特開 2023-59083 通信システム、光伝送装置および通信方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023059083

(43)【公開日】2023-04-26

(54)【発明の名称】通信システム、光伝送装置および通信方法

(51)【国際特許分類】

   H04B 10/114 20130101AFI20230419BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20230419BHJP

【ＦＩ】

H04B10/114

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021168985

(22)【出願日】2021-10-14

(71)【出願人】

【識別番号】000242600

【氏名又は名称】北陽電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002044

【氏名又は名称】弁理士法人ブライタス

(72)【発明者】

【氏名】林屋 利明

【テーマコード（参考）】

5F131

5K102

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA37

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA23

5F131DA43

5F131DC05

5F131DD02

5F131DD17

5F131DD52

5F131DD75

5F131DD82

5F131GA14

5K102AA15

5K102AL23

5K102AL28

5K102RD28

(57)【要約】

【課題】無人搬送車と基板処理装置のロードポートとの間の配線を簡素化できる通信システム、光伝送装置および通信方法を提供する。
【解決手段】通信システムは、無人搬送車と基板処理装置のロードポートとの間で信号を送受信する通信システムであって、無人搬送車と光通信可能に構成され、かつ第１通信線を介して互いに接続された複数の第１通信部を有する第１通信ユニットと、複数のロードポートにそれぞれ接続され、かつ第２通信線を介して互いに接続された複数の第２通信部を有する第２通信ユニットと、を備え、複数の第１通信部はそれぞれ、複数の第２通信部のうち予め決定された一の第２通信部とペアを構成し、複数のペアのうちの一つのペアが通信ペアに設定され、当該通信ペアを介して、複数の第１通信部と複数の第２通信部との間で信号が送受信される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

無人搬送車と基板処理装置のロードポートとの間で信号を送受信する通信システムであって、
無人搬送車と光通信可能に構成され、かつ第１通信線を介して互いに接続された複数の第１通信部を有する第１通信ユニットと、
複数のロードポートにそれぞれ接続され、かつ第２通信線を介して互いに接続された複数の第２通信部を有する第２通信ユニットと、を備え、
前記複数の第１通信部はそれぞれ、前記複数の第２通信部のうち予め決定された一の第２通信部とペアを構成し、
複数の前記ペアのうちの一つのペアが通信ペアに設定され、当該通信ペアを介して、前記複数の第１通信部と前記複数の第２通信部との間で信号が送受信される、
通信システム。

【請求項2】

前記無人搬送車は、前記複数のロードポートよりも上方に設けられた軌道に沿って移動する天井走行式無人搬送車であり、
前記複数の第１通信部は、前記複数のロードポートよりも上方において前記軌道に沿うように、かつ互いに離隔して設けられている、
請求項１に記載の通信システム。

【請求項3】

前記複数の第１通信部はそれぞれ、前記無人搬送車から受信した信号を、自身と前記ペアを構成する前記第２通信部に対して送信し、前記複数の第２通信部はそれぞれ、前記ロードポートから入力された信号を、自身と前記ペアを構成する前記第１通信部に対して送信する、
請求項１または２に記載の通信システム。

【請求項4】

前記複数の第１通信部および前記複数の第２通信部のうちの一つがマスタ通信部に設定され、前記マスタ通信部以外の全ての前記第１通信部および前記第２通信部がスレーブ通信部に設定され、
前記マスタ通信部は、ポーリング通信によって、複数の前記スレーブ通信部に対して送信要求の有無を順に確認し、
前記スレーブ通信部は、前記ポーリング通信に応答して、自身と前記ペアを構成する前記第１通信部または前記第２通信部に対して所定の信号を送信する、
請求項１から３のいずれかに記載の通信システム。

【請求項5】

マスタ通信部を備え、
前記複数の第１通信部および前記複数の第２通信部がそれぞれスレーブ通信部に設定され、
前記マスタ通信部は、ポーリング通信によって、複数の前記スレーブ通信部に対して送信要求の有無を順に確認し、
前記スレーブ通信部は、前記ポーリング通信に応答して、自身と前記ペアを構成する前記第１通信部または前記第２通信部に対して所定の信号を送信する、
請求項１から３のいずれかに記載の通信システム。

【請求項6】

前記マスタ通信部は、前記複数の第１通信部の通信履歴を記憶する、
請求項４または５に記載の通信システム。

【請求項7】

前記複数の第１通信部および前記複数の第２通信部が一つずつ順番にマスタ通信部に設定され、
前記マスタ通信部に設定された前記第１通信部または前記第２通信部は、前記複数の第１通信部および前記複数の第２通信部のうち予め決定された一つをスレーブ通信部として、送信要求の有無を確認する信号を前記スレーブ通信部に送信し、
前記スレーブ通信部は、前記マスタ通信部からの信号に応答して、自身と前記ペアを構成する前記第１通信部または前記第２通信部に対して所定の信号を送信する、
請求項１から３のいずれかに記載の通信システム。

【請求項8】

前記第１通信ユニットと前記第２通信ユニットとを接続する第３通信線を備え、
前記第１通信線、前記第２通信線および前記第３通信線はそれぞれシリアル通信線である、
請求項１から７のいずれかに記載の通信システム。

【請求項9】

請求項１から８のいずれかに記載の通信システムにおいて前記第１通信部として用いられる光伝送装置であって、
光信号を送受信する送受信部と、
第１外部装置との間で信号を送受信する通信線が接続される第１接続部と、
第２外部装置との間で信号を送受信する通信線が接続される第２接続部と、を備える、
光伝送装置。

【請求項10】

識別情報を設定する識別情報設定部を備える、
請求項９に記載の光伝送装置。

【請求項11】

無人搬送車と、基板処理装置と、前記無人搬送車と光通信可能に構成されかつ第１通信線を介して互いに接続された複数の第１通信部を有する第１通信ユニットと、前記基板処理装置の複数のロードポートにそれぞれ接続されかつ第２通信線を介して互いに接続された複数の第２通信部を有する第２通信ユニットと、を備え、前記複数の第１通信部がそれぞれ、前記複数の第２通信部のうち予め決定された一の第２通信部とペアを構成している製造システムにおいて、
複数の前記ペアのうちの一つのペアを通信ペアに設定し、当該通信ペアを介して、前記複数の第１通信部と前記複数の第２通信部との間で信号を送受信する、
通信方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、通信システム、光伝送装置および通信方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工場では、半導体ウェハを搬送するために、自動搬送システムが利用されている。自動搬送システムでは、例えば、無人搬送車によって、半導体ウェハを収納したキャリア（例えば、ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）の搬送、および基板処理装置（例えば、半導体製造装置）のロードポートに対するキャリアの受け渡し（キャリアの載置およびキャリアの受け取り）が行われる。

