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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023051504
(43)【公開日】2023-04-11
(54)【発明の名称】導電フィルム、接続構造体及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
H01R 11/01 20060101AFI20230404BHJP
H01R 43/00 20060101ALI20230404BHJP
H01B 5/16 20060101ALI20230404BHJP
【ＦＩ】
H01R11/01 501E
H01R43/00 H
H01B5/16
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021162240
(22)【出願日】2021-09-30
(71)【出願人】
【識別番号】000108410
【氏名又は名称】デクセリアルズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000224
【氏名又は名称】弁理士法人田治米国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】柄木田 充宏
(72)【発明者】
【氏名】工藤 克哉
【テーマコード（参考）】
5E051
5G307
【Ｆターム（参考）】
5E051CA03
5G307HA02
5G307HB03
5G307HC01
(57)【要約】
【課題】導電接続もしくは異方性導電接続の際に、樹脂流動に伴う導電粒子の移動を抑制することによってショートの発生を抑制し、接続構造体の信頼性を高めることが可能な導電フィルムもしくは異方性導電フィルムを提供する。
【解決手段】異方性導電フィルム１００は、第１樹脂層１０と、第２樹脂層２０と、第３樹脂層３０とがこの順に積層された絶縁樹脂層を有する。各層の最低溶融粘度は、第２樹脂層２０、第１樹脂層１０、第３樹脂層３０の順に高い。複数の導電粒子４０は、絶縁樹脂層中に分散され、少なくとも、第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０によって保持されている。導電フィルム１００は、第１樹脂層１０の厚みをＴｔ、第２樹脂層２０の厚みをＴｃ、導電粒子４０の平均粒子径をＤとしたとき、式（１）：
【数１】
の関係を満たす。
【選択図】図１
【解決手段】異方性導電フィルム１００は、第１樹脂層１０と、第２樹脂層２０と、第３樹脂層３０とがこの順に積層された絶縁樹脂層を有する。各層の最低溶融粘度は、第２樹脂層２０、第１樹脂層１０、第３樹脂層３０の順に高い。複数の導電粒子４０は、絶縁樹脂層中に分散され、少なくとも、第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０によって保持されている。導電フィルム１００は、第１樹脂層１０の厚みをＴｔ、第２樹脂層２０の厚みをＴｃ、導電粒子４０の平均粒子径をＤとしたとき、式（１）：
【数１】
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１樹脂層と第２樹脂層と第３樹脂層とがこの順に積層された積層構造を有する絶縁樹脂層と、該絶縁樹脂層中に分散された導電粒子と、を備えた導電フィルムであって、
絶縁樹脂層における各層の最低溶融粘度が第２樹脂層＞第１樹脂層＞第３樹脂層の順に高く、かつ、第２樹脂層の最低溶融粘度が１５００Ｐａ・ｓ以上８００００Ｐａ・ｓ以下の範囲内であり、
導電粒子は、少なくとも、第１樹脂層及び第２樹脂層によって保持されており、第１樹脂層の厚みをＴｔ、第２樹脂層の厚みをＴｃ、導電粒子の平均粒子径をＤとしたとき、下記式（１）：
の関係を満たす導電フィルム。
絶縁樹脂層における各層の最低溶融粘度が第２樹脂層＞第１樹脂層＞第３樹脂層の順に高く、かつ、第２樹脂層の最低溶融粘度が１５００Ｐａ・ｓ以上８００００Ｐａ・ｓ以下の範囲内であり、
導電粒子は、少なくとも、第１樹脂層及び第２樹脂層によって保持されており、第１樹脂層の厚みをＴｔ、第２樹脂層の厚みをＴｃ、導電粒子の平均粒子径をＤとしたとき、下記式（１）：
【数1】
【請求項2】
第２樹脂層の最低溶融粘度をＶｃ、第１樹脂層の最低溶融粘度をＶｔとしたとき、ＶｃがＶｔの１．５倍以上である請求項１に記載の導電フィルム。
【請求項3】
第２樹脂層の最低溶融粘度をＶｃ、第１樹脂層の最低溶融粘度をＶｔとしたとき、ＶｃがＶｔの４０倍以上である請求項１に記載の導電フィルム。
【請求項4】
第３樹脂層の厚みをＴｎとしたとき、Ｔｎ＞Ｔｃ＋Ｔｔの関係である請求項１に記載の導電フィルム。
【請求項5】
第１樹脂層及び第２樹脂層を構成する樹脂が、熱重合性樹脂である請求項１に記載の導電フィルム。
【請求項6】
導電粒子が格子状に規則配列している請求項１に記載の導電フィルム。
【請求項7】
異方性導電フィルムとして用いられる請求項１～６のいずれかに記載の導電フィルム。
【請求項8】
第１電子部品と第２電子部品とが導電接続されている接続構造体を製造する方法であって、
第１電子部品と第２電子部品を、請求項１～６のいずれかに記載の導電フィルムを介して圧着して導電接続することを特徴とする接続構造体の製造方法。
第１電子部品と第２電子部品を、請求項１～６のいずれかに記載の導電フィルムを介して圧着して導電接続することを特徴とする接続構造体の製造方法。
【請求項9】
導電接続が異方性導電接続である請求項８記載の接続構造体を製造する方法であって、
第１電子部品と第２電子部品を、請求項７記載の導電フィルムを介して圧着して異方性導電接続する、接続構造体の製造方法。
第１電子部品と第２電子部品を、請求項７記載の導電フィルムを介して圧着して異方性導電接続する、接続構造体の製造方法。
【請求項10】
第１電子部品と第２電子部品とが導電接続されている接続構造体であって、
第１電子部品と第２電子部品を、請求項１～６のいずれかに記載の導電フィルムを介して導電接続したことを特徴とする接続構造体。
第１電子部品と第２電子部品を、請求項１～６のいずれかに記載の導電フィルムを介して導電接続したことを特徴とする接続構造体。
【請求項11】
導電接続が異方性導電接続である請求項１０記載の接続構造体であって、
第１電子部品と第２電子部品を、請求項７記載の導電フィルムを介して圧着して異方性導電接続した、接続構造体。
第１電子部品と第２電子部品を、請求項７記載の導電フィルムを介して圧着して異方性導電接続した、接続構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、導電フィルム、それを用いる接続構造体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ＩＣチップやマイクロＬＥＤなどの電子部品の実装に、多数の導電粒子を絶縁性樹脂層中に分散させた導電フィルムが広く使用されており、このような導電フィルムには、導電方向が特定の方向に限定されないものと、導電方向が一定の方向に限定されるものが含まれており、後者の導電方向が一定の方向に限定されるものは、異方性導電フィルムとして知られている。導電フィルムでは、高実装密度に対応できるように、絶縁性樹脂層に導電粒子を高密度に分散させることが行われている。しかしながら、導電粒子の個数密度を高めることは、特に異方性導電フィルムの場合にはショートの発生要因となる。
【0003】
異方性導電接続による接続信頼性の確保とショートの発生を抑制するため、多層に積層した構造の絶縁樹脂層中に導電粒子を担持させることが提案されている。例えば、光重合性樹脂層の片面に導電粒子を単層で配置し、紫外線を照射することにより光重合樹脂に導電粒子を固定化し、更に固定化した導電粒子の周囲に、導電粒子に加わる応力の緩和層として中間絶縁性樹脂層を設け、その上に、熱又は光により重合する重合性樹脂層が積層している異方性導電フィルムが提案されている(特許文献１)。
【0004】
また、絶縁ベース層と中間層と粘着層とを積層して構成し、粘着層又は中間層のいずれかに導電粒子を保持させ、絶縁ベース層の溶融粘度よりも、中間層及び粘着層のそれぞれの溶融粘度を高くし、熱重合後の異方性導電フィルム全体の弾性率を所定の数値より高くした異方性導電フィルムも提案されている(特許文献２)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１５－１４７８２３号公報
【特許文献2】特開２０１７－２２０１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
導電フィルムを用いる導電接続時には、加熱加圧により、絶縁性樹脂層に比較的大きな樹脂流れが生じ、その流れに沿って導電粒子が移動しやすくなり、接続構造体の接続信頼性が低下しかねない。異方性導電フィルムの状態で導電粒子が整列配置されている場合であっても、樹脂流動により配列が乱れてしまう。また、樹脂流動に伴って導電粒子が隣接する突起状電極（以下、「バンプ」と記すことがある）の間に入り込んでショート発生の原因となり、接続構造体の信頼性が低下するという問題があった。
【0007】
従来技術である特許文献１及び特許文献２では、異方性導電接続時の樹脂流動の影響についても一応の注意が払われている。しかし、特許文献１の中間絶縁性樹脂層は、導電粒子への応力緩和を主目的とするものであり、特許文献２の中間層についても、導電粒子が隣接するバンプの間に入り込んでしまう現象を抑制し得るような機能については十分に検討されていない。
【0008】
