(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023058273
(43)【公開日】2023-04-25
(54)【発明の名称】ゲートバルブ
(51)【国際特許分類】
F16K 3/18 20060101AFI20230418BHJP
【ＦＩ】
F16K3/18 E
【審査請求】未請求
【請求項の数】14
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021168188
(22)【出願日】2021-10-13
(71)【出願人】
【識別番号】000102511
【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100119404
【弁理士】
【氏名又は名称】林 直生樹
(74)【代理人】
【識別番号】100177769
【弁理士】
【氏名又は名称】石川 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100188743
【弁理士】
【氏名又は名称】加藤 誠
(72)【発明者】
【氏名】西川 武志
【テーマコード（参考）】
3H053
【Ｆターム（参考）】
3H053AA25
3H053AA35
3H053BA12
3H053BA24
3H053BC01
3H053BD02
3H053DA09
(57)【要約】
【課題】重量やコストの増大を抑制可能なゲートバルブを提供する。
【解決手段】ゲートバルブ１０は、第１及び第２チャンバ間に配設され、第１チャンバに通じる第１開口部と、第２チャンバに通じる第２開口部とを相互に連通し及び個別に開閉する。ゲートバルブは、弁シャフト１７と、この先端部に取り付けられた第１及び第２弁板２１，２２と、弁シャフトを動作させて、これら弁板を、第１及び第２開口部を相互に連通させる退避位置、第１弁板で第１開口部を閉塞する第１閉塞位置、第２弁板で第２開口部を閉塞する第２閉塞位置に移動させる操作機構２４と、これら弁板間に弁シャフトの先端部を挟持させた状態で、これら弁板と弁シャフトを係脱可能に相互に締結して、これら弁板を弁シャフトの先端部に着脱可能に取り付ける締結機構３０と、これら弁板の長手方向の少なくとも両端部において、これら弁板を係脱可能に相互に締結するサポート機構５０と、を有する。
【選択図】 図１
【解決手段】ゲートバルブ１０は、第１及び第２チャンバ間に配設され、第１チャンバに通じる第１開口部と、第２チャンバに通じる第２開口部とを相互に連通し及び個別に開閉する。ゲートバルブは、弁シャフト１７と、この先端部に取り付けられた第１及び第２弁板２１，２２と、弁シャフトを動作させて、これら弁板を、第１及び第２開口部を相互に連通させる退避位置、第１弁板で第１開口部を閉塞する第１閉塞位置、第２弁板で第２開口部を閉塞する第２閉塞位置に移動させる操作機構２４と、これら弁板間に弁シャフトの先端部を挟持させた状態で、これら弁板と弁シャフトを係脱可能に相互に締結して、これら弁板を弁シャフトの先端部に着脱可能に取り付ける締結機構３０と、これら弁板の長手方向の少なくとも両端部において、これら弁板を係脱可能に相互に締結するサポート機構５０と、を有する。
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
互いに隣接する第１チャンバと第２チャンバとの間に配設され、前記第１チャンバへと通じる第１開口部と、前記第２チャンバへと通じる第２開口部とを相互に連通したり、個別に開閉したりするためのゲートバルブであって、
前記ゲートバルブは、
基端側から先端側に向けて軸方向に延びる弁シャフトと、
前記弁シャフトの軸方向の先端部に取り付けられ、前記軸と直交する方向に長く形成されると共に、前記弁シャフト側を向く内面及び環状のシール部材が装着されて前記内面と背向する外面を備えた第１弁板及び第２弁板と、
前記弁シャフトを動作させることにより、前記第１及び第２弁板を、前記第１開口部と前記第２開口部とを相互に連通させる退避位置、前記第１弁板の外面で前記第１開口部を閉塞する第１閉塞位置、及び、前記第２弁板の外面で前記第２開口部を閉塞する第２閉塞位置に移動させる操作機構と、を有しており、
さらに、前記ゲートバルブは、
前記第１弁板の内面及び前記第２弁板の内面を前記弁シャフトの先端部に当接させて、これら弁板間に前記弁シャフトの先端部を挟持させた状態で、前記第１及び第２弁板並びに前記弁シャフトを係脱可能に相互に締結することにより、前記第１及び第２弁板を前記弁シャフトの先端部に着脱可能に取り付ける締結機構と、
前記第１及び第２弁板の長手方向の少なくとも両端部において、これら弁板を係脱可能に相互に締結する少なくとも１組のサポート機構と、を有している、
ことを特徴とするゲートバルブ。
前記ゲートバルブは、
基端側から先端側に向けて軸方向に延びる弁シャフトと、
前記弁シャフトの軸方向の先端部に取り付けられ、前記軸と直交する方向に長く形成されると共に、前記弁シャフト側を向く内面及び環状のシール部材が装着されて前記内面と背向する外面を備えた第１弁板及び第２弁板と、
前記弁シャフトを動作させることにより、前記第１及び第２弁板を、前記第１開口部と前記第２開口部とを相互に連通させる退避位置、前記第１弁板の外面で前記第１開口部を閉塞する第１閉塞位置、及び、前記第２弁板の外面で前記第２開口部を閉塞する第２閉塞位置に移動させる操作機構と、を有しており、
さらに、前記ゲートバルブは、
前記第１弁板の内面及び前記第２弁板の内面を前記弁シャフトの先端部に当接させて、これら弁板間に前記弁シャフトの先端部を挟持させた状態で、前記第１及び第２弁板並びに前記弁シャフトを係脱可能に相互に締結することにより、前記第１及び第２弁板を前記弁シャフトの先端部に着脱可能に取り付ける締結機構と、
前記第１及び第２弁板の長手方向の少なくとも両端部において、これら弁板を係脱可能に相互に締結する少なくとも１組のサポート機構と、を有している、
ことを特徴とするゲートバルブ。
【請求項2】
前記締結機構は、
前記弁シャフトの前記軸方向の先端側から、前記弁シャフトと前記第１弁板との間に跨がるよう配されていて、前記第１弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記弁シャフトに対して着脱可能に固定された第１クランプ片と、
前記弁シャフトの前記軸方向の先端側から、前記弁シャフトと前記第２弁板との間に跨がるよう配されていて、前記第２弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記弁シャフトに対して着脱可能に固定された第２クランプ片と、
前記第１クランプ片及び前記第２クランプ片のそれぞれを前記弁シャフトの先端部に着脱可能に固定する第１締結部材及び第２締結部材と、を有しており、
前記第１及び第２弁板の前記軸方向における基端側端部は、前記弁シャフトの先端側から前記弁シャフトの先端部に対して凹凸係合されており、
前記第１及び前記第２クランプ片が前記第１及び第２締結部材で前記弁シャフトに固定された状態において、前記第１及び第２クランプ片と前記第１及び第２弁板との係合により、前記第１及び第２弁板の先端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されていると共に、前記弁板の基端側端部と前記弁シャフトの先端部との凹凸係合により、前記第１及び第２弁板の基端側端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されており、
それにより、前記第１及び第２弁板が前記弁シャフトの先端部に対して締結されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ。
前記弁シャフトの前記軸方向の先端側から、前記弁シャフトと前記第１弁板との間に跨がるよう配されていて、前記第１弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記弁シャフトに対して着脱可能に固定された第１クランプ片と、
前記弁シャフトの前記軸方向の先端側から、前記弁シャフトと前記第２弁板との間に跨がるよう配されていて、前記第２弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記弁シャフトに対して着脱可能に固定された第２クランプ片と、
前記第１クランプ片及び前記第２クランプ片のそれぞれを前記弁シャフトの先端部に着脱可能に固定する第１締結部材及び第２締結部材と、を有しており、
前記第１及び第２弁板の前記軸方向における基端側端部は、前記弁シャフトの先端側から前記弁シャフトの先端部に対して凹凸係合されており、
前記第１及び前記第２クランプ片が前記第１及び第２締結部材で前記弁シャフトに固定された状態において、前記第１及び第２クランプ片と前記第１及び第２弁板との係合により、前記第１及び第２弁板の先端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されていると共に、前記弁板の基端側端部と前記弁シャフトの先端部との凹凸係合により、前記第１及び第２弁板の基端側端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されており、
それにより、前記第１及び第２弁板が前記弁シャフトの先端部に対して締結されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ。
【請求項3】
前記一対の弁板の基端側端部と前記弁シャフトの先端部との凹凸係合は、前記一対の弁板の基端部にそれぞれ設けられた係合部と、前記弁シャフトの先端部に設けられ一対の被係合部との係合によって形成され、前記係合部は、凹部及びそれに係合された凸部のいずれか一方であり、前記被係合部は、前記凹部及び前記凸部のいずれか他方であり、
前記第１弁板及び前記第２弁板には、それらの前記内面の長手方向の中央部において前記軸方向の先端側に向けて開口する第１係合凹部及び第２係合凹部が形成され、
前記第１クランプ片及び前記第２クランプ片には、前記第１及び第２係合凹部に係合させる第１係合凸部及び第２係合凸部が形成されており、
前記第１係合凸部を前記第１係合凹部に係合させると共に、前記第１弁板及び前記弁シャフトに形成された前記係合部と前記被係合部とを係合させた状態で、前記第１締結部材で前記第１クランプ片を前記弁シャフトに固定することにより、前記第１係合凸部が前記第１係合凹部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力が作用すると共に、前記係合部が前記被係合部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力が作用して、前記第１弁板が前記弁シャフトに対して締結され、
前記第２係合凸部を前記第２係合凹部に係合させると共に、前記第２弁板及び前記弁シャフトに形成された前記係合部と前記被係合部とを係合させた状態で、前記第２締結部材で前記第２クランプ片を前記弁シャフトに固定することにより、前記第２係合凸部が前記第２係合凹部に対して前記第２弁板の内面方向の押圧力を作用させると共に、前記係合部が前記被係合部に対して前記第２弁板の内面方向の押圧力を作用させて、前記第２弁板が前記弁シャフトに対して締結されている、
ことを特徴とする請求項２に記載のゲートバルブ。
前記第１弁板及び前記第２弁板には、それらの前記内面の長手方向の中央部において前記軸方向の先端側に向けて開口する第１係合凹部及び第２係合凹部が形成され、
前記第１クランプ片及び前記第２クランプ片には、前記第１及び第２係合凹部に係合させる第１係合凸部及び第２係合凸部が形成されており、
前記第１係合凸部を前記第１係合凹部に係合させると共に、前記第１弁板及び前記弁シャフトに形成された前記係合部と前記被係合部とを係合させた状態で、前記第１締結部材で前記第１クランプ片を前記弁シャフトに固定することにより、前記第１係合凸部が前記第１係合凹部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力が作用すると共に、前記係合部が前記被係合部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力が作用して、前記第１弁板が前記弁シャフトに対して締結され、
前記第２係合凸部を前記第２係合凹部に係合させると共に、前記第２弁板及び前記弁シャフトに形成された前記係合部と前記被係合部とを係合させた状態で、前記第２締結部材で前記第２クランプ片を前記弁シャフトに固定することにより、前記第２係合凸部が前記第２係合凹部に対して前記第２弁板の内面方向の押圧力を作用させると共に、前記係合部が前記被係合部に対して前記第２弁板の内面方向の押圧力を作用させて、前記第２弁板が前記弁シャフトに対して締結されている、
ことを特徴とする請求項２に記載のゲートバルブ。
【請求項4】
前記第１及び第２締結部材は第１締結ボルト及び第２締結ボルトであり、
前記弁シャフトの軸方向の先端面には、これら締結ボルトを螺合させるねじ穴が開設され、
前記第１及び第２クランプ片には、前記第１及び第２締結ボルトを挿通させる貫通孔が開設されており、
前記第１締結ボルトを前記第１クランプ片の貫通孔に挿通させて前記弁シャフトのねじ穴に螺合させることにより、前記第１クランプ片が前記弁シャフトに固定され、前記第２締結ボルトを前記第２クランプ片の貫通孔に挿通させて前記弁シャフトのねじ穴に螺合させることにより、前記第２クランプ片が前記弁シャフトに固定されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のゲートバルブ。
前記弁シャフトの軸方向の先端面には、これら締結ボルトを螺合させるねじ穴が開設され、
前記第１及び第２クランプ片には、前記第１及び第２締結ボルトを挿通させる貫通孔が開設されており、
