特開 2023-5958 流路チップおよび誘電泳動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023005958

(43)【公開日】2023-01-18

(54)【発明の名称】流路チップおよび誘電泳動装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/447 20060101AFI20230111BHJP

   G01N 27/00 20060101ALI20230111BHJP

   C12M 1/00 20060101ALI20230111BHJP

   C12M 1/34 20060101ALI20230111BHJP

【ＦＩ】

G01N27/447 331Z

G01N27/00 Z

C12M1/00 A

C12M1/34

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021108280

(22)【出願日】2021-06-30

(71)【出願人】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(71)【出願人】

【識別番号】515279762

【氏名又は名称】株式会社ＡＦＩテクノロジー

(74)【代理人】

【識別番号】100135013

【弁理士】

【氏名又は名称】西田 隆美

(72)【発明者】

【氏名】浦川 哲

(72)【発明者】

【氏名】真田 雅和

(72)【発明者】

【氏名】大代 京一

【テーマコード（参考）】

2G060

4B029

【Ｆターム（参考）】

2G060AA05

2G060AA15

2G060AA19

2G060AD06

2G060AE40

2G060AF07

2G060AF10

2G060AG03

2G060AG10

2G060EA06

2G060EB07

2G060HC14

2G060HC15

2G060JA10

4B029AA07

4B029FA15

4B029GB01

(57)【要約】

【課題】誘電泳動用の流路を使用せずに、流路に対する電極の性能を評価することができる技術を提供する。
【解決手段】流路チップは、基板２１と、主流路３１と、液貯留部４０と、一対の主電極３３ａ，３３ｂと、一対の検査用電極４３ａ，４３ｂとを備える。主流路３１は、基板２１の上面２１１に配置され、液体を注入することが可能である。液貯留部４０は、基板２１の上面２１１に配置され、主流路３１から離れて配置されている。液貯留部４０は、液体を注入することが可能である。一対の主電極３３ａ，３３ｂは、基板２１の上面２１１と主流路３１との間に配置されている。一対の検査用電極４３ａ，４３ｂは、基板２１の上面２１１と液貯留部４０との間に配置されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

流路チップであって、
基板と、
前記基板の一方の主面上に配置され、液体を注入することが可能な主流路と、
前記基板の前記主面上に、前記主流路から離れて配置され、液体を注入することが可能な液貯留部と、
前記基板の前記主面と前記主流路との間に配置される一対の主電極と、
前記基板の前記主面と前記液貯留部との間に配置される一対の検査用電極と、
を備える、流路チップ。

【請求項2】

請求項１に記載の流路チップであって、
前記液貯留部が、液体が流通可能な検査用流路を含み、
前記一対の検査用電極が、前記基板の前記主面と前記検査用流路との間に配置される、流路チップ。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載の流路チップであって、
前記一対の主電極のうち前記主流路と重なる第１重複部の面積が、前記一対の検査用電極のうち前記液貯留部と重なる第２重複部の面積と等しい、流路チップ。

【請求項4】

請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の流路チップであって、
前記一対の検査用電極を２組以上備える、流路チップ。

【請求項5】

請求項４に記載の流路チップであって、
前記一対の検査用電極を３組備える、流路チップ。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の流路チップであって、
前記一対の主電極と、前記一対の検査用電極とが、隣接して配置されている、流路チップ。

【請求項7】

請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の流路チップであって、
前記一対の主電極および前記一対の検査用電極の表面が、絶縁保護膜で覆われており、
前記主流路および前記液貯留部が、前記絶縁保護膜上に配置されている、流路チップ。

【請求項8】

請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の流路チップであって、
前記一対の主電極および前記一対の検査用電極が、櫛歯状を有する、流路チップ。