また、近年では接続が多様化し、端子レイアウトが異方性導電接続とは言えなくなる場合もある。例えば、端子一つに導電フィルムを貼り付ける場合であるが、端子間の距離は極めて近い場合もあるので、この場合でも、端子間のショートや導通不良といった異方性導電フィルムと同様の課題が懸念される。
【0009】
従って、本発明の目的は、導電接続の際に、樹脂流動に伴う導電粒子の移動を抑制することによってショートの発生を抑制し、接続構造体の信頼性を高めることが可能な導電フィルムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明者らは、絶縁樹脂層を、第１樹脂層と第２樹脂層と第３樹脂層を有する少なくとも３層以上の積層構造とし、かつ、中間に介在する第２樹脂層を最低溶融粘度が相対的に高い高粘度の層とし、さらに、第１樹脂層と第２樹脂層の合計厚み（Ｔｔ＋Ｔｃ）を、導電粒子の平均粒子径との関係で特定の範囲内にすることによって、導電接続時に樹脂流動が発生しても第２樹脂層によって樹脂流動の影響が緩和され、導電粒子の移動を抑制できることを見出し、本発明を完成した。
【0011】
すなわち、本発明は、第１樹脂層と第２樹脂層と第３樹脂層とがこの順に積層された積層構造を有する絶縁樹脂層と、該絶縁樹脂層中に分散された導電粒子と、を備えた導電フィルムおよび異方性導電フィルムを提供する。なお、本発明において、導電フィルムは異方性導電フィルムを包含するものであるが、同じ導電フィルムであっても、接続対象によって、等方導電性を示す導電フィルムとして見なされ得る場合や、異方導電性を示す異方性導電フィルムとして見なされ得る場合があり、また、近年の電子部品の電極構成やレイアウト等の複雑化という技術の進歩という観点からも、それらの峻別が困難になる場合があることに留意されたい。
【0012】
本発明の導電フィルムは、絶縁樹脂層における各層の最低溶融粘度が、第２樹脂層＞第１樹脂層＞第３樹脂層の順に高く、かつ、第２樹脂層の最低溶融粘度が１５００Ｐａ・ｓ以上８００００Ｐａ・ｓ以下の範囲内である。第２樹脂層の最低溶融粘度を最も高くすることで、圧着時の第２接続層および第１接続層側に存在する導電粒子が、最低溶融粘度が最も低い第３接続層へ流動することや巻き込まれことを防止することが可能となる。
【0013】
また、本発明の導電フィルムにおいて、導電粒子は、少なくとも、第１樹脂層及び第２樹脂層によって保持されており、第１樹脂層の厚みをＴｔ、第２樹脂層の厚みをＴｃ、導電粒子の平均粒子径をＤとしたとき、下記式（１）の関係を満たす。
【0014】
【数1】
【0015】
さらに、本発明は、第１電子部品と第２電子部品とが導電接続されている接続構造体を製造する方法であって、
第１電子部品と第２電子部品を、上記導電フィルムを介して圧着して導電接続することを特徴とする接続構造体の製造方法、特に、導電接続が異方性導電接続であり、導電フィルムが異方性導電フィルムである、接続構造体の製造方法、並びに、第１電子部品と第２電子部品とが導電接続されている接続構造体であって、第１電子部品と第２電子部品を、上記導電フィルムを介して導電接続したことを特徴とする接続構造体、特に、導電接続が異方性導電接続であり、導電フィルムが異方性導電フィルムである、接続構造体を提供する。
第１電子部品と第２電子部品を、上記導電フィルムを介して圧着して導電接続することを特徴とする接続構造体の製造方法、特に、導電接続が異方性導電接続であり、導電フィルムが異方性導電フィルムである、接続構造体の製造方法、並びに、第１電子部品と第２電子部品とが導電接続されている接続構造体であって、第１電子部品と第２電子部品を、上記導電フィルムを介して導電接続したことを特徴とする接続構造体、特に、導電接続が異方性導電接続であり、導電フィルムが異方性導電フィルムである、接続構造体を提供する。
【発明の効果】
【0016】
本発明の導電フィルムによれば、導電接続の際の樹脂流動に伴う導電粒子の移動、特に導電粒子が隣接するバンプの間に入り込んでしまう現象、を効果的に抑制することが可能である。従って、本発明の導電フィルムを用いて導電接続した接続構造体において、ショートの発生を抑制することが可能となり、信頼性を高めることができる。この発明の効果は、導電フィルムを異方性導電フィルムとして使用して異方性導電接続した接続構造体において特に好ましいものである。導電フィルムであっても、圧着する際に不要な流動が生じないことから電極内での粒子の位置制御を高精度で行い得るという利点が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明の一実施の形態に係る導電（異方性導電）フィルムの断面図である。
【図2】本発明の別の実施の形態に係る導電（異方性導電）フィルムの断面図である。
【図3】本発明のさらに別の実施の形態に係る導電（異方性導電）フィルムの断面図である。
【図4】本発明のさらに別の実施の形態に係る導電（異方性導電）フィルムの断面図である。
【図5】従来の異方性導電フィルムを用いて異方性導電接続する直前の状態を説明する断面図である。
【図6】従来の異方性導電フィルムを用いて接続した接続構造体の断面図である。
【図7】本発明の異方性導電フィルムを用いて異方性導電接続する直前の状態を説明する断面図である。
【図8】本発明の異方性導電フィルムを用いて接続した接続構造体の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、適宜図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。異方性導電フィルムとして説明しているが導電フィルムにも同様に適用できるものとする。
【0019】
［異方性導電フィルム］
図１は、本発明の導電フィルムの一実施の形態に係る異方性導電フィルムの断面図である。図２～図４は、本発明の別の実施の形態に係る異方性導電フィルムの断面図である。図１～図４に例示する異方性導電フィルム１００は、第１樹脂層１０と、第２樹脂層２０と、第３樹脂層３０とがこの順に積層された構造の絶縁樹脂層を有する。複数の導電粒子４０は、絶縁樹脂層中に分散された状態で担持されている。具体的には、導電粒子４０は、少なくとも、第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０によって保持されている。
図１は、本発明の導電フィルムの一実施の形態に係る異方性導電フィルムの断面図である。図２～図４は、本発明の別の実施の形態に係る異方性導電フィルムの断面図である。図１～図４に例示する異方性導電フィルム１００は、第１樹脂層１０と、第２樹脂層２０と、第３樹脂層３０とがこの順に積層された構造の絶縁樹脂層を有する。複数の導電粒子４０は、絶縁樹脂層中に分散された状態で担持されている。具体的には、導電粒子４０は、少なくとも、第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０によって保持されている。
【0020】
＜導電粒子の位置＞
第１樹脂層１０の厚み方向における導電粒子４０の位置は、第１樹脂層１０又は第２樹脂層２０のいずれか片方に埋没している状態ではなく、図１～４に例示するように、第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０の両方に担持されていることが好ましい。つまり、導電粒子４０が第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０の両方に食い込んだ状態となっていることが好ましい。導電粒子４０が第１樹脂層１０又は第２樹脂層２０のいずれか片方の層中に埋没していると、電子部品を異方性導電接続した接続構造体の導通抵抗が高くなる場合があり、特に、導電粒子４０が第１樹脂層１０に埋包された状態にあると、後述するように高粘度の第２樹脂層２０によって異方性導電接続後の接続信頼性が低下する場合がある。
第１樹脂層１０の厚み方向における導電粒子４０の位置は、第１樹脂層１０又は第２樹脂層２０のいずれか片方に埋没している状態ではなく、図１～４に例示するように、第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０の両方に担持されていることが好ましい。つまり、導電粒子４０が第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０の両方に食い込んだ状態となっていることが好ましい。導電粒子４０が第１樹脂層１０又は第２樹脂層２０のいずれか片方の層中に埋没していると、電子部品を異方性導電接続した接続構造体の導通抵抗が高くなる場合があり、特に、導電粒子４０が第１樹脂層１０に埋包された状態にあると、後述するように高粘度の第２樹脂層２０によって異方性導電接続後の接続信頼性が低下する場合がある。
【0021】
一方、第２樹脂層２０中への導電粒子４０の食い込みの程度が大きすぎると、第２樹脂層２０による導電粒子４０の不動化作用が弱まり、異方性導電接続時の樹脂流動に伴って導電粒子４０が移動し、バンプによる導電粒子４０の捕捉率が低くなったり、導電粒子が隣接するバンプ間に入り込んでショートの発生原因となったりすることが懸念される。そのため、第２樹脂層２０への導電粒子４０の食い込みの程度は、好ましくは導電粒子４０の平均粒子径Ｄの１０％以上５０％以下の範囲内、より好ましくは２０％以上４０％以下の範囲内である。
【0022】
従って、導電粒子４０は、例えば図１に示すように、第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０に埋入し保持されていてもよい。なお、図１では、導電粒子４０が第１樹脂層１０と第２樹脂層２０に略均等に食い込んだ状態で担持されているが、第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０への食い込みの程度は異なっていてもよい。
【0023】
