特開 2023-47636 静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法、静圧気体ジャーナル多孔質軸受

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023047636

(43)【公開日】2023-04-06

(54)【発明の名称】静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法、静圧気体ジャーナル多孔質軸受

(51)【国際特許分類】

   F16C 32/06 20060101AFI20230330BHJP

   F16B 4/00 20060101ALI20230330BHJP

   F16J 15/04 20060101ALI20230330BHJP

   F16C 43/02 20060101ALI20230330BHJP

   F16C 35/02 20060101ALI20230330BHJP

【ＦＩ】

F16C32/06 B

F16B4/00 D

F16B4/00 P

F16J15/04 A

F16C43/02

F16C35/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021156659

(22)【出願日】2021-09-27

(71)【出願人】

【識別番号】000103644

【氏名又は名称】オイレス工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002343

【氏名又は名称】弁理士法人 東和国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】角田 耕一

(72)【発明者】

【氏名】和田 寛明

【テーマコード（参考）】

3J102

3J117

【Ｆターム（参考）】

3J102AA02

3J102BA03

3J102BA17

3J102CA15

3J102CA17

3J102EA02

3J102EA08

3J102EA18

3J102EA30

3J102GA20

3J117AA01

3J117DA01

3J117DB07

3J117DB08

3J117HA01

(57)【要約】

【課題】ハウジング部材に対する多孔質部材の位置決め固定と、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止と、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量の確保とを簡単な構造ですべて満たす静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法および静圧気体ジャーナル多孔質軸受を提供すること。
【解決手段】円筒状の多孔質部材１１０と、この多孔質部材１１０を内挿する筒状部１２１を有するハウジング部材１２０とを備え、軸Ｓの半径方向の荷重を多孔質部材１１０から噴出される気体で支持する軸受１００の製造方法であって、筒状部１２１の前端挿入部分１２１Ａに多孔質部材１１０の前端部１１３を圧入する圧入工程と、多孔質部材１１０の後端部１１４を遊嵌する筒状部１２１の後端挿入部分１２１Ｃを塑性変形させて突出領域１２１Ｃ１を形成して多孔質部材１１０の後端部１１４を変形させる封止工程とを備えている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

外周面から流入した気体を内周面から噴出する円筒状の多孔質部材と、該多孔質部材を内挿すると共に前記多孔質部材へ外部から気体を供給する気体流路を形成した筒状部を有するハウジング部材とを備え、支持対象となる軸の半径方向の荷重を前記多孔質部材から噴出される気体で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法であって、
前記筒状部の前端挿入部分に前記多孔質部材の前端部を圧入する圧入工程と、
前記多孔質部材の後端部を遊嵌する前記筒状部の後端挿入部分を塑性変形させて突出領域を形成して該突出領域により前記多孔質部材の後端部を変形させる封止工程とを備えていることを特徴とする静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法。

【請求項2】

前記圧入工程で前記筒状部の後端挿入部分に遊嵌される前記多孔質部材の後端側外周面と後端面とが、傾斜面で接続されていることを特徴とする請求項１に記載の静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法。

【請求項3】

前記ハウジング部材の後端面が、前記多孔質部材の後端面よりも後方に位置し、
前記封止工程が、前記ハウジング部材よりも硬い突起部を有して前記ハウジング部材を塑性変形させる加締め型を前記ハウジング部材の後端面に押しつけて実行されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法。

【請求項4】

外周面から流入した気体を内周面から噴出する円筒状の多孔質部材と、該多孔質部材を内挿すると共に前記多孔質部材へ外部から気体を供給する気体流路を形成した筒状部を有するハウジング部材とを備え、支持対象となる軸の半径方向の荷重を前記多孔質部材から噴出される気体で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受であって、
前記ハウジング部材の筒状部が、前記多孔質部材の前端部と圧接する前端挿入部分と、前記多孔質部材の後端部を遊嵌する後端挿入部分と、前記前端挿入部分と前記後端挿入部分との間に形成されると共に前記気体流路を有する中間挿入部分とを有し、
前記ハウジング部材の後端挿入部分から前記多孔質部材に向けて突出する突出領域が、前記多孔質部材の後端部に当接していることを特徴とする静圧気体ジャーナル多孔質軸受。

【請求項5】

前記ハウジング部材が、一体形成されていることを特徴とする請求項４に記載の静圧気体ジャーナル多孔質軸受。

【請求項6】

前記ハウジング部材の突出領域が、前記多孔質部材の後端面よりも後方に位置していることを特徴とする請求項４または請求項５のいずれか１項に記載の静圧気体ジャーナル多孔質軸受。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、気体により支持対象の側面を非接触状態で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法および静圧気体ジャーナル多孔質軸受に関する。