【請求項9】

誘電泳動装置であって、
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の流路チップと、
前記一対の主電極および前記一対の検査用電極に電圧を印加する電源部と、
を備える、誘電泳動装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流路チップおよび誘電泳動装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、誘電泳動力を利用して、回収対象を分離して捕集する流路チップが知られている。この種の流路チップは、回収対象を含む液体を注入する流路（マイクロ流路）と、液体内の回収対象を電気的に捕捉するための電極（マイクロ電極）とを備えている。このような流路チップは、例えば特許文献１に開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７－１３４０２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

流路チップの製造工程上、面内の電極を保護する絶縁保護膜の膜厚および比誘電率や、電極金属の抵抗率にはバラツキが生じ得る。また、製造過程で表面有機汚染が生じた場合にも、その有機残渣が誘電泳動力に影響を与え得る。これらは、回収対象物を捕捉できないほどの誘電泳動力の低下や、回収対象物に損傷を与えるほどの過剰な力を引き起こす可能性がある。

【0005】

電極の性能を事前に評価するため、流路に液体を注入した状態で電極の性能を検査することも考えられる。しかながら、流路に液体を注入することによって、新たに表面汚染が発生したり、パーティクル混入による流路詰り等が引き起されたりするおそれがあった。

【0006】

本発明の目的は、誘電泳動用の流路を使用せずに、流路に対する電極の性能を評価することができる技術を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するため、第１態様は、流路チップであって、基板と、前記基板の一方の主面上に配置され、液体を注入することが可能な主流路と、前記基板の前記主面上に、前記主流路から離れて配置され、液体を注入することが可能な液貯留部と、前記基板の前記主面と前記主流路との間に配置される一対の主電極と、前記基板の前記主面と前記液貯留部との間に配置される一対の検査用電極とを備える。

【0008】

第２態様は、第１態様の流路チップであって、前記液貯留部が、液体が流通可能な検査用流路を含み、前記一対の検査用電極が、前記基板の前記主面と前記検査用流路との間に配置される。

【0009】

第３態様は、第１態様または第２態様の流路チップであって、前記一対の主電極のうち前記主流路と重なる第１重複部の面積が、前記一対の検査用電極のうち前記液貯留部と重なる第２重複部の面積と等しい。

【0010】

第４態様は、第１態様から第３態様のいずれか１つの流路チップであって、前記一対の検査用電極を２組以上備える。

【0011】

第５態様は、第４態様の流路チップであって、前記一対の検査用電極を３組備える。

【0012】

第６態様は、第１態様から第５態様のいずれか１つの流路チップであって、前記一対の主電極と、前記一対の検査用電極とが、隣接して配置されている。

【0013】

第７態様は、第１態様から第６態様のいずれか１つの流路チップであって、前記一対の主電極および前記一対の検査用電極の表面が、絶縁保護膜で覆われており、前記主流路および前記液貯留部が、前記絶縁保護膜上に配置されている。

【0014】

第８態様は、第１態様から第７態様のいずれか１つの流路チップであって、前記一対の主電極および前記一対の検査用電極が、櫛歯状を有する。

【0015】

第９態様は、誘電泳動装置であって、第１態様から第８態様のいずれか１つの流路チップと、前記一対の主電極および前記一対の検査用電極に電圧を印加する電源部とを備える。

【発明の効果】

【0016】

第１態様の流路チップによると、主流路に対応する一対の主電極と、液貯留部に対応する一対の検査用電極とが同じ基板上に配置されている。このため、液貯留部に液体を注入した状態で、一対の検査用電極の性能を検査することによって、主流路および一対の主電極を使用せずに、一対の主電極の性能を適切に評価できる。

【0017】

第２態様の流路チップによると、一対の検査用電極が液貯留部の検査用流路に重ねられていることによって、一対の検査用電極が配置されている環境の条件を一対の主電極が配置されている環境の条件に近づけることができる。これにより、一対の検査用電極の検査結果に基づいて、一対の主電極の性能を適切に評価できる。

