特開2023-49387インピーダンス整合器および高周波電源システム

発明の名称　インピーダンス整合器および高周波電源システム

出願人　株式会社ダイヘン　（識別番号 262）

　　　　特許公開件数ランキング 121 位（251件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 271 位（98件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-49387

公報発行日　2023年4月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-49387

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