【背景技術】

【0002】

支持対象を面で支持するために、支持対象と対向する多孔質部材と、この多孔質部材を保持するハウジング部材とを備えた流体軸受が知られている。
このような流体軸受の製造方法として、ハウジング（ハウジング部材）に設けられた孔部に潤滑油を浸透した多孔性焼結合金からなる軸受メタル（多孔質部材）を圧入嵌合し、ハウジングの両端を軸受メタルに向けてかしめて軸受メタルを係止することが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実願昭４７－１３２５１９号（実公昭５３－２２６６７号）のマイクロフィルム（特に、図２および図３）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した流体軸受の製造方法では、ハウジングに対して軸受メタルが位置決め固定されると共に軸受メタルとハウジングとの間が封止されるものの、ハウジングと当接する軸受メタルの外周面が圧入により塑性変形するため、軸受メタルの外周側の潤滑油を含浸する微細孔が長手方向全長に渡って潰れてしまう。
すなわち、上述した流体軸受の製造方法は、軸受メタルに含浸させた潤滑油によりシャフト（支持対象）の外周面を面支持する動圧流体ジャーナル軸受には適用できるものの、外部の圧縮気体源から供給される圧縮気体を多孔質部材の外周面から取り入れて圧縮気体を多孔質部材の内周面から噴出させて支持対象の側面を非接触状態で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造には適用できず、ハウジング部材に対する多孔質部材の位置決め固定と、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止と、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量の確保とをすべて満たすような静圧気体ジャーナル多孔質軸受を製造することが難しかった。

【0005】

そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、ハウジング部材に対する多孔質部材の位置決め固定と、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止と、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量の確保とを簡単な構造ですべて満たす静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法および静圧気体ジャーナル多孔質軸受を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

請求項１に係る発明は、外周面から流入した気体を内周面から噴出する円筒状の多孔質部材と、該多孔質部材を内挿すると共に前記多孔質部材へ外部から気体を供給する気体流路を形成した筒状部を有するハウジング部材とを備え、支持対象となる軸の半径方向の荷重を前記多孔質部材から噴出される気体で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法であって、前記筒状部の前端挿入部分に前記多孔質部材の前端部を圧入する圧入工程と、前記多孔質部材の後端部を遊嵌する前記筒状部の後端挿入部分を塑性変形させて突出領域を形成して該突出領域により前記多孔質部材の後端部を変形させる封止工程とを備えていることにより、前述した課題を解決するものである。

【0007】

請求項２に係る発明は、請求項１に記載された静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法の構成に加えて、前記圧入工程で前記筒状部の後端挿入部分に遊嵌される前記多孔質部材の後端側外周面と後端面とが、傾斜面で接続されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0008】

請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載された静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法の構成に加えて、前記ハウジング部材の後端面が、前記多孔質部材の後端面よりも後方に位置し、前記封止工程が、前記ハウジング部材よりも硬い突起部を有して前記ハウジング部材を塑性変形させる加締め型を前記ハウジング部材の後端面に押しつけて実行されることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0009】

請求項４に係る発明は、外周面から流入した気体を内周面から噴出する円筒状の多孔質部材と、該多孔質部材を内挿すると共に前記多孔質部材へ外部から気体を供給する気体流路を形成した筒状部を有するハウジング部材とを備え、支持対象となる軸の半径方向の荷重を前記多孔質部材から噴出される気体で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受であって、前記ハウジング部材の筒状部が、前記多孔質部材の前端部と圧接する前端挿入部分と、前記多孔質部材の後端部を遊嵌する後端挿入部分と、前記前端挿入部分と前記後端挿入部分との間に形成されると共に前記気体流路を有する中間挿入部分とを有し、前記ハウジング部材の後端挿入部分から前記多孔質部材に向けて突出する突出領域が、前記多孔質部材の後端部に当接していることにより、前述した課題を解決するものである。

【0010】

請求項５に係る発明は、請求項４に記載された静圧気体ジャーナル多孔質軸受の構成に加えて、前記ハウジング部材が、一体形成されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0011】

請求項６に係る発明は、請求項４または請求項５に記載された静圧気体ジャーナル多孔質軸受の構成に加えて、前記ハウジング部材の突出領域が、前記多孔質部材の後端面よりも後方に位置していることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【発明の効果】

【0012】

本発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受は、支持対象となる軸の半径方向の荷重を多孔質部材から噴出される気体で支持できるとともに、以下のような本発明に特有の効果を奏することができる。

【0013】

請求項１に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法によれば、筒状部の前端挿入部分に多孔質部材の前端部を圧入する圧入工程を備えていることにより、多孔質部材が、前端部でハウジング部材の前端挿入部分と圧接するため、簡単な構造でハウジング部材に対して多孔質部材を位置決め固定することができる。
また、筒状部の前端挿入部分に多孔質部材の前端部を圧入する圧入工程と、多孔質部材の後端部を遊嵌する筒状部の後端挿入部分を塑性変形させて突出領域を形成してこの突出領域により多孔質部材の後端部を変形させる封止工程とを備えていることにより、ハウジング部材の前端挿入部分との圧接により多孔質部材の前端部の外周面周辺に目詰まり層が形成され、ハウジング部材の後端挿入部分から多孔質部材に向けて突出する突出領域により多孔質部材の後端部が変形して多孔質部材の後端部の外周面周辺に目詰まり層が形成されるため、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止することができるだけでなく、多孔質部材の前端部および後端部以外の通気層の通気率が、目詰まり層の通気率よりも高くなるため、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量を確保することができる。
したがって、ハウジング部材に対する多孔質部材の位置決め固定と、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止と、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量の確保とを簡単な構造ですべて満たすことができる。