【0003】

無人搬送車は、基板処理装置との間で通信を行いつつ、ロードポートに対してキャリアの受け渡しを行う。例えば、無人搬送車からロードポートにキャリアを載置する際には、無人搬送車は、所定の位置に移動して、ロードポートとの通信を開始し、ロードポートがキャリアを受け入れ可能な状態であるかどうか確認する。無人搬送車は、ロードポートがキャリアを受け入れ可能な状態であることを確認した後、ロードポートにキャリアを載置する。

【0004】

従来、上記のような自動搬送システムにおいて、無人搬送車とロードポートとの間で通信を行うために、光通信が利用されている。例えば、特許文献１に開示された製造システムは、天井走行車（無人搬送車）と、複数の製造装置とを備えている。各製造装置は、複数の載置ポート（ロードポート）を備えている。天井走行車は、光ＩＯ（以下、車側光ＩＯと記載する。）を備えている。また、各載置ポートにも、光ＩＯ（以下、ポート側光ＩＯと記載する。）が接続されている。ポート側光ＩＯは、載置ポートごとに設けられている。

【0005】

特許文献１の製造システムでは、天井走行車は、車側光ＩＯおよびポート側光ＩＯを介して各載置ポートと通信を行うことによって、各載置ポートがキャリアを受け入れ可能な状態かどうかを確認できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１６－１１８８４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところで、特許文献１の製造システムにおいては、ポート側光ＩＯと載置ポートとは、有線接続されている。また、上述したように、特許文献１の製造システムでは、載置ポートごとにポート側光ＩＯを設ける必要がある。このため、特許文献１の製造システムでは、複数の載置ポートと複数のポート側光ＩＯとをそれぞれ別個に接続する必要があり、接続作業に時間がかかる。また、複数の載置ポートと複数のポート側光ＩＯとをそれぞれ接続する複数の通信線間においてノイズによる混信が発生するおそれがある。

【0008】

そこで、本発明の目的の一例は、無人搬送車と基板処理装置のロードポートとの間の配線を簡素化できる通信システム、光伝送装置および通信方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

（１）上記目的を達成するため、本発明の一側面における通信システムは、無人搬送車と基板処理装置のロードポートとの間で信号を送受信する通信システムであって、無人搬送車と光通信可能に構成され、かつ第１通信線を介して互いに接続された複数の第１通信部を有する第１通信ユニットと、複数のロードポートにそれぞれ接続され、かつ第２通信線を介して互いに接続された複数の第２通信部を有する第２通信ユニットと、を備え、複数の第１通信部はそれぞれ、複数の第２通信部のうち予め決定された一の第２通信部とペアを構成し、複数のペアのうちの一つのペアが通信ペアに設定され、当該通信ペアを介して、複数の第１通信部と複数の第２通信部との間で信号が送受信される、ことを特徴とする。

【0010】

上記の構成を有する通信システムでは、一つのペアを通信ペアに設定することで第１通信ユニットの複数の第１通信部および第２通信ユニットの複数の第２通信部を一ライン化して通信できる。これにより、無人搬送車と複数のロードポートとの間の配線を簡素化できる。具体的には、複数の第１通信部と複数の第２通信部とをそれぞれ別個に接続する必要がない。このため、第１通信ユニットと第２通信ユニットとの接続作業が容易になるとともに、第１通信ユニットと第２通信ユニットとの間で信号を送受信する際にノイズによる混信が発生することを防止することができる。

【0011】

なお、通常、隣り合うロードポート同士の間隔は、一般的に離れて設置される第１通信部と第２通信部との間隔よりも十分に小さい。また、通常、第１通信部および第２通信部は、ロードポートに対応して設けられるので、隣り合う第１通信部同士の間隔および隣り合う第２通信部同士の間隔も、離れて設置される第１通信部と第２通信部との間隔よりも十分に小さい。この点に関して、本発明では、複数の第１通信部を接続する第１通信線および複数の第２通信部を接続する第２通信線が必要になるが、上記のように複数の第１通信部と複数の第２通信部とをそれぞれ別個に接続する必要はない。例えば、複数の第１通信部と複数の第２通信部とをそれぞれ別個に長い接続線を敷設して接続する場合に比べて、それぞれの長い接続線を排することができるので、通信システム全体として通信線の合計長さを短くできる。これにより、通信システムの設置コストを低減できる。

【0012】

また、第１通信ユニットと第２通信ユニットとの間には、無人搬送車が移動するためのスペースを確保する必要がある。この点に関して、本発明では、上記のように複数の第１通信部と複数の第２通信部とをそれぞれ別個に接続する必要がない。この場合、複数の第１通信部と複数の第２通信部とをそれぞれ別個に接続する場合に比べて、通信システムのレイアウトの自由度が高くなる。これにより、第１通信ユニットと第２通信ユニットとの間に、無人搬送車が移動するためのスペースを容易に確保することができる。その結果、通信システムの設置作業が容易になる。

【0013】

（２）上記（１）の通信システムにおいて、無人搬送車は、複数のロードポートよりも上方に設けられた軌道に沿って移動する天井走行式無人搬送車であり、複数の第１通信部は、複数のロードポートよりも上方において軌道に沿うように、かつ互いに離隔して設けられていてもよい。天井走行式無人搬送車を用いる場合には、一般に、無人搬送車の軌道とロードポートとの間隔が大きくなる。この場合、ロードポートの上方の高い位置に設けられる第１通信ユニットと第２通信ユニットとの間隔も大きくなるが、本発明では、上記のように複数の第１通信部と複数の第２通信部とをそれぞれ別個に接続する必要がなく、長い接続線をそれぞれ敷設して別個に接続する必要がない。このため、離れて設置される第１通信ユニットと第２通信ユニットとの間隔が大きくなったとしても、複数の第１通信部と複数の第２通信部とをそれぞれ別個に接続する場合に比べて、第１通信ユニットと第２通信ユニットとを容易に接続することができる。また、通信システム全体として通信線の合計長さを十分に短くできる。

