特開2023-58852ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023058852
(43)【公開日】2023-04-26
(54)【発明の名称】ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20230419BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20230419BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 303
B41J2/14 607
B41J2/16 303
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021168613
(22)【出願日】2021-10-14
(71)【出願人】
【識別番号】501167725
【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100165179
【弁理士】
【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡
(74)【代理人】
【識別番号】100126664
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 慎吾
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(72)【発明者】
【氏名】三根 亨
(72)【発明者】
【氏名】宗像 優
【テーマコード（参考）】
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C057AF93
2C057AG29
2C057AG45
2C057AP23
2C057AP24
2C057AP25
2C057AP53
2C057BA14
(57)【要約】
【課題】アクチュエータプレートと中間プレートとの接合面積を確保した上で、ノズル孔と連通孔との位置ずれの許容代を確保することができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法を提供する。
【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップにおいて、アクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに向かい合って設けられたノズルプレートと、アクチュエータプレート及びノズルプレートの間に設けられた中間プレートと、を備えている。連通孔は、ノズル孔に向けて開口する下側開口部を有する溝部と、吐出チャネルに向けて開口する上側開口部を有する貫通部と、を備えている。上側開口部におけるＸ方向の寸法は、上側開口部におけるＸ方向の寸法よりも大きく、上側開口部におけるＸ方向の寸法は、吐出チャネルのうちチャネル開口面上で開口するチャネル開口部のＸ方向の寸法以下である。
【選択図】図８
【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップにおいて、アクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに向かい合って設けられたノズルプレートと、アクチュエータプレート及びノズルプレートの間に設けられた中間プレートと、を備えている。連通孔は、ノズル孔に向けて開口する下側開口部を有する溝部と、吐出チャネルに向けて開口する上側開口部を有する貫通部と、を備えている。上側開口部におけるＸ方向の寸法は、上側開口部におけるＸ方向の寸法よりも大きく、上側開口部におけるＸ方向の寸法は、吐出チャネルのうちチャネル開口面上で開口するチャネル開口部のＸ方向の寸法以下である。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、
液体を噴出する複数の噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた噴射孔プレートと、
前記噴射チャネル及び前記噴射孔間を各別に連通させる連通孔を有し、前記アクチュエータプレート及び前記噴射孔プレートの間に設けられた中間プレートと、を備え、
前記連通孔は、
前記噴射孔に向けて開口する第１開口部を有し、前記噴射孔プレートから離れる向きに窪む溝部と、
前記噴射チャネルに向けて開口する第２開口部を有し、少なくとも前記溝部を含む領域で前記溝部と連通していることによって前記中間プレートを貫通する貫通部と、を備え、
前記第１開口部における前記第２方向の寸法は、前記第２開口部における前記第２方向の寸法よりも大きく、
前記第２開口部における前記第２方向の寸法は、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上で開口するチャネル開口部の前記第２方向の寸法以下であるヘッドチップ。
液体を噴出する複数の噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた噴射孔プレートと、
前記噴射チャネル及び前記噴射孔間を各別に連通させる連通孔を有し、前記アクチュエータプレート及び前記噴射孔プレートの間に設けられた中間プレートと、を備え、
前記連通孔は、
前記噴射孔に向けて開口する第１開口部を有し、前記噴射孔プレートから離れる向きに窪む溝部と、
前記噴射チャネルに向けて開口する第２開口部を有し、少なくとも前記溝部を含む領域で前記溝部と連通していることによって前記中間プレートを貫通する貫通部と、を備え、
前記第１開口部における前記第２方向の寸法は、前記第２開口部における前記第２方向の寸法よりも大きく、
前記第２開口部における前記第２方向の寸法は、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上で開口するチャネル開口部の前記第２方向の寸法以下であるヘッドチップ。
【請求項2】
前記中間プレートの厚さ方向から見て前記第２方向に交差する方向を第３方向とすると、
前記貫通部における前記第３方向の寸法は、前記チャネル開口部における前記第３方向の寸法よりも小さい請求項１に記載のヘッドチップ。
前記貫通部における前記第３方向の寸法は、前記チャネル開口部における前記第３方向の寸法よりも小さい請求項１に記載のヘッドチップ。
【請求項3】
前記チャネル開口面は、前記アクチュエータプレートの厚さ方向を向き、
前記貫通部は、前記溝部に対して前記第１方向の両側に突出している請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
前記貫通部は、前記溝部に対して前記第１方向の両側に突出している請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
【請求項4】
前記チャネル開口面は、前記アクチュエータプレートの厚さ方向を向き、
前記貫通部は、前記溝部に対して前記第１方向の片側に突出している請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
前記貫通部は、前記溝部に対して前記第１方向の片側に突出している請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
【請求項5】
前記中間プレートの厚さ方向において、前記第１開口部から前記溝部の底面までの寸法は、前記溝部の底面から前記第２開口部までの寸法よりも大きい請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項6】
前記溝部の底面のうち、前記第２方向で前記貫通部寄りに位置する部分には、前記底面から膨出する膨出部が形成されている請求項１から請求項５の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項7】
請求項１から請求項６の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
【請求項8】
請求項７に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。
【請求項9】
第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、
液体を噴出する複数の噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた噴射孔プレートと、
前記噴射チャネル及び前記噴射孔間を各別に連通させる連通孔を有し、前記アクチュエータプレート及び前記噴射孔プレートの間に設けられた中間プレートと、を備えたヘッドチップの製造方法であって、
前記中間プレートに前記連通孔を形成する連通孔形成工程と、
前記中間プレートに対して前記噴射孔プレートを積層する噴射孔プレート積層工程と、を備え、
前記連通孔形成工程は、
前記噴射孔に向けて開口する第１開口部を有し、前記噴射孔プレートに対して離れる向きに窪ませることで、前記中間プレートに溝部を形成する溝部形成工程と、
前記噴射チャネルに向けて開口する第２開口部を有し、少なくとも前記溝部を含む領域で前記中間プレートを貫通させることで、前記中間プレートに貫通部を形成する貫通部形成工程と、を備え、
前記溝部形成工程では、前記第１開口部における前記第２方向の寸法を、前記第２開口部における前記第２方向の寸法よりも大きく設定し、
前記貫通部形成工程では、前記第２開口部における前記第２方向の寸法を、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上で開口するチャネル開口部の前記第２方向の寸法以下に設定し、
前記噴射孔プレート積層工程は、前記第１開口部と前記噴射孔とが連通するように、前記中間プレートに対して前記噴射孔プレートを積層するヘッドチップの製造方法。
液体を噴出する複数の噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた噴射孔プレートと、
前記噴射チャネル及び前記噴射孔間を各別に連通させる連通孔を有し、前記アクチュエータプレート及び前記噴射孔プレートの間に設けられた中間プレートと、を備えたヘッドチップの製造方法であって、
前記中間プレートに前記連通孔を形成する連通孔形成工程と、
前記中間プレートに対して前記噴射孔プレートを積層する噴射孔プレート積層工程と、を備え、
前記連通孔形成工程は、
前記噴射孔に向けて開口する第１開口部を有し、前記噴射孔プレートに対して離れる向きに窪ませることで、前記中間プレートに溝部を形成する溝部形成工程と、
前記噴射チャネルに向けて開口する第２開口部を有し、少なくとも前記溝部を含む領域で前記中間プレートを貫通させることで、前記中間プレートに貫通部を形成する貫通部形成工程と、を備え、
前記溝部形成工程では、前記第１開口部における前記第２方向の寸法を、前記第２開口部における前記第２方向の寸法よりも大きく設定し、
前記貫通部形成工程では、前記第２開口部における前記第２方向の寸法を、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上で開口するチャネル開口部の前記第２方向の寸法以下に設定し、
前記噴射孔プレート積層工程は、前記第１開口部と前記噴射孔とが連通するように、前記中間プレートに対して前記噴射孔プレートを積層するヘッドチップの製造方法。
【請求項10】
前記アクチュエータプレートの前記チャネル開口面上に前記中間プレートを積層する中間プレート積層工程を備え、
前記溝部形成工程は、前記中間プレート積層工程の前に行う請求項９に記載のヘッドチップの製造方法。
前記溝部形成工程は、前記中間プレート積層工程の前に行う請求項９に記載のヘッドチップの製造方法。
【請求項11】
前記アクチュエータプレートの前記チャネル開口面上に前記中間プレートを積層する中間プレート積層工程を備え、
前記溝部形成工程及び前記貫通部形成工程は、前記中間プレート積層工程の後に行う請求項９に記載のヘッドチップの製造方法。
前記溝部形成工程及び前記貫通部形成工程は、前記中間プレート積層工程の後に行う請求項９に記載のヘッドチップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
インクジェットプリンタに搭載されるヘッドチップは、複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに接合されたノズルプレートと、を備えている。ノズルプレートには、複数のチャネルに各別に連通する複数のノズル孔が形成されている。