【0014】

請求項２に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法によれば、請求項１に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法が奏する効果に加えて、圧入工程で筒状部の後端挿入部分に遊嵌される多孔質部材の後端側外周面と後端面とが、傾斜面で接続されていることにより、封止工程で多孔質部材の後端部を変形させた際に多孔質部材の後端側外周面付近の潰れ代が少なくなるため、多孔質部材の後端側内周面が中心軸側に張り出しにくくなり、静圧気体ジャーナル多孔質軸受と軸との間の軸受すきまを軸受全体に亘って一定に保つことができるだけでなく、多孔質部材の後端側外周面と後端面とが直接接続されている場合に比べて、圧入工程において、多孔質部材の後端部がハウジング部材と接触して削られにくくなるため、多孔質部材とハウジング部材との間に多孔質部材の削り粉が混入しにくくなり、確実に多孔質部材とハウジング部材との間を封止することができ、削り粉に起因するハウジング部材の内径側の変形を抑制することができる。

【0015】

請求項３に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法によれば、請求項１または請求項２に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法が奏する効果に加えて、ハウジング部材の後端面が、多孔質部材の後端面よりも後方に位置し、封止工程が、ハウジング部材よりも硬い突起部を有してハウジング部材を塑性変形させる加締め型をハウジング部材の後端面に押しつけて実行されることにより、加締め型をハウジング部材に押しつけた際に、加締め型が多孔質部材に当接しにくくなるため、加締め型によってハウジング部材を塑性変形させる際に、加締め型の接触による多孔質部材の損傷を防ぐことができる。

【0016】

請求項４に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受によれば、ハウジング部材の筒状部が、多孔質部材の前端部と圧接する前端挿入部分と、多孔質部材を遊嵌する後端挿入部分とを有することにより、多孔質部材が、前端部でハウジング部材の前端挿入部分と圧接するため、簡単な構造でハウジング部材に対して多孔質部材を位置決め固定することができる。
また、ハウジング部材の筒状部が、多孔質部材を遊嵌する後端挿入部分を有し、ハウジング部材の後端挿入部分から多孔質部材に向けて突出する突出領域が、多孔質部材の後端側に当接していることにより、ハウジング部材の前端挿入部分との圧接により多孔質部材の前端部の外周面周辺に目詰まり層が形成され、ハウジング部材の後端挿入部分から多孔質部材に向けて突出する突出領域により多孔質部材の後端部が変形して多孔質部材の後端部の外周面周辺に目詰まり層が形成されるため、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止することができるだけでなく、多孔質部材の前端部および後端部以外の通気層の通気率が、目詰まり層の通気率よりも高くなるため、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量を確保することができる。
したがって、ハウジング部材に対する多孔質部材の位置決め固定と、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止と、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量の確保とを簡単な構造ですべて満たすことができる。

【0017】

請求項５に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受によれば、請求項４に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受が奏する効果に加えて、ハウジング部材が、一体形成されていることにより、ハウジング部材を分割して形成する場合に比べてハウジング部材の構造が簡単になるため、静圧気体ジャーナル多孔質軸受の構造がより簡単なものになり、気体の漏出箇所を最小限にすることができる。

【0018】

請求項６に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受によれば、請求項４または請求項５に係る発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受が奏する効果に加えて、ハウジング部材の突出領域が、多孔質部材の後端面よりも後方に位置していることにより、ハウジング部材の突出領域が多孔質部材の後端面をより後方から抑えるため、多孔質部材をよりハウジング部材から抜け出しにくくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の第１実施例である軸受の斜視図。

【図2】図１のＩＩ－ＩＩ断面図。

【図3】図２のＩＩＩ拡大図。

【図4】図１に示すハウジング部材の断面図。

【図5】図１に示す軸受の使用態様図。

【図6A】本発明の第１実施例である軸受の製造方法における圧入工程を説明する図。

【図6B】図６ＡのＶＩＢ拡大図。

【図6C】本発明の第１実施例である軸受の製造方法における封止工程を説明する図。

【図6D】本発明の第１実施例である軸受の製造方法における封止工程を説明する図。

【図7】本発明の第２実施例である軸受の斜視図。

【図8】本発明の第２実施例である軸受の底面図。

【図9A】本発明の第１変形例である軸受の断面図。

【図9B】本発明の第２変形例である軸受の断面図。

【発明を実施するための形態】

【0020】

本発明は、外周面から流入した気体を内周面から噴出する円筒状の多孔質部材と、この多孔質部材を内挿すると共に多孔質部材へ外部から気体を供給する気体流路を形成した筒状部を有するハウジング部材とを備え、支持対象となる軸の半径方向の荷重を多孔質部材から噴出される気体で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受の製造方法であって、筒状部の前端挿入部分に多孔質部材の前端部を圧入する圧入工程と、多孔質部材の後端部を遊嵌する筒状部の後端挿入部分を塑性変形させて突出領域を形成してこの突出領域により多孔質部材の後端部を変形させる封止工程とを備え、ハウジング部材に対する多孔質部材の位置決め固定と、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止と、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量の確保とを簡単な構造ですべて満たすものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。
また、本発明は、外周面から流入した気体を内周面から噴出する円筒状の多孔質部材と、この多孔質部材を内挿すると共に多孔質部材へ外部から気体を供給する気体流路を形成した筒状部を有するハウジング部材とを備え、支持対象となる軸の半径方向の荷重を多孔質部材から噴出される気体で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受であって、ハウジング部材の筒状部が、多孔質部材の前端部と圧接する前端挿入部分と、多孔質部材の後端部を遊嵌する後端挿入部分と、前端挿入部分と後端挿入部分との間に形成されると共に気体流路を有する中間挿入部分とを有し、ハウジング部材の後端挿入部分から多孔質部材に向けて突出する突出領域が、多孔質部材の後端部に当接し、ハウジング部材に対する多孔質部材の位置決め固定と、ハウジング部材と多孔質部材との間の封止と、多孔質部材と軸との間に形成される軸受すきまへの気体の供給量の確保とを簡単な構造ですべて満たすものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。