また、導電粒子４０は、例えば図２に示すように、第１樹脂層１０を貫通していてもよい。この場合、導電粒子４０は、第１樹脂層１０の露出面（第２樹脂層２０と接している面と反対側の面）から突出していてもよい。
【0024】
さらに、例えば図３に示すように、導電粒子４０が第２樹脂層２０を貫通し、導電粒子４０の一部分が第３樹脂層３０中に食い込んでいてもよい。ただし、第３樹脂層３０への導電粒子４０の食い込みの程度が大きすぎると、異方性導電接続時の樹脂流動に伴って導電粒子４０が移動し、バンプによる導電粒子４０の捕捉率が低くなったり、ショートの発生原因となったりすることが懸念される。そのため、導電粒子４０の第３樹脂層３０中への埋入の程度は、例えば、導電粒子４０の平均粒子径の０（埋入せず）％以上１０％以下の範囲内、より好ましくは０％以上５％以下の範囲内である。ここで、第１接続層と第２接続層の界面までに、導電粒子の平均粒子径の５０％以上が存在していることが好ましく、５５％以上がより好ましく、６０％以上が更により好ましい。
【0025】
なお、図示は省略するが、導電粒子４０は第１樹脂層１０及び第２樹脂層２０の両方を貫通していてもよい。即ち、第１接続層１０から導電粒子が露出している状態になる。
【0026】
また、導電粒子４０は、例えば図４に示すように、第２樹脂層２０と第３樹脂層３０との界面に達していなくてもよい。この場合、導電粒子４０の平均粒子径Ｄは、第１樹脂層１０の厚みと第２樹脂層２０の厚みの合計未満であってもよい。導電粒子４０の平均粒子径と各層の厚みとの関係については、以下のとおりである。
【0027】
＜導電粒子の平均粒子径と層厚みとの関係＞
異方性導電フィルム１００は、第１樹脂層１０の厚みをＴｔ、第２樹脂層２０の厚みをＴｃ、導電粒子４０の平均粒子径をＤとしたとき、下記式（１）の関係を満たすものである。
異方性導電フィルム１００は、第１樹脂層１０の厚みをＴｔ、第２樹脂層２０の厚みをＴｃ、導電粒子４０の平均粒子径をＤとしたとき、下記式（１）の関係を満たすものである。
【0028】
【数2】
【0029】
式（１）の関係を満たさず、第１樹脂層１０と第２樹脂層２０との厚みの和（Ｔｔ＋Ｔｃ）が、Ｄの４／３倍以上である場合は、異方性導電接続後の導通が不確実となり、接続信頼性が低下するおそれがある。同様の観点から、下記式（２）の関係を満たすことがより好ましく、下記式（３）の関係を満たすことが特に好ましい。
【0030】
【数3】
【0031】
なお、第１樹脂層１０と第２樹脂層２０との厚みの和（Ｔｔ＋Ｔｃ）が小さすぎる場合は、第１樹脂層１０と第２樹脂層２０による導電粒子４０の保持力が弱まり、第３樹脂層３０の樹脂流動に伴う導電粒子４０の位置変動を抑制する効果が十分に得られなくなることがある。そのため、導電粒子４０の平均粒子径Ｄを基準にしたときの第１樹脂層１０と第２樹脂層２０との厚みの和（Ｔｔ＋Ｔｃ）の下限は、第２樹脂層２０の最低溶融粘度の幅や、導電粒子４０の平均粒子径Ｄの幅を考慮にいれても、樹脂流動による導電粒子４０の位置変動を抑制する効果を発現するための最低限の合計厚みとして、例えば導電粒子４０の平均粒子径Ｄの０．８倍以上とすることが好ましい。つまり、下記式（４）の関係を満たすことが好ましい。
【0032】
【数4】
【0033】
第１樹脂層１０の厚みＴｔは、異方性導電フィルム１００の状態で導電粒子４０を確実に保持しておくため、導電粒子４０の平均粒子径Ｄとの比［（Ｔｔ／Ｄ）×１００］が５０％以上９０％以下の範囲内であることが好ましく、５０％以上８０％以下の範囲内であることがより好ましい。この場合、第１樹脂層１０の厚みＴｔに導電粒子が半分以上埋め込まれていることが好ましい。
【0034】
第２樹脂層２０の厚みＴｃは、導電粒子４０の平均粒子径Ｄとの比［（Ｔｃ／Ｄ）×１００］が、１０％以上５０％以下の範囲内であることが好ましく、２０％以上５０％以下の範囲内であることがより好ましく、１５％以上４０％以下の範囲内が特に好ましい。この比［（Ｔｃ／Ｄ）×１００］が１０％より小さいと、樹脂流動による導電粒子４０の位置変動を抑制する効果が十分に発揮できない場合があり、５０％より大きくなると、導電粒子の押し込みが不十分になり、高粘度の第２樹脂層２０によって、異方性導電接続後の導通性が損なわれる場合がある。
【0035】
また、第１樹脂層１０の厚みＴｔと第２樹脂層２０の厚みＴｃとの関係は、Ｔｔ≧Ｔｃであればよく、Ｔｔ＞Ｔｃであることが好ましい。第１樹脂層１０の厚みＴｔが第２樹脂層２０の厚みＴｃよりも小さくなると、導電粒子４０を保持する機能が低下したり、高粘度の第２樹脂層２０によって異方性導電接続後の導通性が損なわれたりする場合がある。
【0036】
なお、第２樹脂層２０の厚みＴｃの下限は、第２樹脂層２０の最低溶融粘度の幅や、導電粒子４０の平均粒子径Ｄの幅を考慮にいれても、樹脂流動による導電粒子４０の位置変動を抑制する効果を発現するための最低限の厚みとして、好ましくは０．１μｍ以上あればよく、より好ましくは１．２μｍ以上、特に好ましくは２．０μｍ以上である。これらは、粒子径との関係から定義されるものであり、粒子径によっては粒子の頂点部のみを覆う形態になる場合もある。上述した粒子径と厚みの関係で定義したものと、必ずしも一致する必要はない。粒子径と第３接続層の厚みや最低溶融粘度といった樹脂流動の影響によっては粒子の頂点部を覆うだけで発明の効果が得られることもある。
【0037】
さらに、第３樹脂層３０の厚みをＴｎとしたとき、異方性導電接続時におけるバンプ間への充填性と接続後の絶縁性を確保するため、ＴｎはＴｔ及びＴｃのそれぞれよりも十分に大きいことが好ましく、例えば、Ｔｎ＞Ｔｃ＋Ｔｔの関係が成り立つことがより好ましい。
【0038】
＜最低溶融粘度＞
絶縁樹脂層における各層の最低溶融粘度の関係は、第１樹脂層１０の最低溶融粘度をＶｔとし、第２樹脂層２０の最低溶融粘度をＶｃとし、第３樹脂層３０の最低溶融粘度をＶｎとしたとき、Ｖｃ＞Ｖｔ＞Ｖｎとなる。つまり、各層の最低溶融粘度は、第２樹脂層２０が最も高く、次に第１樹脂層１０が高く、第３樹脂層３０が最も低い。第２樹脂層２０の最低溶融粘度Ｖｃを最も高くすることによって、異方性導電接続時の第３樹脂層３０の樹脂流動に伴う導電粒子４０の位置変動への影響を効果的に抑制できる。
絶縁樹脂層における各層の最低溶融粘度の関係は、第１樹脂層１０の最低溶融粘度をＶｔとし、第２樹脂層２０の最低溶融粘度をＶｃとし、第３樹脂層３０の最低溶融粘度をＶｎとしたとき、Ｖｃ＞Ｖｔ＞Ｖｎとなる。つまり、各層の最低溶融粘度は、第２樹脂層２０が最も高く、次に第１樹脂層１０が高く、第３樹脂層３０が最も低い。第２樹脂層２０の最低溶融粘度Ｖｃを最も高くすることによって、異方性導電接続時の第３樹脂層３０の樹脂流動に伴う導電粒子４０の位置変動への影響を効果的に抑制できる。
【0039】
すなわち、異方性導電接続時に最低溶融粘度が最も低い第３樹脂層３０に樹脂流動が生じた場合でも、高粘度の第２樹脂層２０が存在することによって、導電粒子４０が不動化されやすくなり、移動が抑制される。このように、異方性導電接続時の樹脂流動による導電粒子４０への影響を抑制する観点から、第２樹脂層２０の最低溶融粘度Ｖｃは、好ましくは１５００Ｐａ・ｓ以上、より好ましくは２００００Ｐａ・ｓ以上、特に好ましくは４００００Ｐａ・ｓ以上であり、好ましくは８００００Ｐａ・ｓ以下の範囲内である。Ｖｃが１５００Ｐａ・ｓを下回ると、異方性導電接続時の導電粒子４０の移動を抑制する効果が十分に発揮できない場合があり、一方、Ｖｃが８００００Ｐａ・ｓを上回ると、異方性導電接続後の導通性が損なわれる場合がある。
【0040】
また、第２樹脂層２０の最低溶融粘度Ｖｃは第１樹脂層１０の最低溶融粘度Ｖｔの１．５倍以上であること（Ｖｃ≧１．５×Ｖｔ）が好ましく、２０倍以上であること（Ｖｃ≧２０×Ｖｔ）がより好ましく、４０倍以上であること（Ｖｃ≧４０×Ｖｔ）がさらに好ましく、４０倍を超えること（Ｖｃ＞４０×Ｖｔ）が最も好ましい。このようにＶｃをＶｔに対して十分に高くすることによって、異方性導電接続時の第３樹脂層３０の樹脂流動に伴う導電粒子４０の位置変動を効果的に抑制できる。Ｖｔに対するＶｃの比の上限は特に限定されるべきではないが、実用上、８０倍以下であること（Ｖｃ≦８０×Ｖｔ）が好ましい。なお、ＶｃがＶｔの４０倍未満である場合、Ｖｃを４００００Ｐａ・ｓ以上とすることが好ましく、４００００Ｐａ・ｓを超えることがより好ましい。
【0041】
第１樹脂層１０の最低溶融粘度Ｖｔは、例えば８００Ｐａ・ｓ以上２０００Ｐａ・ｓ以下の範囲内であることが好ましく、１０００Ｐａ・ｓ以上１５００Ｐａ・ｓ以下の範囲内であることがより好ましい。
【0042】
第３樹脂層３０の最低溶融粘度Ｖｎは、異方性導電接続時におけるバンプ間への充填性を確保するため、例えば３００Ｐａ・ｓ以上８００Ｐａ・ｓ以下の範囲内であることが好ましく、３００Ｐａ・ｓ以上５００Ｐａ・ｓ以下の範囲内であることがより好ましい。
【0043】
また、第１樹脂層１０、第２樹脂層２０及び第３樹脂層３０の最低溶融粘度到達温度は、異方性導電接続時に加熱を伴う場合は、そのときの加熱温度より低いことが好ましい。なお、最低溶融粘度到達温度は、回転式レオメータ（ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社）を用い、昇温速度１０℃／分、測定圧力５ｇ一定、使用測定プレート直径８ｍｍ、測定温度は、例えば３０℃以上２５０℃以下の測定範囲内にあることがより好ましい。測定温度の範囲は、バインダーの条件によって適宜調整してもよい。
【0044】
＜第１樹脂層＞
第１樹脂層１０は、硬化性樹脂組成物から形成することができる。例えば、熱重合性化合物と熱重合開始剤とを含有する熱重合性組成物から形成することが好ましい。
第１樹脂層１０は、硬化性樹脂組成物から形成することができる。例えば、熱重合性化合物と熱重合開始剤とを含有する熱重合性組成物から形成することが好ましい。
