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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023053455
(43)【公開日】2023-04-13
(54)【発明の名称】産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20230406BHJP
B25J 13/08 20060101ALI20230406BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B25J13/08 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021162497
(22)【出願日】2021-10-01
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100125690
【弁理士】
【氏名又は名称】小平 晋
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(72)【発明者】
【氏名】瀧澤 典彦
【テーマコード（参考）】
3C707
5F131
【Ｆターム（参考）】
3C707AS03
3C707AS25
3C707BS15
3C707BS26
3C707DS05
3C707KS03
3C707KS04
3C707KS17
3C707KS20
3C707KV11
3C707LT12
3C707NS12
5F131AA03
5F131AA12
5F131AA32
5F131CA18
5F131CA32
5F131CA55
5F131DA02
5F131DA32
5F131DA33
5F131DA42
5F131DB42
5F131DB43
5F131DB52
5F131DB58
5F131DB62
5F131DB72
5F131DB76
5F131DD03
5F131DD29
5F131DD33
5F131DD43
5F131DD76
5F131FA26
5F131FA32
5F131FA33
5F131KA02
5F131KA14
5F131KA15
5F131KA16
5F131KA47
5F131KA72
5F131KB12
5F131KB32
5F131KB58
(57)【要約】
【課題】受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを補正してから引渡し部に搬送対象物を置くことが可能であっても、受取り部から引渡し部への搬送対象物の搬送時間を短縮することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、受取り部４にハンド６が移動する第１動作を行う際に、２個の検知機構３３のそれぞれが搬送対象物２を検知したときのハンド６のＹ方向の位置データ（第１位置データ、第２位置データ）を取得し、受取り部４で搬送対象物２を受け取ったハンド６が本体部１０に近づくように移動する第２動作を行う際に、検知機構３４によって検知される搬送対象物２のＸ方向の位置データ（第３位置データ）を取得するとともに、搬送対象物２が搭載されたハンド６が引渡し部５まで移動する第３動作を行う際に、第１～第３位置データに基づいてハンド６の位置および向きを補正する。
【選択図】図２
【解決手段】産業用ロボット１は、受取り部４にハンド６が移動する第１動作を行う際に、２個の検知機構３３のそれぞれが搬送対象物２を検知したときのハンド６のＹ方向の位置データ（第１位置データ、第２位置データ）を取得し、受取り部４で搬送対象物２を受け取ったハンド６が本体部１０に近づくように移動する第２動作を行う際に、検知機構３４によって検知される搬送対象物２のＸ方向の位置データ（第３位置データ）を取得するとともに、搬送対象物２が搭載されたハンド６が引渡し部５まで移動する第３動作を行う際に、第１～第３位置データに基づいてハンド６の位置および向きを補正する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載されるとともに水平方向に移動可能なハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、上下方向を回動の軸方向として前記アームが回動可能に連結される本体部と、前記ハンドに取り付けられる光学式の２個の第１検知機構と、前記本体部に取り付けられる光学式の第２検知機構と、前記産業用ロボットを制御する制御部とを備えるとともに、
前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかる方向に移動した状態で所定の受取り部に置かれている前記搬送対象物を前記ハンドに搭載して受け取るときの前記ハンドの位置を受取り位置とし、前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかる方向に移動した状態で前記ハンドに搭載されている前記搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときの前記ハンドの位置を引渡し位置とすると、
前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかるように前記受取り位置まで前記ハンドが移動するときの動作である第１動作と、前記第１動作後、前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取った前記ハンドが、前記ハンドの先端が前記本体部に近づくように移動するときの動作である第２動作と、前記第２動作後、前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかるように、前記搬送対象物が搭載された前記ハンドが前記引渡し位置まで移動するときの動作である第３動作とを行い、
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第１動作および前記第２動作を行うときに、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、
前記産業用ロボットが前記第１動作および前記第２動作を行うときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記第１検知機構は、第１の発光部と、前記第１の発光部から射出され前記搬送対象物で反射された光を受光する第１の受光部とを備える反射型の検知機構であり、
２個の前記第１検知機構は、前記第２方向において間隔をあけた状態で配置され、
前記第２検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第２の受光部と、上下方向において前記第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、
前記産業用ロボットが前記第１動作を行うときに、２個の前記第１検知機構は、前記受取り部に置かれている前記搬送対象物の下側を通り、
前記産業用ロボットが前記第２動作を行うときに、前記ハンドに搭載された前記搬送対象物の前記第２方向の一端面は、前記第２の受光部と前記第２の発光部との間を通り、
前記制御部は、前記産業用ロボットが前記第１動作を行う際に、２個の前記第１検知機構のうちの一方の前記第１検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前記第１方向の位置のデータである第１位置データと、２個の前記第１検知機構のうちの他方の前記第１検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前記第１方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、前記産業用ロボットが前記第２動作を行う際に、所定の測定位置まで前記ハンドが移動したときに前記第２検知機構によって検知される前記搬送対象物の前記第２方向の一端面の前記第２方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、前記産業用ロボットが前記第３動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボット。
前記搬送対象物が搭載されるとともに水平方向に移動可能なハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、上下方向を回動の軸方向として前記アームが回動可能に連結される本体部と、前記ハンドに取り付けられる光学式の２個の第１検知機構と、前記本体部に取り付けられる光学式の第２検知機構と、前記産業用ロボットを制御する制御部とを備えるとともに、
前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかる方向に移動した状態で所定の受取り部に置かれている前記搬送対象物を前記ハンドに搭載して受け取るときの前記ハンドの位置を受取り位置とし、前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかる方向に移動した状態で前記ハンドに搭載されている前記搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときの前記ハンドの位置を引渡し位置とすると、
前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかるように前記受取り位置まで前記ハンドが移動するときの動作である第１動作と、前記第１動作後、前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取った前記ハンドが、前記ハンドの先端が前記本体部に近づくように移動するときの動作である第２動作と、前記第２動作後、前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかるように、前記搬送対象物が搭載された前記ハンドが前記引渡し位置まで移動するときの動作である第３動作とを行い、
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第１動作および前記第２動作を行うときに、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、
前記産業用ロボットが前記第１動作および前記第２動作を行うときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記第１検知機構は、第１の発光部と、前記第１の発光部から射出され前記搬送対象物で反射された光を受光する第１の受光部とを備える反射型の検知機構であり、
２個の前記第１検知機構は、前記第２方向において間隔をあけた状態で配置され、
前記第２検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第２の受光部と、上下方向において前記第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、
前記産業用ロボットが前記第１動作を行うときに、２個の前記第１検知機構は、前記受取り部に置かれている前記搬送対象物の下側を通り、
前記産業用ロボットが前記第２動作を行うときに、前記ハンドに搭載された前記搬送対象物の前記第２方向の一端面は、前記第２の受光部と前記第２の発光部との間を通り、
前記制御部は、前記産業用ロボットが前記第１動作を行う際に、２個の前記第１検知機構のうちの一方の前記第１検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前記第１方向の位置のデータである第１位置データと、２個の前記第１検知機構のうちの他方の前記第１検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前記第１方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、前記産業用ロボットが前記第２動作を行う際に、所定の測定位置まで前記ハンドが移動したときに前記第２検知機構によって検知される前記搬送対象物の前記第２方向の一端面の前記第２方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、前記産業用ロボットが前記第３動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボット。
【請求項2】
前記アームは、互いに回動可能に連結される複数のアーム部によって構成されるとともに水平方向に伸縮可能となっており、
前記ハンドは、前記アームの先端側に回動可能に連結され、
前記本体部には、前記アームの基端側が回動可能に連結されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
前記ハンドは、前記アームの先端側に回動可能に連結され、