ヘッドチップでは、チャネルの容積を変化させることで、チャネル内のインクがノズル孔を通じて吐出される。
ヘッドチップでは、チャネルの容積を変化させることで、チャネル内のインクがノズル孔を通じて吐出される。
【0003】
近年では、チャネルの微細化や狭ピッチ化に伴い、アクチュエータプレート（チャネル）とノズルプレート（ノズル孔）との位置ずれの許容代が小さくなっている。例えばアクチュエータプレートに対するノズルプレートの接合位置がチャネルの配列方向にずれると、吐出特性の低下やインクのリーク等に繋がる可能性がある。
【0004】
下記特許文献１には、アクチュエータプレート及びノズルプレートの間に中間プレートを配置する構成が開示されている。中間プレートには、チャネル及びノズル孔の双方に連通する連通孔が形成されている。連通孔は、チャネルの配列方向においてチャネル及びノズル孔よりも大きく形成されている。この構成によれば、連通孔を通じてチャネルとノズル孔とを連通させることで、チャネルとノズル孔とを直接連通させる場合に比べ、チャネルとノズル孔との位置ずれの許容代を大きくできると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１９－４２９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
中間プレートを採用する場合には、中間プレートに連通孔を形成した後に中間プレートをアクチュエータプレートに接合する方法（第１方法）と、アクチュエータプレートに中間プレートを接合した後に連通孔を形成する方法（第２方法）と、が考えられる。
第１方法を採用した場合には、中間プレートをアクチュエータプレートに接合する際に、連通孔とチャネルとの位置合わせに高い精度が要求される。要求される位置精度を軽減するために、連通孔を大きくすると、中間プレートとアクチュエータプレートとの接合面積を確保することが難しい。接合面積の低下は、中間プレートの剥離やインクのリーク等を引き起こす要因となる。
第１方法を採用した場合には、中間プレートをアクチュエータプレートに接合する際に、連通孔とチャネルとの位置合わせに高い精度が要求される。要求される位置精度を軽減するために、連通孔を大きくすると、中間プレートとアクチュエータプレートとの接合面積を確保することが難しい。接合面積の低下は、中間プレートの剥離やインクのリーク等を引き起こす要因となる。
【0007】
第２方法を採用した場合には、中間プレートのうちチャネルと重なり合う部分を、チャネルよりも大きな寸法で貫通させる必要がある。そのため、連通孔として中間プレートを貫通させる際に、アクチュエータプレートにおける中間プレートとの接合面まで加工される可能性がある。接合面が加工されると、中間プレートの剥離やインクのリーク等を引き起こす要因となる。
【0008】
本開示は、アクチュエータプレートと中間プレートとの接合面積を確保した上で、ノズル孔と連通孔との位置ずれの許容代を確保することができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、液体を噴出する複数の噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた噴射孔プレートと、前記噴射チャネル及び前記噴射孔間を各別に連通させる連通孔を有し、前記アクチュエータプレート及び前記噴射孔プレートの間に設けられた中間プレートと、を備え、前記連通孔は、前記噴射孔に向けて開口する第１開口部を有し、前記噴射孔プレートから離れる向きに窪む溝部と、前記噴射チャネルに向けて開口する第２開口部を有し、少なくとも前記溝部を含む領域で前記溝部と連通していることによって前記中間プレートを貫通する貫通部と、を備え、前記第１開口部における前記第２方向の寸法は、前記第２開口部における前記第２方向の寸法よりも大きく、前記第２開口部における前記第２方向の寸法は、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上で開口するチャネル開口部の前記第２方向の寸法以下である。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、液体を噴出する複数の噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた噴射孔プレートと、前記噴射チャネル及び前記噴射孔間を各別に連通させる連通孔を有し、前記アクチュエータプレート及び前記噴射孔プレートの間に設けられた中間プレートと、を備え、前記連通孔は、前記噴射孔に向けて開口する第１開口部を有し、前記噴射孔プレートから離れる向きに窪む溝部と、前記噴射チャネルに向けて開口する第２開口部を有し、少なくとも前記溝部を含む領域で前記溝部と連通していることによって前記中間プレートを貫通する貫通部と、を備え、前記第１開口部における前記第２方向の寸法は、前記第２開口部における前記第２方向の寸法よりも大きく、前記第２開口部における前記第２方向の寸法は、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上で開口するチャネル開口部の前記第２方向の寸法以下である。
【0010】
本態様によれば、第２開口部における第２方向の寸法が、チャネル開口部の第２方向の寸法以下であるため、中間プレートのうちアクチュエータプレートとの接合面積を確保し易い。その結果、中間プレートとアクチュエータプレートとの接合強度を確保し、中間プレートの剥がれや中間プレートとアクチュエータプレートとの間を通じた液体のリーク等を抑制できる。
また、中間プレートとアクチュエータプレートとの接合後に、後加工として貫通部を形成した場合であっても、貫通部の加工時にアクチュエータプレートにダメージが及ぶことを抑制できる。
しかも、第１開口部における第２方向の寸法が、第２開口部における第２方向の寸法よりも大きいため、噴射孔と噴射チャネルとを直接連通させる場合に比べ、中間プレートと噴射孔プレートとの接合時において、溝部と噴射孔との位置合わせが行いやすい。すなわち、溝部における第２方向の寸法内で、溝部と噴射孔との位置ずれを許容できる。その結果、噴射孔及び噴射チャネル間の位置決め精度を確保した上で、噴射チャネルの微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
その結果、アクチュエータプレートと中間プレートとの接合面積を確保して、ヘッドチップの耐久性を向上させた上で、噴射孔と連通孔との位置ずれの許容代を確保して、噴射チャネルの微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
また、中間プレートとアクチュエータプレートとの接合後に、後加工として貫通部を形成した場合であっても、貫通部の加工時にアクチュエータプレートにダメージが及ぶことを抑制できる。
しかも、第１開口部における第２方向の寸法が、第２開口部における第２方向の寸法よりも大きいため、噴射孔と噴射チャネルとを直接連通させる場合に比べ、中間プレートと噴射孔プレートとの接合時において、溝部と噴射孔との位置合わせが行いやすい。すなわち、溝部における第２方向の寸法内で、溝部と噴射孔との位置ずれを許容できる。その結果、噴射孔及び噴射チャネル間の位置決め精度を確保した上で、噴射チャネルの微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
その結果、アクチュエータプレートと中間プレートとの接合面積を確保して、ヘッドチップの耐久性を向上させた上で、噴射孔と連通孔との位置ずれの許容代を確保して、噴射チャネルの微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
【0011】
（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記中間プレートの厚さ方向から見て前記第２方向に交差する方向を第３方向とすると、前記貫通部における前記第３方向の寸法は、前記チャネル開口部における前記第３方向の寸法よりも小さいことが好ましい。
本態様によれば、貫通部における第３方向の寸法が、チャネル開口部の第３方向の寸法よりも短いため、中間プレートとアクチュエータプレートとの接合後に、後加工として貫通部を形成した場合であっても、貫通部の加工時にアクチュエータプレートのチャネル開口面にダメージが及ぶことを抑制できる。
また、貫通部の形成領域を小さくできるので、連通孔の加工時間を短縮することができる。その結果、ヘッドチップの製造効率を向上させることができる。
本態様によれば、貫通部における第３方向の寸法が、チャネル開口部の第３方向の寸法よりも短いため、中間プレートとアクチュエータプレートとの接合後に、後加工として貫通部を形成した場合であっても、貫通部の加工時にアクチュエータプレートのチャネル開口面にダメージが及ぶことを抑制できる。
また、貫通部の形成領域を小さくできるので、連通孔の加工時間を短縮することができる。その結果、ヘッドチップの製造効率を向上させることができる。
【0012】
（３）上記（１）又は（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記チャネル開口面は、前記アクチュエータプレートの厚さ方向を向き、前記貫通部は、前記溝部に対して前記第１方向の両側に突出していることが好ましい。
本態様によれば、溝部における第１方向の寸法が貫通部よりも小さくなるので、溝部の加工時間を短縮できる。その結果、製造効率を向上させることができる。
しかも、貫通部における第１方向の寸法が溝部よりも広くなるので、噴射チャネル内を第１方向に沿って液体が流れる際に、貫通部を噴射チャネルとともにインク流路として機能させることができる。これにより、インク流路の流路断面積を確保し易くなり、圧力損失を軽減できる。
本態様によれば、溝部における第１方向の寸法が貫通部よりも小さくなるので、溝部の加工時間を短縮できる。その結果、製造効率を向上させることができる。
しかも、貫通部における第１方向の寸法が溝部よりも広くなるので、噴射チャネル内を第１方向に沿って液体が流れる際に、貫通部を噴射チャネルとともにインク流路として機能させることができる。これにより、インク流路の流路断面積を確保し易くなり、圧力損失を軽減できる。
【0013】
（４）上記（１）又は（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記チャネル開口面は、前記アクチュエータプレートの厚さ方向を向き、前記貫通部は、前記溝部に対して前記第１方向の片側に突出していることが好ましい。
本態様によれば、溝部における第１方向の寸法が貫通部よりも小さくなるので、溝部の加工時間を短縮できる。その結果、製造効率を向上させることができる。
しかも、貫通部における第１方向の寸法が溝部よりも広くなるので、噴射チャネル内を第１方向に沿って液体が流れる際に、貫通部を噴射チャネルとともにインク流路として機能させることができる。これにより、インク流路の流路断面積を確保し易くなり、圧力損失を軽減できる。
特に、溝部に対して第１方向の両側のうち、圧力が高くなり易い方向に溝部を突出させることで、第１方向の片側での圧力損失を軽減した上で、貫通部の加工時間を可能な限り短縮できる。
本態様によれば、溝部における第１方向の寸法が貫通部よりも小さくなるので、溝部の加工時間を短縮できる。その結果、製造効率を向上させることができる。
しかも、貫通部における第１方向の寸法が溝部よりも広くなるので、噴射チャネル内を第１方向に沿って液体が流れる際に、貫通部を噴射チャネルとともにインク流路として機能させることができる。これにより、インク流路の流路断面積を確保し易くなり、圧力損失を軽減できる。
特に、溝部に対して第１方向の両側のうち、圧力が高くなり易い方向に溝部を突出させることで、第１方向の片側での圧力損失を軽減した上で、貫通部の加工時間を可能な限り短縮できる。
【0014】
（５）上記（１）から（４）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記中間プレートの厚さ方向において、前記第１開口部から前記溝部の底面までの寸法は、前記溝部の底面から前記第２開口部までの寸法よりも大きいことが好ましい。
本態様によれば、溝部の深さを確保できるので、中間プレートと噴射孔プレートとの接合時において、溝部のうち貫通部に対して第２方向の外側に位置する空間を接着剤収容部として利用できる。そのため、貫通部に接着剤が流れ込むことを抑制し、接着剤が噴出性能に影響を及ぼすことを抑制できる。
