特開 2023-59746 研削砥石の形状崩れ判定方法及び装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023059746

(43)【公開日】2023-04-27

(54)【発明の名称】研削砥石の形状崩れ判定方法及び装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 49/10 20060101AFI20230420BHJP

   B24B 45/00 20060101ALI20230420BHJP

   B24B 7/17 20060101ALI20230420BHJP

   B23Q 17/09 20060101ALI20230420BHJP

【ＦＩ】

B24B49/10

B24B45/00 B

B24B7/17 Z

B23Q17/09 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021169932

(22)【出願日】2021-10-15

(71)【出願人】

【識別番号】000004293

【氏名又は名称】株式会社ノリタケカンパニーリミテド

(74)【代理人】

【識別番号】100085361

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 治幸

(74)【代理人】

【識別番号】100147669

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 光治郎

(72)【発明者】

【氏名】五十君 智

(72)【発明者】

【氏名】籾井 孝平

【テーマコード（参考）】

3C029

3C034

3C043

【Ｆターム（参考）】

3C029DD16

3C034AA08

3C034BB76

3C034BB92

3C034CA24

3C034CB13

3C034DD05

3C043BC07

3C043CC04

3C043CC11

3C043DD05

3C043DD14

(57)【要約】      （修正有）

【課題】研削砥石の研削面内のうちの特定の箇所における局所的な研削抵抗の増加すなわち局所的な形状崩れの増加を行なうことができる、研削砥石の形状崩れ判定装置を、提供する。
【解決手段】評価値算出部７２において、積算強度値算出部７０により算出されたＡＥ信号の積算強度値Ｘｉを示す波形に基づいて、波形の振幅を表す差分の平均値Ｒａｖが、評価値として算出され、形状崩れ判定部７６において、評価値算出部７０により算出された差分Ｒの平均値Ｒａｖが差分用形状崩れ判定閾値ＳＰｔを超えたことに基づいて、平面研削砥石１２の端面１２ａにおける局所的な形状崩れの発生が判定される。これにより、平面研削砥石１２の端面１２ａ内の局所的な形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで平面研削砥石１２のドレッシング開始判定を、熟練を要せず行なうことができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

研削砥石の端面を研削面として複数個の被削材に順次摺接させることで前記複数個の被削材に平坦な研削面を連続的に形成する研削加工において、前記研削砥石と前記被削材との接触に起因して発生するＡＥ信号に基づいて前記研削面内の局所的な形状崩れを判定する研削砥石の形状崩れ判定方法であって、
前記研削加工中に発生するＡＥ信号の積算強度値を算出する積算強度値算出工程と、
前記積算強度値算出工程により算出された前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形に基づいて、前記波形の振幅を表す評価値を算出する評価値算出工程と、
前記評価値算出工程により算出された前記評価値の増加が予め設定された判定閾値を超えたことに基づいて、前記研削砥石の端面における形状崩れの発生を判定する形状崩れ判定工程とを、含む
ことを特徴とする研削砥石の形状崩れ判定方法。

【請求項2】

研削砥石の端面を研削面として複数個の被削材に順次摺接させることで前記複数個の被削材に平坦な研削面を連続的に形成する研削加工において、前記研削砥石と前記被削材との接触に起因して発生するＡＥ信号に基づいて前記研削面内の局所的な形状崩れを判定する研削砥石の形状崩れ判定装置であって、
前記研削加工中に発生するＡＥ信号の積算強度値を算出する積算強度値算出部と、
前記積算強度値算出部により算出された前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形に基づいて、前記波形の振幅を表す評価値を算出する評価値算出部と、
前記評価値算出部により算出された前記評価値の増加が予め設定された判定閾値を超えたことに基づいて、前記研削砥石の端面における形状崩れの発生を判定する形状崩れ判定部とを、含む
ことを特徴とする研削砥石の形状崩れ判定装置。

【請求項3】

前記評価値算出部は、前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形の極大値と極小値との差分又は比の平均値を、前記評価値として算出する
ことを特徴とする請求項２の研削砥石の形状崩れ判定装置。

【請求項4】

前記評価値算出部は、前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形の移動標準偏差を、前記評価値として算出する
ことを特徴とする請求項２の研削砥石の形状崩れ判定装置。

【請求項5】

前記研削砥石は、回転主軸とともに回転するフランジに固定されるものであり、
前記フランジには、前記フランジの径方向に異なる位置に固定され、前記ＡＥ信号を出力する一対の外周側ＡＥセンサおよび内周側ＡＥセンサと、前記ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュールとが、装着され、
前記送信モジュールから送信されたＡＥ信号を受信する受信回路と、前記積算強度値算出部、前記評価値算出部、および前記形状崩れ判定部を有し、前記受信回路から出力されたＡＥ信号を処理する電子制御装置とを、含む
ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１の研削砥石の形状崩れ判定装置。

【請求項6】

前記フランジは、前記研削砥が固定された面とは反対側の面に開口して、前記外周側ＡＥセンサおよび内周側ＡＥセンサと、前記ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュールとを収容する電子部品収容室を、備え、
前記フランジには、前記電子部品収容室の開口を閉じる蓋板が締結され、
前記蓋板の前記フランジ側とは反対側の面には、ネジ穴が設けられ、
前記フランジの回転バランスを整合するためのバランシングウエイトが前記ネジ穴に締結されている
ことを特徴とする請求項５の研削砥石の形状崩れ判定装置。

【請求項7】

前記蓋板には、前記送信モジュールから送信される電波を通過させる窓口が形成されている
ことを特徴とする請求項６の形状崩れ判定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、平面研削に際して披加工物に摺接させる平坦な研削面を端面に有する平削砥石の形状崩れを判定する、研削砥石の形状崩れ判定方法及び装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

平面研削加工においては、研削砥石の形状崩れによりスクラッチの発生、平面度・平坦度の低下、極端な偏磨耗、取り代の不足といた問題が発生する。研削砥石の形状崩れは、研削加工後に研削砥石の半径方向の断面形状を、触針式変位計やレーザー変位計を用いて測定することができるが、研削加工中に形状崩れを検知してドレッシングの開始を判定することは難しい。よって、充分な余力を持たせたドレッシングインターバルが設定されることが多く、研削砥石の寿命を減少させる原因となっていた。