前記本体部には、前記アームの基端側が回動可能に連結されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項3】
前記本体部に対して前記ハンドが一定方向に向いた状態で直線的に移動するように前記アームを伸縮させるアーム駆動機構と、前記本体部を回動させる回動機構と、上下方向に直交する左右方向に前記本体部を移動させる水平移動機構とを備え、
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第３動作を行うときに、上下方向と左右方向とに直交する前後方向に前記本体部に対して直線的に移動し、
前記制御部は、前記産業用ロボットが前記第３動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記アーム駆動機構と前記回動機構と前記水平移動機構とを制御して前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第３動作を行うときに、上下方向と左右方向とに直交する前後方向に前記本体部に対して直線的に移動し、
前記制御部は、前記産業用ロボットが前記第３動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記アーム駆動機構と前記回動機構と前記水平移動機構とを制御して前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
【請求項4】
前記第１方向と左右方向とが一致しており、
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第１動作および前記第２動作を行うときに、前記本体部に対して左右方向に直線的に移動することを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第１動作および前記第２動作を行うときに、前記本体部に対して左右方向に直線的に移動することを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。
【請求項5】
前記第１方向と前後方向とが一致しており、
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第１動作および前記第２動作を行うときに、前記本体部に対して前後方向に直線的に移動することを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。
前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第１動作および前記第２動作を行うときに、前記本体部に対して前後方向に直線的に移動することを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。
【請求項6】
長方形状または正方形状に形成される搬送対象物が搭載されるとともに水平方向に移動可能なハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、上下方向を回動の軸方向として前記アームが回動可能に連結される本体部と、前記ハンドに取り付けられる光学式の２個の第１検知機構と、前記本体部に取り付けられる光学式の第２検知機構とを備えるとともに、
前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかる方向に移動した状態で所定の受取り部に置かれている前記搬送対象物を前記ハンドに搭載して受け取るときの前記ハンドの位置を受取り位置とし、前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかる方向に移動した状態で前記ハンドに搭載されている前記搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときの前記ハンドの位置を引渡し位置とすると、
前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかるように前記受取り位置まで前記ハンドが移動するときの動作である第１動作と、前記第１動作後、前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取った前記ハンドが、前記ハンドの先端が前記本体部に近づくように移動するときの動作である第２動作と、前記第２動作後、前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかるように、前記搬送対象物が搭載された前記ハンドが前記引渡し位置まで移動するときの動作である第３動作とを行い、
前記ハンドは、前記第１動作および前記第２動作が行われるときに、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、
前記第１動作および前記第２動作が行われるときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記第１検知機構は、第１の発光部と、前記第１の発光部から射出され前記搬送対象物で反射された光を受光する第１の受光部とを備える反射型の検知機構であり、
２個の前記第１検知機構は、前記第２方向において間隔をあけた状態で配置され、
前記第２検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第２の受光部と、上下方向において前記第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、
前記第１動作が行われるときに、２個の前記第１検知機構は、前記受取り部に置かれている前記搬送対象物の下側を通り、
前記第２動作が行われるときに、前記ハンドに搭載された前記搬送対象物の前記第２方向の一端面は、前記第２の受光部と前記第２の発光部との間を通る産業用ロボットの制御方法であって、
前記第１動作を行う際に、２個の前記第１検知機構のうちの一方の前記第１検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前記第１方向の位置のデータである第１位置データと、２個の前記第１検知機構のうちの他方の前記第１検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前記第１方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、前記第２動作を行う際に、所定の測定位置まで前記ハンドが移動したときに前記第２検知機構によって検知される前記搬送対象物の前記第２方向の一端面の前記第２方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、前記第３動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボットの制御方法。
前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかる方向に移動した状態で所定の受取り部に置かれている前記搬送対象物を前記ハンドに搭載して受け取るときの前記ハンドの位置を受取り位置とし、前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかる方向に移動した状態で前記ハンドに搭載されている前記搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときの前記ハンドの位置を引渡し位置とすると、
前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかるように前記受取り位置まで前記ハンドが移動するときの動作である第１動作と、前記第１動作後、前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取った前記ハンドが、前記ハンドの先端が前記本体部に近づくように移動するときの動作である第２動作と、前記第２動作後、前記ハンドの先端が前記本体部から遠ざかるように、前記搬送対象物が搭載された前記ハンドが前記引渡し位置まで移動するときの動作である第３動作とを行い、
前記ハンドは、前記第１動作および前記第２動作が行われるときに、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、
前記第１動作および前記第２動作が行われるときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記第１検知機構は、第１の発光部と、前記第１の発光部から射出され前記搬送対象物で反射された光を受光する第１の受光部とを備える反射型の検知機構であり、
２個の前記第１検知機構は、前記第２方向において間隔をあけた状態で配置され、
前記第２検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第２の受光部と、上下方向において前記第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、
前記第１動作が行われるときに、２個の前記第１検知機構は、前記受取り部に置かれている前記搬送対象物の下側を通り、
前記第２動作が行われるときに、前記ハンドに搭載された前記搬送対象物の前記第２方向の一端面は、前記第２の受光部と前記第２の発光部との間を通る産業用ロボットの制御方法であって、
前記第１動作を行う際に、２個の前記第１検知機構のうちの一方の前記第１検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前記第１方向の位置のデータである第１位置データと、２個の前記第１検知機構のうちの他方の前記第１検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前記第１方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、前記第２動作を行う際に、所定の測定位置まで前記ハンドが移動したときに前記第２検知機構によって検知される前記搬送対象物の前記第２方向の一端面の前記第２方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、前記第３動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボットの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。また、本発明は、かかる産業用ロボットの制御方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、カセット間でガラス基板を搬送するロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のロボットは、水平移動部と、ロボットハンド部と、水平移動部とロボットハンド部とを連結する連結部とを備えている。水平移動部は、ガイドレールに沿って左右方向に移動するスライダを備えている。ロボットハンド部は、連結部の回動可能に連結される第１アームと、第１アームの先端側に回動可能に連結される第２アームと、第２アームの先端側に回動可能に連結されるとともにガラス基板が搭載されるハンドとを備えている。
【0003】
特許文献１に記載のロボットでは、ハンドの上面に、ガラス基板の前端面との距離を検知するための２個の第１距離センサが取り付けられている。２個の第１距離センサは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。連結部には、原点位置に配置されたハンドに搭載されるガラス基板の左端面の位置を検知するための位置検出センサが支持アームを介して取り付けられている。
【0004】
特許文献１に記載のロボットには、制御装置が接続されている。制御装置は、２個の第１距離センサの検知結果に基づいて、カセット内に置かれているガラス基板の、基準位置に対する前後方向のずれ量に対応する補正量と、カセット内に置かれているガラス基板の、上下方向から見たときの基準位置に対する傾き量に対応する補正量とを算出する。また、制御装置は、位置検出センサの検知結果に基づいて、ハンドに搭載されているガラス基板の、基準位置に対する左右方向のずれ量に対応する補正量を算出する。
【0005】
特許文献１に記載のロボットは、カセット内に置かれているガラス基板をハンドに搭載する前に、基準位置に対するガラス基板の前後方向のずれ量に対応する補正量と基準位置に対するガラス基板の傾き量に対応する補正量とに基づいて、ハンドの向きと前後方向の位置とを補正する。また、このロボットは、ハンドに搭載されたガラス基板を次工程のカセット内に搬入して置くときに、基準位置に対するガラス基板の左右方向のずれ量に対応する補正量に基づいて、ハンドの左右方向の位置を補正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開平９－１６２２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