【0045】
熱重合性組成物の例としては、（メタ）アクリレート化合物と熱ラジカル重合開始剤とを含む熱ラジカル重合性アクリレート系組成物、エポキシ化合物と熱カチオン重合開始剤とを含む熱カチオン重合性エポキシ系組成物等が挙げられる。熱カチオン重合開始剤を含む熱カチオン重合性エポキシ系組成物に代えて、熱アニオン重合開始剤を含む熱アニオン重合性エポキシ系組成物を使用してもよい。また、特に支障を来さなければ、複数種の重合性組成物を併用してもよい。併用例としては、熱カチオン重合性組成物と熱ラジカル重合性組成物の併用などが挙げられる。
【0046】
ここで、（メタ）アクリレート化合物としては、従来公知の熱重合型（メタ）アクリレートモノマーを使用することができる。例えば、単官能（メタ）アクリレート系モノマー、二官能以上の多官能（メタ）アクリレート系モノマーを使用することができる。
【0047】
熱ラジカル重合開始剤としては、例えば、有機過酸化物、アゾ系化合物等を挙げることができる。特に、気泡の原因となる窒素を発生しない有機過酸化物を好ましく使用することができる。
【0048】
熱ラジカル重合開始剤の使用量は、少なすぎると硬化不良となり、多すぎると製品ライフの低下となるので、（メタ）アクリレート化合物１００質量部に対し、好ましくは２質量部以上６０質量部以下、より好ましくは５質量部以上４０質量部以下である。
【0049】
エポキシ化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、それらの変性エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂などを挙げることができ、これらの２種以上を併用することができる。また、エポキシ化合物に加えてオキセタン化合物を併用してもよい。
【0050】
熱カチオン重合開始剤としては、エポキシ化合物の熱カチオン重合開始剤として公知のものを採用することができ、例えば、熱により酸を発生するヨードニウム塩、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、フェロセン類等を用いることができる。特に、温度に対して良好な潜在性を示す芳香族スルホニウム塩を好ましく使用することができる。
【0051】
熱カチオン重合開始剤の使用量は、少なすぎても硬化不良となる傾向があり、多すぎても製品ライフが低下する傾向があるので、エポキシ化合物１００質量部に対し、好ましくは２質量部以上６０質量部以下、より好ましくは５質量部以上４０質量部以下である。
【0052】
熱重合性組成物は、膜形成樹脂やシランカップリング剤を含有することが好ましい。膜形成樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂等を挙げることができる。これらは２種以上を併用することができる。これらの中でも、成膜性、加工性、接続信頼性の観点から、フェノキシ樹脂を好ましく使用することができる。膜形成樹脂の重量平均分子量は１００００以上であることが好ましい。また、シランカップリング剤としては、エポキシ系シランカップリング剤、アクリル系シランカップリング剤等を挙げることができる。これらのシランカップリング剤は、主としてアルコキシシラン誘導体である。
【0053】
熱重合性組成物には、溶融粘度調整のために、絶縁フィラを含有させてもよい。絶縁フィラとしては、例えばシリカ粉やアルミナ粉などが挙げられる。絶縁フィラの大きさは粒径２０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下が好ましく、また、絶縁フィラの配合量は、粘度の幅によっても異なるが、エポキシ化合物等の熱重合性化合物１００質量部に対して５質量部以上５０質量部以下の範囲内とすることが好ましい。
【0054】
更に、熱重合性組成物に、上述の絶縁フィラとは異なる充填剤、軟化剤、促進剤、老化防止剤、着色剤（顔料、染料）、有機溶剤、イオンキャッチャー剤などを含有させてもよい。
【0055】
＜第２樹脂層＞
第２樹脂層２０は、高粘度の樹脂層であり、異方性導電接続時に生じる第３樹脂層３０の樹脂流動による導電粒子４０の位置変動への影響を抑制する機能を有する。すなわち、異方性導電接続時に第３樹脂層３０の樹脂流動が生じた場合でも、高粘度の第２樹脂層２０によって、導電粒子４０が不動化され、その移動が抑制される。
第２樹脂層２０は、高粘度の樹脂層であり、異方性導電接続時に生じる第３樹脂層３０の樹脂流動による導電粒子４０の位置変動への影響を抑制する機能を有する。すなわち、異方性導電接続時に第３樹脂層３０の樹脂流動が生じた場合でも、高粘度の第２樹脂層２０によって、導電粒子４０が不動化され、その移動が抑制される。
【0056】
第２樹脂層２０は、第１樹脂層１０を構成する熱重合性組成物と同様の組成物から構成することができる。本発明の異方性導電フィルム１００では、第１樹脂層１０、第２樹脂層２０及び第３樹脂層３０を構成する樹脂が、いずれも熱重合性樹脂であることが好ましい。
【0057】
なお、このような第２樹脂層２０は、第１樹脂層１０又は後述する第３樹脂層３０の表面を所定の厚みで光硬化させることによって形成してもよい。この場合、第１樹脂層１０又は第３樹脂層３０のいずれかを形成するための熱重合性組成物に、光重合開始剤を含有させることが好ましい。熱重合開始剤と光重合開始剤を併用するにあたっては、熱重合性化合物と光重合性化合物の両方の機能するものを使用してもよく、熱重合性化合物とは別に光重合性化合物を含有させてもよいが、熱重合性化合物とは別に光重合性化合物を含有させることが好ましい。例えば、熱重合開始剤として熱カチオン重合開始剤、熱重合性化合物としてエポキシ化合物を使用し、光重合開始剤として光ラジカル重合開始剤、光重合性化合物としてアクリレート化合物を使用することが可能である。
【0058】
アクリレート単位となるアクリレート化合物としては、従来公知の光重合性アクリレートを使用することができる。例えば、単官能（メタ）アクリレート（ここで、（メタ）アクリレートにはアクリレートとメタクリレートとが包含される）、二官能以上の多官能（メタ）アクリレートを使用することができる。光重合開始剤としては、例えば、光ラジカル重合開始剤等を使用することができる。より具体的には、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンジルケタール系光重合開始剤、リン系光重合開始剤等が挙げられる。光重合開始剤の使用量は、少なすぎると光重合が十分に進行せず、多すぎると剛性低下の原因となるので、アクリレート化合物１００質量部に対し、好ましくは０．１質量部以上２５質量部以下、より好ましくは０．５質量部以上１５質量部以下である。
【0059】
＜第３樹脂層＞
第３樹脂層３０は、異方性導電フィルム１００に良好な粘着性を付与するための層である。このような第３樹脂層３０は、第１樹脂層１０を構成する熱重合性組成物と同様の組成物の層から構成することができる。
第３樹脂層３０は、異方性導電フィルム１００に良好な粘着性を付与するための層である。このような第３樹脂層３０は、第１樹脂層１０を構成する熱重合性組成物と同様の組成物の層から構成することができる。
【0060】
＜導電粒子＞
導電粒子４０は、公知の導電フィルムや異方性導電フィルムに用いられている導電粒子４０の中から適宜選択して使用することができる。導電粒子４０の好ましい例としては、ニッケル、コバルト、銀、銅、金、パラジウムなどの金属粒子、ハンダなどの合金粒子、金属被覆樹脂粒子などが挙げられる。これらは２種以上を併用することもできる。これらの中でも、金属被覆樹脂粒子は、接続された後に樹脂粒子が反発することで端子との接触が維持され易くなり、導通性能が安定する点から好ましい。なお、導電粒子４０の表面には公知の技術によって、導通特性に支障を来さない絶縁処理が施されていてもよい。
導電粒子４０は、公知の導電フィルムや異方性導電フィルムに用いられている導電粒子４０の中から適宜選択して使用することができる。導電粒子４０の好ましい例としては、ニッケル、コバルト、銀、銅、金、パラジウムなどの金属粒子、ハンダなどの合金粒子、金属被覆樹脂粒子などが挙げられる。これらは２種以上を併用することもできる。これらの中でも、金属被覆樹脂粒子は、接続された後に樹脂粒子が反発することで端子との接触が維持され易くなり、導通性能が安定する点から好ましい。なお、導電粒子４０の表面には公知の技術によって、導通特性に支障を来さない絶縁処理が施されていてもよい。
【0061】
導電粒子４０の平均粒子径Ｄは、接続対象物の種類に応じて適宜選択できるが、小さすぎると配線の高さのばらつきを吸収できず抵抗が高くなる傾向があり、大きすぎてもショートの原因となる傾向がある。そこで、配線高さのばらつきに対応できるようにし、また、導通抵抗の上昇を抑制し、且つショートの発生を抑制するために、平均粒子径Ｄは、好ましくは１μｍ以上、より好ましくは２．５μｍ以上、好ましくは３０μｍ以下、より好ましくは９μｍ以下である。絶縁性樹脂層に分散させる前の導電粒子４０の粒子径は、一般的な粒度分布測定装置により測定することができ、また、平均粒子径Ｄも粒度分布測定装置を用いて求めることができる。測定装置としては、一例としてＦＰＩＡ－３０００（マルバーン・パナリティカル社）を挙げることができる。Ｎ数は１０００以上、好ましくは５０００以上が好ましい。異方性導電フィルム１００における導電粒子４０の粒子径は、ＳＥＭなどの電子顕微鏡観察から求めることができる。この場合、導電粒子４０の粒子径を測定するサンプル数を２００以上とすることが望ましい。
【0062】