前記第１締結ボルトを前記第１クランプ片の貫通孔に挿通させて前記弁シャフトのねじ穴に螺合させることにより、前記第１クランプ片が前記弁シャフトに固定され、前記第２締結ボルトを前記第２クランプ片の貫通孔に挿通させて前記弁シャフトのねじ穴に螺合させることにより、前記第２クランプ片が前記弁シャフトに固定されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のゲートバルブ。
【請求項5】
前記第１クランプ片は、その貫通孔を挟んだ一端側に前記第１係合凸部を有し、他端側に第１係止爪を有しており、
前記第１クランプ片を前記第１締結ボルトで固定した状態において、前記第１係止爪が前記弁シャフトに対して前記第１係合凸部側へ向けて係止されており、
前記第２クランプ片は、その貫通孔を挟んだ一端側に前記第２係合凸部を有し、他端側に第２係止爪を有しており、
前記第２クランプ片を前記第２締結ボルトで固定した状態において、前記第２係止爪が前記弁シャフトに対して前記第２係合凸部側へ向けて係止されている、
ことを特徴とする請求項４に記載のゲートバルブ。
前記第１クランプ片を前記第１締結ボルトで固定した状態において、前記第１係止爪が前記弁シャフトに対して前記第１係合凸部側へ向けて係止されており、
前記第２クランプ片は、その貫通孔を挟んだ一端側に前記第２係合凸部を有し、他端側に第２係止爪を有しており、
前記第２クランプ片を前記第２締結ボルトで固定した状態において、前記第２係止爪が前記弁シャフトに対して前記第２係合凸部側へ向けて係止されている、
ことを特徴とする請求項４に記載のゲートバルブ。
【請求項6】
前記第１クランプ片は、前記第１締結ボルトを緩めた状態において、前記第１係合凸部を前記第１係合凹部に係合させた係合位置と、前記第１係合凹部から前記第１係合凸部を抜脱させた着脱位置との間で、前記第１締結ボルトの軸周りに回動自在であり、
前記第１クランプ片は、前記第１クランプ片を前記係合位置から前記着脱位置まで回動させたときに、前記第１弁板の内面と前記第２弁板の内面との間の隙間内に収容され、
前記第２クランプ片は、前記第２締結ボルトを緩めた状態において、前記第２係合凸部を前記第２係合凹部に係合させた係合位置と、前記第２係合凹部から前記第２係合凸部を抜脱させた着脱位置との間で、前記第２締結ボルトの軸周りに回動自在であり、
前記第２クランプ片は、前記第２クランプ片を前記係合位置から前記着脱位置まで回動させたときに、前記第１弁板の内面と前記第２弁板の内面との間の隙間内に収容される、
ことを特徴とする請求項４に記載のゲートバルブ。
前記第１クランプ片は、前記第１クランプ片を前記係合位置から前記着脱位置まで回動させたときに、前記第１弁板の内面と前記第２弁板の内面との間の隙間内に収容され、
前記第２クランプ片は、前記第２締結ボルトを緩めた状態において、前記第２係合凸部を前記第２係合凹部に係合させた係合位置と、前記第２係合凹部から前記第２係合凸部を抜脱させた着脱位置との間で、前記第２締結ボルトの軸周りに回動自在であり、
前記第２クランプ片は、前記第２クランプ片を前記係合位置から前記着脱位置まで回動させたときに、前記第１弁板の内面と前記第２弁板の内面との間の隙間内に収容される、
ことを特徴とする請求項４に記載のゲートバルブ。
【請求項7】
前記第１及び第２締結ボルトは、軸方向に延びる軸部と、前記軸部の軸方向の先端部に設けられた頭部と、前記軸部の外周面に形成された雄ねじ部と、を有し、
前記第１及び第２クランプ片に開設された前記貫通孔の内面には、前記雄ねじ部と螺合可能な雌ねじ部が形成され、
前記軸部は、さらに前記雄ねじ部よりも前記頭部側の部分に前記雌ねじ部の内径より外径が小さい細径部を有し、
前記細径部は、前記貫通孔に挿通されており、
前記第１及び第２締結ボルトを緩める際に、前記雄ねじ部における前記頭部側の端部が前記第１及び第２クランプ片の前記雌ねじ部に当接するように構成されている、
ことを特徴とする請求項６に記載のゲートバルブ。
前記第１及び第２クランプ片に開設された前記貫通孔の内面には、前記雄ねじ部と螺合可能な雌ねじ部が形成され、
前記軸部は、さらに前記雄ねじ部よりも前記頭部側の部分に前記雌ねじ部の内径より外径が小さい細径部を有し、
前記細径部は、前記貫通孔に挿通されており、
前記第１及び第２締結ボルトを緩める際に、前記雄ねじ部における前記頭部側の端部が前記第１及び第２クランプ片の前記雌ねじ部に当接するように構成されている、
ことを特徴とする請求項６に記載のゲートバルブ。
【請求項8】
前記サポート機構は、
前記第１弁板及び前記第２弁板の長手方向の少なくとも両端部において、これら弁板間に挟持された少なくとも一対のサポート台と、
前記一対のサポート台のそれぞれの前記軸方向の先端側から前記第１弁板及び前記第２弁板に跨がるように配されていて、前記第１及び第２弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記各サポート台に対して着脱可能に固定された第３クランプ片と、
前記第３クランプ片を前記サポート台の軸方向の先端部に着脱可能に固定する第３締結部材と、を有しており、
前記第１及び第２弁板の前記軸方向における基端側端部は、前記サポート台の先端側から前記サポート台に対して凹凸係合されており、
前記第３クランプ片を前記第１及び第２弁板に係合させると共に、前記一対の弁板の基端側端部と前記サポート台とを凹凸係合させた状態で、前記第３クランプ片を前記第３締結部材で前記サポート台に固定することにより、前記第１及び第２弁板の先端部及び基端側端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されており、
それにより、前記第１及び第２弁板と前記サポート台とが互いに締結されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ。
前記第１弁板及び前記第２弁板の長手方向の少なくとも両端部において、これら弁板間に挟持された少なくとも一対のサポート台と、
前記一対のサポート台のそれぞれの前記軸方向の先端側から前記第１弁板及び前記第２弁板に跨がるように配されていて、前記第１及び第２弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記各サポート台に対して着脱可能に固定された第３クランプ片と、
前記第３クランプ片を前記サポート台の軸方向の先端部に着脱可能に固定する第３締結部材と、を有しており、
前記第１及び第２弁板の前記軸方向における基端側端部は、前記サポート台の先端側から前記サポート台に対して凹凸係合されており、
前記第３クランプ片を前記第１及び第２弁板に係合させると共に、前記一対の弁板の基端側端部と前記サポート台とを凹凸係合させた状態で、前記第３クランプ片を前記第３締結部材で前記サポート台に固定することにより、前記第１及び第２弁板の先端部及び基端側端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されており、
それにより、前記第１及び第２弁板と前記サポート台とが互いに締結されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ。
【請求項9】
前記一対の弁板の基端側端部と前記サポート台との凹凸係合は、前記一対の弁板の基端側端部にそれぞれ設けられた基端側係合凹部と、前記サポート台に設けられた一対の基端側係合凸部との係合によって形成されており、
前記第１弁板及び前記第２弁板には、それらの前記内面の長手方向の少なくとも両端部において前記軸方向の先端側に向けて開口する第３係合凹部及び第４係合凹部が形成され、
前記第３クランプ片には、前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合させる第３係合凸部及び第４係合凸部が形成されており、
前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部を前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合させると共に、前記第１及び第２弁板並びに前記サポート台に形成された前記基端側係合凹部と前記基端側係合凸部とを係合させた状態で、前記第３締結部材で前記第３クランプ片を前記サポート台に固定することにより、前記第３係合凸部が前記第３係合凹部に対して及び前記第４係合凸部が前記第４係合凹部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力を作用させると共に、前記基端側係合凹部が前記基端側係合凸部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力を作用させて、前記第１及び第２弁板と前記サポート台とが互いに締結されている、
ことを特徴とする請求項８に記載のゲートバルブ。
前記第１弁板及び前記第２弁板には、それらの前記内面の長手方向の少なくとも両端部において前記軸方向の先端側に向けて開口する第３係合凹部及び第４係合凹部が形成され、
前記第３クランプ片には、前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合させる第３係合凸部及び第４係合凸部が形成されており、
前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部を前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合させると共に、前記第１及び第２弁板並びに前記サポート台に形成された前記基端側係合凹部と前記基端側係合凸部とを係合させた状態で、前記第３締結部材で前記第３クランプ片を前記サポート台に固定することにより、前記第３係合凸部が前記第３係合凹部に対して及び前記第４係合凸部が前記第４係合凹部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力を作用させると共に、前記基端側係合凹部が前記基端側係合凸部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力を作用させて、前記第１及び第２弁板と前記サポート台とが互いに締結されている、
ことを特徴とする請求項８に記載のゲートバルブ。
【請求項10】
前記第３締結部材は、第３締結ボルトであり、
前記サポート台の軸方向の先端面には、前記第３締結ボルトを螺合させるねじ穴が開設され、
前記第３クランプ片には、前記第３締結ボルトを挿通させる貫通孔が開設されており、
前記第３締結ボルトを前記第３クランプ片の貫通孔に挿通させて前記サポート台の前記ねじ穴に螺合させることにより、前記第３クランプ片が前記サポート台に固定されている、
ことを特徴とする請求項９に記載のゲートバルブ。
前記サポート台の軸方向の先端面には、前記第３締結ボルトを螺合させるねじ穴が開設され、
前記第３クランプ片には、前記第３締結ボルトを挿通させる貫通孔が開設されており、
前記第３締結ボルトを前記第３クランプ片の貫通孔に挿通させて前記サポート台の前記ねじ穴に螺合させることにより、前記第３クランプ片が前記サポート台に固定されている、
ことを特徴とする請求項９に記載のゲートバルブ。
【請求項11】
前記第３係合凹部、前記第４係合凹部及び前記基端側係合凹部は、前記弁板の長手方向に延びてその外側端がその長手方向の外側へ向けて開口しており、
前記サポート台は、前記第３クランプ片の前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部が前記第１及び第２弁板の前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合していると共に、前記基端側係合凹部及び前記基端側係合凸部が係合している状態で、前記第３締結ボルトを緩めることにより、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部を前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に沿ってスライド移動させると共に、前記基端側係合凹部を前記基端側係合凸部に沿ってスライド移動させて、前記サポート機構を前記第１及び第２弁板から取り外し可能である、
ことを特徴とする請求項１０に記載のゲートバルブ。
前記サポート台は、前記第３クランプ片の前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部が前記第１及び第２弁板の前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合していると共に、前記基端側係合凹部及び前記基端側係合凸部が係合している状態で、前記第３締結ボルトを緩めることにより、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部を前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に沿ってスライド移動させると共に、前記基端側係合凹部を前記基端側係合凸部に沿ってスライド移動させて、前記サポート機構を前記第１及び第２弁板から取り外し可能である、
ことを特徴とする請求項１０に記載のゲートバルブ。
【請求項12】
前記第３クランプ片は、前記第３締結ボルトを緩めることにより、前記第３係合凸部が前記第３係合凹部に係合し且つ、前記第４係合凸部が前記第４係合凹部に係合している状態から、前記第３締結ボルトの軸周りに回動自在であり、
前記第３クランプ片には、さらに、前記第３締結ボルトを中心として径方向に突出する突出片部が形成され、
前記突出片部には、その突出方向先端部に前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部と係合可能な第５係合凸部が形成されており、
前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部は、前記第３締結ボルトを挟んだ径方向両側に配置され、