特許文献１に記載のロボットでは、カセット内に置かれているガラス基板の水平方向の位置および向きを補正してから次工程のカセットにガラス基板を置くために、カセットからガラス基板を受け取って搬出するとき、および、次工程のカセットにガラス基板を搬入して引き渡すときの両方において、ハンドの向きや位置を補正している。そのため、このロボットの場合、カセット間でガラス基板を搬送するときに要する時間が長くなるおそれがある。
【0008】
たとえば、カセットからガラス基板を受け取って搬出するときに、補正された向きのままでハンドを移動させると、ハンドに搭載されたガラス基板やハンドとカセットの構成部品とが干渉するおそれがある場合には、ガラス基板やハンドとカセットの構成部品とが干渉しないように、カセット内からハンドを移動させる前に一旦、ハンドの向きを変える必要があり、この場合には、カセット間でガラス基板を搬送するときに要する時間が長くなる。
【0009】
そこで、本発明の課題は、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを補正してから引渡し部に搬送対象物を置くことが可能であっても、受取り部から引渡し部への搬送対象物の搬送時間を短縮することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【0010】
また、本発明の課題は、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを補正してから引渡し部に搬送対象物を置くことが可能であっても、受取り部から引渡し部への搬送対象物の搬送時間を短縮することが可能となる産業用ロボットの制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物が搭載されるとともに水平方向に移動可能なハンドと、ハンドが連結されるアームと、上下方向を回動の軸方向としてアームが回動可能に連結される本体部と、ハンドに取り付けられる光学式の２個の第１検知機構と、本体部に取り付けられる光学式の第２検知機構と、産業用ロボットを制御する制御部とを備えるとともに、ハンドの先端が本体部から遠ざかる方向に移動した状態で所定の受取り部に置かれている搬送対象物をハンドに搭載して受け取るときのハンドの位置を受取り位置とし、ハンドの先端が本体部から遠ざかる方向に移動した状態でハンドに搭載されている搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときのハンドの位置を引渡し位置とすると、ハンドの先端が本体部から遠ざかるように受取り位置までハンドが移動するときの動作である第１動作と、第１動作後、受取り位置で搬送対象物を受け取ったハンドが、ハンドの先端が本体部に近づくように移動するときの動作である第２動作と、第２動作後、ハンドの先端が本体部から遠ざかるように、搬送対象物が搭載されたハンドが引渡し位置まで移動するときの動作である第３動作とを行い、ハンドは、産業用ロボットが第１動作および第２動作を行うときに、本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、産業用ロボットが第１動作および第２動作を行うときのハンドの移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、第１検知機構は、第１の発光部と、第１の発光部から射出され搬送対象物で反射された光を受光する第１の受光部とを備える反射型の検知機構であり、２個の第１検知機構は、第２方向において間隔をあけた状態で配置され、第２検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第２の受光部と、上下方向において第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、産業用ロボットが第１動作を行うときに、２個の第１検知機構は、受取り部に置かれている搬送対象物の下側を通り、産業用ロボットが第２動作を行うときに、ハンドに搭載された搬送対象物の第２方向の一端面は、第２の受光部と第２の発光部との間を通り、制御部は、産業用ロボットが第１動作を行う際に、２個の第１検知機構のうちの一方の第１検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの第１方向の位置のデータである第１位置データと、２個の第１検知機構のうちの他方の第１検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの第１方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、産業用ロボットが第２動作を行う際に、所定の測定位置までハンドが移動したときに第２検知機構によって検知される搬送対象物の第２方向の一端面の第２方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、産業用ロボットが第３動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする。
【0012】
また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの制御方法は、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物が搭載されるとともに水平方向に移動可能なハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームが回動可能に連結される本体部と、ハンドに取り付けられる光学式の２個の第１検知機構と、本体部に取り付けられる光学式の第２検知機構とを備えるとともに、ハンドの先端が本体部から遠ざかる方向に移動した状態で所定の受取り部に置かれている搬送対象物をハンドに搭載して受け取るときのハンドの位置を受取り位置とし、ハンドの先端が本体部から遠ざかる方向に移動した状態でハンドに搭載されている搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときのハンドの位置を引渡し位置とすると、ハンドの先端が本体部から遠ざかるように受取り位置までハンドが移動するときの動作である第１動作と、第１動作後、受取り位置で搬送対象物を受け取ったハンドが、ハンドの先端が本体部に近づくように移動するときの動作である第２動作と、第２動作後、ハンドの先端が本体部から遠ざかるように、搬送対象物が搭載されたハンドが引渡し位置まで移動するときの動作である第３動作とを行い、ハンドは、第１動作および第２動作が行われるときに、本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、第１動作および第２動作が行われるときのハンドの移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、第１検知機構は、第１の発光部と、第１の発光部から射出され搬送対象物で反射された光を受光する第１の受光部とを備える反射型の検知機構であり、２個の第１検知機構は、第２方向において間隔をあけた状態で配置され、第２検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる第２の受光部と、上下方向において第２の受光部との間に所定の間隔をあけた状態で第２の受光部に対向配置される第２の発光部とを有する透過型の検知機構であり、第１動作が行われるときに、２個の第１検知機構は、受取り部に置かれている搬送対象物の下側を通り、第２動作が行われるときに、ハンドに搭載された搬送対象物の第２方向の一端面は、第２の受光部と第２の発光部との間を通る産業用ロボットの制御方法であって、第１動作を行う際に、２個の第１検知機構のうちの一方の第１検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの第１方向の位置のデータである第１位置データと、２個の第１検知機構のうちの他方の第１検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの第１方向の位置のデータである第２位置データとを取得し、かつ、第２動作を行う際に、所定の測定位置までハンドが移動したときに第２検知機構によって検知される搬送対象物の第２方向の一端面の第２方向の位置のデータである第３位置データを取得するとともに、第３動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする。
【0013】
本発明では、産業用ロボットが第３動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正している。すなわち、本発明では、ハンドの先端が本体部から遠ざかるように、搬送対象物が搭載されたハンドが引渡し位置まで移動するときの動作である第３動作を行うときのみに、ハンドの水平方向の位置および向きを補正しており、ハンドの先端が本体部から遠ざかるように受取り位置までハンドが移動するときの動作である第１動作を行うときには、ハンドの位置や向きの補正を行っていない。したがって、本発明では、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを補正してから引渡し部に搬送対象物を置くことが可能であっても、受取り部から引渡し部への搬送対象物の搬送時間を短縮することが可能になる。
【0014】
本発明において、たとえば、アームは、互いに回動可能に連結される複数のアーム部によって構成されるとともに水平方向に伸縮可能となっており、ハンドは、アームの先端側に回動可能に連結され、本体部には、アームの基端側が回動可能に連結されている。
【0015】
本発明において、産業用ロボットは、たとえば、本体部に対してハンドが一定方向に向いた状態で直線的に移動するようにアームを伸縮させるアーム駆動機構と、本体部を回動させる回動機構と、上下方向に直交する左右方向に本体部を移動させる水平移動機構とを備え、ハンドは、産業用ロボットが第３動作を行うときに、上下方向と左右方向とに直交する前後方向に本体部に対して直線的に移動し、制御部は、産業用ロボットが第３動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、アーム駆動機構と回動機構と水平移動機構とを制御して引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正する。
【0016】
本発明において、たとえば、第１方向と左右方向とが一致しており、ハンドは、産業用ロボットが第１動作および第２動作を行うときに、本体部に対して左右方向に直線的に移動する。本体部を前後方向に移動させることができないと、第１動作を行うときにハンドの向きを適切に補正することができない場合が生じうるが、本発明では、第１動作を行うときにハンドの向きを適切に補正することができなくても、第３動作を行うときにハンドの向きを適切に補正することが可能になる。
【0017】
本発明において、第１方向と前後方向とが一致しており、ハンドは、産業用ロボットが第１動作および第２動作を行うときに、本体部に対して前後方向に直線的に移動しても良い。
【発明の効果】
【0018】
以上のように、本発明では、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを補正してから引渡し部に搬送対象物を置くことが可能であっても、受取り部から引渡し部への搬送対象物の搬送時間を短縮することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【0021】
（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の異なる状態の平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の異なる状態の平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。
【0022】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、たとえば、搬送対象物である有機ＥＬディスプレイ用のガラス基板２や液晶ディスプレイ用のガラス基板２（「基板２」とする。）を搬送する水平多関節型のロボットである。基板２は、長方形または正方形の平板状に形成されている。ロボット１は、たとえば、複数枚の基板２が収容される収容カセット３、４から、基板２に対して所定の処理を行う処理装置５まで基板２を搬送する。すなわち、ロボット１は、たとえば、収容カセット３、４から基板２を搬出するとともに、収容カセット３、４から搬出した基板２を処理装置５に搬入する。
【0023】
以下の説明では、上下方向に直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する図１等のＸ方向を「前後方向」とする。また、左右方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「左」側とし、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。
