特開 2023-62351 光変調器、位相シフタ及び光通信装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023062351

(43)【公開日】2023-05-08

(54)【発明の名称】光変調器、位相シフタ及び光通信装置

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/025 20060101AFI20230426BHJP

【ＦＩ】

G02F1/025

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021172266

(22)【出願日】2021-10-21

(71)【出願人】

【識別番号】309015134

【氏名又は名称】富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉山 昌樹

【テーマコード（参考）】

2K102

【Ｆターム（参考）】

2K102AA28

2K102BA03

2K102BB01

2K102BB04

2K102BC10

2K102BD01

2K102CA00

2K102CA20

2K102DA04

2K102DB04

2K102DB05

2K102DB08

2K102DC08

2K102DD03

2K102EA02

2K102EB11

2K102EB12

(57)【要約】

【課題】光変調器の小型化を図りながら、光変調器内の各光導波路の導波路長を同一にできる光変調器等を提供することを目的とする。
【解決手段】光変調器は、信号光が通過する光導波路と、光導波路を通過する信号光を分岐する分岐部と、分岐部にて分岐された各信号光の位相をシフトする一対の位相シフタと、を有する。位相シフタは、信号光が通過するシフタ内導波路と、駆動電圧に応じてシフタ内導波路を加熱するヒータ電極と、を有する。シフタ内導波路は、分岐部からの信号光を入力する往路導波路と、信号光を出力する復路導波路と、往路導波路と復路導波路との間を接続する折り返し導波路と、を有する。往路導波路及び復路導波路の近傍にヒータ電極が配置される。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

信号光が通過する光導波路と、前記光導波路を通過する前記信号光を分岐する分岐部と、前記分岐部にて分岐された各信号光の位相をシフトする一対の位相シフタと、を有する光変調器であって、
前記位相シフタは、
前記信号光が通過するシフタ内導波路と、駆動電圧に応じて前記シフタ内導波路を加熱するヒータ電極と、を有し、
前記シフタ内導波路は、
前記分岐部からの前記信号光を入力する往路導波路と、前記信号光を出力する復路導波路と、前記往路導波路と前記復路導波路との間を接続する折り返し導波路と、を有し、前記往路導波路及び前記復路導波路の近傍に前記ヒータ電極が配置されることを特徴とする光変調器。

【請求項2】

前記光変調器は、
前記一対の位相シフタの内、一方の位相シフタと直列に接続する一方の高周波側位相シフタと、他方の位相シフタと直列に接続する他方の高周波側位相シフタとを並列に配置し、
前記一方の位相シフタは、
前記一方の高周波側位相シフタの両側面の内、一方の側面側に並列に配置され、
前記他方の位相シフタは、
前記他方の高周波側位相シフタの両側面の内、前記一方の側面と異なる他方の側面側に並列に配置されることを特徴とする請求項１に記載の光変調器。

【請求項3】

前記光変調器は、
前記一対の位相シフタの内、一方の位相シフタと直列に接続する一方の高周波側位相シフタと、他方の位相シフタと直列に接続する他方の高周波側位相シフタとを並列に配置し、
前記一方の位相シフタは、
前記一方の高周波側位相シフタの両側面の内、一方の側面側に並列に配置され、
前記他方の位相シフタは、
前記他方の高周波側位相シフタの両側面の内、前記一方の側面側に並列に配置されることを特徴とする請求項１に記載の光変調器。

【請求項4】

前記光変調器は、
前記一対の位相シフタの内、一方の位相シフタと直列に接続する一方の高周波側位相シフタと、他方の位相シフタと直列に接続する他方の高周波側位相シフタとを並列に配置し、
前記一方の位相シフタは、
前記一方の高周波側位相シフタの両側面の内、一方の側面側に隣接して並列に配置され、
前記他方の位相シフタは、
前記他方の高周波側位相シフタの両側面の内、前記一方の側面側に隣接して並列に配置されることを特徴とする請求項１に記載の光変調器。

【請求項5】

前記光変調器は、
前記一対の位相シフタの内、一方の位相シフタと直列に接続する一方の高周波側位相シフタと、他方の位相シフタと直列に接続する他方の高周波側位相シフタとを並列に配置し、
前記一方の位相シフタは、
前記一方の高周波側位相シフタの両側面の内、一方の側面側に並列に配置され、
前記他方の位相シフタは、
前記一方の高周波側位相シフタの前記一方の側面側に並列に配置され、前記一方の位相シフタに直列に配置されることを特徴とする請求項１に記載の光変調器。

【請求項6】

信号光が通過する光導波路と、前記光導波路に前記信号光を入力する入力部と、前記光導波路を通過する前記信号光を分岐する分岐部と、前記分岐部にて分岐された各信号光を変調する一対の光変調器と、を有し、
前記光変調器内の位相シフタは、
前記信号光が通過するシフタ内導波路と、駆動電圧に応じて前記シフタ内導波路を加熱するヒータ電極と、を有し、前記シフタ内導波路は、前記分岐部からの前記信号光を入力する往路導波路と、前記信号光を出力する復路導波路と、前記往路導波路と前記復路導波路との間を接続する折り返し導波路と、を有し、前記往路導波路及び前記復路導波路の近傍に前記ヒータ電極が配置され、
前記入力部から一方の光変調器までの導波路長と前記入力部から他方の光変調器までの導波路長とが異なることを特徴とする請求項１に記載の光変調器。

【請求項7】

信号光が通過するシフタ内導波路と、駆動電圧に応じて前記シフタ内導波路を加熱するヒータ電極と、を有し、前記ヒータ電極の加熱に応じて前記シフタ内導波路を通過する前記信号光の位相をシフトする位相シフタであって、
前記シフタ内導波路は、
前記信号光を入力する往路導波路と、前記信号光を出力する復路導波路と、前記往路導波路と前記復路導波路との間を接続する折り返し導波路と、を有し、前記往路導波路及び前記復路導波路の近傍に前記ヒータ電極が配置されることを特徴とする位相シフタ。