前記第５係合凸部は、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部に対して前記第３締結ボルトの軸周りに直角を成した位置に配置されており、
前記第３クランプ片は、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部が前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合した状態で、前記第３締結ボルトを緩めて前記第３クランプ片を前記第３締結ボルトの軸周りに回動させることにより、前記第５係合凸部を前記第３係合凹部又は前記第４係合凹部に係合させて前記第１弁板及び前記第２弁板のいずれらか一方を係止すると共に、その一方で前記弁板のいずれか他方を前記第３クランプ片との係合から解除させることができるように構成されている、
ことを特徴とする請求項１０に記載のゲートバルブ。
前記第３クランプ片には、さらに、前記第３締結ボルトを中心として径方向に突出する突出片部が形成され、
前記突出片部には、その突出方向先端部に前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部と係合可能な第５係合凸部が形成されており、
前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部は、前記第３締結ボルトを挟んだ径方向両側に配置され、
前記第５係合凸部は、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部に対して前記第３締結ボルトの軸周りに直角を成した位置に配置されており、
前記第３クランプ片は、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部が前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合した状態で、前記第３締結ボルトを緩めて前記第３クランプ片を前記第３締結ボルトの軸周りに回動させることにより、前記第５係合凸部を前記第３係合凹部又は前記第４係合凹部に係合させて前記第１弁板及び前記第２弁板のいずれらか一方を係止すると共に、その一方で前記弁板のいずれか他方を前記第３クランプ片との係合から解除させることができるように構成されている、
ことを特徴とする請求項１０に記載のゲートバルブ。
【請求項13】
前記第３締結ボルトは、軸方向に延びる軸部と、前記軸部の軸方向の先端部に設けられた頭部と、前記軸部の外周面に形成された雄ねじ部と、を有し、
前記第３クランプ片に開設された前記貫通孔の内面には、前記雄ねじ部と螺合可能な雌ねじ部が形成され、
前記軸部は、さらに前記雄ねじ部よりも前記頭部側の部分に前記雌ねじ部の内径より外径が小さい細径部を有し、
前記細径部は、前記貫通孔に挿通されており、
前記第３締結ボルトを緩める際に、前記雄ねじ部における前記頭部側の端部が前記第３クランプ片に当接するように構成されている、
ことを特徴とする請求項１２に記載のゲートバルブ。
前記第３クランプ片に開設された前記貫通孔の内面には、前記雄ねじ部と螺合可能な雌ねじ部が形成され、
前記軸部は、さらに前記雄ねじ部よりも前記頭部側の部分に前記雌ねじ部の内径より外径が小さい細径部を有し、
前記細径部は、前記貫通孔に挿通されており、
前記第３締結ボルトを緩める際に、前記雄ねじ部における前記頭部側の端部が前記第３クランプ片に当接するように構成されている、
ことを特徴とする請求項１２に記載のゲートバルブ。
【請求項14】
前記ゲートバルブは、さらに、前記第１弁板及び前記第２弁板を収容する
弁箱を有し、
前記弁箱は、前記第１及び第２弁板を前記軸周りに取り囲む側壁と、前記
側壁における前記軸方向の先端側端部に着脱可能に取り付けられた天壁と、
を有しており、
前記側壁には、前記第１開口部及び前記第２開口部が互いに対向するように
開設されている、
ことを特徴とする請求項１から１３のいずれかに記載のゲートバルブ。
弁箱を有し、
前記弁箱は、前記第１及び第２弁板を前記軸周りに取り囲む側壁と、前記
側壁における前記軸方向の先端側端部に着脱可能に取り付けられた天壁と、
を有しており、
前記側壁には、前記第１開口部及び前記第２開口部が互いに対向するように
開設されている、
ことを特徴とする請求項１から１３のいずれかに記載のゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体製造装置等において、チャンバ間に配置するためのゲートバルブに関するものであり、更に詳しくは、互いに隣接するトランスファチャンバ等の第１チャンバとプロセスチャンバ等の第２チャンバとの間に配置され、第１チャンバへと通じる第１開口部と第２チャンバへと通じる第２開口部とを相互に連通させたり、個別に開閉したりするためのゲートバルブに関するものである。
【背景技術】
【0002】
このようなゲートバルブにおいては、一対の弁板が互いに背向するように配設されていて、それら弁板に取り付けられたシール部材を、前記各開口部の周囲に形成されたシート面に当接させることにより、前記各開口部を個別に開閉することができるようになっている。ところで、例えば、前記シール部材は、使用に応じて次第に劣化していくため、劣化した段階で新たなシール部材と交換する必要があるなど、弁板には定期的なメンテナンス作業が必要とされている。しかしながら、従来は、このようなシール部材の交換をはじめとする弁板のメンテナンス作業を実施するにあたっては、ゲートバルブ全体をチャンバ間から一旦取り外す必要があり、多くの手間と時間を要していた。
【0003】
そこで、特許文献１に記載のゲートバルブにおいては、弁シャフトの先端部に、支持プレートを弁シャフトの先願側から着脱自在に取り付けると共に、その支持プレートの両面に、一対の弁板を弁シャフトの先端側から着脱可能に取り付けている。このため、例えば、特許文献１に記載されたように、弁板を収容した弁箱の先端側を閉じる天壁を取り外すなどして、弁板や支持プレートへの先端側からのアクセスを可能にすれば、ゲートバルブ全体をチャンバ間から取り外すことなく、弁板のメンテナンス作業を簡単に実施することが可能となっている。その一方で、製造時や運用時等のコストを考慮すると、弁板周りの重量は出来るだけ抑制することが望ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１１－９４７９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
そこで、本発明の技術的課題は、弁板のメンテナンス時における作業性に優れているばかりでなく、弁板周りの重量を抑制することで各種コストを抑制することが可能なゲートバルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
課題を解決するため、本発明に係るゲートバルブは、互いに隣接する第１チャンバと第２チャンバとの間に配設され、前記第１チャンバへと通じる第１開口部と、前記第２チャンバへと通じる第２開口部とを相互に連通したり、個別に開閉したりするためのゲートバルブであって、前記ゲートバルブは、基端側から先端側に向けて軸方向に延びる弁シャフトと、前記弁シャフトの軸方向の先端部に取り付けられ、前記軸と直交する方向に長く形成されると共に、前記弁シャフト側を向く内面及び環状のシール部材が装着されて前記内面と背向する外面を備えた第１弁板及び第２弁板と、前記弁シャフトを動作させることにより、前記第１及び第２弁板を、前記第１開口部と前記第２開口部とを相互に連通させる退避位置、前記第１弁板の外面で前記第１開口部を閉塞する第１閉塞位置、及び、前記第２弁板の外面で前記第２開口部を閉塞する第２閉塞位置に移動させる操作機構と、を有しており、さらに、前記ゲートバルブは、前記第１弁板の内面及び前記第２弁板の内面を前記弁シャフトの先端部に当接させて、これら弁板間に前記弁シャフトの先端部を挟持させた状態で、前記第１及び第２弁板並びに前記弁シャフトを係脱可能に相互に締結することにより、前記第１及び第２弁板を前記弁シャフトの先端部に着脱可能に取り付ける締結機構と、前記第１及び第２弁板の長手方向の少なくとも両端部において、これら弁板を係脱可能に相互に締結する少なくとも１組のサポート機構と、を有している、ことを特徴とする。
【0007】
この場合において、好ましくは、前記締結機構は、前記弁シャフトの前記軸方向の先端側から、前記弁シャフトと前記第１弁板との間に跨がるよう配されていて、前記第１弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記弁シャフトに対して着脱可能に固定された第１クランプ片と、前記弁シャフトの前記軸方向の先端側から、前記弁シャフトと前記第２弁板との間に跨がるよう配されていて、前記第２弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記弁シャフトに対して着脱可能に固定された第２クランプ片と、前記第１クランプ片及び前記第２クランプ片のそれぞれを前記弁シャフトの先端部に着脱可能に固定する第１締結部材及び第２締結部材と、を有しており、前記第１及び第２弁板の前記軸方向における基端側端部は、前記弁シャフトの先端側から前記弁シャフトの先端部に対して凹凸係合されており、前記第１及び前記第２クランプ片が前記第１及び第２締結部材で前記弁シャフトに固定された状態において、前記第１及び第２クランプ片と前記第１及び第２弁板との係合により、前記第１及び第２弁板の先端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されていると共に、前記弁板の基端側端部と前記弁シャフトの先端部との凹凸係合により、前記第１及び第２弁板の基端側端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されており、それにより、前記第１及び第２弁板が前記弁シャフトの先端部に対して締結されている。
【0008】
また、好ましくは、前記一対の弁板の基端側端部と前記弁シャフトの先端部との凹凸係合は、前記一対の弁板の基端部にそれぞれ設けられた係合部と、前記弁シャフトの先端部に設けられ一対の被係合部との係合によって形成され、前記係合部は、凹部及びそれに係合された凸部のいずれか一方であり、前記被係合部は、前記凹部及び前記凸部のいずれか他方であり、前記第１弁板及び前記第２弁板には、それらの前記内面の長手方向の中央部において前記軸方向の先端側に向けて開口する第１係合凹部及び第２係合凹部が形成され、前記第１クランプ片及び前記第２クランプ片には、前記第１及び第２係合凹部に係合させる第１係合凸部及び第２係合凸部が形成されており、前記第１係合凸部を前記第１係合凹部に係合させると共に、前記第１弁板及び前記弁シャフトに形成された前記係合部と前記被係合部とを係合させた状態で、前記第１締結部材で前記第１クランプ片を前記弁シャフトに固定することにより、前記第１係合凸部が前記第１係合凹部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力を作用させると共に、前記係合部が前記被係合部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力を作用させて、前記第１弁板が前記弁シャフトに対して締結され、前記第２係合凸部を前記第２係合凹部に係合させると共に、前記第２弁板及び前記弁シャフトに形成された前記係合部と前記被係合部とを係合させた状態で、前記第２締結部材で前記第２クランプ片を前記弁シャフトに固定することにより、前記第２係合凸部が前記第２係合凹部に対して前記第２弁板の内面方向の押圧力を作用させると共に、前記係合部が前記被係合部に対して前記第２弁板の内面方向の押圧力を作用させて、前記第２弁板が前記弁シャフトに対して締結されている。
【0009】
また、好ましくは、前記第１及び第２締結部材は第１締結ボルト及び第２締結ボルトであり、前記弁シャフトの軸方向の先端面には、これら締結ボルトを螺合させるねじ穴が開設され、前記第１及び第２クランプ片には、前記第１及び第２締結ボルトを挿通させる貫通孔が開設されており、前記第１締結ボルトを前記第１クランプ片の貫通孔に挿通させて前記弁シャフトのねじ穴に螺合させることにより、前記第１クランプ片が前記弁シャフトに固定され、前記第２締結ボルトを前記第２クランプ片の貫通孔に挿通させて前記弁シャフトのねじ穴に螺合させることにより、前記第２クランプ片が前記弁シャフトに固定されている。
【0010】
また、好ましくは、前記第１クランプ片は、その貫通孔を挟んだ一端側に前記第１係合凸部を有し、他端側に第１係止爪を有しており、前記第１クランプ片を前記第１締結ボルトで固定した状態において、前記第１係止爪が前記弁シャフトに対して前記第１係合凸部側へ向けて係止されており、前記第２クランプ片は、その貫通孔を挟んだ一端側に前記第２係合凸部を有し、他端側に第２係止爪を有しており、前記第２クランプ片を前記第２締結ボルトで固定した状態において、前記第２係止爪が前記弁シャフトに対して前記第２係合凸部側へ向けて係止されている。
【0011】
また、好ましくは、前記第１クランプ片は、前記第１締結ボルトを緩めた状態において、前記第１係合凸部を前記第１係合凹部に係合させた係合位置と、前記第１係合凹部から前記第１係合凸部を抜脱させた着脱位置との間で、前記第１締結ボルトの軸周りに回動自在であり、前記第１クランプ片は、前記第１クランプ片を前記係合位置から前記着脱位置まで回動させたときに、前記第１弁板の内面と前記第２弁板の内面との間の隙間内に収容され、前記第２クランプ片は、前記第２締結ボルトを緩めた状態において、前記第２係合凸部を前記第２係合凹部に係合させた係合位置と、前記第２係合凹部から前記第２係合凸部を抜脱させた着脱位置との間で、前記第２締結ボルトの軸周りに回動自在であり、前記第２クランプ片は、前記第２クランプ片を前記係合位置から前記着脱位置まで回動させたときに、前記第１弁板の内面と前記第２弁板の内面との間の隙間内に収容される。
