特開 2023-56656 Ｘ線検査装置及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023056656

(43)【公開日】2023-04-20

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/087 20180101AFI20230413BHJP

   G01N 23/18 20180101ALI20230413BHJP

【ＦＩ】

G01N23/087

G01N23/18

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021166000

(22)【出願日】2021-10-08

(71)【出願人】

【識別番号】598105802

【氏名又は名称】株式会社 システムスクエア

(74)【代理人】

【識別番号】100166545

【弁理士】

【氏名又は名称】折坂 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】中川 幸寛

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001AA10

2G001BA11

2G001CA01

2G001DA08

2G001EA03

2G001FA03

2G001FA05

2G001HA13

2G001JA09

2G001KA05

2G001PA11

(57)【要約】

【課題】デュアルエナジー検査とシングルエナジー検査が両方可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物を搬送する手段と、被検査物にＸ線を照射する手段と、搬送中の被検査物を透過したＸ線の光子のエネルギーを検出する手段と、一定周期毎の複数のエネルギー領域毎の検出光子数を計数する手段と、エネルギー領域毎に検出光子数に基づくシングルエナジー検出データを生成する手段と、検査対象の検出データの設定を受け付ける設定手段と、デュアルエナジー検出データが設定された場合にいずれか２個のシングルエナジー検出データからデュアルエナジー検出データを生成する手段と、設定された検出データを用いて検査を実現する検査実現手段と、を備え、設定手段は１個以上のシングルエナジー検出データ、デュアルエナジー検出データ及びデュアルエナジー検出データと１個以上のシングルエナジー検出データとの組のうちいずれかを設定可能である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査物を搬送する搬送手段と、
前記被検査物にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
搬送中の前記被検査物を透過したＸ線の光子のエネルギーを検出するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線検出手段における、一定時間ごとの、複数の異なるエネルギー領域ごとの検出光子数を計数する計数手段と、
前記エネルギー領域ごとに、前記被検査物からの前記検出光子数に基づくシングルエナジーの検出データを生成するシングルエナジー検出データ生成手段と、
検査対象の検出データの選択設定を受け付ける設定手段と、
前記設定手段において、デュアルエナジーの検出データが選択設定された場合に、いずれか２個の前記シングルエナジーの検出データからデュアルエナジーの検出データを生成するデュアルエナジー検出データ生成手段と、
前記設定手段において選択設定された前記検出データを用いて検査を実現する検査実現手段と、
を備え、
前記設定手段は、１個以上の前記シングルエナジーの検出データ、前記デュアルエナジーの検出データ、及び前記デュアルエナジーの検出データと１個以上の前記シングルエナジーの検出データとの組のうち２以上からなる選択肢からいずれかを選択設定可能であるＸ線検査装置。

【請求項2】

前記設定手段は、前記１個以上の前記シングルエナジーの検出データを、前記シングルエナジー検出データ生成手段で生成された全ての前記シングルエナジーの検出データの中から選択設定可能である請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記設定手段は、前記デュアルエナジーの検出データの生成に用いるいずれか２個の前記シングルエナジーの検出データを、前記シングルエナジー検出データ生成手段で生成された全ての前記シングルエナジーの検出データの中から選択設定可能である請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。

【請求項4】

前記設定手段は、前記選択肢のいずれを選択設定するかが予め定められた複数の異なる被検査物の中から、検査対象とする被検査物の選択を受け付けることにより、選択された被検査物に対応する選択設定を受け付ける請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

【請求項5】

コンピュータを請求項１から４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置として機能させるためのプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被検査物にＸ線を照射して異物の検査等を行うＸ線検査装置及びプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、製品の製造から梱包、出荷に至るまでの各工程では、検査対象の被検査物や、被検査物に含まれ得る異物の種類（材料、大きさなど）に適した検査方法によって、製品や梱包内への異物の混入の有無等の検査が行われる。このうち、被検査物を非破壊で検査可能なＸ線検査装置では、被検査物にＸ線を照射し、透過したＸ線を検出することで、外側からは見えない内部の異物の有無等を検査することができる。

