遠位の剛性取付け部４２の下部に存在する下部板ばね３６など、可撓部の形態の１対の弾力性のある支持部材により、近位の剛性取付け部４０に接続され、かつそれにより支持される。

【0019】

上部板ばね３４および下部板ばね３６は、近位の剛性取付け部４０における上部板ばね３４と下部板ばね３６との間の距離が、遠位の剛性取付け部４２における上部板ばね３４と下部板ばね３６との間の距離に実質的に等しいように分離される。

【0020】

このピックアーム構成では、１対の弾性のある支持部材（上部板ばね３４および下部板ばね３６の形態）は、実質的に互いに平行に配置されたそれらの各対向面を有する。上部および下部板ばね３４，３６ならびに第１の剛性取付け部４０および第２の剛性取付け部４２は共に、可撓性のある４バー（ｆｏｕｒ－ｂａｒ）機構として構成される。このような可撓性のある４バー機構は、それぞれが、等しい距離で可撓性の板ばねの間隔を空けるように構成され、かつ１対の可撓性の板ばねの両端に隣接して固定された２つの剛体を含む。剛体の一方（近位の剛性取付け部４０）は、タレット２８を介してロータ取付け部２６に固定して取り付けられ、他方の剛体（遠位の剛性取付け部４２）は、ピックアーム１２のコレット４４の垂直運動を制御するために他方の剛体の上に垂直作動器２４からの押し付け力を加えることによって付勢されるように構成される。コレット４４は、可撓性の板ばね３４，３６の遠位端に取り付けられ、したがって、それは、コレット４４の隣の剛体上に垂直作動器２４によって加えられる付勢力により作動され得る。

【0021】

図４は、図３で示されたピックアーム１２の側面断面図である。近位の剛性取付け部４０および遠位の剛性取付け部４２の上部および下部を分離するために、スペーサ５０，５１が使用され、したがって、上部板ばね３４および下部板ばね３６は、固定された分離距離で、互いに離間される。近位の剛性取付け部４０および遠位の剛性取付け部４２は、それぞれ、上部ロッキングプレート４６，４７、および下部ロッキングプレート４８，４９を用いて構成される。

【0022】

上部ロッキングプレート４６，４７、および下部ロッキングプレート４８，４９は、上部板ばね３４および下部板ばね３６を間に挟むように、近位の剛性取付け部４０および遠位の剛性取付け部４２において、各スペーサ５０，５１に固定される。このような固定は、各部品を共にリベット留めするためにリベット５２を使用する、またはエポキシ接着剤もしくは同様のものなど、上部板ばね３４および下部板ばね３６に接着剤を塗布することによるなど、任意の適切な取付け手段により達成することができる。スペーサ５０，５１は、一方の板ばね３４，３６の可撓性の軸を、他方の板ばねのものと一致するように維持するために、等しい厚さを有する。こうすることは、軸方向およびねじり方向強度の望ましい特性を有する組立体を生成する。

【0023】

図４で示される待機方向において、垂直作動器２４がその後退した位置にあり、遠位の剛性取付け部４２に対して付勢力を加えていない場合、上部板ばね３４の面は、概して水平面５４上に配置され、また下部板ばね３６の面は、上部板ばね３４の面が存在する水平面５４に対して平行な別の水平面上に配置される。

【0024】

図５は、電子デバイスの供給部３０から電子デバイス５６のピックアップを行うとき、電子デバイス５６に接触するピックアーム１２のコレット４４を示す。電子デバイス５６に接触するようにコレット４４を付勢するために、下方の付勢力５８が、遠位の剛性取付け部４２に加えられる。下方の力５８は、上部板ばね３４および下部板ばね３６を曲げるようにし、したがって、遠位の剛性取付け部４２が、近位の剛性取付け部４０に対して、水平面から離れるように偏向され、コレット４４が電子デバイス５６に接触するまで、コレット４４をさらに水平面５４の下に下方に偏向させる。この時点で、コレット４４の口部に真空の吸引力が生成され、したがって、コレット４４は、電子デバイス５６を保持し、かつそれを電子デバイスの供給部３０から拾い上げることができる。

【0025】

図６Ａは、その待機位置におけるピックアーム１２の図である。この位置では、上部板ばね３４および下部板ばね３６は、平行な水平面上に存在する。コレット先端の待機高さ６０は、コレット４４の先端が電子デバイスから、ピックアップされた位置まで離間されている。この位置では、ボンドヘッドモジュール１０に取り付けられた垂直作動器２４は、後退位置にあり、遠位の剛性取付け部４２に対して付勢力５８を加えていない。