【0021】

例えば、静圧気体ジャーナル多孔質軸受による支持対象である軸の断面形状は、円形であってもよいし、軸の回転を抑制するために、Ｄ字状であってもよいし、２本の直線部分とそれをつなぐ２つの曲線部分とから形成されるようなＩ字状であってもよい。
なお、軸の断面形状をＤ字状やＩ字状とする場合、多孔質部材の軸方向に伸びる貫通孔の断面形状もＤ字状またはＩ字状となり、軸の平坦面と対向する位置の多孔質部材の厚みが軸の湾曲面と対向する位置の多孔質部材の厚みより厚くなるため、軸の平坦面と対向する位置から噴出される気体の量を増やすためには、気体流路を軸の平坦面と対向する位置に設けることが好ましい。

【0022】

例えば、本発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受で用いられる気体は、空気であることが好ましいが、その他の気体であってもよい。

【0023】

例えば、本発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受におけるハウジング部材は、一体であることが好ましいが、分割されていてもよい。

【実施例0024】

以下、図１乃至図６Ｂに基づいて、本発明の第１実施例である静圧気体ジャーナル多孔質軸受である軸受１００について説明する。

【0025】

＜１．本発明の第１実施例である軸受１００の構造＞
まず、図１乃至図４に基づいて、本発明の第１実施例である軸受１００の構造を説明する。
図１は本発明の第１実施例である軸受の斜視図であり、図２は図１のＩＩ－ＩＩ断面図であり、図３は図２のＩＩＩ拡大図であり、図４は図１に示すハウジング部材の断面図である。

【0026】

本発明の第１実施例である軸受１００は、支持対象となる軸の半径方向の荷重を外部から供給される空気で支持する静圧気体ジャーナル多孔質軸受である。
そして、この軸受１００は、図１および図２に示すように、外周面１１１から流入した気体を内周面１１２から噴出する円筒状の多孔質部材１１０と、この多孔質部材１１０を包囲するハウジング部材１２０とを備えている。

【0027】

＜１．１．多孔質部材＞
多孔質部材１１０には、無数の微細孔が形成され、外周面１１１と内周面１１２とが連通している。
したがって、外周面１１１から流入した圧縮空気は、内周面１１２から噴出する。

【0028】

そして、この多孔質部材１１０には、図２および図３に示すように、細孔が無数に形成された通気層１１０Ａと、細孔が押し潰されて通気率が通気層１１０Ａよりも低い目詰まり層１１０Ｂとが形成されている。
目詰まり層１１０Ｂは、多孔質部材１１０とハウジング部材１２０とが当接している箇所周辺に形成されている。
具体的には、目詰まり層１１０Ｂは、図２および図３に示すように、多孔質部材１１０の前端部１１３の外周面１１１周辺と、多孔質部材１１０の後端部１１４の外周面１１１周辺とに形成されている。

【0029】

＜１．２．ハウジング部材＞
ハウジング部材１２０は、図１乃至図４に示すように、多孔質部材１１０を内挿する円筒状の筒状部１２１と、この筒状部１２１から突出する円環状のフランジ部１２２とが一体形成された金属部材であり、多孔質部材１１０よりも硬質になっている。

【0030】

＜１．２．１．筒状部＞
筒状部１２１は、図２に示すように、前端面１２１ａが多孔質部材１１０の前端面１１３ａと面一になっており、後端面１２１ｂが多孔質部材１１０の後端面１１４ａよりも後方に位置している。
また、前端面１２１ａと内壁面１２１ｄとは、図４に示すように、傾斜面１２１ｅによって接続されている。
また、外壁面１２１ｃには、図２等に示すように、Ｏリングを挿入するための凹溝１２１ｃ１が後述する気体流路１２１Ｂ１の上下に形成されている。

【0031】

また、この筒状部１２１は、図４に示すように、多孔質部材１１０の前端部１１３と圧接する前端挿入部分１２１Ａと、中間挿入部分１２１Ｂと、多孔質部材１１０の後端部１１４を遊嵌する後端挿入部分１２１Ｃとから構成されている。

【0032】

前端挿入部分１２１Ａの内径φＡは、中間挿入部分１２１Ｂの内径φＢおよび後端挿入部分１２１Ｃの内径φＣよりも小さくなっている。
さらに、前端挿入部分１２１Ａの内径φＡは、多孔質部材１１０の外径φよりも僅かに小さくなっている。

【0033】

中間挿入部分１２１Ｂは、前端挿入部分１２１Ａと後端挿入部分１２１Ｃとの間に形成されている。
中間挿入部分１２１Ｂの内径φＢは、前端挿入部分１２１Ａの内径φＡおよび後端挿入部分１２１Ｃの内径φＣよりも大きくなっている。
これにより、中間挿入部分１２１Ｂと多孔質部材１１０との間の隙間Ｇは、図５に示すように前端挿入部分１２１Ａおよび後端挿入部分１２１Ｃと多孔質部材１１０との間の隙間に比べて大きくなるため、多孔質部材１１０に供給する空気量を十分に確保することができる。

