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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023047886
(43)【公開日】2023-04-06
(54)【発明の名称】ラインセンサカメラの角度調整装置
(51)【国際特許分類】
G01N 21/84 20060101AFI20230330BHJP
G02B 7/02 20210101ALI20230330BHJP
【ＦＩ】
G01N21/84 Z
G02B7/02 C
【審査請求】有
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021157057
(22)【出願日】2021-09-27
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2022-10-27
(71)【出願人】
【識別番号】592180823
【氏名又は名称】株式会社メック
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(74)【代理人】
【識別番号】100139686
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 史朗
(74)【代理人】
【識別番号】100206391
【弁理士】
【氏名又は名称】柏野 由布子
(72)【発明者】
【氏名】眞子 正徳
(72)【発明者】
【氏名】阿部 翔大
【テーマコード（参考）】
2G051
2H044
【Ｆターム（参考）】
2G051AA32
2G051AA41
2G051AB02
2G051CA03
2G051CA07
2G051CB01
2G051CB02
2G051CD01
2G051CD02
2G051DA06
2H044AC03
(57)【要約】
【課題】角度調整装置において、ラインセンサカメラの角度を遠隔で容易に調整でき、かつ、電気系統に不具合が生じても当該角度を調整できるようにする。
【解決手段】角度調整装置１０は、基準プレート１１と、第１軸線Ｏ１を中心にして回転するあおり調整用プレート２０と、あおり調整用プレートを回転させるあおり調整機構２１と、第１軸線に直交する第２軸線Ｏ２を中心にして回転する回転調整用プレート３０と、回転調整用プレートを回転させる回転調整機構３１と、を備え、あおり調整用プレートがラインセンサカメラ２に固定されるとともに回転調整用プレートに対して回転可能に支持され、回転調整用プレートが基準プレートに対して回転可能に支持され、あおり調整機構及び回転調整機構は、各々のプレートの回転を手動で操作する操作部４０Ｂ、４０Ａ、及び、各々のプレートの回転を電動で駆動する電動部５０Ｂ、５０Ａ、を有する。
【選択図】図３
【解決手段】角度調整装置１０は、基準プレート１１と、第１軸線Ｏ１を中心にして回転するあおり調整用プレート２０と、あおり調整用プレートを回転させるあおり調整機構２１と、第１軸線に直交する第２軸線Ｏ２を中心にして回転する回転調整用プレート３０と、回転調整用プレートを回転させる回転調整機構３１と、を備え、あおり調整用プレートがラインセンサカメラ２に固定されるとともに回転調整用プレートに対して回転可能に支持され、回転調整用プレートが基準プレートに対して回転可能に支持され、あおり調整機構及び回転調整機構は、各々のプレートの回転を手動で操作する操作部４０Ｂ、４０Ａ、及び、各々のプレートの回転を電動で駆動する電動部５０Ｂ、５０Ａ、を有する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有するラインセンサカメラの角度調整装置。
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有するラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項2】
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接する請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接する請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項3】
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接する請求項１又は請求項２に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接する請求項１又は請求項２に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項4】
前記運動変換部は、
前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、
外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記昇降ピンの直線的な移動方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、
前記第２ギヤの回転を前記第２ギヤの内側に配置された前記昇降ピンの直線的な移動に変換する変換機構と、を備える請求項２又は請求項３に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、
外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記昇降ピンの直線的な移動方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、
前記第２ギヤの回転を前記第２ギヤの内側に配置された前記昇降ピンの直線的な移動に変換する変換機構と、を備える請求項２又は請求項３に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項5】
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、
上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、
前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接する請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、
上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、
前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接する請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項6】
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、
上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接する請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、
上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接する請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ラインセンサカメラの角度調整装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、連続シート状の検査対象物に照明装置からの光を照射し、その反射光あるいは透過光を受光器で撮像し、その画像信号を適当な画像処理装置で処理し、欠陥情報を抽出する欠陥検査装置を用いて検査対象物の欠陥検査が行われている。このような欠陥検査装置では、受光器として複数のラインセンサカメラを同一方向に配列した構成が用いられている。
【0003】
特許文献１，２には、検査対象物に対するラインセンサカメラの取付け向き（角度）を調整するラインセンサカメラの角度調整装置が開示されている。特許文献１の角度調整装置では、ラインセンサカメラのあおり角度と回転角度を手指で操作されるマイクロメータヘッド（すなわち手動）のみにより調整する。特許文献２の角度調整装置では、あおり角度と回転角度を電気で駆動するアクチュエータ（すなわち電動）のみにより調整する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１２－１０７９０３号公報
【特許文献2】特開２０１８－１８５１７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
手動のみによりラインセンサカメラの角度を調整する特許文献１の角度調整装置では、ラインセンサカメラが手指の届き難い場所（例えば高所）に設置される場合に、ラインセンサカメラの角度調整を簡単に行うことができない、という問題がある。例えば、ラインセンサカメラの角度調整の際には、ラインセンサカメラの設置個所に至る足場を組む等の付帯工事が必要となり、面倒である。
一方、電動のみによりラインセンサカメラの角度を調整する特許文献２の角度調整装置では、アクチュエータが故障したり電源が喪失するなどして電気系統に不具合が生じると、ラインセンサカメラの角度を調整できなくなる、という問題がある。
一方、電動のみによりラインセンサカメラの角度を調整する特許文献２の角度調整装置では、アクチュエータが故障したり電源が喪失するなどして電気系統に不具合が生じると、ラインセンサカメラの角度を調整できなくなる、という問題がある。
【0006】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、ラインセンサカメラの角度を遠隔で容易に調整でき、かつ、電気系統に不具合が生じてもラインセンサカメラの角度を調整できるラインセンサカメラの角度調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、基準プレートと、前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、を備え、前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有することを特徴とする。
【0008】
この構成によれば、同一の第１プレート（あおり調整用プレート、回転調整用プレート）を手動及び電動の両方で回転させることができる。このため、電動部により第１プレートを回転させることで、ラインセンサカメラから離れた位置においてその角度（あおり角度、回転角度）を調整することが可能となる。すなわち、ラインセンサカメラの角度を遠隔で容易に調整することができる。また、電動部や当該電動部に電力を供給する電源などの電気系統に不具合が生じても、操作部を手動で操作することで、ラインセンサカメラの角度を調整することができる。
【0009】
上記本発明のラインセンサカメラの角度調整装置において、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接してよい。