【0012】
また、好ましくは、前記第１及び第２締結ボルトは、軸方向に延びる軸部と、前記軸部の軸方向の先端部に設けられた頭部と、前記軸部の外周面に形成された雄ねじ部と、を有し、前記第１及び第２クランプ片に開設された前記貫通孔の内面には、前記雄ねじ部と螺合可能な雌ねじ部が形成され、前記軸部は、さらに前記雄ねじ部よりも前記頭部側の部分に前記雌ねじ部の内径より外径が小さい細径部を有し、前記細径部は、前記貫通孔に挿通されており、前記第１及び第２締結ボルトを緩める際に、前記雄ねじ部における前記頭部側の端部が前記第１及び第２クランプ片の前記雌ねじ部に当接するように構成されている。
【0013】
また、好ましくは、前記サポート機構は、前記第１弁板及び前記第２弁板の長手方向の少なくとも両端部において、これら弁板間に挟持された少なくとも一対のサポート台と、前記一対のサポート台のそれぞれの前記軸方向の先端側から前記第１弁板及び前記第２弁板に跨がるように配されていて、前記第１及び第２弁板に対して係脱可能に係合されると共に、前記各サポート台に対して着脱可能に固定された第３クランプ片と、前記第３クランプ片を前記サポート台の軸方向の先端部に着脱可能に固定する第３締結部材と、を有しており、前記第１及び第２弁板の前記軸方向における基端側端部は、前記サポート台の先端側から前記サポート台に対して凹凸係合されており、前記第３クランプ片を前記第１及び第２弁板に係合させると共に、前記一対の弁板の基端側端部と前記サポート台とを凹凸係合させた状態で、前記第３クランプ片を前記第３締結部材で前記サポート台に固定することにより、前記第１及び第２弁板の先端部及び基端側端部がそれらの前記内面側に向けてそれぞれ押圧されており、それにより、前記第１及び第２弁板と前記サポート台とが互いに締結されている。
【0014】
また、好ましくは、前記一対の弁板の基端側端部と前記サポート台との凹凸係合は、前記一対の弁板の基端側端部にそれぞれ設けられた基端側係合凹部と、前記サポート台に設けられた一対の基端側係合凸部との係合によって形成されており、前記第１弁板及び前記第２弁板には、それらの前記内面の長手方向の少なくとも両端部において前記軸方向の先端側に向けて開口する第３係合凹部及び第４係合凹部が形成され、前記第３クランプ片には、前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合させる第３係合凸部及び第４係合凸部が形成されており、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部を前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合させると共に、前記第１及び第２弁板並びに前記サポート台に形成された前記基端側係合凹部と前記基端側係合凸部とを係合させた状態で、前記第３締結部材で前記第３クランプ片を前記サポート台に固定することにより、前記第３係合凸部が前記第３係合凹部に対して及び前記第４係合凸部が前記第４係合凹部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力を作用させると共に、前記基端側係合凹部が前記基端側係合凸部に対して前記第１弁板の内面方向の押圧力を作用させて、前記第１及び第２弁板と前記サポートとが互いに締結されている。
【0015】
また、好ましくは、前記第３締結部材は、第３締結ボルトであり、前記サポート台の軸方向の先端面には、前記第３締結ボルトを螺合させるねじ穴が開設され、前記第３クランプ片には、前記第３締結ボルトを挿通させる貫通孔が開設されており、前記第３締結ボルトを前記第３クランプ片の貫通孔に挿通させて前記サポート台の前記ねじ穴に螺合させることにより、前記第３クランプ片が前記サポート台に固定されている。
【0016】
また、好ましくは、前記第３係合凹部、前記第４係合凹部及び前記基端側係合凹部は、前記弁板の長手方向に延びてその外側端がその長手方向の外側へ向けて開口しており、前記サポート台は、前記第３クランプ片の前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部が前記第１及び第２弁板の前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合していると共に、前記基端側係合凹部及び前記基端側係合凸部が係合している状態で、前記第３締結ボルトを緩めることにより、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部を前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に沿ってスライド移動させると共に、前記基端側係合凹部を前記基端側係合凸部に沿ってスライド移動させて、前記サポート機構を前記第１及び第２弁板から取り外し可能である。
【0017】
また、好ましくは、前記第３クランプ片は、前記第３締結ボルトを緩めることにより、前記第３係合凸部が前記第３係合凹部に係合し且つ、前記第４係合凸部が前記第４係合凹部に係合している状態から、前記第３締結ボルトの軸周りに回動自在であり、前記第３クランプ片には、さらに、前記第３締結ボルトを中心として径方向に突出する突出片部が形成され、前記突出片部には、その突出方向先端部に前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部と係合可能な第５係合凸部が形成されており、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部は、前記第３締結ボルトを挟んだ径方向両側に配置され、前記第５係合凸部は、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部に対して前記第３締結ボルトの軸周りに直角を成した位置に配置されており、前記第３クランプ片は、前記第３係合凸部及び前記第４係合凸部が前記第３係合凹部及び前記第４係合凹部に係合した状態で、前記第３締結ボルトを緩めて前記第３クランプ片を前記第３締結ボルトの軸周りに回動させることにより、前記第５係合凸部を前記第３係合凹部又は前記第４係合凹部に係合させて前記第１弁板及び前記第２弁板のいずれらか一方を係止すると共に、その一方で前記弁板のいずれか他方を前記第３クランプ片との係合から解除させることができるように構成されている。
【0018】
また、好ましくは、前記第３締結ボルトは、軸方向に延びる軸部と、前記軸部の軸方向の先端部に設けられた頭部と、前記軸部の外周面に形成された雄ねじ部と、を有し、前記第３クランプ片に開設された前記貫通孔の内面には、前記雄ねじ部と螺合可能な雌ねじ部が形成され、前記軸部は、さらに前記雄ねじ部よりも前記頭部側の部分に前記雌ねじ部の内径より外径が小さい細径部を有し、前記細径部は、前記貫通孔に挿通されており、前記第３締結ボルトを緩める際に、前記雄ねじ部における前記頭部側の端部が前記第３クランプ片の前記雌ねじ部に当接するように構成されている。
【0019】
また、好ましくは、前記ゲートバルブは、さらに、前記第１弁板及び前記第
２弁板を収容する弁箱を有し、前記弁箱は、前記第１及び第２弁板を前記軸に
取り囲む側壁と、前記側壁における前記軸方向の先端側端部に着脱可能に取
り付けられた天壁と、を有しており、前記側壁には、前記第１開口部及び前第
２開口部が互いに対向するように開設されている。
２弁板を収容する弁箱を有し、前記弁箱は、前記第１及び第２弁板を前記軸に
取り囲む側壁と、前記側壁における前記軸方向の先端側端部に着脱可能に取
り付けられた天壁と、を有しており、前記側壁には、前記第１開口部及び前第
２開口部が互いに対向するように開設されている。
【発明の効果】
【0020】
以上のように、本発明によれば、一対の弁板で弁シャフトの先端部を直接挟持させた状態で、これら一対の弁板及び弁シャフトを係脱可能に相互に締結することにより、これら一対の弁板を前記弁シャフトに対して着脱可能に取り付けている。そのため、弁板のメンテナンス時における作業性に優れているばかりでなく、弁板周りの重量を抑制することで各種コストを抑制することが可能なゲートバルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明の第１実施形態に係わるゲートバルブの斜視図である。
【図2】ゲートバルブの平面図である。
【図6】第２弁板を交換する場合のゲートバルブの斜視図である。
【図7】第２弁板が弁シャフトから取り外された状態のゲートバルブの斜視図である。
【図8】本発明の第２実施形態に係わるゲートバルブの平面図である。
【図12】サポート機構の分解斜視図である。
【図13】ゲートバルブの開閉弁ユニットの斜視図である。
【図14】第１弁板を取り外した状態の開閉弁ユニットの斜視図である。
【図15】第２弁板を取り外した状態の開閉弁ユニットの斜視図である。
【図16】本発明の第３実施形態に係わるゲートバルの断面図である。
【図17】ゲートバルブの裏面図である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
[第１実施形態]
以下に、本発明に係るゲートバルブについて説明する。ゲートバルブ１０は、図１、図２、図３に示すように、上下方向（軸Ｌ方向）に延びる弁シャフト１７と、弁シャフト１７に連結された第１弁板２１及び第２弁板２２と、弁シャフト１７を介して第１弁板２１及び第２弁板２２を移動操作する操作機構２４とを有して構成される。
以下に、本発明に係るゲートバルブについて説明する。ゲートバルブ１０は、図１、図２、図３に示すように、上下方向（軸Ｌ方向）に延びる弁シャフト１７と、弁シャフト１７に連結された第１弁板２１及び第２弁板２２と、弁シャフト１７を介して第１弁板２１及び第２弁板２２を移動操作する操作機構２４とを有して構成される。
【0023】
操作機構２４は、弁シャフト１７の左右両側に互いに平行に配置された２つのエアシリンダ２５，２５を有していて、これらのエアシリンダ２５により、弁シャフト１７を動作させて第１弁板２１及び第２弁板２２を移動させるものである。
【0024】
第１弁板２１及び第２弁板２２は、前後方向に互いに間隔を有して対向配置されて左右方向（長手方向）に延びており、これら第１及び第２弁板２１，２２は、略矩形のプレート状に形成されている。本実施形態では、第１弁板２１及び第２弁板２２は、正面視において左右方向に細長（長方形状）に形成されている。第１弁板２１及び第２弁板２２のそれぞれの外面側のシール面（外面）２１ｅ，２２ｅの外周部には、環状のシール部材２１ａ，２２ａが設けられている。
【0025】
第１弁板２１と第２弁板２２との間には弁シャフト１７が配置されており、これら第１弁板２１及び第２弁板２２は、弁シャフト１７に当接した状態で締結機構３０によって弁シャフト１７に着脱可能に取り付けられ、且つ第１弁板２１及び第２弁板２２の長手方向の両端部において、サポート機構５０によって係脱可能に相互に締結されている。
【0026】
弁シャフト１７は、操作機構２４から上方（軸方向の先端側）へ延出して上下方向（軸Ｌ方向）に延び、弁シャフト１７の上側の前後方向両側には、図３に示すように、軸Ｌを挟んで互いに背向する四角形状の第１側面部１７ａ及び第２側面部１７ｂが形成されている。本実施形態では、第１側面部１７ａ及び第２側面部１７ｂは、互いに平行に延びており、第１側面部１７ａには第１弁板２１のシール面２１ｅに背向する内面２１ｂが接触し、第２側面部１７ｂには第２弁板２２のシール面２２ｅに背向する内面２２ｂが接触して、第１弁板２１及び第２弁板２２は弁シャフト１７を挟んで平行に並設されている。
【0027】
これら第１弁板２１及び第２弁板２２を弁シャフト１７に締結する締結機構３０は、図２、図３、図４に示すように、第１弁板２１及び第２弁板２２の内面２１ｂ，２２ｂの長手方向の中央部において軸方向の先端側に向けて開口する第１係合凹部３６及び第２係合凹部４５と、弁シャフト１７の軸方向の先端側から、弁シャフト１７と第１弁板２１との間に跨がるよう取り付けられ、第１弁板２１に対して係脱可能に係合されると共に、弁シャフト１７に対して着脱可能に固定された第１クランプ片３１と、弁シャフト１７の軸方向の先端側から、弁シャフト１７と第２弁板２２との間に跨がるよう配されていて、第２弁板２２に対して係脱可能に係合されると共に、弁シャフト１７に対して着脱可能に固定された第２クランプ片４０と、第１クランプ片３１及び第２クランプ片４０のそれぞれを弁シャフト１７の上端に固定する第１締結ボルト６７（第１締結部材）及び第２締結ボルト７１（第２締結部材）と、第１弁板２１及び第２弁板２２の基端側端部に設けられた下側係合凹部２６，２７（係合部、凹部）と、弁シャフト１７の先端部に設けられ、下側係合凹部２６，２７を弁シャフト１７の先端側から係合させる第１突条部１９及び第２突条部２０（被係合部、凸部）と、を有している。第１係合凹部３６の詳細については後述する。
【0028】
弁シャフト１７の上端には、上方を向くシャフト端面１７ｃが形成されている。本実施形態では、シャフト端面１７ｃは左右方向に延びていて、このシャフト端面１７ｃの前後方向の中間部には、左右方向に延びて上方へ突出する突条部１８が設けられている。突条部１８の上部にはシャフト端面１７ｃと平行に延びる平面部１８ａが形成され、突条部１８の前後両側には、下方へ向かうに従って外側へ傾く第１傾斜面１８ｂ及び第２傾斜面１８ｃが形成されている。平面部１８ａには、左右方向に間隔を有して複数の雌ねじ部７０（ねじ穴）が設けられ、これらの雌ねじ部７０に第１クランプ片３１及び第２クランプ片４０に挿通された第１締結ボルト６７及び第２締結ボルト７１が螺合して、この突条部１８上に固定された第１及び第２クランプ片３１，４０によって、第１弁板２１及び第２弁板２２が弁シャフト１７に締結されている。第１締結ボルト６７及び雌ねじ部７０の詳細は後述する。
【0029】