【請求項8】

電気信号に対する信号処理を実行するプロセッサと、
光を発生させる光源と、
前記プロセッサから出力される電気信号を用いて、前記光源から発生する光を変調する光変調器と、を有する光通信装置であって、
前記光変調器内の位相シフタは、
前記光が通過するシフタ内導波路と、前記電気信号の駆動電圧に応じて前記シフタ内導波路を加熱するヒータ電極と、を有し、前記ヒータ電極の加熱に応じて前記シフタ内導波路を通過する前記光の位相をシフトし、
前記シフタ内導波路は、
前記光を入力する往路導波路と、前記光を出力する復路導波路と、前記往路導波路と前記復路導波路との間を接続する折り返し導波路と、を有し、前記往路導波路及び前記復路導波路の近傍に前記ヒータ電極が配置されることを特徴とする光通信装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光変調器、位相シフタ及び光通信装置に関する。

【背景技術】

【0002】

光変調器は、４チャネルのマッハツェンダ変調器が集積されている。各マッハツェンダ干渉計(Mach-Zehnder Interferometer:ＭＺＩ)には、ＲＦ位相シフタ（Radio Frequency Phase Shifter：ＲＦＰＳ）及びＤＣ位相シフタ（Direct Current Phase Shifter：ＤＣＰＳ）がある。ＲＦＰＳには、例えば、数１０ＧＨｚの帯域をもつ高速信号を入力し、高速変調を行うＭＺＩである。ＤＣＰＳは、例えば、ヒータ電極で構成され、ヒータ電極に電流を流して光導波路を加熱することで光導波路の屈折率を変化させ、光の位相を調整するＭＺＩである。光変調器は、ＲＦＰＳに入力する電気信号のＯＮ/ＯＦＦが光信号のＯＮ/ＯＦＦに対応するように、ＤＣＰＳのヒータ電極に流す電流を調整する。

【0003】

図１５は、従来の光変調器の一例を示すブロック図である。図１５に示す光変調器１００は、光導波路１１１と、光入力部１１２と、第１の分岐部１１３と、Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａ（１１４）と、Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂ（１１４）とを有する。光変調器１００は、偏波回転部（ＰＲ：Polarization Rotator）１１５と、偏波ビームコンバイナ（ＰＢＣ:Polarization Beam Combiner)１１６と、光出力部１１７とを有する。

【0004】

光導波路１１１は、光導波路１１１Ａと、光導波路１１１Ｂと、光導波路１１１Ｃとを有する。光導波路１１１Ａは、光入力部１１２と第１の分岐部１１３との間を接続する光導波路である。光導波路１１１Ｂは、Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａ内の第２の合波部１２７Ａ（１２７）と光出力部１１７との間、Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂ内の第２の合波部１２７Ｂ（１２７）と光出力部１１７との間を接続する光導波路である。光導波路１１１Ｃは、第１の分岐部１１３と第２の合波部１２７との間を接続する光導波路である。

【0005】

光入力部１１２は、図示せぬ光源からのレーザ光を入力する。第１の分岐部１１３は、光入力部１１２からのレーザ光を光分岐し、光分岐後のレーザ光をＸ偏波ＭＺＭ１１４Ａ及びＹ偏波ＭＺＭ１１４Ｂに出力する。

【0006】

Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａは、第１の分岐部１１３で分岐後のレーザ光をＸ偏波のデータ信号で直交位相変調し、Ｘ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＢＣ１１６に出力する。Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂは、第１の分岐部１１３で分岐後のレーザ光をＹ偏波のデータ信号で直交位相変調し、Ｙ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＲ１１５に出力する。ＰＲ１１５は、Ｙ偏波ＭＺＭ１１４ＢからのＹ偏波のＩＱ成分の信号光を偏波回転してＸ偏波のＩＱ成分の信号光に変換し、変換後のＸ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＢＣ１１６に出力する。更に、ＰＢＣ１１６は、Ｘ偏波ＭＺＭ１１４ＡからのＸ偏波のＩＱ成分の信号光と、ＰＲ１１５からの変換後のＸ偏波のＩＱ成分の信号光とを合波して偏波多重信号光を光出力部１１７に出力する。

【0007】

Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａは、第２の分岐部１２１Ａ（１２１）と、２個の第３の分岐部１２２（１２２Ａ）と、２個のＲＦ側ＭＺＭ１２３（１２３Ａ，１２３Ｂ）と、２個のＤＣ側子ＭＺＭ１２４（１２４Ａ，１２４Ｂ）とを有する。更に、Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａは、２個の第１の合波部１２６（１２６Ａ，１２６Ｂ）と、ＤＣ側親ＭＺＭ１２５（１２５Ａ）と、第２の合波部１２７（１２７Ａ）とを有する。

【0008】

第３の分岐部１２２Ａは、第２の分岐部１２１Ａからのレーザ光をＲＦ側ＭＺＭ１２３Ａ内の各ＲＦＰＳ１４１に分岐出力する。ＲＦ側ＭＺＭ１２３Ａは、２個のＲＦ電極１２８と、２個のＲＦＰＳ１４１とを有する。ＲＦ側ＭＺＭ１２３Ａ内の各ＲＦＰＳ１４１は、ＲＦ電極１２８からの高速信号に応じてレーザ光を高速変調し、高速変調後のレーザ光をＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ａ内の各子ＤＣＰＳ１４２に出力する。

【0009】

ＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ａは、２個のＤＣ電極１３０Ａ（１３０）と、２個の子ＤＣＰＳ１４２とを有する。ＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ａ内の各子ＤＣＰＳ１４２は、高速変調後のレーザ光をＤＣ電極１３０Ａからのデータ信号に応じて位相変調し、位相変調後のＩ成分の信号光を第１の合波部１２６Ａに出力する。第１の合波部１２６Ａは、各子ＤＣＰＳ１４２からのＩ成分の信号光を合波し、合波後のＩ成分の信号光をＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ａ内の一方の親ＤＣＰＳ１４３に出力する。