【0018】

第３態様の流路チップによると、一対の検査用電極の第２重複部の面積が一対の主電極の第１重複部の面積と同じであるため、一対の検査用電極の性能を、一対の主電極の性能と同等とすることができる。これにより、一対の検査用電極の性能の検査結果に基づいて、一対の主電極の性能を適切に評価できる。

【0019】

第４態様の流路チップによると、同一流路チップ内で製造工程上の面内バラツキが生じたとしても、複数組の検査用電極の測定結果を平均することによって、一対の主電極の性能を適切に評価できる。

【0020】

第５態様の流路チップによると、一対の検査用電極を３組にすることによって、平均誤差の把握に要する最小限のサンプル数を確保できるとともに、流路チップの大型化を抑制できる。

【0021】

第６態様の流路チップによると、一対の主電極と一対の検査用電極とが隣接して配置されているため、一対の検査用電極の配置されている環境の条件を一対の主電極が配置されている環境の条件に近づけることができる。このため、一対の検査用電極の検査結果に基づいて一対の主電極の性能を適切に評価できる。

【0022】

第７態様の流路チップによると、一対の主電極および一対の検査用電極を絶縁保護膜によって保護できる。

【0023】

第８態様の流路チップによると、一対の主電極および検査用電極が、短縮し並列化された櫛歯状であることにより、低抵抗化し均一な誘電泳動力を液中に印加することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】第１実施形態に係る誘電泳動装置を示す平面図である。

【図2】図１に示すＡ－Ａ線に沿う位置における流路チップの概略断面図である。

【図3】第２実施形態に係る流路チップの一部を示す平面図である。

【図4】図３に示すＢ－Ｂ線に沿う位置における流路チップの概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。図面においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数が誇張又は簡略化して図示されている場合がある。

【0026】

＜１． 第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る誘電泳動装置１を示す平面図である。図２は、図１に示すＡ－Ａ線に沿う位置における流路チップ１１の概略断面図である。図１に示すように、誘電泳動装置１は、流路チップ１１と、複数の電源部１３と、制御部１５とを有する。

【0027】

流路チップ１１は、試料の液体中に含まれる回収対象を、電気的に分離し、捕集する装置である。試料の液体としては、例えば、血液などの体液や、生理食塩水が想定される。また、回収対象としては、液体中に存在する物質であって、具体的には、微生物、細胞、タンパク質、核酸等などが想定される。複数の電源部１３は、流路チップ１１に配置されている各電極に電圧を印加する。制御部１５は、各電源部１３が印加する電圧を制御する。制御部１５は、ＣＰＵ等の汎用プロセッサやＲＡＭなどを有するコンピュータで構成される。なお、制御部１５は、専用回路（特定用途向け専用回路（ＡＳＩＣ）等）を備えていてもよい。

【0028】

＜流路チップ＞
図１に示すように、流路チップ１１は、基板２１と、主流路３１と、一対の主電極３３ａ，３３ｂと、液貯留部４０と、複数組（本例では、３組）の一対の検査用電極４３ａ，４３ｂとを有する。

【0029】

基板２１は、例えば、石英ガラス製である。ただし、基板２１の材料は、石英ガラスに限定されるものではなく、適宜選択し得る。基板２１は、略矩形の平板状を有する。ただし、基板２１の形状は、略矩形の平板状に限定されない。

【0030】

主流路３１は、回収対象を含む液体を注入することが可能である。図１に示すように、主流路３１は、分離流路３１１と、一対の回収流路３１３ａ，３１３ｂとを有する。分離流路３１１は、直線状に延びる細長状の流路である。分離流路３１１の一端は、第１供給部３１５に接続されている。第１供給部３１５は、分離流路３１１に流す液体を注入するための第１供給用開口部３１６を有する。主流路３１は、分離流路３１１の他端において、回収流路３１３ａと、回収流路３１３ｂとに分岐している。