【0003】

これに対して、特許文献１に記載されているように、研削砥石を回転駆動するモータの消費電力値或いは研削砥石の軸たわみ量に基づいて、研削砥石の研削抵抗の増加を検知することが行なわれている。これによれば、研削盤による研削加工を停止させなくても、研削砥石の研削抵抗の増加が所定以上となることに基づいて研削砥石のドレッシング要否を判定することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－０５３６９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記従来の形状崩れ判定装置は、回転する研削砥石の研削面全体の研削負荷の増加に基づいて研削砥石の研削面全体の形状崩れを検知するものであるので、研削砥石の研削面内のうちの特定の箇所における局所的な形状崩れを検知することができなかった。このため、研削砥石の端面を研削面として複数個の被削材を平面研削する研削加工、たとえば両頭平面研削盤に用いる研削加工において、研削面内の局所的な形状崩れを形状修正するドレッシング（ツルーイング）の開始を、適切なタイミングで判定することができなかった。

【0006】

本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、研削砥石の研削面内のうちの特定の箇所における局所的な形状崩れの増加を判定することができる、研削砥石の形状崩れ判定装置を、提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明者等は、以上の事情を背景として種々検討を重ねた結果、研削砥石の平坦な端面を研削面として複数個の被削材を順次平面研削する研削加工において、研削加工中に被削材との接触により発生するＡＥ信号（高周波振動或いは超音波振動）の積算強度値波形の振幅が時間経過とともに増加することに着目し、そのＡＥ信号の積算強度値波形の振幅増加を示す評価値が研削面内の所定の判定閾値を超えたことに基づいて、前記研削面内の特定の箇所における形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで研削砥石のドレッシング開始判定を行なうことができることを見出した。本発明は、かかる知見に基づいて為されたものである。

【0008】

すなわち、第１発明の要旨とするところは、（ａ）研削砥石の端面を研削面として複数個の被削材に順次摺接させることで前記複数個の被削材に平坦な研削面を連続的に形成する研削加工において、前記研削砥石と前記被削材との接触に起因して発生するＡＥ信号に基づいて前記研削面内の局所的な形状崩れを判定する研削砥石の形状崩れ判定方法であって、（ｂ）前記研削加工中に発生するＡＥ信号の積算強度値を算出する積算強度値算出工程と、（ｃ）前記積算強度値算出工程により算出された前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形に基づいて、前記波形の振幅を表す評価値を算出する評価値算出工程と、（ｄ）前記評価値算出工程により算出された前記評価値の増加が予め設定された判定閾値を超えたことに基づいて、前記研削砥石の端面における形状崩れの発生を判定する形状崩れ判定工程とを、含むことにある。

【0009】

第２発明の要旨とするところは、（ａ）研削砥石の端面を研削面として複数個の被削材に順次摺接させることで前記複数個の被削材に平坦な研削面を連続的に形成する研削加工において、前記研削砥石と前記被削材との接触に起因して発生するＡＥ信号に基づいて前記研削面内の局所的な形状崩れを判定する研削砥石の形状崩れ判定装置であって、（ｂ）前記研削加工中に発生するＡＥ信号の積算強度値を算出する積算強度値算出部と、（ｃ）前記積算強度値算出部により算出された前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形に基づいて、前記波形の振幅を表す評価値を算出する評価値算出部と、（ｄ）前記評価値算出部により算出された前記評価値の増加が予め設定された判定閾値を超えたことに基づいて、前記研削砥石の端面における形状崩れの発生を判定する形状崩れ判定部とを、含むことにある。

【0010】

第３発明の要旨とするところは、第２発明において、（ｄ）前記評価値算出部は、前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形の極大値と極小値との差分又は比の平均値を、前記評価値として算出することにある。

【0011】

第４発明の要旨とするところは、第２発明において、（ｄ）前記評価値算出部は、前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形の移動標準偏差を、前記評価値として算出することにある。

【0012】

第５発明の要旨とするところは、第２発明から第４発明のいずれか１の発明において、前記研削砥石は、回転主軸とともに回転するフランジに固定されるものであり、前記フランジには、前記フランジの径方向に異なる位置に固定され、前記ＡＥ信号を出力する一対の外周側ＡＥセンサおよび内周側ＡＥセンサと、前記ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュールとが、装着され、前記送信モジュールから送信されたＡＥ信号を受信する受信回路と、前記積算強度値算出部、前記評価値算出部、および前記形状崩れ判定部を有し、前記受信回路から出力されたＡＥ信号を処理する電子制御装置とを、含むことにある。

【0013】

第６発明の要旨とするところは、第５発明において、前記フランジは、前記研削砥石が固定された面とは反対側の面に開口して、前記外周側ＡＥセンサおよび内周側ＡＥセンサと、前記ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュールとを収容する電子部品収容室を、備え、前記フランジには、前記電子部品収容室の開口を閉じる蓋板が締結され、前記蓋板の前記フランジ側とは反対側の面には、ネジ穴が設けられ、前記フランジの回転バランスを整合するためのバランシングウエイトが前記ネジ穴に締結されていることにある。

【0014】

第７発明の要旨とするところは、第６発明において、前記蓋板には、前記送信モジュールから送信される電波を通過させる窓口が形成されていることにある。

【発明の効果】

【0015】

第１発明の研削砥石の形状崩れ判定方法によれば、評価値算出工程において、積算強度値算出工程により算出された前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形に基づいて、前記波形の振幅を表す評価値が算出され、形状崩れ判定工程において、評価値算出工程により算出された前記評価値の増加が予め設定された判定閾値を超えたことに基づいて、研削砥石の端面における局所的な形状崩れの発生が判定される。これにより、研削面内の特定の箇所における形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで研削砥石のドレッシング開始判定を、熟練を要せず行なうことができる。