本態様によれば、溝部の深さを確保できるので、中間プレートと噴射孔プレートとの接合時において、溝部のうち貫通部に対して第２方向の外側に位置する空間を接着剤収容部として利用できる。そのため、貫通部に接着剤が流れ込むことを抑制し、接着剤が噴出性能に影響を及ぼすことを抑制できる。
【0015】
（６）上記（１）から（５）何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記溝部の底面のうち、前記第２方向で前記貫通部寄りに位置する部分には、前記底面から膨出する膨出部が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、中間プレートと噴射孔プレートとの接合時において、溝部のうち膨出部よりも第２方向の外側に位置する空間を接着剤収容部として利用できる。この場合、貫通部に接着剤が流れ込むことを膨出部によって規制できるので、接着剤が噴出性能に影響を及ぼすことを抑制できる。
本態様によれば、中間プレートと噴射孔プレートとの接合時において、溝部のうち膨出部よりも第２方向の外側に位置する空間を接着剤収容部として利用できる。この場合、貫通部に接着剤が流れ込むことを膨出部によって規制できるので、接着剤が噴出性能に影響を及ぼすことを抑制できる。
【0016】
（７）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（６）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているため、高品質で信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているため、高品質で信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
【0017】
（８）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（７）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、高品質で信頼性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。
本態様によれば、高品質で信頼性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。
【0018】
（９）本開示の一態様に係るヘッドチップの製造方法は、第１方向に延びる噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に複数配列されたアクチュエータプレートと、液体を噴出する複数の噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射チャネルが開口するチャネル開口面に向かい合って設けられた噴射孔プレートと、前記噴射チャネル及び前記噴射孔間を各別に連通させる連通孔を有し、前記アクチュエータプレート及び前記噴射孔プレートの間に設けられた中間プレートと、を備えたヘッドチップの製造方法であって、前記中間プレートに前記連通孔を形成する連通孔形成工程と、前記中間プレートに対して前記噴射孔プレートを積層する噴射孔プレート積層工程と、を備え、前記連通孔形成工程は、前記噴射孔に向けて開口する第１開口部を有し、前記噴射孔プレートに対して離れる向きに窪ませることで、前記中間プレートに溝部を形成する溝部形成工程と、前記噴射チャネルに向けて開口する第２開口部を有し、少なくとも前記溝部を含む領域で前記中間プレートを貫通させることで、前記中間プレートに貫通部を形成する貫通部形成工程と、を備え、前記溝部形成工程では、前記第１開口部における前記第２方向の寸法を、前記第２開口部における前記第２方向の寸法よりも大きく設定し、前記貫通部形成工程では、前記第２開口部における前記第２方向の寸法を、前記噴射チャネルのうち前記チャネル開口面上で開口するチャネル開口部の前記第２方向の寸法以下に設定し、前記噴射孔プレート積層工程は、前記第１開口部と前記噴射孔とが連通するように、前記中間プレートに対して前記噴射孔プレートを積層する。
【0019】
（１０）上記（９）の態様に係るヘッドチップの製造方法において、前記アクチュエータプレートの前記チャネル開口面上に前記中間プレートを積層する中間プレート積層工程を備え、前記溝部形成工程は、前記中間プレート積層工程の前に行うことが好ましい。
本態様によれば、中間プレートに溝部を予め形成しておくことで、中間プレートの積層後、ヘッドチップが完成するまでの加工時間を短縮できる。
本態様によれば、中間プレートに溝部を予め形成しておくことで、中間プレートの積層後、ヘッドチップが完成するまでの加工時間を短縮できる。
【0020】
（１１）上記（９）の態様に係るヘッドチップの製造方法において、前記アクチュエータプレートの前記チャネル開口面上に前記中間プレートを積層する中間プレート積層工程を備え、前記溝部形成工程及び前記貫通部形成工程は、前記中間プレート積層工程の後に行うことが好ましい。
本態様によれば、アクチュエータプレートに中間プレートが積層された状態で、溝部及び貫通部を形成することで、噴射チャネルと連通孔との位置精度を向上させることができる。
本態様によれば、アクチュエータプレートに中間プレートが積層された状態で、溝部及び貫通部を形成することで、噴射チャネルと連通孔との位置精度を向上させることができる。
【発明の効果】
【0021】
本開示の一態様によれば、アクチュエータプレートと中間プレートとの接合面積を確保して、ヘッドチップの耐久性を向上させた上で、噴射孔と連通孔との位置ずれの許容代を確保して、噴射チャネルの微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図2】第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。
【図3】第１実施形態に係るノズルプレートを取り外した状態において、ヘッドチップを－Ｚ側から見た斜視図である。
【図4】第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図5】第１実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。
【図9】第１実施形態に係るノズルプレートを取り外した状態でのヘッドチップの拡大底面図である。
【図10】第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するフローチャートである。
【図15】第１実施形態の変形例に係るヘッドチップの製造方法を説明するフローチャートである。
【図20】第６実施形態に係るヘッドチップを示す断面図である。
【図21】第６実施形態に係るヘッドチップを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【0024】
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。
【0025】
以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。
【0026】
搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。
インクタンク４には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。
【0027】
図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。
【0028】
加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。
【0029】
図１に示すように、走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。
【0030】
＜インクジェットヘッド５＞
インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。
インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。
【0031】
＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ノズルプレート５１を取り外した状態において、ヘッドチップ５０を－Ｚ側から見た斜視図である。図４は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。
図３、図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル７５における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（図４参照）と、中間プレート５２と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、を備えている。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１、中間プレート５２、アクチュエータプレート５３及びカバープレート５４が、この順番にＺ方向に積層された構成である。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５４に向かう方向（＋Ｚ側）を上側とし、カバープレート５４からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を下側として説明する場合がある。
図３は、ノズルプレート５１を取り外した状態において、ヘッドチップ５０を－Ｚ側から見た斜視図である。図４は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。
図３、図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル７５における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（図４参照）と、中間プレート５２と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、を備えている。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１、中間プレート５２、アクチュエータプレート５３及びカバープレート５４が、この順番にＺ方向に積層された構成である。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５４に向かう方向（＋Ｚ側）を上側とし、カバープレート５４からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を下側として説明する場合がある。
【0032】
アクチュエータプレート５３は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５３は、例えば分極方向がＺ方向で異なる２枚の圧電板を積層してなる、いわゆるシェブロン基板である。但し、アクチュエータプレート５３は、分極方向がＺ方向の全域で一方向な、いわゆるモノポール基板であってもよい。
【0033】
図５は、アクチュエータプレート５３の底面図である。
図４、図５に示すように、アクチュエータプレート５３には、複数（例えば、２列）のチャネル列６１，６２が形成されている。本実施形態において、チャネル列６１，６２は、第１チャネル列６１及び第２チャネル列６２である。各チャネル列６１，６２は、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に間隔をあけて配列されている。
図４、図５に示すように、アクチュエータプレート５３には、複数（例えば、２列）のチャネル列６１，６２が形成されている。本実施形態において、チャネル列６１，６２は、第１チャネル列６１及び第２チャネル列６２である。各チャネル列６１，６２は、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に間隔をあけて配列されている。
【0034】
以下では、チャネル列６１，６２の構成について、第１チャネル列６１を例にして説明する。
