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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023060201
(43)【公開日】2023-04-27
(54)【発明の名称】光学試験用装置
(51)【国際特許分類】
G01S 7/497 20060101AFI20230420BHJP
【ＦＩ】
G01S7/497
【審査請求】有
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023033817
(22)【出願日】2023-03-06
(62)【分割の表示】P 2019088777の分割
【原出願日】2019-05-09
(71)【出願人】
【識別番号】390005175
【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト
(74)【代理人】
【識別番号】100097490
【弁理士】
【氏名又は名称】細田 益稔
(74)【代理人】
【識別番号】100113354
【弁理士】
【氏名又は名称】石井 総
(72)【発明者】
【氏名】菅原 聡洋
(72)【発明者】
【氏名】増田 伸
(72)【発明者】
【氏名】桜井 孝夫
(72)【発明者】
【氏名】松村 英宜
(72)【発明者】
【氏名】関 孝生
(57)【要約】
【課題】反射光を取得する器具の試験の際に、この器具と測定対象との距離が長くなることを防止する。
【解決手段】光源２ａからの入射光を入射対象４に与えて、入射光が入射対象４により反射された反射光を取得する光学測定器具２を試験する際に光学試験用装置１を使用する。光学試験用装置１は、入射光を受ける光検出器１ａと、光検出器１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象４に与えるレーザーダイオード１ｃとを備える。光信号が入射対象４により反射された反射光信号が、光学測定器具２に与えられる。遅延時間が、光学測定器具２を実際に使用する場合の、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい。
【選択図】図２
【解決手段】光源２ａからの入射光を入射対象４に与えて、入射光が入射対象４により反射された反射光を取得する光学測定器具２を試験する際に光学試験用装置１を使用する。光学試験用装置１は、入射光を受ける光検出器１ａと、光検出器１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象４に与えるレーザーダイオード１ｃとを備える。光信号が入射対象４により反射された反射光信号が、光学測定器具２に与えられる。遅延時間が、光学測定器具２を実際に使用する場合の、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、
入射光を受ける入射光受理部と、
前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象に与える光信号付与部と、
を備え、
前記光信号が前記入射対象により反射された反射光信号が、前記光学測定器具に与えられ、
前記遅延時間が、
前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい、
光学試験用装置。
入射光を受ける入射光受理部と、
前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象に与える光信号付与部と、
を備え、
前記光信号が前記入射対象により反射された反射光信号が、前記光学測定器具に与えられ、
前記遅延時間が、
前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい、
光学試験用装置。
【請求項2】
光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、
前記入射光を受ける入射光受理部と、
前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を前記光学測定器具に与える光信号付与部と、
を備え、
前記遅延時間が、
前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい、
光学試験用装置。
前記入射光を受ける入射光受理部と、
前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を前記光学測定器具に与える光信号付与部と、
を備え、
前記遅延時間が、
前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい、
光学試験用装置。
【請求項3】
請求項１または２に記載の光学試験用装置であって、
前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、
前記光信号付与部が、前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号に変換するものである、
光学試験用装置。
前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、
前記光信号付与部が、前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号に変換するものである、
光学試験用装置。
【請求項4】
請求項３に記載の光学試験用装置であって、
前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させる電気信号遅延部を備えた光学試験用装置。
前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させる電気信号遅延部を備えた光学試験用装置。
【請求項5】
請求項４に記載の光学試験用装置であって、
前記電気信号遅延部における前記遅延時間が可変である、
光学試験用装置。
前記電気信号遅延部における前記遅延時間が可変である、
光学試験用装置。
【請求項6】
請求項４に記載の光学試験用装置であって、
各々の前記電気信号遅延部における前記遅延時間が、それぞれ異なるものであり、
前記電気信号遅延部のうち、いずれか一つを選択して使用する、
光学試験用装置。
各々の前記電気信号遅延部における前記遅延時間が、それぞれ異なるものであり、
前記電気信号遅延部のうち、いずれか一つを選択して使用する、
光学試験用装置。
【請求項7】
請求項１または２に記載の光学試験用装置であって、
前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、
前記電気信号に基づき、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから前記遅延時間だけ経過した後、前記光信号付与部に前記光信号を出力させる出力制御部を備えた光学試験用装置。
前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、
前記電気信号に基づき、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから前記遅延時間だけ経過した後、前記光信号付与部に前記光信号を出力させる出力制御部を備えた光学試験用装置。
【請求項8】
請求項１または２に記載の光学試験用装置であって、
前記光信号付与部が、前記入射光を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号とするものである、
光学試験用装置。
前記光信号付与部が、前記入射光を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号とするものである、
光学試験用装置。
【請求項9】
請求項８に記載の光学試験用装置であって、
前記入射光を前記遅延時間だけ遅延させる入射光遅延部を備えた光学試験用装置。
前記入射光を前記遅延時間だけ遅延させる入射光遅延部を備えた光学試験用装置。
【請求項10】
請求項９に記載の光学試験用装置であって、
前記入射光遅延部が、光ファイバである、
光学試験用装置。
前記入射光遅延部が、光ファイバである、
光学試験用装置。
【請求項11】
請求項９に記載の光学試験用装置であって、
前記入射光遅延部が、多重反射セルである、
光学試験用装置。
前記入射光遅延部が、多重反射セルである、
光学試験用装置。
【請求項12】
請求項９に記載の光学試験用装置であって、
前記入射光遅延部が、多重反射ファイバである、
光学試験用装置。
前記入射光遅延部が、多重反射ファイバである、
光学試験用装置。
【請求項13】
請求項１ないし１２のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
前記光信号のパワーを減衰させる減衰器を備え、
前記減衰器における減衰の程度が可変である、
光学試験用装置。
前記光信号のパワーを減衰させる減衰器を備え、
前記減衰器における減衰の程度が可変である、
光学試験用装置。
【請求項14】
請求項１ないし１２のいずれか一項に記載の光学試験用装置であって、
前記入射対象の反射率が可変である、
光学試験用装置。
前記入射対象の反射率が可変である、