【0016】

第２発明の研削砥石の形状崩れ判定装置によれば、評価値算出部において、積算強度値算出部により算出された前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形に基づいて、前記波形の振幅を表す評価値が算出され、形状崩れ判定部において、評価値算出部により算出された前記評価値の増加が予め設定された判定閾値を超えたことに基づいて、研削砥石の端面における局所的な形状崩れの発生が判定される。これにより、研削面内の特定の箇所における形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで研削砥石のドレッシング開始判定を、熟練を要せず行なうことができる。

【0017】

第３発明の研削砥石の形状崩れ判定装置によれば、前記評価値算出部は、前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形の極大値と極小値との差分又は比の平均値が、前記評価値として算出される。これにより、前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形の極大値と極小値との差分又は比に基づいて、研削面内の特定の箇所における形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで研削砥石のドレッシング開始判定を、熟練を要せず行なうことができる。

【0018】

第４発明の研削砥石の形状崩れ判定装置によれば、前記評価値算出部は、前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形の移動標準偏差が、前記評価値として算出される。これにより、前記ＡＥ信号の積算強度値を示す波形の移動標準偏差に基づいて、研削面内の特定の箇所における形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで研削砥石のドレッシング開始判定を、熟練を要せず行なうことができる。

【0019】

第５発明の研削砥石の形状崩れ判定装置によれば、前記研削砥石は、回転主軸とともに回転するフランジに固定されるものであり、前記フランジには、前記フランジの径方向に異なる位置に固定され、前記ＡＥ信号を出力する一対の外周側ＡＥセンサおよび内周側ＡＥセンサと、前記ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュールとが、装着され、前記送信モジュールから送信されたＡＥ信号を受信する受信回路と、前記積算強度値算出部、前記評価値算出部、および前記形状崩れ判定部を有し、前記受信回路から出力されたＡＥ信号を処理する電子制御装置とを、含む。これにより、回転する研削砥石に発生するＡＥ信号が位置固定の受信回路に受信され、電子制御装置が受信回路により受信されたＡＥ信号を処理することにより、研削面内の特定の箇所における形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで研削砥石のドレッシング開始判定を、熟練を要せず行なうことができる。

【0020】

第６発明の研削砥石の形状崩れ判定装置によれば、前記フランジは、前記研削砥石が固定された面とは反対側の面に開口して、前記外周側ＡＥセンサおよび内周側ＡＥセンサと、前記ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュールとを収容する電子部品収容室を、備え、前記フランジには、前記電子部品収容室の開口を閉じる蓋板が締結され、前記蓋板の前記フランジ側とは反対側の面には、ネジ穴が設けられ、前記フランジの回転バランスを整合するためのバランシングウエイトが前記ネジ穴に締結されている。これにより、外周側ＡＥセンサおよび内周側ＡＥセンサと前記ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器とＡ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュールとが装着されることでフランジの重心が回転中心から偏在しても、バランシングウエイトによってフランジの重心が回転中心へ近づけられるので、重心の偏在による回転振動が好適に抑制される。

【0021】

第７発明の研削砥石の形状崩れ判定装置によれば、前記蓋板には、前記送信モジュールから送信される電波を通過させる窓口が形成されている。これにより、蓋板が剛性の高い金属製であっても、送信モジュールから送信される電波が、蓋板を通して送信される。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の一実施例の両頭平面研削盤の構成を説明する図である。

【図2】図１の両頭平面研削盤の要部を簡単に説明する斜視図である。

【図3】図１の平面研削砥石が固定されるフランジの平面研削砥石側とは反対側の一面に形成された電子部品収容室、および、その電子部品収容室内に設けられた一対の外周側および内周側ＡＥセンサ、電子回路基板、一対の電源バッテリを示す図である。

【図4】図３の平面研削砥石が取り付けられるフランジを詳しく説明する断面図である。

【図5】図３のフランジの一面に形成された電子部品収容室の開口を閉じる蓋板を示す図である。

【図6】バランシングウエイトＷを図５の蓋板に着脱可能に固定する固定装置を説明する図である。

【図7】フランジ２６に装着された電子回路基板の構成を説明する図である。

【図8】図１の電子制御装置の制御作動の要部を説明するフローチャートである。

【図9】図１の電子制御装置の他の制御作動の要部を説明するフローチャートである。

【図10】図１および図２の両頭平面研削盤において、上側の平面研削砥石および下側の平面研削砥石と被削材を送るキャリアとの重なり構造を説明する平面概略図である。

【図11】図１および図２の両頭平面研削盤の研削面における、上側の平面研削砥石および下側の平面研削砥石の被削材の移動軌跡に沿った表面形状を示す図である。

【図12】図１および図２の両頭平面研削盤による研削体積２００ｃｍ^３分の研削加工後における、上側の平面研削砥石および下側の平面研削砥石の被削材の移動軌跡に沿った表面形状を示す図である。

【図13】研削初期において、図２の両頭平面研削盤の被削材の移動軌跡に沿った、一対の平面研削砥石の間隔を説明する模式図である。

【図14】研削後期において、図２の両頭平面研削盤の被削材の移動軌跡に沿った、一方の平面研削砥石と他方の平面研削砥石との間隔の変化を説明する模式図である。

【図15】外周側ＡＥセンサから得られたＡＥ信号強度の時間軸波形を示す図である。

【図16】図１５の時間軸波形の、極大値の包絡線と極小値の包絡線とを示す図である。

【図17】内周側ＡＥセンサから得られたＡＥ信号強度の時間軸波形の、極大値の包絡線と極小値の包絡線とを示す図である。

【図18】図１６の時間軸波形の極大値の包絡線と極小値との差分（評価値）の時間変化を、一対の平面研削砥石の間隔の累積補正量と共に示す図である。

【図19】図１７の時間軸波形の極大値の包絡線と極小値との差分（評価値）の時間変化を、一対の平面研削砥石の間隔の累積補正量と共に示す図である。

【図20】図１５の時間軸波形の移動標準偏差（評価値）の時間変化を、一対の平面研削砥石の間隔の累積補正量と共に示す図である。

【図21】内周側ＡＥセンサから得られたＡＥ信号強度の時間軸波形の移動標準偏差（評価値）の時間変化を、一対の平面研削砥石の間隔の累積補正量と共に示す図である。

【図22】外周側ＡＥセンサから得られたＡＥ信号から、４種の積分周波数範囲のＡＥ信号強度値を示す波形についてそれぞれ求めた研削中の移動標準偏差Ｒｍの時間変化を、それぞれ示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は発明に関連する要部を説明するものであり、寸法及び形状等は必ずしも正確に描かれていない