本発明の異方性導電フィルム１００を構成する導電粒子４０の粒子径のバラツキは、ＣＶ値（標準偏差/平均）２０％以下であることが好ましい。ＣＶ値を２０％以下とすることにより、挟持される際に均等に押圧され易くなり、特に配列している場合には押圧力が局所的に集中することを防止でき、導通の安定性に寄与できる。また接続後に圧痕による接続状態の評価を高精度に行うことができる。具体的には、端子サイズが大きいもの（ＦＯＧなど）についても、小さいもの（ＣＯＧなど）についても、圧痕による接続状態の確認を精確に行うことができる。従って、異方性導電接続後の検査が容易になり、接続工程の生産性を向上させることが期待できる。
【0063】
ここで、導電粒子４０の粒子径のバラツキは画像型粒度分析装置などにより算出することができる。異方性導電フィルム１００中に配置されていない状態の、異方性導電フィルム１００の原料粒子としての導電粒子４０の粒子径は、一例として、湿式フロー式粒子径・形状分析装置ＦＰＩＡ－３０００（マルバーン・パナリティカル社）を用いて求めることができる。この場合、導電粒子４０の個数は１０００個以上、好ましくは３０００個以上、より好ましくは５０００個以上を測定すれば精確に導電粒子４０単体のバラツキを把握することができる。導電粒子４０が異方性導電フィルム１００に配置されている場合は、平面画像又は断面画像により求めることができる。
【0064】
また、導電粒子４０は、略真球であることが好ましい。導電粒子４０として略真球のものを使用することにより、例えば、転写型を用いて導電粒子４０を配列させた異方性導電フィルム１００を製造するにあたり、転写型上で導電粒子４０が滑らかに転がるので、導電粒子４０を転写型上の所定の位置へ高精度に充填することができる。したがって、導電粒子４０を精確に配置することができる。ここで、略真球とは、次式で算出される真球度が７０～１００の範囲内であることをいう。
【0065】
【数5】
【0066】
式中、Ｓｏは導電粒子４０の平面画像における該導電粒子４０の外接円の面積であり、Ｓｉは導電粒子４０の平面画像における該導電粒子４０の内接円の面積である。
【0067】
この算出方法では、導電粒子４０の平面画像を異方性導電フィルム１００の面視野および断面で撮り、それぞれの平面画像において任意の導電粒子４０について、１００個以上（好ましくは２００個以上）の外接円の面積と内接円の面積を計測し、外接円の面積の平均値と内接円の面積の平均値を求め、上述のＳｏ、Ｓｉとすることが好ましい。また、面視野及び断面のいずれにおいても、真球度が上記の範囲内であることが好ましい。面視野および断面の真球度の差は２０以内であることが好ましく、より好ましくは１０以内である。異方性導電フィルム１００の生産時の検査は主に面視野であり、異方性導電接続後の詳細な良否判定は面視野と断面の両方で行うため、真球度の差は小さい方が好ましい。この真球度は単体であるなら、上述の湿式フロー式粒子径・形状分析装置ＦＰＩＡ－３０００（マルバーン・パナリティカル社）を用いて求めることもできる。
【0068】
導電粒子４０の分散状態は、導電粒子４０がランダムに分散している状態でもよいし、規則的に配置されて分散している状態でもよい。どちらの場合においても、異方性導電フィルム１００のフィルム厚方向の位置が揃っていることがバンプによる導電粒子４０の捕捉安定性の点から好ましい。
【0069】
また、バンプによる導電粒子４０の捕捉性とショートの抑制とを両立させる点から、導電粒子４０は異方性導電フィルム１００の平面視にて規則的に配列していることが好ましい。配列の態様は、端子およびバンプのレイアウトによるため、特に限定はない。例えば、フィルムの平面視にて正方格子配列とすることができる。この他、導電粒子４０の規則的な配列の態様としては、長方格子、斜方格子、６方格子、３角格子等の格子配列を挙げることができる。異なる形状の格子が、複数組み合わさったものでもよい。規則的な配列は、上述したような格子配列に限定されるものではなく、例えば、導電粒子４０が所定間隔で直線状に並んだ粒子列を所定の間隔で並列させてもよい。導電粒子４０を互いに非接触とし、格子状等の規則的な配列にすることにより、異方性導電接続時に各導電粒子４０に圧力を均等に加え、導通抵抗のばらつきを低減させることができる。規則的な配列は、例えば異方性導電フィルム１００の長手方向に所定の粒子配置が繰り返されている否かを観察することで確認できる。導電粒子４０を規則的に配列させる場合に、その配列の格子軸又は配列軸がある場合は、異方性導電フィルム１００の長手方向や長手方向と直行する方向に対して平行でもよく、異方性導電フィルム１００の長手方向と交叉してもよく、接続する端子幅、端子ピッチ、レイアウトなどに応じて定めることができる。さらに、導電粒子４０が、異方性導電フィルム１００の平面視にて規則的に配列し、かつフィルム厚方向の位置が揃っていることが捕捉安定性とショート抑制の両立のためにより好ましい。
【0070】
なお、接続する電子部品の端子間スペースが広くショートが発生しにくい場合には、導電粒子４０を規則的に配列させることなく導通に支障を来さない程度に導電粒子４０があればランダムに分散させていてもよい。
【0071】
導電粒子４０の粒子間距離は、異方性導電フィルム１００で接続する端子の大きさや端子ピッチに応じて適宜定めることができる。例えば、異方性導電フィルム１００をファインピッチのＣＯＧ（Chip On Glass）に対応させる場合、ショートの発生を防止する点から最近接粒子間距離を導電粒子４０の平均粒子径Ｄの０．５倍以上にすることが好ましく、０．７倍より大きくすることがより好ましい。一方、導電粒子４０の捕捉性の点から、最近接粒子間距離を導電粒子４０の平均粒子径Ｄの４倍以下とすることが好ましく、３倍以下とすることがより好ましい。
【0072】
また、導電粒子４０の面積占有率は、好ましくは３５％以下、より好ましくは０．３％以上３０％以下である。この面積占有率は、異方性導電フィルム１００において、以下式により算出することができる。
【0073】
【数6】
【0074】
なお、面積占有率が上述の範囲内であれば個数密度の値には特に制限はないが、実用上、個数密度が小さすぎるとバンプによる導電粒子４０の捕捉数が低下してマイクロＬＥＤ等の導電接続やＩＣチップ等の異方性導電接続が難しくなり、多すぎるとショートすることが懸念されるので、個数密度は、好ましくは５０個／ｍｍ２以上、より好ましくは１５０個／ｍｍ２以上、更により好ましくは２００個／ｍｍ２、特に好ましくは６０００個／ｍｍ２以上、である。上限は３６００００個／ｍｍ2以下であればよく、２５００００個／ｍｍ2以下であることが好ましく、１０００００個／ｍｍ2以下がより好ましい。ＣＯＧやＣＯＰの場合には、１２０００～３００００個／ｍｍ２であることが好ましい。
【0075】
ここで、導電粒子４０の個数密度の測定は、顕微鏡観察により行うことができる。例えば、観察領域として異方性導電フィルム１００において、１辺が１００μｍ以上の矩形領域を任意に複数箇所（好ましくは５箇所以上、より好ましくは１０箇所以上）設定し、測定領域の合計面積を２ｍｍ２以上とすることで好ましく行うことができる。個々の領域の大きさや数は、個数密度の状態によって適宜調整すればよい。ファインピッチ用途の比較的個数密度が大きい場合の一例として、異方性導電フィルム１００から任意に選択した面積１００μｍ×１００μｍの領域の２００箇所（２ｍｍ２）について、金属顕微鏡などによる観測画像を用いて個数密度を測定し、それを平均することにより上述の式中の「平面視における導電粒子の個数密度」を得ることができる。面積１００μｍ×１００μｍの領域は、バンプ間スペース５０μｍ以下の接続対象物において、１個以上のバンプが存在する領域になる。
【0076】
導電粒子４０の個数密度は、上述のように金属顕微鏡を用いて観察して求める他、画像解析ソフト（例えば、ＷｉｎＲＯＯＦ、三谷商事株式会社製など）により観察画像を計測して求めてもよい。観察方法や計測手法は、上記に限定されるものではない。
【0077】
また、導電粒子４０の１個の平面視面積の平均は、フィルム面の金属顕微鏡やＳＥＭなどの電子顕微鏡などによる観測画像の計測により求められる。画像解析ソフトを用いてもよい。観察方法や計測手法は、上記に限定されるものではない。
【0078】
［異方性導電フィルム１００の製造方法］
本発明の導電フィルムの一態様である図１～図４に示す異方性導電フィルム１００は、例えば、表面に導電粒子４０を保持している熱重合性組成物からなる第１樹脂層１０の片面に、別途作製した第２樹脂層２０を配置し、さらに、第２樹脂層２０における第１樹脂層１０に接する面とは反対側の面に、別途作製した第３樹脂層３０を配置し、全体を貼り合わせることにより製造することができる。
本発明の導電フィルムの一態様である図１～図４に示す異方性導電フィルム１００は、例えば、表面に導電粒子４０を保持している熱重合性組成物からなる第１樹脂層１０の片面に、別途作製した第２樹脂層２０を配置し、さらに、第２樹脂層２０における第１樹脂層１０に接する面とは反対側の面に、別途作製した第３樹脂層３０を配置し、全体を貼り合わせることにより製造することができる。
【0079】
ここで、第１樹脂層１０に導電粒子４０を保持させる手法としては、従来公知の手法を利用することができる。例えば、第１樹脂層１０となるフィルムに導電粒子４０を直接散布することにより、第１樹脂層１０中に導電粒子４０を保持させることができる。あるいは延伸用の粘着フィルムに導電粒子４０を単層で付着させた後に二軸延伸させ、その延伸させたフィルムに第１樹脂層１０を押圧して導電粒子４０を第１樹脂層１０に転写することにより、第１樹脂層１０に導電粒子４０を保持させることができる。また、転写型を使用して第１樹脂層１０に導電粒子４０を保持させることもできる。ここでは、転写型を使用して本発明の異方性導電フィルム１００を製造する例を挙げて説明する。
【0080】
転写型を使用する場合、例えば以下の工程Ａ～工程Ｅにより、異方性導電フィルム１００を得ることができる。