【0031】

回収流路３１３ａは、分離流路３１１を流れた回収対象を回収するための流路である。回収流路３１３ｂは、分離流路３１１を流れた非回収対象を回収するための流路である。回収流路３１３ａ，３１３ｂの各一端は、分離流路３１１の他端に接続されている。回収流路３１３ａの他端は、第１回収部３１７ａに接続されている。回収流路３１３ｂの他端は、第１回収部３１７ｂに接続されている。第１回収部３１７ａは、回収流路３１３ａを流れた液体を回収するための第１回収用開口部３１８を有する。第１回収部３１７ｂは、回収流路３１３ｂを流れた液体を回収するための第１回収用開口部３１８を有する。

【0032】

図２に示すように、主電極３３ａ，３３ｂは、基板２１の上面２１１に配置されている。そして、主電極３３ａ，３３ｂの上面は、絶縁保護膜２３で覆われている。絶縁保護膜２３は、例えば酸化膜（シリコン酸化膜（ＳｉＯｘ）など）である。なお、絶縁保護膜２３は、窒化膜（シリコン窒化膜など）であってもよい。主電極３３ａ，３３ｂが絶縁保護膜２３で覆われていることによって、電極金属と液体との界面で生じる電気化学的反応を抑制し、経時的な電極金属の劣化や摩耗を抑制できる。

【0033】

絶縁保護膜２３の上面には、流路カバー２５が配置されている。流路カバー２５は、例えばＰＤＭＳ（ジメチルポリシロキサン）により形成される。流路カバー２５は、その下面に、細長に延びる凹状の流路溝２５１を有する。流路溝２５１の幅は、例えばマイクロスケールである。流路カバー２５の流路溝２５１と、絶縁保護膜２３の上面とによって、主流路３１および後述する検査用流路４１が構成される。このように、流路カバー２５が基板２の上面２１１に取り付けられることにより、主流路３１が基板２１の上面２１１に配置される。図１に示すように、基板２１は、流路カバー２５よりも幅が大きい。

【0034】

図１に示すように、主電極３３ａ，３３ｂは、主流路３１から離れて配置された第１パッド部３３１と、櫛歯状に配列された複数の第１細線部３３３とを有する。主電極３３ａ，３３ｂの各第１パッド部３３１の少なくとも一部は、流路カバー２５の外側に配置されている。また、主電極３３ａ，３３ｂの各第１パッド部３３１は、絶縁保護膜２３で覆われていない。このため、流路カバー２５の外側において、第１パッド部３３１に対して電源部１３を接続したり、第１パッド部３３１を接地したりすることが可能となっている。

【0035】

主電極３３ａ，３３ｂの複数の第１細線部３３３は、主流路３１と上下に重なるように配置されている。主電極３３ａ，３３ｂの複数の第１細線部３３３は、主流路３１の分離流路３１１に注入された液中の回収対象に電気的作用を及ぼす部分である。

【0036】

第１細線部３３３は、主流路３１の分離流路３１１と交差する方向に延びる細線状である。主電極３３ａ，３３ｂの複数の第１細線部３３３は、分離流路３１１の延びる方向において、等間隔に配置されている。また、分離流路３１１の延びる方向において、主電極３３ａの第１細線部３３３と、主電極３３ｂの第１細線部３３３とは、１本ずつ間隔をあけて交互に配置されている。具体的には、分離流路３１１の延びる方向において、５０μｍピッチで２０組の主電極３３ａの第１細線部３３３と、主電極３３ｂの第１細線部３３３とが交互に配置されている。なお、第１細線部３３３の配列ピッチおよび組数は、任意に設定され得る。

【0037】

主電極３３ａ，３３ｂの各第１細線部３３３は、分離流路３１１の延びる方向に対して例えば１０°以上６０°以下の鋭角な角度をなすように、分離流路３１１と斜めに交差する方向に延びている。