【実施例0024】

図１において、両頭平面研削盤１０は、相対向する一対の平面研削砥石１２および１４を相対回転可能に備え、それら平面研削砥石１２および１４の平坦な端面１２ａおよび１４ａ間で挟圧した状態で、たとえば焼入れ鋼製の円形の被削材１６の両面を平面に研削する。端面１２ａおよび１４ａは、平面研削砥石１２および１４の環状の研削面として機能している。平面研削砥石１２および１４は、後述の砥石回転駆動モータ５６および５８によって、相互に逆方向に回転駆動される。

【0025】

図２は、平面研削砥石１２および１４と、平面研削砥石１２および１４の平坦な端面間を通して円形の被削材１６を搬送する過させるキャリア１８とを示す斜視図である。キャリア１８は、円形の被削材１６を嵌め入れる円形の搬送穴２０を周方向に等間隔で備える円板であり、平面研削砥石１２および１４の垂直な第１回転中心線ＣＬ１に平行な第２回転中心線ＣＬ２まわりに、後述のワーク送りモータ５４によって回転駆動される。

【0026】

平面研削砥石１２および１４は、その裏面が、両頭平面研研削盤１０において同心且つ独立に設けられた一対の主軸２２および２４とともに一体的に回転する厚肉円板状の図３に示すフランジ２６および２８にそれぞれ密着させられた状態で、図４に示すように、平面研削砥石１２および１４に埋設された図示しないナットに貫通穴２７（図３参照）を通して螺合する図示しない締結ボルトを用いてフランジ２６および２８にそれぞれ固定されている。

【0027】

平面研削砥石１２および１４のうちの上側の平面研削砥石１２を固定するフランジ２６には、平面研削砥石１２側とは反対側の面に開口する電子部品収容室３０とが形成されている。電子部品収容室３０の開口は、たとえば図５に示す円形鋼板製の蓋板３２に押えられたシールゴム板３４により閉じられている。蓋板３２およびシールゴム板３４は、それらを貫通し且つフランジ２６の螺子穴３５に螺合する締結ボルト３７により固定されている。蓋板３２には、送信モジュール５２を含む電子回路基板４４の位置と一致するように、複数個の矩形の窓口３３のうちのいずれか１つが形成されており、送信モジュール５２から電波が外部へ送信されるようになっている。また、蓋板３２の平面研削砥石１２側とは反対側の面には、ねじ穴３８が、蓋板３２の周縁に沿って周方向に一定の間隔で複数個形成されている。図６に示す、フランジ２６の回転バランスを調節するバランシングウエイトＷを固定する固定ボルト３９が、ねじ穴３８に締結されている。

【0028】

フランジ２６に形成された電子部品収容室３０内には、一対の外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２と、電子回路基板４４と、一対の電源バッテリ４６とが、配置されている。電子回路基板４４は、図７に示すように、外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２の出力信号を増幅する前置増幅器４８、前置増幅器４８の出力信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器５０、Ａ／Ｄ変換器５０によりデジタル信号に変換された外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２の出力信号を無線で送信する送信モジュール５２を、備えている。Ａ／Ｄ変換器５０は、高分解能を有し、１０μ秒（マイクロ秒）以下のサンプリング周期、好適には５μ秒以下のサンプリング周期、さらに好適には１μ秒以下のサンプリング周期で、ＡＥ信号ＳＡＥをデジタル信号に変換する。

【0029】

外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２は、フランジ２６の一半径方向に沿って半径方向に異なる位置に配置されている。外周側ＡＥセンサ４０は、フランジ２６の回転軸線ＣＬから外周側へ向かってフランジ２６の半径の８０％以上好適には９０％の位置にあり、内周側ＡＥセンサ４２は、フランジ２６の回転軸線ＣＬから外周側へ向かってフランジ２６の半径の３５％以上且つ５０％以下好適には４０％程度の位置に配置されている。

【0030】

図１に戻って、両頭平面研削盤１０は、ワーク送りモータ５４、上側の平面研削砥石１２を回転駆動する砥石回転駆動モータ５６、および下側の平面研削砥石１４を回転駆動する砥石回転駆動モータ５８を回転駆動するモータ駆動制御装置６０と、研削起動操作に応答してモータ駆動制御装置６０に駆動指令信号を出力するとともに、研削中に外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２からの平面研削砥石１２と被削材１６との接触（摺接）に由来するＡＥ信号に基づいて、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａの形状崩れを判定する電子制御装置６２とを備えている。また、両頭平面研削盤１０は、電子回路基板４４内の送信モジュール５２から送信されたＡＥ信号ＳＡＥを受信するためのアンテナ６４を有する受信回路６６を、備えている。

【0031】

電子制御装置６２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、インターフェースなどを含む所謂マイクロコンピュータであって、ＣＰＵはＲＡＭの一時記憶機能を利用しつつ予めＲＯＭに記憶されたプログラムに従って、平面研削砥石１２および平面研削砥石１４を回転駆動するとともに、それら平面研削砥石１２および平面研削砥石１４の端面（研削面）１２ａおよび１４ａの間に、被削材１６を順次連続的に送るようにキャリア１８を回転駆動するようにモータ駆動制御装置６０を作動させる。この被削材１６の連続的な研削中には、被削材１６の厚み寸法が予め設定された交差内に入るように、自動又は手動で、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａと平面研削砥石１４の端面（研削面）１４ａとの間が、時間経過と共に累積（切込）補正量ＡＡが付与されることで、端面（研削面）１２ａおよび端面（研削面）１４ａの摩耗を補償するように調節される。また、電子制御装置６２は、形状崩れ判定装置としても機能し、研削中に受信回路６６により受信されたＡＥ信号ＳＡＥを処理し、主として平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａの局所的な形状崩れの判定を行なうとともに、その形状崩れおよびドレッシング開始の必要性を、面状態表示装置７８に表示させる。