光学試験用装置。
【請求項15】
請求項１ないし１４のいずれか一項に記載の光学試験用装置と、
前記光学測定器具を用いた測定に関する試験を行う試験部と、
を備えた半導体試験装置。
前記光学測定器具を用いた測定に関する試験を行う試験部と、
を備えた半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、反射光を取得する器具の試験に関する。
【背景技術】
【0002】
従来より、入射光を距離測定の対象に与えて、反射光を取得する距離測定器具が知られている。この距離測定器具と、距離測定の対象との距離が測定される（例えば、特許文献１、２および３を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１７－１５７２９号公報
【特許文献2】特開２００６－１２６１６８号公報
【特許文献3】特開２０００－２７５３４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記の従来技術のような距離測定器具を試験するためには、距離測定器具と、距離測定の対象とを、測定することが想定される距離だけ離して試験を行う。例えば、距離測定器具として、自動車に搭載したＬｉＤＡＲモジュールを想定した場合、測定することが想定される距離（以下、「想定距離」ということがある）は、おおむね２００ｍとなる。
【0005】
しかしながら、上記のような試験によれば、距離測定器具と距離測定の対象とを、想定距離だけ実際に離さなければならないという不都合が生じる。例えば、試験のために広大な敷地（例えば、２００ｍ×２００ｍの正方形の敷地）が必要になってしまう。
【0006】
そこで、本発明は、反射光を取得する器具の試験の際に、この器具と測定対象（または、測定対象に代わるもの）との距離が長くなることの防止を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明にかかる第一の光学試験用装置は、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、入射光を受ける入射光受理部と、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象に与える光信号付与部とを備え、前記光信号が前記入射対象により反射された反射光信号が、前記光学測定器具に与えられ、前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しいように構成される。
【0008】
上記のように構成された第一の光学試験用装置によれば、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置が提供される。入射光受理部が、入射光を受ける。光信号付与部が、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象に与える。前記光信号が前記入射対象により反射された反射光信号が、前記光学測定器具に与えられる。前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい。
【0009】
本発明にかかる第二の光学試験用装置は、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、前記入射光を受ける入射光受理部と、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を出力する光信号付与部と、前記光信号を前記光学測定器具に向けて照射する光進行方向変化部とを備え、前記光信号が前記光進行方向変化部により進行方向が変化した方向変化光信号が、前記光学測定器具に与えられ、前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しいように構成される。
【0010】
上記のように構成された第二の光学試験用装置によれば、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置が提供される。入射光受理部が、前記入射光を受ける。光信号付与部が、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を出力する。光進行方向変化部が、前記光信号を前記光学測定器具に向けて照射する。前記光信号が前記光進行方向変化部により進行方向が変化した方向変化光信号が、前記光学測定器具に与えられる。前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい。
【0011】
なお、本発明にかかる第二の光学試験用装置は、前記光進行方向変化部が、前記光信号を、二つ以上の照射光に分岐させるようにしてもよい。
【0012】
本発明にかかる第三の光学試験用装置は、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置であって、前記入射光を受ける入射光受理部と、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を前記光学測定器具に与える光信号付与部とを備え、前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しいように構成される。
【0013】
上記のように構成された第三の光学試験用装置によれば、光源からの入射光を入射対象に与えて、該入射光が該入射対象により反射された反射光を取得する光学測定器具を試験する際に使用する光学試験用装置が提供される。入射光受理部が、前記入射光を受ける。光信号付与部が、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を前記光学測定器具に与える。前記遅延時間が、前記光学測定器具を実際に使用する場合の、前記光源から前記入射光が照射されてから、前記光学測定器具により前記反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい。
【0014】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、前記光信号付与部が、前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号に変換するものであるようにしてもよい。
【0015】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記電気信号を前記遅延時間だけ遅延させる電気信号遅延部を備えるようにしてもよい。
【0016】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記電気信号遅延部における前記遅延時間が可変であるようにしてもよい。
【0017】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、各々の前記電気信号遅延部における前記遅延時間が、それぞれ異なるものであり、前記電気信号遅延部のうち、いずれか一つを選択して使用するようにしてもよい。
【0018】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射光受理部が、前記入射光を電気信号に変換するものであり、前記電気信号に基づき、前記入射光受理部が前記入射光を受けてから前記遅延時間だけ経過した後、前記光信号付与部に前記光信号を出力させる出力制御部を備えるようにしてもよい。
【0019】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記光信号付与部が、前記入射光を前記遅延時間だけ遅延させたものを前記光信号とするものであるようにしてもよい。
【0020】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射光を前記遅延時間だけ遅延させる入射光遅延部を備えるようにしてもよい。
【0021】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射光遅延部が、光ファイバであるようにしてもよい。
【0022】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射光遅延部が、多重反射セルであるようにしてもよい。
【0023】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射光遅延部が、多重反射ファイバであるようにしてもよい。
【0024】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記光信号のパワーを減衰させる減衰器を備え、前記減衰器における減衰の程度が可変であるようにしてもよい。
【0025】
なお、本発明にかかる第一、第二および第三の光学試験用装置は、前記入射対象の反射率が可変であるようにしてもよい。
【0026】
なお、本発明にかかる半導体試験装置は、第一、第二および第三の光学試験用装置のいずれかと、前記光学測定器具を用いた測定に関する試験を行う試験部とを備えるように構成される。
【図面の簡単な説明】
【0027】
