特開 2023-55611 積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置及び検出方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023055611

(43)【公開日】2023-04-18

(54)【発明の名称】積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置及び検出方法

(51)【国際特許分類】

   H01G 13/00 20130101AFI20230411BHJP

   H01G 4/30 20060101ALI20230411BHJP

【ＦＩ】

H01G13/00 331D

H01G4/30 311Z

H01G4/30 517

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022078417

(22)【出願日】2022-05-11

(31)【優先権主張番号】10-2021-0132444

(32)【優先日】2021-10-06

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】594023722

【氏名又は名称】サムソン エレクトロ－メカニックス カンパニーリミテッド．

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ソン、スー ホワン

(72)【発明者】

【氏名】パク、セ フン

(72)【発明者】

【氏名】ムーン、ビョン チョル

(72)【発明者】

【氏名】アン、ヨン ギュ

【テーマコード（参考）】

5E001

5E082

【Ｆターム（参考）】

5E001AB03

5E082AA01

5E082AB03

5E082EE01

5E082FF05

5E082FG26

5E082GG10

5E082MM15

5E082MM19

(57)【要約】      （修正有）

【課題】積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置及び検出方法を提供する。
【解決手段】積層型キャパシタ１００の内部電極の積層方向検出装置は、複数の積層型キャパシタが連続で供給される供給部２を有し、供給された積層型キャパシタを一方向に移動させるキャパシタ移動部１と、コイルを含み、キャパシタ移動部上に設置され、それぞれの積層型キャパシタが接近する時、コイルのインダクタンスを検出してコイルのインダクタンス値の差によって積層型キャパシタの内部電極が積層された方向を判断するセンサー部１０と、キャパシタ移動部上に設置され、センサー部により不適合積層型キャパシタとして選別された積層型キャパシタ１００'を分離する分離部５とを含む。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の積層型キャパシタが連続で供給される供給部を有し、供給された積層型キャパシタを一方向に移動させるキャパシタ移動部と、
コイルを含み、前記キャパシタ移動部上に設置され、それぞれの積層型キャパシタが接近する時、前記コイルのインダクタンスを検出してコイルのインダクタンス値の差によって前記積層型キャパシタの内部電極が積層された方向を判断するセンサー部と、
前記キャパシタ移動部上に設置され、前記センサー部により不適合積層型キャパシタとして選別された積層型キャパシタを分離する分離部とを含む、積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置。

【請求項2】

前記積層型キャパシタを挟んで前記センサー部と対向する位置に配置される磁性部材をさらに含む、請求項１に記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置。

【請求項3】

前記磁性部材の透磁率が１００～５０００である、請求項２に記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置。

【請求項4】

前記センサー部と前記積層型キャパシタとの間に配置され、前記積層型キャパシタの一面が密着して前記センサー部と前記積層型キャパシタとの間隔が一定に保持されるようにする間隔保持部材をさらに含む、請求項１から３の何れか１つに記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置。

【請求項5】

前記間隔保持部材は非磁性体からなる、請求項４に記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置。

【請求項6】

前記センサー部は、前記コイルの内径が前記積層型キャパシタの長さ方向の３．０倍以下であり、上記コイルの巻線数が下記の式１を満たす、請求項１に記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置。
式１）巻線数（Ｎ）≧２０／（積層型キャパシタの長さ×コイルの内径）

【請求項7】

積層型キャパシタにコイルが含まれたセンサー部を接近させて、積層型キャパシタに含まれた内部電極の積層方向によるコイルのインダクタンス差をチェックし、チェックされた値を予め設定された基準インダクタンス値と比較して、積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出する方法。

【請求項8】

インダクタンスの測定周波数が５０ｋＨｚ～５Ｍｈｚである、請求項７に記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出する方法。

【請求項9】

前記積層型キャパシタを挟んで前記センサー部と対向する位置に磁性部材を配置し、渦電流により発生するコイルのインダクタンス変化を増加させるようにする、請求項７に記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出する方法。

【請求項10】

前記磁性部材の透磁率が１００～５０００である、請求項９に記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出する方法。

【請求項11】

前記センサー部と前記積層型キャパシタとの間に非磁性体からなる間隔保持部材を配置し、前記間隔保持部材の一面に前記積層型キャパシタの一面が密着して前記センサー部と前記積層型キャパシタとの間隔が一定に保持されるようにする、請求項７から１０の何れか１つに記載の積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出する方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置及び検出方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