【0032】

電子制御装置６２は、周波数解析部６８、積算強度値算出部７０、評価値算出部７２、形状崩れ判定閾値設定部７４、形状崩れ判定部７６を、機能的に備えている。

【0033】

周波数解析部６８は、周波数解析工程に対応しており、研削砥石１２、１４の研削中において、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号ＳＡＥの周波数解析（ＦＦＴ）を行なって、信号パワーを示す縦軸と周波数を示す横軸との二次元座標において、周波数成分の大きさを示す種々の信号パワーを周波数毎に周波数軸（横軸）上に示すパワースペクトラムを生成する。積算強度値算出部７０は、積算強度値算出工程に対応しており、ＡＥ信号ＳＡＥのうち研削加工中の平面研削砥石１２と被削材１６との接触振動を敏感に反映する周波数帯たとえば２５ｋＨｚ以上２００ｋＨｚ以下の波長帯、好適には４５から７５ｋＨｚの波長帯の信号成分を弁別し、その信号成分の積分値（面積値）をＡＥ信号強度値Ｘｉとして出力する。上記周波数解析周期および積分強度値算出周期（周期）は、図１０の円弧状の移動軌跡ＴＲに沿った被削材１６の、上側の平面研削砥石１２と下側の平面研削砥石１４との間の通過時間Δｔの半分以下の時間に設定される。被削材１６が上側の平面研削砥石１２と下側の平面研削砥石１４との間に入る際の振動を高感度に検知するためである。

【0034】

評価値算出部７２は、評価値算出工程に対応しており、ＡＥ信号強度値Ｘｉの時間波形から、数ｍｓ乃至十ｍｓ程度に予め設定された小区間内の極大値ＳＰｍａｘと極小値ＳＰｍｉｎとの小区間内差分Ｒ（＝ＳＰｍａｘ－ＳＰｍｉｎ）を順次求められるとともに、たとえば２０ｓ（秒）程度に予め設定された評価値算出区間毎に、小区間毎の差分Ｒ１～Ｒｎの平均値Ｒａｖ（Ｒ１＋Ｒ２＋・・＋Ｒｎ／ｎ）を、形状崩れを評価するための評価値として、繰り返し算出する。ここで、ｎは小区間数を示している。

【0035】

また、評価値算出部７２は、ＡＥ信号強度Ｘｉの時間波形のうちのたとえば数秒～十数秒程度に予め設定された移動する評価値算出区間毎に、評価値算出区間内の時間波形の移動標準偏差σｍ〔＝√（１／ｎ）Σ（ＳＰ１－ＳＰａｖ）^２〕（但し、ＳＰａｖは区間平均、ＳＰ１は標準偏差）を、形状崩れを評価するための評価値として、繰り返し算出する。

【0036】

形状崩れ判定閾値設定部７４は、形状崩れ判定閾値設定工程に対応しており、両頭平面研削盤１０により予め行なわれた平面研削試験から、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａの局所的な形状崩れが、端面（研削面）１２ａの形状修正のためのドレッシングが必要となるほどの予め定められた大きさに到達したときの評価値（差分の平均値Ｒａｖおよび移動標準偏差σｍ）に基づいて、形状崩れを判定するための差分用形状崩れ判定閾値ＳＰｔおよび標準偏差用形状崩れ判定閾値σｔを、自動的に或いは手動入力により設定する。

【0037】

形状崩れ判定部７６は、形状崩れ判定工程に対応しており、評価値算出部７２により算出された小区間差分ΔＲの平均値ΔＲａｖが、たとえば図１８或いは図１９に示される差分用形状崩れ判定閾値ＳＰｔを超えたことに基づいて、端面（研削面）１２ａの形状修正のためのドレッシングが必要となるほどの予め定められた大きさに到達したことに基づいて、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａの局所的な形状崩れを判定する。形状崩れ判定部７６は、評価値算出部７２により算出された評価値算出区間毎の移動標準偏差σｍが、たとえば図２０或いは図２１に示される標準偏差用形状崩れ判定閾値σｔを超えたことに基づいて、端面（研削面）１２ａの形状修正のためのドレッシングが必要となるほどの予め定められた大きさに到達した、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａの局所的な形状崩れを判定する。或いは、形状崩れ判定部７６は、評価値算出部７２により算出された区間差分Ｒの平均値Ｒａｖが差分用形状崩れ判定閾値ＳＰｔを超えたこと、および評価値算出部７２により算出された区間毎の移動標準偏差σｍが標準偏差用形状崩れ判定閾値σｔを超えたことに基づいて、端面（研削面）１２ａの形状修正のためのドレッシングが必要となるほどの予め定められた大きさに到達した、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａの局所的な形状崩れを判定する。形状崩れ判定部７６によって、端面（研削面）１２ａの形状崩れが目立てのためのドレッシングが必要となるほどの予め定められた大きさに到達したことが判定されると、その旨が、面状態表示装置７８に表示される。

【0038】

図８は、電子制御装置６２の制御作動の要部を説明するフローチャートである。図８において、形状崩れ判定閾値設定工程或いは形状崩れ判定閾値設定部７４に対応するステップＳ１（ 以下、ステップを省略する）では、予め入力されている差分用形状崩れ判定閾値ＳＰｔが読み込まれる。続くＳ２では、研削加工中のＡＥ信号ＳＡＥが読み込まれる。次いで、周波数解析工程或いは周波数解析部６８に対応するＳ３において、ＡＥ信号ＳＡＥの周波数解析が行なわれ、号パワーを示す縦軸と周波数を示す横軸との二次元座標において、周波数成分の大きさを示す種々の信号パワーを周波数毎に周波数軸（横軸）上に示すパワースペクトルが生成される。