【0014】

（３）上記（１）または（２）の通信システムにおいて、複数の第１通信部はそれぞれ、無人搬送車から受信した信号を、自身とペアを構成する第２通信部に対して送信し、複数の第２通信部はそれぞれ、ロードポートから入力された信号を、自身とペアを構成する第１通信部に対して送信してもよい。本発明では、複数の第１通信部および複数の第２通信部を一ライン化できるので、通信ペア以外のペアについては、第１通信部と第２通信部とを通信線等によって直接接続しなくても、ペアを構成する第１通信部と第２通信部との間で信号を適切に送受信できる。

【0015】

（４）上記（１）から（３）のいずれかの通信システムにおいて、複数の第１通信部および複数の第２通信部のうちの一つがマスタ通信部に設定され、マスタ通信部以外の全ての第１通信部および第２通信部がスレーブ通信部に設定され、マスタ通信部は、ポーリング通信によって、複数のスレーブ通信部に対して送信要求の有無を順に確認し、スレーブ通信部は、ポーリング通信に応答して、自身とペアを構成する第１通信部または第２通信部に対して所定の信号を送信してもよい。この場合、複数の第１通信部および複数の第２通信部から同時に信号が送信されることを防止できる。これにより、複数の第１通信部および複数の第２通信部が一ライン化されている場合でも、混信の発生をより適切に防止できる。

【0016】

（５）上記（１）から（３）のいずれかの通信システムにおいて、マスタ通信部を備え、複数の第１通信部および複数の第２通信部がそれぞれスレーブ通信部に設定され、マスタ通信部は、ポーリング通信によって、複数のスレーブ通信部に対して送信要求の有無を順に確認し、スレーブ通信部は、ポーリング通信に応答して、自身とペアを構成する第１通信部または第２通信部に対して所定の信号を送信してもよい。この場合、複数の第１通信部および複数の第２通信部から同時に信号が送信されることを防止できる。これにより、複数の第１通信部および複数の第２通信部が一ライン化されている場合でも、混信の発生をより適切に防止できる。

【0017】

（６）上記（４）または（５）の通信システムにおいて、マスタ通信部は、複数の第１通信部の通信履歴を記憶してもよい。この場合、第１通信部の通信履歴の管理が容易になる。

【0018】

（７）上記（１）から（３）のいずれかの通信システムにおいて、複数の第１通信部および複数の第２通信部が一つずつ順番にマスタ通信部に設定され、マスタ通信部に設定された第１通信部または第２通信部は、複数の第１通信部および複数の第２通信部のうち予め決定された一つをスレーブ通信部として、送信要求の有無を確認する信号をスレーブ通信部に送信し、スレーブ通信部は、マスタ通信部からの信号に応答して、自身とペアを構成する第１通信部または第２通信部に対して所定の信号を送信してもよい。この場合、複数の第１通信部および複数の第２通信部から同時に信号が送信されることを防止できる。これにより、複数の第１通信部および複数の第２通信部が一ライン化されている場合でも、混信の発生をより適切に防止できる。

【0019】

（８）上記（１）から（７）のいずれかの通信システムにおいて、第１通信ユニットと第２通信ユニットとを接続する第３通信線を備え、第１通信線、第２通信線および第３通信線はそれぞれシリアル通信線であってもよい。この場合、通信システムの配線を十分に簡素化できる。

【0020】

（９）上記目的を達成するため、本発明の一側面における光伝送装置は、上記（１）から（８）のいずれかの通信システムにおいて第１通信部として用いられる光伝送装置であって、光信号を送受信する送受信部と、第１外部装置との間で信号を送受信するための通信線が接続される第１接続部と、第２外部装置との間で信号を送受信するための通信線が接続される第２接続部と、を備えることを特徴とする。

【0021】

上記の構成の光伝送装置を上述の通信システムの第１通信部として用いる場合、第１接続部と第２接続部とを用いることによって、複数の第１通信部を容易に一ライン化できる。

【0022】

（１０）上記（９）の光伝送装置において、識別情報を設定する識別情報設定部を備えていてもよい。この場合、複数の第１通信部の識別情報（ペアを特定するための識別情報）の設定が容易になる。

【0023】

（１１）上記目的を達成するため、本発明の一側面における通信方法は、無人搬送車と、基板処理装置と、無人搬送車と光通信可能に構成されかつ第１通信線を介して互いに接続された複数の第１通信部を有する第１通信ユニットと、基板処理装置の複数のロードポートにそれぞれ接続されかつ第２通信線を介して互いに接続された複数の第２通信部を有する第２通信ユニットと、を備え、複数の第１通信部がそれぞれ、複数の第２通信部のうち予め決定された一の第２通信部とペアを構成している製造システムにおいて、複数のペアのうちの一つのペアを通信ペアに設定し、当該通信ペアを介して、複数の第１通信部と複数の第２通信部との間で信号を送受信する、ことを特徴とする。

【0024】

上記の通信方法では、第１通信ユニットの複数の第１通信部および第２通信ユニットの複数の第２通信部を一ライン化した状態で、無人搬送車と複数のロードポートとの間で信号を送受信できる。

【発明の効果】

【0025】

本発明によれば、無人搬送車と基板処理装置のロードポートとの間の配線を簡素化できる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る通信システムを利用した製造システムを示す概略図である。

【図2】図２は、第１通信部（光伝送装置）の構成の一例を示す概略ブロック図である。

【図3】図３は、第２通信部の構成の一例を示す概略ブロック図である。

【図4】図４は、ポーリング通信を利用した通信例を説明するための図である。

【図5】図５は、複数の第１通信部および複数の第２通信部が一つずつ順番にマスタ通信部に設定される場合の通信例を説明するための図である。

【図6】図６は、通信システムの変形例を示す図である。

【図7】図７は、通信システムの他の変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、本発明の実施形態に係る通信システムおよび通信方法について図面を用いて説明する。

