特開 2023-6258 封止テープ、マスクブランクスケースおよびマスクブランクスケースの封止方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023006258

(43)【公開日】2023-01-18

(54)【発明の名称】封止テープ、マスクブランクスケースおよびマスクブランクスケースの封止方法

(51)【国際特許分類】

   G03F 1/66 20120101AFI20230111BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20230111BHJP

【ＦＩ】

G03F1/66

B65D85/30 500

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021108771

(22)【出願日】2021-06-30

(71)【出願人】

【識別番号】000101710

【氏名又は名称】アルバック成膜株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100141139

【弁理士】

【氏名又は名称】及川 周

(74)【代理人】

【識別番号】100134359

【弁理士】

【氏名又は名称】勝俣 智夫

(72)【発明者】

【氏名】今井 隆晶

(72)【発明者】

【氏名】野口 鳩徳

(72)【発明者】

【氏名】細谷 守男

【テーマコード（参考）】

2H195

3E096

【Ｆターム（参考）】

2H195BE12

3E096AA06

3E096AA13

3E096BA15

3E096BA16

3E096BB03

3E096CA02

3E096CB03

3E096DA05

3E096DA17

3E096DC02

3E096EA02X

3E096EA02Y

3E096FA09

3E096GA09

(57)【要約】

【課題】マスクブランクスの欠陥品質の低下の要因となるパーティクル源の発生を抑制できる封止テープ、この封止テープを用いたマスクブランクスケースおよびマスクブランクスケースの封止方法を提供する。
【解決手段】マスクブランクスケースを封止するための封止テープ２０であって、基材２１と、前記基材２１の一方の面に設けられた粘着剤層２３と、基材２１内部に融着防止剤２５と、を含み、前記粘着剤層２３が設けられた面２１ａとは反対側の前記基材２１の面２１ｂにおいて、基材２１表面の単位面積当たりの前記融着防止剤２５の個数が１０００～２５００個／ｃｍ^２であることを特徴とする封止テープ２０を提供する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

マスクブランクスケースを封止するための封止テープであって、
基材と、
前記基材の一方の面に設けられた粘着剤層と、
基材内部に融着防止剤と、を含み、
前記粘着剤層が設けられた面とは反対側の前記基材の面において、基材表面の単位面積当たりの前記融着防止剤の個数が１０００～２５００個／ｃｍ^２である
ことを特徴とする封止テープ。

【請求項2】

マスクブランクスケースを封止するための封止テープであって、
基材と、
前記基材の一方の面に設けられた粘着剤層と、
基材内部に融着防止剤と、を含み、
前記粘着剤層が設けられた面とは反対側の前記基材の面において、基材表面の面積に対する基材表面に露出する前記融着防止剤の面積の割合が０．３０～１．００％である
ことを特徴とする封止テープ。

【請求項3】

前記基材が、ＰＥＴおよびＰＥからなる群から選択される少なくとも一種からなる
ことを特徴とする請求項１または２に記載の封止テープ。

【請求項4】

前記粘着剤層が、アクリル系樹脂からなる
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の封止テープ。

【請求項5】

前記融着防止剤が、酸化ケイ素、酸化チタンおよび炭酸カルシウムからなる群から選択される少なくとも一種からなる
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の封止テープ。

【請求項6】

前記封止テープ使用時の、前記粘着剤層表面に付着している前記融着防止剤の個数が１０００個以下である
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の封止テープ。

【請求項7】

マスクブランクスを収納するマスクブランクスケースであって、
前記マスクブランクスを開口から収容可能なケース本体と、
前記ケース本体に被せられて前記開口を塞ぐ上蓋と、を有し、
請求項１から６のいずれか一項に記載の封止テープによって前記開口が封止されている
ことを特徴とするマスクブランクスケース。

【請求項8】

マスクブランクスを開口から収容可能なケース本体と、前記ケース本体に被せられて前記開口を塞ぐ上蓋と、を有するマスクブランクスケース内にマスクブランクスを収納し、
請求項１から６のいずれか一項に記載の封止テープによって前記開口を封止する
ことを特徴とするマスクブランクスケースの封止方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、封止テープ、マスクブランクスケースおよびマスクブランクスケースの封止方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスや、ＦＰＤ（ｆｌａｔ ｐａｎｅｌ ｄｉｓｐｌａｙ，フラットパネルディスプレイ）の製造等におけるフォトリソグラフィ工程で用いられるフォトマスクを形成するため、フォトマスクブランクスが利用されている。フォトマスクブランクスは、例えば、ガラス基板の一方の主面にマスク層やレジスト層を形成したものからなる。このようなマスクブランクス（マスクブランクス基板とも称する）またはマスクを収納保管し運搬するためのケースとして、特許文献１に記載されたものが知られている。