【0010】
また、上記本発明のラインセンサカメラの角度調整装置において、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接してよい。
【0011】
これらの構成では、操作部により手動であおり角度を調整した後の状態を基準として、電動部によってあおり角度をさらに調整することができる。同様に、電動部によってあおり角度を調整した後の状態を基準として、操作部によってあおり角度をさらに調整することもできる。
【0012】
また、上記本発明のラインセンサカメラの角度調整装置において、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接してよい。
【0013】
また、上記本発明のラインセンサカメラの角度調整装置において、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接してよい。
【0014】
これらの構成では、操作部により手動で回転角度を調整した後の状態を基準として、電動部によって回転角度をさらに調整することができる。同様に、電動部によって回転角度を調整した後の状態を基準として、操作部によって回転角度をさらに調整することができる。
【0015】
また、上記本発明のラインセンサカメラの角度調整装置において、前記運動変換部は、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記昇降ピンの直線的な移動方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、前記第２ギヤの回転を前記第２ギヤの内側に配置された前記昇降ピンの直線的な移動に変換する変換機構と、を備えてよい。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、ラインセンサカメラの角度を遠隔で容易に調整することができ、かつ、電気系統に不具合が生じてもラインセンサカメラの角度を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明による欠陥検査装置の一例を示す全体概要図である。
【図3】本発明の第一実施形態による角度調整装置の構成を示す側面図である。
【図4】同じく角度調整装置の構成を示す上面図である。
【図5】同じく角度調整装置の構成を示す正面図である。
【図6】角度調整装置において、プレートに取り付けられた操作部及び電動部を示す拡大断面図である。
【図7】角度調整装置の電動部を示す斜視図である。
【図8】同じく角度調整装置の電動部を示す断面図である。
【図11】あおり調整による動作を示す側面図である。
【図12】回転調整による動作を示す正面図である。
【図13】本発明の第二実施形態による角度調整装置の電動部の要部を示す分解斜視図である。
【図14】本発明の第三実施形態による角度調整装置の電動部を示す斜視図である。
【図15】同じく角度調整装置の電動部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
〔第一実施形態〕
以下、図１～１２を参照して本発明の第一実施形態について説明する。
図１，２に示す本実施形態の角度調整装置１０は、ラインセンサ３（図５参照）とレンズ４をカメラ本体５に組み込んだラインセンサカメラ２（以下、単に「カメラ２」と呼ぶ）を複数備えた欠陥検査装置１において、各カメラ２の角度（あおり角度、回転角度）を調整するためのものである。
以下、図１～１２を参照して本発明の第一実施形態について説明する。
図１，２に示す本実施形態の角度調整装置１０は、ラインセンサ３（図５参照）とレンズ４をカメラ本体５に組み込んだラインセンサカメラ２（以下、単に「カメラ２」と呼ぶ）を複数備えた欠陥検査装置１において、各カメラ２の角度（あおり角度、回転角度）を調整するためのものである。
【0019】
欠陥検査装置１では、複数（ここでは８台）のカメラ２、２、…が支持台６に配列して設けられている。欠陥検査装置１は、蛍光灯などの照明が組み込まれた照明装置７によって下面側から検査対象物８を照射し、その検査対象物８の透過光を撮像することで、検査対象物８上に存在する欠陥を検出し、欠陥位置情報、欠陥の面積、長さ、幅等を含む欠陥情報を取得する。欠陥情報は、適宜な処理に基づいて欠陥が判定されることになる。
以下の説明では、複数のカメラ２が配列される方向（図１、図２の紙面で左右方向）を走査方向Ｘと呼ぶ。
以下の説明では、複数のカメラ２が配列される方向（図１、図２の紙面で左右方向）を走査方向Ｘと呼ぶ。
【0020】
図５に示すカメラ２のラインセンサ３は、例えば多数の素子を走査方向Ｘに直線状に並べて構成される。ラインセンサ３の素子は、受光した光（例えば上述した透過光）に応じた電気信号を出力する。ラインセンサ３の素子としては、例えば、ＣＭＯＳ（相補型ＭＯＳ）、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ－Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）が挙げられる。
【0021】
図３～図５に示すように、角度調整装置１０は、基準プレート１１と、あおり調整用プレート２０と、あおり調整機構２１と、回転調整用プレート３０と、回転調整機構３１と、を備える。
あおり調整用プレート２０は、ラインセンサ３の素子面３ａ（図５）に沿うラインセンサ３の走査方向Ｘに平行する第１軸線Ｏ１を中心にして回転する。あおり調整機構２１は、あおり調整用プレート２０を回転させてカメラ２のあおり角度を調整する。回転調整用プレート３０は、ラインセンサ３の素子面３ａの法線方向に平行する第２軸線Ｏ２を中心にして回転する。回転調整機構３１は、回転調整用プレート３０を回転させてカメラ２の回転角度を調整する。
あおり調整用プレート２０は、ラインセンサ３の素子面３ａ（図５）に沿うラインセンサ３の走査方向Ｘに平行する第１軸線Ｏ１を中心にして回転する。あおり調整機構２１は、あおり調整用プレート２０を回転させてカメラ２のあおり角度を調整する。回転調整用プレート３０は、ラインセンサ３の素子面３ａの法線方向に平行する第２軸線Ｏ２を中心にして回転する。回転調整機構３１は、回転調整用プレート３０を回転させてカメラ２の回転角度を調整する。
【0022】
角度調整装置１０では、あおり調整用プレート２０がカメラ本体５に固定されるとともに、回転調整用プレート３０に対して回転可能に支持される。また、回転調整用プレート３０が基準プレート１１に対して回転可能に支持される。そして、基準プレート１１、あおり調整用プレート２０、及び、回転調整用プレート３０は、これらプレート１１，２０，３０の厚さ方向にその順で重ねて配置されている。
【0023】
以下の説明では、角度調整装置１０において、基準プレート１１と、あおり調整用プレート２０と、回転調整用プレート３０とがその順で配置される方向を上下方向Ｙと呼ぶ。また、基準プレート１１、あおり調整用プレート２０、回転調整用プレート３０のそれぞれの面が平行に配置された状態で、上下方向Ｙにおける基準プレート１１側を下側と呼び、あおり調整用プレート２０側を上側と呼ぶ。また、角度調整装置１０においては、カメラ２のレンズ４側を前方とし、その反対側を後方とする。
【0024】
基準プレート１１は、平面視矩形をなし、その前後方向の両端に第１前壁１２と第１後壁１３とを設けた構成となっている。第１前壁及び第１後壁は、基準プレート１１から上方に延びている。
第１前壁１２は、あおり調整用プレート２０によって支持されたカメラ２のレンズ４の下方に位置している。第１前壁１２には、第２軸線Ｏ２に対応する位置に凹部１２ａが設けられている。凹部１２ａには、後述する回転調整用プレート３０の第２前壁３２に設けられるとともに第２軸線Ｏ２と同軸をなす第１回転軸ピン３５が回転可能に支持されている。本実施形態において、第２軸線Ｏ２は、走査方向Ｘ及び上下方向Ｙに直交する前後方向に延びる軸線である。第２軸線Ｏ２は、前方から見てレンズ４の中心軸（光軸Ｌ）を中心として第１軸線Ｏ１に対して斜め下方４５度（図５の符号α）の所定位置に位置している。
第１後壁１３には、第２軸線Ｏ２に対応する位置に凹部１３ａが設けられ、この凹部１３ａには後述する回転調整用プレート３０の第２後壁３３に設けられるとともに第２軸線Ｏ２と同軸の第２回転軸ピン３６が回転可能に支持されている。
第１前壁１２は、あおり調整用プレート２０によって支持されたカメラ２のレンズ４の下方に位置している。第１前壁１２には、第２軸線Ｏ２に対応する位置に凹部１２ａが設けられている。凹部１２ａには、後述する回転調整用プレート３０の第２前壁３２に設けられるとともに第２軸線Ｏ２と同軸をなす第１回転軸ピン３５が回転可能に支持されている。本実施形態において、第２軸線Ｏ２は、走査方向Ｘ及び上下方向Ｙに直交する前後方向に延びる軸線である。第２軸線Ｏ２は、前方から見てレンズ４の中心軸（光軸Ｌ）を中心として第１軸線Ｏ１に対して斜め下方４５度（図５の符号α）の所定位置に位置している。
第１後壁１３には、第２軸線Ｏ２に対応する位置に凹部１３ａが設けられ、この凹部１３ａには後述する回転調整用プレート３０の第２後壁３３に設けられるとともに第２軸線Ｏ２と同軸の第２回転軸ピン３６が回転可能に支持されている。
【0025】
回転調整用プレート３０は、基準プレート１１よりも縦横の寸法が共に小さい平面視矩形をなし、基準プレート１１の第１前壁１２と第１後壁１３との間に配置される。回転調整用プレート３０の前後方向の両端には、上方に向けて延びる第２前壁３２と第２後壁３３とが設けられている。また、回転調整用プレート３０の前方側の両側部には、上方に向けて延びる第１側壁３４，３４が設けられている。
【0026】
第２前壁３２は、第１前壁１２の後側に重ねて配置され、第１前壁１２と同様にカメラ２のレンズ４の下方に位置している。第２前壁３２には、第２軸線Ｏ２と同軸で前方へ向けて突出する第１回転軸ピン３５が設けられている。第１回転軸ピン３５は、上述した第１前壁１２の凹部１２ａに回転可能に支持されている。
第２後壁３３は、第１後壁１３の前側に重ねて配置される。第２後壁３３には、第２軸線Ｏ２と同軸で後方へ向けて突出する第２回転軸ピン３６が設けられている。第２回転軸ピン３６は、上述した第１後壁１３の凹部１３ａに回転可能に支持されている。
第１側壁３４には、第１軸線Ｏ１に対応する位置に凹部３４ａが設けられている。この凹部３４ａには、後述するあおり調整用プレート２０の第２側壁２２、２２に設けられるとともに第１軸線Ｏ１と同軸をなすあおり軸ピン２３、２３が回転可能に支持されている。
第２後壁３３は、第１後壁１３の前側に重ねて配置される。第２後壁３３には、第２軸線Ｏ２と同軸で後方へ向けて突出する第２回転軸ピン３６が設けられている。第２回転軸ピン３６は、上述した第１後壁１３の凹部１３ａに回転可能に支持されている。
第１側壁３４には、第１軸線Ｏ１に対応する位置に凹部３４ａが設けられている。この凹部３４ａには、後述するあおり調整用プレート２０の第２側壁２２、２２に設けられるとともに第１軸線Ｏ１と同軸をなすあおり軸ピン２３、２３が回転可能に支持されている。
【0027】
回転調整機構３１は、第１操作部４０Ａと、第１電動部５０Ａと、第１付勢部材６０Ａと、を有する。これら第１操作部４０Ａ、第１電動部５０Ａ及び第１付勢部材６０Ａは、図４に示す上面視で光軸Ｌを挟んで第２軸線Ｏ２と反対側に配置されている。