第１クランプ片３１は、図４に示すように、シャフト端面１７ｃ（突条部１８）に第１締結ボルト６７（図１参照）を介して固定される第１クランプ本体部３２と、第１クランプ本体部３２の第１弁板２１側に形成されて下側へ突出して第１弁板２１を係合する第１係合凸部３４と、を有する。第１クランプ本体部３２は、前後方向に延びる板状に形成され、第１クランプ本体部３２の第２弁板２２側（後側）には、第１締結ボルト６７が挿通される貫通孔３２ａが設けられ、この貫通孔３２ａに挿通された第１締結ボルト６７の雄ねじ部６８ａが弁シャフト１７の雌ねじ部７０（第１締結部材）に螺合する。
【0030】
第１クランプ本体部３２の第２弁板２２側には、下方へ突出する本体係止爪（第１係止爪）３３が形成されている。本体係止爪３３の内面には、突条部１８の第２傾斜面１８ｃに沿って延びる第３傾斜面３３ａが形成されている。即ち、第３傾斜面３３ａは、下方に向かうにしたがって後側（外側）へ傾斜する。このため、第３傾斜面３３ａが第２傾斜面１８ｃに接触した状態で、第１締結ボルト６７によって第１クランプ本体部３２を突条部１８に締結すると、第３傾斜面３３ａから第２傾斜面１８ｃに作用する力の分力（押圧力）によって第３傾斜面３３ａが第２傾斜面１８ｃに密着して、第１クランプ片３１が弁シャフト１７に締結される。
【0031】
第１クランプ本体部３２の第１弁板２１側に設けられた第１係合凸部３４は、その内側に下側へ向かうに従って外側へ傾く第４傾斜面３４ａが形成されている。本実施形態では、図２に示すように、第１クランプ片３１は、左右方向に間隔を有して配置された２つの第１クランプ本体部３２と、これら２つの第１クランプ本体部３２の前側同士を連結する連結部３５とを有して形成されている。そして、２つの第１クランプ本体部３２と連結部３５のそれぞれの第１弁板２１側の下部には、第１係合凸部３４（図４参照）が第１クランプ片３１の左右方向一端から他端に亘って延びている。２つの第１クランプ本体部３２の間には、後述する第２クランプ片４０の第２クランプ本体部４１が配置されている。
【0032】
第１クランプ片３１が当接する第１弁板２１の内面には、図２及び図４に示すように、前側へ窪んで第１係合凸部３４を係合するための第１係合凹部３６が形成されている。第１係合凹部３６は、その底部に内面２１ｂよりも前側の位置から下方へ窪む第１係合溝３６ａを有している。本実施形態では、第１係合凹部３６は第１弁板２１の内面２１ｂの上部であって左右方向の中間部に形成されている。第１係合凹部３６は、内側に開口するとともに上方へ延びて第１弁板２１の上端に開口する。第１係合凹部３６の第１係合溝３６ａには、上方へ向かうに従って弁シャフト１７側へ傾斜する第５傾斜面３６ｂが形成されている。
【0033】
このため、第１クランプ片３１を弁シャフト１７の上端部に第１締結ボルト６７で締結して、第１クランプ片３１の第４傾斜面３４ａを第１係合凹部３６の第５傾斜面３６ｂに圧接させると、第４傾斜面３４ａに作用する力の内向きの分力によって、第１弁板２１の上部を弁シャフト１７（第１側面部１７ａ）に対して密着させた状態で締結することができる。
【0034】
また、第１弁板２１の下側端部（基端側端部）は、弁シャフト１７の先端側から弁シャフト１７の先端部に対して凹凸係合されている。具体的には、第１弁板２１の底面２１ｃの内側の左右方向中間部には、図３に示すように、第１係合凹部３６の下方に位置して上方へ窪んで左右方向に延びる下側係合凹部（凹部）２６が形成されている。この下側係合凹部２６の内側には、上方へ向かうにしたがって外側へ傾斜する第６傾斜面２６ａが形成されており、この下側係合凹部２６に弁シャフト１７に設けられた第１突条部１９（被係合部、凸部）が挿入される。第１突条部１９は、弁シャフト１７の第１側面部１７ａの下端から前側へ延びる前側段部１７ｄ上に形成されている。第１突条部１９は、前側段部１７ｄ上を左右方向に延びており、第１突条部１９の内側には、上方へ向かうに従って外側へ傾斜する第７傾斜面１９ａが形成されている。
【0035】
このため、第１締結ボルト６７によって第１クランプ片３１が弁シャフト１７の上端に固定されると、第１クランプ片３１の第４傾斜面３４ａが第１弁板２１の第５傾斜面３６ｂに圧接する力の分力により、第１弁板２１が下方へ押圧される。したがって、第１弁板２１の下部に形成された第６傾斜面２６ａが弁シャフト１７の第７傾斜面１９ａに圧接して、第７傾斜面１９ａからの反力の分力によって、第１弁板２１の下側が弁シャフト１７（第１側面部１７ａ）に密着して締結される。
【0036】
よって、第１クランプ片３１を弁シャフト１７の上端に固定することで、第１弁板２１を弁シャフト１７の第１側面部１７ａに密着させた状態で取り付けることができる。
【0037】
第２クランプ片４０は、図４に示すように、第１クランプ片３１と同様に形成されており、シャフト端面１７ｃに形成された突条部１８に第２締結ボルト７１を介して固定される第２クランプ本体部４１と、第２クランプ本体部４１の第２弁板２２側から下方へ突出して第２弁板２２を係合する第２係合凸部４３と、を有する。第２クランプ本体部４１は、前後方向に延びる板状に形成され、第２クランプ本体部４１の第１弁板２１側の端部には、第２締結ボルト７１が挿通される貫通孔４１ａが設けられている。この貫通孔４１ａに挿通された第２締結ボルト７１が弁シャフト１７の雌ねじ部７０に螺合する。なお、本実施形態では、第１締結ボルト６７及び第２締結ボルト７１は、六角穴付ボルトである。
【0038】
第２クランプ本体部４１の第１弁板２１側（前側）の端部には、下方へ突出する本体係止爪４２が形成されている。本体係止爪４２の内面には、弁シャフト１７の上端に形成された突条部１８の第１傾斜面１８ｂに沿って延びる第８傾斜面４２ａが形成されている。即ち、第８傾斜面４２ａは、下方に向かうにしたがって前側（外側）へ傾斜する。このため、第８傾斜面４２ａが第１傾斜面１８ｂに接触した状態で、第２締結ボルト７１によって第２クランプ本体部４１を突条部１８に固定すると、第８傾斜面４２ａから第１傾斜面１８ｂに作用する力の分力によって第８傾斜面４２ａが第１傾斜面１８ｂに密着して、第２クランプ片４０を弁シャフト１７に締結される。
【0039】
第２係合凸部４３は、その内側に下側へ向かうに従って外側（後側）へ傾く第９傾斜面４３ａが形成されている。本実施形態では、図２に示すように、第２クランプ片４０は、左右方向に間隔を有して配置された２つの第２クランプ本体部４１と、これら２つの第２クランプ本体部４１の第２弁板２２側（後側）同士を連結する連結部４４とを有して形成されている。そして、２つの第２クランプ本体部４１と連結部４４のそれぞれの第２弁板２２側の下部には、第２係合凸部４３（図４参照）が第２クランプ片４０の左右方向一端から他端に亘って延びている。２つの第２クランプ本体部４１の間には、第１クランプ片３１の第１クランプ本体部３２が配置されている。
【0040】
第２クランプ片４０が接触する第２弁板２２の内面２２ｂには、図２及び図４に示すように、後側へ窪んで第２係合凸部４３を係合するための第２係合凹部４５が形成されている。第２係合凹部４５は、その底部に内面２２ｂよりも後側の位置から下方へ窪む第２係合溝４５ａを有している。本実施形態では、第２係合凹部４５は第２弁板２２の内面２２ｂの上部であって左右方向の中間部に形成されている。第２係合凹部４５は、内側に開口するとともに上方へ延びて第２弁板２２の上端に開口する。第２係合凹部４５の第２係合溝４５ａには、上方へ向かうに従って弁シャフト１７側へ傾斜する第１０傾斜面４５ｂが形成されている。
【0041】
このため、第２クランプ片４０を弁シャフト１７の上端（突条部１８）に第２締結ボルト７１で固定して、第２クランプ片４０の第９傾斜面４３ａを第２係合凹部４５の第１０傾斜面４５ｂに圧接させると、第１０傾斜面４５ｂに作用する力のうちの内向きの分力によって、第２弁板２２の上部を弁シャフト１７（第２側面部１７ｂ）に密着させて締結することができる。
【0042】
また、第２弁板２２の下側端部（基端側端部）は、弁シャフト１７の先端側から弁シャフト１７の先端部に対して凹凸係合されている。具体的には、第２弁板２２の底面２２ｃの内側には、図３に示すように、第２係合凹部４５の下方に位置して上方へ窪んだ下側係合凹部２７が形成されている。この下側係合凹部２７の内側には、上方へ向かうにしたがって外側へ傾斜する第１１傾斜面２７ａが形成されている。この下側係合凹部２７には、弁シャフト１７に設けられた第２突条部２０（被係合部、凸部）が挿入される。第２突条部２０は、弁シャフト１７の第２側面部１７ｂの下端から後側へ延びる後側段部１７ｅ上に形成されている。第２突条部２０は、後側段部１７ｅ上を左右方向に延びており、第２突条部２０の内側には、上方へ向かうに従って外側へ傾斜する第１２傾斜面２０ａが形成されている。
【0043】
このため、第２締結ボルト７１によって第２クランプ片４０を弁シャフト１７の上端に固定すると、第２クランプ片４０の第９傾斜面４３ａが第２弁板２２の第１０傾斜面４５ｂに圧接する力の分力により、第２弁板２２が下方へ押圧される。したがって、第２弁板２２の下部に形成された第１１傾斜面２７ａが弁シャフト１７の第１２傾斜面２０ａに圧接して、第１２傾斜面２０ａからの反力の分力によって、第２弁板２２の下側を弁シャフト１７（第２側面部１７ｂ）に密着させて締結することができる。
【0044】
よって、第２クランプ片４０を弁シャフト１７の上端に固定することで、第２弁板２２を弁シャフト１７に密着させた状態で取り付けることができる。
【0045】
ここで、第１及び第２締結ボルト６７，７１及び雌ねじ部７０について説明する。なお、第１及び第２締結ボルト６７，７１は同一であるので、第２締結ボルト７１について説明する。第２締結ボルト７１は、図４に示すように、軸Ｌ方向に沿って延びる軸部６８と、軸部６８の上端に設けられた頭部６９と、軸部６８の下側の外周に形成された雄ねじ部６８ａとを有してなる。軸部６８のうち雄ねじ部６８ａの上方には雄ねじ部６８ａがない細径部（無ねじ部）６８ｂが設けられている。細径部６８ｂは雄ねじ部６８ａの外径よりも小径であり且つ第２クランプ片４０の貫通孔４１ａの内面に設けられた雌ねじ部７０よりも小径である。すなわち、雌ねじ部７０は、突条部１８の平面部１８ａから下方へ延びる穴部１８ｄの内面と、第２クランプ本体部４１に設けられた貫通孔４１ａの内面の上部に設けられている。なお、第１クランプ本体部３２にも第２クランプ本体部４１と同様に雌ねじ部７０が設けられている。
【0046】
この第２締結ボルト７１を軸周りの一方側に回転させて、雄ねじ部６８ａを雌ねじ部７０に螺合させると、第２締結ボルト７１の頭部６９が第２クランプ片４０の上面に圧接した状態で、第２クランプ片４０を弁シャフト１７の上端部に固定することができる。
【0047】
一方、第２クランプ片４０を弁シャフト１７に対して緩めた締結状態にする場合には、第２締結ボルト７１を軸周りの他方側に回転させて、軸部６８を雌ねじ部７０に沿って上方へ移動させる。このとき、細径部６８ｂが第２クランプ片４０の雌ねじ部７０内を移動すると、雄ねじ部６８ａの上端が第２クランプ片４０の雌ねじ部７０の下端に当接して第２クランプ片４０を上方へ押圧する。したがって、第２締結ボルト７１の上方への移動に伴って第２クランプ片４０の第２係合凸部４３が第２係合凹部４５の第２係合溝４５ａから抜脱されて、第２弁板２２に対する第２クランプ片４０の係合が解除される。
【0048】
ここで、雄ねじ部６８ａの軸方向長さは、第２係合凸部４３が第２係合溝４５ａから抜脱されるのに必要な軸方向の移動距離よりも大きいことが必要である。このため、第２弁板２２に対する第２クランプ片４０の係合が解除されたときに、雄ねじ部６８ａは弁シャフト１７側の雌ねじ部７０に螺合した状態になっているので、第１締結ボルト６７が弁シャフト１７から取り外されて落下したり紛失したりするのを防止することができる。
【0049】
また、図５に示すサポート機構５０に設けられる第３締結ボルト７２及び雌ねじ部７０も、前述した締結機構３０に設けられた第１及び第２締結ボルト６７、７１及び雌ねじ部７０と同様であるので、サポート機構５０の第３締結ボルト７２及び雌ねじ部７０については同一符号を付してその説明を省略する。
【0050】
次に、サポート機構５０について説明する。サポート機構５０は、図５及び図６に示すように、第１弁板２１及び第２弁板２２の内面２１ｂ，２２ｂに設けられた第３係合凹部６４及び第４係合凹部６６と、第１弁板２１及び第２弁板２２の左右方向両側の間に配置されたサポート台５１と、サポート台５１の上端に配置されて第３係合凹部６４及び第４係合凹部６６と係合される第３クランプ片６０と、第３クランプ片６０をサポート台５１に着脱可能に固定する第３締結ボルト７２（第３締結部材）と、第１弁板２１及び第２弁板２２の長手方向の両端側の基端側端部に設けられた下側係合凹部（基端側係合部、凹部）２８，２９と、サポート台５１に設けられ、下側係合凹部２８，２９をサポート台５１の先端側から係合させる第３突条部５３及び第４突条部（基端側係合凸部、凸部）５４と、を有している。
【0051】
サポート台５１は、その上端部に上方を向いて平面状に形成されたサポート端面５１ｃを有しており、上下方向に延びた直方体状に形成されている。サポート台５１の前後方向の両側には、第１弁板２１及び第２弁板２２のそれぞれの内面２１ｂ，２２ｂに接触する第１接触面部５１ａ及び第２接触面部５１ｂが形成されている。サポート端面５１ｃの中央部には下方へ延びる穴部５５が設けられ、この穴部５５の内面に雌ねじ部７０（ねじ穴）が形成されている。この雌ねじ部７０には第３クランプ片６０をサポート台５１に固定するための第３締結ボルト７２が螺合する。
【0052】
第１及び第２弁板２１，２２の下側端部（基端側端部）は、サポート台５１の先端側からサポート台５１に対して凹凸係合されている。具体的には、サポート台５１の第１接触面部５１ａの下部には、図５に示すように、前側へ突出して左右方向に延びる前側段部５１ｄが形成され、この前側段部５１ｄの先端部（前端部）には上方へ突出して左右方向に延びる第３突条部５３が形成されている。第３突条部５３の内面には、上方へ向かうにしたがって外側（前側）に傾く第１３傾斜面５３ａが形成されている。この第３突条部５３は、第１弁板２１の底面に形成された下側係合凹部２８に挿入されて、第１弁板２１の下側端部がサポート台５１の先端側からサポート台５１に対して凹凸係合されている。