【0028】

（製造システムの概要）
図１は、本発明の一実施形態に係る通信システムを利用した製造システムを示す概略図である。図１に示すように、製造システム１は、通信システム１０と、基板処理装置１００と、搬送設備２００とを備えている。基板処理装置１００および搬送設備２００としては、公知の種々の基板処理装置および搬送設備を用いることができるので、まず、基板処理装置１００および搬送設備２００について簡単に説明する。

【0029】

基板処理装置１００は、半導体製品の基板に表面処理等の所定の処理を行う装置である。基板処理装置１００は、複数のロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄを備えている。各ロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄには、複数の基板を収容したキャリア（図示せず。例えば、ＦＯＵＰ。）が載置される。製造システム１では、ロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄ上に載置されたキャリアを介して、基板処理装置１００への基板の搬入および基板処理装置１００からの基板の搬出が行われる。

【0030】

搬送設備２００は、軌道２０２および軌道２０２に沿って走行する無人搬送車２０４を備えている。軌道２０２は、複数のロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄよりも上方に設けられている。本実施形態では、軌道２０２は、例えば、工場の天井に設置されたレールであり、無人搬送車２０４は、例えば、天井走行式無人搬送車（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）である。無人搬送車２０４は、例えば、ホイスト機構を有している。無人搬送車２０４は、軌道２０２に沿ってキャリア（図示せず）を搬送するとともに、ホイスト機構を用いて任意のロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄに対してキャリアの受け渡しを行う。

【0031】

無人搬送車２０４は、後述する第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと光無線通信を行う光伝送装置２０４ａを備えている。また、無人搬送車２０４は、有線または無線のネットワーク（図示せず）を介してホストコンピュータ（図示せず。）に接続されており、無人搬送車２０４の動作は、ホストコンピュータによって管理されている。無人搬送車２０４は、ホストコンピュータから与えられる指令に基づいて、キャリアの搬送およびロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄに対するキャリアの受け渡しを行う。なお、ホストコンピュータによる無人搬送車２０４の動作管理は、既存の基板処理施設において行われている無人搬送車の動作管理と同様であるので、詳細な説明は省略する。

【0032】

（通信システムの構成）
次に、通信システム１０について詳細に説明する。通信システム１０は、第１通信ユニット１２と、第２通信ユニット１４と、第１通信ユニット１２および第２通信ユニット１４を接続する通信線１６とを備えている。本実施形態では、通信線１６が第３通信線に対応する。通信線１６は、例えば、シリアル通信線であり、第１通信ユニット１２および第２通信ユニット１４は、互いにシリアル通信できるように接続されている。なお、通信線１６としては、例えば、モジュラーケーブル等の公知の種々のシリアル通信が可能な通信線を利用できる。

【0033】

第１通信ユニット１２は、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを有している。第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄはそれぞれ、無人搬送車２０４の光伝送装置２０４ａと光通信可能に構成された光伝送装置である。本実施形態では、第１通信部１２ａは、無人搬送車２０４との間でパラレル通信を行う。

【0034】

第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、ロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄよりも上方において軌道２０２に沿うように、かつ互いに離隔して設けられている。より具体的には、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、ロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄの上方にそれぞれ位置付けられている。

【0035】

第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、複数の通信線５０ａ，５０ｂ，５０ｃによって互いに接続されている。本実施形態では、通信線５０ａ，５０ｂ，５０ｃがそれぞれ第１通信線に対応する。通信線５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、例えば、シリアル通信線であり、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、互いにシリアル通信できるように接続されている。なお、通信線５０ａ，５０ｂ，５０ｃとしては、例えば、モジュラーケーブル等の公知の種々のシリアル通信が可能な通信線を利用できる。

【0036】

図２は、第１通信部（光伝送装置）１２ａの構成の一例を示す概略ブロック図である。図２に示すように、第１通信部１２ａは、送受信部２０、制御部２２、一対の接続部２４および識別情報設定部２６を備えている。本実施形態では、一対の接続部２４のうちの一方が第１接続部に対応し、他方が第２接続部に対応する。

【0037】

送受信部２０は、無人搬送車２０４の光伝送装置２０４ａ（図１参照）との間で光信号を送受信する。本実施形態では、送受信部２０は、例えば、ＬＥＤ等の発光素子、フォトダイオード等の受光素子、および送受信回路を備え、電気信号を光信号に変換して無人搬送車２０４に送信するとともに、無人搬送車２０４から受信した光信号を電気信号に変換する。送受信部２０の構成としては、公知の光伝送装置の構成を利用できる。

【0038】

制御部２２は、ＣＰＵ、記憶部（ＲＡＭ、ＲＯＭ）およびドライバ等を含み、信号の送受信を制御する。本実施形態では、制御部２２は、送受信部２０から入力されたパラレル信号をシリアル信号に変換し、接続部２４から入力されたシリアル信号をパラレル信号に変換する。また、制御部２２は、第１通信部１２ａの識別情報を設定する。本実施形態では、制御部２２は、ユーザによる識別情報設定部２６の操作に応じて、第１通信部１２ａの識別情報を設定する。識別情報設定部２６としては、例えば、ディップスイッチを用いることができる。なお、制御部２２の構成としては、公知の光伝送装置の構成を利用できる。

【0039】

詳細な説明は省略するが、第１通信部（光伝送装置）１２ａにおいて識別情報が予め設定されていてもよい。例えば、第１通信部（光伝送装置）１２ａが備えるＲＯＭ等の記憶部に識別情報が予め記憶されていてもよい。この場合、識別情報設定部は設けられなくてもよい。第１通信部１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄについても同様である。

【0040】

一対の接続部２４は、外部装置との間で信号を送受信するための通信線を接続できるように構成されている。本実施形態では、一対の接続部２４の一方には通信線１６が接続され、他方には通信線５０ａが接続される。本実施形態では、一方の接続部２４は、通信線１６を介して第１外部装置としての第２通信部１４ａ（図１参照）に接続され、他方の接続部２４は、通信線５０ａを介して第２外部装置としての第１通信部１２ｂ（図１参照）に接続される。

【0041】

なお、詳細な説明は省略するが、第１通信部１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、第１通信部１２ａと同様に、送受信部２０、制御部２２、一対の接続部２４および識別情報設定部２６を備えている。第１通信部１２ｂの一方の接続部２４には通信線５０ａが接続され、他方の接続部２４には通信線５０ｂが接続される。第１通信部１２ｃの一方の接続部２４には通信線５０ｂが接続され、他方の接続部２４には通信線５０ｃが接続される。第１通信部１２ｄの一方の接続部２４には通信線５０ｃが接続される。