【図2】本発明の第一の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図3】本発明の第一の実施形態の第一変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図5】本発明の第二の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図6】本発明の第二の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図7】本発明の第三の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図8】本発明の第三の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図9】本発明の第四の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図10】本発明の第五の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図11】本発明の第六の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図12】本発明の第七の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図13】本発明の第八の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図14】本発明の第九の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図15】本発明の第十の実施形態にかかる半導体試験装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0028】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【0029】
第一の実施形態
図１は、光学測定器具２の実際の使用態様を示す図（図１（ａ））、光学測定器具２の試験の際の使用態様を示す図（図１（ｂ））である。図２は、本発明の第一の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
図１は、光学測定器具２の実際の使用態様を示す図（図１（ａ））、光学測定器具２の試験の際の使用態様を示す図（図１（ｂ））である。図２は、本発明の第一の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【0030】
図１（ａ）を参照して、実際の使用態様において、光学測定器具２は、光源２ａ（図２参照）からの入射光を入射対象４に与える。入射光は入射対象４により反射されて反射光となり、光学測定器具２の受光部２ｂ（図２参照）により取得される。光学測定器具２は、例えば、ＬｉＤＡＲモジュールであり、光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ１を測定するために使用される。なお、光学測定器具２をＬｉＤＡＲモジュールとした場合、距離Ｄ１は例えば２００ｍである。
【0031】
距離Ｄ１の測定のための工程としては、（１）光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間を測定すること、（２）（１）において測定された時間に光速を乗じて１／２倍して距離Ｄ１を求めること、が考えられる。ただし、本発明の実施形態においては、上記（１）および（２）の工程は、光学測定器具２とは別のモジュール（図１５参照）で行われるものとする。
【0032】
なお、入射対象４は、一例として、反射板である。
【0033】
図１（ｂ）を参照して、光学試験用装置１が、光学測定器具２を試験する際に使用される。試験は、例えば、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できるか否かの検証を行うものである。
【0034】
試験の際の使用態様において、光学試験用装置１は、光学測定器具２と入射対象４との間に配置されている。光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ２は、距離Ｄ１よりも極めて小さく、例えば１ｍである。
【0035】
光学測定器具２の光源２ａ（図２参照）からの入射光は光学試験用装置１に与えられ、光信号が入射対象４に与えられる。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となり、光学試験用装置１を通過して、光学測定器具２の受光部２ｂ（図２参照）により取得される。
【0036】
なお、光学試験用装置１および光学測定器具２は恒温槽に入れるようにしてもよい（他の実施形態も同様）。
【0037】
図２を参照して、第一の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇを備える。
【0038】
光検出器（入射光受理部）１ａは、入射光を受け、電気信号に変換する。光検出器１ａは、例えば、フォトディテクタである。
【0039】
可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂは、光検出器１ａの出力した電気信号を、所定の遅延時間だけ遅延させるものである。ただし、遅延時間は、光学測定器具２を実際に使用する場合（図１（ａ）参照）の、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間（すなわち、２×Ｄ１／ｃ）にほぼ等しい。ただし、ｃは光速である。なお、Ｄ１が２００ｍの場合、２×Ｄ１／ｃはおよそ１３３２ナノ秒となる。
【0040】
ただし、遅延時間は、２×Ｄ１／ｃであってもよい（「ほぼ」等しいに含まれる）。また、遅延時間は、２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃであってもよい。遅延時間が、２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃであれば、２×Ｄ１／ｃとは異なるが、Ｄ２はＤ１よりも極めて小さいので、遅延時間は２×Ｄ１／ｃと「ほぼ」等しい。
【0041】
なお、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂにおける遅延時間は可変である。これにより、光学測定器具２を実際に使用する場合の距離Ｄ１の変更に対応できる。
【0042】
レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、可変遅延素子１ｂの出力（すなわち、光検出器１ａの出力した電気信号を、所定の遅延時間だけ遅延させたもの）を光信号（例えば、レーザ光）に変換するものである。ただし、レーザーダイオード１ｃと可変遅延素子１ｂとの間にドライバ回路（図示省略）を接続し、ドライバ回路を介して、可変遅延素子１ｂの出力をレーザーダイオード１ｃに与えるようにしてもよい。この際、ドライバ回路は、可変遅延素子１ｂの出力電流を増幅させて、レーザーダイオード１ｃの駆動に充分な大きさの電流として、レーザーダイオード１ｃに与える。この場合でも、レーザーダイオード１ｃが、可変遅延素子１ｂの出力を光信号に変換していることに変わりはない（第二および第三の実施形態も同様）。これにより、レーザーダイオード１ｃは、光検出器１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、光信号を入射対象４に与えることができる。なお、光検出器１ａが入射光を受けてから、電気信号が可変遅延素子１ｂに与えられるまでの時間は、ほぼ０であることに留意されたい。
【0043】
レンズ１ｄは、レーザーダイオード１ｃの出力する光信号を受ける凸レンズである。
【0044】
減衰器１ｅは、レンズ１ｄを透過した光信号のパワーを減衰させて、ガルバノミラー１ｆに与える。この減衰の程度は可変である。光信号のパワーを減衰させることで、光学測定器具２の光源２ａから出力される入射光のパワーが低い場合を模した試験を行うことが可能となる。
【0045】
ガルバノミラー１ｆは、減衰器１ｅの出力を受け、入射対象４のほぼ中央に、光信号を与える。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となる。
【0046】
ガルバノミラー１ｇは、反射光信号の光路を受光部２ｂに向かうものに変えながら、反射光信号を通過させ、光学測定器具２の受光部２ｂに与える。
【0047】
なお、ガルバノミラー１ｆ、１ｇを使用しないで、減衰器１ｅを、直交する２軸方向（ＸＹ方向）に移動可能なステージまたは入射対象４に対する角度が変えられるステージに載せることも考えられる。
【0048】
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
【0049】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２と入射対象４との間に配置する（図１（ｂ）参照）。