【0010】

ＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ｂは、２個のＤＣ電極１３０Ａと、２個の子ＤＣＰＳ１４２とを有する。ＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ｂ内の各子ＤＣＰＳ１４２は、高速変調後のレーザ光をＤＣ電極からのデータ信号に応じて位相変調し、位相変調後のＱ成分の信号光を第１の合波部１２６Ｂに出力する。第１の合波部１２６Ｂは、各子ＤＣＰＳ１４２からのＱ成分の信号光を合波し、合波後のＱ成分の信号光をＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ａ内の他方の親ＤＣＰＳ１４３に出力する。

【0011】

ＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ａは、２個のＤＣ電極１３０Ｂ（１３０）と、２個の親ＤＣＰＳ１４３とを有する。ＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ａ内の一方の親ＤＣＰＳ１４３は、ＤＣ電極１３０Ｂからの駆動電圧信号に応じて位相変調後のＩ成分の信号光を直交変調し、直交変調後のＸ偏波のＩ成分の信号光を第２の合波部１２７Ａに出力する。ＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ａ内の他方の親ＤＣＰＳ１４３は、ＤＣ電極１３０Ｂからの駆動電圧信号に応じて位相変調後のＱ成分の信号光を直交変調し、直交変調後のＸ偏波のＱ成分の信号光を第２の合波部１２７Ａに出力する。

【0012】

第２の合波部１２７Ａは、ＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ａ内の一方の親ＤＣＰＳ１４３からのＸ偏波のＩ成分の信号光と、一方のＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ａ内の他方の親ＤＣＰＳ１４３からのＸ偏波のＱ成分の信号光とを合波する。そして、第２の合波部１２７Ａは、合波後のＸ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＢＣ１１６に出力する。

【0013】

Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂは、第２の分岐部１２１Ｂ（１２１）と、２個の第３の分岐部１２２Ｂ（１２２）と、２個のＲＦ側ＭＺＭ１２３（１２３Ｃ，１２３Ｄ）と、２個のＤＣ側子ＭＺＭ１２４（１２４Ｃ，１２４Ｄ）とを有する。Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂは、２個の第１の合波部１２６（１２６Ｃ，１２６Ｄ）と、ＤＣ側親ＭＺＭ１２５（１２５Ｂ）と、第２の合波部１２７（１２７Ｂ）とを有する。

【0014】

第３の分岐部１２２Ｂは、第２の分岐部１２１Ｂからのレーザ光をＲＦ側ＭＺＭ１２３Ｃ内の各ＲＦＰＳ１４１に分岐出力する。ＲＦ側ＭＺＭ１２３Ｃは、２個のＲＦ電極１２８と、２個のＲＦＰＳ１４１とを有する。ＲＦ側ＭＺＭ１２３Ｃ内の各ＲＦＰＳ１４１は、ＲＦ電極１２８からの高速信号に応じてレーザ光を高速変調し、高速変調後のレーザ光をＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ｃ内の各子ＤＣＰＳ１４２に出力する。

【0015】

ＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ｃは、２個のＤＣ電極１３０Ａ（１３０）と、２個の子ＤＣＰＳ１４２とを有する。ＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ｃ内の各子ＤＣＰＳ１４２は、高速変調後のレーザ光をＤＣ電極１３０Ａからのデータ信号に応じて位相変調し、位相変調後のＩ成分の信号光を第１の合波部１２６Ｃに出力する。第１の合波部１２６Ｃは、各子ＤＣＰＳ１４２からのＩ成分の信号光を合波し、合波後のＩ成分の信号光をＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ｂ内の一方の親ＤＣＰＳ１４３に出力する。

【0016】

ＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ｄは、２個のＤＣ電極１３０Ａと、２個の子ＤＣＰＳ１４２とを有する。ＤＣ側子ＭＺＭ１２４Ｄ内の各子ＤＣＰＳ１４２は、高速変調後のレーザ光をＤＣ電極からのデータ信号に応じて位相変調し、位相変調後のＱ成分の信号光を第１の合波部１２６Ｄに出力する。第１の合波部１２６Ｄは、各子ＤＣＰＳ１４２からのＱ成分の信号光を合波し、合波後のＱ成分の信号光をＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ｂ内の他方の親ＤＣＰＳ１４３に出力する。

【0017】

ＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ｂは、２個のＤＣ電極１３０Ｂ（１３０）と、２個の親ＤＣＰＳ１４３とを有する。ＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ｂ内の一方の親ＤＣＰＳ１４３は、ＤＣ電極１３０Ｂからの駆動電圧信号に応じて位相変調後のＩ成分の信号光を直交変調し、直交変調後のＹ偏波のＩ成分の信号光を第２の合波部１２７Ｂに出力する。ＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ｂ内の他方の親ＤＣＰＳ１４３は、ＤＣ電極１３０Ｂからの駆動電圧信号に応じて位相変調後のＱ成分の信号光を直交変調し、直交変調後のＹ偏波のＱ成分の信号光を第２の合波部１２７Ｂに出力する。

【0018】

第２の合波部１２７Ｂは、ＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ｂ内の一方の親ＤＣＰＳ１４３からのＹ偏波のＩ成分の信号光と、一方のＤＣ側親ＭＺＭ１２５Ｂ内の他方の親ＤＣＰＳ１４３からのＹ偏波のＱ成分の信号光とを合波する。そして、第２の合波部１２７Ｂは、合波後のＹ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＲ１１５に出力する。ＰＲ１１５は、第２の合波部１２７ＢからのＹ偏波のＩＱ成分の信号光を偏波回転し、偏波回転後のＸ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＢＣ１１６に出力する。ＰＢＣ１１６は、第２の合波部１２７ＡからのＸ偏波のＩＱ成分の信号光と、ＰＲ１１５からのＸ偏波のＩＱ成分の信号光とを偏波多重し、偏波多重信号を光出力部１１７から出力する。