【0024】
収容カセット３、４には、複数枚の基板２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。本形態では、収容カセット３は、ロボット１の前側に配置され、収容カセット４は、ロボット１の右側に配置されている。また、処理装置５は、ロボット１の後ろ側に配置されている。収容カセット３、４および処理装置５に収容される基板２の端面は、前後方向または左右方向と略平行になっている。
【0025】
ロボット１は、基板２が搭載されるとともに水平方向に移動可能な２個のハンド６、７と、ハンド６が連結されるアーム８と、ハンド７が連結されるアーム９と、アーム８、９が回動可能に連結される本体部１０と、本体部１０が回動可能に連結される基台１１と、水平方向への直線的な移動が可能となるように基台１１を保持するベース１２とを備えている。本体部１０は、アーム８、９の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート１５と、アームサポート１５を昇降可能に支持する支持フレーム１６と、本体部１０の下端部分を構成する旋回フレーム１７とを備えている。
【0026】
ハンド６は、上下方向を回動の軸方向としてアーム８の先端側に回動可能に連結され、ハンド７は、上下方向を回動の軸方向としてアーム９の先端側に回動可能に連結されている。ハンド７は、ハンド６よりも下側に配置されている。アーム８は、ハンド６よりも上側に配置されている。アーム９は、ハンド７よりも下側に配置されている。本体部１０には、上下方向を回動の軸方向としてアーム８、９の基端側が回動可能に連結されている。具体的には、アームサポート１５に、アーム８、９の基端側が回動可能に連結されている。上下方向から見たときに、本体部１０に対するアーム８の回動中心と本体部１０に対するアーム９の回動中心とは一致している。
【0027】
ハンド６、７は、アーム８、９の先端側に回動可能に連結されるハンド基部１８と、上面側に基板２が載置される直線状の複数のフォーク１９とを備えている。本形態のハンド６、７は、４本のフォーク１９を備えている。４本のフォーク１９は、ハンド基部１８から水平方向の同方向へ突出している。また、４本のフォーク１９は、互いに平行に配置されている。ハンド６のフォーク１９とハンド７のフォーク１９とは、同じ方向に突出している。
【0028】
アーム８、９は、水平方向に伸縮する多関節アームである。アーム８、９は、互いに回動可能に連結される第１アーム部２１と第２アーム部２２とによって構成されている。すなわち、アーム８、９は、互いに回動可能に連結される２個のアーム部によって構成されるとともに水平方向に伸縮可能となっている。第１アーム部２１の基端側は、本体部１０（具体的には、アームサポート１５）に回動可能に連結されている。第１アーム部２１の先端側には、第２アーム部２２の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部２２の先端側には、ハンド６、７が回動可能に連結されている。アーム８では、第１アーム部２１よりも下側に第２アーム部２２が配置され、アーム９では、第１アーム部２１よりも上側に第２アーム部２２が配置されている。
【0029】
アーム８の基端側は、アームサポート１５の上端側に回動可能に連結され、アーム９の基端側は、アームサポート１５の下端側に回動可能に連結されている。水平方向において、アームサポート１５に対する第１アーム部２１の回動中心と第１アーム部２１に対する第２アーム部２２の回動中心との距離と、第１アーム部２１に対する第２アーム部２２の回動中心と第２アーム部２２に対するハンド６、７の回動中心との距離とは等しくなっている。
【0030】
アーム８、９は、ハンド６、７の先端（すなわち、フォーク１９の先端）が本体部１０から遠ざかるように（離れるように）アーム８、９が伸びる位置と、ハンド６、７の先端が本体部１０に近づくようにアーム８、９が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。本体部１０に対するアーム８、９の伸縮量が等しいときに、ハンド６とハンド７とが上下方向で重なり、アーム８とアーム９とが上下方向で重なっている。
【0031】
支持フレーム１６は、アームサポート１５を介してハンド６、７およびアーム８、９を昇降可能に保持している。支持フレーム１６は、アームサポート１５を昇降可能に保持する柱状の第１支持フレーム２３と、第１支持フレーム２３を昇降可能に保持する柱状の第２支持フレーム２４とを備えている。旋回フレーム１７は、上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。また、旋回フレーム１７は、細長い略直方体状に形成されている。旋回フレーム１７の先端側の上面には、第２支持フレーム２４の下端部が固定されている。旋回フレーム１７の基端側は、上下方向を回動の軸方向として基台１１に回動可能に連結されている。旋回フレーム１７は、基台１１よりも上側に配置されている。基台１１は、ベース１２に対して左右方向に直線的に移動可能となっている。
【0032】
また、ロボット１は、アーム８を伸縮させるアーム駆動機構２７と、アーム９を伸縮させるアーム駆動機構２８と、本体部１０を回動させる回動機構２９と、ハンド６、７およびアーム８、９を昇降させる昇降機構３０と、基台１１と一緒に本体部１０を左右方向に移動させる水平移動機構３１と、ロボット１を制御する制御部３２とを備えている。ロボット１は、アーム８、９の伸縮動作と、アーム８、９等の昇降動作と、本体部１０の回動動作および水平移動動作との組合せによって基板２の搬送を行う。
【0033】
また、ロボット１は、ハンド６に搭載される基板２の位置を検知するための２個の検知機構３３および１個の検知機構３４と、ハンド７に搭載される基板２の位置を検知するための２個の検知機構３３および１個の検知機構３４とを備えている。すなわち、ロボット１は、４個の検知機構３３と、２個の検知機構３４とを備えている。本形態の検知機構３３は、第１検知機構であり、検知機構３４は、第２検知機構である。
【0034】
アーム駆動機構２７は、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム８およびハンド６に伝達する動力伝達機構と、モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備えている。モータは、サーボモータであり、エンコーダの検知結果に基づいて制御される。アーム駆動機構２７は、本体部１０に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するように水平方向にアーム８を伸縮させる。アーム駆動機構２７は、制御部３２に電気的に接続されている。具体的には、アーム駆動機構２７のモータおよびエンコーダ等が制御部３２に電気的に接続されている。
【0035】
アーム駆動機構２８は、アーム駆動機構２７と同様に、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム９およびハンド７に伝達する動力伝達機構と、モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備えている。モータは、サーボモータであり、エンコーダの検知結果に基づいて制御される。アーム駆動機構２８は、本体部１０に対してハンド７が一定方向を向いた状態で直線的に移動するように水平方向にアーム９を伸縮させる。アーム駆動機構２８は、制御部３２に電気的に接続されている。具体的には、アーム駆動機構２８のモータおよびエンコーダ等が制御部３２に電気的に接続されている。
【0036】
回動機構２９は、上下方向を回動の軸方向として基台１１に対して旋回フレーム１７を回動させる。すなわち、回動機構２９は、上下方向を回動の軸方向として本体部１０と一緒にアーム８、９を回動させる。回動機構２９は、駆動源となるモータと、モータの動力を旋回フレーム１７に伝達する動力伝達機構と、モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備えている。モータは、サーボモータであり、エンコーダの検知結果に基づいて制御される。回動機構２９は、制御部３２に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２９のモータおよびエンコーダ等が制御部３２に電気的に接続されている。
【0037】
昇降機構３０は、第２支持フレーム２４に対して第１支持フレーム２３を昇降させるとともに第１支持フレーム２３に対してアームサポート１５を昇降させる。昇降機構３０は、アームサポート１５を昇降させるとともに第１支持フレーム２３を昇降させるモータと、モータの動力を第１支持フレーム２３およびアームサポート１５に伝達する減速機と、モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備えている。モータは、サーボモータであり、エンコーダの検知結果に基づいて制御される。
【0038】
昇降機構３０は、制御部３２に電気的に接続されている。具体的には、昇降機構３０のモータおよびエンコーダ等が制御部３２に電気的に接続されている。なお、ロボット１は、第１支持フレーム２３に対してアームサポート１５を昇降させる昇降機構と、第２支持フレーム２４に対して第１支持フレーム２３を昇降させる昇降機構とを個別に備えていても良い。
【0039】
水平移動機構３１は、ベース１２に対して基台１１を左右方向に直線的に移動させる。すなわち、水平移動機構３１は、基台１１と一緒に本体部１０およびアーム８、９を左右方向に直線的に移動させる。水平移動機構３１は、駆動源となるモータと、モータの動力を基台１１に伝達する動力伝達機構と、モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備えている。モータは、サーボモータであり、エンコーダの検知結果に基づいて制御される。水平移動機構３１は、制御部３２に電気的に接続されている。具体的には、水平移動機構３１のモータおよびエンコーダ等が制御部３２に電気的に接続されている。
【0040】
検知機構３３は、光学式の検知機構である。また、検知機構３３は、発光部３７と、発光部３７から射出され基板２で反射された光を受光する受光部３８とを有する反射型の検知機構である。検知機構３３は、ハンド６、７のそれぞれに取り付けられている。具体的には、ハンド６に２個の検知機構３３が取り付けられ、ハンド７に２個の検知機構３３が取り付けられている。検知機構３３は、制御部３２に電気的に接続されている。本形態の発光部３７は、第１の発光部であり、受光部３８は、第１の受光部である。
【0041】
検知機構３３は、発光部３７の発光面と受光部３８の受光面とが上側を向くようにハンド６、７に取り付けられている。また、検知機構３３は、フォーク１９の上面側に取り付けられている。本形態では、検知機構３３は、ハンド６、７のそれぞれが有する４本のフォーク１９のうちの、フォーク１９の長手方向に直交する方向において内側に配置される２本のフォーク１９に取り付けられている。また、検知機構３３は、フォーク１９の先端側に取り付けられている。
【0042】
ハンド６、７のそれぞれに取り付けられる２個の検知機構３３は、フォーク１９の長手方向において同じ位置に配置されている。また、ハンド６、７のそれぞれに取り付けられる２個の検知機構３３は、フォーク１９の長手方向に直交する方向において間隔をあけた状態で配置されている。なお、検知機構３３は、ハンド６、７のそれぞれが有する４本のフォーク１９のうちの、フォーク１９の長手方向に直交する方向において外側に配置される２本のフォーク１９に取り付けられていても良い。また、検知機構３３は、フォーク１９の基端側に取り付けられていても良い。
【0043】
検知機構３４は、光学式の検知機構である。また、検知機構３４は、発光部３９と、発光部３９に対向配置される受光部４０とを有する透過型の検知機構である。発光部３９は、上下方向において受光部４０との間に所定の間隔をあけた状態で受光部４０に対向配置されている。本形態の受光部４０は、ラインセンサである。受光部４０では、複数の受光素子が一列に配列されている。検知機構３４は、制御部３２に電気的に接続されている。本形態の発光部３９は、第２の発光部であり、受光部４０は、第２の受光部である。
【0044】
検知機構３４は、本体部１０に取り付けられている。具体的には、検知機構３４は、アームサポート１５に固定されるセンサ固定部材４２に固定されており、センサ固定部材４２を介してアームサポート１５に固定されている。本形態では、ハンド６に搭載される基板２の位置を検知するための検知機構３４と、ハンド７に搭載される基板２の位置を検知するための検知機構３４とがセンサ固定部材４２を介してアームサポート１５に固定されている。すなわち、２個の検知機構３４がアームサポート１５に固定されている。２個の検知機構３４は、上下方向で重なっている。