【0003】

Ｘ線検査装置において画像情報を電気信号として検出する方式には、一旦Ｘ線をシンチレータにより可視光に変換した上でフォトダイオードにより電気信号に変換する間接変換方式と、Ｘ線をＣｄＴｅなどの半導体素子により電気信号に直接変換する直接変換方式がある。間接変換方式では原理上、シンチレータの発光効率やフォトダイオードの電荷変換効率による損失が生じるが、直接変換方式ではＸ線が直接電荷に変換されるため変換効率が良い。

【0004】

特許文献１には直接変換方式のエネルギー弁別型フォトンカウンティングセンサを用いたＸ線検査装置が開示されている。この装置では、被検査物に向けて照射されたＸ線が被測定物と当該被検査物を搬送するベルトコンベアを透過した後のＸ線の光子のエネルギーを画素ごとに検出し、それぞれの画素について、一定時間におけるエネルギー領域ごとの検出光子数を計数する。そして、エネルギー領域ごとに、Ｘ線の透過状況が検出光子数の大小の分布で表現されたＸ線透過画像を生成した上で、異なるエネルギー領域の画像相互について、合成や差分を取るなどの画像処理を施して得られたデュアルエナジー画像により検査を行う。

【0005】

また、特許文献２には、特許文献１の装置では固定値とされているエネルギー領域を画する閾値を被検査物ごとに変更可能とし、被検査物に適したデュアルエナジー画像による検査を可能とするＸ線検査装置が開示されている。

【0006】

デュアルエナジー画像を適切に生成することで、被検査物と異物とのコントラストが明確な画像が得られるため、例えば、被検査物に重なりがある場合や凹凸がある場合に異物を精度よく検出することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２０１０－０９１４８３号公報

【特許文献2】特許６５６９０７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

被検査物は様々なものが想定されるが、例えば鶏肉の場合、解体時に硬い骨と平らな骨の両方が異物として付着する可能性があり、このような場合、デュアルエナジーの検出データでは平らな骨は検出しやすいが、硬い骨は検出しづらい。硬い骨はシングルエナジーの検出データ（ひとつのエネルギー領域における検出データ）では検出しやすいが、現状、デュアルエナジーの検出データによる検査が可能なＸ線検査装置は、デュアルエナジーの検出データによる検査しかできない。

【0009】

本発明の目的は、デュアルエナジーの検出データの検査とシングルエナジーの検出データの検査が両方可能なＸ線検査装置及びプログラムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明のＸ線検査装置は、被検査物を搬送する搬送手段と、被検査物にＸ線を照射するＸ線照射手段と、搬送中の被検査物を透過したＸ線の光子のエネルギーを検出するＸ線検出手段と、Ｘ線検出手段における、一定時間ごとの、複数の異なるエネルギー領域ごとの検出光子数を計数する計数手段と、エネルギー領域ごとに、被検査物からの検出光子数に基づくシングルエナジーの検出データを生成するシングルエナジー検出データ生成手段と、検査対象の検出データの選択設定を受け付ける設定手段と、設定手段において、デュアルエナジーの検出データが選択設定された場合に、いずれか２個のシングルエナジーの検出データからデュアルエナジーの検出データを生成するデュアルエナジー検出データ生成手段と、設定手段において選択設定された検出データを用いて検査を実現する検査実現手段と、を備え、設定手段は、１個以上のシングルエナジーの検出データ、デュアルエナジーの検出データ、及びデュアルエナジーの検出データと１個以上のシングルエナジーの検出データとの組のうち２以上からなる選択肢からいずれかを選択設定可能である。

【0011】

設定手段は、１個以上のシングルエナジーの検出データを、シングルエナジー検出データ生成手段で生成された全てのシングルエナジーの検出データの中から選択設定可能としてもよい。