【0019】

しかしながら、図１５に示す光変調器１００では、例えば、Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａ内の第２の分岐部１２１Ａから第２の合波部１２７Ａまでの各ＭＺＭの光導波路の導波路長と、Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂ内の第２の分岐部１２１Ｂから第２の合波部１２７Ｂまでの各ＭＺＭの光導波路の導波路長とが異なる。各ＭＺＭの光導波路の導波路長が異なる場合には、導波路長差に応じて各ＭＺＭの光学長差が生じる。各ＭＺＭの光学長差に応じて各ＭＺＭの光損失及び駆動電圧が異なる。そこで、Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａ内の各ＭＺＭの光導波路の導波路長と、Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂ内の各ＭＺＭの光導波路の導波路長とを同一にするように導波路長を調整する調整部を配置したものが知られている。

【0020】

図１６は、従来の光変調器１００Ａの構成の一例を示す平面模式図である。尚、図１５に示す光変調器１００と同一の構成には同一符号を付すことで、その重複する構成及び動作の説明については省略する。図１６に示す光変調器１００Ａと図１５に示す光変調器１００とが異なるところは、子ＤＣＰＳ１４２と第１の合波部１２６との間の折り返し導波路の導波路長を調整する調整部１４０を有する点にある。調整部１４０は、子ＤＣＰＳ１４２と第１の合波部１２６との間の各光導波路の導波路長が同一になるように折り返し導波路の導波路長を調整する。

【0021】

調整部１４０は、Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａ内の第２の分岐部１２１Ａから第２の合波部１２７Ａまでの各光導波路の導波路長と、Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂ内の第２の分岐部１２１Ｂから第２の合波部１２７Ｂまでの各光導波路の導波路長とを同一にする折り返し導波路である。同様に、調整部１４０は、Ｘ偏波ＭＺＭ１１４Ａ内の第２の分岐部１２１Ａから第２の合波部１２７Ａまでの各光導波路の導波路長を同一にする折り返し導波路である。同様に、調整部１４０は、Ｙ偏波ＭＺＭ１１４Ｂ内の第２の分岐部１２１Ｂから第２の合波部１２７Ｂまでの各光導波路の導波路長を同一にする折り返し導波路である。その結果、折り返し導波路を調整することで、子ＤＣＰＳ１４２と第１の合波部１２６との間の各光導波路の導波路長が同一になるため、例えば、波長依存性を回避した安定した光変調器１００Ａを提供できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0022】

【特許文献1】特開２０１３－３４４２号公報

【特許文献2】特開２０００－２３５１６９号公報

【特許文献3】特開２０１９－１５２７３２号公報

【特許文献4】米国特許出願公開第２０１４／０２１２０９２号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0023】

しかしながら、光変調器１００Ａでは、調整部１４０を配置するための配置スペースが必要となるため、光変調器１００Ａ全体のチップサイズが大きくなる。しかも、光導波路の全長が長くなるため光の損失が増え、しかも、チャネル数が多い場合には、ヒータ電極の消費電力が大きくなる。従って、光変調器の小型化を図りながら、光変調器内の各光導波路の導波路長を同一にできる光変調器が求められている。

【0024】

開示の技術は、かかる点に鑑みてなされたものであって、光変調器の小型化を図りながら、光変調器内の各光導波路の導波路長を同一にできる光変調器等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0025】

本願が開示する光変調器は、１つの態様において、信号光が通過する光導波路と、光導波路を通過する信号光を分岐する分岐部と、分岐部にて分岐された各信号光の位相をシフトする一対の位相シフタと、を有する。位相シフタは、信号光が通過するシフタ内導波路と、駆動電圧に応じてシフタ内導波路を加熱するヒータ電極と、を有する。シフタ内導波路は、分岐部からの信号光を入力する往路導波路と、信号光を出力する復路導波路と、往路導波路と復路導波路との間を接続する折り返し導波路と、を有する。往路導波路及び復路導波路の近傍にヒータ電極が配置される。

【発明の効果】

【0026】

本願が開示する光変調器等の１つの態様によれば、光変調器の小型化を図りながら、光変調器内の各光導波路の導波路長を同一にできる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】図１は、実施例１の光通信装置の構成の一例を示すブロック図である。

【図2】図２は、光変調器の構成の一例を示す平面模式図である。

【図3】図３は、子ＤＣＰＳの構成の一例を示す平面模式図である。

【図4】図４は、図３に示すＡ－Ａ線断面の一例を示す略断面図である。

【図5】図５は、図３に示すＢ－Ｂ線断面の一例を示す略断面図である。

【図6】図６は、実施例２の光変調器の構成の一例を示す平面模式図である。

【図7】図７は、子ＤＣＰＳの構成の一例を示す平面模式図である。

【図8】図８は、図７に示すＣ－Ｃ線断面の一例を示す略断面図である。

【図9】図９は、実施例３の光変調器の構成の一例を示す平面模式図である。

【図10】図１０は、子ＤＣＰＳの構成の一例を示す平面模式図である。

【図11】図１１は、図１０に示すＤ－Ｄ線断面の一例を示す略断面図である。

【図12】図１２は、実施例４の光変調器の構成の一例を示す平面模式図である。

【図13】図１３は、実施例５の光変調器の構成の一例を示す平面模式図である。

【図14】図１４は、実施例６の光変調器の構成の一例を示す平面模式図である。

【図15】図１５は、従来の光変調器の構成の一例を示す平面模式図である。

【図16】図１６は、従来の光変調器の構成の一例を示す平面模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本願が開示する光通信装置等の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。

【実施例0029】

図１は、本実施例の光通信装置の構成の一例を示すブロック図である。図１に示す光通信装置１は、出力側の光ファイバ２Ａ（２）及び入力側の光ファイバ２Ｂ（２）と接続する、例えば、光コヒーレント送受信機である。光通信装置１は、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）３と、光源４と、光変調器５と、光受信器６とを有する。ＤＳＰ３は、デジタル信号処理を実行する電気部品である。ＤＳＰ３は、例えば、送信データの符号化等の処理を実行し、実行後の送信データに相当するデータ信号を光変調器５に出力する。また、ＤＳＰ３は、光受信器６から得たデータ信号に相当する受信データに対して復号化等の処理を実行する。