積層型キャパシタ（ＭＬＣＣ）は、顧客の要求に合わせ、かつ製品の特性を改善するために、ＰＣＢ実装時に内部電極方向の整列を必要とする場合がある。

【0003】

従来は、磁石を使用して製品包装前に積層型キャパシタの内部電極方向を整列して顧客に提供していた。

【0004】

しかし、かかる磁石を使用する方法は、整列の正確度に限界があるため、所望でない方向に整列されたチップが流出する可能性を内在している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】韓国公開特許第２０１８－００６１００１号

【特許文献2】日本登録特許第６３６１５７０号

【特許文献3】日本登録特許第６１０７７５２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、向上された正確度を有する積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置及び検出方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一側面は、複数の積層型キャパシタが連続で供給される供給部を有し、供給された積層型キャパシタを一方向に移動させるキャパシタ移動部と、コイルを含み、上記キャパシタ移動部上に設置され、それぞれの積層型キャパシタが接近する時、上記コイルのインダクタンスを検出してコイルのインダクタンス値の差によって上記積層型キャパシタの内部電極が積層された方向を判断するセンサー部と、上記キャパシタ移動部上に設置され、上記センサー部により不適合積層型キャパシタとして選別された積層型キャパシタを分離する分離部とを含む、積層型キャパシタの内部電極の積層方向検出装置を提供する。

【0008】

本発明の一実施形態において、上記積層型キャパシタを挟んで上記センサー部と対向する位置に配置される磁性部材をさらに含むことができる。

【0009】

本発明の一実施形態において、上記磁性部材の透磁率は１００～５０００であることができる。

【0010】

本発明の一実施形態において、上記センサー部と上記積層型キャパシタとの間に配置され、上記積層型キャパシタの一面が密着して上記センサー部と上記積層型キャパシタとの間隔が一定に保持されるようにする間隔保持部材をさらに含むことができる。

【0011】

本発明の一実施形態において、上記間隔保持部材は非磁性体からなることができる。

【0012】

本発明の一実施形態において、上記センサー部は、上記コイルの内径が上記積層型キャパシタの長さ方向の３．０倍以下であり、上記コイルの巻線数が下記の式１を満たすことができる。式１）巻線数（Ｎ）≧２０／（積層型キャパシタの長さ×コイルの内径）

【0013】

本発明の他の側面は、積層型キャパシタにコイルが含まれたセンサー部を接近させて、積層型キャパシタに含まれた内部電極の積層方向によるコイルのインダクタンス差をチェックし、チェックされた値を予め設定された基準インダクタンス値と比較して、積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出する方法を提供する。

【0014】

本発明の一実施形態において、インダクタンスの測定周波数は、好ましく５０ｋＨｚ～５Ｍｈｚであることができる。

【0015】

本発明の一実施形態において、上記積層型キャパシタを挟んで上記センサー部と対向する位置に磁性部材を配置し、渦電流により発生するコイルのインダクタンス変化を増加させるようにすることができる。

【0016】

本発明の一実施形態において、上記センサー部と上記積層型キャパシタとの間に非磁性体からなる間隔保持部材を配置し、上記間隔保持部材の一面に上記積層型キャパシタの一面が密着して上記センサー部と上記積層型キャパシタとの間隔が一定に保持されるようにすることができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明の一実施形態によると、積層型キャパシタの内部に含まれた内部電極の方向を感知できるように、コイル（Ｃｏｉｌ）を使用して、キャパシタ本体の内部電極の積層方向（水平／垂直）によるコイルのインダクタンス差を検出して、積層型キャパシタの内部電極方向の整列状態を簡便かつ正確に把握することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の一実施形態により第１積層型キャパシタをセンサー部で検出することを概略的に示した斜視図である。

【図2】本発明の一実施形態により第２積層型キャパシタをセンサー部で検出することを概略的に示した斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態による検出装置を概略的に示した平面図である。

【図4】本発明の一実施形態による検出装置でセンサー部の作動原理を概略的に示した図面である。

【図5】本発明の他の実施形態による内部電極の積層方向を検出する方法を概略的に示した図面である。

【図6】（ａ）及び（ｂ）は本発明のまた他の実施形態による内部電極の積層方向を検出する方法を概略的に示した図面である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は、いくつかの他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）がされることがある。