【0012】

設定手段は、デュアルエナジーの検出データの生成に用いるいずれか２個のシングルエナジーの検出データを、シングルエナジー検出データ生成手段で生成された全てのシングルエナジーの検出データの中から選択設定可能としてもよい。

【0013】

設定手段は、選択肢のいずれを選択設定するかが予め定められた複数の異なる被検査物の中から、検査対象とする被検査物の選択を受け付けることにより、選択された被検査物に対応する選択設定を受け付けてもよい。

【0014】

本発明のＸ線検査装置は、本発明のＸ線検査装置の機能が記述されたプログラムをコンピュータで実行することにより実現してもよい。

【発明の効果】

【0015】

本発明のＸ線検査装置及びプログラムによれば、デュアルエナジーの検出データの検査とシングルエナジーの検出データの検査が両方可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明のＸ線検査装置１００の機能ブロック図である。

【図2】エネルギー領域の設定及び各エネルギー領域の光子数計数の具体例を示す図である。

【図3】１個以上のシングルエナジーの検出データが選択設定された場合の実際の設定パターンを示す図である。

【図4】デュアルエナジーの検出データが選択設定された場合の実際の設定パターンを示す図である。

【図5】複数の被検査物について予め選択設定内容を定めておく例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。

【0018】

図１に本発明のＸ線検査装置１００の機能ブロック図を示す。Ｘ線検査装置１００は、搬送手段１１０、Ｘ線照射手段１２０、Ｘ線検出手段１３０、計数手段１４０、シングルエナジー検出データ生成手段１５０、設定手段１６０、デュアルエナジー検出データ生成手段１７０、及び検査実現手段１８０を備える。

【0019】

搬送手段１１０は、載置された被検査物ＷをＹ軸方向に一定速度で搬送する任意の方式のコンベヤである。搬送手段１１０は、正面から見て搬送方向であるＹ軸方向に直交するＸ軸方向に奥行きを持つ。すなわち、被検査物ＷはＸＹ平面をＹ軸方向に搬送される。

【0020】

Ｘ線照射手段１２０は、搬送手段１１０により搬送される被検査物Ｗに向けＸ線を照射する。

【0021】

Ｘ線検出手段１３０は、Ｘ線照射手段１２０から照射され、搬送手段１１０により一定速度で搬送中の被検査物Ｗを透過したＸ線を検出可能な位置に配置され、被検査物Ｗを透過したＸ線の光子のエネルギーを検出する。

【0022】

Ｘ線検出手段１３０は、Ｘ軸方向にライン状に整列して配設された複数の検出素子からなるラインセンサであり、それぞれの検出素子が被検査物Ｗを透過したＸ線の光子のエネルギーを検出する。ラインセンサを構成する検出素子としては、入射した光子をそのエネルギーに応じた強度の電荷パルスに直接変換できるＣｄＴｅなどの半導体素子が、エネルギーの変換効率や分解能などの観点から好適である。

【0023】

計数手段１４０は、Ｘ線検出手段１３０のそれぞれの検出素子について、一定時間ごとの、複数の異なるエネルギー領域ごとの検出光子数を計数する。

【0024】

一定時間とは、例えば被検査物ＷがＸ線検出手段１３０のＹ軸方向の幅を移動する時間である。Ｘ線検出手段１３０の各検出素子についてそれぞれ計数されたエネルギー領域ごとの検出光子数は、被検査物ＷのＸ線透過画像を構成するＸ軸方向の１ラインの各画素の情報に反映される。一定時間をこのように設定し、搬送手段１１０に対する位置が固定されたＸ線照射手段１２０とＸ線検出手段１３０との間を被検査物ＷがＹ軸方向に通過中に、透過した光子の計数を繰り返すことで、Ｘ軸方向の１ラインの各画素の情報がＹ軸方向に隙間なく次々に収集される。そのため、被検査物ＷのＹ軸方向の全幅がＸ線検出手段１３０を通過するまで、一定時間ごとの検出光子数の計数を繰り返すことで、被検査物ＷをＸＹ平面で見たＸ線透過画像を構成する全ての画素の情報を収集することができる。