【0030】

光源４は、例えば、波長可変のレーザダイオード等を備え、所定の波長の光を発生させて光変調器５及び光受信器６へ供給する、例えば、ＩＴＬＡ（Integrated Tunable Laser Assembly）である。

【0031】

図２は、光変調器５の一例を示すブロック図である。図１４に示す光変調器５は、光導波路１１と、光入力部１２と、第１の分岐部１３と、Ｘ偏波ＭＺＭ１４Ａ（１４）と、Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂ（１４）とを有する。光変調器５は、偏波回転部（ＰＲ：Polarization Rotator）１５と、偏波ビームコンバイナ（ＰＢＣ:Polarization Beam Combiner)１６と、光出力部１７とを有する。

【0032】

光導波路１１は、光導波路１１Ａと、光導波路１１Ｂと、光導波路１１Ｃとを有する。光導波路１１Ａは、光入力部１２と第１の分岐部１３との間を接続する光導波路である。光導波路１１Ｂは、Ｘ偏波ＭＺＭ１４Ａ内の第２の合波部２７Ａ（２７）と光出力部１７との間、Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂ内の第２の合波部２７Ｂ（２７）と光出力部１７との間を接続する光導波路である。光導波路１１Ｃは、第１の分岐部１３と第２の合波部２７との間を接続する光導波路である。

【0033】

光入力部１２は、光源４からのレーザ光を入力する。第１の分岐部１３は、光入力部１２からのレーザ光を光分岐し、光分岐後のレーザ光をＸ偏波ＭＺＭ１４Ａ及びＹ偏波ＭＺＭ１４Ｂに出力する。

【0034】

Ｘ偏波ＭＺＭ１４Ａは、第１の分岐部１３で分岐後のレーザ光をＸ偏波のデータ信号で直交位相変調し、Ｘ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＢＣ１６に出力する。Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂは、第１の分岐部１３で分岐後のレーザ光をＹ偏波のデータ信号で直交位相変調し、Ｙ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＲ１５に出力する。ＰＲ１５は、Ｙ偏波ＭＺＭ１４ＢからのＹ偏波のＩＱ成分の信号光を偏波回転してＸ偏波のＩＱ成分の信号光に変換し、変換後のＸ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＢＣ１６に出力する。更に、ＰＢＣ１６は、Ｘ偏波ＭＺＭ１４ＡからのＸ偏波のＩＱ成分の信号光と、ＰＲ１５からの変換後のＸ偏波のＩＱ成分の信号光とを合波して偏波多重信号光を光出力部１７に出力する。

【0035】

Ｘ偏波ＭＺＭ１４Ａは、第２の分岐部２１Ａ（２１）と、２個の第３の分岐部２２（２２Ａ）と、２個のＲＦ側ＭＺＭ２３（２３Ａ，２３Ｂ）と、２個のＤＣ側子ＭＺＭ２４（２４Ａ，２４Ｂ）と、２個の第１の合波部２６（２６Ａ，２６Ｂ）とを有する。更に、Ｘ偏波ＭＺＭ１４Ａは、ＤＣ側親ＭＺＭ２５（２５Ａ）と、第２の合波部２７（２７Ａ）と、調整部３２とを有する。

【0036】

調整部３２は、Ｘ偏波ＭＺＭ１４Ａ内の第２の分岐部２１Ａから第２の合波部２７Ａまでの各光導波路の導波路長を同一にする光導波路である。また、Ｘ偏波ＭＺＭ１４Ａ内の調整部３２は、Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂ内の第２の分岐部２１Ｂから第２の合波部２７Ｂまでの各光導波路の導波路長と、第２の分岐部２１Ａから第２の合波部２７Ａまでの各光導波路の導波路長とを同一にする光導波路である。

【0037】

第３の分岐部２２Ａは、第２の分岐部２１Ａからのレーザ光をＲＦ側ＭＺＭ２３Ａ内の各ＲＦＰＳ４１に分岐出力する。ＲＦ側ＭＺＭ２３Ａは、２個のＲＦ電極２８と、２個のＲＦＰＳ４１とを有する。ＲＦ側ＭＺＭ２３Ａ内の各ＲＦＰＳ４１は、ＲＦ電極２８からの高速信号に応じてレーザ光を高速変調し、高速変調後のレーザ光をＤＣ側子ＭＺＭ２４Ａ内の各子ＤＣＰＳ４２に出力する。

【0038】

ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ａは、２個のＤＣ電極３０Ａ（３０）と、２個の子ＤＣＰＳ４２とを有する。ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ａは、調整部３２上に配置されている。ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ａ内の各子ＤＣＰＳ４２は、高速変調後のレーザ光をＤＣ電極３０Ａからのデータ信号に応じて位相変調し、位相変調後のＩ成分の信号光を第１の合波部２６Ａに出力する。第１の合波部２６Ａは、各子ＤＣＰＳ４２からのＩ成分の信号光を合波し、合波後のＩ成分の信号光をＤＣ側親ＭＺＭ２５Ａ内の一方の親ＤＣＰＳ４３に出力する。

【0039】

ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｂは、２個のＤＣ電極３０Ａと、２個の子ＤＣＰＳ４２とを有する。ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｂは、調整部３２上に配置されている。ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｂ内の各子ＤＣＰＳ４２は、高速変調後のレーザ光をＤＣ電極３０Ａからのデータ信号に応じて位相変調し、位相変調後のＱ成分の信号光を第１の合波部２６Ｂに出力する。第１の合波部２６Ｂは、各子ＤＣＰＳ４２からのＱ成分の信号光を合波し、合波後のＱ成分の信号光をＤＣ側親ＭＺＭ２５Ａ内の他方の親ＤＣＰＳ４３に出力する。

