特開 2023-55241 光漏れの検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023055241

(43)【公開日】2023-04-18

(54)【発明の名称】光漏れの検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/954 20060101AFI20230411BHJP

【ＦＩ】

G01N21/954 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021164406

(22)【出願日】2021-10-06

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】吉村 俊哉

(72)【発明者】

【氏名】渋谷 収

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA68

2G051AA82

2G051AB04

2G051BA20

2G051CA04

2G051CB02

2G051CC11

(57)【要約】

【課題】透光性基板の穴の内壁に被覆された遮光部材の光漏れを効率よく検査可能な検査方法を提供すること。
【解決手段】ワークＷにおいて、透光性基板Ｗ０には、内壁Ｗ１０が遮光部材Ｗ２によって被覆された穴Ｗ１が設けられている。透光性基板Ｗ０の穴Ｗ１内での遮光部材Ｗ２の光漏れを検査する工程では、穴Ｗ１に対向するように検査用の撮像装置２を設け、穴Ｗ１と撮像装置２との間には、穴Ｗ１の中心軸線Ｌを中心に湾曲した反射面３０を備えたミラー３を配置する。この状態で、透光性基板Ｗ０に光を入射させ、撮像装置２によって穴Ｗ１の内壁Ｗ１０をミラー３を介して撮像する。ミラー３は筒状であり、その内周面によって、反射面３０が３６０°の角度範囲に設けられている。また、反射面３０は、穴Ｗ１の中心軸線Ｌが延在する方向において、穴Ｗ１から離隔する程、中心軸線Ｌから離隔するように斜めに傾いている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

透光性基板の穴の内壁に被覆された遮光部材の光漏れを検査するにあたって、
前記穴の中心軸線を中心に湾曲した反射面を備えたミラーを撮像装置と前記穴との間に配置し、
前記透光性基板に光を入射させた際の前記穴の内部を前記ミラーを介して前記撮像装置によって撮像し、
前記撮像装置による撮像結果に基づいて前記光漏れを検査することを特徴とする光漏れの検査方法。

【請求項2】

請求項１に記載の光漏れの検査方法において、
前記ミラーでは、前記反射面が前記中心軸線を中心とする３６０°の角度範囲に設けられていることを特徴とする光漏れの検査方法。

【請求項3】

請求項１または２に記載の光漏れの検査方法において、
前記反射面は、前記穴から前記中心軸線が延在する方向に離隔する程、前記中心軸線から離隔するように斜めに傾いており、
前記反射面において最も前記穴の側に位置する端部の前記中心軸線からの距離が前記穴の半径より大きいことを特徴とする光漏れの検査方法。

【請求項4】

請求項１から３までの何れか一項に記載の光漏れの検査方法において、
前記ミラーを前記透光性基板に接させた状態で前記撮像装置による撮像を行うことを特徴とする光漏れの検査方法。

【請求項5】

請求項１から３までの何れか一項に記載の光漏れの検査方法において、
前記ミラーを前記透光性基板から離隔させた状態で前記撮像装置による撮像を行うことを特徴とする光漏れの検査方法。

【請求項6】

請求項１から４までの何れか一項に記載の光漏れの検査方法において、
前記透光性基板は、表示パネルを構成していることを特徴とする光漏れの検査方法。

【請求項7】

請求項６に記載の光漏れの検査方法において、
前記表示パネルは、前記透光性基板に平面視で重なる透光性の導光板を備え、
前記光漏れを検査する際、前記導光板の端部から前記導光板に入射させた光を前記透光性基板に入射させることを特徴とする光漏れの検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークに設けられた穴の内壁を覆う遮光膜における光漏れの検査方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

部品に存在する穴の内周面の形状等を検査するにあたって、リング照明装置から穴の内部に照明光を照射した状態で撮像装置によって穴の内周面を撮像する方法が提案されている（特許文献１、２参照）。特許文献１、２では、穴の内周面を撮像する際、撮像装置と部品との間に、穴の中心軸線を中心に曲がった反射面を備えたミラーを配置し、ミラーを介して穴の内周面を撮像する。一方、表示パネルを備えた電子機器において、表示パネルの透光性基板に形成した穴をカメラの光路として利用する技術が検討されている（特許文献３参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６－３３７０７４号公報