【0045】
検知機構３４は、アームサポート１５と一緒に回動するとともにアームサポート１５と一緒に昇降する。上述のように、受光部４０では、複数の受光素子が一列に配列されている。具体的には、フォーク１９の長手方向と前後方向とが一致しているときには、受光部４０において、複数の受光素子が左右方向に一列で配列され、フォーク１９の長手方向と左右方向とが一致しているときには、受光部４０において、複数の受光素子が前後方向に一列で配列されている。
【0046】
上述のように、ロボット１は、収容カセット３、４から処理装置５まで基板２を搬送する。また、上述のように、アーム８、９は、ハンド６、７の先端が本体部１０から遠ざかるようにアーム８、９が伸びる位置と、ハンド６、７の先端が本体部１０に近づくようにアーム８、９が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。本形態では、ロボット１が収容カセット３、４から基板２を受け取るとき、および、ロボット１が処理装置５に基板２を引き渡すときに、アーム８、９が伸びていて、ハンド６、７の先端が本体部１０から遠ざかる方向に移動した状態になっている。
【0047】
ハンド６の先端が本体部１０から遠ざかる方向に移動した状態（すなわち、アーム８が伸びている状態）で収容カセット３に置かれている基板２をハンド６に搭載して受け取るときのハンド６の位置（図１に示す位置）をハンド位置６Ａとし、ハンド６の先端が本体部１０から遠ざかる方向に移動した状態（すなわち、アーム８が伸びている状態）でハンド６に搭載されている基板２を処理装置５に引き渡すときのハンド６の位置をハンド位置６Ｂとすると、ロボット１は、ハンド６の先端が本体部１０から遠ざかるようにハンド位置６Ａまでハンド６が移動するときの動作である動作Ｍ１１と、動作Ｍ１１の後に、ハンド位置６Ａで基板２を受け取ったハンド６が、ハンド６の先端が本体部１０に近づくように移動するときの動作である動作Ｍ１２と、動作Ｍ１２の後に、ハンド６の先端が本体部１０から遠ざかるように、基板２が搭載されたハンド６がハンド位置６Ｂまで移動するときの動作である動作Ｍ１３とを行う。動作Ｍ１１、Ｍ１３では、縮んでいたアーム８が伸び、動作Ｍ１２では、伸びていたアーム８が縮む。
【0048】
また、ハンド６の先端が本体部１０から遠ざかる方向に移動した状態で収容カセット４に置かれている基板２をハンド６に搭載して受け取るときのハンド６の位置（図２に示す位置）をハンド位置６Ｃとすると、ロボット１は、ハンド６の先端が本体部１０から遠ざかるようにハンド位置６Ｃまでハンド６が移動するときの動作である動作Ｍ１４と、動作Ｍ１４の後に、ハンド位置６Ｃで基板２を受け取ったハンド６が、ハンド６の先端が本体部１０に近づくように移動するときの動作である動作Ｍ１５と、動作Ｍ１５の後に、ハンド６の先端が本体部１０から遠ざかるように、基板２が搭載されたハンド６がハンド位置６Ｂまで移動するときの動作である動作Ｍ１６とを行う。動作Ｍ１４、Ｍ１６では、縮んでいたアーム８が伸び、動作Ｍ１５では、伸びていたアーム８が縮む。
【0049】
同様に、ハンド７の先端が本体部１０から遠ざかる方向に移動した状態（すなわち、アーム９が伸びている状態）で収容カセット３に置かれている基板２をハンド７に搭載して受け取るときのハンド７の位置をハンド位置７Ａとし、ハンド７の先端が本体部１０から遠ざかる方向に移動した状態（すなわち、アーム９が伸びている状態）でハンド７に搭載されている基板２を処理装置５に引き渡すときのハンド７の位置をハンド位置７Ｂとすると、ロボット１は、ハンド７の先端が本体部１０から遠ざかるようにハンド位置７Ａまでハンド７が移動するときの動作である動作Ｍ２１と、動作Ｍ２１の後に、ハンド位置７Ａで基板２を受け取ったハンド７が、ハンド７の先端が本体部１０に近づくように移動するときの動作である動作Ｍ２２と、動作Ｍ２２の後に、ハンド７の先端が本体部１０から遠ざかるように、基板２が搭載されたハンド７がハンド位置７Ｂまで移動するときの動作である動作Ｍ２３とを行う。動作Ｍ２１、Ｍ２３では、縮んでいたアーム９が伸び、動作Ｍ２２では、伸びていたアーム９が縮む。
【0050】
また、ハンド７の先端が本体部１０から遠ざかる方向に移動した状態で収容カセット４に置かれている基板２をハンド７に搭載して受け取るときのハンド７の位置をハンド位置７Ｃとすると、ロボット１は、ハンド７の先端が本体部１０から遠ざかるようにハンド位置７Ｃまでハンド７が移動するときの動作である動作Ｍ２４と、動作Ｍ２４の後に、ハンド位置７Ｃで基板２を受け取ったハンド７が、ハンド７の先端が本体部１０に近づくように移動するときの動作である動作Ｍ２５と、動作Ｍ２５の後に、ハンド７の先端が本体部１０から遠ざかるように、基板２が搭載されたハンド７がハンド位置７Ｂまで移動するときの動作である動作Ｍ２６とを行う。動作Ｍ２４、Ｍ２６では、縮んでいたアーム９が伸び、動作Ｍ２５では、伸びていたアーム９が縮む。
【0051】
動作Ｍ１２、Ｍ１５が完了した状態では、ハンド６に搭載される基板２、ハンド６およびアーム８を含めた本体部１０の回動半径（旋回半径）が最小になる。同様に、動作Ｍ２２、Ｍ２５が完了した状態では、ハンド７に搭載される基板２、ハンド７およびアーム９を含めた本体部１０の回動半径が最小になる。
【0052】
上述のように、アーム駆動機構２７は、本体部１０に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させ、アーム駆動機構２８は、本体部１０に対してハンド７が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム９を伸縮させる。すなわち、ハンド６は、ロボット１がＭ１１～Ｍ１６を行うときに、本体部１０に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、ハンド７は、ロボット１が動作Ｍ２１～Ｍ２６を行うときに、本体部１０に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動する。
【0053】
本形態では、収容カセット３がロボット１の前側に配置され、収容カセット４がロボット１の右側に配置され、かつ、処理装置５がロボット１の後ろ側に配置されているため、ハンド６は、ロボット１が動作Ｍ１１～Ｍ１３、Ｍ１６を行うときに本体部１０に対して前後方向に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ１４、Ｍ１５を行うときに本体部１０に対して左右方向に直線的に移動する。また、ハンド７は、ロボット１が動作Ｍ２１～Ｍ２３、Ｍ２６を行うときに本体部１０に対して前後方向に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ２４、Ｍ２５を行うときに本体部１０に対して左右方向に直線的に移動する。
【0054】
具体的には、ハンド６は、ロボット１が動作Ｍ１１を行うときに、フォーク１９の先端が前側を向いた状態で本体部１０に対して前側に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ１２を行うときに、フォーク１９の先端が前側を向いた状態で本体部１０に対して後ろ側に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ１４を行うときに、フォーク１９の先端が右側を向いた状態で本体部１０に対して右側に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ１５を行うときに、フォーク１９の先端が右側を向いた状態で本体部１０に対して左側に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ１３、Ｍ１６を行うときに、フォーク１９の先端が後ろ側を向いた状態で本体部１０に対して後ろ側に直線的に移動する。
【0055】
同様に、ハンド７は、ロボット１が動作Ｍ２１を行うときに、フォーク１９の先端が前側を向いた状態で本体部１０に対して前側に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ２２を行うときに、フォーク１９の先端が前側を向いた状態で本体部１０に対して後ろ側に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ２４を行うときに、フォーク１９の先端が右側を向いた状態で本体部１０に対して右側に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ２５を行うときに、フォーク１９の先端が右側を向いた状態で本体部１０に対して左側に直線的に移動し、ロボット１が動作Ｍ２３、Ｍ２６を行うときに、フォーク１９の先端が後ろ側を向いた状態で本体部１０に対して後ろ側に直線的に移動する。
【0056】
ロボット１が動作Ｍ１１を行うときには、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構３３は、収容カセット３に置かれている基板２の下側（具体的には、動作Ｍ１１の後に、ハンド６に搭載される基板２の下側）を通り、ロボット１が動作Ｍ２１を行うときには、ハンド７に取り付けられる２個の検知機構３３は、収容カセット３に置かれている基板２の下側（具体的には、動作Ｍ２１の後に、ハンド７に搭載される基板２の下側）を通る。
【0057】
ロボット１が動作Ｍ１４を行うときには、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構３３は、収容カセット４に置かれている基板２の下側（具体的には、動作Ｍ１４の後に、ハンド６に搭載される基板２の下側）を通り、ロボット１が動作Ｍ２４を行うときには、ハンド７に取り付けられる２個の検知機構３３は、収容カセット４に置かれている基板２の下側（具体的には、動作Ｍ２４の後に、ハンド７に搭載される基板２の下側）を通る。
【0058】
ロボット１が動作Ｍ１２を行うときには、ハンド６に搭載される基板２の左右方向の一端面は、２個の検知機構３４のうちの一方の検知機構３４の発光部３９と受光部４０との間を通り、ロボット１が動作Ｍ２２を行うときには、ハンド７に搭載される基板２の左右方向の一端面は、他方の検知機構３４の発光部３９と受光部４０との間を通る。本形態では、ロボット１が動作Ｍ１２、Ｍ２２を行うときに、検知機構３４は、ハンド６、７よりも右側に配置されており、ハンド６、７に搭載される基板２の右端面が発光部３９と受光部４０との間を通る。
【0059】
ロボット１が動作Ｍ１５を行うときには、ハンド６に搭載される基板２の前後方向の一端面は、２個の検知機構３４のうちの一方の検知機構３４の発光部３９と受光部４０との間を通り、ロボット１が動作Ｍ２５を行うときには、ハンド７に搭載される基板２の前後方向の一端面は、他方の検知機構３４の発光部３９と受光部４０との間を通る。本形態では、ロボット１が動作Ｍ１５、Ｍ２５を行うときに、検知機構３４は、ハンド６、７よりも後ろ側に配置されており、ハンド６、７に搭載される基板２の後端面が発光部３９と受光部４０との間を通る。
【0060】
すなわち、検知機構３４は、ロボット１が動作Ｍ１２、Ｍ２２を行うときに、ハンド６、７に搭載される基板２の右端面が発光部３９と受光部４０との間を通り、かつ、ロボット１が動作Ｍ１５、Ｍ２５を行うときに、ハンド６、７に搭載される基板２の後端面が発光部３９と受光部４０との間を通る位置に配置されている。また、検知機構３４は、ハンド位置６Ａ、７Ａに配置されるハンド６、７に搭載された基板２の後端面よりも後ろ側に配置されるとともに、ハンド位置６Ｃ、７Ｃに配置されるハンド６、７に搭載された基板２の左端面よりも左側に配置されている。また、検知機構３４は、前後方向において、動作Ｍ１２、Ｍ２２が完了した後のハンド６、７に搭載された基板２の前端面と後端面との間に配置されるとともに、左右方向において、動作Ｍ１５、Ｍ２５が完了した後のハンド６、７に搭載された基板２の右端面と左端面との間に配置されている。
【0061】
上述のように、受光部４０は、複数の受光素子が一列に配列されるラインセンサであるため、動作Ｍ１２、Ｍ２２が完了した後のハンド６、７に搭載される基板２の右端面の左右方向の位置を検知機構３４によって検知することが可能になっている。また、動作Ｍ１５、Ｍ２５が完了した後のハンド６、７に搭載される基板２の後端面の前後方向の位置を検知機構３４によって検知することが可能になっている。
【0062】
なお、ロボット１は、動作Ｍ１２と動作Ｍ１３との間、および、動作Ｍ１５と動作Ｍ１６との間に、本体部１０を回動させる回動動作を行う。このときには、アーム９も縮んでいる。また、ロボット１は、動作Ｍ２２と動作Ｍ２３との間、および、動作Ｍ２５と動作Ｍ２６との間に、本体部１０を回動させる回動動作を行う。このときには、アーム８も縮んでいる。また、ロボット１は、必要に応じて、動作Ｍ１２と動作Ｍ１３との間、動作Ｍ１５と動作Ｍ１６との間、動作Ｍ２２と動作Ｍ２３との間、および、動作Ｍ２５と動作Ｍ２６との間に、アームサポート１５の昇降動作や本体部１０の左右方向への移動動作を行う。また、ロボット１は、必要に応じて、動作Ｍ１１～Ｍ１６、Ｍ２１～Ｍ２６を行う際に、アームサポート１５の昇降動作や本体部１０の左右方向への移動動作を行うこともある。