【0034】

そして、この中間挿入部分１２１Ｂには、半径方向に貫通して多孔質部材１１０へ外部から気体を供給する気体流路１２１Ｂ１が形成されている。
この気体流路１２１Ｂ１は、継手を螺合するための雌ネジ孔となっている。
また、気体流路１２１Ｂ１の入口周辺の外壁面１２１ｃは、図１に示すように、平坦になっている。

【0035】

後端挿入部分１２１Ｃの内径φＣは、多孔質部材１１０の外径φよりも僅かに大きくなっている。
さらに、後端挿入部分１２１Ｃには、多孔質部材１１０に向けて突出する突出領域１２１Ｃ１が形成され、この突出領域１２１Ｃ１は、図３に示すように、多孔質部材１１０の後端部１１４に覆い被さるように当接している。
すなわち、突出領域１２１Ｃ１は、多孔質部材１１０の後端面１１４ａよりも後方に位置していることになる。

【0036】

＜１．２．２．フランジ部＞
フランジ部１２２の前端面１２２ａは、図２に示すように、筒状部１２１の前端面１２１ａと面一であると共に多孔質部材１１０の前端面１１３ａとも面一になっている。
また、フランジ部１２２には、厚み方向（上下方向）に伸びる段付きのボルト挿通孔１２２ｂが、円周方向に等間隔に４個形成されている。

【0037】

＜２．本発明の第１実施例である軸受１００の組込および気体の流れ＞
次に、図１に示す軸受の使用態様図である図５に基づき、本発明の第１実施例である軸受１００の組込および軸の支持について説明する。

【0038】

＜２．１．軸受１００が組み込まれる装置の要部構造＞
まず、図５に基づき、軸受１００が組み込まれる装置の要部について説明する。

【0039】

軸受１００が組み込まれる装置の装置側取付部Ｍには流路Ｃが形成されており、この流路Ｃの一端には継手Ｊが取り付けられている。
継手Ｊには、不図示の圧縮空気源から延びるチューブＴが接続されている。
したがって、流路ＣにはチューブＴおよび継手Ｊを介して圧縮空気Ａが流入する。

【0040】

装置側取付部Ｍには、軸受１００が挿入される軸受取付孔ＭＨが形成されている。
この軸受取付孔ＭＨの直径は、軸受１００の筒状部１２１の外径より少し大きくなっている。

【0041】

さらに、装置側取付部Ｍには、組み付けボルトＢと螺合する雌ネジ穴ＨＳが形成されている。

【0042】

＜２．２．軸受の装置への組込＞
続いて、図５に基づき、上述した装置側取付部Ｍへの軸受１００の組込について説明する。

【0043】

軸受１００を装置側取付部Ｍに組み込む際、まず、軸受１００の凹溝１２１ｃ１にＯリングＲを装着する。
次に、軸受１００の気体流路１２１Ｂ１が装置側取付部Ｍの流路Ｃと対向する向きで軸受１００を装置側取付部Ｍの軸受取付孔ＭＨに挿入する。
次に、組み付けボルトＢを軸受１００のボルト挿通孔１２２ｂに挿通して組み付けボルトＢを雌ネジ穴ＨＳと螺合させることで、軸受１００が装置側取付部Ｍに組み込まれる。
軸受１００が装置側取付部Ｍに組み込まれた際、ＯリングＲが装置側取付部Ｍとの当接により潰れ、軸受１００と装置側取付部Ｍとの間の隙間から圧縮空気Ａが漏出しないようになっている。

【0044】

＜２．３．軸受による軸の支持＞
続いて、図５に基づき、上述の装置側取付部Ｍに組み込まれた軸受１００による軸の支持について説明する。

【0045】

軸受１００が装置側取付部Ｍに組み込まれた状態において、軸受１００に軸Ｓを挿通する。
この状態で、圧縮空気Ａが装置に供給されると、圧縮空気Ａは流路Ｃおよび軸受１００の気体流路１２１Ｂ１を通って多孔質部材１１０とハウジング部材１２０との間の隙間Ｇに供給される。
このとき、多孔質部材１１０の前端部１１３に目詰まり層１１０Ｂが形成されているため、多孔質部材１１０の前端部１１３とハウジング部材１２０との間が封止され、多孔質部材１１０の前端部１１３とハウジング部材１２０との間から圧縮空気Ａが漏出しにくくなっている。
同様に、多孔質部材１１０の後端部１１４とハウジング部材１２０の突出領域１２１Ｃ１との間にも目詰まり層１１０Ｂが形成されているため、多孔質部材１１０の後端部１１４とハウジング部材１２０との間が封止され、多孔質部材１１０の後端部１１４とハウジング部材１２０との間から圧縮空気Ａが漏出しにくくなっている。
したがって、装置側取付部Ｍの流路Ｃから供給される圧縮空気Ａは、多孔質部材１１０の通気層１１０Ａ内に充満される。

【0046】

多孔質部材１１０の通気層１１０Ａ内に充満された圧縮空気Ａは、内周面１１２、前端面１１３ａ、後端面１１４ａから噴出される。
内周面１１２から溢れ出る圧縮空気Ａが軸受１００と軸Ｓとの間の軸受すきまＨ内に満たされることで、軸Ｓの外周面が圧縮空気Ａにより非接触状態で支持される。
なお、多孔質部材１１０の通気層１１０Ａ内に充満された圧縮空気Ａが前端面１１３ａおよび後端面１１４ａからも噴出されることで、軸受すきまＨに充満される圧縮空気Ａの圧縮性に起因する気体軸受に特有の自励振動（ニューマチックハンマー）が起こりにくくなっている。