【0028】
回転調整機構３１の第１操作部４０Ａは、回転調整用プレート３０（第１プレート）の回転を手動で操作するように構成されている。図６に示すように、本実施形態の第１操作部４０Ａは、本体部４１と、ねじ軸４２と、を備えるマイクロメータヘッドである。
本体部４１は、回転調整用プレート３０の上面３０ａ側に設けられて手動で操作するものである。本体部４１は、回転調整用プレート３０の厚さ方向（図６で紙面の上下方向）に延びる軸線を中心に回転可能となっている。すなわち、本体部４１は手動によって回転させることができる。
本体部４１は、回転調整用プレート３０の上面３０ａ側に設けられて手動で操作するものである。本体部４１は、回転調整用プレート３０の厚さ方向（図６で紙面の上下方向）に延びる軸線を中心に回転可能となっている。すなわち、本体部４１は手動によって回転させることができる。
【0029】
ねじ軸４２は、本体部４１から下方に延びて回転調整用プレート３０の下方に貫通している。ねじ軸４２は、本体部４１の操作に応じて本体部４１に対して回転調整用プレート３０の厚さ方向に移動可能とされている。ねじ軸４２は、本体部４１を一方側に回転（正回転）させた際に本体部４１から下方に延びる長さが長くなるように移動し、本体部４１を他方側に回転（逆回転）させた際に本体部４１から下方に延びる長さが短くなるように移動する。
第１操作部４０Ａには、本体部４１を回転させることでねじ軸４２が軸方向に進退移動する一般的な構造のものを採用することができる。
第１操作部４０Ａには、本体部４１を回転させることでねじ軸４２が軸方向に進退移動する一般的な構造のものを採用することができる。
【0030】
また、本実施形態の第１操作部４０Ａは、回転式のロック機構４３をさらに備えている。ロック機構４３は、これをいずれか一方側に回転（正回転）させることで本体部４１の回転をロックし、他方側に回転（逆回転）させることで本体部４１のロック状態を解除する。このロック機構４３の操作によって本体部４１による回転位置がずれることを抑制又は防止することができる。図示例において、ロック機構４３は、本体部４１に対して別体で且つ同軸に設けられているが、これに限ることはない。
【0031】
回転調整機構３１の第１電動部５０Ａは、回転調整用プレート３０（第１プレート）の回転を電動で駆動するように構成されている。図３，６に示すように、本実施形態の第１電動部５０Ａは、回転調整用プレート３０の下方に位置する基準プレート１１（別のプレート）の上面１１ａ側に設けられている。第１電動部５０Ａは、回転調整用プレート３０に設けられた第１操作部４０Ａのねじ軸４２の下側に位置する。
【0032】
図６～９に示すように、第１電動部５０Ａは、モータ５１と、昇降ピン５２と、運動変換部５３と、を備える。
モータ５１は、電力によって回転駆動するものである。本実施形態のモータ５１は、正転及び逆転の両方に回転できるように構成されており、例えばＤＣモータである。昇降ピン５２は、基準プレート１１に対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされたものである。運動変換部５３は、モータ５１の回転運動を昇降ピン５２の直線運動に変換するものである。すなわち、第１電動部５０Ａは、モータ５１の駆動力によって昇降ピン５２を基準プレート１１の厚さ方向の両側（すなわち上下）に移動させるように構成されている。
第１電動部５０Ａは、昇降ピン５２の上端が上述した第１操作部４０Ａのねじ軸４２の下端に当接するように、回転調整用プレート３０の下方に位置する基準プレート１１（別のプレート）の上面１１ａに固定されている。
モータ５１は、電力によって回転駆動するものである。本実施形態のモータ５１は、正転及び逆転の両方に回転できるように構成されており、例えばＤＣモータである。昇降ピン５２は、基準プレート１１に対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされたものである。運動変換部５３は、モータ５１の回転運動を昇降ピン５２の直線運動に変換するものである。すなわち、第１電動部５０Ａは、モータ５１の駆動力によって昇降ピン５２を基準プレート１１の厚さ方向の両側（すなわち上下）に移動させるように構成されている。
第１電動部５０Ａは、昇降ピン５２の上端が上述した第１操作部４０Ａのねじ軸４２の下端に当接するように、回転調整用プレート３０の下方に位置する基準プレート１１（別のプレート）の上面１１ａに固定されている。
【0033】
以下、本実施形態の第１電動部５０Ａについて、さらに具体的に説明する。
本実施形態の第１電動部５０Ａは、昇降ピン５２の一部及び運動変換部５３を内部に収容するケース５４を備える。ケース５４は、昇降ピン５２の移動方向（基準プレート１１の厚さ方向）に間隔をあけて並ぶケース下壁５４１及びケース上壁５４２と、これらケース下壁５４１及びケース上壁５４２の周囲に設けられたケース周壁５４３と、を有する。昇降ピン５２は、ケース上壁５４２からケース５４の上側に突出する。
モータ５１は、ケース５４の外側において、当該モータ５１の回転軸５１Ｏが基準プレート１１の上面１１ａに沿うように配置されている。
本実施形態の第１電動部５０Ａは、昇降ピン５２の一部及び運動変換部５３を内部に収容するケース５４を備える。ケース５４は、昇降ピン５２の移動方向（基準プレート１１の厚さ方向）に間隔をあけて並ぶケース下壁５４１及びケース上壁５４２と、これらケース下壁５４１及びケース上壁５４２の周囲に設けられたケース周壁５４３と、を有する。昇降ピン５２は、ケース上壁５４２からケース５４の上側に突出する。
モータ５１は、ケース５４の外側において、当該モータ５１の回転軸５１Ｏが基準プレート１１の上面１１ａに沿うように配置されている。
【0034】
図８～１０に示すように、本実施形態の運動変換部５３は、ウォームギヤ５３１（第１ギヤ）と、ウォームホイール５３２（第２ギヤ）と、雄ねじ５３３と、回転規制部５３４と、を備える。
ウォームギヤ５３１は、モータ５１に接続されており、モータ５１の回転に応じて基準プレート１１の上面１１ａに沿う方向を第１回転軸線５３１Ｏとして回転するように配置されている。図示しないが、ウォームギヤ５３１の外周には、後述するウォームホイール５３２の外周に噛み合う螺旋状の歯が形成されている。
ウォームギヤ５３１は、モータ５１に接続されており、モータ５１の回転に応じて基準プレート１１の上面１１ａに沿う方向を第１回転軸線５３１Ｏとして回転するように配置されている。図示しないが、ウォームギヤ５３１の外周には、後述するウォームホイール５３２の外周に噛み合う螺旋状の歯が形成されている。
【0035】
ウォームホイール５３２は、円環状に形成されている。ウォームホイール５３２は、その外周がウォームギヤ５３１に噛み合うことでウォームギヤ５３１の回転に応じて昇降ピン５２の直線的な移動方向（基準プレート１１の厚さ方向）を第２回転軸線５３２Ｏとして回転する。図示しないが、ウォームホイール５３２の外周には、上述したウォームギヤ５３１の螺旋状の歯に噛み合う複数の歯が形成されている。これら複数の歯は、ウォームホイール５３２の周方向に配列されている。ウォームホイール５３２は、その内周に第２回転軸線５３２Ｏを中心とする雌ねじ５３６を有する。円環状のウォームホイール５３２は、その直径寸法が軸方向寸法よりも大きい扁平な形状に形成されている。すなわち、ウォームホイール５３２の軸方向寸法が小さく設定されている。
【0036】
ウォームホイール５３２は、ケース５４内部に収容された状態でケース下壁５４１とケース上壁５４２との間に配置される。ウォームホイール５３２とケース下壁５４１との間、及び、ウォームホイール５３２とケース上壁５４２との間には、それぞれアキシャル軸受５５が介在している。これにより、ウォームホイール５３２がケース５４に対して回転自在に取り付けられている。２つのアキシャル軸受５５は、ウォームホイール５３２に一体に設けられている。これにより、ケース５４に対するウォームホイール５３２の取付を容易に行うことができる。
【0037】
雄ねじ５３３は、昇降ピン５２の外周に形成されており、ウォームホイール５３２の内周に形成された雌ねじ５３６に噛み合う。これにより、昇降ピン５２とウォームホイール５３２とが第２回転軸線５３２Ｏを中心に相対的に回転することで、昇降ピン５２がウォームホイール５３２に対して第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向（すなわち、基準プレート１１の厚さ方向）に移動する。
【0038】
図８，１０に示すように、回転規制部５３４は、昇降ピン５２がケース５４やウォームホイール５３２に対してその第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転することを規制する。回転規制部５３４は、昇降ピン５２の内部に挿入可能とされるとともに昇降ピン５２に対して昇降ピン５２の移動方向（第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向）に移動可能とされている。ただし、回転規制部５３４は、昇降ピン５２の内部に挿入された状態において、昇降ピン５２に対して第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転しないように構成されている。図１０においては、回転規制部５３４においてその径方向に突出する回り止めピン５３７が、昇降ピン５２においてその径方向に窪むととともに第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向（軸方向）に延びる長孔状のガイド穴５３８に挿入されることで、昇降ピン５２と回転規制部５３４との軸方向への相対的な移動を許容しつつ、昇降ピン５２と回転規制部５３４との相対的な回転が規制される。
【0039】
上述した回転規制部５３４は、ケース下壁５４１に固定されている。これにより、ウォームホイール５３２がケース５４に対して第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転した際には、昇降ピン５２は第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転することなく、ウォームホイール５３２やケース５４に対して第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向に移動することができる。すなわち、ウォームホイール５３２の内周に形成された雌ねじ５３６、昇降ピン５２の外周に形成された雄ねじ５３３、及び、昇降ピン５２が第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転することを規制する回転規制部５３４は、ウォームホイール５３２の回転を昇降ピン５２の直線的な移動に変換する変換機構５３９を構成している。
【0040】
以上のように構成される運動変換部５３では、所定時間（例えば１分間）あたりのモータ５１の回転数が高くても、所定時間あたりに昇降ピン５２が移動する長さを小さく抑えることができる。