【0038】

誘電泳動装置１を使用する場合、第１供給部３１５から、主流路３１に対して回収対象を含む液体が供給される。そして、図１に示すように、主電極３３ａの第１パッド部３３１が接地され、主電極３３ｂの第１パッド部３３１に電源部１３が接続される。電源部１３は、例えばファンクションジェネレータで構成される。電源部１３は、制御部１５の制御に基づいて、主電極３３ａ，３３ｂの間に、回収対象に応じた交流電圧を印加する。回収対象に応じた交流電圧は、具体的には、回収対象に対して特異的に誘電泳動力（引力）を作用する電場を発生させる周波数であって、回収対象を破壊しない程度の大きさの電圧である。

【0039】

主電極３３ａ，３３ｂ間に電圧が印加されると、主流路３１に注入された液体中の回収対象が、主電極３３ａ，３３ｂの第１細線部３３３に引きつけられながら、主流路３１を流れることにより、回収流路３１３ａへ回収される。これに対して、誘電泳動力が作用しないか、もしくは微弱な誘導泳動力しか作用しない非回収対象は、回収流路３１３ｂへ回収される。

【0040】

液貯留部４０は、液体を貯留可能である。図１に示すように、液貯留部４０は、検査用流路４１を有する。液貯留部４０および検査用流路４１は、図２に示す主流路３１と同様に、絶縁保護膜２３上に配置されている。図１に示すように、検査用流路４１は、細長に延びる線状を有している。検査用流路４１の一端は、第２供給部４１１に接続されている。第２供給部４１１は、検査用流路４１に流す液体を供給するための第２供給用開口部４１２を有する。検査用流路４１の他端は、第２回収部４１３に接続されている。第２回収部４１３は、検査用流路４１を流れた液体を回収するための第２回収用開口部４１４を有する。

【0041】

図１に示すように、３組の検査用電極４３ａ，４３ｂは、主電極３３ａ，３３ｂと同じ基板２１上に配置されている。検査用電極４３ａ，４３ｂが主電極３３ａ，３３ｂと隣接して配置されている。検査用電極４３ａ，４３ｂは、図２に示す主電極３３ａ，３３ｂと同様に、基板２１の上面２１１に配置されている。検査用電極４３ａ，４３ｂは、基板２１の上面２１１と液貯留部４０との間に配置されている。検査用電極４３ａ，４３ｂは、絶縁保護膜２３で覆われている。このため、検査用電極４３ａ，４３ｂにおいて、電極金属と液体との界面で生じる電気化学的反応が抑制され、経時的な電極金属の劣化や摩耗を抑制できる。

【0042】

図１に示すように、検査用電極４３ａ，４３ｂは、主流路３１から離れて配置された第２パッド部４３１と、櫛歯状に配置された複数の第２細線部４３３とを有する。図１に示すように、第２パッド部４３１は、流路カバー２５の外側に配置されている。検査用電極４３ａ，４３ｂの各第２パッド部４３１は、絶縁保護膜２３で覆われていない。このため、流路カバー２５の外側において、第２パッド部４３１に対して電源部１３を接続したり、第２パッド部４３１を接地したりすることが可能となっている。

【0043】

検査用電極４３ａ，４３ｂの複数の第２細線部４３３は、検査用流路４１と上下に重なるように配置されている。検査用電極４３ａ，４３ｂの複数の第２細線部４３３は、検査用流路４１の液体に電気的作用を及ぼす部分である。

【0044】

第２細線部４３３は、検査用流路４１と交差する方向（ここでは、直交する方向）に延びる細線状である。検査用電極４３ａ，４３ｂの複数の第２細線部４３３は、検査用流路４１の延びる方向において等間隔に配置されている。また、検査用流路４１の延びる方向において、検査用電極４３ａの第２細線部４３３と、検査用電極４３ｂの第２細線部４３３とが、１つずつ交互に配置されている。

【0045】

主電極３３ａ，３３ｂのうち主流路３１と重なる部分（第１重複部３３５）の面積は、好ましくは、検査用電極４３ａ，４３ｂのうち検査用流路４１と重なる部分（第２重複部４３５）の面積と等しい。検査用電極４３ａ，４３ｂの配列ピッチおよび組数は、好ましくは、第１重複部３３５の面積と第２重複部４３５の面積とが同じとなるように、設定される。