【0050】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、可変遅延素子１ｂに与えられる。電気信号は、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、レーザーダイオード１ｃに与えられる。可変遅延素子１ｂの出力が、レーザーダイオード１ｃにより、光信号に変換される。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、入射対象４のほぼ中央に与えられる。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となる。
【0051】
反射光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。反射光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0052】
第一の実施形態によれば、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃによって、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間（光学測定器具２を実際に使用する場合（図１（ａ）参照）の、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間にほぼ等しい）（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ経過した後、光信号が入射対象４に与えられる。これにより、光学測定器具２の試験の際に、光学測定器具２と測定対象４との距離Ｄ２（図１（ｂ）参照）を、光学測定器具２の使用が想定される状況下（距離Ｄ１：図１（ａ）参照）よりも短くすることができるので、距離Ｄ２が長くなることの防止を図ることができる。
【0053】
もし、光学試験用装置１を配置しないで、光学測定器具２と入射対象４との間を距離Ｄ２だけ離して配置すれば、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間は、２×Ｄ２／ｃ（ほぼ０）となる。よって、光学測定器具２と入射対象４との間の距離の測定結果はＤ２となってしまう。これでは、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験にならない。
【0054】
しかし、光学試験用装置１を、光学測定器具２と入射対象４との間に配置すれば（図１（ｂ）参照）、光学試験用装置１内で２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間だけ遅延が生じる。これにより、光源２ａから入射光が照射されてから、光学測定器具２により反射光が取得されるまでの時間Δｔは、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しくなる。例えば、遅延時間が２×Ｄ１／ｃの場合は、Δｔ＝２×Ｄ１／ｃ＋２×Ｄ２／ｃとなるが、Ｄ２はＤ１よりも極めて小さいので、２×Ｄ２／ｃは無視できるため、Δｔ＝２×Ｄ１／ｃとなる。また、遅延時間が２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃの場合は、Δｔ＝２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ＋２×Ｄ２／ｃ＝２×Ｄ１／ｃとなる。いずれにせよ、Δｔ＝２×Ｄ１／ｃから、光学測定器具２と入射対象４との間の距離の測定結果はＤ１となるので、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うことができる。
【0055】
なお、第一の実施形態にかかる光学試験用装置１には、以下のような変形例が考えられる。
【0056】
第一変形例
図３は、本発明の第一の実施形態の第一変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
図３は、本発明の第一の実施形態の第一変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【0057】
本発明の第一の実施形態の第一変形例にかかる光学試験用装置１は、第一の実施形態における可変遅延素子１ｂにかえて、遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２を備える。
【0058】
遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２は、遅延時間が、それぞれ異なるものであり（ただし、遅延時間は可変ではなく一定である）、これらのうち、いずれか一つを選択して使用する。図３の例では、遅延素子１ｂ－１を選択して使用している。図３の例では、光学測定器具２を実際に使用する場合の距離Ｄ１が２種類ある場合に対応可能である。
【0059】
なお、第一変形例にかかる光学試験用装置１において、遅延素子の個数は２個に限らず、３個以上あってもかまわない。ただし、レーザーダイオード１ｃの入力側にドライバ回路（図示省略）を接続し、ドライバ回路を介して、遅延素子１ｂ－１または遅延素子１ｂ－２の出力をレーザーダイオード１ｃに与えるようにしてもよい。この際、ドライバ回路は、遅延素子１ｂ－１または遅延素子１ｂ－２の出力電流を増幅させて、レーザーダイオード１ｃの駆動に充分な大きさの電流として、レーザーダイオード１ｃに与える。この場合でも、レーザーダイオード１ｃが、遅延素子１ｂ－１または遅延素子１ｂ－２の出力を光信号に変換していることに変わりはない（第二および第三の実施形態の変形例も同様）。
【0060】
【0061】
本発明の第一の実施形態の第二変形例にかかる光学試験用装置１は、入射対象４が平板であることが、第一の実施形態と異なる。なお、第二変形例における入射対象４は、反射率が可変であるようにしてもよい。例えば、入射対象４に液晶を用い、色を変えることで、反射率が可変となる。
【0062】
なお、この第二変形例と同様な変形例が、第四および第七の実施形態においても考えられる。
【0063】
第二の実施形態
第二の実施形態にかかる光学試験用装置１は、入射対象４に代えてカプラ（光進行方向変化部）５を使用する点が、第一の実施形態と異なる。
第二の実施形態にかかる光学試験用装置１は、入射対象４に代えてカプラ（光進行方向変化部）５を使用する点が、第一の実施形態と異なる。
【0064】
第二の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照、ただし、入射対象４に代えてカプラ５を使用する）。ただし、カプラ５は、光学試験用装置１に含まれるものとする（図５参照）。
【0065】
図５は、本発明の第二の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第二の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、カプラ（光進行方向変化部）５を備える。カプラ５は、入力端５ａ、分岐部５ｂ、出力端５ｐ、５ｑを有する。以下、第一の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。
【0066】
光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レンズ１ｄおよび減衰器１ｅは、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0067】
レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、第一の実施形態とほぼ同様であるが、光信号を出力してカプラ５に与える点が第一の実施形態と異なる。
【0068】
ガルバノミラー１ｆは、第一の実施形態とほぼ同様であるが、光信号を、カプラ５の入力端５ａに与える点が第一の実施形態と異なる。光信号は、分岐部５ｂにより、二つ以上の照射光に分岐され、それぞれ、出力端５ｐ、５ｑから出力される。出力端５ｐ、５ｑから出力された光を、方向変化光信号という。方向変化光信号は、光信号がカプラ５により進行方向が変化したものであり、カプラ５により光学測定器具２に向かって照射されるものである。
【0069】
ガルバノミラー１ｇは、方向変化光信号の光路を受光部２ｂに向かうものに変えながら、方向変化光信号を通過させ、光学測定器具２の受光部２ｂに与える。
【0070】
なお、ガルバノミラー１ｇと出力端５ｐとを結ぶ線分と、ガルバノミラー１ｇと出力端５ｑとを結ぶ線分とがほぼ同一視できる程度に、ガルバノミラー１ｇと出力端５ｐ、５ｑとの距離は長い。よって、出力端５ｐから出力された方向変化光信号の光路と、出力端５ｑから出力された方向変化光信号の光路とが、ガルバノミラー１ｇの近傍においては、同一視できる。
【0071】
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
【0072】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、カプラ５を有する光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。