【0042】

上記のように、本実施形態では、第１通信部１２ａの一の接続部２４、通信線５０ａ、第１通信部１２ｂの一対の接続部２４、通信線５０ｂ、第１通信部１２ｃの一対の接続部２４、通信線５０ｃ、および第１通信部１２ｄの一の接続部２４によって、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを一ライン化できる。

【0043】

図１に示すように、第２通信ユニット１４は、複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを有している。複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、ロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄとの間で信号を送受信する。

【0044】

第１通信ユニット１２の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄはそれぞれ、第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄのうちの予め決定された一つとペアを構成する。本実施形態では、第１通信部１２ａと第２通信部１４ａとがペア３０ａを構成し、第１通信部１２ｂと第２通信部１４ｂとがペア３０ｂを構成し、第１通信部１２ｃと第２通信部１４ｃとがペア３０ｃを構成し、第１通信部１２ｄと第２通信部１４ｄとがペア３０ｄを構成している。本実施形態では、ペア３０ａが通信ペアとして機能する。

【0045】

第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、複数の通信線５２ａ，５２ｂ，５２ｃによって互いに接続されている。本実施形態では、通信線５２ａ，５２ｂ，５２ｃがそれぞれ第２通信線に対応する。通信線５２ａ，５２ｂ，５２ｃは、例えば、シリアル通信線であり、第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、互いにシリアル通信できるように接続されている。なお、通信線５２ａ，５２ｂ，５２ｃとしては、例えば、モジュラーケーブル等の公知の種々のシリアル通信が可能な通信線を利用できる。

【0046】

図３は、第２通信部１４ａの構成の一例を示す概略ブロック図である。図３に示すように、第２通信部１４ａは、一対の接続部４０、制御部４２、接続部４４および識別情報設定部４６を備えている。

【0047】

一対の接続部４０は、外部装置との間で信号を送受信するための通信線を接続できるように構成されている。本実施形態では、一対の接続部４０の一方には通信線１６が接続され、他方には通信線５２ａが接続される。本実施形態では、一方の接続部４０は、通信線１６を介して第１外部装置としての第１通信部１２ａ（図１参照）に接続され、他方の接続部４０は、通信線５２ａを介して第２外部装置としての第２通信部１４ｂ（図１参照）に接続される。

【0048】

制御部４２は、ＣＰＵ、記憶部（ＲＡＭ、ＲＯＭ）およびドライバ等を含み、信号の送受信を制御する。本実施形態では、制御部４２は、接続部４０から入力されたシリアル信号をパラレル信号に変換し、接続部４４から入力されたパラレル信号をシリアル信号に変換する。また、制御部４２は、第２通信部１４ａの識別情報を設定する。本実施形態では、制御部４２は、ユーザによる識別情報設定部４６の操作に応じて、第２通信部１４ａの識別情報を設定する。識別情報設定部４６としては、例えば、ディップスイッチを用いることができる。

【0049】

接続部４４は、ロードポート１０２ａに接続される。本実施形態では、接続部４４は、ロードポート１０２ａとの間でパラレル通信を行う。

【0050】

なお、詳細な説明は省略するが、第２通信部１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、第２通信部１４ａと同様に、一対の接続部４０、制御部４２、接続部４４および識別情報設定部４６を有している。第２通信部１４ｂの一方の接続部４０には通信線５２ａが接続され、他方の接続部４０には、通信線５２ｂが接続される。第２通信部１４ｂの接続部４４は、ロードポート１０２ｂに接続される。第２通信部１４ｃの一方の接続部４０には通信線５２ｂが接続され、他方の接続部４０には、通信線５２ｃが接続される。第２通信部１４ｃの接続部４４は、ロードポート１０２ｃに接続される。第２通信部１４ｄの一方の接続部４０には通信線５２ｃが接続される。第２通信部１４ｄの接続部４４は、ロードポート１０２ｄに接続される。

【0051】

上記のように、本実施形態では、第２通信部１４ａの一の接続部４０、通信線５２ａ、第２通信部１４ｂの一対の接続部４０、通信線５２ｂ、第２通信部１４ｃの一対の接続部４０、通信線５２ｃ、および第２通信部１４ｄの一の接続部４０によって、第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを一ライン化できる。

【0052】

図１を参照して、無人搬送車２０４は、ロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄを介して基板処理装置１００が備える制御装置（図示せず）と通信を行いつつ、ロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄとの間でキャリアの受け渡しを行う。例えば、基板処理装置１００にキャリアを搬送する際には、無人搬送車２０４は、図示しないホストコンピュータの指令に基づいて、キャリアの搬送対象となるロードポートの上方に移動する。そして、無人搬送車２０４は、当該ロードポートとの間で、キャリアの受け渡しに必要な信号を送受信しながら、キャリアの受け渡しを行う。

【0053】

本実施形態では、例えば、無人搬送車２０４は、複数のペア３０ａ～３０ｄのうち、キャリアの搬送対象となるロードポートに対応するペアを介して、当該ロードポートとの間で信号を送受信する。例えば、ロードポート１０２ａにキャリアを搬送する際には、無人搬送車２０４は、ロードポート１０２ａに対応するペア３０ａを介して、ロードポート１０２ａとの間で信号を送受信する。詳細な説明は省略するが、無人搬送車２０４とロードポート（基板処理装置１００）との間の通信は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）のＥ８４規格のインターロックシーケンスに従って行われる。

【0054】

なお、本実施形態では、上述したように、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、複数の通信線５０ａ，５０ｂ，５０ｃによって一ライン化されており、第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、複数の通信線５２ａ，５２ｂ，５２ｃによって一ライン化されている。また、ペア３０ａを構成する第１通信部１２ａおよび第２通信部１４ｂが通信線１６によって通信可能に接続されている。すなわち、本実施形態では、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが、通信線１６，５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５２ａ，５２ｂ，５２ｃによって一ライン化されている。

【0055】

上記の構成により、無人搬送車２０４から第１通信部１２ａに与えられた信号およびロードポート１０２ａから第２通信部１４ａに与えられた信号だけでなく、無人搬送車２０４から第１通信部１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに与えられた信号およびロードポート１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄから第２通信部１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに与えられた信号も、ペア３０ａおよび通信線１６を介して送受信できる。