【0047】

＜３．軸受１００の製造方法＞
次に、図６Ａ乃至図６Ｄに基づき、軸受１００の製造方法について説明する。
図６Ａは本発明の第１実施例である軸受の製造方法における圧入工程を説明する図であり、図６Ｂは図６ＡのＶＩＢ拡大図であり、図６Ｃは本発明の第１実施例である軸受の製造方法における封止工程を説明する図であり、図６Ｄは本発明の第１実施例である軸受の製造方法における封止工程を説明する図である。

【0048】

まず、図６Ａに示すように、フランジ部１２２が平坦な組立面Ｆに当接するようにハウジング部材１２０を平坦な組立面Ｆに載置する。
ここで、図６Ｂに示すように、多孔質部材１１０の後端側外周面１１１ａは、面取りされている。
すなわち、多孔質部材１１０の後端側外周面１１１ａと後端面１１４ａとは、傾斜面１１５によって接続されている。
また、ハウジング部材１２０の前端面１２１ａと内壁面１２１ｄとは、傾斜面１２１ｅによって接続され、後端面１２１ｂと内壁面１２１ｄとは、直接接続され、略直交している。

【0049】

（圧入工程）
この状態から、多孔質部材１１０を後端挿入部分１２１Ｃからハウジング部材１２０に挿入する。
ハウジング部材１２０の後端挿入部分１２１Ｃの内径φＣ、中間挿入部分１２１Ｂの内径φＢはいずれも多孔質部材１１０の外径φより大きいため、多孔質部材１１０はハウジング部材１２０の後端挿入部分１２１Ｃ、中間挿入部分１２１Ｂに対しては遊嵌状態となっている。
しかしながら、ハウジング部材１２０の前端挿入部分１２１Ａの内径φＡは多孔質部材１１０の外径φより僅かに小さいことから、ハウジング部材１２０の前端挿入部分１２１Ａに対して多孔質部材１１０の前端部１１３を圧入することで、多孔質部材１１０がハウジング部材１２０の前端挿入部分１２１Ａに挿入される。
この圧入により、多孔質部材１１０の前端部１１３の外周面１１１の周辺に目詰まり層１１０Ｂが形成される共に、図６Ｃに示すように、多孔質部材１１０がハウジング部材１２０に対して位置決め固定される。

【0050】

（封止工程）
この状態から図６Ｃに示すように、下方に向けて突出する突起部ＣＴ１を有する加締め型ＣＴを軸受１００の後端側から軸受１００に向かって押し込む。
突起部ＣＴ１は、円環状であり、その断面形状は、図６Ｃに示すように、外周側垂直辺ＣＴ１ａと、内周側傾斜辺ＣＴ１ｂとから形成される直角三角形状である。
そして、突起部ＣＴ１の先端と軸受１００と対向するベース面との距離は、突起部ＣＴ１の外側と内側で異なっており、突起部ＣＴ１の外側における突起部ＣＴ１の高さ（突起部ＣＴ１の先端と軸受１００と対向する外側ベース面ＣＴ２との距離）Ｈｏは、突起部ＣＴ１の内側における突起部ＣＴ１の高さ（突起部ＣＴ１の先端と軸受１００と対向する内側ベース面ＣＴ３との距離）Ｈｉよりも大きくなっている。
さらに、突起部ＣＴ１の内側における突起部ＣＴ１の高さＨｉは、図６Ｄに示すように、ハウジング部材１２０の後端面１２１ｂから多孔質部材の後端面１１４ａまでの距離ｈよりも、小さくなっている。
また、突起部ＣＴ１と内側ベース面ＣＴ３とは、図６Ｃに示すように、曲面ＣＴ４で接続されている。

【0051】

加締め型ＣＴがハウジング部材１２０より硬質の材料で形成されているため、ハウジング部材１２０に加締め型ＣＴが押し込み、加締め型ＣＴをハウジング部材１２０の後端面１２１ｂに押しつけると、図６Ｄに示すように、ハウジング部材１２０の後端挿入部分１２１Ｃが加締め型ＣＴの突起部ＣＴ１の形状に合わせて塑性変形し、突起部ＣＴ１の内周側傾斜辺ＣＴ１ｂに沿って突出領域１２１Ｃ１が形成される。
そして、ハウジング部材１２０が多孔質部材１１０よりも硬質であるため、突出領域１２１Ｃ１の形成により多孔質部材１１０の後端部１１４が押圧され、多孔質部材１１０のハウジング部材１２０の突出領域１２１Ｃ１と当接する部分が潰されて変形し、目詰まり層１１０Ｂが形成される。
なお、多孔質部材１１０の後端側外周面１１１ａと後端面１１４ａとが、図６Ｂに示すように、傾斜面１１５で接続されていることにより、封止工程で多孔質部材１１０の後端部１１４を変形させた際に多孔質部材１１０の後端側外周面１１１ａ付近の潰れ代が少なくなるため、多孔質部材１１０の後端側内周面１１２ａ（図６Ｄ参照）が中心軸Ａｘ（図６Ｃ参照）側に張り出しにくくなっている。
また、多孔質部材１１０の後端側外周面１１１ａと後端面１１４ａとが、図６Ｂに示すように、傾斜面１１５で接続されていることにより、多孔質部材の後端側外周面と後端面とが直接接続されている場合に比べて、圧入工程において、多孔質部材１１０の後端部１１４がハウジング部材１２０と接触して削られにくくなるため、多孔質部材１１０とハウジング部材１２０との間に多孔質部材１１０の削り粉が混入しにくくなっていると共に削り粉に起因するハウジング部材１２０の内径側の変形が発生しにくくなっている。