第１チャネル列６１は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）７５と、インクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６と、を有している。各チャネル７５，７６は、Ｚ方向から見た平面視において、それぞれＹ方向（第１方向、第３方向）に直線状に延びるとともに、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて交互に並んでいる。アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間に位置する部分は、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間をＸ方向で仕切る駆動壁７０（図４参照）を構成している。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。
第１チャネル列６１は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）７５と、インクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６と、を有している。各チャネル７５，７６は、Ｚ方向から見た平面視において、それぞれＹ方向（第１方向、第３方向）に直線状に延びるとともに、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて交互に並んでいる。アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間に位置する部分は、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間をＸ方向で仕切る駆動壁７０（図４参照）を構成している。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。
【0035】
図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に相当する断面図である。
図６に示すように、吐出チャネル７５は、Ｘ方向から見た側面視において、下方に向けて凸の円弧状に形成されている。吐出チャネル７５は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の上方（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル７５は、＋Ｙ側端部に位置する第１切り上がり部７５ａと、－Ｙ側端部に位置する第２切り上がり部７５ｂと、各切り上がり部７５ａ，７５ｂ間に位置する吐出側貫通部７５ｃと、を有している。
図６に示すように、吐出チャネル７５は、Ｘ方向から見た側面視において、下方に向けて凸の円弧状に形成されている。吐出チャネル７５は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の上方（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル７５は、＋Ｙ側端部に位置する第１切り上がり部７５ａと、－Ｙ側端部に位置する第２切り上がり部７５ｂと、各切り上がり部７５ａ，７５ｂ間に位置する吐出側貫通部７５ｃと、を有している。
【0036】
各切り上がり部７５ａ，７５ｂは、Ｘ方向から見て曲率半径が一様な円弧状である。各切り上がり部７５ａ，７５ｂは、Ｙ方向において吐出側貫通部７５ｃから離れるに従いＺ方向の深さが漸次浅くなっている。
吐出側貫通部７５ｃは、吐出チャネル７５におけるＹ方向の中央部で、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。したがって、吐出チャネル７５は、アクチュエータプレート５３の上面上において吐出チャネル７５の全体（切り上がり部７５ａ，７５ｂ及び吐出側貫通部７５ｃ）が開口する上側開口部と、アクチュエータプレート５３の下面（チャネル開口面）上において吐出側貫通部７５ｃのみが開口する下側開口部（チャネル開口部）と、を有している。
吐出側貫通部７５ｃは、吐出チャネル７５におけるＹ方向の中央部で、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。したがって、吐出チャネル７５は、アクチュエータプレート５３の上面上において吐出チャネル７５の全体（切り上がり部７５ａ，７５ｂ及び吐出側貫通部７５ｃ）が開口する上側開口部と、アクチュエータプレート５３の下面（チャネル開口面）上において吐出側貫通部７５ｃのみが開口する下側開口部（チャネル開口部）と、を有している。
【0037】
図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に相当する断面図である。
図７に示すように、非吐出チャネル７６は、駆動壁７０を間に挟んで吐出チャネル７５とＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル７６は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の上方から進入させることで形成される。非吐出チャネル７６は、非吐出側貫通部７６ａと、切り上がり部７６ｂと、を備えている。
非吐出側貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。すなわち、非吐出側貫通部７６ａは、Ｚ方向における溝深さが一様に形成されている。非吐出側貫通部７６ａは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部以外の部分を構成している。非吐出側貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３のうち－Ｙ側を向く端面上に形成された端面開口部を通じてヘッドチップ５０の外部に開放されている。
切り上がり部７６ｂは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部を構成している。切り上がり部７６ｂは、Ｘ方向から見て曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７６ｂは、Ｙ方向において非吐出側貫通部７６ａから離れるに従いＺ方向の深さが漸次浅くなっている。
図７に示すように、非吐出チャネル７６は、駆動壁７０を間に挟んで吐出チャネル７５とＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル７６は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の上方から進入させることで形成される。非吐出チャネル７６は、非吐出側貫通部７６ａと、切り上がり部７６ｂと、を備えている。
非吐出側貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。すなわち、非吐出側貫通部７６ａは、Ｚ方向における溝深さが一様に形成されている。非吐出側貫通部７６ａは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部以外の部分を構成している。非吐出側貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３のうち－Ｙ側を向く端面上に形成された端面開口部を通じてヘッドチップ５０の外部に開放されている。
切り上がり部７６ｂは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部を構成している。切り上がり部７６ｂは、Ｘ方向から見て曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７６ｂは、Ｙ方向において非吐出側貫通部７６ａから離れるに従いＺ方向の深さが漸次浅くなっている。
【0038】
図６、図７に示すように、非吐出チャネル７６（非吐出側貫通部７６ａ）のＹ方向の寸法は、吐出チャネル７５よりも大きくなっている。具体的に、非吐出側貫通部７６ａの＋Ｙ側端部は吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）よりも＋Ｙ側に位置する第１突出部７７を構成している。非吐出側貫通部７６ａの－Ｙ側端部は吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）よりも－Ｙ側に位置する第２突出部７８を構成している。
【0039】
図５に示すように、第２チャネル列６２は、第１チャネル列６１と同様に吐出チャネル（噴射チャネル）７５及び非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６がＸ方向に交互に並んだ構成である。具体的に、第２チャネル列６２の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６は、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネル列６１及び第２チャネル列６２の吐出チャネル７５同士、並びに第１チャネル列６１及び第２チャネル列６２の非吐出チャネル７６同士が千鳥状（互い違い）に配置されている。すなわち、隣り合うチャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合っている。但し、各チャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５同士及び非吐出チャネル７６同士の配列ピッチは、適宜変更が可能である。例えば、各チャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５同士及び非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合って配置されていてもよい。
【0040】
各チャネル列６１，６２において、吐出チャネル７５は、ＸＺ平面に対して面対称に形成されている。各チャネル列６１，６２において、非吐出チャネル７６は、ＸＺ平面に対して面対称に形成されている。各チャネル７５，７６において、それぞれの切り上がり部７６ｂ同士は、Ｘ方向から見て少なくとも一部が互いに重なり合っている。但し、各チャネル７５，７６の切り上がり部７６ｂ同士は、Ｘ方向から見て重なり合わなくてもよい。
【0041】
アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）に対して－Ｙ側（第２チャネル列６２とは反対側）に位置する部分は、第１尾部８１を構成している。
アクチュエータプレート５３のうち、第２チャネル列６２の吐出チャネル７５に対して＋Ｙ側（第１チャネル列６１とは反対側）に位置する部分は、第２尾部８６を構成している。
アクチュエータプレート５３のうち、第２チャネル列６２の吐出チャネル７５に対して＋Ｙ側（第１チャネル列６１とは反対側）に位置する部分は、第２尾部８６を構成している。
【0042】
図８は、図４のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。
図８に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各吐出チャネル７５に面する内側面（吐出チャネル７５の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う面）には、共通電極９５がそれぞれ形成されている。共通電極９５は、Ｙ方向における長さが吐出側貫通部７５ｃと同等（アクチュエータプレート５３の下面における吐出チャネル７５の開口長と同等）とされている。共通電極９５は、吐出側貫通部７５ｃの内側面においてＺ方向の全域に亘って形成されている。
図８に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各吐出チャネル７５に面する内側面（吐出チャネル７５の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う面）には、共通電極９５がそれぞれ形成されている。共通電極９５は、Ｙ方向における長さが吐出側貫通部７５ｃと同等（アクチュエータプレート５３の下面における吐出チャネル７５の開口長と同等）とされている。共通電極９５は、吐出側貫通部７５ｃの内側面においてＺ方向の全域に亘って形成されている。
【0043】