【0063】
（ロボットの制御方法）
制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１１を行う際に、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構３３のうちの一方の検知機構３３が基板２を検知したとき（具体的には、収容カセット３に置かれた基板２の後端面を一方の検知機構３３が検知したとき（すなわち、一方の検知機構３３が基板２を最初に検知したとき））のハンド６の前後方向の位置のデータである位置データＤ１と、他方の検知機構３３が基板２を検知したとき（具体的には、収容カセット３に置かれた基板２の後端面を他方の検知機構３３が検知したとき（すなわち、他方の検知機構３３が基板２を最初に検知したとき））のハンド６の前後方向の位置のデータである位置データＤ２とを取得する。制御部３２は、検知機構３３の検知結果とアーム駆動機構２７のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ１、Ｄ２を取得する。
制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１１を行う際に、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構３３のうちの一方の検知機構３３が基板２を検知したとき（具体的には、収容カセット３に置かれた基板２の後端面を一方の検知機構３３が検知したとき（すなわち、一方の検知機構３３が基板２を最初に検知したとき））のハンド６の前後方向の位置のデータである位置データＤ１と、他方の検知機構３３が基板２を検知したとき（具体的には、収容カセット３に置かれた基板２の後端面を他方の検知機構３３が検知したとき（すなわち、他方の検知機構３３が基板２を最初に検知したとき））のハンド６の前後方向の位置のデータである位置データＤ２とを取得する。制御部３２は、検知機構３３の検知結果とアーム駆動機構２７のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ１、Ｄ２を取得する。
【0064】
制御部３２は、位置データＤ１、Ｄ２に基づいて、収容カセット３に置かれた基板２の前後方向の位置と向き（基板２の水平面内での傾き）を特定する。また、制御部３２は、特定した基板２の前後方向の位置および向きと、ロボット１に予め教示された基板２の前後方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が動作Ｍ１１を行う際に、この比較結果に基づいて、ハンド位置６Ａに到達するときのハンド６の前後方向の位置および向きを補正する。すなわち、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１１を行う際に、位置データＤ１、Ｄ２に基づいて、ハンド位置６Ａに到達するときのハンド６の前後方向の位置および向きを補正する。
【0065】
具体的には、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１１を行う際に、位置データＤ１、Ｄ２に基づいて、アーム駆動機構２７と回動機構２９と水平移動機構３１とを制御してハンド位置６Ａに到達するときのハンド６の前後方向の位置および向きを補正する。また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１１を行う際に、位置データＤ１、Ｄ２に基づいて、ハンド６に搭載される基板２の前後方向の位置が適切な位置になるとともに、ハンド６に搭載される基板２の向きが適切な向きになるように、ハンド位置６Ａに到達するときのハンド６の前後方向の位置および向きを補正する。
【0066】
また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１２を行う際に、所定の測定位置までハンド６が移動したときに検知機構３４によって検知される基板２の右端面の左右方向の位置のデータである位置データＤ３を取得する。制御部３２は、検知機構３４の検知結果とアーム駆動機構２７のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ３を取得する。本形態では、たとえば、動作Ｍ１２が完了したときのハンド６の位置が測定位置となっているが、動作Ｍ１２を行っている最中のハンド６の所定の位置が測定位置となっていても良い。
【0067】
制御部３２は、位置データＤ３に基づいて、ハンド６に搭載された基板２の左右方向の位置を特定する。また、制御部３２は、特定した基板２の左右方向の位置と、ロボット１に予め教示された基板２の左右方向の位置とを比較するとともに、ロボット１が動作Ｍ１３を行う際に、この比較結果に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の左右方向の位置を補正する。すなわち、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１３を行う際に、位置データＤ３に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の左右方向の位置を補正する。
【0068】
具体的には、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１３を行う際に、位置データＤ３に基づいて、水平移動機構３１を制御してハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の左右方向の位置を補正する。また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１３を行う際に、位置データＤ３に基づいて、処理装置５に置かれる基板２の左右方向の位置が適切な位置になるように、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の左右方向の位置を補正する。
【0069】
同様に、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２１を行う際に、ハンド７に取り付けられる２個の検知機構３３のうちの一方の検知機構３３が基板２を検知したときのハンド７の前後方向の位置のデータである位置データＤ４と、他方の検知機構３３が基板２を検知したときのハンド７の前後方向の位置のデータである位置データＤ５とを取得する。制御部３２は、検知機構３３の検知結果とアーム駆動機構２８のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ４、Ｄ５を取得する。
【0070】
制御部３２は、位置データＤ４、Ｄ５に基づいて、収容カセット３に置かれた基板２の前後方向の位置と向きを特定する。また、制御部３２は、特定した基板２の前後方向の位置および向きと、ロボット１に予め教示された基板２の前後方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が動作Ｍ２１を行う際に、この比較結果に基づいて、ハンド位置７Ａに到達するときのハンド７の前後方向の位置および向きを補正する。
【0071】
具体的には、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２１を行う際に、位置データＤ４、Ｄ５に基づいて、アーム駆動機構２８と回動機構２９と水平移動機構３１とを制御してハンド位置７Ａに到達するときのハンド７の前後方向の位置および向きを補正する。また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２１を行う際に、位置データＤ４、Ｄ５に基づいて、ハンド７に搭載される基板２の前後方向の位置が適切な位置になるとともに、ハンド７に搭載される基板２の向きが適切な向きになるように、ハンド位置７Ａに到達するときのハンド７の前後方向の位置および向きを補正する。
【0072】
また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２２を行う際に、所定の測定位置までハンド７が移動したときに検知機構３４によって検知される基板２の右端面の左右方向の位置のデータである位置データＤ６を取得する。制御部３２は、検知機構３４の検知結果とアーム駆動機構２８のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ６を取得する。本形態では、たとえば、動作Ｍ２２が完了したときのハンド７の位置が測定位置となっているが、動作Ｍ２２を行っている最中のハンド７の所定の位置が測定位置となっていても良い。
【0073】
制御部３２は、位置データＤ６に基づいて、ハンド７に搭載された基板２の左右方向の位置を特定する。また、制御部３２は、特定した基板２の左右方向の位置と、ロボット１に予め教示された基板２の左右方向の位置とを比較するとともに、ロボット１が動作Ｍ２３を行う際に、この比較結果に基づいて、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の左右方向の位置を補正する。すなわち、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２３を行う際に、位置データＤ６に基づいて、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の左右方向の位置を補正する。
【0074】
具体的には、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２３を行う際に、位置データＤ６に基づいて、水平移動機構３１を制御してハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の左右方向の位置を補正する。また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２３を行う際に、位置データＤ６に基づいて、処理装置５に置かれる基板２の左右方向の位置が適切な位置になるように、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の左右方向の位置を補正する。
【0075】
また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１４を行う際に、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構３３のうちの一方の検知機構３３が基板２を検知したとき（具体的には、収容カセット４に置かれた基板２の左端面を一方の検知機構３３が検知したとき）のハンド６の左右方向の位置のデータである位置データＤ１１と、他方の検知機構３３が基板２を検知したとき（具体的には、収容カセット４に置かれた基板２の左端面を他方の検知機構３３が検知したとき）のハンド６の左右方向の位置のデータである位置データＤ１２とを取得するとともに、ロボット１が動作Ｍ１５を行う際に、所定の測定位置までハンド６が移動したときに検知機構３４によって検知される基板２の後端面の前後方向の位置のデータである位置データＤ１３を取得する。
【0076】
本形態では、たとえば、動作Ｍ１５が完了したときのハンド６の位置が測定位置となっているが、動作Ｍ１５を行っている最中のハンド６の所定の位置が測定位置となっていても良い。また、制御部３２は、検知機構３３の検知結果とアーム駆動機構２７のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ１１、Ｄ１２を取得し、検知機構３４の検知結果とアーム駆動機構２７のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ１３を取得する。なお、ロボット１が動作Ｍ１４を行った後、収容カセット４に置かれている基板２をハンド６に搭載するときには、予め教示されたハンド位置６Ｃにハンド６が配置されるようにアーム８が伸びている。ハンド６には、収容カセット４に置かれているままの状態（位置および向き）の基板２が搭載される。
【0077】
制御部３２は、位置データＤ１１～Ｄ１３に基づいて、ハンド６に搭載された基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および向きを特定する。また、制御部３２は、特定した基板２の前後左右方向の位置（水平方向の位置）および向きと、ロボット１に予め教示された基板２の水平方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が動作Ｍ１６を行う際に、この比較結果に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。すなわち、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１６を行う際に、位置データＤ１１～Ｄ１３に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。