【0073】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、可変遅延素子１ｂに与えられる。電気信号は、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、レーザーダイオード１ｃに与えられる。可変遅延素子１ｂの出力が、レーザーダイオード１ｃにより、光信号に変換される。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、カプラ５の入力端５ａに与えられる。光信号はカプラ５により進行方向が変化して方向変化光信号となって、出力端５ｐ、５ｑから光学測定器具２に向かって照射される。
【0074】
方向変化光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。方向変化光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0075】
第二の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。すなわち、光学測定器具２の試験の際に、光学測定器具２と（測定対象４に代わる）カプラ５との距離Ｄ２（図５参照：ただし、距離Ｄ２の長さは第一の実施形態と同様）を、光学測定器具２の使用が想定される状況下（距離Ｄ１：図１（ａ）参照）よりも短くすることができるので、距離Ｄ２が長くなることの防止を図ることができる。
【0076】
なお、第二の実施形態にかかる光学試験用装置１には、以下のような変形例が考えられる。
【0077】
図６は、本発明の第二の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【0078】
本発明の第二の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１は、第二の実施形態における可変遅延素子１ｂにかえて、遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２を備える。
【0079】
遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２は、遅延時間が、それぞれ異なるものであり（ただし、遅延時間は可変ではなく一定である）、これらのうち、いずれか一つを選択して使用する。図６の例では、遅延素子１ｂ－１を選択して使用している。図６の例では、光学測定器具２を実際に使用する場合の距離Ｄ１が２種類ある場合に対応可能である。
【0080】
なお、この変形例にかかる光学試験用装置１において、遅延素子の個数は２個に限らず、３個以上あってもかまわない。
【0081】
第三の実施形態
第三の実施形態にかかる光学試験用装置１は、入射対象４を使用しない点が、第一の実施形態と異なる。
第三の実施形態にかかる光学試験用装置１は、入射対象４を使用しない点が、第一の実施形態と異なる。
【0082】
第三の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１（ａ）参照）。第三の実施形態にかかる光学測定器具２の試験の際の使用態様は、光学測定器具２と光学試験用装置１とを用いるが、反射対象４もカプラ５も用いない（図７参照）。
【0083】
図７は、本発明の第三の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。図７を参照して、第三の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅを備える。
【0084】
光検出器（入射光受理部）１ａ、可変遅延素子（電気信号遅延部）１ｂおよびレンズ１ｄは、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0085】
レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、第一の実施形態とほぼ同様であるが、光信号を出力して光学測定器具２に与える点が第一の実施形態と異なる。
【0086】
減衰器１ｅは、第一の実施形態とほぼ同様であるが、光信号を光学測定器具２の受光部２ｂに与える点が第一の実施形態と異なる。
【0087】
次に、第三の実施形態の動作を説明する。
【0088】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。
【0089】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、可変遅延素子１ｂに与えられる。電気信号は、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間だけ遅延されて、レーザーダイオード１ｃに与えられる。可変遅延素子１ｂの出力が、レーザーダイオード１ｃにより、光信号に変換される。光信号は、レンズ１ｄおよび減衰器１ｅを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0090】
第三の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。すなわち、光学測定器具２の試験の際に、測定対象４も（測定対象４に代わる）カプラ５も使用しないので、光学測定器具２と測定対象４（またはそれに代わるもの）との距離Ｄ２は存在せず、距離Ｄ２が長くなることの防止を図ることができる。
【0091】
なお、第三の実施形態にかかる光学試験用装置１には、以下のような変形例が考えられる。
【0092】
図８は、本発明の第三の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【0093】
本発明の第三の実施形態の変形例にかかる光学試験用装置１は、第三の実施形態における可変遅延素子１ｂにかえて、遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２を備える。
【0094】
遅延素子１ｂ－１、１ｂ－２は、遅延時間が、それぞれ異なるものであり（ただし、遅延時間は可変ではなく一定である）、これらのうち、いずれか一つを選択して使用する。図８の例では、遅延素子１ｂ－１を選択して使用している。図８の例では、光学測定器具２を実際に使用する場合の距離Ｄ１が２種類ある場合に対応可能である。
【0095】
なお、この変形例にかかる光学試験用装置１において、遅延素子の個数は２個に限らず、３個以上あってもかまわない。
【0096】
第四の実施形態
第四の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第一の実施形態と異なる。
第四の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第一の実施形態と異なる。
【0097】
第四の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照）。
【0098】
図９は、本発明の第四の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第四の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、カプラ１ｈ、ＩＣ１ｉ、ドライバ回路１ｊを備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。
【0099】
光検出器（入射光受理部）１ａ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇは、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0100】
カプラ１ｈは、光検出器１ａの出力した電気信号を、二つの信号に分岐させ、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与える。
【0101】
ＩＣ１ｉは、集積回路（Integrated Circuit）であり、パワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２を有する。
【0102】
パワー検出部１ｉ―１は、電気信号を受け、入射光のパワーが所定の範囲内であるか否かを判定する。パワー検出部１ｉ―１は、入射光のパワーが所定の範囲内であれば、出力制御部１ｉ－２を作動させる。出力制御部１ｉ－２は、電気信号を受け、所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ経過した後、ドライバ回路１ｊを作動させる。
【0103】
ドライバ回路１ｊは、レーザーダイオード１ｃを作動させる。
【0104】
レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、光信号（例えば、レーザ光）を出力する。
【0105】
なお、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから出力制御部１ｉ－２が作動するまでの時間も、ドライバ回路１ｊが作動してからレーザーダイオード１ｃが光信号を出力するまでの時間も、ほぼ０である。よって、出力制御部１ｉ－２は、電気信号に基づき、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃに光信号を出力させることになる。
【0106】
次に、第四の実施形態の動作を説明する。
【0107】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２と入射対象４との間に配置する（図１（ｂ）参照）。
