特開2023-4871真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット

発明の名称　真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット

出願人　株式会社ティーイーエス　（識別番号 513217252）

　　　　特許公開件数ランキング 30110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 8891 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-4871

公報発行日　2023年1月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-4871

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