【0025】

Ｘ線検出手段１３０の検出素子に入射した光子のエネルギーは、検出素子が出力する電荷パルス高に比例する。そのため、一定時間に検出素子に入射した光子の計数については、単なるパルス数の計数により光子のエネルギーを問わない全エネルギー領域トータルの検出光子数の計数が可能なほか、光子の入射の都度、検出素子が出力する電荷パルス高に対応するエネルギーと１以上のエネルギー閾値との高低関係を判定して、いずれのエネルギー領域に属する光子であるかを特定することにより、複数の異なるエネルギー領域ごとの検出光子数の計数が可能である。なお、エネルギー領域ごとの検出光子数の計数は、エネルギー領域ごとの検出光子数を直接計数してもよいし、より広いエネルギー領域の計数値と計数したいエネルギー領域以外のエネルギー領域の計数値との差をとることにより行ってもよい。

【0026】

エネルギー領域を画すエネルギー閾値の個数、及び検出光子数を計数するエネルギー領域の個数は、被検査物Ｗの材質や異物の材質などに応じて適宜設定してよい。例えば、１個のエネルギー閾値である閾値Ｖｔｈを設定する場合、閾値Ｖｔｈを挟んで、低エネルギー側にエネルギー領域Ａ１を、高エネルギー側にエネルギー領域Ａ２をそれぞれ設定することが可能である。２個のエネルギー閾値である閾値Ｖｔｈ１及び閾値Ｖｔｈ１よりエネルギーが高い閾値Ｖｔｈ２を設定する場合、閾値Ｖｔｈ１を挟んで低エネルギー側にエネルギー領域Ａ３を、閾値Ｖｔｈ１を挟んで高エネルギー側かつ閾値Ｖｔｈ２を挟んで低エネルギー側にエネルギー領域Ａ４を、閾値Ｖｔｈ２を挟んで高エネルギー側にエネルギー領域Ａ５をそれぞれ設定することが可能である。また、閾値Ｖｔｈ１より高エネルギー側の全領域を１個のエネルギー領域Ａ６として設定することが可能である。また、閾値Ｖｔｈ２より低エネルギー側の全領域を１個のエネルギー領域Ａ７として設定することが可能である。閾値を３個以上設定する場合も同様な考え方で複数のエネルギー領域を設定することが可能である。更に、閾値の設定個数を問わず、全エネルギー範囲を１個のエネルギー領域Ａ８として設定することも可能である。

【0027】

エネルギー領域の設定及び各エネルギー領域における検出光子数の計数方法の一例を、図２を参照しつつ説明する。この例では、２つの閾値Ｖｔｈ１、Ｖｔｈ２を設定し、図２(a)に示すように閾値Ｖｔｈ１を挟んで高エネルギー側かつ閾値Ｖｔｈ２を挟んで低エネルギー側をエネルギー領域Ａ４、閾値Ｖｔｈ２を挟んで高エネルギー側をエネルギー領域Ａ５、閾値Ｖｔｈ１を挟んで高エネルギー側全域をエネルギー領域Ａ６として、３つのエネルギー領域を設定している。なお、閾値Ｖｔｈ１を挟んで低エネルギー側については、検出データにノイズが混入しやすいことからノイズ領域とみなし、検査領域から除外する。

【0028】

このように設定した３つのエネルギー領域Ａ４～Ａ６についての、一定時間に検出素子に入射した光子の計数を、エネルギーがエネルギー領域Ａ５、Ａ６にあるものの個数については直接計数し、エネルギー領域Ａ４にあるものの個数についてはエネルギー領域Ａ６の計数値とエネルギー領域Ａ５の計数値との差をとることにより計数する。