【0078】
具体的には、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１６を行う際に、位置データＤ１１～Ｄ１３に基づいて、アーム駆動機構２７と回動機構２９と水平移動機構３１とを制御してハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１６を行う際に、位置データＤ１１～Ｄ１３に基づいて、処理装置５に置かれる基板２の水平方向の位置が適切な位置になるとともに、処理装置５に置かれる基板２の向きが適切な向きになるように、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。
【0079】
同様に、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２４を行う際に、ハンド７に取り付けられる２個の検知機構３３のうちの一方の検知機構３３が基板２を検知したときのハンド７の左右方向の位置のデータである位置データＤ１４と、他方の検知機構３３が基板２を検知したときのハンド７の左右方向の位置のデータである位置データＤ１５とを取得するとともに、ロボット１が動作Ｍ２５を行う際に、所定の測定位置までハンド７が移動したときに検知機構３４によって検知される基板２の後端面の前後方向の位置のデータである位置データＤ１６を取得する。
【0080】
本形態では、たとえば、動作Ｍ２５が完了したときのハンド７の位置が測定位置となっているが、動作Ｍ２５を行っている最中のハンド７の所定の位置が測定位置となっていても良い。また、制御部３２は、検知機構３３の検知結果とアーム駆動機構２８のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ１４、Ｄ１５を取得し、検知機構３４の検知結果とアーム駆動機構２８のエンコーダの検知結果とに基づいて位置データＤ１６を取得する。なお、ロボット１が動作Ｍ２４を行った後、収容カセット４に置かれている基板２をハンド７に搭載するときには、予め教示されたハンド位置７Ｃにハンド７が配置されるようにアーム９が伸びている。ハンド７には、収容カセット４に置かれているままの状態（位置および向き）の基板２が搭載される。
【0081】
制御部３２は、位置データＤ１４～Ｄ１６に基づいて、ハンド７に搭載された基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および向きを特定する。また、制御部３２は、特定した基板２の前後左右方向の位置（水平方向の位置）および向きと、ロボット１に予め教示された基板２の水平方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が動作Ｍ２６を行う際に、この比較結果に基づいて、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正する。すなわち、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２６を行う際に、位置データＤ１４～Ｄ１６に基づいて、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正する。
【0082】
具体的には、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２６を行う際に、位置データＤ１４～Ｄ１６に基づいて、アーム駆動機構２８と回動機構２９と水平移動機構３１とを制御してハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正する。また、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２６を行う際に、位置データＤ１４～Ｄ１６に基づいて、処理装置５に置かれる基板２の水平方向の位置が適切な位置になるとともに、処理装置５に置かれる基板２の向きが適切な向きになるように、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正する。
【0083】
本形態の収容カセット４は、受取り部であり、処理装置５は、引渡し部であり、ハンド位置６Ｃ、７Ｃは、受取り位置であり、ハンド位置６Ｂ、７Ｂは、引渡し位置である。また、動作Ｍ１４、Ｍ２４は、第１動作であり、動作Ｍ１５、Ｍ２５は、第２動作であり、動作Ｍ１６、Ｍ２６は、第３動作である。また、本形態の左右方向（Ｙ方向）は、第１動作である動作Ｍ１４、Ｍ２４をロボット１が行うときのハンド６、７の移動方向である第１方向となっており、前後方向（Ｘ方向）は、上下方向と第１方向とに直交する第２方向となっている。ロボット１が動作Ｍ１４、Ｍ１５、Ｍ２４、Ｍ２５を行うときには、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構３３、および、ハンド７に取り付けられる２個の検知機構３３は、前後方向において間隔をあけた状態で配置されている。
【0084】
【0085】
たとえば、収容カセット４の中で、図５の実線で示すように基板２が置かれている場合、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行う際に補正されるハンド６、７の前後方向の位置、左右方向の位置および向きの補正値は、以下のように算出される。なお、図５において、破線で示す基板２は、収容カセット４の中の正規の位置に置かれている基板２（すなわち、水平方向の位置および向きを補正する必要がないように置かれている基板２）である。以下では、図５の実線で示す基板２と破線で示す基板２とを区別して表す場合には、実線で示す基板２を基板２Ａとし、破線で示す基板２を基板２Ｂとする。また、上下方向から見たときの基板２Ｂの中心を原点ＯＲとする。
【0086】
ロボット１が動作Ｍ１４、Ｍ２４を行う際に、ハンド６、７に取り付けられる２個の検知機構３３のうちの一方の検知機構３３が検知する基板２Ｂの左端面の位置をＰＢ１とし、ハンド６、７に取り付けられる他方の検知機構３３が検知する基板２Ｂの左端面の位置をＰＢ２とし、ロボット１が動作Ｍ１５、Ｍ２５を行う際に、検知機構３４が検知する基板２Ｂの後端面の位置をＰＢ３とすると、原点ＯＲを原点とする座標系において、ＰＢ１～ＰＢ３の座標は、以下のように表される。
ＰＢ１（－ｂ３／２，－ＹＢ／２）
ＰＢ２（ｂ３／２，－ＹＢ／２）
ＰＢ３（－ＸＢ／２，ｂ４－ＹＢ／２）
ＰＢ１（－ｂ３／２，－ＹＢ／２）
ＰＢ２（ｂ３／２，－ＹＢ／２）
ＰＢ３（－ＸＢ／２，ｂ４－ＹＢ／２）
【0087】
ここで、ＸＢは、基板２の前後方向の幅であり、ＹＢは、基板２の左右方向の幅である。また、ｂ３は、ＰＢ１とＰＢ２との前後方向の距離（すなわち、２個の検知機構３３の前後方向の距離）であり、原点ＯＲとＰＢ１との前後方向の距離と、原点ＯＲとＰＢ２との前後方向の距離とは、等しくなっている。また、ｂ４は、基板２の左端面とＰＢ３との左右方向の距離である。
【0088】
また、ロボット１が動作Ｍ１４、Ｍ２４を行う際に、ハンド６、７に取り付けられる２個の検知機構３３のうちの一方の検知機構３３が検知する基板２Ａの左端面の位置をＰ１とし、ハンド６、７に取り付けられる他方の検知機構３３が検知する基板２Ａの左端面の位置をＰ２とし、ロボット１が動作Ｍ１５、Ｍ２５を行う際に、検知機構３４が検知する基板２Ａの後端面の位置をＰ３とすると、原点ＯＲを原点とする座標系において、Ｐ１～Ｐ３の座標は、以下のように表される。
Ｐ１（－ｂ３／２，－ＹＢ／２＋Ｓ１）
Ｐ２（ｂ３／２，－ＹＢ／２＋Ｓ２）
Ｐ３（－ＸＢ／２－Ｓ３，ｂ４－ＹＢ／２）
ここで、Ｓ１は、ＰＢ１とＰ１との左右方向の距離であり、Ｓ２は、ＰＢ２とＰ２との左右方向の距離であり、Ｓ３は、ＰＢ３とＰ３との前後方向の距離である。
Ｐ１（－ｂ３／２，－ＹＢ／２＋Ｓ１）
Ｐ２（ｂ３／２，－ＹＢ／２＋Ｓ２）
Ｐ３（－ＸＢ／２－Ｓ３，ｂ４－ＹＢ／２）
ここで、Ｓ１は、ＰＢ１とＰ１との左右方向の距離であり、Ｓ２は、ＰＢ２とＰ２との左右方向の距離であり、Ｓ３は、ＰＢ３とＰ３との前後方向の距離である。
【0089】
基板２Ｂの左後端の角の位置を原点ＷＯＲとすると、原点ＷＯＲを原点した座標系において、Ｐ１、Ｐ２を通る直線は、以下のように表される。
ａｘ＋ｂｙ＋ｃ＝０
Ｐ３の座標を（Ｘ０，Ｙ０）とすると、この直線とＰ３との距離Ｌは、
Ｌ＝｜ａＸ０＋ｂＹ０＋ｃ｜／（ａ２＋ｂ２）１／２
となる。
また、基板２ＡのＰ３に対応する基板２Ｂの位置をＰ３′とすると、Ｐ３′の座標は、原点ＯＲを原点とする座標系において以下のように表される。
Ｐ３′（－ＸＢ／２，Ｌ－ＹＢ／２）
ａｘ＋ｂｙ＋ｃ＝０
Ｐ３の座標を（Ｘ０，Ｙ０）とすると、この直線とＰ３との距離Ｌは、
Ｌ＝｜ａＸ０＋ｂＹ０＋ｃ｜／（ａ２＋ｂ２）１／２
となる。
また、基板２ＡのＰ３に対応する基板２Ｂの位置をＰ３′とすると、Ｐ３′の座標は、原点ＯＲを原点とする座標系において以下のように表される。
Ｐ３′（－ＸＢ／２，Ｌ－ＹＢ／２）
【0090】
基板２Ｂに対する基板２Ａの傾斜角度（すなわち、基板２Ｂに対する基板２Ａの向きのずれ）をθとすると、
ｔａｎθ＝（Ｓ２－Ｓ１）／ｂ３
であるため、基板２Ｂに対する基板２Ａの向きの補正値である角度θは、下式で算出される。
θ＝ｔａｎθ－１（（Ｓ２－Ｓ１）／ｂ３）
この角度θは、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行う際に補正されるハンド６、７の向きの補正値となる。
ｔａｎθ＝（Ｓ２－Ｓ１）／ｂ３
であるため、基板２Ｂに対する基板２Ａの向きの補正値である角度θは、下式で算出される。
θ＝ｔａｎθ－１（（Ｓ２－Ｓ１）／ｂ３）
この角度θは、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行う際に補正されるハンド６、７の向きの補正値となる。
【0091】
原点ＯＲを原点とする座標系において、Ｐ３′が角度θ、回転した位置をＰ３′ｒとし、Ｐ３′ｒの座標を（Ｐ３′ｒｘ，Ｐ３′ｒｙ）とするとともに、Ｐ３′の座標を（Ｐ３′ｘ，Ｐ３′ｙ）とすると、Ｐ３′ｒｘ、Ｐ３′ｒｘ、は、下式で表される。
Ｐ３′ｒｘ＝Ｐ３′ｘ×ｃｏｓθ－Ｐ３′ｙ×ｓｉｎθ
Ｐ３′ｒｙ＝Ｐ３′ｘ×ｓｉｎθ＋Ｐ３′ｙ×ｃｏｓθ
Ｐ３′ｒｘ＝Ｐ３′ｘ×ｃｏｓθ－Ｐ３′ｙ×ｓｉｎθ
Ｐ３′ｒｙ＝Ｐ３′ｘ×ｓｉｎθ＋Ｐ３′ｙ×ｃｏｓθ
【0092】
原点ＯＲを原点とする座標系において、Ｐ３の座標を（Ｐ３ｘ，Ｐ３ｙ）とすると、Ｐ３とＰ３′ｒとの平行ずれ成分ΔＸ、および、Ｐ３とＰ３′ｒとの平行ずれ成分ΔＹを算出するために、原点ＯＲを中心にして角度θ回転させた座標系で、Ｐ３の座標（Ｐ３ｘｒ，Ｐ３ｙｒ）およびＰ３′ｒの座標（Ｐ３′ｒｘｒ，Ｐ３′ｒｙｒ）を表すと、以下のようになる。
Ｐ３′ｒｘｒ＝Ｐ３′ｒｘ×ｃｏｓθ＋Ｐ３′ｒｙ×ｓｉｎθ
Ｐ３′ｒｙｒ＝－Ｐ３′ｒｘ×ｓｉｎθ＋Ｐ３′ｒｙ×ｃｏｓθ
Ｐ３ｘｒ＝Ｐ３ｘ×ｃｏｓθ＋Ｐ３ｙ×ｓｉｎθ
Ｐ３ｙｒ＝－Ｐ３ｘ×ｓｉｎθ＋Ｐ３ｙ×ｃｏｓθ
Ｐ３′ｒｘｒ＝Ｐ３′ｒｘ×ｃｏｓθ＋Ｐ３′ｒｙ×ｓｉｎθ
Ｐ３′ｒｙｒ＝－Ｐ３′ｒｘ×ｓｉｎθ＋Ｐ３′ｒｙ×ｃｏｓθ
Ｐ３ｘｒ＝Ｐ３ｘ×ｃｏｓθ＋Ｐ３ｙ×ｓｉｎθ
Ｐ３ｙｒ＝－Ｐ３ｘ×ｓｉｎθ＋Ｐ３ｙ×ｃｏｓθ
【0093】
そのため、基板２Ｂに対する基板２Ａの補正値となる平行ずれ成分ΔＸ、ΔＹは、それぞれ下式で算出される。
ΔＸ＝Ｐ３ｘｒ－Ｐ３′ｒｘｒ
ΔＹ＝Ｐ３ｙｒ－Ｐ３′ｒｙｒ
平行ずれ成分ΔＸは、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行う際に、水平駆動機構３１によって補正されるハンド６、７の位置の補正値となる。平行ずれ成分ΔＹは、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行う際に、アーム駆動機構２７、２８によって補正されるハンド６、７の位置の補正値となる。
ΔＸ＝Ｐ３ｘｒ－Ｐ３′ｒｘｒ
ΔＹ＝Ｐ３ｙｒ－Ｐ３′ｒｙｒ
平行ずれ成分ΔＸは、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行う際に、水平駆動機構３１によって補正されるハンド６、７の位置の補正値となる。平行ずれ成分ΔＹは、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行う際に、アーム駆動機構２７、２８によって補正されるハンド６、７の位置の補正値となる。
【0094】
ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行うときには、角度θ分の補正は、回動機構２９によって補正され、平行ずれ成分ΔＸ分の補正は、水平移動機構３１によって補正され、平行ずれ成分ΔＹ分の補正は、アーム駆動機構２７、２８によって補正される。