【0026】

図６Ｂは、垂直力がピックアーム１２に加えられて付勢力を与え、遠位の剛性取付け部４２を押して、コレット４４を電子デバイス５６に接触するように移動させた後のピックアーム１２の図である。垂直力を加えるために、垂直作動器２４が、所定の距離だけ垂直下方に作動されて、遠位の剛性取付け部４２を押し下げる。垂直作動器２４は、上部板ばね３４および下部板ばね３６が曲がり、コレット４４の先端を、十分にコレット先端の待機高さ６０の下方になるような所定の距離だけ移動させるように構成され、したがって、それは、ピックアップされる電子デバイス５６に接触するようになる。任意選択で、排出器３２は、同時に、電子デバイス５６をコレット４４に向けて上方に押すことができ、その場合、コレット４４は、より少なく下方に移動することができる。

【0027】

コレット４４が、電子デバイス５６を保持できるように、この時点で、コレット４４の口部に真空吸引力が生成される。その後、垂直作動器２４は、再度後退することができ、したがって、上部板ばね３４および下部板ばね３６を曲げるために、付勢力５８をもはや加えることなく、したがって、上部板ばね３４および下部板ばね３６は、平行な水平面５４上に配置されたその待機位置へと戻る。上部板ばね３４および下部板ばね３６がもはや付勢されず、水平面へと戻った後、ピックアーム回転モータ２２は、タレット２８を駆動して、電子デバイス５６を基板１４上にボンディングするために、電子デバイス５６を保持するピックアーム１２を、基板位置決めテーブル１６に向けて増加させた回転位置へと回転することができる。

【0028】

可撓性の板ばねは、安定した性能が求められる指定範囲内で動作できることを保証するために、組立中に、２つの板ばね３４，３６の軸の位置合せに注意すべきである。板ばね３４，３６は、一定の限度を超える角度的な偏向に起因して損傷を受けやすいので、４ｍｍ未満の遠位の剛性取付け部４２の垂直方向の変位は、許容可能であることが好ましく、また変位の程度は、ソフトウェアにより制御可能である。板ばね３４，３６は、オーステナイト系ステンレス鋼シート（ＳＵＳ３０１またはＳＵＳ３０４）、または炭素繊維シートなど、任意の適切な弾性材料から作ることができる。炭素繊維シートが使用される場合、ピックアーム１２の慣性モーメントは、ケージ軸受設計を組み込む従来のピックアームと比較して、約２０％低減することができる。要約すると、この可撓性ボンドアームは、軽い質量、小さい慣性モーメント、およびより安定な端点設定を提供することができ、電子デバイスに対するより正確なピックアンドプレース動作が得られる。この可撓性設計のより高い剛性に起因して、より小さい横断方向および長手方向振動が得られるので有益である。

【0029】

本発明の好ましい実施形態で述べられたように、ピックアーム１２には他の多くの利点がある。まず、ピックアーム１２の製作コストは、部品の削減、ならびに複雑な組立作業の必要性を回避することにより下がる。さらに、ピックアーム１２の可撓性の構成に起因して、従来のピックアームと比べて損傷を受けにくい傾向がある。その組立体は、従来の軸受ガイドで一般に経験される不必要な横方向の遊びをなくすので、可撓性の軸に対して高い精度および剛性が達成される。さらに、ピックアーム１２の長手方向と横断方向とは共に、比較的強度があり、従来技術と比較して、ねじりおよび長手方向振動が減少する。

【0030】

単一の、または複数のピックアーム設計に対して１対の板ばねを使用することは、本発明を限定するものではなく、例示のためにだけ述べられていることを理解されたい。このようなピックアーム１２を使用することは、ダイボンダーにおける用途に限定されるものではなく、デバイスを操作するために、正確なジョイント接続を必要とする任意の機械設計において使用され得る。１対の板ばねに代えて、２対の板ばねを使用することができ、各平面に沿って１つに代えて２つの板ばねが展開される。当然ではあるが、当業者であれば、上記で開示されたピックアーム１２の特有の構成および配置の他の変形形態を、添付の特許請求の範囲で定義された本発明から逸脱することなく、製作することも可能である。

【0031】

本発明が、いくつかの実施形態を参照してかなり詳細に述べられてきたが、他の実施形態もまた可能である。

【0032】

したがって、添付の特許請求の範囲の趣旨および範囲は、本明細書に含まれる実施形態の記述に限定されるべきではない。

【符号の説明】

【0033】

１０ ボンドヘッドモジュール
１２ ピックアーム
１４ 基板
１６ 基板位置決めテーブル
１８ ガイドレール
２０ ベース
２２ ピックアーム回転モータ
２４ 垂直作動器
２４ａ ピックアップ作動器
２４ｂ 配置作動器
２６ ロータ取付け部
２８ 回転タレット
３０ 電子デバイスの供給部
３２ 排出器
３４ 上部板ばね
３６ 下部板ばね
４０ 近位の剛性取付け部
４２ 遠位の剛性取付け部
４４ コレット
４６ 上部ロッキングプレート
４７ 上部ロッキングプレート
４８ 下部ロッキングプレート
４９ 下部ロッキングプレート
５０ スペーサ
５１ スペーサ
５２ リベット
５４ 水平面
５６ 電子デバイス
５８ 下方の付勢力
６０ 待機高さ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【外国語明細書】