【0081】
（工程Ａ）
まず、複数の凹部が形成された転写型の凹部に導電粒子４０を入れる。
まず、複数の凹部が形成された転写型の凹部に導電粒子４０を入れる。
【0082】
（工程Ｂ）
続いて、転写型内の導電粒子４０に、熱重合性化合物と熱重合開始剤と必要に応じて絶縁フィラとを含有する熱重合性組成物を押圧することにより導電粒子４０が転写された第１樹脂層１０を形成する。
続いて、転写型内の導電粒子４０に、熱重合性化合物と熱重合開始剤と必要に応じて絶縁フィラとを含有する熱重合性組成物を押圧することにより導電粒子４０が転写された第１樹脂層１０を形成する。
【0083】
（工程Ｃ）
次に第１樹脂層１０とは別に、熱重合性化合物と熱重合開始剤とを含有する熱重合性組成物を成膜することにより第２樹脂層２０を形成する。
次に第１樹脂層１０とは別に、熱重合性化合物と熱重合開始剤とを含有する熱重合性組成物を成膜することにより第２樹脂層２０を形成する。
【0084】
（工程Ｄ）
同様にして、熱重合性化合物と熱重合開始剤とを含有する熱重合性組成物を成膜することにより第３樹脂層３０を形成する。
同様にして、熱重合性化合物と熱重合開始剤とを含有する熱重合性組成物を成膜することにより第３樹脂層３０を形成する。
【0085】
（工程Ｅ）
次に、第１樹脂層１０における導電粒子４０の転写面に第２樹脂層２０を配置し、さらに第２樹脂層２０の上に第３樹脂層３０を配置し、全体を圧着させることにより異方性導電フィルム１００を得ることができる。
次に、第１樹脂層１０における導電粒子４０の転写面に第２樹脂層２０を配置し、さらに第２樹脂層２０の上に第３樹脂層３０を配置し、全体を圧着させることにより異方性導電フィルム１００を得ることができる。
【0086】
なお、工程Ｂの押圧力を調整することにより、導電粒子４０の第１樹脂層１０への埋入の程度を変化させることができる。押圧の程度を大きくすることにより、導電粒子４０の第１樹脂層１０中への埋入の程度を大きくすることができる。
【0087】
工程Ｅの圧着の際の圧力を調整することにより、導電粒子４０の第２樹脂層２０への埋入の程度を変化させることができる。圧力の程度を大きくすることにより、導電粒子４０の第２樹脂層２０中への埋入の程度を大きくすることができる。
【0088】
使用する転写型としては、例えば、シリコン、各種セラミックス、ガラス、ステンレススチールなどの金属等の無機材料や、各種樹脂等の有機材料などに対し、フォトリソグラフ法等の公知の開口形成方法によって開口を形成したものを使用することができる。また、転写型は、板状、ロール状等の形状をとることができる。
【0089】
転写型の凹部の形状としては、円柱状、四角柱等の柱形状、円錐台、角錐台、円錐形、四角錐形等の錐体形状等を例示することができる。凹部の配列としては、導電粒子４０にとらせる配列に応じて格子状、千鳥状等に適宜設定することができる。凹部の深さに対する導電粒子４０の平均粒子径Ｄの比（＝導電粒子４０の平均粒子径Ｄ／凹部の深さ）は、転写性向上と導電粒子保持性とのバランスから、好ましくは０．４～３．０、より好ましくは０．５～１．５である。なお、転写型の凹部の径と深さは、レーザー顕微鏡で測定することができる。
【0090】
凹部の開口径の導電粒子４０の平均粒子径Ｄに対する比（＝凹部の開口径／導電粒子４０の平均粒子径Ｄ）は、導電粒子４０の収容のしやすさ、絶縁性樹脂の押し込みやすさ等のバランスから、好ましくは１．１～２．０、より好ましくは１．３～１．８である。なお、凹部の開口径よりもその底径が小さい場合には、底径は導電粒子４０の粒子径の１．１倍以上２倍未満とし、開口径を導電粒子４０の粒子径の１．３倍以上３倍未満とすることが好ましい。
【0091】
なお、上記製造方法では、第１樹脂層１０に複数の導電粒子４０を担持させてから第２樹脂層２０及び第３樹脂層３０を積層する方法を例に挙げたが、第２樹脂層２０に複数の導電粒子４０を担持させてから、第１樹脂層１０及び第３樹脂層３０を積層してもよい。この場合は、第２樹脂層２０における導電粒子４０の転写面に第１樹脂層１０を配置し、さらに第２樹脂層２０のもう片側の面に第３樹脂層３０を配置し、全体を圧着させることにより異方性導電フィルム１００を得ることができる。積層の条件は、特許第６１８７６６５号記載の条件に準じて行うことができる。
【0092】
次に、図５～図８を参照しながら、本発明の異方性導電フィルム１００における第２樹脂層２０の作用効果について説明する。図５は、従来の２層構造の異方性導電フィルムを用いて第１電子部品３００と第２電子部品４００とを異方性導電接続する前の状態を示しており、図６は異方性導電接続後の接続構造体の要部断面を示している。一方、図７は、本発明の異方性導電フィルム１００を用いて第１電子部品３００と第２電子部品４００とを異方性導電接続する前の状態を示しており、図８は異方性導電接続後の接続構造体の要部断面を示している。なお、図５～図８中、異方性導電フィルムの面方向を、互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向によるＸ－Ｙ平面とし、このＸ－Ｙ平面に垂直な第１電子部品と第２電子部品の圧着方向（突起状電極であるバンプ３１０の移動方向）をＺ軸方向とする。
【0093】
まず、従来の異方性導電フィルム２００は、図５に示すように、同一平面上に配列された複数の導電粒子４０を担持する粒子担持層１１０と、この粒子担持層１１０に積層され、導電粒子４０を担持していない絶縁ベース層１２０とが積層された構造である。
【0094】
異方性導電接続時には、粘度の低い絶縁ベース層１２０に樹脂流動が発生する。すなわち、第１電子部品３００のバンプ３１０が異方性導電フィルム２００の絶縁ベース層１２０に挿入されることによって、絶縁ベース層１２０での樹脂がバンプ３１０によって周囲に押し出され、Ｘ－Ｙ平面方向に流動する。特に、加熱を伴う熱圧着の場合、異方性導電フィルム２００を構成する絶縁ベース層１２０には、加熱によって大きな樹脂流動が生じる。
【0095】
また、第１電子部品３００と第２電子部品４００の圧着によって、バンプ３１０の圧接面３１０ａと第２電子部品４００の間の樹脂にはＺ軸方向の力が加わるため、粒子担持層１１０を構成する樹脂がバンプ３１０の圧接面３１０ａによって押し出され、絶縁ベース層１２０側へ流動する。つまり、図６中、矢印で示すように斜め上方向（Ｘ－Ｙ平面方向とＺ軸方向とが合成された方向）に向かう樹脂流動も生じる。このような粒子担持層１１０の樹脂流動に伴い、粒子担持層１１０に担持されていた導電粒子４０も、図６中、矢印で示す斜め上方向へ向けて移動しやすくなる。その結果、本来ならばバンプ３１０と第２電子部品４００の電極４１０との間で押しつぶされるように挟持されて導通を確保するはずの導電粒子４０の一部分が、第１電子部品３００側の絶縁ベース層１２０中（ただし、絶縁ベース層１２０と粒子担持層１１０の界面では双方の樹脂が溶融混合していることもある）の隣接するバンプ３１０間へ移動する。このように隣接するバンプ３１０間に入り込んだ導電粒子４０（図６において、符号４０Ａで表す）は、第１電子部品３００と第２電子部品４００の導通に寄与しないばかりでなく、隣接するバンプ３１０間での電気的短絡（ショート）の原因となる。
【0096】
また、本来ならばバンプ３１０の圧接面３１０ａと第２電子部品４００との間に捕捉されるべき導電粒子４０の他の一部（図６において、符号４０Ｂで表す）が、バンプ３１０の圧接面３１０ａから外れて不十分な捕捉状態となることがあり、導通の安定性を低下させる。
【0097】
以上の従来の問題点は、絶縁樹脂層が３層以上からなる積層構造において、各層の粘度と厚みについて考慮されていない場合においても同様である。
【0098】
一方、本発明の異方性導電フィルム１００は、図７に示すように、第１樹脂層１０と第３樹脂層３０との間に、相対的に高粘度の第２樹脂層２０を介在させて第１樹脂層１０と第２樹脂層２０の両方によって導電粒子４０を担持する構造である。そのため、異方性導電接続時に、粘度の低い第３樹脂層３０に大きな樹脂流動が発生しても、粘度が高く、導電粒子４０を不動化させる作用を有する第２樹脂層２０によって樹脂流動の影響が緩和され、導電粒子４０の移動が制限される。
【0099】
すなわち、本発明の導電フィルムの一態様である異方性導電フィルム１００では、導電粒子４０が高粘度の第２樹脂層２０の開口もしくは凹部にはめ込まれた状態とも言える特有の構造的特徴を有することから、導電粒子４０のＸ－Ｙ平面方向及びＺ軸方向へ移動が生じにくく、導電粒子４０が隣接するバンプ３１０間へ移動したり、バンプ３１０の圧接面３１０ａから外れた位置に移動して不十分な捕捉状態となったりする確率を大幅に低減できる。
【0100】
また、本発明の異方性導電フィルム１００は、第１樹脂層１０と第２樹脂層２０の合計厚み（Ｔｔ＋Ｔｃ）が導電粒子４０の平均粒子径Ｄに対して前述の式（１）の関係にあることによって、高粘度の第２樹脂層２０によって導電粒子４０による導通が妨げられることがない。
【0101】
従って、図８に示すように、複数の導電粒子４０が整列配置をほぼ維持した状態でバンプ３１０と接続することが可能になり、ショートの発生を抑制しながら、第１電子部品３００と第２電子部品４００の異方性導電接続の信頼性を高めることができる。
【0102】
【0103】
［接続構造体］
本発明の導電フィルムは、マイクロＬＥＤを基板に搭載する場合や、異方性導電フィルムとして使用する場合に好ましく適用することができる。例えば、異方性導電フィルム１００は、公知の半導体素子、ＩＣチップ、ＩＣモジュール、光学半導体素子やＦＰＣなどの第１電子部品３００と、ＦＰＣ、ガラス基板、リジッド基板、セラミック基板などの第２電子部品４００とを異方性導電接続する際に好ましく適用することができる。