【0046】

なお、主電極３３ａ，３３ｂの第１細線部３３３と同様に、検査用電極４３ａ，４３ｂの各第２細線部４３３は、検査用流路４１と斜めに交差する方向に延びていてもよい。

【0047】

＜流路チップ１１の製造方法について＞
続いて、流路チップ１１の製造方法について説明する。まず、基板２１の上面２１１に、真空蒸着によって所定の厚さ（例えば、１００ｎｍ）を有する電極金属の膜が成膜される。そして、フォトリソグラフィとウェットエッチングにより、電極金属の膜に所定のパターンが形成される。このパターン形成により、主電極３３ａ，３３ｂおよび３組の検査用電極４３ａ，４３ｂが基板２１の上面２１１に形成される。そして、電極のパターンニングの後、絶縁保護膜２３の形成が行われる。具体的には、スパッタリングにより、基板２１の上面２１１および電極（主電極３３ａ，３３ｂおよび３組の検査用電極４３ａ，４３ｂを含む。）の上面に、所定の厚さ（例えば、２００ｎｍ）の絶縁保護膜２３であるシリコン酸化膜（ＳｉＯｘ）が成膜される。

【0048】

絶縁保護膜２３が形成されると、フォトリソグラフィとドライエッチングとにより、主電極３３ａ，３３ｂの各第１パッド部３３１および検査用電極４３ａ，４３ｂの各第２パッド部４３１が、それぞれ形成される。その後、流路カバー２５が、基板２１に取り付けられる。具体的には、流路カバー２５と、各電極が形成された基板２１とがプラズマ処理され、両者が貼り合わされる。流路カバー２５には、主流路３１に対応する流路溝２５１および液貯留部４０（検査用流路４１）に対応する流路溝がそれぞれ形成されている。したがって、流路カバー２５の取り付けによって、基板２１上に主流路３１および液貯留部４０が形成される。

【0049】

流路チップ１１の場合、主流路３１に対応する主電極３３ａ，３３ｂと、液貯留部４０に対応する検査用電極４３ａ，４３ｂとが、同じ基板２１上に配置されている。このため、液貯留部４０に液体を入れた状態で検査用電極４３ａ，４３ｂの性能を検査することによって、主流路３１を使用せずに、主流路３１に対する主電極３３ａ，３３ｂの性能を適切に評価できる。したがって、主電極３３ａ，３３ｂの性能を評価するために、主流路３１が汚染されたり、主電極３３が詰まったりすることを抑制できる。

【0050】

流路チップ１１において、検査用電極４３ａ，４３ｂを検査することによって、流路チップ１１の製造工程上のバラツキ（絶縁保護膜の膜厚または比誘電率のバラツキ、電極金属の抵抗率などのバラツキ）、および表面有機汚染や電極欠損等の欠陥の存在を検知できる。例えば、流路チップ１１の製造過程において、検査用電極４３ａ，４３ｂを検査することによって、ユーザに提供する流路チップ１１の良品率を向上することができる。

【0051】

また、検査用電極４３ａ，４３ｂが、液貯留部４０の検査用流路４１に重ねられていることによって、検査用電極４３ａ，４３ｂが配置されている環境の条件を主電極３３ａ，３３ｂが配置されている環境の条件に近づけることができる。このため、検査用電極４３ａ，４３ｂの検査結果に基づいて、主電極３３ａ，３３ｂの性能を適切に評価できる。

【0052】

図１に示すように、検査用電極４３ａ，４３ｂが主電極３３ａ，３３ｂと隣接して配置されているため、検査用電極４３ａ，４３ｂの配置されている環境の条件を主電極３３ａ，３３ｂが配置されている環境の条件に近づけることができる。このため、検査用電極４３ａ，４３ｂの検査結果に基づいて主電極３３ａ，３３ｂの性能を適切に評価できる。