【0053】
下側係合凹部２８は、第１弁板２１の底面２１ｃの左右方向両側に形成されて左右方向に延びて、下側係合凹部２８の左右方向外側端部が第１弁板２１の左右方向の端部に開口している。即ち、下側係合凹部２８は、下方を向いて開口するとともに、第１弁板２１の左右方向の端部に開口している。下側係合凹部２８の内側には、上方へ向かうにしたがって外側（前側）へ傾斜する第１４傾斜面２８ａが形成されている。
【0054】
一方、サポート台５１の第２接触面部５１ｂの下部には、第２弁板２２側（後側）へ突出して左右方向に延びる後側段部５１ｅが形成されている。後側段部５１ｅの外側端部には、上方へ突出する第４突条部５４が形成され、この第４突条部５４の内面には、上方へ向かうにしたがって外側（後側）に傾く第１５傾斜面５４ａが形成されている。この第４突条部５４は、第２弁板２２の底面２２ｃに形成された下側係合凹部２９に挿入されて、第２弁板２２の下側端部がサポート台５１の先端側からサポート台５１に対して凹凸係合されている。
【0055】
下側係合凹部２９は、第２弁板２２の底面２２ｃの左右方向両側に形成されて左右方向に延びて、下側係合凹部２９の左右方向外側端部が第２弁板２２の左右方向の端部で開口している。すなわち、下側係合凹部２９は、下方を向いて開口するとともに、第２弁板２２の左右方向の端部に開口している。下側係合凹部２９の内側には、上方へ向かうにしたがって外側（後側）へ傾斜する第１６傾斜面２９ａが形成されている。
【0056】
次に、第３クランプ片６０について説明する。第３クランプ片６０は、図５に示すように、サポート台５１のサポート端面５１ｃに第３締結ボルト７２によって固定されて第３締結ボルト７２を中央にして前後方向に延びる第３クランプ本体部６１と、第３クランプ本体部６１の前後方向両端部に形成されて第１弁板２１側及び第２弁板２２側へ突出して第１弁板２１及び第２弁板２２と係合する第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３と、を有する。
【0057】
第３クランプ本体部６１は、前後方向に延びる板状に形成され、第３クランプ本体部６１の前後方向両側がサポート台５１の第１接触面部５１ａ及び第２接触面部５１ｂのそれぞれから外側に延びている。第３クランプ本体部６１の前後方向の中央には、上下方向に延びる貫通孔６１ａが設けられ、この貫通孔６１ａの内面に雌ねじ部（ねじ穴）７０が設けられている。また、サポート台５１のサポート端面５１ｃには下方へ延びる穴部５５が設けられ、この穴部５５の内面に雌ねじ部（ねじ穴）７０が設けられている。すなわち、雌ねじ部７０は、貫通孔６１ａと穴部５５のそれぞれの内面に設けられている。なお、本実施形態では、貫通孔６１ａの内面に設けられた雌ねじ部７０は、貫通孔６１ａの内面の下部から上部に亘って形成されている。
【0058】
第３係合凸部６２は、第３クランプ本体部６１の前側端部から下方へ突出し、その内側には下側へ向かうに従って外側へ傾く第１７傾斜面６２ａが形成されている。この第３係合凸部６２が接触する第１弁板２１の内面２１ｂには、前側へ窪んで第３係合凸部６２を係止するための第３係合凹部６４が形成されている。
【0059】
第３係合凹部６４は、その底部が下方へ窪む第３係合溝６４ａを有し、第３係合溝６４ａには、上方へ向かうに従って弁シャフト１７側へ傾斜する第１８傾斜面６４ｂが形成されている。本実施形態では、第３係合凹部６４は、第１弁板２１の左右方向両側において左右方向に延びて左右方向両端で開口し、且つ上端で開口している（図６参照）。
【0060】
このように構成された第３クランプ片６０は、図５に示すように、サポート台５１の上端部に第３締結ボルト７２で固定されると、第３係合凸部６２の第１７傾斜面６２ａが第３係合凹部６４の第１８傾斜面６４ｂに圧接して、第１８傾斜面６４ｂに作用する力の分力によって、第１弁板２１の上部をサポート台５１に密着して締結する。
【0061】
また、第３クランプ片６０はサポート台５１の上端部に第３締結ボルト７２で固定されると、第３クランプ片６０を介して第１弁板２１が下方へ押圧される。したがって、第１弁板２１の下部に形成された第１４傾斜面２８ａが弁シャフト１７の第１３傾斜面５３ａに圧接して、第１３傾斜面５３ａからの反力の分力によって、第１弁板２１の下側（基端側端部）がサポート台５１に密着して締結される。
【0062】
一方、第３クランプ片６０の第４係合凸部６３は、第３クランプ本体部６１の後側端部から下方へ突出し、その内側には下側へ向かうに従って外側へ傾く第１９傾斜面６３ａが形成されている。この第４係合凸部６３が当接する第２弁板２２の内面には、後側へ窪んで第４係合凸部６３を係止するための第４係合凹部６６が形成されている。
【0063】
第４係合凹部６６は、その底部が下方へ窪む第４係合溝６６ａを有している。第４係合溝６６ａには、上方へ向かうに従って弁シャフト１７側へ傾斜する第２１傾斜面６６ｂが形成されている。本実施形態では、第４係合凹部６６は、第２弁板２１の左右方向両側において左右方向に延びて、左右方向両端で開口し且つ上端で開口している。
【0064】
このため、図５に示すように、第３クランプ片６０がサポート台５１の上端部に第３締結ボルト７２で固定されて、第４係合凸部６３の第１９傾斜面６３ａが第４係合凹部６６の第２１傾斜面６６ｂに圧接されると、第２１傾斜面６６ｂに作用する力の分力によって、第２弁板２２の上部をサポート台５１に対して密着させて締結することができる。
【0065】
また、第３クランプ片６０がサポート台５１の上端部に第３締結ボルト７２で固定されると、第３クランプ片６０を介して第２弁板２２が下方へ押圧される。したがって、第２弁板２２の下部に形成された第１６傾斜面２９ａがサポート台５１の第１５傾斜面５４ａに圧接して、第１５傾斜面５４ａからの反力の分力によって、第２弁板２２の下側がサポート台５１に密着して締結される。よって、第３クランプ片６０をサポート台５１の上端部に第３締結ボルト７２で固定することで、第１弁板２１及び第２弁板２２をサポート台５１を介して相互に締結することができる。
【0066】
また、前述したように、第１弁板２１及び第２弁板２２のそれぞれの上部に形成された第３係合凹部６４及び第４係合凹部６６と、下部に形成された下側係合凹部２８，２９は、左右方向外側へ向かって延びて左右方向外側端で開口している。このため、第３クランプ片６０が第３係合凹部６４及び第４係合凹部６６に係合し、第３突条部５３及び第４突条部５４が下側係合凹部２８，２９に係合している状態において、第３締結ボルト７２の締結を緩めると、第３クランプ片６０の第１弁板２１及び第２弁板２２に対する圧接状態が緩和される。このため、サポート台５１を第１弁板２１及び第２弁板２２に対して左右方向外側へ向かって押圧すると、第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３が第３係合凹部６４及び第４係合凹部６６に沿ってスライド移動すると共に、第３突条部５３及び第４突条部５４が下側係合凹部２８，２９に沿ってスライド移動して、サポート機構５０を第１及び第２弁板２１，２２から取り外すことができる。
【0067】
次に、弁シャフト１７に取り付けられた第１弁板２１及び第２弁板２２のいずれか一方を取り外す場合について説明する。本実施形態では、第２弁板２２を取り外す場合について説明する。図６に示すように、先ず、第１弁板２１及び第２弁板２２に取り付けられた２つのサポート台５１のうちのいずれか一方のサポート台５１において、第３クランプ片６０を固定する第３締結ボルト７２を回転させて第１弁板２１及び第２弁板２２に対する第３クランプ片６０の圧接状態を緩和する。従って、第３クランプ片６０の第３係合凸部６２、第４係合凸部６３の第３係合凹部６４及び第４係合凹部６６に対する圧接状態が緩和されて、第１弁板２１及び第２弁板２２に対するサポート台５１のスライド移動が可能な状態になる。また、他方のサポート台５１も一方のサポート台５１と同様にスライド移動が可能な状態にする。
【0068】
そして、一方のサポート台５１を、第３クランプ片６０と一緒に第１弁板２１及び第２弁板２２に対して左右方向外側へスライド移動させて取り外す。また、同様にして他方のサポート台５１を第１弁板２１及び第２弁板２２に対して左右方向外側へスライド移動させて取り外す。
【0069】
そして、第２クランプ片４０に挿通された第２締結ボルト７１を回転させて、弁シャフト１７に設けられた雌ねじ部７０に対する第２締結ボルト７１の螺合を解いて、第２クランプ片４０を弁シャフト１７から取り外す。そして、第２弁板２２を上方へ引き上げると、第２弁板２２の底面に設けられた下側係合凹部２７（図３参照）から弁シャフト１７の第２突条部２０（図３参照）が抜脱されるとともに、下側係合凹部２９（図５参照）から弁シャフト１７の第４突条部５４（図５参照）が抜脱されて、第２弁板２２が弁シャフト１７から取り外される。従って、図７に示すように、ゲートバルブ１０は、第２弁板２２が取り外されて第１弁板２１のみが取り付けられた状態になる。
【0070】
次に、第２弁板２２を弁シャフト１７に取り付ける場合について説明する。先ず、図３及び図５に示すように、第２弁板２２の下側係合凹部２７に弁シャフト１７の第２突条部２０を挿入するとともに、下側係合凹部２９に第４突条部５４を挿入する。そして、第２弁板２２を弁シャフト１７側へ傾動させて、第２弁板２２の内面２２ｂを弁シャフト１７の第２側面部１７ｂに接触させる。そして、第２クランプ片４０の第２係合凸部４３を第２係合凹部４５内に挿入した状態で、第２締結ボルト７１によって第２クランプ片４０を弁シャフト１７の上端部に固定する。その結果、第２弁板２２は、弁シャフト１７に対して密着した状態で締結される。
【0071】
そして、２つのサポート台５１，５１のそれぞれの上端に取り付けられている第３クランプ片６０に挿通された第３締結ボルト７２を緩めた状態で、図５及び図６に示すように、サポート台５１を第１弁板２１及び第２弁板２２の左右方向の外側端部から弁シャフト１７側へ移動させて、第１弁板２１及び第２弁板２２の下部に形成された下側係合凹部２８，２９内にサポート台５１の第３突条部５３及び第４突条部５４を挿入するとともに、第３クランプ片６０の第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３を第１弁板２１及び第２弁板２２の第３係合凹部６４、第４係合凹部６６内に挿入する。
【0072】
そして、一方のサポート台５１を弁シャフト１７側へスライド移動させて、第１弁板２１及び第２弁板２２に対する所定位置まで移動させる。そして、第３クランプ片６０に対して第３締結ボルト７２を硬く締結して、サポート台５１を介して第１弁板２１及び第２弁板２２の左右方向の一方側を相互に締結する。そして、他方のサポート台５１も一方のサポート台５１と同様に、サポート台５１を介して第１弁板２１及び第２弁板２２の左右方向の他方側を相互に締結する。よって、第２弁板２２が弁シャフト１７に対して取り付けられる。
【0073】
このように、本実施形態に係わるゲートバルブ１０は、第１弁板２１及び第２弁板２２間に弁シャフト１７の先端部を直接に挟持させた状態で、これら一対の弁板２１，２２及び弁シャフト１７を係脱可能に相互に締結することにより、これら一対の弁板２１，２２を弁シャフト１７に対して着脱可能に取り付けている。そのため、弁板２１，２２のメンテナンス時における作業性に優れているばかりでなく、弁板２１，２２周りの重量を抑制することで各種コストを抑制することが可能なゲートバルブ１０を提供することができる。
【0074】
また、本実施形態に係わるゲートバルブ１０は、第１クランプ片３１及び第２クランプ片４０に挿通された第１及び第２締結ボルト６７，７１の締結を締めたり緩和したりすることで、第１弁板２１及び第２弁板２２を弁シャフト１７に着脱可能である。また、本実施形態に係わるゲートバルブ１０は、第３クランプ片６０や第３締結ボルト７２をサポート台５１から取り外すことなく、第３締結ボルト７２の締結を締めたり緩和したりするだけで、サポート台５１を第１弁板２１及び第２弁板２２から取り外したり、第１弁板２１及び第２弁板２２を相互に連結したりすることができる。このため、本実施形態に係わるゲートバルブ１０は、第１弁板２１及び第２弁板２２を弁シャフト１７に固定したり取り外したりする作業を簡単に行うことができ、弁板２１，２２のメンテナンス時における作業性を向上させることができる。
【0075】
さらに、第１クランプ片３１、第２クランプ片４０、第３クランプ片６０を締結する第１、第２、第３締結ボルト６７，７１，７２は、これらのクランプ片３１，４０，６０に対して抜け止め可能に構成されるとともに、これらの締結ボルト６７，７１，７２を、締結が緩和する方向に回転させると、これらのクランプ片３１，４０，６０を締結ボルト６７，７１，７２とともに上方へ移動させるように構成されている。このため、これらのクランプ片３１，４０，６０の係止が解除されたときに、締結ボルト６７，７１，７２が落下したり紛失したりするのを防止することができるので、第１弁板２１及び第２弁板２２の交換作業をより簡単に行うことができる。
【0076】
[第２実施形態]
次に、本発明に係わるゲートバルブ１０の第２実施形態について説明する。第２実施形態では、前述した第１実施形態との相違点を主に説明し、第１実施形態と同一態様部分については同一符号を附してその説明を省略する。
次に、本発明に係わるゲートバルブ１０の第２実施形態について説明する。第２実施形態では、前述した第１実施形態との相違点を主に説明し、第１実施形態と同一態様部分については同一符号を附してその説明を省略する。
【0077】