例えば、ウォームギヤ５３１の所定時間あたりの回転数に対してウォームホイール５３２の所定時間あたりの回転数を低くすることができる。また、ウォームホイール５３２の雌ねじ５３６及び昇降ピン５２の雄ねじ５３３のピッチを小さくすることで、ウォームホイール５３２の所定時間あたりの回転数に対する昇降ピン５２の所定時間あたりの移動長さを小さくすることができる。また、図示しないが、モータ５１とウォームギヤ５３１との間に減速機構を設けることで、モータ５１の所定時間あたりの回転数に対してウォームギヤ５３１の所定時間あたりの回転数を低くすることができる。これにより、昇降ピン５２の移動速度を小さく抑えることができる。また、モータ５１の回転数に対して昇降ピン５２の移動長さを小さく抑えることで、モータ５１のトルクが小さくても、昇降ピン５２の移動に伴う推力を大きくすることができる。
例えば、ウォームギヤ５３１の所定時間あたりの回転数に対してウォームホイール５３２の所定時間あたりの回転数を低くすることができる。また、ウォームホイール５３２の雌ねじ５３６及び昇降ピン５２の雄ねじ５３３のピッチを小さくすることで、ウォームホイール５３２の所定時間あたりの回転数に対する昇降ピン５２の所定時間あたりの移動長さを小さくすることができる。また、図示しないが、モータ５１とウォームギヤ５３１との間に減速機構を設けることで、モータ５１の所定時間あたりの回転数に対してウォームギヤ５３１の所定時間あたりの回転数を低くすることができる。これにより、昇降ピン５２の移動速度を小さく抑えることができる。また、モータ５１の回転数に対して昇降ピン５２の移動長さを小さく抑えることで、モータ５１のトルクが小さくても、昇降ピン５２の移動に伴う推力を大きくすることができる。
【0041】
図３，４に示す回転調整機構３１の第１付勢部材６０Ａは、回転調整用プレート３０を基準プレート１１に向けて付勢する。本実施形態の第１付勢部材６０Ａは、ボルト６１と、ナット６２と、ばね材６３と、を備える。
ボルト６１は、その軸方向を回転調整用プレート３０の厚さ方向に向けた状態で、回転調整用プレート３０を厚さ方向に貫通している。ボルト６１の下端は、基準プレート１１の上面１１ａに固定されている。ナット６２は、ボルト６１の上端に螺合する。ばね材６３は、筒状のコイルばねであり、ボルト６１を挿通させた状態で回転調整用プレート３０の上面３０ａとナット６２との間に配置される。これにより、ばね材６３が、回転調整用プレート３０を基準プレート１１側へ近接する方向へ付勢する。
第１付勢部材６０Ａが回転調整用プレート３０を基準プレート１１に向けて付勢することで、回転調整用プレート３０に取り付けられた第１操作部４０Ａのねじ軸４２の下端が、基準プレート１１に設けられた第１電動部５０Ａの昇降ピン５２の上端に当接した状態（図６参照）に保持される。
ボルト６１は、その軸方向を回転調整用プレート３０の厚さ方向に向けた状態で、回転調整用プレート３０を厚さ方向に貫通している。ボルト６１の下端は、基準プレート１１の上面１１ａに固定されている。ナット６２は、ボルト６１の上端に螺合する。ばね材６３は、筒状のコイルばねであり、ボルト６１を挿通させた状態で回転調整用プレート３０の上面３０ａとナット６２との間に配置される。これにより、ばね材６３が、回転調整用プレート３０を基準プレート１１側へ近接する方向へ付勢する。
第１付勢部材６０Ａが回転調整用プレート３０を基準プレート１１に向けて付勢することで、回転調整用プレート３０に取り付けられた第１操作部４０Ａのねじ軸４２の下端が、基準プレート１１に設けられた第１電動部５０Ａの昇降ピン５２の上端に当接した状態（図６参照）に保持される。
【0042】
この第１付勢部材６０Ａは、第１操作部４０Ａよりも前方側に位置している。また、平面視において、第１操作部４０Ａ及び第１付勢部材６０Ａの双方の軸（ねじ軸４２、ボルト６１の軸）を結ぶ直線は、第２軸線Ｏ２に平行している。
【0043】
図３～５に示すように、あおり調整用プレート２０は、回転調整用プレート３０よりも縦横の寸法が共に小さい平面視矩形をなし、さらに第１操作部４０Ａと第１付勢部材６０Ａとを避けるようにして切り欠いた形状をなしている。あおり調整用プレート２０は、前後方向において回転調整用プレート３０の第２前壁３２と第２後壁３３との間に配置されている。あおり調整用プレート２０の前方側の両側部には、第２側壁２２が設けられている。さらに、あおり調整用プレート２０の前方側の部分には、カメラ本体５が載置されて第２側壁２２にカメラ本体５の側面がねじ等の適宜な固定手段により固定されている。
【0044】
各第２側壁２２には、第１軸線Ｏ１と同軸で外方（第１側壁３４側）へ向けて突出するあおり軸ピン２３が設けられている。あおり軸ピン２３は、それぞれ第１側壁３４の凹部３４ａに回転可能に支持されている。
【0045】
あおり調整機構２１は、第２操作部４０Ｂと、第２電動部５０Ｂと、第２付勢部材６０Ｂと、を有する。第２操作部４０Ｂ、第２電動部５０Ｂ及び第２付勢部材６０Ｂは、それぞれ図４に示す上面視で光軸Ｌ上に配置されている。なお、第２付勢部材６０Ｂは、第２操作部４０Ｂよりも後方側に位置している。
【0046】
あおり調整機構２１の第２操作部４０Ｂは、あおり調整用プレート２０（第１プレート）の回転を手動で操作するように構成されている。本実施形態の第２操作部４０Ｂの構成は、第１操作部４０Ａの構成と同様である。すなわち、第２操作部４０Ｂは、図６に示すように、本体部４１と、ねじ軸４２と、を備えるマイクロメータヘッドであり、ロック機構４３もさらに備える。
第２操作部４０Ｂの本体部４１は、あおり調整用プレート２０の上面２０ａ側に設けられて手動で操作するものである。この本体部４１は、あおり調整用プレート２０の厚さ方向に延びる軸線を中心に回転可能となっている。第２操作部４０Ｂのねじ軸４２は、本体部４１から下方に延びてあおり調整用プレート２０の下方に貫通している。ねじ軸４２は、本体部４１の操作に応じて本体部４１に対してあおり調整用プレート２０の厚さ方向に移動可能とされている。
第２操作部４０Ｂの本体部４１は、あおり調整用プレート２０の上面２０ａ側に設けられて手動で操作するものである。この本体部４１は、あおり調整用プレート２０の厚さ方向に延びる軸線を中心に回転可能となっている。第２操作部４０Ｂのねじ軸４２は、本体部４１から下方に延びてあおり調整用プレート２０の下方に貫通している。ねじ軸４２は、本体部４１の操作に応じて本体部４１に対してあおり調整用プレート２０の厚さ方向に移動可能とされている。
【0047】
あおり調整機構２１の第２電動部５０Ｂは、あおり調整用プレート２０（第１プレート）の回転を電動で駆動するように構成されている。本実施形態の第２電動部５０Ｂの構成は、第１電動部５０Ａの構成と同様である。すなわち、第２電動部５０Ｂは、図３，６に示すように、あおり調整用プレート２０の下方に位置する回転調整用プレート３０（別のプレート）の上面３０ａ側に設けられている。第２電動部５０Ｂは、あおり調整用プレート２０に設けられた第２操作部４０Ｂのねじ軸４２の下側に位置する。
【0048】
図６～９に示すように、第２電動部５０Ｂは、第１電動部５０Ａと同様のモータ５１、昇降ピン５２及び運動変換部５３を備える。第２電動部５０Ｂは、第１電動部５０Ａと以下の点についてのみ相違する。
第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２は、回転調整用プレート３０に対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされている。このため、第２電動部５０Ｂは、モータ５１の駆動力によって昇降ピン５２を回転調整用プレート３０の厚さ方向における両側（すなわち上下）に移動させるように構成されている。
この第２電動部５０Ｂは、昇降ピン５２の上端が上述した第２操作部４０Ｂのねじ軸４２の下端に当接するように、あおり調整用プレート２０の下方に位置する回転調整用プレート３０（別のプレート）の上面３０ａに固定されている。
第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２は、回転調整用プレート３０に対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされている。このため、第２電動部５０Ｂは、モータ５１の駆動力によって昇降ピン５２を回転調整用プレート３０の厚さ方向における両側（すなわち上下）に移動させるように構成されている。
この第２電動部５０Ｂは、昇降ピン５２の上端が上述した第２操作部４０Ｂのねじ軸４２の下端に当接するように、あおり調整用プレート２０の下方に位置する回転調整用プレート３０（別のプレート）の上面３０ａに固定されている。
【0049】
本実施形態において、第２電動部５０Ｂは、第１電動部５０Ａと同様のケース５４を備える。また、本実施形態において、第２電動部５０Ｂのモータ５１は、ケース５４の外側において、当該モータ５１の回転軸５１Ｏが回転調整用プレート３０の上面３０ａに沿うように配置されている。
【0050】
第２電動部５０Ｂの運動変換部５３は、第１電動部５０Ａと同様のウォームギヤ５３１と、ウォームホイール５３２と、雄ねじ５３３と、回転規制部５３４と、を備える。第２電動部５０Ｂの運動変換部５３は、第１電動部５０Ａの運動変換部５３と以下の点についてのみ相違する。ウォームギヤ５３１の第１回転軸線５３１Ｏは、回転調整用プレート３０の上面３０ａに沿っている。ウォームホイール５３２の第２回転軸線５３２Ｏは、回転調整用プレート３０の厚さ方向に平行している。
【0051】
図３，４に示すように、あおり調整機構２１の第２付勢部材６０Ｂは、あおり調整用プレート２０を回転調整用プレート３０に向けて付勢する。本実施形態の第２付勢部材６０Ｂは、第１付勢部材と同様のボルト６１、ナット６２及びばね材６３を備える。
ボルト６１は、その軸方向をあおり調整用プレート２０の厚さ方向に向けた状態で、あおり調整用プレート２０を厚さ方向に貫通している。ボルト６１の下端は、回転調整用プレート３０の上面３０ａに固定されている。ナット６２は、このボルト６１の上端に螺合する。ばね材６３は、筒状のコイルばねであり、ボルト６１を挿通させた状態であおり調整用プレート２０の上面２０ａとナット６２との間に配置される。これにより、ばね材６３が、あおり調整用プレート２０を回転調整用プレート３０側へ近接する方向へ付勢する。
第２付勢部材６０Ｂがあおり調整用プレート２０を回転調整用プレート３０に向けて付勢することで、あおり調整用プレート２０に取り付けられた第２操作部４０Ｂのねじ軸４２の下端が、回転調整用プレート３０に設けられた第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２の上端に当接した状態（図６参照）に保持される。
ボルト６１は、その軸方向をあおり調整用プレート２０の厚さ方向に向けた状態で、あおり調整用プレート２０を厚さ方向に貫通している。ボルト６１の下端は、回転調整用プレート３０の上面３０ａに固定されている。ナット６２は、このボルト６１の上端に螺合する。ばね材６３は、筒状のコイルばねであり、ボルト６１を挿通させた状態であおり調整用プレート２０の上面２０ａとナット６２との間に配置される。これにより、ばね材６３が、あおり調整用プレート２０を回転調整用プレート３０側へ近接する方向へ付勢する。