【0108】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、カプラ１ｈを介して、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与えられる。
【0109】
パワー検出部１ｉ―１が、電気信号を受け、出力制御部１ｉ－２を作動させると、出力制御部１ｉ－２が、電気信号を、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延させて、ドライバ回路１ｊに与える。ドライバ回路１ｊがレーザーダイオード１ｃを作動させると、レーザーダイオード１ｃから光信号が出力される。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、入射対象４のほぼ中央に与えられる。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となる。
【0110】
反射光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。反射光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0111】
第四の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。
【0112】
第五の実施形態
第五の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第二の実施形態と異なる。
第五の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第二の実施形態と異なる。
【0113】
第五の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照、ただし、入射対象４に代えてカプラ５を使用する）。ただし、カプラ５は、光学試験用装置１に含まれるものとする（図１０参照）。
【0114】
図１０は、本発明の第五の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第五の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、カプラ１ｈ、ＩＣ１ｉ、ドライバ回路１ｊ、カプラ（光進行方向変化部）５を備える。カプラ５は、入力端５ａ、分岐部５ｂ、出力端５ｐ、５ｑを有する。以下、第二の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。
【0115】
光検出器（入射光受理部）１ａ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、カプラ５は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0116】
カプラ１ｈは、光検出器１ａの出力した電気信号を、二つの信号に分岐させ、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与える。
【0117】
ＩＣ１ｉは、集積回路（Integrated Circuit）であり、パワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２を有する。
【0118】
パワー検出部１ｉ―１は、電気信号を受け、入射光のパワーが所定の範囲内であるか否かを判定する。パワー検出部１ｉ―１は、入射光のパワーが所定の範囲内であれば、出力制御部１ｉ－２を作動させる。出力制御部１ｉ－２は、電気信号を受け、所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ経過した後、ドライバ回路１ｊを作動させる。
【0119】
ドライバ回路１ｊは、レーザーダイオード１ｃを作動させる。
【0120】
レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、光信号（例えば、レーザ光）を出力する。
【0121】
なお、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから出力制御部１ｉ－２が作動するまでの時間も、ドライバ回路１ｊが作動してからレーザーダイオード１ｃが光信号を出力するまでの時間も、ほぼ０である。よって、出力制御部１ｉ－２は、電気信号に基づき、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃに光信号を出力させることになる。
【0122】
次に、第五の実施形態の動作を説明する。
【0123】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、カプラ５を有する光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。
【0124】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、カプラ１ｈを介して、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与えられる。
【0125】
パワー検出部１ｉ―１が、電気信号を受け、出力制御部１ｉ－２を作動させると、出力制御部１ｉ－２が、電気信号を、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延させて、ドライバ回路１ｊに与える。ドライバ回路１ｊがレーザーダイオード１ｃを作動させると、レーザーダイオード１ｃから光信号が出力される。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、カプラ５の入力端５ａに与えられる。光信号はカプラ５により進行方向が変化して方向変化光信号となって、出力端５ｐ、５ｑから光学測定器具２に向かって照射される。
【0126】
方向変化光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。方向変化光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0127】
第五の実施形態によれば、第二の実施形態と同様な効果を奏する。
【0128】
第六の実施形態
第六の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第三の実施形態と異なる。
第六の実施形態にかかる光学試験用装置１は、ＩＣ１ｉを使用する点が、第三の実施形態と異なる。
【0129】
第六の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１（ａ）参照）。第六の実施形態にかかる光学測定器具２の試験の際の使用態様は、光学測定器具２と光学試験用装置１とを用いるが、反射対象４もカプラ５も用いない（図１１参照）。
【0130】
図１１は、本発明の第六の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第六の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器（入射光受理部）１ａ、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、カプラ１ｈ、ＩＣ１ｉ、ドライバ回路１ｊを備える。以下、第三の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。
【0131】
光検出器（入射光受理部）１ａ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅは、第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0132】
カプラ１ｈは、光検出器１ａの出力した電気信号を、二つの信号に分岐させ、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与える。
【0133】
ＩＣ１ｉは、集積回路（Integrated Circuit）であり、パワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２を有する。
【0134】
パワー検出部１ｉ―１は、電気信号を受け、入射光のパワーが所定の範囲内であるか否かを判定する。パワー検出部１ｉ―１は、入射光のパワーが所定の範囲内であれば、出力制御部１ｉ－２を作動させる。出力制御部１ｉ－２は、電気信号を受け、所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ経過した後、ドライバ回路１ｊを作動させる。
【0135】
ドライバ回路１ｊは、レーザーダイオード１ｃを作動させる。
【0136】
レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃは、光信号（例えば、レーザ光）を出力する。
【0137】
なお、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから出力制御部１ｉ－２が作動するまでの時間も、ドライバ回路１ｊが作動してからレーザーダイオード１ｃが光信号を出力するまでの時間も、ほぼ０である。よって、出力制御部１ｉ－２は、電気信号に基づき、光検出器（入射光受理部）１ａが入射光を受けてから所定の遅延時間だけ経過した後、レーザーダイオード（光信号付与部）１ｃに光信号を出力させることになる。