【0020】

また、各実施形態の図面に示された同一思想の範囲内の機能が同一である構成要素は、同一の参照符号を付与して説明する。

【0021】

さらに、明細書全体において、ある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。

【0022】

以下、本発明の実施形態を明確に説明するために積層型キャパシタの方向を定義すると、図面に表示されたＸ、Ｙ及びＺはそれぞれ、積層型キャパシタの長さ方向、幅方向及び厚さ方向と定義されることができる。

【0023】

積層型キャパシタは、超小型へ次第に薄型化されることにより、内部に含まれる内部電極の方向を容易に検出可能な技術がより必要な実情である。

【0024】

本発明は、積層型キャパシタの内部に含まれる内部電極の積層方向を検出する装置及び該装置を利用して積層型キャパシタの積層タイプを検出する方法に関するものである。

【0025】

本発明の一実施形態に適用される積層型キャパシタは、後述する内部電極の積層方向によって第１積層型キャパシタと第２積層型キャパシタに区分される。

【0026】

ここで、第１積層型キャパシタは、複数の内部電極が実装面に対して水平の方向に積層される構造を有し、第２積層型キャパシタは、複数の内部電極が実装面に対して垂直の方向に積層される構造を有する。

【0027】

図１は、本発明の一実施形態により第１積層型キャパシタをセンサー部で検出することを概略的に示した斜視図であり、図２は、本発明の一実施形態により第２積層型キャパシタをセンサー部で検出することを概略的に示した斜視図である。

【0028】

図１を参照すると、一実施形態による第１積層型キャパシタ１０１は、キャパシタ本体１１０と第１外部電極１３１及び第２外部電極１３２とを含む。

【0029】

キャパシタ本体１１０は、複数の誘電体層１１１をＺ方向に積層した後に焼成したもので、キャパシタ本体１１０の互いに隣接する誘電体層１１１間の境界は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を利用せずには確認し難い程に一体化されることがある。

【0030】

この時、キャパシタ本体１１０は略六面体状であることができるが、本発明がこれに限定されるものではない。また、キャパシタ本体１１０の形状、寸法及び誘電体層１１１の積層数が本実施形態の図面に示されたものに限定されない。

【0031】

本実施形態では、説明の便宜のために、キャパシタ本体１１０のＺ方向に互いに対向する両面を第１面及び第２面と、第１面及び第２面と連結され、Ｚ方向に垂直かつＸ方向に互いに対向する両面を第３面及び第４面と、第１面及び第２面と連結され、第３面及び第４面と連結され、Ｚ方向に垂直かつＹ方向に互いに対向する両面を第５面及び第６面と定義する。

【0032】

また、第１積層型キャパシタ１０１の実装面は、キャパシタ本体１１０の第１面であることができる。

【0033】

かかるキャパシタ本体１１０は、誘電体層１１１と第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２を含み、キャパシタの容量形成に寄与する部分としてのアクティブ領域と、上下マージン部としてＺ方向に上記アクティブ領域の上下部にそれぞれ配置される上部及び下部カバー領域を含むことができる。

【0034】

第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２は、互いに異なる極性が印加される電極であり、誘電体層１１１を挟んでＺ方向に沿って交互に配置され、一端がキャパシタ本体１１０の第３面及び第４面を通じてそれぞれ露出することができる。

【0035】

この時、第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２は、中間に配置された誘電体層１１１により互いに電気的に絶縁されることができる。

【0036】

このようにキャパシタ本体１１０の第３面及び第４面を通じて交互に露出する第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２の端部は、後述するキャパシタ本体１１０の第３面及び第４面に配置される第１外部電極１３１及び第２外部電極１３２とそれぞれ接続して電気的に連結されることができる。

【0037】

上記のような構成により、第１外部電極１３１及び第２外部電極１３２に所定の電圧を印加すると、第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２の間に電荷が蓄積される。

【0038】

この時、第１積層型キャパシタ１０１の静電容量は、アクティブ領域においてＺ方向に沿って互いに重畳する第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２のオーバーラップされた面積と比例する。

【0039】

また、第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２を形成する材料は特に制限されず、例えば、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、パラジウム－銀（Ｐｄ－Ａｇ）合金などの貴金属材料、ニッケル（Ｎｉ）、及び銅（Ｃｕ）のうち一つ以上の物質からなる導電性ペーストを使用して形成されることができる。