【0039】

続いて、積算強度値算出工程或いは積算強度値算出部７０に対応するＳ４では、パワースペクトルにおいて予め設定された周波数帯、例えば２．５ｋＨｚ以上２００ｋＨｚ以下の周波数帯、好適には４５～７５ｋＨｚの周波数帯における周波数成分が弁別され、その弁別された信号成分の積分値（面積値）がＡＥ信号強度値Ｘｉとして算出される。

【0040】

次に、評価値算出工程或いは評価値算出部７２に対応するＳ６およびＳ７が実行される。Ｓ６では、ＡＥ信号強度値Ｘｉの時間波形から、数ｍｓ乃至十ｍｓ程度に予め設定された小区間内の極大値ＳＰｍａｘと極小値ＳＰｍｉｎとの小区間内差分ΔＲ（＝ＳＰｍａｘ－ＳＰｍｉｎ）が順次求められる。Ｓ７では、たとえば２０ｓ（秒）程度に予め設定された評価値算出区間毎に、小区間毎の差分Ｒ１～Ｒｎの平均値ΔＲａｖ（（Ｒ１＋Ｒ２＋・・＋Ｒｎ）／ｎ）が、形状崩れを評価するための評価値として算出される。

【0041】

そして、形状崩れ判定工程或いは形状崩れ判定部７６に対応するＳ８およびＳ９が実行される。Ｓ８では、小区間差分Ｒの平均値Ｒａｖが差分用形状崩れ判定閾値ＳＰｔを超えたか否かが判断される。このＳ８の判断が否定された場合は、Ｓ２以下が繰り返し実行される。しかし、Ｓ８の判断が肯定された場合は、Ｓ９において、端面（研削面）１２ａの形状修正のためのドレッシングが必要となるほどの大きさの形状崩れが発生したことが判定されるとともに、形状崩れの発生を示すアラートが、面状態表示装置７８において出力される。このアラートは、ドレッシングの開始が必要であることを示唆するものである。

【0042】

図９は、電子制御装置６２の他の制御作動の要部を説明するフローチャートである。図９において、Ｓ１１からＳ１４は、図８のＳ１からＳ４と同様であるので、説明を省略する。

【0043】

評価値算出工程或いは評価値算出部７２に対応するＳ１５では、ＡＥ信号強度Ｘｉの時間波形のうちのたとえば数秒～十数秒程度に予め設定された移動する評価値算出区間毎に、評価値算出区間内の時間波形の移動標準偏差σｍ〔＝√（１／ｎ）Σ（ＳＰ１－ＳＰａｖ）^２〕（但し、ＳＰａｖは区間平均）が、形状崩れを評価するための評価値として、繰り返し算出される。

【0044】

形状崩れ判定工程或いは形状崩れ判定部７６に対応するＳ１６では、評価値算出区間毎の移動標準偏差σｎが標準偏差用形状崩れ判定閾値σｔを超えたか否かが判断される。このＳ１６の判断が否定された場合には、Ｓ１２以下が繰り返し実行される。しかし、Ｓ１６の判断が肯定された場合は、Ｓ１７において、端面（研削面）１２ａの形状修正のためのドレッシングが必要となるほどの大きさの形状崩れが発生したことが判定されるとともに、形状崩れの発生を示すアラートが、面状態表示装置７８において出力される。このアラートは、ドレッシングの開始が必要であることを示唆するものである。

【0045】

以下において、両頭平面研削盤１０における平面研削に発生する形状崩れを説明する。図１０は、キャリア１８および上側の平面研削砥石１２および下側の平面研削砥石１４との重なりを示す平面視図である。図１０において、キャリア１８の搬送穴２０内に嵌め入れた被削材１６が、上側の平面研削砥石１２と下側の平面研削砥石１４と間を、摺接状態で周方向に搬送される過程で研磨される。図１１および図１２は、そのときの被削材１６の円弧状の移動軌跡ＴＲに沿った、上側の平面研削砥石１２の端面１２ａと下側の平面研削砥石１４の端面１４ａの、研削加工前の表面形状および研削体積２００ｃｍ^３分の研削加工後における表面形状を、触針型表面形状測定装置により測定した波形で示している。図１１および図１２において、横軸は被削材１６の移動軌跡ＴＲの距離Ｘ（ｍｍ）を示し、０ｍｍは被削材１６の最も内周側の位置を示し、負の値は入口から最も内周側の位置までの移動距離を示し、正の値は最も内周側位置から出口までの移動距離を示している。また、縦軸は、出口を０ｍｍとした縦方向の距離Ｚ（ｍｍ）を示している。

【0046】

図１３は、被削材１６の移動軌跡に沿った、上側の平面研削砥石１２の端面１２ａと下側の平面研削砥石１４の端面１４ａの表面形状を、模式的に示している。両頭平面研削盤１０において、下側の平面研削砥石１４の端面１４ａの表面形状は平坦であるが、上側の平面研削砥石１２の端面１２ａ入口から被削材１６の移動軌跡の中央部までは平坦であるが、被削材１６の移動軌跡の中央部から出口までは、研削加工後の被削材１６の目標厚み寸法Ｔｍが得られるように、端面１４ａとの間に目標厚み寸法Ｔｍを形成する点に向かって直線的に傾斜している。

【0047】

図１４は、図１３と同様に、被削材１６の移動軌跡に沿った、上側の平面研削砥石１２の端面１２ａと下側の平面研削砥石１４の端面１４ａの表面形状を、模式的に示しているが、研削加工が進むに伴って、目標厚み寸法Ｔｍが得られるように切込み補正値Ｔｈが加えられた結果、上側の平面研削砥石１２の端面１２ａの形状が変化している状態を示している。この状態では、上側の平面研削砥石１２の端面１２ａのうち、被削材１６の移動軌跡の入口および出口に対応する部分が摩耗する一方で、上記切込み補正値Ｔｈが加えられた結果、被削材１６の移動軌跡の入口間口Ｔｉ１からＴｉ２へ小さくなっている。このような上側の平面研削砥石１２の端面１２ａの形状崩れが進行すると、被削材１６が入口に浸入したときの衝撃が大きくなるので、形状修正のためのドレッシングが行なわれて、図１１、図１３に示す研削加工前の形状へ形状修正される。後述の図１８～図２１の累積切れ込み補正量ＡＡは、上記切込み補正値Ｔｈの累積値である。