【0138】
次に、第六の実施形態の動作を説明する。
【0139】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。
【0140】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光検出器１ａに与えられる。入射光は、光検出器１ａにより電気信号に変換され、カプラ１ｈを介して、ＩＣ１ｉのパワー検出部１ｉ―１および出力制御部１ｉ－２に与えられる。
【0141】
パワー検出部１ｉ―１が、電気信号を受け、出力制御部１ｉ－２を作動させると、出力制御部１ｉ－２が、電気信号を、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間だけ遅延させて、ドライバ回路１ｊに与える。ドライバ回路１ｊがレーザーダイオード１ｃを作動させると、レーザーダイオード１ｃから光信号が出力される。光信号は、レンズ１ｄおよび減衰器１ｅを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0142】
第六の実施形態によれば、第三の実施形態と同様な効果を奏する。
【0143】
第七の実施形態
第七の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第一の実施形態と異なる。
第七の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第一の実施形態と異なる。
【0144】
第七の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照）。
【0145】
図１２は、本発明の第七の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第七の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇを備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。
【0146】
レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇは、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0147】
光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋは、入射光を所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ遅延させたものを光信号とする。なお、光ファイバ１ｋにより実現できる遅延時間は、（光ファイバ１ｋの屈折率）×（光ファイバ１ｋの長さ）／ｃである。距離Ｄ１が２００ｍの場合、光ファイバ１ｋの長さは約２７０ｍとなり、直径１０ｃｍ程度のボビンの光ファイバにより実現可能となる。
【0148】
次に、第七の実施形態の動作を説明する。
【0149】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２と入射対象４との間に配置する（図１（ｂ）参照）。
【0150】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光ファイバ１ｋに与えられる。入射光は、光ファイバ１ｋにより、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、光信号となる。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、入射対象４のほぼ中央に与えられる。光信号は入射対象４により反射されて反射光信号となる。
【0151】
反射光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。反射光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0152】
第七の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。
【0153】
なお、第七の実施形態においては、光ファイバ１ｋを用いる旨を説明したが、光ファイバ１ｋにかえて、多重反射セルまたは多重反射ファイバを用いてもよい。
【0154】
多重反射セルは、ヘリオットセルともいい、対向した凹面鏡を多重反射して出力するセルである。多重反射セルにより実現できる遅延時間は、（多重反射セルにおける多重反射の回数）×（多重反射セルにおける対向した凹面鏡の間隔）／ｃである。
【0155】
多重反射ファイバは、光ファイバの両端に反射材をコーティングしたものである。ただし、反射材は全反射するものではない。多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ１は、２×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。多重反射ファイバの入力端に光パルスを与えると、この遅延時間Ｔ１間隔の光パルスが多重反射ファイバの出力端から出力される。
【0156】
なお、多重反射ファイバの出力端を、全反射材またはレンズ１ｄへ光信号を出力する部分のいずれかに接続する光スイッチを設けてもよい。光スイッチは、多重反射ファイバの入力端と全反射材との間を光が所定回数（ｍ回）往復するまでは、出力端を全反射材に接続し、その後、出力端をレンズ１ｄへ光信号を出力する部分に接続する。この場合、多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ２は、２×ｍ×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。
【0157】
第八の実施形態
第八の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第二の実施形態と異なる。
第八の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第二の実施形態と異なる。
【0158】
第八の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様および試験の際の使用態様は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する（図１参照、ただし、入射対象４に代えてカプラ５を使用する）。ただし、カプラ５は、光学試験用装置１に含まれるものとする（図１３参照）。
【0159】
図１３は、本発明の第八の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第八の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、カプラ（光進行方向変化部）５を備える。カプラ５は、入力端５ａ、分岐部５ｂ、出力端５ｐ、５ｑを有する。以下、第二の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。
【0160】
レンズ１ｄ、減衰器１ｅ、ガルバノミラー１ｆ、１ｇ、カプラ５は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0161】
光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋは、入射光を所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ遅延させたものを光信号とする。なお、光ファイバ１ｋにより実現できる遅延時間は、（光ファイバ１ｋの屈折率）×（光ファイバ１ｋの長さ）／ｃである。距離Ｄ１が２００ｍの場合、光ファイバ１ｋの長さは約２７０ｍとなり、直径１０ｃｍ程度のボビンの光ファイバにより実現可能となる。
【0162】
次に、第八の実施形態の動作を説明する。
【0163】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、カプラ５を有する光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。
【0164】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光ファイバ１ｋに与えられる。入射光は、光ファイバ１ｋにより、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、光信号となる。光信号は、レンズ１ｄ、減衰器１ｅおよびガルバノミラー１ｆを通過して、カプラ５の入力端５ａに与えられる。光信号はカプラ５により進行方向が変化して方向変化光信号となって、出力端５ｐ、５ｑから光学測定器具２に向かって照射される。
【0165】
方向変化光信号の光路は、ガルバノミラー１ｇによって受光部２ｂに向かうものに変えられる。方向変化光信号は、ガルバノミラー１ｇを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0166】