第２付勢部材６０Ｂがあおり調整用プレート２０を回転調整用プレート３０に向けて付勢することで、あおり調整用プレート２０に取り付けられた第２操作部４０Ｂのねじ軸４２の下端が、回転調整用プレート３０に設けられた第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２の上端に当接した状態（図６参照）に保持される。
【0052】
図３，５に示すように、回転軸ピン３５、３６及びあおり軸ピン２３と、それぞれに対応する凹部１２ａ、１３ａ、３４ａとの支持構造は、すべて共通した支持構造をなしており、凹部に支持させた軸ピンに対して凹部の開口側から棒状の軸ピン押さえ部材９によって押さえ付けることにより回転自在に支持された構造となっている。
【0053】
次に、上述したように構成された角度調整装置１０の作用について説明する。
図１１に示すように、あおり調整用プレート２０上に設けられている第２操作部４０Ｂを回転させたり、回転調整用プレート３０上に設けられている第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２（図６等参照）を移動させたりすると、あおり調整用プレート２０が第１軸線Ｏ１を中心にして回動する。
具体的には、あおり調整用プレート２０の後端側に設けられている第２操作部４０Ｂのねじ軸４２（図６等参照）を前進（下方へ移動）させたり、第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２を上方に移動させたりすると、第２操作部４０Ｂの位置が回転調整用プレート３０及び第２電動部５０Ｂに対して離反する方向（矢印Ｆ１方向）に持ち上がる。このため、あおり調整用プレート２０の前端は第１軸線Ｏ１回りに下向き（矢印Ｆ４方向）に回動することになる。つまり、あおり調整用プレート２０の前端に固定されるカメラ２は下向きに所定のあおり角度θ１をもって回動した位置（二点鎖線Ｐ１）となる。図１１において、符号Ｐ０のカメラ２の位置は、中立位置、すなわちあおり角度θ１が０となる位置を示している。なお、あおり調整用プレート２０の後端が持ち上がることにより、あおり調整用プレート２０上に設けられる第２付勢部材６０Ｂのばね材６３が中立位置Ｐ０よりもさらに圧縮した状態となる。
図１１に示すように、あおり調整用プレート２０上に設けられている第２操作部４０Ｂを回転させたり、回転調整用プレート３０上に設けられている第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２（図６等参照）を移動させたりすると、あおり調整用プレート２０が第１軸線Ｏ１を中心にして回動する。
具体的には、あおり調整用プレート２０の後端側に設けられている第２操作部４０Ｂのねじ軸４２（図６等参照）を前進（下方へ移動）させたり、第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２を上方に移動させたりすると、第２操作部４０Ｂの位置が回転調整用プレート３０及び第２電動部５０Ｂに対して離反する方向（矢印Ｆ１方向）に持ち上がる。このため、あおり調整用プレート２０の前端は第１軸線Ｏ１回りに下向き（矢印Ｆ４方向）に回動することになる。つまり、あおり調整用プレート２０の前端に固定されるカメラ２は下向きに所定のあおり角度θ１をもって回動した位置（二点鎖線Ｐ１）となる。図１１において、符号Ｐ０のカメラ２の位置は、中立位置、すなわちあおり角度θ１が０となる位置を示している。なお、あおり調整用プレート２０の後端が持ち上がることにより、あおり調整用プレート２０上に設けられる第２付勢部材６０Ｂのばね材６３が中立位置Ｐ０よりもさらに圧縮した状態となる。
【0054】
また、第２操作部４０Ｂを回転させることでそのねじ軸４２を後退（上方へ移動）させたり、第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２を下方に移動させたりすると、第２操作部４０Ｂの位置が回転調整用プレート３０及び第２電動部５０Ｂに対して近接するように下降（矢印Ｆ２方向）する。このため、あおり調整用プレート２０の前端は第１軸線Ｏ１回りに上向き（矢印Ｆ３方向）に回動することになる。つまり、あおり調整用プレート２０の前端に固定されるカメラ２は上向きに所定のあおり角度θ１をもって回動した位置（二点鎖線Ｐ２）となる。なお、あおり調整用プレート２０後端が下がることにより、第２付勢部材６０Ｂのばね材６３が中立位置Ｐ０よりもさらに伸びた状態となる。
【0055】
このように、あおり調整用プレート２０をあおり調整機構２１により適宜回動させることにより、第１軸線Ｏ１を中心としたカメラ２（特にラインセンサ３の素子面３ａ）のあおり角度θ１を調整することができる。
【0056】
また、回転調整用プレート３０上に設けられている第１操作部４０Ａを回転させたり、基準プレート１１上に設けられている第１電動部５０Ａの昇降ピン５２（図６等参照）を移動させたりすると、この回転調整用プレート３０が第２軸線Ｏ２を中心にして回転する。
具体的には、回転調整用プレート３０の幅方向（走査方向Ｘに平行な方向）の一端側（図４で紙面に向かって下側、図１２で紙面に向かって左側）に設けられている第１操作部４０Ａのねじ軸４２（図６等参照）を前進（下方へ移動）させたり、第１電動部５０Ａの昇降ピン５２を上方に移動させたりすると、第１操作部４０Ａの位置が基準プレート１１及び第１電動部５０Ａに対して離反する方向に持ち上がる。このため、図１２に示すように、回転調整用プレート３０の一端側が持ち上がって、回転調整用プレート３０が第２軸線Ｏ２回りに一方向（図１２の正面視で時計回りの矢印Ｆ５方向）に回動することになる。つまり、回転調整用プレート３０にあおり調整用プレート２０を介して固定されるカメラ２は一方向（矢印Ｆ５方向）に所定の回転角度θ２をもって回動した位置（二点鎖線Ｐ３）となる。図１２において、符号Ｐ０のカメラ２の位置は、中立位置、すなわち回転角度θ２が０となる位置を示している。なお、回転調整用プレート３０の一端側が持ち上がることにより、回転調整用プレート３０上に設けられる第１付勢部材６０Ａのばね材６３が中立位置Ｐ０よりもさらに圧縮した状態となる。
具体的には、回転調整用プレート３０の幅方向（走査方向Ｘに平行な方向）の一端側（図４で紙面に向かって下側、図１２で紙面に向かって左側）に設けられている第１操作部４０Ａのねじ軸４２（図６等参照）を前進（下方へ移動）させたり、第１電動部５０Ａの昇降ピン５２を上方に移動させたりすると、第１操作部４０Ａの位置が基準プレート１１及び第１電動部５０Ａに対して離反する方向に持ち上がる。このため、図１２に示すように、回転調整用プレート３０の一端側が持ち上がって、回転調整用プレート３０が第２軸線Ｏ２回りに一方向（図１２の正面視で時計回りの矢印Ｆ５方向）に回動することになる。つまり、回転調整用プレート３０にあおり調整用プレート２０を介して固定されるカメラ２は一方向（矢印Ｆ５方向）に所定の回転角度θ２をもって回動した位置（二点鎖線Ｐ３）となる。図１２において、符号Ｐ０のカメラ２の位置は、中立位置、すなわち回転角度θ２が０となる位置を示している。なお、回転調整用プレート３０の一端側が持ち上がることにより、回転調整用プレート３０上に設けられる第１付勢部材６０Ａのばね材６３が中立位置Ｐ０よりもさらに圧縮した状態となる。
【0057】
また、第１操作部４０Ａを回転させることでそのねじ軸４２を後退（上方へ移動）させたり、第１電動部５０Ａの昇降ピン５２を下方に移動させたりすると、第１操作部４０Ａの位置が基準プレート１１及び第１電動部５０Ａに対して近接するように下降する。このため、図１２に示すように、回転調整用プレート３０の幅方向の一端側が下がり、回転調整用プレート３０が第２軸線Ｏ２回りに他方向（図１２の正面視で反時計回りの矢印Ｆ６方向）に回動することになる。つまり、回転調整用プレート３０にあおり調整用プレート２０を介して固定されるカメラ２の位置は、他方向（矢印Ｆ６方向）に所定の回転角度θ２をもって回動した位置（二点鎖線Ｐ４）となる。なお、回転調整用プレート３０の一端側が下がることにより、第１付勢部材６０Ａのばね材６３が中立位置Ｐ０よりもさらに伸びた状態となる。
【0058】
このように、回転調整用プレート３０を回転調整機構３１により適宜回動させることにより、第２軸線Ｏ２を中心としたカメラ２（特にラインセンサ３の素子面３ａ）の回転角度θ２を調整することができる。
【0059】
このとき、あおり調整用プレート２０と回転調整用プレート３０とが回転可能に支持されているので、カメラ２に対してあおり角度θ１と回転角度θ２との２軸の調整を同時に行うことができる。
【0060】
そして、あおり調整用プレート２０と回転調整用プレート３０とが重なって配置されているため、それぞれのプレート２０、３０に配置されるあおり調整機構２１と回転調整機構３１とをそれぞれ同じ方向から操作して、上述したあおり角度θ１と回転角度θ２との２軸の調整を行うことが可能である。
【0061】
また、基準プレート１１とあおり調整用プレート２０と回転調整用プレート３０とが積層された状態で同一方向に重なって配置されるので、角度調整装置１０を備えたカメラ２全体の小型化が図れる。
【0062】
以上説明したように、本実施形態のラインセンサカメラの角度調整装置では、あおり調整機構２１が、あおり調整用プレート２０の回転を手動で操作する第２操作部４０Ｂと、あおり調整用プレート２０の回転を電動で駆動する第２電動部５０Ｂと、を有する。また、回転調整機構３１が、回転調整用プレート３０の回転を手動で操作する第１操作部４０Ａと、回転調整用プレート３０の回転を電動で駆動する第１電動部５０Ａを有する。このため、各電動部５０Ｂ、５０Ａによりあおり調整用プレート２０、回転調整用プレート３０を回転させることで、カメラ２から離れた位置においてその角度（あおり角度θ１、回転角度θ２）を調整することが可能となる。すなわち、カメラ２の角度を遠隔で容易に調整することができる。また、各電動部５０Ｂ、５０Ａや当該各電動部５０Ｂ、５０Ａに電力を供給する電源などの電気系統に不具合が生じても、各操作部４０Ｂ、４０Ａを手動で操作することで、カメラ２の角度（あおり角度、回転角度）を調整することができる。
【0063】
また、本実施形態のラインセンサカメラの角度調整装置では、第２操作部４０Ｂ及び第２電動部５０Ｂの何れを用いても、あおり調整用プレート２０を同一の第１軸線Ｏ１を中心に回転させることができる。同様に、第１操作部４０Ａ及び第１電動部５０Ａの何れを用いても、回転調整用プレート３０を同一の第２軸線Ｏ２を中心に回転させることができる。これにより、操作部４０Ｂ，４０Ａ及び電動部５０Ｂ，５０Ａの何れを用いても、同じ調整を行うことが可能となる。
【0064】
また、本実施形態のラインセンサカメラの角度調整装置では、あおり調整機構２１の第２操作部４０Ｂのねじ軸４２の下端と第２電動部５０Ｂの昇降ピン５２の上端とが当接している。このため、第２操作部４０Ｂにより手動であおり角度θ１を調整した後の状態を基準として、第２電動部５０Ｂによってあおり角度θ１をさらに調整することができる。同様に、第２電動部５０Ｂによってあおり角度θ１を調整した後の状態を基準として、第２操作部４０Ｂによってあおり角度θ１をさらに調整することもできる。
【0065】