【0040】

第１外部電極１３１は、キャパシタ本体１１０のＸ方向の一側端部に配置される。

【0041】

また、第１外部電極１３１は、キャパシタ本体１１０の第３面３上に配置される第１接続部と、上記第１接続部においてキャパシタ本体１１０の第１面、第２面、第５面及び第６面の一部に向かって延長する第１バンド部とを含むことができる。

【0042】

第２外部電極１３２は、第１外部電極１３１と異なる極性の電圧が提供され、キャパシタ本体１１０のＸ方向の他側端部に配置される。

【0043】

また、第２外部電極１３２は、キャパシタ本体１１０の第４面上に配置される第２接続部と、上記第２接続部においてキャパシタ本体１１０の第１面、第２面、第５面及び第６面の一部に向かって延長する第２バンド部とを含むことができる。

【0044】

図２を参照すると、第２積層型キャパシタ１０２は、誘電体層１１１と第１内部電極１２３及び第２内部電極１２４がＹ方向に積層され、かかる点を除いた残りの構造は、上述した図１の第１積層型キャパシタ１０１と類似するため、重複を避けるためにこれに対する具体的な説明を省略する。

【0045】

図３は、本発明の一実施形態による検出装置を概略的に示した平面図である。

【0046】

図３及び図４を参照すると、本発明の一実施形態の一積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出する装置は、キャパシタ移動部１、センサー部１０及び分離部５を含む。

【0047】

キャパシタ移動部１は、複数の積層型キャパシタ１００が一つずつ連続で供給される供給部２を有し、供給された積層型キャパシタ１００を一方向に移動させる役割をする。ここで図面符号１００は、積層方向が確認される前の第１または第２積層型キャパシタを指す。

【0048】

センサー部１０はコイル１１を含み、キャパシタ移動部１上に設置される。

【0049】

かかるセンサー部１０は、それぞれの積層型キャパシタ１００が接近する時、コイル１１のインダクタンスを検出して、コイル１１のインダクタンス値の差によって該当する積層型キャパシタ１００の内部電極が積層された方向が実装面に対して垂直であるか水平であるかを判断する役割をする。

【0050】

この時、積層型キャパシタのサイズが小さ過ぎる場合、センサー部１０により測定されるインダクタンスの変化が小さく、インダクタンス変化の検出が難しいため、積層タイプを鑑別し難い場合が発生し得る。

【0051】

かかる問題を解決するためには、センサー部１０に含まれるコイル１１のサイズを小さくすることが有利である。

【0052】

この時、コイル１１の内径は、好ましくは積層型キャパシタ１００のＸ方向の長さの３．０倍以下であることができる。例えば、積層型キャパシタ１００のＸ方向の長さが０．６ｍｍであれば、コイル１１の内径は１．８ｍｍ以下であることができる。

【0053】

但し、コイル１１の内径が小さければ発生するインダクタンスが減少するため、コイル１１の巻線数（コイルが巻かれた回数）を増加させて適正な水準のインダクタンスが実現されるようにする必要がある。

【0054】

この時、好ましいコイルの巻線数は、次の式１で求められる。
式１）巻線数（Ｎ）≧２０／（積層型キャパシタのＸ方向の長さ×コイルの内径）

【0055】

分離部５はキャパシタ移動部２上に設置され、センサー部１０により不適合積層型キャパシタとして選別された積層型キャパシタ１００'を分離する役割をする。ここで、図面符号４は、分離部５がキャパシタ移動部２と連結される地点を表す。

【0056】

そして、図面符号７は、センサー部１０により適合な積層型キャパシタ１００として選別された積層型キャパシタ１００が図面符号６の位置に到逹すると商品として排出する排出部を示す。

【0057】

図４は、本発明の一実施形態による検出装置でセンサー部の作動原理を概略的に示した図面である。

【0058】

図４を参照して、本発明の内部電極の積層方向を検出する原理について説明する。

【0059】

コイル（Ｃ）で誘導された磁場（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｆｉｅｌｄ）ＭＦ２は、導電物質であるＮｉ電極ＩＥ（本発明における第１及び第２内部電極）と測定コイルの平面が水平な形態の場合、Ｎｉ電極ＩＥに渦電流（Ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）ＥＣを生成するようになり、Ｎｉ電極ＩＥに生成された渦電流ＥＣは、渦電流磁場（Ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ ｍａｇｎｅｔｉｃ ｆｉｅｌｄ）ＭＦ１を形成するようになる。