【特許文献2】特開２００９－１５０７６７号公報

【特許文献3】特開２０１４－１０３４５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献３の技術では、余計な光がカメラに入射しないように穴の内壁を遮光部材で被覆することが好ましい。この場合、遮光部材のピンホール等に起因する穴の内部での光漏れを検査する必要があるが、かかる光漏れは、特許文献１、２に記載の技術では検査することができないという問題点がある。一方、作業者が穴の内部を目視で検査する場合、様々な角度から観察する必要があるため、検査効率が低いという問題点がある。

【0005】

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、透光性基板の穴の内壁に被覆された遮光部材の光漏れを効率よく検査可能な検査方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明は、透光性基板の穴の内壁に被覆された遮光部材の光漏れを検査するにあたって、前記穴の中心軸線を中心に湾曲した反射面を備えたミラーを撮像装置と前記穴との間に配置し、前記透光性基板に光を入射させた際の前記穴の内部を前記ミラーを介して前記撮像装置によって撮像し、前記撮像装置による撮像結果に基づいて前記光漏れを検査することを特徴とする。

【0007】

本発明では、透光性基板に光を入射させ、撮像装置によって、遮光部材が被覆された穴の内壁を、中心軸線を中心に湾曲した反射面を介して撮像する。このため、遮光部材にピンホール等に起因する光漏れが存在する場合、光漏れは周方向に延長された像として撮像される。それ故、作業者が直接、穴の内部を目視で検査する場合と比較して、穴内の光漏れを効率よく確実に検出することができる。

【0008】

本発明において、前記ミラーでは、前記反射面が前記中心軸線を中心とする３６０°の角度範囲に設けられている態様を採用することができる。

【0009】

本発明において、前記反射面は、前記穴から前記中心軸線が延在する方向に離隔する程
、前記中心軸線から離隔するように斜めに傾いており、前記反射面において最も前記穴の側に位置する端部の前記中心軸線からの距離が前記穴の半径より大きい態様を採用することができる。

【0010】

本発明において、前記ミラーが前記透光性基板に接する状態で前記撮像装置による撮像を行う態様を採用することができる。

【0011】

本発明において、前記ミラーを前記透光性基板から離隔させた状態で前記撮像装置による撮像を行う態様を採用してもよい。

【0012】

本発明において、前記透光性基板は、表示パネルを構成している態様を採用してもよい。

【0013】

本発明において、前記表示パネルは、前記透光性基板に平面視で重なる透光性の導光板を備え、前記光漏れを検査する際、前記導光板の端部から前記導光板に入射させた光を前記透光性基板に入射させる態様を採用することができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明では、透光性基板に光を入射させ、撮像装置によって、遮光部材が被覆された穴の内壁を、中心軸線を中心に湾曲した反射面を介して撮像する。このため、遮光部材にピンホール等に起因する光漏れが存在する場合、光漏れは周方向に延長された像として撮像される。それ故、作業者が直接、穴の内部を目視で検査する場合と比較して、穴内の光漏れを効率よく確実に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施形態１に係る検査方法が適用されるワークの一例を示す説明図。

【図2】図１に示すワークの断面図。

【図3】本発明の実施形態１に係る光漏れの検査方法を示す説明図。

【図4】図３に示す検査工程において、ミラーと透光性基板との距離を０ｍｍに設定した際の撮像結果を示す説明図。

【図5】図３に示す検査工程において、ミラーと透光性基板との距離を２．５ｍｍに設定した際の撮像結果を示す説明図。

【図6】図４に示す画像を得た際、遮光部材に光漏れがあった場合の説明図。

【図7】図５に示す画像を得た際、遮光部材に光漏れがあった場合の説明図。

【図8】本発明の実施形態２に係る検査方法が適用されるワークの説明図。

【図9】本発明の実施形態２に係る光漏れの検査方法を示す説明図。

【図10】本発明の実施形態３に係る光漏れの検査方法を示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る光漏れの検査方法を説明する。