また、本実施形態のラインセンサカメラの角度調整装置では、回転調整機構３１の第１操作部４０Ａのねじ軸４２の下端と第１電動部５０Ａの昇降ピン５２の上端とが当接している。このため、第１操作部４０Ａにより手動で回転角度θ２を調整した後の状態を基準として、第１電動部５０Ａによって回転角度θ２をさらに調整することができる。同様に、第１電動部５０Ａによって回転角度θ２を調整した後の状態を基準として、第１操作部４０Ａによって回転角度θ２をさらに調整することもできる。
【0066】
また、本実施形態のラインセンサカメラの角度調整装置では、電動部５０Ｂ、５０Ａの運動変換部５３を構成するウォームホイール５３２が、２つの機能を有する。ウォームホイール５３２の１つ目の機能は、ウォームギヤ５３１に噛み合うことでモータ５１による回転運動の軸線の向きを変換する機能である。ウォームホイール５３２の２つ目の機能は、ウォームホイール５３２の内周に形成された雌ねじ５３６によって回転運動を昇降ピン５２の直線運動に変換する機能である。ウォームホイール５３２がこれら２つの機能を有することで、運動変換部５３の構成部品点数を減らして、電動部５０Ｂ、５０Ａのコンパクト化を図ることができる。電動部５０Ｂ、５０Ａのコンパクト化を図ることで、特許文献１（特開２０１２－１０７９０３号公報）に記載された手動のみの角度調整装置に対して、その外形寸法を変えることなく、電動部５０Ｂ、５０Ａを簡単に設けることが可能となる。
【0067】
また、本実施形態のラインセンサカメラの角度調整装置では、電動部５０Ｂ、５０Ａにおける昇降ピン５２の移動速度を小さく抑えることができる。このため、電動部５０Ｂ、５０Ａでは、操作部４０Ｂ、４０Ａ（すなわち手動）と比較して、カメラ２の角度（あおり角度θ１、回転角度θ２）をより細かく調整することが可能となる。これにより、本実施形態の角度調整装置では、例えば、カメラ２の角度の大まかな調整（粗調整）を操作部４０Ｂ、４０Ａで行い、カメラ２の角度の細かい調整（微調整）を電動部５０Ｂ、５０Ａで行うことができる。
【0068】
〔第二実施形態〕
次に、主に図１３を参照して本発明の第二実施形態について説明する。第二実施形態においては、第一実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
次に、主に図１３を参照して本発明の第二実施形態について説明する。第二実施形態においては、第一実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【0069】
図示しないが、第二実施形態に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、図３～１０に示す第一実施形態と同様に、基準プレート１１と、あおり調整用プレート２０と、あおり調整機構２１と、回転調整用プレート３０と、回転調整機構３１と、を備える。また、あおり調整機構２１及び回転調整機構３１は、それぞれ第一実施形態と同様の第１、第２電動部５０Ａ、５０Ｂを備える。さらに、第１、第２電動部５０Ａ、５０Ｂは、モータ５１、昇降ピン５２及び運動変換部５３を備える。運動変換部５３は、ウォームギヤ５３１（第１ギヤ）、ウォームホイール５３２（第２ギヤ）及び変換機構５３９を備える。変換機構５３９は、第一実施形態と同様に、ウォームホイール５３２の回転をウォームホイール５３２の内側に配置された昇降ピン５２の直線的な移動に変換する。
第二実施形態においては、図１３に示すように、変換機構５３９の具体的な構成が、第一実施形態と相違する。以下、この相違点について説明する。
第二実施形態においては、図１３に示すように、変換機構５３９の具体的な構成が、第一実施形態と相違する。以下、この相違点について説明する。
【0070】
第二実施形態の変換機構５３９は、回転規制部５３９１と、挿入部５３９２と、を有する。
回転規制部５３９１は、昇降ピン５２がウォームホイール５３２に対して第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向（図１３において上下方向）に移動することを許容する。また、回転規制部５３９１は、昇降ピン５２がウォームホイール５３２に対して第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転することを規制する。具体的に、回転規制部５３９１は、ウォームホイール５３２の内周から径方向に突出する回り止めピン５３７と、昇降ピン５２に形成された長孔状のガイド穴５３８と、によって構成されている。これにより、昇降ピン５２は、ウォームホイール５３２と共に第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転し、ウォームホイール５３２に対して第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向に移動することができる。
回転規制部５３９１は、昇降ピン５２がウォームホイール５３２に対して第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向（図１３において上下方向）に移動することを許容する。また、回転規制部５３９１は、昇降ピン５２がウォームホイール５３２に対して第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転することを規制する。具体的に、回転規制部５３９１は、ウォームホイール５３２の内周から径方向に突出する回り止めピン５３７と、昇降ピン５２に形成された長孔状のガイド穴５３８と、によって構成されている。これにより、昇降ピン５２は、ウォームホイール５３２と共に第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転し、ウォームホイール５３２に対して第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向に移動することができる。
【0071】
挿入部５３９２は、ウォームホイール５３２を回転可能に支持するケース下壁５４１（ベース）に設けられている。挿入部５３９２は、第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向において昇降ピン５２の内部に挿入される。挿入部５３９２は、その外周に形成された雄ねじ５３３を有する。挿入部５３９２の雄ねじ５３３は、昇降ピン５２の内周に形成された雌ねじ５３６に噛み合う。
【0072】
以上のように構成される本実施形態の変換機構５３９では、昇降ピン５２の雌ねじ５３６が挿入部５３９２の雄ねじ５３３に噛み合う。これにより、ウォームホイール５３２がケース５４に対して第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転した際には、昇降ピン５２がウォームホイール５３２と共に第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転しながら、ウォームホイール５３２やケース５４に対して第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向に移動することができる。
【0073】
第二実施形態のラインセンサカメラの角度調整装置によれば、第一実施形態と同様の効果を奏する。
また、第二実施形態の角度調整装置では、ウォームホイール５３２の回転運動を昇降ピン５２の直線運動に変換するための構成（ウォームホイール５３２の回り止めピン、昇降ピン５２のガイド穴５３８及び雌ねじ５３６、挿入部５３９２）が、環状とされたウォームホイール５３２の内周側の部分に集約されている。これにより、電動部５０Ｂ、５０Ａのコンパクト化を図ることができる。電動部５０Ｂ、５０Ａのコンパクト化を図ることで、特許文献１（特開２０１２－１０７９０３号公報）に記載された手動のみの角度調整装置に対して、その外形寸法を変えることなく、電動部５０Ｂ、５０Ａを簡単に設けることが可能となる。
また、第二実施形態の角度調整装置では、ウォームホイール５３２の回転運動を昇降ピン５２の直線運動に変換するための構成（ウォームホイール５３２の回り止めピン、昇降ピン５２のガイド穴５３８及び雌ねじ５３６、挿入部５３９２）が、環状とされたウォームホイール５３２の内周側の部分に集約されている。これにより、電動部５０Ｂ、５０Ａのコンパクト化を図ることができる。電動部５０Ｂ、５０Ａのコンパクト化を図ることで、特許文献１（特開２０１２－１０７９０３号公報）に記載された手動のみの角度調整装置に対して、その外形寸法を変えることなく、電動部５０Ｂ、５０Ａを簡単に設けることが可能となる。
【0074】
〔第三実施形態〕
次に、主に図１４～１６を参照して本発明の第三実施形態について説明する。第三実施形態においては、第一実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
次に、主に図１４～１６を参照して本発明の第三実施形態について説明する。第三実施形態においては、第一実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【0075】
図示しないが、第三実施形態に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、図３～５に示す第一実施形態と同様に、基準プレート１１と、あおり調整用プレート２０と、あおり調整機構２１と、回転調整用プレート３０と、回転調整機構３１と、を備える。また、あおり調整機構２１及び回転調整機構３１は、それぞれ第一実施形態と同様の第１、第２操作部４０Ａ、４０Ｂ及び第１、第２電動部５０Ａ、５０Ｂを備える。
第三実施形態においては、第１、第２電動部５０Ａ、５０Ｂの具体的な構成が、第一実施形態と異なる。以下、この相違点について説明する。
第三実施形態においては、第１、第２電動部５０Ａ、５０Ｂの具体的な構成が、第一実施形態と異なる。以下、この相違点について説明する。
【0076】
図１４～１６に示すように、第三実施形態の第１、第２電動部５０Ａ、５０Ｂは、それぞれモータ５１、ウォームギヤ５３１（第１ギヤ）及びウォームホイール５３２（第２ギヤ）を備える。モータ５１及びウォームギヤ５３１は、第一実施形態と同様である。
【0077】
ウォームホイール５３２は、円環状に形成されている。ウォームホイール５３２は、その外周がウォームギヤ５３１に噛み合うことでウォームギヤ５３１の回転に応じて、電動部５０Ａ，５０Ｂが配置されるプレート（基準プレート１１、回転調整用プレート３０）の厚さ方向を第２回転軸線５３２Ｏとして回転する。
【0078】
具体的に、ウォームホイール５３２は、ケース５４のケース下壁５４１及びケース上壁５４２に対してラジアル軸受５６によって第２回転軸線５３２Ｏを中心に回転可能に支持された軸部材５７に固定されている。これにより、ウォームホイール５３２がケース５４に対して回転自在に取り付けられている。
【0079】
上方（回転調整用プレート３０、あおり調整用プレート２０側）に向くウォームホイール５３２の端面５３２ａ（図１４～１６において上面）は、第２回転軸線５３２Ｏに対して傾斜する平坦面に形成されている。すなわち、ウォームホイール５３２の端面５３２ａは、第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向における高さ位置がウォームホイール５３２の周方向において変化するように形成されている。
【0080】