【0056】

例えば、ロードポート１０２ｂにキャリアを搬送する場合には、無人搬送車２０４は、ロードポート１０２ｂの上方に移動した後、ペア３０ｂ（通信部１２ｂ，１４ｂ）およびペア３０ａ（通信部１２ａ，１４ａ）を介して、ロードポート１０２ｂとの間で所定の信号を送受信する。具体的には、第１通信部１２ｂは、光通信によって無人搬送車２０４から与えられた信号を、通信線５０ａ、第１通信部１２ａ、通信線１６、第２通信部１４ａ、通信線５２ａおよび第２通信部１４ｂを介して、ロードポート１０２ｂに送信する。また、第２通信部１４ｂは、ロードポート１０２ｂから与えられた信号を、通信線５２ａ、第２通信部１４ａ、通信線１６、第１通信部１２ａ、通信線５０ａおよび第１通信部１２ｂを介して、無人搬送車２０４に送信する。

【0057】

このように、本実施形態では、第１通信部１２ｂおよび第２通信部１４ｂ、第１通信部１２ｃおよび第２通信部１４ｃ、並びに第１通信部１２ｄおよび第２通信部１４ｄを、通信線等によって直接的に通信可能な状態に設定することなく、第１通信部１２ａおよび第２通信部１４ａを介して、第１通信部１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと第２通信部１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとの間で信号を送受信できる。言い換えると、本実施形態では、複数のペア３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄのうち、一つのペア（本実施形態ではペア３０ａ）を構成する第１通信部および第２通信部を直接的に通信可能な構成とすることにより、他のペアを構成する第１通信部および第２通信部間の通信が可能になる。これにより、無人搬送車２０４とロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄとの間の配線を簡素化できる。この場合、第１通信ユニット１２と第２通信ユニット１４との接続作業が容易になるとともに、第１通信ユニット１２と第２通信ユニット１４との間で信号を送受信する際にノイズによる混信が発生することを防止することができる。

【0058】

なお、本実施形態では、第１通信部１２ａ～１２ｄと第２通信部１４ａ～１４ｄとの間隔に比べて、隣り合う第１通信部同士の間隔および隣り合う第２通信部同士の間隔は、十分に小さい。この点に関して、本実施形態では、第１通信部１２ａ～１２ｄを接続する通信線５０ａ～５０ｃおよび第２通信部１４ａ～１４ｄを接続する通信線５２ａ～５２ｃが必要になるが、上記のように第１通信部１２ａ～１２ｄと第２通信部１４ａ～１４ｄとをそれぞれ別個に長い接続線を敷設して接続する必要はない。この場合、第１通信部１２ａ～１２ｄと第２通信部１４ａ～１４ｄとをそれぞれ別個に接続する場合に比べて、それぞれの長い接続線を排することができるので、通信システム１０全体として通信線の合計長さを短くできる。これにより、通信システム１０の設置コストを低減できる。

【0059】

また、本実施形態では、第１通信ユニット１２と第２通信ユニット１４との間には、無人搬送車２０４が移動するためのスペースを確保する必要がある。この点に関して、本実施形態では、上記のように第１通信部１２ａ～１２ｄと第２通信部１４ａ～１４ｄとをそれぞれ別個に接続する必要がない。この場合、第１通信部１２ａ～１２ｄと第２通信部１４ａ～１４ｄとをそれぞれ別個に接続する場合に比べて、通信システム１０のレイアウトの自由度が高くなる。これにより、第１通信ユニット１２と第２通信ユニット１４との間に、無人搬送車２０４が移動するためのスペースを容易に確保することができる。その結果、通信システム１０の設置作業が容易になる。

【0060】

また、本実施形態では、天井走行式の無人搬送車２０４が用いられている。このため、無人搬送車２０４の軌道とロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄとの間隔が大きくなる。この場合、第１通信ユニット１２と第２通信ユニット１４との間隔も大きくなるが、本実施形態では、上記のように第１通信部１２ａ～１２ｄと第２通信部１４ａ～１４ｄとをそれぞれ別個に接続する必要がなく、長い接続線をそれぞれ敷設して別個に接続する必要がない。このため、第１通信ユニット１２と第２通信ユニット１４との間隔が大きくなったとしても、第１通信ユニット１２と第２通信ユニット１４とを容易に接続することができる。また、通信システム１０全体として通信線の合計長さを十分に短くできる。これにより、通信システム１０の設置コストを低減できる。

【0061】

（通信システムによる通信の例）
なお、搬送設備が複数の無人搬送車を備えている場合には、複数の無人搬送車が、複数の第１通信部に対して同時または短時間の間に信号を送信することがあり得る。また、複数のロードポートが、複数の第２通信部に対して同時または短時間の間に信号を送信することがあり得る。このような場合には、複数の第１通信部が同時に信号を出力したり、複数の第２通信部が同時に信号を出力したりすることによって、混信が発生するおそれがある。そこで、本実施形態に係る通信システム１０においては、このような混信の発生を防止するために、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに対して、信号を発信する機会を順番に与えている。

【0062】

具体的には、本実施形態に係る通信システム１０では、複数の第１通信部および複数の第２通信部のうちの一つをマスタ通信部に設定し、他の全ての第１通信部および第２通信部をスレーブ通信部に設定する。そして、マスタ通信部は、ポーリング通信によって、複数のスレーブ通信部に対して送信要求の有無を順に確認し、スレーブ通信部は、ポーリング通信に応答して、自身とペアを構成する第１通信部または第２通信部に対して所定の信号を送信する。以下、ポーリング通信を利用した通信システム１０の通信方法の一例を説明する。

【0063】

図４は、ポーリング通信を利用した通信例を説明するための図である。なお、図４には、第２通信部１４ａをマスタ通信部に設定し、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび第２通信部１４ｂ，１４ｃ，１４ｄをスレーブ通信部に設定した場合の通信例を示している。また、図４には、無人搬送車２０４（図１参照）がロードポート１０２ｂ（図１参照）との間で信号を送受信する場合の通信例を示している。なお、下記に示す通信例は、まず、無人搬送車２０４から第１通信部１２ｂを介してロードポート１０２ｂに対して信号が送信され、ロードポート１０２ｂが、無人搬送車２０４から送信された信号に応答して、第２通信部１４ｂを介して無人搬送車２０４に対して信号を送信することを前提とする。