【0060】

このように生成された渦電流磁場ＭＦ１の影響により、コイルＣの磁場ＭＦ２が干渉されるようになり、コイルＣのインダクタンスに変化が発生し、これを測定し検出してＮｉ電極ＩＥの状態が水平であるか垂直であるかを検出することができる。

【0061】

例えば、図１のように水平実装の場合、コイル１０の平面と第１及び第２内部電極１２１、１２２が水平な形態で、これは渦電流が形成され易い条件であり、そのためインダクタンスの減少が大きく表れる。

【0062】

これと反対に、図２のように垂直実装の場合、第１内部電極１２３及び第２内部電極１２４による渦電流の形成が小さいため、インダクタンスの減少が水平実装に比べて相対的に小さくなる。

【0063】

上記原理を利用して、積層型キャパシタに電流が流れるコイルを接近させ、その際に発生するコイルのインダクタンス値を測定すれば、積層型キャパシタの内部電極の積層方向が実装面に対して水平であるか垂直であるかを区別することができる。

【0064】

この時、インダクタンスの測定周波数は、好ましくは５０ｋＨｚ～５Ｍｈｚであることができる。測定周波数が５０ｋＨｚより低い場合は、小型サイズの積層型キャパシタを測定する時にセンサーの敏感度が低く測定が正しく行われず、測定周波数が５Ｍｈｚより高い場合は、電流が表面だけに流れて積層型キャパシタの内部電極方向によるインダクタンス変化を測定し難くなるという問題が発生するおそれがある。

【0065】

下記の表１は、長さ、幅及び高さが２．０ｍｍ、１．２５ｍｍ及び１．２ｍｍの積層型キャパシタにおける水平積層タイプである第１積層型キャパシタと垂直積層タイプである第２積層型キャパシタの△Ｌを測定したものである。

【0066】

ここで、△Ｌは、積層型キャパシタがない場合にコイルに測定されるインダクタンス値をＲｅｆといい、コイルに電流を流して渦電流を発生させた場合にコイルに測定されるインダクタンス値の差を△Ｌと定義する。

【0067】

【表1】

【0068】

表１を見ると、第１積層型キャパシタの場合、△Ｌがマイナス（－）と表れ、第２積層型キャパシタの場合、△Ｌがプラス（＋）と表れて、インダクタンスの変化を通じて積層型キャパシタの内部電極の積層方向が区別可能なことを確認することができる。

【0069】

表２は、長さ、幅及び高さが１．６ｍｍ、０．８ｍｍ及び０．８ｍｍの積層型キャパシタにおける第１積層型キャパシタ及び第２積層型キャパシタの△Ｌを測定したものである。

【0070】

【表2】

【0071】

表２を見ると、第１積層型キャパシタの場合、△Ｌがマイナス（－）と表れ、第２積層型キャパシタの場合、△Ｌがプラス（＋）と表れて、インダクタンスの変化を通じて積層型キャパシタの内部電極の積層方向が区別可能なことを確認することができる。

【0072】

表３は、長さ、幅及び高さが１．０ｍｍ、０．５ｍｍ及び０．５ｍｍの積層型キャパシタにおける第１積層型キャパシタ及び第２積層型キャパシタの△Ｌを測定したものである。

【0073】

【表3】

【0074】

表３を見ると、第１積層型キャパシタの場合、△Ｌがマイナス（－）と表れ、第２積層型キャパシタの場合、△Ｌがプラス（＋）と表れて、インダクタンスの変化を通じて積層型キャパシタの内部電極の積層方向が区別可能なことを確認することができる。

【0075】

表４は、長さ、幅及び高さが０．６ｍｍ、０．３ｍｍ及び０．３ｍｍの積層型キャパシタにおける第１積層型キャパシタ及び第２積層型キャパシタの△Ｌを測定したものである。

【0076】

【表4】

【0077】

表４を見ると、第１積層型キャパシタの場合、△Ｌがマイナス（－）と表れ、第２積層型キャパシタの場合、△Ｌがプラス（＋）と表れて、インダクタンスの変化を通じて積層型キャパシタの内部電極の積層方向が区別可能なことを確認することができる。

【0078】

本発明の一実施形態によると、コイルで発生した渦電流（ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を使用して積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出することで、製品の外観や形状に影響が少なく、測定速度が速く、繰返し再現性の高い効果を期待することができる。ここで、繰返し再現性が高いというのは、同一の製品を数回繰り返して測定した場合に発生する測定値の偏差が少ないという意味である。