図５に示すように、アクチュエータプレート５３の下面には、複数の共通端子９６が形成されている。共通端子９６は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延在する帯状とされている。各共通端子９６は、対応する吐出チャネル７５の開口縁において一対の共通電極９５にそれぞれ接続されている。各共通端子９６は、対応する尾部８１，８６の下面上でそれぞれ終端している。
【0044】
図８に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各非吐出チャネル７６に面する内側面（非吐出チャネル７６のうち、Ｘ方向で向かい合う面）には、個別電極９７が形成されている。個別電極９７は、Ｙ方向の長さが非吐出側貫通部７６ａと同等とされている。個別電極９７は、非吐出側貫通部７６ａの内側面において、Ｚ方向の全域に亘って形成されている。
【0045】
図５に示すように、尾部８１，８６の下面において、共通端子９６よりも外側に位置する部分には、個別端子９８が形成されている。個別端子９８は、Ｘ方向に延びる帯状とされている。個別端子９８は、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で向かい合う非吐出チャネル７６の開口縁において、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で向かい合う個別電極９７同士を接続している。なお、尾部８１，８６において、共通端子９６と個別端子９８との間に位置する部分には、区画溝９９が形成されている。区画溝９９は、尾部８１，８６において、Ｘ方向に延びている。区画溝９９は、共通端子９６と個別端子９８とを分離している。
【0046】
図８に示すように、吐出チャネル７５の内面には、第１保護膜１１０が形成されている。第１保護膜１１０は、吐出チャネル７５の内面全体に亘って形成されている。第１保護膜１１０は、共通電極９５を覆っている。第１保護膜１１０は、例えば共通電極９５とインクとの接触を抑制する。なお、第１保護膜１１０は、吐出チャネル７５の内側面において、少なくとも共通電極９５を覆っていればよい。
【0047】
非吐出チャネル７６の内面には、第２保護膜１１１が形成されている。第２保護膜１１１は、非吐出チャネル７６の内面全体に亘って形成されている。第２保護膜１１１は、個別電極９７を覆っている。第２保護膜１１１は、例えば個別電極９７とインクとの接触等を抑制する。なお、第２保護膜１１１は、非吐出チャネル７６の内側面において、少なくとも個別電極９７を覆っていればよい。
【0048】
保護膜１１０，１１１は、絶縁性を有する材料として、例えばパラキシリレン系樹脂材料（例えば、パリレン（登録商標））等の有機絶縁材料を含んでいる。保護膜１１０，１１１は、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、酸化シリコン（ＳｉＯ２）又はダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉａｍｏｎｄ－ｌｉｋｅ ｃａｒｂｏｎ）等により構成されていてもよく、これらの少なくともいずれか一つを含んでいてもよい。
【0049】
図６に示すように、第１尾部８１の下面には、第１フレキシブルプリント基板１００が圧着されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、第１尾部８１の下面において、第１チャネル列６１に対応する共通端子９６と個別端子９８に接続されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、アクチュエータプレート５３の外側を通って上方に引き出されている。
【0050】
第２尾部８６の下面には、第２フレキシブルプリント基板１０１が圧着されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、第２尾部８６の下面において、第２チャネル列６２に対応する共通端子９６と個別端子９８に接続されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、アクチュエータプレート５３の外側を通じて上方に引き出されている。
【0051】
＜カバープレート５４＞
図３、図４に示すように、カバープレート５４は、各チャネル列６１，６２を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の上面に接合されている。カバープレート５４において、各チャネル列６１，６２と対応する位置には、入口共通インク室１２０及び出口共通インク室１２１がそれぞれ形成されている。
入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネル列６１の＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネル列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面上で開口している。
出口共通インク室１２１は、例えば第１チャネル列６１の－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。出口共通インク室１２１は、第１チャネル列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面上で開口している。
図３、図４に示すように、カバープレート５４は、各チャネル列６１，６２を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の上面に接合されている。カバープレート５４において、各チャネル列６１，６２と対応する位置には、入口共通インク室１２０及び出口共通インク室１２１がそれぞれ形成されている。
入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネル列６１の＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネル列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面上で開口している。
出口共通インク室１２１は、例えば第１チャネル列６１の－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。出口共通インク室１２１は、第１チャネル列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面上で開口している。
【0052】
入口共通インク室１２０において、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５（第１切り上がり部７５ａ）と平面視で重なる位置には、入口スリット１２５が形成されている。入口スリット１２５は、各吐出チャネル７５と、入口共通インク室１２０内と、の間を各別に連通している。
出口共通インク室１２１において、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５（第２切り上がり部７５ｂ）と平面視で重なる位置には、出口スリット１２６が形成されている。出口スリット１２６は、各吐出チャネル７５と、出口共通インク室１２１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット１２５及び出口スリット１２６は、それぞれ各吐出チャネル７５に連通する一方、非吐出チャネル７６には連通していない。
出口共通インク室１２１において、第１チャネル列６１の吐出チャネル７５（第２切り上がり部７５ｂ）と平面視で重なる位置には、出口スリット１２６が形成されている。出口スリット１２６は、各吐出チャネル７５と、出口共通インク室１２１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット１２５及び出口スリット１２６は、それぞれ各吐出チャネル７５に連通する一方、非吐出チャネル７６には連通していない。
【0053】
＜中間プレート５２＞
中間プレート５２は、各チャネル列６１，６２を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の下面に接着されている。中間プレート５２は、アクチュエータプレート５３と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されている。中間プレート５２は、Ｚ方向での厚さがアクチュエータプレート５３よりも薄い。中間プレート５２は、Ｙ方向の寸法がアクチュエータプレート５３よりも小さくなっている。したがって、中間プレート５２に対してＹ方向の両側には、アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部（尾部８１，８６）が露出する。アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部において、中間プレート５２から露出した部分は、第１フレキシブルプリント基板１００の圧着領域として機能する。なお、中間プレート５２は、圧電材料以外の材料（例えば、ポリイミドやアルミナ等の非導電材）で形成されていてもよい。
中間プレート５２は、各チャネル列６１，６２を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の下面に接着されている。中間プレート５２は、アクチュエータプレート５３と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されている。中間プレート５２は、Ｚ方向での厚さがアクチュエータプレート５３よりも薄い。中間プレート５２は、Ｙ方向の寸法がアクチュエータプレート５３よりも小さくなっている。したがって、中間プレート５２に対してＹ方向の両側には、アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部（尾部８１，８６）が露出する。アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部において、中間プレート５２から露出した部分は、第１フレキシブルプリント基板１００の圧着領域として機能する。なお、中間プレート５２は、圧電材料以外の材料（例えば、ポリイミドやアルミナ等の非導電材）で形成されていてもよい。
【0054】
＜ノズルプレート５１＞
図４に示すように、ノズルプレート５１は、中間プレート５２の下面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅が中間プレート５２と同等になっている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。
図４に示すように、ノズルプレート５１は、中間プレート５２の下面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅が中間プレート５２と同等になっている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。
【0055】
ノズルプレート５１には、Ｘ方向に延びるノズル列（第１ノズル列１４１及び第２ノズル列１４２）がＹ方向に間隔をあけて２列形成されている。
各ノズル列１４１，１４２は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔（第１ノズル孔１４５及び第２ノズル孔１４６）を有している。各ノズル孔１４５，１４６は、それぞれＸ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔１４５，１４６は、例えば下方から上方に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。図示の例において、各ノズル孔１４５，１４６の最大内径（上側開口部の内径）は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法以上に設定されている。
各ノズル列１４１，１４２は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔（第１ノズル孔１４５及び第２ノズル孔１４６）を有している。各ノズル孔１４５，１４６は、それぞれＸ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔１４５，１４６は、例えば下方から上方に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。図示の例において、各ノズル孔１４５，１４６の最大内径（上側開口部の内径）は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法以上に設定されている。