本発明の導電フィルムは、マイクロＬＥＤを基板に搭載する場合や、異方性導電フィルムとして使用する場合に好ましく適用することができる。例えば、異方性導電フィルム１００は、公知の半導体素子、ＩＣチップ、ＩＣモジュール、光学半導体素子やＦＰＣなどの第１電子部品３００と、ＦＰＣ、ガラス基板、リジッド基板、セラミック基板などの第２電子部品４００とを異方性導電接続する際に好ましく適用することができる。
【0104】
異方性導電フィルム１００を用いた電子部品の接続方法としては、例えば、図７に示すように、各種基板などの第２電子部品４００に対し、異方性導電フィルム１００を第１樹脂層１０側から仮貼りし、仮貼りされた異方性導電フィルム１００に対し、ＩＣチップ等の第１電子部品３００を搭載し、圧着する。すなわち、第１電子部品３００と第２電子部品４００とを、異方性導電フィルム１００を介して圧着する。圧着は、加熱を伴う熱圧着が好ましい。このようにして、図８に例示する本発明の接続構造体を製造することができる。
【0105】
製造された本発明の接続構造体５００は、第１電子部品３００と、この第１電子部品３００に異方性導電接続されている第２電子部品４００と、第１電子部品３００と第２電子部品４００との間に介在し、複数の導電粒子４０が分散された絶縁樹脂層５１０と、を備えている。なお、絶縁樹脂層５１０は、第１樹脂層１０、第２樹脂層２０及び第３樹脂層３０に由来する樹脂層である。
【0106】
第１電子部品３００は、第２電子部品４００に対向して複数の平面視が略長方形（短冊型）をなす突起状電極であるバンプ３１０を有している。複数のバンプ３１０は、例えば、その短手方向に所定間隔で互いに平行に配列されていることが好ましい。この場合、短手方向に所定間隔で放射状に配列されることも含む。また、バンプの組が点在している場合もある。接続構造体５００では、第１電子部品３００のバンプ３１０と第２電子部品４００の電極４１０とが導電粒子４０を介して電気的に接続されている。
【0107】
ここで、接続構造体５００において、バンプ３１０が第１電子部品３００から突出している高さをバンプ高さＨとする。また、第１電子部品３００と第２電子部品４００との間において、複数のバンプ３１０の高さＨを結ぶ仮想の平面（つまり、バンプ３１０の圧接面３１０ａを通る平面）を接続面Ｐとする。
【0108】
そして、接続構造体５００について、接続面Ｐに対して直交する断面であって、互いに隣接する任意の２つのバンプ３１０の短手方向に平行で、かつ、バンプ３１０の長手方向の長さの中点を通る断面を観察したときに、隣り合うバンプ３１０間において、導電粒子４０の全体が接続面Ｐよりも第１電子部品３００側に位置している導電粒子４０（図６の符号４０Ａを参照；以下、「バンプ間侵入粒子」と記すことがある）の存在個数が２個以下であることが好ましい。
【0109】
なお、断面観察は、接続構造体５００から、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）などの電子顕微鏡等を用いた観察手法を用いて、複数箇所（例えば任意の２０箇所）の断面を観察し、各観察で得られたバンプ間侵入粒子の存在個数の平均値をとった場合に、該平均値が２個以下であることがより好ましい。
【実施例0110】
以下、本発明を実施例により具体的に説明する。なお、溶融粘度は、回転式レオメータ（ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社）を用い、昇温速度１０℃／分、測定圧力５ｇ一定、使用測定プレート直径８ｍｍ、測定温度８０℃という条件で測定した。
【0111】
［実施例１］
（第１樹脂層の形成）
正方もしくは六方格子パターンに対応した凸部の配列パターンを有する金型を作成し、その金型に、公知の透明性樹脂のペレットを溶融させたものを流し込み、冷やして固めることで、導電粒子４０の粒子密度２８０００個／ｍｍ２となるような格子パターンの凹部を有する樹脂製の転写型を作製した。この転写型の凹部に導電粒子(積水化学工業(株)、平均粒子径３．２μｍ)を充填した。
（第１樹脂層の形成）
正方もしくは六方格子パターンに対応した凸部の配列パターンを有する金型を作成し、その金型に、公知の透明性樹脂のペレットを溶融させたものを流し込み、冷やして固めることで、導電粒子４０の粒子密度２８０００個／ｍｍ２となるような格子パターンの凹部を有する樹脂製の転写型を作製した。この転写型の凹部に導電粒子(積水化学工業(株)、平均粒子径３．２μｍ)を充填した。
【0112】
一方、フェノキシ樹脂（日鉄ケミカル＆マテリアル（株）、ＹＰ－５０）、シリカフィラ（アエロジルＲ８０５、日本アエロジル（株））、液状エポキシ樹脂（三菱ケミカル（株）、ｊＥＲ８２８）、熱カチオン重合開始剤（三新化学工業（株）、ＳＩ－６０Ｌ）及びシランカップリング剤（信越化学工業（株）、ＫＢＭ－４０３）を、表１に示す配合組成（単位は質量部）で含有する熱重合性組成物を調製した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム上にバーコータを用いて塗布し、８０℃のオーブンにて５分間乾燥させ、ＰＥＴフィルム上に表２に示す厚みの粘着性の第１樹脂層を形成した。この第１樹脂層を、弾性ローラーを用いて、押圧時温度５０℃、押圧０．５ＭＰａという条件で転写型の導電粒子収容面に押圧することにより、導電粒子が転写された第１樹脂層を形成し、転写型から剥離した。この第１樹脂層の最低溶融粘度も表２に示した。
【0113】
（第２樹脂層の形成）
フェノキシ樹脂（日鉄ケミカル＆マテリアル（株）、ＹＰ－５０）、シリカフィラ（アエロジルＲ８０５、日本アエロジル（株））、液状エポキシ樹脂（三菱ケミカル（株）、ｊＥＲ８２８）、熱カチオン重合開始剤（三新化学工業（株）、ＳＩ－６０Ｌ）及びシランカップリング剤（信越化学工業（株）、ＫＢＭ－４０３）を、表１に示す配合組成（単位は質量部）で含有する熱重合性組成物を調製した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム上にバーコータを用いて塗布し、８０℃のオーブンにて５分間乾燥させ、ＰＥＴフィルム上に表２に示す厚みの高粘度の第２樹脂層を形成した。この第２樹脂層の最低溶融粘度も表２に示した。
フェノキシ樹脂（日鉄ケミカル＆マテリアル（株）、ＹＰ－５０）、シリカフィラ（アエロジルＲ８０５、日本アエロジル（株））、液状エポキシ樹脂（三菱ケミカル（株）、ｊＥＲ８２８）、熱カチオン重合開始剤（三新化学工業（株）、ＳＩ－６０Ｌ）及びシランカップリング剤（信越化学工業（株）、ＫＢＭ－４０３）を、表１に示す配合組成（単位は質量部）で含有する熱重合性組成物を調製した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム上にバーコータを用いて塗布し、８０℃のオーブンにて５分間乾燥させ、ＰＥＴフィルム上に表２に示す厚みの高粘度の第２樹脂層を形成した。この第２樹脂層の最低溶融粘度も表２に示した。
【0114】
（第３樹脂層の形成）
フェノキシ樹脂（日鉄ケミカル＆マテリアル（株）、ＹＰ－５０）、シリカフィラ（アエロジルＲ８０５、日本アエロジル（株））、液状エポキシ樹脂（三菱ケミカル（株）、ｊＥＲ８２８）、熱カチオン重合開始剤（三新化学工業（株）、ＳＩ－６０Ｌ）及びシランカップリング剤（信越化学工業（株）、ＫＢＭ－４０３）を、表１に示す配合組成（単位は質量部）で含有する熱重合性組成物を調製した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム上にバーコータを用いて塗布し、８０℃のオーブンにて５分間乾燥させ、ＰＥＴフィルム上に表２に示す厚みの粘着性の第３樹脂層を形成した。この第３樹脂層の最低溶融粘度も表２に示した。第３樹脂層は、層全体の厚みが約１３～１４μｍとなるように、厚みを調整した。
フェノキシ樹脂（日鉄ケミカル＆マテリアル（株）、ＹＰ－５０）、シリカフィラ（アエロジルＲ８０５、日本アエロジル（株））、液状エポキシ樹脂（三菱ケミカル（株）、ｊＥＲ８２８）、熱カチオン重合開始剤（三新化学工業（株）、ＳＩ－６０Ｌ）及びシランカップリング剤（信越化学工業（株）、ＫＢＭ－４０３）を、表１に示す配合組成（単位は質量部）で含有する熱重合性組成物を調製した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム上にバーコータを用いて塗布し、８０℃のオーブンにて５分間乾燥させ、ＰＥＴフィルム上に表２に示す厚みの粘着性の第３樹脂層を形成した。この第３樹脂層の最低溶融粘度も表２に示した。第３樹脂層は、層全体の厚みが約１３～１４μｍとなるように、厚みを調整した。
【0115】
（第１樹脂層と第２樹脂層と第３樹脂層の積層）
第１樹脂層の導電粒子転写面に、第２樹脂層を対向させ、さらに第２樹脂層における第１樹脂層と対向する面とは反対側の面に第３樹脂層を対向させ、これらを押圧時温度５０℃、押圧０．２ＭＰａという条件で貼り合わせることで異方性導電フィルムを製造した。
第１樹脂層の導電粒子転写面に、第２樹脂層を対向させ、さらに第２樹脂層における第１樹脂層と対向する面とは反対側の面に第３樹脂層を対向させ、これらを押圧時温度５０℃、押圧０．２ＭＰａという条件で貼り合わせることで異方性導電フィルムを製造した。
【0116】
［実施例２～７］
表１に示す配合組成の熱重合組成物を使用し、表２に示す厚みと最低溶融粘度の第１樹脂層、第２樹脂層及び第３樹脂層を形成した以外は実施例１と同様にして異方性導電フィルムを製造した。
表１に示す配合組成の熱重合組成物を使用し、表２に示す厚みと最低溶融粘度の第１樹脂層、第２樹脂層及び第３樹脂層を形成した以外は実施例１と同様にして異方性導電フィルムを製造した。
【0117】
［比較例１～３、参考例１～３］