【0095】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１６を行う際に、位置データＤ１１～Ｄ１３に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正し、ロボット１が動作Ｍ２６を行う際に、位置データＤ１４～Ｄ１６に基づいて、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正している。
以上説明したように、本形態では、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１６を行う際に、位置データＤ１１～Ｄ１３に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正し、ロボット１が動作Ｍ２６を行う際に、位置データＤ１４～Ｄ１６に基づいて、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正している。
【0096】
すなわち、本形態では、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行うときのみに、ハンド６、７の水平方向の位置および向きを補正しており、動作Ｍ１４、Ｍ２４を行うときには、ハンド６、７の位置や向きの補正を行っていない。したがって、本形態では、収容カセット４に置かれている基板２の水平方向の位置および向きを補正してから処理装置５に基板２を置くことが可能であっても、収容カセット４から処理装置５への基板２の搬送時間を短縮することが可能になる。
【0097】
なお、本形態では、本体部１０を前後方向に移動させることができないため、ロボット１が動作Ｍ１４、Ｍ２４を行うときには、ハンド６、７の向きを適切に補正することができないが、本形態では、ロボット１が動作Ｍ１４、Ｍ２４を行うときにハンド６、７の向きを適切に補正することができなくても、ロボット１が動作Ｍ１６、Ｍ２６を行うときにハンド６、７の向きを適切に補正することが可能になる。
【0098】
（ロボットの制御方法の変更例）
上述した形態において、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１１を行う際に、位置データＤ１、Ｄ２を取得し、かつ、ロボット１が動作Ｍ１２を行う際に、位置データＤ３を取得するとともに、ロボット１が動作Ｍ１３を行う際に、位置データＤ１～Ｄ３に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正しても良い。この場合には、ロボット１が動作Ｍ１１を行った後、収容カセット３に置かれている基板２をハンド６に搭載するときに、予め教示されたハンド位置６Ａにハンド６が配置されるようにアーム８が伸びている。ハンド６には、収容カセット３に置かれているままの状態（位置および向き）の基板２が搭載される。
上述した形態において、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１１を行う際に、位置データＤ１、Ｄ２を取得し、かつ、ロボット１が動作Ｍ１２を行う際に、位置データＤ３を取得するとともに、ロボット１が動作Ｍ１３を行う際に、位置データＤ１～Ｄ３に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正しても良い。この場合には、ロボット１が動作Ｍ１１を行った後、収容カセット３に置かれている基板２をハンド６に搭載するときに、予め教示されたハンド位置６Ａにハンド６が配置されるようにアーム８が伸びている。ハンド６には、収容カセット３に置かれているままの状態（位置および向き）の基板２が搭載される。
【0099】
また、この場合には、制御部３２は、位置データＤ１～Ｄ３に基づいて、ハンド６に搭載された基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および向きを特定し、特定した基板２の前後左右方向の位置（水平方向の位置）および向きと、ロボット１に予め教示された基板２の水平方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が動作Ｍ１３を行う際に、この比較結果に基づいて、ハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。具体的には、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ１３を行う際に、位置データＤ１～Ｄ３に基づいて、アーム駆動機構２７と回動機構２９と水平移動機構３１とを制御してハンド位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。
【0100】
同様に、上述した形態において、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２１を行う際に、位置データＤ４、Ｄ５を取得し、かつ、ロボット１が動作Ｍ２２を行う際に、位置データＤ６を取得するとともに、ロボット１が動作Ｍ２３を行う際に、位置データＤ４～Ｄ６に基づいて、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正しても良い。この場合には、ロボット１が動作Ｍ２１を行った後、収容カセット３に置かれている基板２をハンド７に搭載するときに、予め教示されたハンド位置７Ａにハンド７が配置されるようにアーム９が伸びている。ハンド７には、収容カセット３に置かれているままの状態（位置および向き）の基板２が搭載される。
【0101】
また、この場合には、制御部３２は、位置データＤ４～Ｄ６に基づいて、ハンド７に搭載された基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および向きを特定し、特定した基板２の前後左右方向の位置（水平方向の位置）および向きと、ロボット１に予め教示された基板２の水平方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が動作Ｍ２３を行う際に、この比較結果に基づいて、ハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正する。具体的には、制御部３２は、ロボット１が動作Ｍ２３を行う際に、位置データＤ４～Ｄ６に基づいて、アーム駆動機構２８と回動機構２９と水平移動機構３１とを制御してハンド位置７Ｂに到達するときのハンド７の水平方向の位置および向きを補正する。
【0102】
この変更例では、収容カセット３は、受取り部であり、ハンド位置６Ａ、７Ａは、受取り位置である。また、動作Ｍ１１、Ｍ２１は、第１動作であり、動作Ｍ１２、Ｍ２２は、第２動作であり、動作Ｍ１３、Ｍ２３は、第３動作である。また、この変更例では、前後方向（Ｘ方向）は、第１動作である動作Ｍ１１、Ｍ２１をロボット１が行うときのハンド６、７の移動方向である第１方向となっており、左右方向（Ｘ方向）は、上下方向と第１方向とに直交する第２方向となっている。ロボット１が動作Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２を行うときには、ハンド６に取り付けられる２個の検知機構３３、および、ハンド７に取り付けられる２個の検知機構３３は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。
【0103】
この変更例では、収容カセット３に置かれている基板２の水平方向の位置および向きを補正してから処理装置５に基板２を置くことが可能であっても、収容カセット３から処理装置５への基板２の搬送時間を短縮することが可能になる。
【0104】
（他の実施の形態）
上述した形態および変更例は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
上述した形態および変更例は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【0105】
上述した形態において、ロボット１は、処理装置５から収容カセット４まで基板２を搬送しても良い。すなわち、ロボット１は、処理装置５から基板２を搬出するとともに、処理装置５から搬出した基板２を収容カセット４に搬入しても良い。この場合には、処理装置５は、受取り部となり、収容カセット４は、引渡し部となる。また、上述したロボットの制御方法の変更例において、ロボット１は、処理装置５から収容カセット３まで基板２を搬送しても良い。この場合には、処理装置５は、受取り部となり、収容カセット３は、引渡し部となる。
【0106】
上述した形態において、ロボット１が備える検知機構３４の数は１個であっても良い。この場合には、ロボット１が動作Ｍ１２を行うときに、ハンド６に搭載される基板２の右端面が１個の検知機構３４の発光部３９と受光部４０との間を通るとともに、ロボット１が動作Ｍ２２を行うときに、ハンド７に搭載される基板２の右端面が１個の検知機構３４の発光部３９と受光部４０との間を通るように、検知機構３４が配置されている。また、ロボット１が動作Ｍ１５を行うときに、ハンド６に搭載される基板２の後端面が１個の検知機構３４の発光部３９と受光部４０との間を通るとともに、ロボット１が動作Ｍ２５を行うときに、ハンド７に搭載される基板２の右端面が１個の検知機構３４の発光部３９と受光部４０との間を通るように、検知機構３４が配置されている。
【0107】
また、この場合には、ロボット１が動作Ｍ１２、Ｍ１５を行うときに、アーム９は、伸びているか、または、ハンド７に基板２が搭載されていない状態で縮んでおり、ロボット１が動作Ｍ２２、Ｍ２５を行うときに、アーム８は、伸びているか、または、ハンド６に基板２が搭載されていない状態で縮んでいる。
【0108】
上述した形態において、受光部４０は、複数の受光素子が二次元的に配列されるエリアセンサであっても良い。この場合であっても、検知機構３４によって、ハンド６、７に搭載される基板２の右端面の左右方向の位置を検知すること、および、検知機構３４によって、ハンド６、７に搭載される基板２の後端面の前後方向の位置を検知することは可能である。
【0109】
上述した形態では、アーム８とアーム９とが上下方向においてずれた状態で配置されているが、アーム８とアーム９とが上下方向において同じ位置に配置されていて、水平方向において互いに隣接していても良い。また、上述した形態において、ロボット１が備えるハンドおよびアームの数は１個であっても良い。たとえば、ロボット１は、１個のハンド６と１本のアーム８のみを備えていても良い。また、上述した形態において、アーム８、９は、３個以上のアーム部によって構成されていても良い。
【0110】
上述した形態において、ロボット１は、アーム８、９に代えて、たとえば、特開２０１８－１５８３９号公報に開示された産業用ロボットのアームのように、２個のハンド６、７のそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個の先端側アーム部と、２個の先端側アーム部の基端側が回動可能に連結される共通アーム部とから構成されるアームを備えていても良い。
【0111】
また、上述した形態において、ロボット１は、アーム８、９に代えて、たとえば、特開２０１９－２５５８５号公報に開示された産業用ロボットのアームのように、ハンド６、７の水平方向への直線的な往復移動が可能となるようにハンド６、７を保持する細長い略直方体状のアームを備えていても良い。すなわち、ロボット１は、水平方向へのスライドが可能となるようにハンド６、７がアームに連結されたいわゆるリニアタイプのロボットであっても良い。また、上述した形態において、ロボット１が搬送する搬送対象物は、基板２以外のものであっても良い。
【符号の説明】
【0112】
１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
３、４ 収容カセット（受取り部）
５ 処理装置（引渡し部）
６、７ ハンド
８、９ アーム
１０ 本体部
２１ 第１アーム部（アーム部）
２２ 第２アーム部（アーム部）
２７、２８ アーム駆動機構
２９ 回動機構
３１ 水平移動機構
３２ 制御部
３３ 検知機構（第１検知機構）
３４ 検知機構（第２検知機構）
３７ 発光部（第１の発光部）
３８ 受光部（第１の受光部）
３９ 発光部（第２の発光部）
４０ 受光部（第２の受光部）
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
３、４ 収容カセット（受取り部）
５ 処理装置（引渡し部）
６、７ ハンド
８、９ アーム
１０ 本体部
２１ 第１アーム部（アーム部）
２２ 第２アーム部（アーム部）
２７、２８ アーム駆動機構
２９ 回動機構
３１ 水平移動機構
３２ 制御部
３３ 検知機構（第１検知機構）
３４ 検知機構（第２検知機構）
３７ 発光部（第１の発光部）
３８ 受光部（第１の受光部）
３９ 発光部（第２の発光部）
４０ 受光部（第２の受光部）
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】