【0040】

ＤＣ側親ＭＺＭ２５Ａは、２個のＤＣ電極３０Ｂ（３０）と、２個の親ＤＣＰＳ４３とを有する。ＤＣ側親ＭＺＭ２５Ａ内の一方の親ＤＣＰＳ４３は、ＤＣ電極３０Ｂからの駆動電圧信号に応じて位相変調後のＩ成分の信号光を直交変調し、直交変調後のＸ偏波のＩ成分の信号光を第２の合波部２７Ａに出力する。ＤＣ側親ＭＺＭ２５Ａ内の他方の親ＤＣＰＳ４３は、ＤＣ電極３０Ｂからの駆動電圧信号に応じて位相変調後のＱ成分の信号光を直交変調し、直交変調後のＸ偏波のＱ成分の信号光を第２の合波部２７Ａに出力する。

【0041】

第２の合波部２７Ａは、ＤＣ側親ＭＺＭ２５Ａ内の一方の親ＤＣＰＳ４３からのＸ偏波のＩ成分の信号光と、一方のＤＣ側親ＭＺＭ２５Ａ内の他方の親ＤＣＰＳ４３からのＸ偏波のＱ成分の信号光とを合波する。そして、第２の合波部２７Ａは、合波後のＸ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＢＣ１６に出力する。

【0042】

Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂは、第２の分岐部２１Ｂ（２１）と、２個の第３の分岐部２２Ｂ（２２）と、２個のＲＦ側ＭＺＭ２３（２３Ｃ，２３Ｄ）と、２個のＤＣ側子ＭＺＭ２４（２４Ｃ，２４Ｄ）とを有する。更に、Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂは、２個の第１の合波部２６（２６Ｃ，２６Ｄ）と、ＤＣ側親ＭＺＭ２５（２５Ｂ）と、第２の合波部２７（２７Ｂ）と、調整部３２とを有する。

【0043】

調整部３２は、Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂ内の第２の分岐部２１Ｂから第２の合波部２７Ｂまでの各光導波路の導波路長を同一にする光導波路である。また、Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂ内の調整部３２は、Ｘ偏波ＭＺＭ１４Ａ内の第２の分岐部２１Ａから第２の合波部２７Ａまでの各光導波路の導波路長と、第２の分岐部２１Ｂから第２の合波部２７Ｂまでの各光導波路の導波路長とを同一にする光導波路である。

【0044】

第３の分岐部２２Ｂは、第２の分岐部２１Ｂからのレーザ光をＲＦ側ＭＺＭ２３Ｃ内の各ＲＦＰＳ４１に分岐出力する。ＲＦ側ＭＺＭ２３Ｃは、２個のＲＦ電極２８と、２個のＲＦＰＳ４１とを有する。ＲＦ側ＭＺＭ２３Ｃ内の各ＲＦＰＳ４１は、ＲＦ電極２８からの高速信号に応じてレーザ光を高速変調し、高速変調後のレーザ光をＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｃ内の各子ＤＣＰＳ４２に出力する。

【0045】

ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｃは、２個のＤＣ電極３０Ａ（３０）と、２個の子ＤＣＰＳ４２とを有する。ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｃは、調整部３２上に配置されている。ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｃ内の各子ＤＣＰＳ４２は、高速変調後のレーザ光をＤＣ電極３０Ａからのデータ信号に応じて位相変調し、位相変調後のＩ成分の信号光を第１の合波部２６Ｃに出力する。第１の合波部２６Ｃは、各子ＤＣＰＳ４２からのＩ成分の信号光を合波し、合波後のＩ成分の信号光をＤＣ側親ＭＺＭ２５Ｂ内の一方の親ＤＣＰＳ４３に出力する。

【0046】

ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｄは、２個のＤＣ電極３０Ａと、２個の子ＤＣＰＳ４２とを有する。ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｄは、調整部３２上に配置されている。ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｄ内の各子ＤＣＰＳ４２は、高速変調後のレーザ光をＤＣ電極３０Ａからのデータ信号に応じて位相変調し、位相変調後のＱ成分の信号光を第１の合波部２６Ｄに出力する。第１の合波部２６Ｄは、各子ＤＣＰＳ４２からのＱ成分の信号光を合波し、合波後のＱ成分の信号光をＤＣ側親ＭＺＭ２５Ｂ内の他方の親ＤＣＰＳ４３に出力する。

【0047】

ＤＣ側親ＭＺＭ２５Ｂは、２個のＤＣ電極３０Ｂ（３０）と、２個の親ＤＣＰＳ４３とを有する。ＤＣ側親ＭＺＭ２５Ｂ内の一方の親ＤＣＰＳ４３は、ＤＣ電極３０Ｂからの駆動電圧信号に応じて位相変調後のＩ成分の信号光を直交変調し、直交変調後のＹ偏波のＩ成分の信号光を第２の合波部２７Ｂに出力する。ＤＣ側親ＭＺＭ２５Ｂ内の他方の親ＤＣＰＳ４３は、ＤＣ電極３０Ｂからの駆動電圧信号に応じて位相変調後のＱ成分の信号光を直交変調し、直交変調後のＹ偏波のＱ成分の信号光を第２の合波部２７Ｂに出力する。

【0048】

第２の合波部２７Ｂは、ＤＣ側親ＭＺＭ２５Ｂ内の一方の親ＤＣＰＳ４３からのＹ偏波のＩ成分の信号光と、一方のＤＣ側親ＭＺＭ２５Ｂ内の他方の親ＤＣＰＳ４３からのＹ偏波のＱ成分の信号光とを合波する。そして、第２の合波部２７Ｂは、合波後のＹ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＲ１５に出力する。ＰＲ１５は、第２の合波部２７ＢからのＹ偏波のＩＱ成分の信号光を偏波回転し、偏波回転後のＸ偏波のＩＱ成分の信号光をＰＢＣ１６に出力する。ＰＢＣ１６は、第２の合波部２７ＡからのＸ偏波のＩＱ成分の信号光と、ＰＲ１５からのＸ偏波のＩＱ成分の信号光とを偏波多重し、偏波多重信号を光出力部１７から出力する。