各調整機構３１，２１の操作部４０Ａ，４０Ｂ（第１、第２操作部４０Ａ、４０Ｂ）のねじ軸４２は、電動部５０Ａ，５０Ｂの上方に位置するプレート（回転調整用プレート３０又はあおり調整用プレート２０）の下方に貫通し、第２回転軸線５３２Ｏから離れた位置においてウォームホイール５３２の端面５３２ａに当接する。ケース５４のケース上壁５４２には、ねじ軸４２を通すための貫通孔５４２１が形成されている。
【0081】
以上のように構成される第三実施形態の角度調整装置では、電動部５０Ａ，５０Ｂのモータ５１の回転に伴ってウォームホイール５３２が回転することで、傾斜したウォームホイール５３２の端面５３２ａに当接する操作部４０Ａ，４０Ｂが第２回転軸線５３２Ｏに沿う方向に移動する。これにより、第一実施形態の場合と同様に、電動部５０Ａ，５０Ｂの上方に位置するプレート（回転調整用プレート３０又はあおり調整用プレート２０）が、電動部５０Ａ，５０Ｂを配置したプレート（基準プレート１１又は回転調整用プレート３０）に対して回動する。
【0082】
第三実施形態のラインセンサカメラの角度調整装置によれば、第一実施形態と同様の効果を奏する。
すなわち、第三実施形態の角度調整装置では、あおり調整機構２１の第２操作部４０Ｂのねじ軸４２が第２電動部５０Ｂの傾斜したウォームホイール５３２の端面５３２ａに当接している。このため、第２操作部４０Ｂにより手動であおり角度θ１（図１１参照）を調整した後の状態を基準として、第２電動部５０Ｂによってあおり角度θ１をさらに調整することができる。同様に、第２電動部５０Ｂによってあおり角度θ１を調整した後の状態を基準として、第２操作部４０Ｂによってあおり角度θ１をさらに調整することもできる。
すなわち、第三実施形態の角度調整装置では、あおり調整機構２１の第２操作部４０Ｂのねじ軸４２が第２電動部５０Ｂの傾斜したウォームホイール５３２の端面５３２ａに当接している。このため、第２操作部４０Ｂにより手動であおり角度θ１（図１１参照）を調整した後の状態を基準として、第２電動部５０Ｂによってあおり角度θ１をさらに調整することができる。同様に、第２電動部５０Ｂによってあおり角度θ１を調整した後の状態を基準として、第２操作部４０Ｂによってあおり角度θ１をさらに調整することもできる。
【0083】
また、第三実施形態の角度調整装置では、回転調整機構３１の第１操作部４０Ａのねじ軸４２が第１電動部５０Ａの傾斜したウォームホイール５３２の端面５３２ａに当接している。このため、第１操作部４０Ａにより手動で回転角度θ２（図１２参照）を調整した後の状態を基準として、第１電動部５０Ａによって回転角度θ２をさらに調整することができる。同様に、第１電動部５０Ａによって回転角度θ２を調整した後の状態を基準として、第１操作部４０Ａによって回転角度θ２をさらに調整することもできる。
【0084】
以上、本発明によるラインセンサカメラの角度調整装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【0085】
例えば、上記の実施形態では、第１回転軸線５３１Ｏを中心とする回転運動を、第２回転軸線５３２Ｏを中心とする回転運動に変換するギヤ機構が、ウォームギヤ５３１及びウォームホイール５３２の２つのギヤによって構成されているが、これに限定されることはない。上記のギヤ機構は、例えば２つのかさ歯車によって構成されてもよい。
【0086】
また、上記の実施形態では、あおり調整用プレート２０（一方のプレート）をカメラ２に固定し、上から下にあおり調整用プレート２０、回転調整用プレート３０（他方のプレート）、基準プレート１１を順番に重ねて配置させた構成としているが、これに限定されることはない。本発明では、例えば回転調整用プレート３０（一方のプレート）をカメラ２に固定してもよい。この場合には、上から下に回転調整用プレート３０、あおり調整用プレート２０（他方のプレート）、基準プレート１１が順番に重ねて配置される。また、回転調整機構３１の第１電動部５０Ａは、回転調整用プレート３０の下方に位置するあおり調整用プレート２０（別のプレート）の上面２０ａ側に設けられる。また、あおり調整機構２１の第２電動部５０Ｂは、あおり調整用プレート２０の下方に位置する基準プレート１１（別のプレート）の上面１１ａ側に設けられる。
【0087】
また、あおり調整機構２１、回転調整機構３１の構成についても、上記の実施形態に制限されることはなく、適宜な構造とすることが可能である。例えば、付勢部材６０Ａ，６０Ｂのばね材には、コイルばねでなく、板ばね等を採用してもよい。
【0088】
上述した第一、第二実施形態では、電動部５０Ｂ、５０Ａ（特に運動変換部５３）の構造として、送りねじ（昇降ピン５２及びウォームホイール５３２）によるスクリュージャッキ方式の構造が採用されている。また、上述した第三実施形態では、電動部５０Ｂ、５０Ａの構造として、テーパ面（端面５３２ａ）のスライド構造のレベリングブロック方式の傾斜する平坦面を用いた構造が採用されている。ただし、電動部５０Ｂ、５０Ａの構造は、少なくとも操作部４０Ｂ、４０Ａ（ねじ軸４２）の下端に当接して、あおり調整用プレート２０や回転調整用プレート３０を電動で昇降することが可能な構造であればよい。本発明においては、電動部５０Ｂ、５０Ａの構造が、例えばパンタグラフによるジャッキ方式の構造、偏心カムによる揺動方式の構造などであってもよい。
【0089】
また、本発明において、電動部及び操作部の両方は、少なくともあおり調整機構２１及び回転調整機構３１のうち少なくとも一方が備えていればよい。
【0090】
さらに、上述した実施形態では、第２軸線Ｏ２の位置を前方から見てレンズ４の中心軸（光軸Ｌ）を中心として第１軸線Ｏ１に対して斜め下方４５度としているが、この位置に制限されることはない。
また、各プレート１１、２０、３０の形状なども、カメラ２の大きさ、形状等の条件に対応して適宜変更することが可能である。
また、各プレート１１、２０、３０の形状なども、カメラ２の大きさ、形状等の条件に対応して適宜変更することが可能である。
【0091】
また、各プレート上の操作部と付勢部材との位置関係に制限されることもない。例えば、上述した実施形態において、回転調整機構３１の第１付勢部材６０Ａは、第１操作部４０Ａよりも前方側に位置しているが、後方側であっても良い。あおり調整機構２１の第２付勢部材６０Ｂの場合も同様で、第２操作部４０Ｂよりも後方であることに制限されず、前方側に位置していても良い。
【符号の説明】
【0092】
１ 欠陥検査装置
２ カメラ（ラインセンサカメラ）
３ ラインセンサ
３ａ 素子面
４ レンズ
５ カメラ本体
６ 支持台
７ 照明装置
８ 検査対象物
９ 軸ピン押さえ部材
１０ 角度調整装置
１１ 基準プレート
１１ａ 上面
１２ 第１前壁
１２ａ 凹部
１３ 第１後壁
１３ａ 凹部
２０ あおり調整用プレート
２０ａ 上面
２１ あおり調整機構
２２ 第２側壁
２３ あおり軸ピン
３０ 回転調整用プレート
３０ａ 上面
３１ 回転調整機構
３２ 第２前壁
３３ 第２後壁
３４ 第１側壁
３４ａ 凹部
３５ 第１回転軸ピン
３６ 第２回転軸ピン
４０Ａ 第１操作部
４０Ｂ 第２操作部
４１ 本体部
４２ ねじ軸
４３ ロック機構
５０Ａ 第１電動部
５０Ｂ 第２電動部
５１ モータ
５１Ｏ 回転軸
５２ 昇降ピン
５３ 運動変換部
５４ ケース
５５ アキシャル軸受
５６ ラジアル軸受
５７ 軸部材
６０Ａ 第１付勢部材
６０Ｂ 第２付勢部材
６１ ボルト
６２ ナット
６３ ばね材
５３１ ウォームギヤ（第１ギヤ）
５３１Ｏ 第１回転軸線
５３２ ウォームホイール（第２ギヤ）
５３２ａ 端面
５３２Ｏ 第２回転軸線
５３３ 雄ねじ
５３４ 回転規制部
５３６ 雌ねじ
５３７ 回り止めピン
５３８ ガイド穴
５３９ 変換機構
５３９１ 回転規制部
５３９２ 挿入部
５４１ ケース下壁（ベース）
５４２ ケース上壁
５４２１ 貫通孔
５４３ ケース周壁
Ｌ 光軸
Ｘ 走査方向
Ｙ 上下方向
Ｏ１ 第１軸線
Ｏ２ 第２軸線
２ カメラ（ラインセンサカメラ）
３ ラインセンサ
３ａ 素子面
４ レンズ
５ カメラ本体
６ 支持台
７ 照明装置
８ 検査対象物
９ 軸ピン押さえ部材
１０ 角度調整装置
１１ 基準プレート
１１ａ 上面
１２ 第１前壁
１２ａ 凹部
１３ 第１後壁
１３ａ 凹部
２０ あおり調整用プレート
２０ａ 上面
２１ あおり調整機構
２２ 第２側壁
２３ あおり軸ピン
３０ 回転調整用プレート
３０ａ 上面
３１ 回転調整機構
３２ 第２前壁
３３ 第２後壁
３４ 第１側壁
３４ａ 凹部
３５ 第１回転軸ピン
３６ 第２回転軸ピン
４０Ａ 第１操作部
４０Ｂ 第２操作部
４１ 本体部
４２ ねじ軸
４３ ロック機構
５０Ａ 第１電動部
５０Ｂ 第２電動部
５１ モータ
５１Ｏ 回転軸
５２ 昇降ピン
５３ 運動変換部
５４ ケース
５５ アキシャル軸受
５６ ラジアル軸受
５７ 軸部材
６０Ａ 第１付勢部材
６０Ｂ 第２付勢部材
６１ ボルト
６２ ナット
６３ ばね材
５３１ ウォームギヤ（第１ギヤ）
５３１Ｏ 第１回転軸線
５３２ ウォームホイール（第２ギヤ）
５３２ａ 端面
５３２Ｏ 第２回転軸線
５３３ 雄ねじ
５３４ 回転規制部
５３６ 雌ねじ
５３７ 回り止めピン
５３８ ガイド穴
５３９ 変換機構
５３９１ 回転規制部
５３９２ 挿入部
５４１ ケース下壁（ベース）
５４２ ケース上壁
５４２１ 貫通孔
５４３ ケース周壁
Ｌ 光軸
Ｘ 走査方向
Ｙ 上下方向
Ｏ１ 第１軸線
Ｏ２ 第２軸線
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【手続補正書】
【提出日】2022-08-09
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接するラインセンサカメラの角度調整装置。
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接するラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項2】
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接する請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接する請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項3】
ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接するラインセンサカメラの角度調整装置。
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接するラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項4】
前記運動変換部は、
前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、
外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記昇降ピンの直線的な移動方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、