弁シャフト１７のシャフト端面１７ｃに設けられた突条部１８は、図８、図９、図１０に示すように、左右方向に間隔を有して２つ設けられており、一方が第１クランプ片３１を固定し、他方が第２クランプ片４０を固定する。
【0078】
第１クランプ片３１及び第２クランプ片４０は、弁シャフト１７の上端部に回動可能に取り付けられ、また、第３クランプ片６０は、サポート台５１の上端部に回動可能に取り付けられている。具体的には、第１クランプ片３１は、弁シャフト１７に固定された第１締結ボルト６７の締結を緩めると、第１締結ボルト６７の軸周りに回動可能に設けられ、第２クランプ片４０は、弁シャフト１７に固定された第２締結ボルト７１の締結を緩めると、第２締結ボルト７１の軸周りに回動可能に設けられ、第３クランプ片６０は、サポート台５１に固定された第３締結ボルト７２の締結を緩めると、第３締結ボルト７２の軸周りに回転可能に設けられている。
【0079】
より具体的には、第１クランプ片３１が対向する第１弁板２１の内面２１ｂに形成された第１係合凹部３６は、図８及び図９に示すように、第１クランプ片３１を第１締結ボルト６７の軸周りに回転させた場合に、第１クランプ片３１の第１弁板２１側の第１係合凸部３４（先端部）が第１係合凹部３６に接触しないように窪む第１延長凹部３６ｃを有している。本実施形態では、第１延長凹部３６ｃは、第１係合凹部３６の底面から上端に亘って形成されるとともに、平面視において、第１締結ボルト６７の軸周りに第１クランプ片３１を回動させたときの先端部の回転軌跡よりも径方向外側を通る円弧状に形成されている。
【0080】
また、第１クランプ片３１を回動させたときに、左右方向に隣接して配置された第２クランプ片４０に対して第１クランプ片３１の後側端部が接触しないように、第１クランプと第２クランプとは、左右方向に所定の隙間Ｙを有して配設されている。このため、第１クランプ片３１は、第２クランプ片４０に接触することなく第１締結ボルト６７の軸周りに回転可能である。そして、第１クランプ片３１は、第１締結ボルト６７を緩めた状態において、第１係合凸部３４を第１係合凹部３６に係合させた係合位置Ｐ１（図８参照）と、第１係合凹部３６から第１係合凸部３４を抜脱させた着脱位置Ｐ２（図１４参照）との間で、第１締結ボルト６７の軸周りに回動自在である。第１クランプ片３１は、着脱位置Ｐ２に回動されると、第１弁板２１と第２弁板２２の間の隙間４７（図８参照）内に移動する。
【0081】
また、第２クランプ片４０が対向する第２弁板２２の内面２２ｂに形成された第２係合凹部４５は、図８及び図１０に示すように、第２クランプ片４０を第２締結ボルト７１の軸周りに回動させた場合に、第２クランプ片４０の第２弁板２２側の第２係合凸部４３（先端部）が第２係合凹部４５に接触しないように窪む第２延長凹部４５ｃを有している。本実施形態では、第２延長凹部４５ｃは、第２係合凹部４５の上下方向の中間位置から上端に亘って形成されるとともに、平面視において、第１締結ボルト６７の軸周りに第２クランプ片４０を回動させたときの先端部の回転軌跡よりも径方向外側を通る円弧状に形成されている。このため、第２クランプ片４０は、第１クランプ片３１に接触することなく回転可能である。また、第２クランプ片４０は、第１クランプ片３１と同様に、第２締結ボルト７１を緩めた状態において、第２係合凸部４３を第２係合凹部４５に係合させた係合位置Ｐ１（図８参照）と、第２係合凹部４５から第２係合凸部４３を抜脱させた着脱位置Ｐ２（図１５参照）との間で、第２締結ボルト７１の軸周りに回動自在である。第２クランプ片４０は、着脱位置Ｐ２に回動されると、第１弁板２１と第２弁板２２の間の隙間４７（図８参照）内に移動する。
【0082】
さらに、第３クランプ片６０が対向する第１弁板２１及び第２弁板２２のそれぞれの内面２１ｂ，２２ｂに形成された第３係合凹部６４、第４係合凹部６６は、図８及び図１１に示すように、前後方向外側へ窪んだ第３延長凹部６４ｄ及び第４延長凹部６６ｄを有している。即ち、第３係合凹部６４、第４係合凹部６６は、第３クランプ片６０の第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３が第３係合溝６４ａ及び第４係合溝６６ａから上方へ抜脱された状態で、第１締結ボルト６７の軸周りに第３クランプ片６０を回転させた場合に、第３クランプ片６０の第３係合凸部６２（先端部）が第３係合凹部６４に接触しないように窪む第３延長凹部６４ｄと、第３クランプ片６０の第４係合凸部６３（先端部）が第４係合凹部６６に接触しないように窪む第４延長凹部６６ｄと、を有している。
【0083】
第３クランプ片６０は、図８、図１２、図１４に示すように、第３クランプ本体部６１の一方側の側面６１ｃから突出する突出片部６１ｂを有し、突出片部６１ｂの突出方向先端部には、第３係合凹部６４及び第４係合凹部６６と係合可能な第５係合凸部６５が形成されている。即ち、第３クランプ片６０は、第３係合凸部６２、第４係合凸部６３の他に第５係合凸部６５を有している。第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３は、平面視において第３締結ボルト７２の回転中心を挟んだ径方向両側に配置され、第５係合凸部６５は、第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３に対して第１締結ボルト６７の軸周りに９０°ずれた位置に配置されており、さらに、第３係合凸部６２、第４係合凸部６３及び第５係合凸部６５は、第３クランプ片６０の回動中心に対して同一の回転半径ｒを有した位置に配置されている。
【0084】
この第３クランプ片６０は、図８に示すように、第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３が第３係合凹部６４及び第４係合凹部６６に係合された状態で、例えば第１弁板２１の係合状態を解除するように第３クランプ片６０を回動させると、第２弁板２２の係合状態も解除してしまう。そこで、第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３に対して軸周りに９０°ずれた位置に第５係合凸部６５を設けることで、第１弁板２１の係合状態を解除した場合に、第５係合凸部６５を第４係合凹部６６に係合させることで、第３クランプ片６０を第２弁板２２に係合させることができる（図１４参照）。
【0085】
ところで、弁シャフト１７の第１側面部１７ａ及び第２側面部１７ｂのそれぞれには、図９に示すように、前後方向外側へ突出する位置決めピン７４ａ、７４ｂが設けられている。本実施形態では、位置決めピン７４ａは、第１弁板２１に設けられた位置決め溝２１ｄに嵌合し、位置決めピン７４ｂは、第２弁板２２に設けられた位置決め溝２２ｄに嵌合する。位置決めピン７４ａは、第１側面部１７ａの下部に設けられ、位置決めピン７４ｂは、第２側面部１７ｂの下部に設けられている。位置決め溝２１ｄ，２２ｄは、第１弁板２１及び第２弁板２２のそれぞれの底面に開口するとともに弁シャフト１７側が開口して上方へ直線状に延びる。このため、位置決め溝２１ｄに位置決めピン７４ａを挿入することで、弁シャフト１７に対して第１弁板２１の左右方向の位置決めをすることができる。また、位置決め溝２２ｄに位置決めピン７４ｂを挿入することで、弁シャフト１７に対して第２弁板２２の左右方向の位置決めをすることができる。
【0086】
次に、弁シャフト１７に取り付けられた第１弁板２１及び第２弁板２２のいずれか一方を取り外す場合について説明する。本実施形態では、先ず、第１弁板２１を取り外す場合について説明する。図１１に示すように、先ず、２つのサポート台５１のそれぞれに取り付けられた第３クランプ片６０の第３締結ボルト７２を緩める方向に回転させる。そして、第３締結ボルト７２の回転に伴って、第３クランプ片６０が上方へ移動して第３係合凸部６２が第３係合凹部６４の第３係合溝６４ａから抜脱され、第４係合凸部６３が第４係合凹部６６の第４係合溝６６ａから抜脱される。そして、図１４に示すように、平面視において、左右に配置された２つの第３クランプ片６０，６０のそれぞれを軸周りに回動させて、第３係合凸部６２を第３係合凹部６４から抜脱するとともに、第４係合凸部６３を第４係合凹部６６から抜脱し、さらに、第５係合凸部６５を第４係合凹部６６に係止させる。
【0087】
そして、図９に示す弁シャフト１７に取り付けられた第１クランプ片３１の第１締結ボルト６７を緩める方向に回転させる。第１締結ボルト６７の回転に伴って、第１クランプ片３１が上方へ移動して第１係合凸部３４が第１係合凹部３６の第１係合溝３６ａから抜脱される。そして、図１４に示すように、平面視において第１クランプ片３１を時計方向に回動させて、第１係合凸部３４を第１係合凹部３６から抜脱する。その結果、第１弁板２１を弁シャフト１７に対して上方へ持ち上げると、第１弁板２１を弁シャフト１７及びサポート台５１から取り外すことができる。
【0088】
次に、第１弁板２１を弁シャフト１７に取り付ける場合について説明する。先ず、図１４に示すように、第１弁板２１の内面２１ｂを弁シャフト１７側に向けた姿勢で第２弁板２２に対して対向配置する。そして、第１弁板２１の下側係合凹部２６に弁シャフト１７の第１突条部１９を挿入し（図９参照）、これと同時に２つのサポート台５１のそれぞれの下部に設けられた第３突条部５３を第１弁板２１の下側係合凹部２８内に挿入する（図１１参照）。そして、第１弁板２１の内面２１ｂを弁シャフト１７の第１側面部１７ａに接触させるとともに、位置決めピン７４ａを第１弁板２１の内面２１ｂに設けられた位置決め溝２１ｄ内に挿入する（図９参照）。
【0089】
そして、図９及び図１４に示すように、第１クランプ片３１を、第１締結ボルト６７の軸周りに回転させて、第１係合凸部３４を第１係合凹部３６内に挿入する。そして、第１締結ボルト６７を弁シャフト１７に対して硬く締結すると、第１係合凸部３４が第１係合溝３６ａ内に係合されて、第１クランプ片３１を介して第１弁板２１が弁シャフト１７の第１側面部１７ａに密着した状態で締結される。
【0090】
そして、図１１及び図１４に示すように、２つのサポート台５１のうちの一方（例えば、左側）の上端に取り付けられている第３クランプ片６０を第３締結ボルト７２の軸周りに回動させると、第５係合凸部６５による第２弁板２２に対する係合状態が解除された後に、第４係合凸部６３が第４係合凹部６６内に挿入されるとともに、第３係合凸部６２が第３係合凹部６４内に挿入される。そして、第３締結ボルト７２を弁シャフト１７に対して硬く締結して固定すると、第４係合凸部６３が第４係合溝６６ａと係合するとともに、第３係合凸部６２が第３係合溝６４ａと係合して、第１弁板２１と第２弁板２２の左右方向一方側において第１弁板２１と第２弁板２２との間にサポート台５１が挟持された状態で、第３クランプ片６０を介して第１弁板２１と第２弁板２２とが相互に締結された状態になる。
【0091】
そして、２つのサポート台５１のうちの他方を前述した一方のサポート台５１と同様に操作することで、第１弁板２１と第２弁板２２の左右方向他方側において第１弁板２１と第２弁板２２との間にサポート台５１が挟持された状態で、第３クランプ片６０を介して第１弁板２１と第２弁板２２とが相互に締結された状態となる。その結果、図１３に示すように、第１弁板２１及び第２弁板２２が互いに締結された状態で、第１弁板２１を弁シャフト１７に対して取り付けることができる。
【0092】
次に、第２弁板２２を取り外す場合について説明する。図１１に示すように、先ず、２つのサポート台５１のそれぞれに取り付けられた第３クランプ片６０の第３締結ボルト７２を緩める方向に回転させる。第３締結ボルト７２の回転に伴って、第３クランプ片６０が上方へ移動して第３係合凸部６２及び第４係合凸部６３が第３係合溝６４ａ及び第４係合溝６６ａから抜脱される。そして、図１５に示すように、平面視において左右に配置された２つの第３クランプ片６０のそれぞれを軸周りに回動させて、第３係合凸部６２を第３係合凹部６４から抜脱するとともに、第４係合凸部６３を第４係合凹部６６から抜脱し、さらに、第５係合凸部６５を第３係合凹部６４に係止させる。
【0093】
そして、図１０に示す弁シャフト１７に取り付けられた第２クランプ片４０の第２締結ボルト７１を緩める方向に回転させる。第２締結ボルト７１の回転に伴って、第２クランプ片４０が上方へ移動して第２係合凸部４３が第２係合凹部４５の第２係合溝４５ａから抜脱される。そして、図１５に示すように、平面視において第２クランプ片４０を時計方向に回動させて、第２係合凸部４３を第２係合凹部４５から抜脱する。その結果、第２弁板２２を弁シャフト１７に対して上方へ持ち上げると、第２弁板２２を弁シャフト１７及びサポート台５１から取り外すことができる。
【0094】
次に、第２弁板２２を弁シャフト１７に取り付ける場合について説明する。先ず、図１５に示すように、第２弁板２２の内面２２ｂを弁シャフト１７側に向けた姿勢で第１弁板２１に対して対向配置する。そして、第２弁板２２の下側係合凹部２７に弁シャフト１７の第２突条部２０を挿入するとともに（図１０参照）、２つのサポート台５１のそれぞれの下部に設けられた第４突条部５４を第２弁板２２の下側係合凹部２９内に挿入する（図１１参照）。そして、第２弁板２２の内面２２ｂを弁シャフト１７の第２側面部１７ｂに接触させるとともに、位置決めピン７４ｂを第２弁板２２の内面２２ｂに設けられた位置決め溝２２ｄ内に挿入する（図９参照）。
【0095】
そして、図１０及び図１５に示すように、第２クランプ片４０を第２締結ボルト７１の軸周りに回転させて、第２係合凸部４３を第２係合凹部４５内に挿入する。そして、第２締結ボルト７１を締結方向に回転させると、第２クランプ片４０が下方に移動して、第２係合凸部４３が第２係合溝４５ａに挿入される。そして、第１締結ボルト６７を締結方向にさらに回転させて、第１締結ボルト６７を弁シャフト１７に対して硬く締結して固定すると、第２クランプ片４０を介して第２弁板２２が弁シャフト１７の第２側面部１７ｂに密着した状態で締結される。