【0049】

図３は、子ＤＣＰＳ４２の構成の一例を示す平面模式図、図４は、図３に示すＡ－Ａ線断面の一例を示す略断面図、図５は、図３に示すＢ－Ｂ線断面の一例を示す略断面図である。図３に示す子ＤＣＰＳ４２は、信号光が通過するシフタ内導波路５１と、駆動電圧に応じてシフタ内導波路５１を加熱するヒータ電極５２とを有する。ＤＣ電極３０Ａは、ビア５３を通じてヒータ電極５２と電気的に接続する。シフタ内導波路５１は、信号光を入力する往路導波路５１Ａと、信号光を出力する復路導波路５１Ｂと、往路導波路５１Ａと復路導波路５１Ｂとの間を接続する折り返し導波路５１Ｃとを有する。尚、折り返し導波路５１Ｃは、調整部３２と同じく、光変調器５内の各ＭＺＭの光導波路の導波路長が同一になるように調整する導波路である。つまり、各子ＤＣＰＳ４２内の折り返し導波路５１Ｃの導波路長を調整することで、例えば、第１の分岐部１３→第２の分岐部２１Ａ→第３の分岐部２２Ａ→ＲＦＰＳ４１→子ＤＣＰＳ４２→第１の合波部２６Ａの導波路長と、第１の分岐部１３→第２の分岐部２１Ａ→第３の分岐部２２Ａ→ＲＦＰＳ４１→子ＤＣＰＳ４２→第１の合波部２６Ｂの導波路長と、第１の分岐部１３→第２の分岐部２１Ｂ→第３の分岐部２２Ｂ→ＲＦＰＳ４１→子ＤＣＰＳ４２→第１の合波部２６Ｃの導波路長と、第１の分岐部１３→第２の分岐部２１Ｂ→第３の分岐部２２Ｂ→ＲＦＰＳ４１→子ＤＣＰＳ４２→第１の合波部２６Ｄの導波路長とを同一にできる。尚、光変調器５の各ＭＺＭとは、例えば、ＲＦ側ＭＺＭ２３、ＤＣ側子ＭＺＭ２４及びＤＣ側親ＭＺＭ２５である。

【0050】

各子ＤＣＰＳ４２は、往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂの近傍である下部にヒータ電極５２が配置される。つまり、１本のヒータ電極５２で子ＤＣＰＳ４２内の往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂを加熱する。

【0051】

図４及び図５に示す子ＤＣＰＳ４２は、Ｓｉ基板６１と、Ｓｉ基板６１上に積層されたクラッド層６２と、クラッド層６２内のシフタ内導波路５１の往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂとを有する。更に、子ＤＣＰＳ４２は、クラッド層６２内の往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂ上に配置されたヒータ電極５２とを有する。ビア５３は、ヒータ電極５２とＤＣ電極３０Ａとの間を電気的に接続する。

【0052】

実施例１の光変調器５内の子ＤＣＰＳ４２は、並行に配列された往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂの近傍である上部にヒータ電極５２が配置される。その結果、子ＤＣＰＳ４２内の折り返し導波路５１Ｃを導波路調整用に使用することで、光変調器５の小型化を図りながら、光変調器５内の各ＭＺＭ内の導波路長を同一に調整できる。しかも、折り返し導波路５１Ｃ前後の往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂを１本のヒータ電極５２で加熱するため、小さい電流でレーザ光の位相を調整することで、ヒータ電極５２の消費電力を大幅に低減できる。

【0053】

尚、実施例１の光変調器５では、ＲＦ側ＭＺＭ２３とＤＣ側親ＭＺＭ２５との間の調整部３２上にＤＣ側子ＭＺＭ２４を配置する場合を例示した。しかしながら、調整部３２を備えることなく、ＲＦ側ＭＺＭ２３とＤＣ側親ＭＺＭ２５との間にＤＣ側子ＭＺＭ２４を配置しても良い。この場合、ＤＣ側子ＭＺＭ２４内の各子ＤＣＰＳ４２内の折り返し導波路５１Ｃを調整することで、光変調器５内の各ＭＺＭ内の導波路長を同一に調整できる。

【0054】

また、実施例１の光変調器５では、ＲＦＰＳ４１と第１の合波部２６との間の調整部３２に子ＤＣＰＳ４２を配置する場合を例示したが、これに限定されるものではなく、適宜変更可能である。

【実施例0055】

図６は、実施例２の光変調器５Ａの構成の一例を示す平面模式図、図７は、子ＤＣＰＳ４２の構成の一例を示す平面模式図、図８は、図７に示すＣ－Ｃ線断面の一例を示す略断面図である。尚、実施例１の光変調器５と同一の構成には同一符号を付すことで、その重複する構成及び動作の説明については省略する。図６に示す光変調器５Ａと図２に示す光変調器５とが異なるところは、調整部３２をなくし、ＤＣ側子ＭＺＭ２４内の一対の子ＤＣＰＳ４２をＤＣ側子ＭＺＭ２４と直列に接続するＲＦ側ＭＺＭ２３内の一対のＲＦＰＳ４１間に並列に配置した点にある。

【0056】

更に、第３の分岐部２２と第１の合波部２６との間でＤＣ側子ＭＺＭ２４及びＲＦ側ＭＺＭ２３の順に配置した。第３の分岐部２２は、ＤＣ側子ＭＺＭ２４内の各子ＤＣＰＳ４２にレーザ光を分岐出力する。子ＤＣＰＳ４２は、第３の分岐部２２と往路導波路５１Ａとの間を光接続すると共に、復路導波路５１ＢとＲＦＰＳ４１との間を光接続する。