【0053】

また、検査用流路４１の断面形状および断面寸法を、主流路３１における分離流路３１１と同じとした場合、検査用電極４３ａ，４３ｂの液体を含む電極間の断面寸法が、分離流路３１１に覆われる主電極３３ａ，３３ｂと同一となる。これにより、検査用電極４３ａ，４３ｂと、主電極３３ａ，３３ｂとの間で、電極直上における流路の断面形状および断面寸法に依存する液体の抵抗や容量成分を揃えることができる。このため、検査用電極４３ａ、４３ｂの検査結果に基づいて、主電極３３ａ，３３ｂの性能を適切に評価できる。

【0054】

主電極３３ａ，３３ｂおよび検査用電極４３ａ，４３ｂが、短縮し並列化された櫛歯状であることによって、低抵抗化し均一な誘電泳動力を液中に印加することができる。

【0055】

検査用電極４３ａ，４３ｂの第２重複部４３５の面積が主電極３３ａ，３３ｂの第１重複部３３５の面積と同じであるため、検査用電極４３ａ，４３ｂの性能を、主電極３３ａ，３３ｂの性能と同等とすることができる。したがって、検査用電極４３ａ，４３ｂの検査結果に基づいて、主流路３１に対する主電極３３ａ，３３ｂの性能を適切に評価できる。

【0056】

なお、第１重複部３３５の面積と第２重複部４３５との面積が、同じであることは必須ではない。第１重複部３３５の面積と第２重複部４３５の面積が異なる場合であっても、その面積の違いに応じて、検査用電極４３ａ，４３ｂの検査結果から主電極３３ａ，３３ｂを相対的に評価することは可能である。

【0057】

流路チップ１１が、複数組の検査用電極４３ａ，４３ｂを備えている。このため、同一流路チップ１１内で製造工程上の面内バラツキが生じたとしても、複数組の検査用電極４３ａ，４３ｂの測定結果を平均化することによって、主電極３３ａ，３３ｂの性能を適切に評価できる。また、検査用電極４３ａ，４３ｂを３組にすることによって、均誤差の把握に要する最小限のサンプル数を確保できるとともに、流路チップ１１の大型化を抑制できる。

【0058】

なお、図１に示す例では、流路チップ１１は、検査用電極４３ａ，４３ｂを３組備えているが、検査用電極４３ａ，４３ｂを２組だけ、あるいは、４組以上備えていてもよい。また、流路チップ１１が、一対の検査用電極４３ａ，４３ｂを複数組備えていることは必須ではなく、一組だけ備えていてもよい。一組だけとした場合、流路チップ１１を小型化できる。

【0059】

３組の検査用電極４３ａ，４３ｂも、主電極３３ａ，３３ｂとできるだけ近接させておくことが望ましい。こうすることによって、これらの検査用電極４３ａ，４３ｂの検査結果に基づいて、主電極３３ａ，３３ｂの性能を適切に評価できるようになる。

【0060】

検査用電極４３ａ，４３ｂの検査結果に基づいて、製造上のバラツキを補正するための補正値を得ることができる。そこで、電源部１３が得られた補正値に応じた電圧を主電極３３ａ，３３ｂ間に印加するように、制御部１５が電源部１３を制御してもよい。これにより、主流路３１に注入された液体中の回収対象に、安定した誘導泳動力を付与することができる。

【0061】

＜２． 第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。なお、以降の説明において、既に説明した要素と同様の機能を有する要素については、同じ符号又はアルファベット文字を追加した符号を付して、詳細な説明を省略する場合がある。

【0062】

図３は、第２実施形態に係る流路チップ１１の一部を示す平面図である。図４は、図３に示すＢ－Ｂ線に沿う位置における流路チップ１１の概略断面図である。図３および図４は、流路チップ１１のうち、液貯留部４０ａおよび液貯留部４０ａの周辺の部分のみを示している。