【0017】

［実施形態１］
（ワークＷの一例）
図１は、本発明の実施形態１に係る検査方法が適用されるワークＷの一例を示す説明図である。図２は、図１に示すワークＷの断面図である。

【0018】

図１および図２に示すワークＷは、液晶表示パネル、有機エレクトロルミネッセンス表示パネル等の表示パネル１である。本形態において、表示パネル１は液晶表示パネル１０であり、液晶表示パネル１０は、液晶層１３を介して貼り合わされた一対の基板１１、１２と、一対の基板１１、１２に重なる透光性の導光板１４とを備えている。基板１１、１
２は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板からなる。液晶表示パネル１０では、基板１１と基板１２との間にシール材１６が枠状に設けられ、シール材１６によって囲まれた領域に液晶層１３が設けられる。

【0019】

表示パネル１をスマートフォン等の電子機器に搭載する際、導光板１４の端部には、ＬＥＤ等の発光素子１５が光源として配置される。また、基板１１と導光板１４との間や、基板１２に対して基板１１とは反対側には偏光板等の光学素子（図示せず）が配置される。

【0020】

かかる構成によれば、発光素子１５から出射された光源光は、導光板１４の内部で反射を繰り返しながら伝搬し、基板１１、１２の側に出射される。従って、表示パネル１では、導光板１４から入射した光が基板１１および液晶層１３を経由して基板１２から出射される間に、基板１１に形成された画素電極と基板１２に形成された共通電極との間で光変調される結果、画像が表示される。

【0021】

図示を省略するが、表示パネル１は、有機エレクトロルミネッセンス表示パネルであってもよく、有機エレクトロルミネッセンス表示パネルでは、透光性基板に自発光素子である有機エレクトロルミネッセンス素子が設けられている。従って、表示パネル１は、液晶表示パネル１０、および有機エレクトロルミネッセンス表示パネルのいずれであっても、透光性基板を有する。

【0022】

本形態において、表示パネル１は、穴Ｗ１が形成された透光性基板Ｗ０を有する。本形態では、図２に示すように、互いに平面視で重なる基板１２、基板１１、および導光板１４がいずれも透光性を有するとともに、穴Ｗ１は、基板１２、基板１１、および導光板１４を貫通している。従って、形態では、基板１２、基板１１、および導光板１４を纏めて、穴Ｗ１が設けられた透光性基板Ｗ０とする。

【0023】

穴Ｗ１は、シール材１６の外側の外周領域１７に設けられる。このため、穴Ｗ１を設けても、液晶表示パネル１０での表示動作に支障がない。

【0024】

透光性基板Ｗ０をスマートフォン等の電子機器に搭載する際、穴Ｗ１と重なる位置にカメラＣの撮像素子Ｃ１が配置される。また、穴Ｗ１の内部には、レンズ等の光学素子が配置されることがある。

【0025】

ここで、穴Ｗ１の内壁Ｗ１０は、撮像素子Ｃ１に余計な光が入射しないように、遮光部材Ｗ２によって被覆されている。遮光部材Ｗ２は、アルミニウム等の反射性金属等のシートからなる。本形態において、遮光部材Ｗ２は、導光板１４の基板１１、１２とは反対側の面に重なるように配置されており、遮光部材Ｗ２の筒状部Ｗ２１が穴Ｗ１の内壁Ｗ１０に重なっている。従って、遮光部材Ｗ２は、導光板１４から基板１１とは反対側に漏れようとした光を導光板１４に向けて反射させる反射層としても機能する。