【0079】

また、表１～表４から分かるように、キャパシタ本体の内部に金属電極を使用する全ての積層型キャパシタに適用可能であり、コイルのサイズ及びコイルに流れる電流を変化させて水平／垂直方向による△Ｌ差を大きくすることができ、これにより検出力をさらに改善することができる。

【0080】

このように構成された検出装置を利用して本発明の積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出する方法について具体的に説明する。

【0081】

本発明の一実施形態によると、積層型キャパシタにコイルが含まれたセンサー部を接近させ、積層型キャパシタに含まれた内部電極の積層方向によるコイルのインダクタンス差をチェックして、チェックされた値を予め設定された基準インダクタンス値と比較して、積層型キャパシタの内部電極の積層方向を検出することができる。

【0082】

図５は、本発明の他の実施形態による内部電極の積層方向を検出する方法を概略的に示した図面である。

【0083】

図５を参照すると、センサー部１０のインダクタンス変化の感度を増加させるために、積層型キャパシタ１００を挟んでセンサー部１０のコイルと対向する反対側位置に磁性部材２００が配置されることができる。

【0084】

この時、磁性部材２００は、好ましくは透磁率の高い材料からなることができ、例えば鉄（Ｆｅ）などからなってよく、磁性部材２００の好ましい透磁率は１００～５０００であることができる。

【0085】

このように透磁率の高い材料からなる磁性部材２００をセンサー部１０の反対側に位置させると、センサー部１０のコイルで発生する磁場が分散することを防ぎ磁性部材２００側に集めるため、渦電流により発生するコイルのインダクタンス変化を大きくしてセンサー部１０の感度を増加させることができる。

【0086】

この時、磁性部材２００のサイズは、測定しようとする積層型キャパシタ１００のサイズの１００～４００％の時に効果があり、好ましくは測定しようとする積層型キャパシタのサイズの１００～２００％で最も良好な結果が得られる。

【0087】

図６（ａ）及び図６（ｂ）は、本発明のまた他の実施形態による内部電極の積層方向を検出する方法を概略的に示した図面である。

【0088】

一実施形態のセンサー部１０は、測定距離の変化によって測定されたインダクタンス値が変化することができる。

【0089】

図６（ａ）を参照すると、例えば同一の規格の積層型キャパシタ１００ａ、１００ｂであっても微細にサイズの差を有することがあり、この時、センサー部１０と積層型キャパシタ間の距離ｄ１、ｄ２が互いに異なると測定されたインダクタンス値に誤差が生じるため、積層型キャパシタ１００ａ、１００ｂの内部電極の積層方向が垂直であるか水平であるかを正確に区別し難くなるおそれがある。

【0090】

図６（ｂ）を参照すると、本発明の一実施形態では、センサー部１０とサイズ偏差を有する積層型キャパシタ１００ａ、１００ｂ間に間隔保持部材３００が配置されることができる。

【0091】

間隔保持部材３００は、積層型キャパシタ１００ａ、１００ｂの一面が密着してセンサー部１０と積層型キャパシタ１００ａ、１００ｂの間隔ｄ１、ｄ２が一定に保持されるようにする役割をする。そこで、積層型キャパシタ１００ａ、１００ｂ間のサイズの散布があっても安定してインダクタンス値を測定することができるようになる。

【0092】

この時、間隔保持部材３００は、非磁性体として伝導性のない材料からなることができ、例えば、ＰＥＴフィルム、ガラス（Ｇｌａｓｓ）などからなることができる。

【0093】

一方、本発明の一実施形態のセンサー部は、キャパシタ移動部の下側に配置されてもよい。

【0094】

この場合、キャパシタ移動部の支持面に積層型キャパシタが支持され、かかる支持面の下部にセンサー部が位置するため、積層型キャパシタ間のサイズ偏差があるとしても積層型キャパシタとセンサー部間の間隔が常に一定に保持されることができる。

【0095】

以上で本発明の実施形態について詳しく説明したが、本発明は上述した実施形態及び添付された図面により限定されるものではなく、添付された特許請求の範囲により限定する。従って、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で当該技術分野の通常の知識を有する者により多様な形態の置換、変形及び変更が可能であり、これも本発明の範囲に属するといえる。

【符号の説明】

【0096】

１：キャパシタ移動部
５：分離部
１０：センサー部
１００：積層型キャパシタ
２００：磁性部材
３００：間隔保持部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】