【0052】

＜１．５．本実施例の作用効果＞
上述した本実施例である軸受１００の製造方法によれば、筒状部１２１の前端挿入部分１２１Ａに多孔質部材１１０の前端部１１３を圧入する圧入工程を備えていることにより、多孔質部材１１０が、前端部１１３でハウジング部材１２０の前端挿入部分１２１Ａと圧接するため、簡単な構造でハウジング部材１２０に対して多孔質部材１１０を位置決め固定することができるだけでなく、接着による位置決めよりも高精度に位置決め固定することができる。
また、筒状部１２１の前端挿入部分１２１Ａに多孔質部材１１０の前端部１１３を圧入する圧入工程と、多孔質部材１１０の後端部１１４を遊嵌する筒状部１２１の後端挿入部分１２１Ｃを塑性変形させて突出領域１２１Ｃ１を形成してこの突出領域１２１Ｃ１により多孔質部材１１０の後端部１１４を変形させる封止工程とを備えていることにより、ハウジング部材１２０の前端挿入部分１２１Ａとの圧接により多孔質部材１１０の前端部１１３の外周面１１１周辺に目詰まり層１１０Ｂが形成され、ハウジング部材１２０の後端挿入部分１２１Ｃから多孔質部材１１０に向けて突出する突出領域１２１Ｃ１により多孔質部材１１０の後端部１１４が変形して多孔質部材１１０の後端部１１４の外周面１１１周辺に目詰まり層１１０Ｂが形成されるため、ハウジング部材１２０と多孔質部材１１０との間の封止することができるだけでなく、多孔質部材１１０の前端部１１３および後端部１１４以外の通気層１１０Ａの通気率が、目詰まり層１１０Ｂの通気率よりも高くなるため、多孔質部材１１０と軸Ｓとの間に形成される軸受すきまＨへの気体の供給量を確保することができる。
したがって、ハウジング部材１２０に対する多孔質部材１１０の位置決め固定と、ハウジング部材１２０と多孔質部材１１０との間の封止と、多孔質部材１１０と軸Ｓとの間に形成される軸受すきまＨへの気体の供給量の確保とを簡単な構造ですべて満たすことができる。
さらに、上述した封止工程により多孔質部材１１０の後端部１１４の封止を行うことにより、ハウジング部材１２０と多孔質部材１１０の熱膨張率を考慮する必要が無いため、焼き嵌めや冷やし嵌めでは実現できないような小型の静圧気体ジャーナル多孔質軸受を作成することができる。

【0053】

上述した本実施例である軸受１００によれば、ハウジング部材１２０の筒状部１２１が、多孔質部材１１０の前端部１１３と圧接する前端挿入部分１２１Ａと、多孔質部材１１０を遊嵌する後端挿入部分１２１Ｃとを有することにより、多孔質部材１１０が、前端部１１３でハウジング部材１２０の前端挿入部分１２１Ａと圧接するため、簡単な構造でハウジング部材１２０に対して多孔質部材１１０を位置決め固定することができる。
また、ハウジング部材１２０の筒状部１２１が、多孔質部材１１０を遊嵌する後端挿入部分１２１Ｃを有し、ハウジング部材１２０の後端挿入部分１２１Ｃから多孔質部材１１０に向けて突出する突出領域１２１Ｃ１が、多孔質部材１１０の後端側に当接していることにより、ハウジング部材１２０の前端挿入部分１２１Ａとの圧接により多孔質部材１１０の前端部１１３の外周面１１１周辺に目詰まり層１１０Ｂが形成され、ハウジング部材１２０の後端挿入部分１２１Ｃから多孔質部材１１０に向けて突出する突出領域１２１Ｃ１により多孔質部材１１０の後端部１１４が変形して多孔質部材１１０の後端部１１４の外周面１１１周辺に目詰まり層１１０Ｂが形成されるため、ハウジング部材１２０と多孔質部材１１０との間の封止することができるだけでなく、多孔質部材１１０の前端部１１３および後端部１１４以外の通気層１１０Ａの通気率が、目詰まり層１１０Ｂの通気率よりも高くなるため、多孔質部材１１０と軸Ｓとの間に形成される軸受すきまＨへの気体の供給量を確保することができる。
したがって、ハウジング部材１２０に対する多孔質部材１１０の位置決め固定と、ハウジング部材１２０と多孔質部材１１０との間の封止と、多孔質部材１１０と軸Ｓとの間に形成される軸受すきまＨへの気体の供給量の確保とを簡単な構造ですべて満たすことができる。

【0054】

また、ハウジング部材１２０が、一体形成されていることにより、ハウジング部材１２０を分割して形成する場合に比べてハウジング部材１２０の構造が簡単になるため、軸受１００の構造がより簡単なものになり、気体の漏出箇所を最小限にすることができる。

【0055】

また、ハウジング部材１２０の突出領域１２１Ｃ１が、多孔質部材１１０の後端面１１４ａよりも後方に位置していることにより、ハウジング部材１２０の突出領域１２１Ｃ１が多孔質部材１１０の後端面１１４ａをより後方から抑えるため、多孔質部材１１０をよりハウジング部材１２０から抜け出しにくくすることができる。