【0056】
図９は、ノズルプレート５１を取り外した状態でのヘッドチップ５０の拡大底面図である。
ここで、図８、図９に示すように、中間プレート５２のうち、平面視でノズル孔１４５，１４６と重なり合う位置には、連通孔１５０が形成されている。連通孔１５０は、複数の吐出チャネル７５及び複数のノズル孔１４５，１４６のうち、対応する吐出チャネル７５及びノズル孔１４５，１４６同士を各別に連通させている。したがって、各非吐出チャネル７６は、ノズル孔１４５，１４６には連通しておらず、中間プレート５２により下方から覆われている。なお、各連通孔１５０は、何れも同様の構成である。したがって、以下の説明では、一の連通孔１５０を例にして連通孔１５０の詳細について説明する。
ここで、図８、図９に示すように、中間プレート５２のうち、平面視でノズル孔１４５，１４６と重なり合う位置には、連通孔１５０が形成されている。連通孔１５０は、複数の吐出チャネル７５及び複数のノズル孔１４５，１４６のうち、対応する吐出チャネル７５及びノズル孔１４５，１４６同士を各別に連通させている。したがって、各非吐出チャネル７６は、ノズル孔１４５，１４６には連通しておらず、中間プレート５２により下方から覆われている。なお、各連通孔１５０は、何れも同様の構成である。したがって、以下の説明では、一の連通孔１５０を例にして連通孔１５０の詳細について説明する。
【0057】
連通孔１５０は、Ｙ方向から見て、上方から下方に向かうに従いＸ方向の幅が段々と広がる段付き形状に形成されている。具体的に、連通孔１５０は、溝部１５１と、貫通部１５２と、を備えている。
【0058】
溝部１５１は、中間プレート５２の下面から窪み、Ｙ方向に延びている。溝部１５１は、中間プレート５２の下面上で開口する下側開口部（第１開口部）１５１ａを有している。下側開口部１５１ａは、ノズル孔１４５，１４６の上側開口部を通じてノズル孔１４５，１４６内に連通している。溝部１５１におけるＹ方向の寸法は、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法と同等に設定されている。但し、溝部１５１におけるＹ方向の寸法は、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法より大きくてもよく、小さくてもよい。
溝部１５１におけるＸ方向の寸法は、ノズル孔１４５，１４６の最大内径及び吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法それぞれよりも大きい。本実施形態において、溝部１５１におけるＸ方向の寸法は、ノズル孔１４５，１４６の最大内径に対して１．５倍以上であって、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の配列ピッチ以下であることが好ましい。
溝部１５１におけるＸ方向の寸法は、ノズル孔１４５，１４６の最大内径及び吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法それぞれよりも大きい。本実施形態において、溝部１５１におけるＸ方向の寸法は、ノズル孔１４５，１４６の最大内径に対して１．５倍以上であって、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の配列ピッチ以下であることが好ましい。
【0059】
溝部１５１におけるＺ方向の寸法は、中間プレート５２におけるＺ方向の寸法に対して半分以上に設定されている。すなわち、中間プレート５２の下面から溝部１５１の底面までのＺ方向の寸法は、溝部１５１の底面から中間プレート５２の上面（貫通部１５２の上側開口部１５２ａ）までのＺ方向の寸法よりも大きい。したがって、溝部１５１の底面は、中間プレート５２におけるＺ方向の中心に対して上方に位置している。但し、溝部１５１におけるＺ方向の寸法は、適宜変更が可能である。
【0060】
貫通部１５２は、中間プレート５２のうち溝部１５１を含む領域をＺ方向に延びている。貫通部１５２は、溝部１５１と連通することで中間プレート５２を貫通している。貫通部１５２は、中間プレート５２の上面上で開口する上側開口部（上側開口部）１５２ａを有している。上側開口部１５２ａは、吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）の下側開口部を通じて吐出チャネル７５内に連通している。
【0061】
本実施形態では、貫通部１５２の全体が、溝部１５１に平面視で重なり合っている。具体的に、貫通部１５２におけるＹ方向の寸法は、溝部１５１におけるＹ方向の寸法と同等になっている。
貫通部１５２におけるＸ方向の寸法は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法以下に設定されている。本実施形態において、貫通部１５２におけるＸ方向の寸法は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法に対して７５％以上１００％以下であることが好ましく、９０％以上１００％以下であることがより好ましい。
貫通部１５２におけるＸ方向の寸法は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法以下に設定されている。本実施形態において、貫通部１５２におけるＸ方向の寸法は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法に対して７５％以上１００％以下であることが好ましく、９０％以上１００％以下であることがより好ましい。
【0062】
貫通部１５２におけるＸ方向の寸法は、溝部１５１におけるＸ方向の寸法よりも小さくなっている。本実施形態において、貫通部１５２は、溝部１５１におけるＸ方向の中央部において溝部１５１と連通している。したがって、溝部１５１は、貫通部１５２に対してＸ方向の両側に張り出している。溝部１５１の内側空間のうち、貫通部１５２に対してＸ方向の両側に位置する部分（溝部１５１の底面と、ノズルプレート５１の上面と、の間に位置する空間）は、接着剤収容部１５３を構成している。接着剤収容部１５３は、中間プレート５２にノズルプレート５１を接合する際において、余剰の接着剤が収容される。これにより、連通孔１５０のうち、吐出側貫通部７５ｃとノズル孔１４５，１４６とに平面視で重なり合う部分に接着剤が流れ込むことを抑制できる。
【0063】
［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【0064】
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。
【0065】
ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１２０及び入口スリット１２５を通して各吐出チャネル７５内に供給される。各吐出チャネル７５内に供給されたインクは、各吐出チャネル７５をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口スリット１２６を通じて出口共通インク室１２１に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。
本実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１２０及び入口スリット１２５を通して各吐出チャネル７５内に供給される。各吐出チャネル７５内に供給されたインクは、各吐出チャネル７５をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口スリット１２６を通じて出口共通インク室１２１に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。
【0066】
そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板１００，１０１を介して電極９５，９７に駆動電圧が印加される。この際、個別電極９７を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極９５を基準電位ＧＮＤとして各電極９５，９７間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル７５を画成する２つ駆動壁７０に厚み滑り変形が生じ、２つの駆動壁７０が非吐出チャネル７６側へ突出するように変形する。すなわち、各電極９５，９７間に電圧を印加することで、駆動壁７０がＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７５の容積が増大する。そして、吐出チャネル７５の容積が増大したことにより、入口共通インク室１２０内に貯留されたインクが入口スリット１２５を通じて吐出チャネル７５内に誘導される。吐出チャネル７５の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７５の内部に伝播する。圧力波がノズル孔１４５，１４６に到達したタイミングで、電極９５，９７間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁７０が復元し、一旦増大した吐出チャネル７５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７５の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクが連通孔１５０及びノズル孔１４５，１４６を通って外部に吐出されることで、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【0067】
＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。図１０は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図１１～図１４は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図であって、図８に対応する断面図である。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
図１０に示すように、ヘッドチップ５０の製造方法は、中間プレート接合工程（中間プレート積層工程）と、連通孔形成工程と、保護膜形成工程と、ノズルプレート接合工程（噴射プレート積層工程）と、を備えている。なお、各プレート５１～５４には、中間プレート接合工程以前に必要な加工は既に施しているものとする。
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。図１０は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図１１～図１４は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図であって、図８に対応する断面図である。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
図１０に示すように、ヘッドチップ５０の製造方法は、中間プレート接合工程（中間プレート積層工程）と、連通孔形成工程と、保護膜形成工程と、ノズルプレート接合工程（噴射プレート積層工程）と、を備えている。なお、各プレート５１～５４には、中間プレート接合工程以前に必要な加工は既に施しているものとする。
【0068】
図１１に示すように、中間プレート接合工程では、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４とが積層された積層体２００に対して、中間プレート５２を接合する。具体的に、中間プレート５２は、アクチュエータプレート５３の下面に対して接着剤等を介して接合する。中間プレート接合工程時において、中間プレート５２には未だ連通孔１５０は形成されていない。
【0069】