第八の実施形態によれば、第二の実施形態と同様な効果を奏する。
【0167】
なお、第八の実施形態においては、光ファイバ１ｋを用いる旨を説明したが、光ファイバ１ｋにかえて、多重反射セルまたは多重反射ファイバを用いてもよい。
【0168】
多重反射セルは、ヘリオットセルともいい、対向した凹面鏡を多重反射して出力するセルである。多重反射セルにより実現できる遅延時間は、（多重反射セルにおける多重反射の回数）×（多重反射セルにおける対向した凹面鏡の間隔）／ｃである。
【0169】
多重反射ファイバは、光ファイバの両端に反射材をコーティングしたものである。ただし、反射材は全反射するものではない。多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ１は、２×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。多重反射ファイバの入力端に光パルスを与えると、この遅延時間Ｔ１間隔の光パルスが多重反射ファイバの出力端から出力される。
【0170】
なお、多重反射ファイバの出力端を、全反射材またはレンズ１ｄへ光信号を出力する部分のいずれかに接続する光スイッチを設けてもよい。光スイッチは、多重反射ファイバの入力端と全反射材との間を光が所定回数（ｍ回）往復するまでは、出力端を全反射材に接続し、その後、出力端をレンズ１ｄへ光信号を出力する部分に接続する。この場合、多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ２は、２×ｍ×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。
【0171】
第九の実施形態
第九の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第三の実施形態と異なる。
第九の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光検出器１ａ、可変遅延素子１ｂおよびレーザーダイオード１ｃにかえて光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋを使用する点が、第三の実施形態と異なる。
【0172】
第九の実施形態にかかる光学測定器具２の実際の使用態様は第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0173】
図１４は、本発明の第九の実施形態にかかる光学試験用装置１の構成を示す機能ブロック図である。第九の実施形態にかかる光学試験用装置１は、光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋ、レンズ１ｄ、減衰器１ｅを備える。以下、第三の実施形態と同様な部分は、同一の符号を付して説明を省略する。
【0174】
レンズ１ｄ、減衰器１ｅは、第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【0175】
光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）１ｋは、入射光を所定の遅延時間（第一の実施形態と同様）だけ遅延させたものを光信号とする。なお、光ファイバ１ｋにより実現できる遅延時間は、（光ファイバ１ｋの屈折率）×（光ファイバ１ｋの長さ）／ｃである。距離Ｄ１が２００ｍの場合、光ファイバ１ｋの長さは約２７０ｍとなり、直径１０ｃｍ程度のボビンの光ファイバにより実現可能となる。
【0176】
次に、第九の実施形態の動作を説明する。
【0177】
まず、光学測定器具２が距離Ｄ１を正確に測定できる否かの試験を行うために、光学試験用装置１を、光学測定器具２の前に配置する。
【0178】
光学測定器具２の光源２ａからの入射光は、光学試験用装置１の光ファイバ１ｋに与えられる。入射光は、光ファイバ１ｋにより、２×Ｄ１／ｃにほぼ等しい遅延時間（例えば、２×Ｄ１／ｃまたは２×（Ｄ１－Ｄ２）／ｃ）だけ遅延されて、光信号となる。光信号は、レンズ１ｄおよび減衰器１ｅを通過して、光学測定器具２の受光部２ｂに与えられる。
【0179】
第九の実施形態によれば、第三の実施形態と同様な効果を奏する。
【0180】
なお、第九の実施形態においては、光ファイバ１ｋを用いる旨を説明したが、光ファイバ１ｋにかえて、多重反射セルまたは多重反射ファイバを用いてもよい。
【0181】
多重反射セルは、ヘリオットセルともいい、対向した凹面鏡を多重反射して出力するセルである。多重反射セルにより実現できる遅延時間は、（多重反射セルにおける多重反射の回数）×（多重反射セルにおける対向した凹面鏡の間隔）／ｃである。
【0182】
多重反射ファイバは、光ファイバの両端に反射材をコーティングしたものである。ただし、反射材は全反射するものではない。多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ１は、２×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。多重反射ファイバの入力端に光パルスを与えると、この遅延時間Ｔ１間隔の光パルスが多重反射ファイバの出力端から出力される。
【0183】
なお、多重反射ファイバの出力端を、全反射材またはレンズ１ｄへ光信号を出力する部分のいずれかに接続する光スイッチを設けてもよい。光スイッチは、多重反射ファイバの入力端と全反射材との間を光が所定回数（ｍ回）往復するまでは、出力端を全反射材に接続し、その後、出力端をレンズ１ｄへ光信号を出力する部分に接続する。この場合、多重反射ファイバにより実現できる遅延時間Ｔ２は、２×ｍ×（多重反射ファイバの屈折率）×（多重反射ファイバの長さ）／ｃである。
【0184】
第十の実施形態
図１５は、本発明の第十の実施形態にかかる半導体試験装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
図１５は、本発明の第十の実施形態にかかる半導体試験装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
【0185】
第十の実施形態にかかる半導体試験装置（光学試験装置）１０は、光学試験用装置１および試験部８を備える。
【0186】
光学試験用装置１は、上記の実施形態（第一の実施形態から第九の実施形態まで）のいずれか一つと同様であるので、説明を省略する。なお、図１５においては、入射対象４が図示されているが（第一、第四、第七の実施形態を参照）、入射対象４にかえてカプラ５を用いてもよいし（第二、第五、第八の実施形態を参照）、そもそも入射対象４を用いなくてもかまわない（第三、第六、第九の実施形態を参照）。
【0187】
測定モジュール６は、光学測定器具２を用いて測定を行う。測定モジュール６は、光学測定器具２に入射光を照射する指示を行い、反射光信号を受け取る。測定モジュール６は、第一の実施形態において説明したように、実際の使用態様（図１（ａ）参照）においては、光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ１の測定を行う。ほかにも、測定モジュール６は、入射光と反射光信号の応答速度を測定する。
【0188】
試験部８は、光学測定器具２を用いた測定モジュール６による測定に関する試験を行う。例えば、試験部８は、入射光と反射光の応答速度の測定に関する試験および光学測定器具２と入射対象４との間の距離Ｄ１の測定の精度に関する試験を行う。なお、ほかにも、試験部８は、制御バス、電源などの機能を確認する機能確認試験、特定波長の検出効率が規定範囲内か否かを判断する検出効率試験を行う。また、試験部８は、光学測定器具２の入射光ON/OFF、入射光のパワーおよび射出角度などの制御と、光学試験用装置１の遅延時間の設定や光パワーの減衰のための減衰器１ｅを含む光学系の制御および入射対象４の反射率の制御を行う。
【符号の説明】
【0189】
２ 光学測定器具
２ａ 光源
２ｂ 受光部
４ 入射対象
５ カプラ（光進行方向変化部）
５ａ 入力端
５ｂ 分岐部
５ｐ、５ｑ 出力端
１ 光学試験用装置
１ａ 光検出器（入射光受理部）
１ｂ 可変遅延素子（電気信号遅延部）
１ｂ－１、１ｂ－２ 遅延素子
１ｃ レーザーダイオード（光信号付与部）
１ｄ レンズ
１ｅ 減衰器
１ｆ、１ｇ ガルバノミラー
１ｈ カプラ
１ｉ ＩＣ
１ｉ―１ パワー検出部
１ｉ－２ 出力制御部
１ｊ ドライバ回路
１ｋ 光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）
６ 測定モジュール
８ 試験部
１０ 半導体試験装置
２ａ 光源
２ｂ 受光部
４ 入射対象
５ カプラ（光進行方向変化部）
５ａ 入力端
５ｂ 分岐部
５ｐ、５ｑ 出力端
１ 光学試験用装置
１ａ 光検出器（入射光受理部）
１ｂ 可変遅延素子（電気信号遅延部）
１ｂ－１、１ｂ－２ 遅延素子
１ｃ レーザーダイオード（光信号付与部）
１ｄ レンズ
１ｅ 減衰器
１ｆ、１ｇ ガルバノミラー
１ｈ カプラ
１ｉ ＩＣ
１ｉ―１ パワー検出部
１ｉ－２ 出力制御部
１ｊ ドライバ回路
１ｋ 光ファイバ（光信号付与部かつ入射光遅延部）
６ 測定モジュール
８ 試験部
１０ 半導体試験装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】