【0029】

閾値Ｖｔｈ１の値が５、閾値Ｖｔｈ２の値が４０の場合、例えば図２(b)に示すように、一定時間における光子の検出周期Ｔ１～Ｔ１０のそれぞれにおいて検出された１０個の光子のエネルギーが、５０、６５、４５、６０、５７、６９、６１、５８、２４、２８であるとき、２つの閾値の値に照らし、エネルギー領域Ａ６にある光子が１０個、エネルギー領域Ａ５にある光子が８個とそれぞれ直接計数することができる。そして、エネルギー領域Ａ４にある光子を、エネルギー領域Ａ６にある１０個とエネルギー領域Ａ５にある８個との差をとることにより、２個と計数することができる。

【0030】

また、次の一定時間における光子の検出周期Ｔ１１～Ｔ２０のそれぞれにおいて検出された１０個の光子のエネルギーが、３０、３４、３８、４６、４９、５３、６１、６７、５９、２であるとき、同様に、エネルギー領域Ａ６にある光子が９個、エネルギー領域Ａ５にある光子が６個であるとそれぞれ直接計数した上、エネルギー領域Ａ６にある９個とエネルギー領域Ａ５にある６個との差をとることにより、エネルギー領域Ａ４にある光子を３個と計数することができる。

【0031】

シングルエナジー検出データ生成手段１５０は、エネルギー領域ごとに、被検査物Ｗからの検出光子数に基づく検出データ（シングルエナジーの検出データ）を生成する。ここでいうエネルギー領域とは、計数手段１４０において検出光子数の計数対象としたエネルギー領域である。また、ここでいう検出データとは、典型的には被検査物ＷをＸＹ平面で見たＸ線透過画像であるが、Ｘ線透過画像に相当するデジタルデータであっても構わない。Ｘ線透過画像の各画素の情報に対応する検出光子数は、計数手段１４０において計数済みであるため、これを用いてＸ線透過画像を生成することができる。

【0032】

設定手段１６０は、検査実現手段１８０で用いる検出データの選択設定を受け付ける。具体的には、１個以上のシングルエナジーの検出データ、デュアルエナジーの検出データ、及びデュアルエナジーの検出データと１個以上のシングルエナジーの検出データとの組のうち２以上からなる選択肢から、いずれかの選択設定を受け付ける。選択設定の受け付け方法は任意であり、例えば、選択肢をディスプレイなどの表示手段に表示させ、オペレータがポインティングデバイスなどから選択入力する構成にしてもよい。

【0033】

シングルエナジーの検出データは、厚みの均一な製品や、硬い又は密度が高い異物の検出に有効である。特に、複数の異なるエネルギー領域のシングルエナジーの検出データを用いることで、Ｘ線の透過特性が異なる複数種の骨や異物の検出が可能となる。

【0034】

デュアルエナジーの検出データは、重なりがある製品や凹凸がある製品、薄い又はやわらかい異物の検出に有効である。

【0035】

デュアルエナジーの検出データと１個以上のシングルエナジーの検出データとの組は、薄い骨と硬い骨の両方の検出や、薄い骨と硬い骨の両方が異物となる被検査物の検査に有効である。

【0036】

様々なバリエーションの検査を可能とする観点からは、シングルエナジーの検出データによる検査、デュアルエナジーの検出データによる検査、及びシングルエナジーの検出データとデュアルエナジーの検出データの両方による検査の全てを選択設定の選択肢に含めるのが望ましいが、必要に応じいずれかの検査を選択肢から除外してもよい。

【0037】

受け付ける選択設定の内容について、図３に示すように、３個のエネルギー領域Ａ４～Ａ６を設定した場合を例にとって、より具体的に説明する。設定個数が３個以外の場合も同様な考え方で構成することができる。