連通孔形成工程では、中間プレート５２に連通孔１５０を形成する。具体的に、連通孔形成工程は、中間プレート５２の下面のうち、平面視で吐出チャネル７５と重なり合う部分に対してレーザ加工を施すことで、中間プレート５２を貫通させる。連通孔形成工程では、初めに溝部１５１を形成する溝部形成工程を行った後、貫通部１５２を形成する貫通部形成工程を行う。図１２に示すように、溝部形成工程では、溝部１５１の形成領域に対してレーザを走査して、中間プレート５２の下面から離れる向きに窪む溝部１５１を形成する。図１３に示すように、貫通部形成工程では、中間プレート５２の下方から溝部１５１の底面に対してレーザを走査することで、中間プレート５２を貫通させる。これにより、溝部１５１が貫通部１５２を通じて吐出チャネル７５内に連通する。貫通部形成工程におけるＸ方向でのレーザの照射幅は、吐出チャネル７５におけるＸ方向の寸法以下に設定する。本実施形態のように、アクチュエータプレート５３に中間プレート５２が積層された状態で、溝部１５１及び貫通部１５２を形成することで、吐出チャネル７５と連通孔１５０との位置精度を向上させることができる。なお、連通孔形成工程は、レーザ加工の他、エッチング等で行ってもよい。
【0070】
図１４に示すように、保護膜形成工程では、吐出チャネル７５に第１保護膜１１０を形成するとともに、非吐出チャネル７６の内面に保護膜１１１を形成する。保護膜１１０，１１１は、例えば化学蒸着法（ＣＶＤ）等を用いてパラキシリレン系樹脂材料を成膜することにより行う。具体的には、積層体をチャンバ（不図示）にセットした状態で、保護膜１１０，１１１の形成材料となる原料ガスを導入する。この際、吐出チャネル７５には、スリット１２５，１２６や連通孔１５０を通じて原料ガスが導入される。吐出チャネル７５内に導入された原料ガスが吐出チャネル７５の内面に付着することで、吐出チャネル７５の内面上に第１保護膜１１０として堆積する。
非吐出チャネル７６には、非吐出側貫通部７６ａを通じて原料ガスが導入される。非吐出チャネル７６内に導入された原料ガスが非吐出チャネル７６の内面に付着することで、第２保護膜１１１として堆積される。
非吐出チャネル７６には、非吐出側貫通部７６ａを通じて原料ガスが導入される。非吐出チャネル７６内に導入された原料ガスが非吐出チャネル７６の内面に付着することで、第２保護膜１１１として堆積される。
【0071】
ノズルプレート接合工程では、ノズル孔１４５，１４６が連通孔１５０を通じて吐出チャネル７５内に連通するように、ノズルプレート５１と中間プレート５２とを貼り合わせる。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。
【0072】
なお、ヘッドチップ５０は、ウエハレベルで製造してもよい。ウエハレベルで製造する場合には、まず複数のアクチュエータプレート５３が連なるアクチュエータウエハと、複数のカバープレート５４が連なるカバーウエハと、複数の中間プレート５２が連なる中間ウエハと、を接合してウエハ接合体を形成する。その後、ウエハ接合体に対して保護膜１１０，１１１を形成した後、ウエハ接合体を切断することにより複数のヘッドチップ５０が形成される。
【0073】
このように、本実施形態では、溝部１５１の下側開口部１５１ａにおけるＸ方向の寸法は、貫通部１５２の上側開口部１５２ａにおけるＸ方向の寸法よりも大きく、上側開口部１５２ａにおけるＸ方向の寸法は、吐出チャネル７５（吐出側貫通部７５ｃ）のＸ方向の寸法以下である構成とした。
この構成によれば、上側開口部１５２ａにおけるＸ方向の寸法が、吐出側貫通部７５ｃのＸ方向の寸法以下であるため、中間プレート５２のうちアクチュエータプレート５３との接合面積を確保し易い。その結果、中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との接合強度を確保し、中間プレート５２の剥がれや中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との間を通じたインクのリーク等を抑制できる。
また、中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との接合後に、後加工として貫通部１５２を形成した場合であっても、貫通部１５２の加工時にアクチュエータプレート５３にダメージが及ぶことを抑制できる。
しかも、下側開口部１５１ａにおけるＸ方向の寸法が、上側開口部１５２ａにおけるＸ方向の寸法よりも大きいため、ノズル孔１４５，１４６と吐出チャネル７５とを直接連通させる場合に比べ、中間プレート５２とノズルプレート５１との接合時において、溝部１５１とノズル孔１４５，１４６との位置合わせが行いやすい。すなわち、溝部１５１におけるＸ方向の寸法内で、溝部１５１とノズル孔１４５，１４６との位置ずれを許容できる。その結果、ノズル孔１４５，１４６及び吐出チャネル７５間の位置決め精度を確保した上で、吐出チャネル７５の微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
その結果、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２との接合面積を確保して、ヘッドチップ５０の耐久性を向上させた上で、ノズル孔１４５，１４６と連通孔１５０との位置ずれの許容代を確保して、吐出チャネル７５の微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
この構成によれば、上側開口部１５２ａにおけるＸ方向の寸法が、吐出側貫通部７５ｃのＸ方向の寸法以下であるため、中間プレート５２のうちアクチュエータプレート５３との接合面積を確保し易い。その結果、中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との接合強度を確保し、中間プレート５２の剥がれや中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との間を通じたインクのリーク等を抑制できる。
また、中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との接合後に、後加工として貫通部１５２を形成した場合であっても、貫通部１５２の加工時にアクチュエータプレート５３にダメージが及ぶことを抑制できる。
しかも、下側開口部１５１ａにおけるＸ方向の寸法が、上側開口部１５２ａにおけるＸ方向の寸法よりも大きいため、ノズル孔１４５，１４６と吐出チャネル７５とを直接連通させる場合に比べ、中間プレート５２とノズルプレート５１との接合時において、溝部１５１とノズル孔１４５，１４６との位置合わせが行いやすい。すなわち、溝部１５１におけるＸ方向の寸法内で、溝部１５１とノズル孔１４５，１４６との位置ずれを許容できる。その結果、ノズル孔１４５，１４６及び吐出チャネル７５間の位置決め精度を確保した上で、吐出チャネル７５の微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
その結果、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２との接合面積を確保して、ヘッドチップ５０の耐久性を向上させた上で、ノズル孔１４５，１４６と連通孔１５０との位置ずれの許容代を確保して、吐出チャネル７５の微細化や狭ピッチ化を図ることができる。
【0074】
本実施形態では、中間プレート５２の厚さ方向（Ｚ方向）において、下側開口部１５１ａから溝部１５１の底面までの寸法は、溝部１５１の底面から上側開口部１５２ａまでの寸法よりも大きい構成とした。
本態様によれば、溝部１５１の深さを確保できるので、中間プレート５２とノズルプレート５１との接合時において、溝部１５１のうち貫通部１５２に対してＸ方向の外側に位置する空間を接着剤収容部１５３として利用できる。そのため、貫通部１５２に接着剤が流れ込むことを抑制し、接着剤が吐出性能に影響を及ぼすことを抑制できる。
本態様によれば、溝部１５１の深さを確保できるので、中間プレート５２とノズルプレート５１との接合時において、溝部１５１のうち貫通部１５２に対してＸ方向の外側に位置する空間を接着剤収容部１５３として利用できる。そのため、貫通部１５２に接着剤が流れ込むことを抑制し、接着剤が吐出性能に影響を及ぼすことを抑制できる。
【0075】
本実施形態に係るインクジェットヘッド５及びプリンタ１は、上述したヘッドチップ５０を備えているので、高品質で信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
【0076】
上述した第１実施形態では、連通孔形成工程として、中間プレート接合工程の後に溝部形成工程と貫通部形成工程とを有する方法について説明したが、この構成に限られない。連通孔形成工程では、図１５に示すように、中間プレート接合工程の後に少なくとも貫通部形成工程を有していればよく、溝部形成工程は中間プレート接合工程の前に行ってもよい。すなわち、中間プレート５２の接合前に溝部１５１を予め形成しておき、溝部１５１が形成された中間プレート５２をアクチュエータプレート５３に接合してもよい。中間プレート５２に溝部１５１を予め形成しておくことで、中間プレート５２の積層後、ヘッドチップ５０が完成するまでの加工時間を短縮できる。
【0077】
（第２実施形態）
図１６に示すように、第２実施形態に係るヘッドチップ５０では、連通孔１５０の平面視外形が正方形状になっている。具体的に、連通孔１５０において、溝部１５１及び貫通部１５２それぞれのＹ方向の寸法は、互いに同等であって、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法よりも小さく、ノズル孔１４５，１４６の最大内径よりも大きくなっている。なお、溝部１５１及び貫通部１５２のＸ方向及びＺ方向の寸法については、第１実施形態と同様の寸法を採用できる。
図１６に示すように、第２実施形態に係るヘッドチップ５０では、連通孔１５０の平面視外形が正方形状になっている。具体的に、連通孔１５０において、溝部１５１及び貫通部１５２それぞれのＹ方向の寸法は、互いに同等であって、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法よりも小さく、ノズル孔１４５，１４６の最大内径よりも大きくなっている。なお、溝部１５１及び貫通部１５２のＸ方向及びＺ方向の寸法については、第１実施形態と同様の寸法を採用できる。
【0078】
本実施形態によれば、貫通部１５２におけるＹ方向の寸法が、吐出側貫通部７５ｃのＹ方向（第３方向）の寸法よりも短いため、中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との接合後に、後加工として貫通部１５２を形成した場合であっても、貫通部１５２の加工時にアクチュエータプレート５３の下面にダメージが及ぶことを抑制できる。
しかも、溝部１５１及び貫通部１５２それぞれのＹ方向（第１方向、第３方向）の寸法を、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法よりも小さくすることで、連通孔形成工程において連通孔１５０の加工時間を短縮できる。これにより、製造効率を向上させることができる。
しかも、溝部１５１及び貫通部１５２それぞれのＹ方向（第１方向、第３方向）の寸法を、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法よりも小さくすることで、連通孔形成工程において連通孔１５０の加工時間を短縮できる。これにより、製造効率を向上させることができる。
【0079】
（第３実施形態）
図１７に示すように、第３実施形態に係るヘッドチップ５０では、連通孔１５０の平面視形状がＸ字状になっている。具体的に、溝部１５１におけるＹ方向の寸法は、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法よりも小さく、ノズル孔１４５，１４６の最大内径よりも大きくなっている。
図１７に示すように、第３実施形態に係るヘッドチップ５０では、連通孔１５０の平面視形状がＸ字状になっている。具体的に、溝部１５１におけるＹ方向の寸法は、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法よりも小さく、ノズル孔１４５，１４６の最大内径よりも大きくなっている。
【0080】
貫通部１５２は、中間プレート５２のうち、平面視で溝部１５１と重なり合う領域をＹ方向に跨った状態で、中間プレート５２を貫通している。すなわち、貫通部１５２は、溝部１５１と重なり合う領域で溝部１５１を通じて中間プレート５２を貫通するとともに、溝部１５１に対してＹ方向（第１方向）の両側で中間プレート５２を貫通している。貫通部１５２のうち、溝部１５１に対してＹ方向に突出した部分は、突出部１５２ｃを構成している。本実施形態において、貫通部１５２におけるＹ方向の寸法は、吐出側貫通部７５ｃにおけるＹ方向の寸法と同等になっている。