【0026】

かかる表示パネル１を製造する際、図３を参照して以下に説明する検査工程において、透光性基板Ｗ０の穴Ｗ１内での遮光部材Ｗ２の光漏れが検査される。

【0027】

（検査方法）
図３は、本発明の実施形態１に係る光漏れの検査方法を示す説明図である。図４は、図３に示す検査工程において、ミラー３と透光性基板Ｗ０との距離ｅを０ｍｍに設定した際の撮像結果を示す説明図である。図５は、図３に示す検査工程において、ミラー３と透光性基板Ｗ０との距離ｅを２．５ｍｍに設定した際の撮像結果を示す説明図である。図６は、図４に示す画像を得た際、遮光部材Ｗ２に光漏れがあった場合の説明図である。図７は
、図５に示す画像を得た際、遮光部材Ｗ２に光漏れがあった場合の説明図である。

【0028】

図３に示すように、透光性基板Ｗ０の穴Ｗ１内での遮光部材Ｗ２の光漏れを検査する工程では、透光性基板Ｗ０を備えたワークＷをステージＳに載置した状態で、穴Ｗ１に対向するように検査用の撮像装置２を設ける。撮像装置２は、図示を省略するが、撮像素子および合焦光学系等を備える。また、撮像装置２と穴Ｗ１との間には、穴Ｗ１の中心軸線Ｌを中心に湾曲した反射面３０を備えたミラー３が配置される。

【0029】

この状態で、透光性基板Ｗ０に光を入射させ、撮像装置２によって穴Ｗ１の内壁Ｗ１０をミラー３の反射面３０を介して撮像する。ミラー３において、反射面３０は、穴Ｗ１の中心軸線Ｌが延在する方向において、穴Ｗ１から離隔する程、中心軸線Ｌから離隔するように斜めに傾いており、反射面３０において最も穴Ｗ１の側に位置する端部３０ａの中心軸線Ｌからの距離ｄ１は、穴Ｗ１の半径ｄ２より大きい。本形態において、反射面３０は、穴Ｗ１の側に位置する端部３０ａから穴Ｗ１とは反対側の端部３０ｂまで直線的に延在する円錐面になっている。

【0030】

本形態において、ミラー３は円筒状の部材であり、反射面３０が中心軸線Ｌを中心とする３６０°の角度範囲に設けられている。より具体的には、ミラー３は、中心軸線Ｌの延在方向の両側の端面３２、３３で穴が開口する円筒状の部材であって、ミラー３は、アルミニウム等の反射性金属からなる。従って、ミラー３の内周面は研磨によって反射面３０として構成されている。また、反射面３０において最も穴Ｗ１の側に位置する端部３０ａの半径は、端部３０ａの中心軸線Ｌからの距離ｄ１に相当し、端部３０ａの半径（距離ｄ１）は、穴Ｗ１の半径ｄ２より大きい。本形態において、反射面３０において最も穴Ｗ１の側に位置する端部３０ａの半径は５ｍｍであり、反射面３０によって規定される二等辺三角形において等しい辺に挟まれた角の角度は、例えば４５°である。

【0031】

また、透光性基板Ｗ０に光を入射させるにあたっては、外光を透光性基板Ｗ０に入射させる方法、あるいは照明装置から出射された光を透光性基板Ｗ０に入射させる方法が採用可能である。本形態では、透光性基板Ｗ０が導光板１４を含んでいることから、発光素子１５を照明装置４の光源として利用する。また、液晶表示パネル１０では、全ての画素を暗表示とする。

【0032】

かかる検査方法によれば、撮像装置２によって、図４および図５に示す同心円状の画像が得られる。図４に示す画像は、図３において、ミラー３と透光性基板Ｗ０との距離ｅが０ｍｍの場合の画像である。すなわち、図４に示す画像は、図３において、ミラー３と透光性基板Ｗ０とが接している場合の画像である。図５に示す画像は、図３において、ミラー３と透光性基板Ｗ０とが２．５ｍｍの距離ｅだけ離隔している場合の画像である。図４および図５に示す画像Ｐのいずれにおいても、円Ｐ０の内側が穴Ｗ１の内側の画像である。