【0064】

図４に示す通信例では、第２通信部（マスタ通信部）１４ａの制御部４２（図３参照）は、第１通信部１２ａ、第１通信部１２ｂ、第１通信部１２ｃ、第１通信部１２ｄ、第２通信部１４ｂ、第２通信部１４ｃおよび第２通信部１４ｄに対して、この順番で、送信要求の有無を確認するための信号（図４において、番号１、２、５、６、７、１０および１１の確認信号）を送信する。なお、マスタ通信部は、所定時間ごとに確認信号をスレーブ通信部に送信してもよく、スレーブ通信部から送信すべき信号が無いことを示す信号または応答信号を受信した場合に、次の順番のスレーブ通信部に対して確認信号を送信してもよい。

【0065】

ここで、図４に示す例では、上述したように、無人搬送車２０４（図１参照）から第１通信部１２ｂに対して信号が送信されている。このため、第１通信部１２ｂは、第２通信部１４ａからの確認信号（図４において番号２の確認信号）に応答して、自身とペアを構成する第２通信部１４ｂに対して信号（図４において番号３および４の応答信号。）を送信する。第２通信部１４ｂは、入力された応答信号を、ロードポート１０２ｂ（図１参照）に送信する。

【0066】

なお、本実施形態では、第１通信部（図４では第１通信部１２ｂ）から送信される応答信号には、マスタ通信部（図４では第２通信部１４ａ）の識別情報と、送信対象である第２通信部（図４では第２通信部１４ｂ）の識別情報が付されている。これらの識別情報に基づいて、第１通信部から送信される応答信号は、マスタ通信部に送信された後、マスタ通信部から第２通信部に送信される。なお、詳細な説明は省略するが、第１通信部から送信対象である第２通信部に対して信号が直接送信されてもよい。

【0067】

また、図４に示す例では、上述したように、ロードポート１０２ｂ（図１参照）は、無人搬送車２０４からの信号に応答して、第２通信部１４ｂに対して信号を送信する。このため、第２通信部１４ｂは、第２通信部１４ａからの確認信号（図４において番号７の確認信号）に応答して、自身とペアを構成する第１通信部１２ｂに対して信号（図４において番号８および９の応答信号。）を送信する。第１通信部１２ｂは、入力された応答信号を、無人搬送車２０４に送信する。

【0068】

なお、本実施形態では、第２通信部（図４では第２通信部１４ｂ）から送信される応答信号には、マスタ通信部（図４では第２通信部１４ａ）の識別情報と、送信対象である第１通信部（図４では第１通信部１２ｂ）の識別情報が付されている。これらの識別情報に基づいて、第２通信部から送信される応答信号は、マスタ通信部に送信された後、マスタ通信部から第１通信部に送信される。なお、詳細な説明は省略するが、第２通信部から送信対象である第１通信部に対して信号が直接送信されてもよい。

【0069】

本実施形態では、上記のようにポーリング通信を利用することによって、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄから同時に信号が送信されることを防止できる。これにより、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが一ライン化されている場合でも、混信の発生を防止できる。

【0070】

なお、本実施形態に係る通信システム１０では、第１通信ユニット１２および第２通信ユニット１４が一ライン化されているので、上記のようにポーリング通信を利用する場合には、マスタ通信部の記憶部に、複数の第１通信部および複数の第２通信部の通信履歴を記憶できる。この場合、複数の第１通信部および複数の第２通信部の通信履歴の管理が容易になる。

【0071】

図４に示した例では、第２通信部１４ａがマスタ通信部に設定される場合について説明したが、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄまたは第２通信部１４ｂ，１４ｃ，１４ｄのいずれかがマスタ通信部に設定されてもよい。また、マスタ通信部が送信要求の確認を行うスレーブ通信部の順番は、上述の例に限定されない。例えば、マスタ通信部としての第２通信部１４ａが、第１通信部１２ａ、第２通信部１４ｂ、第１通信部１２ｂ、第２通信部１４ｃ、第１通信部１２ｃ、第２通信部１４ｄおよび第１通信部１２ｄに対してこの順番で、送信要求の確認を行ってもよい。

【0072】

図４には示していないが、無人搬送車またはロードポートからマスタ通信部に対して信号が送信されている場合には、マスタ通信部は、他の通信部に対して確認信号を送信するタイミングと異なるタイミングで、無人搬送車またはロードポートから入力された信号を送信対象の通信部に送信する。

【0073】

なお、上記の例では、ペア３０ａの第１通信部１２ａおよび第２通信部１４ａが通信線１６によって接続されているが、第１通信部１２ａおよび第２通信部１４ａの代わりに、他のペア３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの第１通信部および第２通信部が通信線１６によって接続されてもよい。この場合、通信線１６によって接続された第１通信部および第２通信部が通信ペアとなる。

【0074】

（変形例）
上述の実施形態では、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄのうちの一つをマスタ通信部に設定する場合について説明したが、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが一つずつ順番にマスタ通信部に設定されてもよい。図５は、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが一つずつ順番にマスタ通信部に設定される場合の通信例を説明するための図である。

【0075】

なお、図５には、第１通信部１２ａ、第２通信部１４ａ、第１通信部１２ｂ、第２通信部１４ｂ、第１通信部１２ｃ、第２通信部１４ｃ、第１通信部１２ｄおよび第２通信部１４ｄが、この順番でマスタ通信部に設定される場合の通信例を示している。なお、下記に示す通信例においても、まず、無人搬送車２０４から第１通信部１２ｂを介してロードポート１０２ｂに対して信号が送信され、ロードポート１０２ｂが、無人搬送車２０４から送信された信号に応答して、第２通信部１４ｂを介して無人搬送車２０４に対して信号を送信することを前提とする。

【0076】

図５に示す通信例では、まず、第１通信部１２ａがマスタ通信部に設定され、第１通信部１２ａから第２通信部１４ａに対して、送信要求の有無を確認するための信号（確認信号）が送信される。また、第１通信部１２ａは、マスタ通信部としての地位を譲渡することを示す信号（譲渡信号）を第２通信部１４ａに送信する。第１通信部１２ａから確認信号および譲渡信号を受けた第２通信部１４ａは、自身が送信すべき信号を有していない場合には、マスタ通信部として第１通信部１２ａに対して確認信号を送信するとともに、第１通信部１２ｂに対して譲渡信号を送信する。