【0056】

また、図６Ａに示すように、ハウジング部材１２０の後端面１２１ｂと外壁面１２１ｃとは、傾斜面１２１ｆによって接続されている。
これにより、筒状部１２１の後端の外径が前端側に比べて小さくなるため、加締め型ＣＴをハウジング部材１２０に押し込んで筒状部１２１が塑性変形する際、筒状部１２１の拡径量を少なくすることができる。

【実施例0057】

次に、図７および図８に基づいて、本発明の静圧気体ジャーナル多孔質軸受の第２実施例である軸受２００について説明する。
図７は本発明の第２実施例である軸受の斜視図であり、図８は本発明の第２実施例である軸受の底面図である。
なお、第２実施例の軸受２００は、第１実施例の軸受１００におけるハウジング部材１２０の形状を変更したものであり、多くの要素について第１実施例の軸受１００と共通するので、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する２００番台の符号を付すのみとする。

【0058】

図７に示すように、ハウジング部材２２０は、円筒状となっており、第１実施例と異なりフランジ部を有していない。
そして、図８に示すように、ハウジング部材２２０の前端面２２１ａには、軸受２００を装置に固定するためのネジが螺合されるネジ穴２２１ａ１が複数（本実施例では４個）周方向に等間隔に形成されている。

【0059】

＜変形例＞
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。

【0060】

例えば、上述した実施例において、軸受への圧縮空気の供給は、装置側取付部Ｍの流路Ｃから行われていたが、軸受のハウジング部の気体流路に直接継手を螺合させて、不図示の圧縮空気源から延びるチューブＴを継手に接続させてもよい。

【0061】

例えば、上述した第１実施例において、フランジ部１２２には厚み方向に伸びる段付きのボルト挿通孔１２２ｂが、円周方向に等間隔に４個形成されていたが、フランジ部１２２に形成されるボルト挿通孔１２２ｂの個数は４個に限定されるものではない。

【0062】

例えば、上述した第２実施例において、装置側取付部Ｍへの軸受２００の組み込みは、装置側取付部Ｍから軸受２００にネジを挿通し、ネジ穴２２１ａ１でネジを螺合させることにより行っていたが、軸受２００を装置側取付部Ｍに直接圧入してもよい。
軸受２００を圧入固定する場合、軸受２００にネジ穴を設けなくてもよく、また、Ｏリングも不要である。

【0063】

例えば、上述した実施例における多孔質部材は、気体をその表面から噴出できるものであれば、材質や空孔率は如何なるものであってもよい。
また、上述した実施例においては、多孔質部材の前端面および後端面に封止処理を施していなかったが、多孔質部材の前端面および後端面に封止処理を施してもよい。

【0064】

例えば、上述した実施例における突出領域１２１Ｃ１の形状は一例にすぎず、加締め型ＣＴの形状次第により、様々な形状となるが、多孔質部材１１０の後端部１１４の外周面１１１周辺に目詰まり層１１０Ｂを形成することができれば、突出領域１２１Ｃ１の形状はいかなるものであってもよい。

【0065】

具体的には、本発明の第１変形例である軸受の断面図である図９Ａに示すように、円環状の突起部ＣＴ１の断面形状を第１実施例と同様に直角三角形状としつつ、突起部ＣＴ１の内周側傾斜辺ＣＴ１ｂと内側ベース面ＣＴ３とは、曲面で接続されるのではなく、直接接続されている。
そして、突起部ＣＴ１の外側における突起部ＣＴ１の高さＨｏと突起部ＣＴ１の内側における突起部ＣＴ１の高さＨｉとは、ほぼ等しくなっている。
さらに、第１変形例も、突起部ＣＴ１の内側における突起部ＣＴ１の高さＨｉが、ハウジング部材１２０の後端面１２１ｂから多孔質部材の後端面１１４ａまでの距離ｈよりも、小さくなっている。
これらにより、加締め型ＣＴの突起部ＣＴ１がハウジング部材１２０と接触する面積が少なくなり、加締め型ＣＴが痛みにくくなっている。

【0066】

さらに、本発明の第２変形例である軸受の断面図である図９Ｂに示すように、円環状の突起部ＣＴ１の断面形状を三角形状としつつ、突起部ＣＴ１の内周側傾斜辺ＣＴ１ｂと内側ベース面ＣＴ３とは、曲面で接続されるのではなく、直接接続されている。
そして、突起部ＣＴ１の外側における突起部ＣＴ１の高さＨｏと突起部ＣＴ１の内側における突起部ＣＴ１の高さＨｉとは、ほぼ等しくなっている。
また、内周側傾斜辺ＣＴ１ｂの内側ベース面ＣＴ３に対する傾きは、外周側傾斜辺ＣＴ１ｃの外側ベース面ＣＴ２に対する傾きよりも大きくなっている。
すなわち、外周側傾斜辺ＣＴ１ｃの外側ベース面ＣＴ２に対する傾きが、内周側傾斜辺ＣＴ１ｂの内側ベース面ＣＴ３に対する傾きより小さいため、ハウジング部材１２０の後端側の外周壁１２１ｃが膨らみにくくなっている。
また、突起部ＣＴ１の内側における突起部ＣＴ１の高さＨｉは、ハウジング部材１２０の後端面１２１ｂから多孔質部材の後端面１１４ａまでの距離ｈよりも、大きくなっている。