特開2023-61509多結晶炭化珪素基板の製造方法

発明の名称　多結晶炭化珪素基板の製造方法

出願人　株式会社サイコックス　（識別番号 313001309）

　　　　特許公開件数ランキング 11966 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24983 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-61509

公報発行日　2023年5月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-61509

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