【0096】
そして、図１１及び図１５に示すように、２つのサポート台５１のうちの長手方向の一方のサポート台５１の上端に取り付けられている第３クランプ片６０を回転させると、第５係合凸部６５による第１弁板２１に対する係合状態が解除された後に、第３係合凸部６２が第３係合凹部６４内に挿入され、また第４係合凸部６３が第４係合凹部６６内に挿入される。そして、第３締結ボルト７２を締結方向に回転させると、第３クランプ片６０が下方に移動して、第３係合凸部６２が第３係合溝６４ａに係合されるとともに、第４係合凸部６３が第４係合溝６６ａに係合される。そして、第３締結ボルト７２を第３クランプ片６０に対して硬く締結すると、第１弁板２１及び第２弁板２２の長手方向の一方側がサポート台５１を挟持した状態で互いに締結された状態になる。
【0097】
そして、２つのサポート台５１のうちの長手方向他方側の他のサポート台５１を前述した一方のサポート台５１と同様に操作することで、第１弁板２１及び第２弁板２２の長手方向の他方側がサポート台５１を挟持した状態で互いに連結された状態になる。その結果、図１３に示すように、第２弁板２２を弁シャフト１７に対して取り付けることができる。
【0098】
このように、第２実施形態のゲートバルブ１０によれば、第１から第３締結ボルト６７，７１，７２の締結を緩めて第１クランプ片３１，第２クランプ片４０及び第３クランプ片６０を回動させるだけで、第１弁板２１又は第２弁板２２を弁シャフト１７に対して着脱可能に取り付けることができる。
【0099】
[第３実施形態]
次に、本発明に係わるゲートバルブ１０の第３実施形態について説明する。第３実施形態では、前述した第１及び第２実施形態との相違点を主に説明し、第１及び第２実施形態と同一態様部分については同一符号を附してその説明を省略する。
次に、本発明に係わるゲートバルブ１０の第３実施形態について説明する。第３実施形態では、前述した第１及び第２実施形態との相違点を主に説明し、第１及び第２実施形態と同一態様部分については同一符号を附してその説明を省略する。
【0100】
前述した実施形態のゲートバルブ１０は、弁シャフト１７と第１弁板２１及び第２弁板２２と操作機構２４とを有して構成されたが、本実施形態のゲートバルブは、さらに第１弁板２１及び第２弁板２２を収容する弁箱１１を有してなる。なお、本実施形態では、図１６に示すように、互いに隣接する第１チャンバ１と第２チャンバ４との間に、ゲートバルブ１０が配置される場合について説明する。
【0101】
先ず、第１チャンバ１及び第２チャンバ４について概説する。第１チャンバ１は、半導体基板等のワークを第２チャンバ４に対して搬入出するための搬送装置を収容するトランスファチャンバであり、第２チャンバ４は、ワークを真空雰囲気下でプロセス処理するプロセスチャンバである。
【0102】
これら第１チャンバ１及び第２チャンバ４のそれぞれには、ワークの搬入及び排出の際にワークを通過させるための第１チャンバ開口２ａ及び第２チャンバ開口５ａが設けられている。第１チャンバ開口２ａはゲートバルブ１０の弁箱１１に設けられた第１ゲート開口（第１開口部）１２ａに連通し、第２チャンバ開口５ａはゲートバルブ１０に設けられた第２ゲート開口（第１開口部）１３ａに連通する。これらチャンバ開口２ａ，５ａは、ゲートバルブ１０に設けられた第１弁板２１及び第２弁板２２によって相互に連通されたり、個別に開閉されたりして、第１チャンバ１又は第２チャンバ４が気密にシールされる。
【0103】
第１チャンバ１及び第２チャンバ４は、内部が中空な箱状に形成され、弁箱１１の前後方向の両側に配設された前壁（側壁）１２及び後壁（側壁）１３に沿って延びる第１チャンバ壁２及び第２チャンバ壁５をそれぞれ有している。第１チャンバ壁２には、第１チャンバ１の搬送空間１ａ内へと貫通する第１チャンバ開口２ａが開設され、第２チャンバ壁５には、第２チャンバ４の処理空間４ａ内へと貫通する第２チャンバ開口５ａが開設されている。第１チャンバ開口２ａ及び第２チャンバ開口５ａは、相似形を有した略矩形状に形成されていて、前後方向に対して直交する左右方向（長手方向）にそれぞれ延びている。なお、第１チャンバ開口２ａ及び第２チャンバ開口５ａは同一形状でもよい。
【0104】
ゲートバルブ１０は、図１６及び図１７に示すように、第１ゲート開口１２ａ及び第２ゲート開口１３ａが開設されて内部に弁空間１１ａが形成された中空の弁箱１１と、弁シャフト１７が動作することにより、一対の第１ゲート開口１２ａ及び第２ゲート開口１３ａ間の連通を開閉させる（すなわち、これらゲート開口１２ａ，１３ａ間を、弁空間１１ａを通じて連通させたり気密に遮断したりする）第１弁板２１及び第２弁板２２と、これら弁板２１，２２に連結された弁シャフト１７と、弁シャフト１７を介して第１弁板２１及び第２弁板２２を開閉操作する操作機構２４と、を有して構成される。
【0105】
本実施形態では、弁箱１１の底部に操作機構２４が配設され、弁箱１１の底部から弁空間１１ａ内に弁シャフト１７が突出してしている。弁箱の前後に配置された前壁１２及び後壁１３には、第１ゲート開口１２ａ及び第２ゲート開口１３ａが開設されており、これらのケート開口１２ａ，１３ａは対向している。
【0106】
第１弁板２１は、第１弁板２１のシール部材２１ａが後壁１３の第２ゲート開口１３ａの廻りの弁シール面１３ｂに押し付けられて第２ゲート開口１３ａを閉塞し、第２弁板２２は、第２弁板２２のシール部材２２ａが前壁１２の第１ゲート開口１２ａの廻りの弁シール面１２ｂに押し付けられて第１ゲート開口１２ａを閉塞する。
【0107】
操作機構２４を構成する２つのエアシリンダ２５は、弁シャフト１７を介して第１弁板２１及び第２弁板２２を開閉操作するものである。具体的には、これらのエアシリンダ２５により、第２弁板２２のシール部材２２ａが第１ゲート開口１２ａの廻りの弁シール面１２ｂに押し付けられて第１ゲート開口１２ａを閉塞する第１閉塞位置と、第１弁板２１のシール部材２１ａが第２ゲート開口１３ａの廻りの弁シール面１３ｂに押し付けられて第２ゲート開口１３ａを閉塞する第２閉塞位置と、第１弁板２１及び第２弁板２２を、第１及び第２ゲート開口１２ａ，１３ａとを相互に連通させる退避位置と、に切換移動可能に構成されている。
【0108】
なお、退避位置は、第１弁板２１及び第２弁板２２が第１及び第２ゲート開口１２ａ，１３ａの中間に位置して第１及び第２ゲート開口１２ａ，１３ａが連通する中間位置と、中間位置よりも下方の下方位置とを含んでもよいし、また第１弁板２１が第１閉塞位置に移動し、又は第２弁板２２が第２閉塞位置に移動した状態で、第１弁板２１が第１閉塞位置から下方位置に移動し、又は第２弁板２２が第２閉塞位置から下方位置に直接的に移動可能である場合の下方位置であってもよい。
【0109】
弁箱１１は、前後方向に間隔を有して対向配置された前壁１２及び後壁１３と、これら前壁１２及び後壁１３の左右方向の両端部間を接続する一対の側壁１４と、これらの壁の上部に開口する上部開口１５ａを覆う天壁１５と、を有してなる。前壁１２及び後壁１３に設けられた第１ゲート開口１２ａ及び第２ゲート開口１３ａは左右方向に延びた長方形状を有しており、第１ゲート開口１２ａと第１チャンバ１の第１チャンバ開口２ａとが相似形状を有して連通している。なお、第１ゲート開口１２ａ及び第２ゲート開口１３ａは、同一形状でもよい。
【0110】
天壁１５は、前壁１２、後壁１３及び一対の側壁１４，１４の上端部に着脱可能に取り付けられている。本実施形態では、天壁１５は、これらの壁にボルト１６等の締結部材によって着脱可能に取り付けられる。
【0111】
本実施形態のゲートバルブ１０において、第１弁板２１又は第２弁板２２を弁シャフト１７から取り外す場合には、図１６に示すように、弁箱１１から天壁１５を取り外して開口する上部開口１５ａを通じて第１弁板２１又は第２弁板２２を露出させる。そして、第１弁板２１を弁シャフト１７から取り外す場合には、第２弁板２２を第２閉塞位置に移動させた後に、前述した第１及び第２実施形態の場合と同様の取り外し作業を行なって、第１弁板２１を弁シャフト１７から取り外す。また、第２弁板２２を弁シャフト１７から取り外す場合には、第１弁板２１を第１閉塞位置に移動させた後に、前述した第１及び第２実施形態の場合と同様の取り外し作業を行なって、第２弁板２２を弁シャフト１７から取り外す。
【0112】
一方、取り外された第１弁板２１を弁シャフト１７に取り付ける場合には、第２弁板２２を第２閉塞位置に移動させた状態で、天壁１５を取り外して開口する弁箱１１の上部開口１５ａを通じて取り付ける第１弁板２１を弁箱１１の弁空間１１ａ内に挿入する。そして、前述した第１及び第２実施形態の場合と同様の取り付け作業を行なって、第１弁板２１を弁シャフト１７に取り付ける。また、取り外された第２弁板２２を弁シャフト１７に取り付ける場合には、第１弁板２１を第１閉塞位置に移動させた状態で、天壁１５が取り外されて開口する弁箱１１の上部開口１５ａを通じて取り付ける第２弁板２２を弁箱１１の弁空間１１ａ内に挿入する。そして、前述した第１及び第２実施形態の場合と同様の取り付け作業を行なって、第２弁板２２を弁シャフト１７に取り付ける。
【0113】
このように、本実施形態のゲートバルブ１０は、弁箱１１から天壁１５を取り外すことで、開口する上部開口１５ａを通じて第１弁板２１又は第２弁板２２の取り外し及び取り付け作業を容易に行うことができる。また、第１から第３クランプ片３１，４０，６０に挿入された第１から第３締結ボルト６７，７１，７２は、抜け止め可能に構成されているので、第１弁板２１又は第２弁板２２の交換作業時にこれら締結ボルト６７，７１，７２が弁箱１１内に落下するのを防止することができる。よって、弁板２１，２２のメンテナンス時における作業性を向上させることができる。
【0114】
なお、前述した実施形態では、締結機構３０及びサポート機構５０の第１クランプ片３１、第２クランプ片４０、第３クランプ片６０のそれぞれは、係合凸部３４，４３，６２，６３が凸状に形成され、また、これらと係合する係合凹部３６，４５，６４，６６が凹状である場合を示したが、これに限るものではない。第１クランプ片３１、第２クランプ片４０、第３クランプ片６０のそれぞれが凹状の係合凹部（図示せず）を有し、これらと係合する凸状の係合凸部（図示せず）を第１及び第２弁板２１，２２に設けてもよい。また、前述した実施形態では、対向配置された第１弁板２１及び第２弁板２２の長手方向の両端部において、これら弁板２１，２２間に挟持された一組のサポート機構５０が配設された場合を記載したが、これに限るものではなく、一組のサポート機構５０の長手方向の内側のこれら弁板２１，２２間に１組以上の他のサポート機構５０をさらに配設してもよい。
【符号の説明】
【0115】
１０ ゲートバルブ
１１ 弁箱
１１ａ 弁空間
１２ 前壁（側壁）
１２ａ 第１ゲート開口（第１開口部）
１３ 後壁（側壁）
１３ａ 第２ゲート開口（第２開口部）
１４ 側壁
１５ 天壁
１７ 弁シャフト
１７ａ 第１側面部
１７ｂ 第２側面部
１７ｃ シャフト端面
１９ 第１突条部（被係合部、凸部）
２０ 第２突条部（被係合部、凸部）
２１ 第１弁板
２１ｂ，２２ｂ 内面
２１ｅ，２２ｅ シール面（外面）
２２ 第２弁板
２４ 操作機構
２６，２７ 下側係合凹部（係合部、凹部）
２８，２９ 下側係合凹部（基端側係合、凹部）
３０ 締結機構
３１ 第１クランプ片
３２ 第１クランプ本体部
３３ 本体係止爪（第１係止爪）
３４ 第１係合凸部
３６ 第１係合凹部
３６ｃ 第１延長凹部
４０ 第２クランプ片
４１ 第２クランプ本体部
４２ 本体係止爪（第２係止爪）
４３ 第２係合凸部
４５ 第２係合凹部
４５ｃ 第２延長凹部
４７ 隙間
５０ サポート機構
５１ サポート台
５１ｃ サポート端面
５３ 第３突条部（基端側係合凸部、凸部）
５４ 第４突条部（基端側係合凸部、凸部）
６０ 第３クランプ片
６１ 第３クランプ本体部
６１ｂ 突出部
６２ 第３係合凸部
６３ 第４係合凸部
６４ 第３係合凹部
６４ｄ 第３延長凹部
６５ 第５係合凸部
６６ 第４係合凹部
６７ 第１締結ボルト（第１締結部材）
６８ａ 雄ねじ部
６８ｂ 細径部（無ねじ部）
７０ 雌ねじ部（ねじ穴）
７１ 第２締結ボルト（第２締結部材）
７２ 第３締結ボルト（第３締結部材）
Ｌ 軸
Ｐ１ 係合位置
Ｐ２ 着脱位置
１１ 弁箱
１１ａ 弁空間
１２ 前壁（側壁）
１２ａ 第１ゲート開口（第１開口部）
１３ 後壁（側壁）
１３ａ 第２ゲート開口（第２開口部）
１４ 側壁
１５ 天壁
１７ 弁シャフト
１７ａ 第１側面部
１７ｂ 第２側面部
１７ｃ シャフト端面
１９ 第１突条部（被係合部、凸部）
２０ 第２突条部（被係合部、凸部）
２１ 第１弁板
２１ｂ，２２ｂ 内面
２１ｅ，２２ｅ シール面（外面）
２２ 第２弁板
２４ 操作機構
２６，２７ 下側係合凹部（係合部、凹部）
２８，２９ 下側係合凹部（基端側係合、凹部）
３０ 締結機構
３１ 第１クランプ片
３２ 第１クランプ本体部
３３ 本体係止爪（第１係止爪）
３４ 第１係合凸部
３６ 第１係合凹部
３６ｃ 第１延長凹部
４０ 第２クランプ片
４１ 第２クランプ本体部
４２ 本体係止爪（第２係止爪）
４３ 第２係合凸部
４５ 第２係合凹部
４５ｃ 第２延長凹部
４７ 隙間
５０ サポート機構
５１ サポート台
５１ｃ サポート端面
５３ 第３突条部（基端側係合凸部、凸部）
５４ 第４突条部（基端側係合凸部、凸部）
６０ 第３クランプ片
６１ 第３クランプ本体部
６１ｂ 突出部
６２ 第３係合凸部
６３ 第４係合凸部
６４ 第３係合凹部
６４ｄ 第３延長凹部
６５ 第５係合凸部
６６ 第４係合凹部
６７ 第１締結ボルト（第１締結部材）
６８ａ 雄ねじ部
６８ｂ 細径部（無ねじ部）
７０ 雌ねじ部（ねじ穴）
７１ 第２締結ボルト（第２締結部材）
７２ 第３締結ボルト（第３締結部材）
Ｌ 軸
Ｐ１ 係合位置
Ｐ２ 着脱位置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】