表１に示す配合組成の熱重合組成物を使用し、表２に示す厚みと最低溶融粘度の第１樹脂層、第２樹脂層及び第３樹脂層を形成した以外は実施例１と同様にして異方性導電フィルムを製造した。
表１に示す配合組成の熱重合組成物を使用し、表２に示す厚みと最低溶融粘度の第１樹脂層、第２樹脂層及び第３樹脂層を形成した以外は実施例１と同様にして異方性導電フィルムを製造した。
【0118】
実施例、参考例及び比較例の異方性導電フィルムを構成する各層の配合組成を表１に示し、異方性導電フィルムの各層の構造、厚み、物性及び特性の評価結果を表２に示した。
【0119】
【表1】
【0120】
【表2】
【0121】
＜特性評価＞
実施例１～７、比較例１～３及び参考例１～３で作製した異方性導電フィルムを用い、評価用ＩＣとガラス基板を熱圧着により異方性導電接続して評価用接続構造体を作成した。
実施例１～７、比較例１～３及び参考例１～３で作製した異方性導電フィルムを用い、評価用ＩＣとガラス基板を熱圧着により異方性導電接続して評価用接続構造体を作成した。
【0122】
評価用ＩＣ：
外形＝１．８ｍｍ×２０ｍｍ×０．２ｍｍ、金バンプ仕様＝１２μｍ（高）×１５μｍ（幅）×１００μｍ（長）（バンプ間ギャップ１５μｍ）
外形＝１．８ｍｍ×２０ｍｍ×０．２ｍｍ、金バンプ仕様＝１２μｍ（高）×１５μｍ（幅）×１００μｍ（長）（バンプ間ギャップ１５μｍ）
【0123】
ＩＴＯコーティング配線付ガラス基板：
外形＝３０ｍｍ×５０ｍｍ×０．５ｍｍ
外形＝３０ｍｍ×５０ｍｍ×０．５ｍｍ
【0124】
熱圧着接続条件：
ＩＣチップ側から、１５０℃で８０ＭＰａ、５秒間の熱圧着。
ＩＣチップ側から、１５０℃で８０ＭＰａ、５秒間の熱圧着。
【0125】
作製した評価用接続構造体について、（ａ）導電粒子の不動性、（ｂ）導通性、（ｃ）接着性を、それぞれ以下に説明する方法で評価した。得られた結果を表２に示した。
【0126】
（ａ）導電粒子の不動性
評価用接続構造体から切片を作製し、その断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察し、樹脂流動によって移動した導電粒子の数をカウントすることで粒子の不動性を判定した。断面観察は、バンプが評価用ＩＣから突出している高さをバンプ高さＨとし、評価用ＩＣとガラス基板との間において、複数のバンプの高さＨを結ぶ仮想の平面（つまり、バンプの圧接面を通る平面）を接続面Ｐとしたときに（図８参照）、接続面Ｐに対して直交する断面であって、互いに隣接する任意の２つのバンプの短手方向に平行で、かつ、バンプの長手方向の長さの中点を通る断面について行った。断面観察の結果、隣り合うバンプ間において、導電粒子の全体が接続面Ｐよりも評価用ＩＣ側に位置している導電粒子を「バンプ間侵入粒子」として、その存在個数をカウントし、任意の２０箇所の断面の観察を行ったときの平均値を求めた。評価基準を以下に示す。
評価用接続構造体から切片を作製し、その断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察し、樹脂流動によって移動した導電粒子の数をカウントすることで粒子の不動性を判定した。断面観察は、バンプが評価用ＩＣから突出している高さをバンプ高さＨとし、評価用ＩＣとガラス基板との間において、複数のバンプの高さＨを結ぶ仮想の平面（つまり、バンプの圧接面を通る平面）を接続面Ｐとしたときに（図８参照）、接続面Ｐに対して直交する断面であって、互いに隣接する任意の２つのバンプの短手方向に平行で、かつ、バンプの長手方向の長さの中点を通る断面について行った。断面観察の結果、隣り合うバンプ間において、導電粒子の全体が接続面Ｐよりも評価用ＩＣ側に位置している導電粒子を「バンプ間侵入粒子」として、その存在個数をカウントし、任意の２０箇所の断面の観察を行ったときの平均値を求めた。評価基準を以下に示す。
【0127】
（評価基準）
Ａ（非常に良好） ：バンプ間侵入粒子 ０個（なし）
Ｂ（良好） ：バンプ間侵入粒子 １個以上２個以下
Ｃ（不良） ：バンプ間侵入粒子 ２個を超え３個未満
Ｄ（極めて不良） ：バンプ間侵入粒子 ３個以上
Ａ（非常に良好） ：バンプ間侵入粒子 ０個（なし）
Ｂ（良好） ：バンプ間侵入粒子 １個以上２個以下
Ｃ（不良） ：バンプ間侵入粒子 ２個を超え３個未満
Ｄ（極めて不良） ：バンプ間侵入粒子 ３個以上
【0128】
（ｂ）導通性
得られた評価用接続構造体の導通抵抗（初期導通抵抗）を、デジタルマルチメータを用いて４端子法で２ｍＡの電流を通電したときの値を測定した。実用上、測定抵抗値が２Ω以下であることが望まれるため、測定抵抗値が１．５Ω未満をＡ（良好）、１．５～２ΩをＢ（可）、２Ωを超える場合をＣ（不良）と判定した。
得られた評価用接続構造体の導通抵抗（初期導通抵抗）を、デジタルマルチメータを用いて４端子法で２ｍＡの電流を通電したときの値を測定した。実用上、測定抵抗値が２Ω以下であることが望まれるため、測定抵抗値が１．５Ω未満をＡ（良好）、１．５～２ΩをＢ（可）、２Ωを超える場合をＣ（不良）と判定した。
【0129】
（ｃ）接着性
市販のＡＣＦ貼り付け装置（型番ＴＴＯ－１７９４Ｍ、芝浦メカトロニクス（株））を用いて異方性導電フィルムをサイズ２ｍｍ×５ｃｍでガラス基板に貼り付け、１秒後の到達温度が６０～８０℃になるよう、圧力１ＭＰａで仮貼りした。ガラス基板を裏返した場合に、異方性導電フィルムがガラス基板から剥がれたり浮いたりしないかを目視し、以下の基準で評価した。
市販のＡＣＦ貼り付け装置（型番ＴＴＯ－１７９４Ｍ、芝浦メカトロニクス（株））を用いて異方性導電フィルムをサイズ２ｍｍ×５ｃｍでガラス基板に貼り付け、１秒後の到達温度が６０～８０℃になるよう、圧力１ＭＰａで仮貼りした。ガラス基板を裏返した場合に、異方性導電フィルムがガラス基板から剥がれたり浮いたりしないかを目視し、以下の基準で評価した。
【0130】
（評価基準）
Ａ（良好）：６０℃で仮貼りできた場合
Ｂ（普通）：６０℃では仮貼りできないが、８０℃で仮貼りできた場合
Ｃ（不良）：８０℃では仮貼りできない場合
Ａ（良好）：６０℃で仮貼りできた場合
Ｂ（普通）：６０℃では仮貼りできないが、８０℃で仮貼りできた場合
Ｃ（不良）：８０℃では仮貼りできない場合
【0131】
表２より、実施例１～７の異方性導電フィルムは、第１樹脂層と第３樹脂層との間に、相対的に高粘度の第２樹脂層を介在させており、かつ、第１樹脂層と第２樹脂層の合計厚み（Ｔｔ＋Ｔｃ）が、導電粒子４０の平均粒子径Ｄに対して式（１）の関係を満たすことによって、（ａ）導電粒子の不動性、（ｂ）導通抵抗、（ｃ）接着性のいずれの評価項目も良好な結果を示した。それに対して、各層の最低溶融粘度の大小関係が適切でない比較例１や第２樹脂層の最低溶融粘度が１５００Ｐａ・ｓを下回る比較例２では、いずれも導電粒子４０の不動性が「不良」もしくは「極めて不良」であった。また、第１樹脂層と第２樹脂層の合計厚み（Ｔｔ＋Ｔｃ）が、導電粒子４０の平均粒子径Ｄに対して式（１）の関係を満たしていない比較例３では、導電粒子４０の不動性が「不良」であるとともに、導通性も「不良」であった。
【産業上の利用可能性】
【0132】
本発明の導電フィルムは、ＩＣチップやマイクロＬＥＤなどの電子部品の配線基板への導電接続あるいは異方性導電接続に有用である。
【0133】
以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはない。
【符号の説明】
【0134】
１０…第１樹脂層
２０…第２樹脂層
３０…第３樹脂層
４０，４０Ａ，４０Ｂ…導電粒子
１００…導電（異方性導電）フィルム
１１０…粒子担持層
１２０…絶縁ベース層
２００…異方性導電フィルム（従来）
３００…第１電子部品
３１０…バンプ（突起状電極）
３１０ａ…圧接面
４００…第２電子部品
４１０…電極
５００…接続構造体
５１０…絶縁樹脂層
Ｈ…バンプ高さ
Ｐ…仮想の接続面
２０…第２樹脂層
３０…第３樹脂層
４０，４０Ａ，４０Ｂ…導電粒子
１００…導電（異方性導電）フィルム
１１０…粒子担持層
１２０…絶縁ベース層
２００…異方性導電フィルム（従来）
３００…第１電子部品
３１０…バンプ（突起状電極）
３１０ａ…圧接面
４００…第２電子部品
４１０…電極
５００…接続構造体
５１０…絶縁樹脂層
Ｈ…バンプ高さ
Ｐ…仮想の接続面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【手続補正書】
【提出日】2022-09-13
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0072】
また、導電粒子４０の面積占有率は、特に限定されるものではないが、好ましくは３５％以下、より好ましくは０．３％以上３０％以下である。この面積占有率は、異方性導電フィルム１００において、以下式により算出することができる。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0073】
【数6】
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0074】
また、導電粒子の個数密度も、特に制限されるものではないが、実用上、個数密度が小さすぎるとバンプによる導電粒子４０の捕捉数が低下してマイクロＬＥＤ等の導電接続やＩＣチップ等の異方性導電接続が難しくなり、多すぎるとショートすることが懸念されるので、個数密度は、好ましくは５０個／ｍｍ２以上、より好ましくは１５０個／ｍｍ２以上、更により好ましくは２００個／ｍｍ２、特に好ましくは６０００個／ｍｍ２以上、である。上限は３６００００個／ｍｍ2以下であればよく、２５００００個／ｍｍ2以下であることが好ましく、１０００００個／ｍｍ2以下がより好ましい。ＣＯＧやＣＯＰの場合には、１２０００～３００００個／ｍｍ２であることが好ましい。