【0048】

本発明者等が行なった、以下に示す実験条件で行なった平面研削試験により得られた結果を、説明する。
（平面研削試験条件）
加工機：縦軸両頭平面研削盤 キャリアスルー方式
平面研削砥石：ＷＡ／ＨＡ ８０ Ｈ １２
砥石外径：５８５ｍｍφ
砥石軸回転数：９００ｒｐｍ
キャリア回転数：２ｒｐｍ
取り代：０．２ｍｍ
砥石軸アライメント：０．１６ｍｍ
研削油：ＮＫ－８１Ｐ（希釈倍率５０倍）
ドレッサ：１．０ｍｍ□ダイヤモンドが埋設されたＬＬニードドレッサ
ドレッシング切込量：０．０１ｍｍ
（信号処理条件）
ＦＦＴ解析のデータ長：６５ｍｓ
積分解析ピッチΔｔ ：６５ｍｓ
積分周波数範囲：４５～７５ｋＨｚ
（演算条件）
移動最大・最小値のデータ長（標準偏差のデータ長も同じ）：２ｓｅｃ
移動平均化のデータ長：２０ｓｅｃ
移動最大・最小値および移動平均値のデータピッチ（小区間）：６５ｍｓ

【0049】

図１５は、上記の平面研削試験中に外周側ＡＥセンサ４０から得られたＡＥ信号積分強度Ｘｉの連続波形を示している。図１６は、図１５の極大値の包絡線および極小値の包絡線を示している。図１７は、内周側ＡＥセンサ４２から得られたＡＥ信号積分強度Ｘｉの連続波形の極大値の包絡線および極小値の包絡線を示している。図１８は、図１６の外周側ＡＥセンサ４０から得られたＡＥ信号積分強度波形の極大値および極小値から算出した評価値である差分の移動平均ΔＲａｖを示す波形である。図１９は、図１７の内周側ＡＥセンサ４２から得られたＡＥ信号積分強度波形の極大値および極小値から算出した評価値である差分の移動平均ΔＲａｖを示す波形である。図１８および図１９に示すように、差分の移動平均ΔＲａｖは、時間経過と共に増加し、平面研削砥石１２の端面１２ａの形状崩れを反映している。なお、図１８および図１９では、平面研削加工後に被削材の厚み寸法を公差内に入れるために自動又は手動により加えられる累積切込補正量が示されている。

【0050】

図２０は、平面研削中に外周側ＡＥセンサ４０から得られた図１５のＡＥ信号積分強度Ｘｉの連続波形から、評価値として求められた移動標準偏差σを示している。図２１は、内周側ＡＥセンサ４２から得られたＡＥ信号積分強度Ｘｉの連続波形から、評価値として求められた移動標準偏差σｍを示している。これらの移動標準偏差σｍは、時間経過と共に増加し、平面研削砥石１２の端面１２ａの形状崩れを反映している。なお、図２０および図２１では、平面研削加工後に被削材の厚み寸法を公差内に入れるために自動又は手動により加えられる累積切込補正量が示されている。

【0051】

上記の研削試験において、ＡＥ信号の周波数解析により得られたパワースペクトラムからＡＥ信号強度値Ｘｉを求めるときの積分周波数範囲として、４５～７５ｋＨｚが用いられていたが、本発明者等は、２５～４５ｋＨｚ、８０～１００ｋＨｚ、１００～２００ｋＨｚの４種の積分周波数範囲についても、それぞれＡＥ信号強度値Ｘｉを求めるとともに、そのＡＥ信号強度値Ｘｉの波形から、差分の移動平均値ΔＲａｖおよび移動標準偏差Ｒｍをそれぞれ求めた。図２２は、４種の積分周波数範囲のＡＥ信号強度値を示す波形についてそれぞれ求めた研削中の移動標準偏差Ｒｍの時間変化を示している。

【0052】

図２２において、移動標準偏差Ｒｍに関しては、２５～４５ｋＨｚ、８０～１００ｋＨｚ、１００～２００ｋＨｚのいずれの積分周波数範囲においても、研削時間経過に応じて上昇し、形状崩れの判断に用いられ得るが、８０～１００ｋＨｚの積分周波数範囲、２５～４５ｋＨｚの積分周波数範囲、１００～２００ｋＨｚの積分周波数範囲、４５～７５ｋＨｚの積分周波数範囲の順に、信号が大きくなり、明確に形状崩れを示している。

【0053】

上述のように、本実施例の形状崩れ判定装置（電子制御装置６２）によれば、評価値算出工程に対応する評価値算出部７２において、積算強度値算出工程に対応する積算強度値算出部７０により算出されたＡＥ信号の積算強度値Ｘｉを示す波形に基づいて、波形の振幅を表す差分の平均値Ｒａｖ、および／またはＡＥ信号強度Ｘｉの時間波形の移動標準偏差σｍが、評価値としてが算出され、形状崩れ判定工程に対応する形状崩れ判定部７６において、評価値算出部７２により算出された差分Ｒの平均値Ｒａｖが差分用形状崩れ判定閾値ＳＰｔを超えたこと、および／または移動標準偏差σｎが標準偏差用形状崩れ判定閾値σｔを超えたことに基づいて、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａにおける局所的な形状崩れの発生が判定される。これにより、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａ内の局所的な形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで平面研削砥石１２のドレッシング開始判定を、熟練を要せず行なうことができる。