【0033】

図４および図５に示す円形の画像Ｐでは、中央の円形の黒色部分Ｐ１と、黒色部分Ｐ１を囲む円環状の黒色部分Ｐ２とを確認できる。円形の黒色部分Ｐ１は、穴Ｗ１の底部の画像であり、円環状の黒色部分Ｐ２は、穴Ｗ１の内壁Ｗ１０を覆う遮光部材Ｗ２の筒状部Ｗ２１の画像である。図４および図５に示す画像Ｐは、透光性基板Ｗ０の穴Ｗ１内での遮光部材Ｗ２の光漏れが存在しない場合の検査結果を示しており、円環状の黒色部分Ｐ２には光漏れを原因とする白色部分が存在しない。

【0034】

これに対して、透光性基板Ｗ０の穴Ｗ１内での遮光部材Ｗ２にピンホール等が存在し、遮光部材Ｗ２で光漏れが発生している場合、図６および図７に示すように、画像Ｐでは、円環状の黒色部分Ｐ２に光漏れを原因とする白色部分Ｐ５が円弧状に延在している像が観
察される。

【0035】

なお、ミラー３と透光性基板Ｗ０との距離ｅが０ｍｍである場合、図４および図６に示すように、円環状の黒色部分Ｐ２の外周側には、反射面３０での外光の繰り返し反射等に起因する円環部Ｐ２０が観察され、黒色部分Ｐ１と黒色部分Ｐ２との間には、穴Ｗ１と反射面３０の端部３０ａとの間の像が２重の白色領域Ｐ２１、Ｐ２２として観察される。また、ミラー３と透光性基板Ｗ０との距離ｅが２．５ｍｍである場合、図５および図７に示すように、円環状の黒色部分Ｐ２の外周側には、反射面３０での外光の繰り返し反射等に起因する円環部Ｐ２０が観察され、黒色部分Ｐ１と黒色部分Ｐ２との間には、穴Ｗ１と反射面３０の端部３０ａとの間の像が白色領域Ｐ２３として観察される。

【0036】

（実施形態１の主な効果）
以上説明したように、本形態では、透光性基板Ｗ０に光を入射させ、撮像装置２によって、遮光部材Ｗ２が被覆された穴Ｗ１の内壁Ｗ１０をミラー３の円錐状の反射面３０を介して撮像する。このため、遮光部材Ｗ２にピンホール等に起因する光漏れが存在する場合、光漏れは周方向に拡大された像として撮像される。また、ミラー３において、反射面３０が中心軸線Ｌを中心とする３６０°の角度範囲に設けられているため、穴Ｗ１の内壁Ｗ１０のいずれの角度位置にピンホール等が存在する場合でも、光漏れを検出することができる。それ故、本形態によれば、作業者が直接、穴Ｗ１の内部を目視で検査する場合と比較して、穴Ｗ１内の光漏れを効率よく確実に検出することができる。また、ミラー３と透光性基板Ｗ０とが接している状態で光漏れを検査する場合には、ミラー３と透光性基板Ｗ０との相対位置を適正に維持することができるので、多数の透光性基板Ｗ０を順次検査するのに適している。

【0037】

［実施形態２］
図８は、本発明の実施形態２に係る検査方法が適用されるワークＷの説明図である。図９は、本発明の実施形態２に係る光漏れの検査方法を示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

【0038】

実施形態１では、穴Ｗ１が基板１２、基板１１、および導光板１４を貫通していたため、穴Ｗ１が設けられた透光性基板Ｗ０は、基板１２、基板１１、および導光板１４を含んでいたが、図８に示すように、本形態において、穴Ｗ１は、基板１１および導光板１４に設けられており、基板１２には穴Ｗ１が形成されていない。このため、本形態において、穴Ｗ１が設けられた透光性基板Ｗ０は、基板１１および導光板１４からなる。

【0039】

従って、図９に示すように、透光性基板Ｗ０の穴Ｗ１内での遮光部材Ｗ２の光漏れを検査する工程では、導光板１４が撮像装置２の側に位置するように、透光性基板Ｗ０をステージＳに載置した状態で、穴Ｗ１に対向するように検査用の撮像装置２を設ける。また、撮像装置２と穴Ｗ１との間には、穴Ｗ１の中心軸線Ｌを中心に湾曲した反射面３０を備えたミラー３が配置される。