【0038】

選択肢の中から、１個以上のシングルエナジーの検出データが選択設定された場合、実際に設定される内容として、図４に示すように、エネルギー領域Ａ４の検出データのみ（パターン１）、エネルギー領域Ａ５の検出データのみ（パターン２）、エネルギー領域Ａ６の検出データのみ（パターン３）、エネルギー領域Ａ４の検出データとエネルギー領域Ａ５の検出データ（パターン４）、エネルギー領域Ａ４の検出データとエネルギー領域Ａ６の検出データ（パターン５）、エネルギー領域Ａ５の検出データとエネルギー領域Ａ６の検出データ（パターン６）、及びエネルギー領域Ａ４の検出データとエネルギー領域Ａ５の検出データとエネルギー領域Ａ６の検出データ（パターン７）の７通りが想定される。

【0039】

設定手段１６０は、パターン１～７のいずれかが固定的に設定されるように構成してもよい。または、パターン１～７の全て若しくは複数のパターンの中からいずれかのパターンの選択設定を更に受け付けるように構成してもよいし、選択肢の中から１個以上のシングルエナジーの検出データを選択設定可能とする代わりに、パターン１～７の全て若しくは複数のパターンの中からいずれかのパターンの選択設定を直接受け付けるように構成してもよい。

【0040】

選択肢の中から、デュアルエナジーの検出データが選択設定された場合、実際に設定される内容として、図５に示すように、エネルギー領域Ａ４の検出データとエネルギー領域Ａ５の検出データとから生成されるデュアルエナジーの検出データ（パターン１１）、エネルギー領域Ａ４の検出データとエネルギー領域Ａ６の検出データとから生成されるデュアルエナジーの検出データ（パターン１２）、及びエネルギー領域Ａ５の検出データとエネルギー領域Ａ６の検出データとから生成されるデュアルエナジーの検出データ（パターン１３）の３通りが想定される。

【0041】

設定手段１６０は、パターン１１～１３のいずれかが固定的に設定されるように構成してもよい。または、パターン１１～１３の全て若しくは複数のパターンの中からいずれかのパターンの選択設定を更に受け付けるように構成してもよいし、選択肢の中からデュアルエナジーの検出データを選択設定可能とする代わりに、パターン１１～１３の全て若しくは複数のパターンの中からいずれかのパターンの選択設定を直接受け付けるように構成してもよい。

【0042】

選択肢の中から、デュアルエナジーの検出データと１個以上のシングルエナジーの検出データとの組が選択設定された場合、設定手段１６０は、デュアルエナジーの検出データに関しては、パターン１１～１３のいずれかが固定的に設定されるように構成してもよいし、パターン１１～１３の全て若しくは複数のパターンの中からいずれかのパターンの選択設定を更に受け付けるように構成してもよい。１個以上のシングルエナジーの検出データに関しては、パターン１～７のいずれかが固定的に設定されるように構成してもよいし、パターン１～７の全て若しくは複数のパターンの中からいずれかのパターンの選択設定を更に受け付けるように構成してもよい。また、デュアルエナジーの検出データと１個以上のシングルエナジーの検出データとの組を選択設定可能とする代わりに、パターン１～７の全て若しくは複数のパターンの中からいずれかのパターンの選択設定とパターン１１～１３の全て若しくは複数のパターンの中からいずれかのパターンの選択設定を直接受け付けるように構成してもよい。

【0043】

また、設定手段１６０は、上記選択肢のいずれを選択設定するかが予め特定された複数の異なる被検査物の中から、検査対象とする被検査物の選択を受け付けることにより、選択された被検査物に対応する選択設定を受け付け可能に構成してもよい。このように構成することで、被検査物を選択するだけで設定を完了することができる。なお、選択設定内容と対応付ける単位は、種別や材質などのように被検査物より広い単位であってもよいし、製造ロットなどのように被検査物より狭い単位であってもよい。