【0054】

また、本実施例の形状崩れ判定装置（電子制御装置６２）によれば、研削砥石１２は、回転主軸２２とともに回転するフランジ２６に固定されるものであり、フランジ２６には、フランジ２６の径方向に異なる位置に固定され、ＡＥ信号を出力する一対の外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２と、ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器５０と、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュール（送信モジュール）５２とが、装着され、送信モジュール５２から送信されたＡＥ信号を受信する受信回路６６と、積算強度値算出部７０、評価値算出部７２、形状崩れ判定部７６を有し、受信回路６６から出力されたＡＥ信号を処理する電子制御装置６２を含む。これにより、回転する平面研削砥石１２に発生するＡＥ信号が位置固定の受信回路６６に受信され、電子制御装置６２が受信回路６６により受信されたＡＥ信号を処理することにより、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａ内の形状崩れを判定することができ、その判定から適切なタイミングで平面研削砥石１２のドレッシング開始判定を、熟練を要せず行なうことができる。

【0055】

本実施例の形状崩れ判定装置（電子制御装置６２）によれば、フランジ２６は、平面研削砥石１２が固定された面とは反対側の面に開口して、外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２と、ＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器５０と、Ａ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュール５２とを収容する電子部品収容室３０を、備え、フランジ２６には、電子部品収容室３０の開口を閉じる蓋板３２が締結され、蓋板３２のフランジ２６側とは反対側の面には、ネジ穴３８が設けられ、フランジ２６の回転バランスを整合するためのバランシングウエイトＷが固定ボルト３７によりネジ穴３８に締結されている。これにより、外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２とＡＥ信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器５０とＡ／Ｄ変換されたＡＥ信号を無線で送信する送信モジュール５２とが装着されることでフランジ２６の重心が回転中心から偏在しても、バランシングウエイトＷによってフランジ２６の重心が回転中心へ近づけられるので、重心の偏在による回転振動が好適に抑制される。

【0056】

本実施例の形状崩れ判定装置（電子制御装置６２）によれば、蓋板３２には、送信モジュール５２から送信される電波を通過させる矩形の窓口３３が形成されている。これにより、蓋板３２が剛性の高い金属製であっても、送信モジュール５２から送信される電波が、蓋板３２を通して送信される。

【0057】

以上、本発明の一実施例を図面を用いて説明したが、本発明はその他の態様においても適用される。

【0058】

たとえば、前述の実施例では、垂直な第１回転中心線ＣＬ１まわりに一対の平面研削砥石１２および１４を相対回転可能に備えられた縦形の両頭平面研削盤１０であったが、両頭平面研削盤１０は、水平な第１回転中心線ＣＬ１まわりに一対の平面研削砥石１２および１４が相対回転可能に備えられた横型であってもよい。

【0059】

また、前述の実施例の電子制御装置６２は、一対の外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２から出力されたＡＥ信号を処理するものであったが、一対の外周側ＡＥセンサ４０および内周側ＡＥセンサ４２のうちの一方から出力されたＡＥ信号を処理するものであってもよい。

【0060】

また、前述の実施例の電子制御装置６２は、ＡＥ信号の積算強度値Ｘｉを示す波形に基づいて、波形の振幅を表す差分の平均値Ｒａｖ、およびＡＥ信号強度Ｘｉの時間波形の移動標準偏差σｍを、評価値としてが算出するものであったが、差分の平均値Ｒａｖおよび移動標準偏差σｍの一方を評価値として算出し、その一方の評価値が形状崩れ判定閾値ＳＰｔまたは形状崩れ判定閾値σｔを超えたことに基づいて、平面研削砥石１２の端面（研削面）１２ａにおける局所的な形状崩れの発生を判定するものであってもよい。

【0061】

また、前述の実施例では、ＡＥ信号の周波数解析により得られたパワースペクトラムからＡＥ信号強度値Ｘｉを求めるときの積分周波数範囲として、４５～７５ｋＨｚが用いられていたが、２５～４５ｋＨｚ、８０～１００ｋＨｚ、１００～２００ｋＨｚの４種の積分周波数範囲が用いられていてもよい。要するに、２５～２００ｋＨｚの範囲内のいずれかの特定周波数帯の積分周波数範囲であればよい。

【0062】

また、前述の実施例では、ＡＥ信号の周波数解析により得られたパワースペクトラム中の所定の周波数範囲を積分したＡＥ信号強度値Ｘｉが用いられていたが、ＡＥ信号のうちの特定周波数帯の周波数成分を通過させるバンドパスフィルタを通過した信号の平均値や実効値が、上記ＡＥ信号強度値Ｘｉに替えて用いられてもよい。この場合には、バンドパスフィルタが積算強度値算出部７０に対応している。

【0063】

また、前述の実施例では、被削材１６を円弧状の移動軌跡ＴＲに沿って上側の平面研削砥石１２の端面１２ａと下側の平面研削砥石１４の端面１４ａとの間を移動させる円板状のキャリア１８が用いられていたが、被削材１６を直線状の移動軌跡に沿って上側の平面研削砥石１２の端面１２ａと下側の平面研削砥石１４の端面１４ａとの間を移動させる直線状のキャリアが用いられてもよい。

【0064】

また、前述の実施例の平面研削砥石１２、１４４は、超砥粒および一般砥粒が、レジノイド砥石、ビトリファイド砥石等の種々のボンドで砥粒が結合されたものでもよい。

【0065】

なお、上述したのはあくまでも本発明の一実施例であり、本発明はその主旨を逸脱しない範囲において種々の変更が加えられ得るものである。

【符号の説明】

【0066】

１０：両頭平面研削盤
１２：平面研削砥石（上側）
１２ａ：端面（研削面）
１６：被削材
２６：フランジ
３０：電子部品収容室
４０：外周側ＡＥセンサ
４２：内周側ＡＥセンサ
４４：電子回路基板
４６：電源バッテリ
４８：前置増幅器
５０：Ａ／Ｄ変換器
５２：送信モジュール
６２：電子制御装置
６８：周波数解析部
７０：積算強度値算出部
７２：評価値算出部
７４：形状崩れ判定閾値設定部
７６：形状崩れ判定部
７８：面状態表示装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】