【0057】

ＤＣ側子ＭＺＭ２４は、一対の子ＤＣＰＳ４２の内、一方の子ＤＣＰＳ４２と直列に接続する一方のＲＦＰＳ４１と、他方の子ＤＣＰＳ４２と直列に接続する他方のＲＦＰＳ４１とを並列に配置する。一方の子ＤＣＰＳ４２は、一方のＲＦＰＳ４１の両側面の内、一方の側面側、例えば、図中の左側に並列に配置される。他方の子ＤＣＰＳ４２は、他方のＲＦＰＳ４１の両側面の内、一方の側面と異なる他方の側面側、例えば、図中の右側に並列に配置される。その結果、ＤＣ側子ＭＺＭ２４内の一対の子ＤＣＰＳ４２をＤＣ側子ＭＺＭ２４と直列に接続するＲＦ側ＭＺＭ２３内の一対のＲＦＰＳ４１間に並列に配置できる。

【0058】

図６に示すＸ偏波ＭＺＭ１４Ａ内のＤＣ側子ＭＺＭ２４は、ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ａ１と、ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｂ１とを有する。更に、Ｙ偏波ＭＺＭ１４Ｂ内のＤＣ側子ＭＺＭ２４は、ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｃ１と、ＤＣ側子ＭＺＭ２４Ｄ１とを有する。

【0059】

図７及び図８に示すＤＣ側子ＭＺＭ２４（２４Ａ１、２４Ｂ１、２４Ｃ１、２４Ｄ１）は、一対の子ＤＣＰＳ４２を有する。子ＤＣＰＳ４２は、信号光が通過するシフタ内導波路５１と、駆動電圧に応じてシフタ内導波路５１を加熱するヒータ電極５２とを有する。ＤＣ電極３０Ａは、ビア５３を通じてヒータ電極５２と電気的に接続する。シフタ内導波路５１は、信号光を入力する往路導波路５１Ａと、信号光を出力する復路導波路５１Ｂと、往路導波路５１Ａと復路導波路５１Ｂとの間を接続する折り返し導波路５１Ｃとを有する。

【0060】

第３の分岐部２２と子ＤＣＰＳ４２内の往路導波路５１Ａとの間の光導波路の導波路長と、ＲＦＰＳ４１と子ＤＣＰＳ４２内の復路導波路５１Ｂとの間の光導波路の導波路長とを調整することで、光変調器５Ａ内の各ＭＺＭの光導波路の導波路長が同一になる。つまり、子ＤＣＰＳ４２内の往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂと光接続する光導波路の導波路長を調整することで、例えば、第１の分岐部１３→第２の分岐部２１Ａ→第３の分岐部２２Ａ→子ＤＣＰＳ４２→ＲＦＰＳ４１→第１の合波部２６Ａの導波路長と、第１の分岐部１３→第２の分岐部２１Ａ→第３の分岐部２２Ａ→子ＤＣＰＳ４２→ＲＦＰＳ４１→第１の合波部２６Ｂの導波路長と、第１の分岐部１３→第２の分岐部２１Ｂ→第３の分岐部２２Ｂ→子ＤＣＰＳ４２→ＲＦＰＳ４１→第１の合波部２６Ｃの導波路長と、第１の分岐部１３→第２の分岐部２１Ｂ→第３の分岐部２２Ｂ→子ＤＣＰＳ４２→ＲＦＰＳ４１→第１の合波部２６Ｄの導波路長とを同一にする。

【0061】

子ＤＣＰＳ４２は、往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂの近傍である下部にヒータ電極５２が配置される。つまり、１本のヒータ電極５２で子ＤＣＰＳ４２内の往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂを加熱する。

【0062】

ＲＦ側ＭＺＭ２３は、一対のＲＦＰＳ４１を有する。ＲＦＰＳ４１は、光導波路１１Ｃと、２本のＲＦ電極２８と、ビア５３と、Ｐドープ層５４Ａと、Ｎドープ層５４Ｂとを有する。一方のビア５３は、一方のＲＦ電極２８とＮドープ層５４Ｂとの間を電気的に接続する。他方のビア５３は、他方のＲＦ電極２８とＰドープ層５４Ａとの間を電気的に接続する。

【0063】

子ＤＣＰＳ４２は、第３の分岐部２２からのレーザ光を往路導波路５１Ａに入力し、往路導波路５１Ａ、折り返し導波路５１Ｃ及び復路導波路５１Ｂを経由して復路導波路５１Ｂからレーザ光を出力する。子ＤＣＰＳ４２は、ヒータ電極５２への駆動電圧信号に応じて往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂを加熱してシフタ内導波路５１を通過するレーザ光を位相変調し、位相変調後のレーザ光を後段のＲＦＰＳ４１に出力する。

【0064】

ＲＦＰＳ４１も、ＲＦ電極２８への高周波信号に応じて、子ＤＣＰＳ４２からの位相変調後のレーザ光が通過する光導波路１１Ｃを加熱して光導波路１１Ｃを通過するレーザ光を高周波変調し、高周波変調後のレーザ光を第１の合波部２６に出力する。

【0065】

ＲＦ側ＭＺＭ２３内の一対のＲＦＰＳ４１間にＤＣ側子ＭＺＭ２４内の一対の子ＤＣＰＳ４２を配置するので、実施例１に比較して配置スペースを削減することで光変調器５Ａの小型化を図ることができる。しかも、折り返し導波路５１Ｃ前後の往路導波路５１Ａ及び復路導波路５１Ｂを１本のヒータ電極５２で加熱するため、小さい電流でレーザ光の位相を調整することで、ヒータ電極５２の消費電力を大幅に低減できる。

【0066】

尚、ＲＦ側ＭＺＭ２３内の一対のＲＦＰＳ４１間にＤＣ側子ＭＺＭ２４内の一対の子ＤＣＰＳ４２を配置した場合、子ＤＣＰＳ４２同士が隣接するため、両者で発生する熱が互いに干渉し、動作が不安定になる場合も考えられる。そこで、このような事態に対処する実施の形態につき、実施例３として以下に説明する。