【0044】

被検査物である商品ａ～ｅのそれぞれについて予め選択設定内容を特定しておく例を図５に示す。設定１は、検査対象の検出データの設定パターンであり、Ｓが１個以上のシングルエナジーの検出データ、Ｄがデュアルエナジーの検出データ、ＤＳがデュアルエナジーの検出データと１個以上のシングルエナジーの検出データを表している。設定２は、１個以上のシングルエナジーの検出データの内訳であり、例えばエネルギー領域Ａ４～Ａ６のうち１個以上が設定される。設定３は、デュアルエナジーの検出データの生成に用いる２個のシングルエナジーの検出データの内訳であり、例えばエネルギー領域Ａ４～Ａ６のうち２個が設定される。図５に示すような情報を予め固定的に又は書き換え可能に任意の記憶手段に記憶しておくことで、被検査物の選択の受け付けを契機に設定手段１６０が記憶手段を参照し、選択設定を行うことができる。

【0045】

デュアルエナジー検出データ生成手段１７０は、いずれか２個のシングルエナジーの検出データに対し、合成・差分等の処理を施すことにより、デュアルエナジーの検出データを生成する。いずれの２個のシングルエナジーの検出データを用いるかは、上記のとおり、予め決定されていてもよいし設定手段１６０において選択設定可能としてもよい。

【0046】

検査実現手段１８０は、設定手段１６０において選択設定された検出データを用いて検査を実現する。検出データを用いて実現する検査として、例えば自動検査と目視検査が挙げられる。自動検査の場合、検査実現手段１８０は例えば、検出データを画像化し画像処理を施すことにより検査を実現してもよいし、画像化せずに数値処理を施すことにより検査を実現してもよい。また、検出データを学習済みモデルに入力することにより検査を実現してもよい。目視検査の場合、検査実現手段１８０は例えば、検出データを画像化し、ディスプレイなどの表示手段に表示することにより検査を実現してもよい。

【0047】

本発明のＸ線検査装置は、本発明のＸ線検査装置の機能が記述されたプログラムをコンピュータに実行させることにより実現してもよい。すなわち、コンピュータにおいて、任意の記憶手段に記憶させたプログラムをＣＰＵが読み出して実行することにより本発明のＸ線検査装置の機能を実現してもよい。

【0048】

被検査物にＸ線を照射し、透過後のＸ線をエネルギー分解して行う、シングルエナジーの検出データを用いたシングルエナジー検査、デュアルエナジーの検出データを用いたデュアルエナジー検査、及びシングルエナジー検査とデュアルエナジー検査の同時検査の各手法には一長一短があり、いずれか１つの手法に特化した検査装置では様々な被検査物に対応できない。

【0049】

1つのエネルギー帯から透過率を比較し、製品と異物との差を明確にするシングルエナジー検査は、厚みが均一な製品や、硬い又は密度が高い異物の検出に向いている。一方、高／低２種類のエネルギー帯で得られた透過画像の差分等をとり、変化のない箇所を差し引くことで異物だけを明確にするデュアルエナジー検査は、重なりがある製品や凹凸がある製品、薄い又はやわらかい異物の検出に向いている。シングルエナジー検査とデュアルエナジー検査の同時検査は、シングルエナジー検査とデュアルエナジー検査の双方の利点を合わせ持ち、例えば、解体の際に硬い骨と平べったい骨の両方が異物として付着する可能性がある鶏肉の検査などに有効である。

【0050】

本発明のＸ線検査装置及びプログラムによれば、シングルエナジー検査とデュアルエナジー検査の同時検査が可能であるのに加え、それぞれの検査手法を柔軟に組み合わせて検査を行うことが可能であるため、本装置のみで様々な被検査物を検査することができる。

【0051】

なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。各実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。すなわち、本発明において表現されている技術的思想の範囲内で適宜変更が可能であり、その様な変更や改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含む。

【符号の説明】

【0052】

１００…Ｘ線検査装置
１１０…搬送手段
１２０…Ｘ線照射手段
１３０…Ｘ線検出手段
１４０…計数手段
１５０…シングルエナジー検出データ生成手段
１６０…入力手段
１７０…デュアルエナジー検出データ生成手段
１８０…検査実現手段
Ａ１～Ａ８…エネルギー領域
Ｖｔｈ、Ｖｔｈ１、Ｖｔｈ２…閾値
Ｗ…被測定物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】