【0081】
本実施形態では、溝部１５１におけるＹ方向の寸法が貫通部１５２よりも小さくなるので、溝部１５１の加工時間を短縮できる。その結果、製造効率を向上させることができる。
しかも、貫通部１５２におけるＹ方向の寸法が溝部１５１よりも広くなるので、吐出チャネル７５内をＹ方向に沿って液体が流れる際に、貫通部１５２を吐出チャネル７５とともにインク流路として機能させることができる。これにより、インク流路の流路断面積を確保し易くなり、圧力損失を軽減できる。
しかも、貫通部１５２におけるＹ方向の寸法が溝部１５１よりも広くなるので、吐出チャネル７５内をＹ方向に沿って液体が流れる際に、貫通部１５２を吐出チャネル７５とともにインク流路として機能させることができる。これにより、インク流路の流路断面積を確保し易くなり、圧力損失を軽減できる。
【0082】
（第４実施形態）
図１８に示すように、第４実施形態に係るヘッドチップ５０では、貫通部１５２が溝部１５１に対してＹ方向（第１方向）の片側に突出している。貫通部１５２のうち、溝部１５１に対してＹ方向に突出した部分は、突出部１５２ｃを構成している。突出部１５２ｃのＹ方向の向きは、吐出チャネル７５内のうちノズル孔１４５，１４６を基準にして高圧側に一致していることが好ましい。
図１８に示すように、第４実施形態に係るヘッドチップ５０では、貫通部１５２が溝部１５１に対してＹ方向（第１方向）の片側に突出している。貫通部１５２のうち、溝部１５１に対してＹ方向に突出した部分は、突出部１５２ｃを構成している。突出部１５２ｃのＹ方向の向きは、吐出チャネル７５内のうちノズル孔１４５，１４６を基準にして高圧側に一致していることが好ましい。
【0083】
本実施形態では、上述した第３実施形態と同様の作用効果を奏することに加え、溝部１５１に対してＹ方向の両側のうち、圧力が高くなり易い方向に貫通部１５２（突出部１５２ｃ）を突出させる。これにより、Ｙ方向の片側での圧力損失を軽減した上で、貫通部１５２の加工時間を可能な限り短縮できる。
【0084】
（第５実施形態）
図１９に示すように、第５実施形態に係るヘッドチップ５０では、溝部１５１の底面に膨出部１５５が形成されている。膨出部１５５は、溝部１５１の底面のうち、貫通部１５２寄りに位置する部分（Ｘ方向の内側）に形成されている。膨出部１５５は、断面視において、三角形状に形成されている。具体的に、膨出部１５５は、Ｘ方向の内側に向かうに従い、溝部１５１の底面からの膨出量が漸次増加している。膨出部１５５は、接着剤収容部１５３に収容される接着剤が貫通部１５２内に流れ込むことを抑制する流れ止めとして機能する。なお、膨出部１５５の断面視形状は、三角形状に限らず、矩形状や半円状等、適宜変更が可能である。
図１９に示すように、第５実施形態に係るヘッドチップ５０では、溝部１５１の底面に膨出部１５５が形成されている。膨出部１５５は、溝部１５１の底面のうち、貫通部１５２寄りに位置する部分（Ｘ方向の内側）に形成されている。膨出部１５５は、断面視において、三角形状に形成されている。具体的に、膨出部１５５は、Ｘ方向の内側に向かうに従い、溝部１５１の底面からの膨出量が漸次増加している。膨出部１５５は、接着剤収容部１５３に収容される接着剤が貫通部１５２内に流れ込むことを抑制する流れ止めとして機能する。なお、膨出部１５５の断面視形状は、三角形状に限らず、矩形状や半円状等、適宜変更が可能である。
【0085】
本実施形態では、中間プレート５２とノズルプレート５１との接合時において、溝部１５１のうち膨出部１５５よりもＸ方向の外側に位置する空間を接着剤収容部１５３として利用できる。この場合、貫通部１５２に接着剤が流れ込むことを膨出部１５５によって規制できるので、接着剤が吐出性能に影響を及ぼすことを抑制できる。
【0086】
（第６実施形態）
上述した実施形態では、サイドシュートタイプのヘッドチップ５０として、アクチュエータプレート５３の上下方向がアクチュエータプレート５３の厚さ方向に一致し、吐出チャネル７５がチャネル延在方向の中央部（吐出側貫通部７５ｃ）において、アクチュエータプレート５３の厚さ方向に開口する構成について説明したが、この構成に限られない。
図２０、図２１に示すように、ヘッドチップ３００は、吐出チャネル３０１における延在方向の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプであってもよい。以下の説明において、＋Ｙ側を表面側、－Ｙ側を裏面側とし、＋Ｚ側を上方、－Ｚ側を下方として説明する場合がある。
上述した実施形態では、サイドシュートタイプのヘッドチップ５０として、アクチュエータプレート５３の上下方向がアクチュエータプレート５３の厚さ方向に一致し、吐出チャネル７５がチャネル延在方向の中央部（吐出側貫通部７５ｃ）において、アクチュエータプレート５３の厚さ方向に開口する構成について説明したが、この構成に限られない。
図２０、図２１に示すように、ヘッドチップ３００は、吐出チャネル３０１における延在方向の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプであってもよい。以下の説明において、＋Ｙ側を表面側、－Ｙ側を裏面側とし、＋Ｚ側を上方、－Ｚ側を下方として説明する場合がある。
【0087】
ヘッドチップ３００において、アクチュエータプレート３１０には、吐出チャネル３０１及び非吐出チャネル３０２が形成されている。各チャネル３０１，３０２は、アクチュエータプレート３１０において、Ｘ方向（第２方向）に交互に形成されている。
吐出チャネル３０１は、アクチュエータプレート３１０において、Ｚ方向（第１方向）に延びている。吐出チャネル３０１は、アクチュエータプレート３１０の下端面（チャネル開口面）上で開口するチャネル開口部を有している。非吐出チャネル３０２は、アクチュエータプレート３１０をＺ方向に貫通している。
吐出チャネル３０１は、アクチュエータプレート３１０において、Ｚ方向（第１方向）に延びている。吐出チャネル３０１は、アクチュエータプレート３１０の下端面（チャネル開口面）上で開口するチャネル開口部を有している。非吐出チャネル３０２は、アクチュエータプレート３１０をＺ方向に貫通している。
【0088】
カバープレート３２０は、各チャネル３０１，３０２の表面側開口部を閉塞するように、アクチュエータプレート３１０の表面に接合されている。カバープレート３２０において、吐出チャネル３０１の上端部とＹ方向から見て重なり合う位置には、共通インク室３２１が形成されている。共通インク室３２１は、例えば各チャネル３０１，３０２を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート３２０の表面上で開口している。
共通インク室３２１において、吐出チャネル３０１とＹ方向から見て重なり合う位置には、スリット３２２が形成されている。スリット３２２は、各吐出チャネル３０１の上端部と、共通インク室３２１内と、の間を各別に連通している。スリット３２２は、それぞれ各吐出チャネル３０１に連通する一方、各非吐出チャネル３０２には連通していない。
共通インク室３２１において、吐出チャネル３０１とＹ方向から見て重なり合う位置には、スリット３２２が形成されている。スリット３２２は、各吐出チャネル３０１の上端部と、共通インク室３２１内と、の間を各別に連通している。スリット３２２は、それぞれ各吐出チャネル３０１に連通する一方、各非吐出チャネル３０２には連通していない。
【0089】
中間プレート３３０は、アクチュエータプレート３１０の下端面に接着等によって固定されている。中間プレート３３０において、Ｚ方向から見て吐出チャネル３０１と重なり合う位置には、連通孔３３１が形成されている。連通孔３３１は、例えば上述した第１実施形態と同様に、溝部３３２及び貫通部３３３を有し、中間プレート３３０をＺ方向に貫通している。溝部３３２のうち、下側開口部３３２ａにおけるＸ方向の寸法は、貫通部３３３のうち上側開口部３３３ａにおけるＸ方向の寸法よりも大きくなっている。貫通部３３３のうち上側開口部３３３ａにおけるＸ方向の寸法は、吐出チャネル３０１のうちアクチュエータプレート３１０の下面上で開口するチャネル開口部のＸ方向の寸法以下になっている。なお、貫通部３３３におけるＹ方向（第３方向）の寸法は、チャネル開口部のＹ方向の寸法より大きくても、小さくてもよい。
【0090】
ノズルプレート３４０は、中間プレート３３０の下端面に接着等によって固定されている。ノズルプレート３４０には、ノズル孔３４１が形成されている。ノズル孔３４１は、連通孔３３１を通じて吐出チャネル３０１内に各別に連通している。
【0091】
本実施形態のように、エッジシュートタイプのヘッドチップ３００に本開示に係る構成を採用した場合であっても、上述した各実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【0092】
（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
【0093】
上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、吐出チャネル７５と非吐出チャネル７６とが交互に配列された構成について説明したが、これに限らない。例えば、全チャネルから順次インクを噴射する、いわゆる３サイクル方式のヘッドチップ５０に本開示を適用しても構わない。
上述した実施形態では、吐出チャネル７５と非吐出チャネル７６とが交互に配列された構成について説明したが、これに限らない。例えば、全チャネルから順次インクを噴射する、いわゆる３サイクル方式のヘッドチップ５０に本開示を適用しても構わない。
【0094】
上述した実施形態では、アクチュエータプレート５３、中間プレート５２及びノズルプレート５１が順次接合されている構成について説明したが、この構成に限られない。アクチュエータプレート５３及び中間プレート５２の間や、中間プレート５２及びノズルプレート５１の間に別の部材が設けられていてもよい。この場合、本開示に係る噴射プレート積層工程や中間プレート積層工程についても、積層対象物が被積層対象物（例えば、積層対象物が噴射孔プレートの場合、被積層対象物は中間プレート）に対して直接接合する場合に限らず、少なくとも被積層対象物に対して積層対象物が積層される構成であれば、被積層対象物上に別の部材が接合された状態で、別の部材上に積層対象物を接合してもよい。また、被積層対象物に対して積層対象物が直接積層される場合であっても、積層対象物と被積層対象物とが接合以外の方法で積層されていてもよい。
【0095】
その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【0096】
１：プリンタ（液体噴射記録装置）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０：ヘッドチップ
５１：ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２：中間プレート
５３：アクチュエータプレート
７５：吐出チャネル（噴射チャネル）
１５０：連通孔
１５１：溝部
１５１ａ：下側開口部（第１開口部）
１５２：貫通部
１５２ａ：上側開口部（第２開口部）
１５５：膨出部
３００：ヘッドチップ
３０１：吐出チャネル（噴射チャネル）
３１０：アクチュエータプレート
３３０：中間プレート
３３１：連通孔
３３２：溝部
３３２ａ：下側開口部（第１開口部）
３３３：貫通部
３３３ａ：上側開口部（第２開口部）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０：ヘッドチップ
５１：ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２：中間プレート
５３：アクチュエータプレート
７５：吐出チャネル（噴射チャネル）
１５０：連通孔
１５１：溝部
１５１ａ：下側開口部（第１開口部）
１５２：貫通部
１５２ａ：上側開口部（第２開口部）
１５５：膨出部
３００：ヘッドチップ
３０１：吐出チャネル（噴射チャネル）
３１０：アクチュエータプレート
３３０：中間プレート
３３１：連通孔
３３２：溝部
３３２ａ：下側開口部（第１開口部）
３３３：貫通部
３３３ａ：上側開口部（第２開口部）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】