前記第２ギヤの回転を前記第２ギヤの内側に配置された前記昇降ピンの直線的な移動に変換する変換機構と、を備える請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、
外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記昇降ピンの直線的な移動方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、
前記第２ギヤの回転を前記第２ギヤの内側に配置された前記昇降ピンの直線的な移動に変換する変換機構と、を備える請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項5】
ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、
上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、
前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接するラインセンサカメラの角度調整装置。
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、
上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、
前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接するラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項6】
ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、
上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接するラインセンサカメラの角度調整装置。
基準プレートと、
前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、
前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、
前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、
前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、
上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、
前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、
前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接するラインセンサカメラの角度調整装置。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0007】
本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、基準プレートと、前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、を備え、前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接することを特徴とする。
また、本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、基準プレートと、前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、を備え、前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接することを特徴とする。
また、本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、基準プレートと、前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、を備え、前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記あおり調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記回転調整用プレートのいずれか一方であって、前記あおり調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、前記あおり調整機構の前記操作部は、前記あおり調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記あおり調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記あおり調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接することを特徴とする。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0008】
これらの構成によれば、同一の第１プレート（あおり調整用プレート、回転調整用プレート）を手動及び電動の両方で回転させることができる。このため、電動部により第１プレートを回転させることで、ラインセンサカメラから離れた位置においてその角度（あおり角度、回転角度）を調整することが可能となる。すなわち、ラインセンサカメラの角度を遠隔で容易に調整することができる。また、電動部や当該電動部に電力を供給する電源などの電気系統に不具合が生じても、操作部を手動で操作することで、ラインセンサカメラの角度を調整することができる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0011】
また、これらの構成では、操作部により手動であおり角度を調整した後の状態を基準として、電動部によってあおり角度をさらに調整することができる。同様に、電動部によってあおり角度を調整した後の状態を基準として、操作部によってあおり角度をさらに調整することもできる。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0012】
また、本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、基準プレートと、前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、を備え、前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記別のプレートに対してその厚さ方向に直線的に移動可能とされた昇降ピンと、前記モータの回転運動を前記昇降ピンの直線運動に変換する運動変換部と、を備え、前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記昇降ピンの上端に当接することを特徴とする。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0013】
また、本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、ラインセンサを備えるラインセンサカメラの角度調整装置であって、基準プレートと、前記ラインセンサの素子面に沿う前記ラインセンサの走査方向に平行する第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、該あおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、ラインセンサの素子面の法線方向に平行する第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、該回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、を備え、前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが、前記ラインセンサカメラに固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、前記他方のプレートが、前記基準プレートに対して回転可能に支持され、前記あおり調整機構及び前記回転調整機構のうち少なくとも一方の調整機構は、前記あおり調整用プレート及び前記回転調整用プレートのうち第１プレートの回転を手動で操作する操作部、及び、前記第１プレートの回転を電動で駆動する電動部、を有し、前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、及び、前記回転調整用プレートは、これらプレートの厚さ方向に重ねて配置され、前記回転調整機構の前記電動部は、前記基準プレート及び前記あおり調整用プレートのいずれか一方であって、前記回転調整用プレートの下方に位置する別のプレートの上面側に設けられ、前記電動部は、電力によって回転駆動するモータと、前記モータの回転に応じて前記別のプレートの上面に沿う方向を第１回転軸線として回転する第１ギヤと、外周が前記第１ギヤに噛み合うことで前記第１ギヤの回転に応じて前記別のプレートの厚さ方向に平行する第２回転軸線として回転する円環状に形成された第２ギヤと、を備え、上方に向く前記第２ギヤの端面が、前記第２回転軸線に対して傾斜する平坦面に形成され、前記回転調整機構の前記操作部は、前記回転調整用プレートの上面側に設けられて手動で操作される本体部と、当該本体部の操作に応じて前記本体部に対して前記回転調整用プレートの厚さ方向に移動可能とされたねじ軸と、を備えるマイクロメータヘッドであり、前記ねじ軸は、前記回転調整用プレートの下方に貫通し、前記第２回転軸線から離れた位置において前記第２ギヤの端面に当接することを特徴とする。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0014】
これらの構成によれば、同一の第１プレート（あおり調整用プレート、回転調整用プレート）を手動及び電動の両方で回転させることができる。このため、電動部により第１プレートを回転させることで、ラインセンサカメラから離れた位置においてその角度（あおり角度、回転角度）を調整することが可能となる。すなわち、ラインセンサカメラの角度を遠隔で容易に調整することができる。また、電動部や当該電動部に電力を供給する電源などの電気系統に不具合が生じても、操作部を手動で操作することで、ラインセンサカメラの角度を調整することができる。
また、これらの構成では、操作部により手動で回転角度を調整した後の状態を基準として、電動部によって回転角度をさらに調整することができる。同様に、電動部によって回転角度を調整した後の状態を基準として、操作部によって回転角度をさらに調整することができる。
また、これらの構成では、操作部により手動で回転角度を調整した後の状態を基準として、電動部によって回転角度をさらに調整することができる。同様に、電動部によって回転角度を調整した後の状態を基準として、操作部によって回転角度をさらに調整することができる。