【0077】

このように、本通信例では、予め設定された順番にしたがって、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに対して、確認信号および譲渡信号が順番に送信される。

【0078】

ここで、図５に示す例では、上述したように、無人搬送車２０４（図１参照）から第１通信部１２ｂに対して信号が送信されている。このため、第１通信部１２ｂは、マスタ通信部としての第２通信部１４ｂからの確認信号に応答して、自身とペアを構成する第２通信部１４ｂに対して応答信号を送信する。第２通信部１４ｂは、入力された応答信号を、ロードポート１０２ｂ（図１参照）に送信する。

【0079】

また、図５に示す例では、上述したように、ロードポート１０２ｂ（図１参照）は、無人搬送車２０４からの信号に応答して、第２通信部１４ｂに対して信号を送信する。第２通信部１４ｂは、ロードポート１０２ｂから信号が入力された状態で、マスタ通信部としての第１通信部１２ｂから確認信号を受けると、その確認信号に応答して、第１通信部１２ｂに対して応答信号を送信する。第１通信部１２ｂは、入力された応答信号を、無人搬送車２０４に送信する。

【0080】

なお、マスタ通信部は、確認信号および譲渡信号を、別個の信号として送信してもよく、一連の信号として送信してもよい。また、マスタ通信部は、所定時間ごとに繰り返し確認信号をスレーブ通信部に送信してもよい。また、マスタ通信部は、スレーブ通信部に対して確認信号を送信した後、予め設定された時間経過したときに、次の順番の通信部に対して譲渡信号を送信してもよく、スレーブ通信部から送信すべき信号が無いことを示す信号または応答信号を受信した場合に、次の順番のスレーブ通信部に対して譲渡信号を送信してもよい。

【0081】

図５に示すように複数の通信部が順にマスタ通信部に設定される場合にも、複数の通信部から同時に信号が送信されることを防止できる。これにより、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが一ライン化されている場合でも、混信の発生を防止できる。

【0082】

なお、詳細な説明は省略するが、マスタ通信部を設けずに、予め設定された順番で、複数の第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび複数の第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄから順次信号を出力するようにしてもよい。ただし、ノイズおよび混信等の影響を十分に避ける観点からは、図４および図５で説明したように、マスタ通信部を設定した通信を行うことが好ましい。

【0083】

図６は、通信システムの変形例を示す図である。図６に示す通信システム１０ａでは、第１通信部１２ａと第２通信部１４ａとが無線通信可能に構成されている。

【0084】

通信システム１０ａにおいては、第１通信部１２ａおよび第２通信部１４ａがそれぞれ無線通信機能を有し、第１通信部１２ａと第２通信部１４ａとは互いに無線通信可能に構成されている。すなわち、通信システム１０ａにおいても、上述の通信システム１０と同様に、第１通信ユニット１２および第２通信ユニット１４が一ライン化されている。これにより、通信システム１０ａにおいても、通信システム１０と同様の作用効果が得られる。また、通信システム１０ａにおいて、第１通信ユニット１２と第２通信ユニット１４とを接続する通信線が不要になるので、通信システム１０ａの設置がさらに容易になる。

【0085】

なお、通信システム１０ａにおいて、ペア３０ａの代わりに、ペア３０ｂ、ペア３０ｃまたはペア３０ｄの第１通信部と第２通信部とが無線通信可能に構成されていてもよい。また、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとは別の装置として無線通信機を設け、いずれかのペア３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを無線通信可能としてもよい。

【0086】

図７は、通信システムの他の変形例を示す図である。上述の通信システム１０では、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄのうちの一つがマスタ通信部に設定されるが、図７に示す通信システム１０ｂでは、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとは別に、マスタ通信部１８が設けられている。マスタ通信部１８と第１通信部１２ａとは、通信線１６ａによって接続され、マスタ通信部１８と第２通信部１４ａとは、通信線１６ｂによって接続されている。通信線１６ａ，１６ｂは、上述の通信線１６と同様の通信線である。

【0087】

通信システム１０ｂにおいては、第１通信部１２ａと第２通信部１４ａとが、通信線１６ａ、マスタ通信部１８および通信線１６ｂを介して接続されている。すなわち、通信システム１０ｂにおいても、上述の通信システム１０と同様に、第１通信ユニット１２および第２通信ユニット１４が一ライン化されている。これにより、通信システム１０ｂにおいても、通信システム１０と同様の作用効果が得られる。

【0088】

なお、通信システム１０ｂにおいてポーリング通信を利用する場合には、第１通信部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄおよび第２通信部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄがそれぞれ、スレーブ通信部に設定される。マスタ通信部１８の制御部は、ポーリング通信によって、複数のスレーブ通信部に対して送信要求の有無を順に確認し、スレーブ通信部は、ポーリング通信に応答して、自身とペアを構成する第１通信部または第２通信部に対して所定の信号を送信する。

【0089】

なお、上記においては、基板処理装置１００の４つのロードポート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄに対して本発明を適用する場合について説明したが、本発明が適用されるロードポートの数は４に限定されず、ロードポートの数は、２、３、または５以上であってもよい。第１通信部および第２通信部は、ロードポートに対応して設けられるので、第１通信部および第２通信部の数も、２、３、または５以上であってもよい。また、本発明は、複数の基板処理装置の複数のロードポートに対して適用することもできる。

【符号の説明】

【0090】

１ 製造システム
１０，１０ａ，１０ｂ 通信システム
１２ 第１通信ユニット
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ 第１通信部
１４ 第２通信ユニット
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ 第２通信部
１６，１６ａ，１６ｂ 通信線
１８ マスタ通信部
２０ 送受信部
２２ 制御部
２４ 接続部
２６ 識別情報設定部
３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ ペア
４０ 接続部
４２ 制御部
４４ 接続部
４６ 識別情報設定部
１００ 基板処理装置
１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ，１０２ｄ ロードポート
２００ 搬送設備
２０２ 軌道
２０４ 無人搬送車
２０４ａ 光伝送装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】