【0040】

この状態で、透光性基板Ｗ０に光を入射させ、撮像装置２によって穴Ｗ１の内壁Ｗ１０をミラー３を介して撮像する。透光性基板Ｗ０に光を入射させるにあたっては、外光を透光性基板Ｗ０に入射させてもよいが、本形態では、発光素子１５を照明装置４の光源として利用する。また、液晶表示パネル１０では、全ての画素を暗表示とする。

【0041】

かかる検査方法でも、図４、図５、図６、および図７を参照して説明した画像Ｐと略同一の画像を得ることができる。

【0042】

［実施形態３］
図１０は、本発明の実施形態３に係る光漏れの検査方法を示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施形態１、２と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

【0043】

実施形態１、２において、透光性基板Ｗ０は導光板１４を含んでいたが、図１０に示すように、本形態において、透光性基板Ｗ０は導光板１４を含んでいない。より具体的には、透光性基板Ｗ０は基板１１、１２からなり、穴Ｗ１は基板１１、１２を貫通している。

【0044】

本形態においても、実施形態１、２と同様、透光性基板Ｗ０の穴Ｗ１内での遮光部材Ｗ２の光漏れを検査する工程では、透光性基板Ｗ０をステージＳに載置した状態で、穴Ｗ１に対向するように検査用の撮像装置２が設ける。また、撮像装置２と穴Ｗ１との間には、穴Ｗ１の中心軸線Ｌを中心に湾曲した反射面３０を備えたミラー３が配置される。この状態で、透光性基板Ｗ０に光を入射させ、撮像装置２によって穴Ｗ１の内壁Ｗ１０をミラー３を介して撮像する。透光性基板Ｗ０に光を入射させるにあたっては、外光を透光性基板Ｗ０に入射させてもよいが、本形態では、ワークＷとステージＳとの間にバックライト型の照明装置４を配置し、照明装置４から出射された光を透光性基板Ｗ０に入射させる。その際、照明装置４に遮光部４０を設け、穴Ｗ１への光の入射を回避することが好ましい。

【0045】

かかる検査方法でも、図４、図５、図６、および図７を参照して説明した画像Ｐと略同一の画像を得ることができる。

【0046】

［他の実施形態］
上記実施形態１、２、３において、ミラー３では、反射面３０が中心軸線Ｌを中心とする３６０°の角度範囲に設けられていたため、ミラー３やワークＷを回転させなくても、穴Ｗ１の内壁Ｗ１０の全ての角度位置を検査できたが、ミラー３では、中心軸線Ｌを中心とする３６０°未満の角度範囲に反射面３０が設けられている態様であってもよい。例えば、中心軸線Ｌを中心とする６０°の角度範囲に反射面３０が設けられている態様であっても、ミラー３とワークＷとを中心軸線Ｌを中心に相対回転させれば、穴Ｗ１の内壁Ｗ１０の全ての角度位置を検査することができる。

【0047】

上記実施実施形態において、遮光部材Ｗ２は、アルミニウム等の反射性金属等のシートであったが、遮光性を有していれば、反射性金属以外の材料からなる場合に本発明を適用してもよい。また、遮光部材Ｗ２は、シートに限らず、半導体プロセス等を利用して成膜された遮光膜であってもよい。

【符号の説明】

【0048】

１…表示パネル、２…撮像装置、３…ミラー、４…照明装置、１０…液晶表示パネル、１１、１２…基板、１３…液晶層、１４…導光板、１５…発光素子、１６…シール材、１７…外周領域、３０…反射面、３０ａ、３０ｂ…端部、３２、３３…端面、４０…遮光部、Ｃ…カメラ、Ｃ１…撮像素子、Ｌ…中心軸線、Ｐ…画像、Ｐ１、Ｐ２…黒色部分、Ｐ５…白色部分、Ｗ…ワーク、Ｗ０…透光性基板、Ｗ１…穴、Ｗ１０…内壁、Ｗ２…遮光部材、Ｗ２１…筒状部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】