【0063】

図３および図４に示すように、流路チップ１１は、図１に示す液貯留部４０の代わりに、あるいは、液貯留部４０に加えて、液貯留部４０ａを備えていてもよい。液貯留部４０ａは、液体を貯留することが可能である。図４に示すように、液貯留部４０ａは、流路カバー２５に設けられた貫通孔によって構成されている。そして、流路カバー２５は、液貯留部４０ａに液体を注入するための開口部４１２ａを有している。なお、液貯留部４０ａは、図１または図２に示す検査用流路４１のように、四方が壁で囲まれた細長に延びる管状の流路ではなく、上方が開口した凹状の穴として構成されている。

【0064】

図３および図４に示すように、流路チップ１１は、一対の検査用電極４３ｃ，４３ｄを有する。検査用電極４３ｃ，４３ｄは、櫛歯状に配置された複数の第２細線部４３３をそれぞれ有する。検査用電極４３ｃ，４３ｄの複数の第２細線部４３３は、検査用電極４３ａ，４３ｂの複数の第２細線部４３３と同様に、等間隔に配置されている。複数の第２細線部４３３は、液貯留部４０ａと基板２１との間に配置されている。複数の第２細線部４３３は、液貯留部４０ａと上下に重なるように配置されている。

【0065】

第２実施形態に係る流路チップ１１の場合、液貯留部４０ａに液体を注入した状態で検査用電極４３ｃ，４３ｄの性能を検査することによって、主電極３３ａ，３３ｂの性能を評価することが可能である。したがって、主流路３１を使用せずに、主電極３３ａ，３３ｂの性能を事前に評価することができる。

【0066】

なお、検査用電極４３ｃ，４３ｄのうち液貯留部４０ａと上下方向に重なる第２重複部４３５の面積を、主電極３３ａ，３３ｂの第１重複部３３５の面積と同じとしてもよい。これにより、検査用電極４３ｃ，４３ｄの検査結果から、主電極３３ａ，３３ｂの性能を適切に評価できる。なお、この場合、検査用電極４３ｃ，４３ｄおよびの検査結果を、検査用電極４３ｃ，４３ｄ直上の流路の断面積に依存した液体抵抗または容量成分に応じて補正してもよい。

【0067】

＜３． 変形例＞
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。

【0068】

例えば、流路チップ１１は、１つの基板２１上に、複数の主流路３１を備えてもよい。また、流路チップ１１は、１つの基板２１上に、複数組の主電極３３ａ，３３ｂを備えていてもよい。

【0069】

流路チップ１１は、１つの基板２１上に、複数の液貯留部４０（または液貯留部４０ａ）を備えていてもよい。また、各液貯留部４０（または液貯留部４０ａ）に対応する検査用電極４３ａ，４３ｂ（または検査用電極４３ｃ，４３ｄ）を備えていてもよい。

【0070】

主電極３３ａ，３３ｂにおける、主流路３１に電気的作用を及ぼす電極部分の形状は、図１に示すような櫛歯状のものに限定されるものではなく、任意に変更し得る。これと同様に、検査用電極４３ａ，４３ｂおよび検査用電極４３ｃ，４３ｄの形状も、櫛歯状のものに限定されるものではなく、任意に変更し得る。

【0071】

この発明は詳細に説明されたが、上記の説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。上記各実施形態及び各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わせたり、省略したりすることができる。

【符号の説明】

【0072】

１ 誘電泳動装置
１１ 流路チップ
２１ 基板
２３ 絶縁保護膜
３１ 主流路
３３ａ，３３ｂ 主電極
４０，４０ａ 液貯留部
４１ 検査用流路
４３ａ，４３ｂ 検査用電極
４３ｃ，４３ｄ 検査用電極
２１１ 上面（主面）
３３５ 第１重複部
４１２ａ 開口部
４３５ 第２重複部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】