【0003】

特許文献１に記載されたマスクブランクス基板収納容器（ケース）は、上方にマスクブランクスを収容する開口を備えた合成樹脂製のケース本体と、これに被せて該開口を塞ぐ合成樹脂製の上蓋を有し、密閉した内部にマスクブランクスを収容するとともに、ケース本体と上蓋との接合部を封止するように封止テープを貼り付けている。

【0004】

特許文献１には、収納容器から発生する種々の揮発性成分が、フォトマスクブランクス基板を保管及び輸送中に、フォトマスクブランクス基板上に塗布されたフォトレジスト材料の触媒作用、その可溶化作用あるいは不溶化作用に何らかの影響を及ぼし、光あるいは電子線照射及び熱処理、現像によって形成したフォトマスクブランクス基板上のレジストパターンに、例えば、線幅の拡大・縮小などの寸法変化を生じ、その結果、設計通りのパターンが得られないという不具合を生じることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１８－１２４５２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述のようなマスクブランクスケースを封かんするための封止テープには、一般的に下記の性能が求められる。
（１）マスクブランクスのレジスト感度に影響を与えない低アウトガス性を有すること。
（２）ケース本体から蓋が外れないための保持力を有すること。
（３）封止テープの粘着剤がマスクブランクスケースに転写しない（のり残りしない）こと。
（４）外気がマスクブランクスケースに流入しないこと。

【0007】

上記の封止テープは、一般的に、帯状の基材と、基材の一方の面に設けられた粘着剤層とを有する。このような封止テープは長尺であるため、基材と粘着剤層が交互に重ね合わされるように、巻かれた状態で保管される。このため、保管中に、基材と重ね合わされた粘着剤層とが融着してしまわないように、粘着剤層には融着防止剤が添加されていることがある。

【0008】

本発明者らは、このような融着防止剤を含む封止テープのさらなる性能向上を鋭意検討した結果、この融着防止剤が、マスクブランクスケースに収納されるマスクブランクスの欠陥品質を落とす要因になることを見出した。具体的には、従来の封止テープをマスクブランクスケースに貼り付けたりマスクブランクスケースから剥がしたりする際に、粘着剤層に含まれる融着防止剤が脱離したり、粘着剤層から基材の面に転着した融着防止剤が脱離したりすることで、取扱者の手袋やマスクブランクスケースなどに融着防止剤が付着し、パーティクル源となることを、本発明者らは発見した。

【0009】

本発明は、上述の事情に鑑みてなされたものであり、マスクブランクスの欠陥品質の低下の要因となるパーティクル源の発生を抑制できる封止テープを提供することを課題とする。また本発明は、この封止テープを用いた、マスクブランクスの欠陥品質の低下を抑制可能とする、マスクブランクスケースおよびマスクブランクスケースの封止方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

（１）本発明の一態様に係る封止テープは、
マスクブランクスケースを封止するための封止テープであって、
基材と、
上記基材の一方の面に設けられた粘着剤層と、
基材内部に融着防止剤と、を含み、
上記粘着剤層が設けられた面とは反対側の上記基材の面において、基材表面の単位面積当たりの上記融着防止剤の個数が１０００～２５００個／ｃｍ^２である
ことを特徴とする。

【0011】

上記の構成からなる封止テープは、マスクブランクスの欠陥品質の低下の要因となるパーティクル源の発生を抑制できる。

【0012】

（２）本発明の一態様に係る封止テープは、
マスクブランクスケースを封止するための封止テープであって、
基材と、
上記基材の一方の面に設けられた粘着剤層と、
基材内部に融着防止剤と、を含み、
上記粘着剤層が設けられた面とは反対側の上記基材の面において、基材表面の面積に対する基材表面に露出する上記融着防止剤の面積の割合が０．３０～１．００％である
ことを特徴とする。

【0013】

上記の構成からなる封止テープは、マスクブランクスの欠陥品質の低下の要因となるパーティクル源の発生を抑制できる。

【0014】

（３）上記（１）又は（２）に記載の封止テープは、
上記基材が、ＰＥＴおよびＰＥからなる群から選択される少なくとも一種からなってもよい。
（４）上記（１）から（３）のいずれか一項に記載の封止テープは、
上記粘着剤層が、アクリル系樹脂からなってもよい。
（５）上記（１）から（４）のいずれか一項に記載の封止テープは、
上記融着防止剤が、酸化ケイ素、酸化チタンおよび炭酸カルシウムからなる群から選択される少なくとも一種からなってもよい。
（６）上記（１）から（５）のいずれか一項に記載の封止テープは、
上記封止テープ使用時の、上記粘着剤層表面に付着している上記融着防止剤の個数が１０００個以下であってもよい。

【0015】

（７）本発明の一態様に係るマスクブランクスケースは、
マスクブランクスを収納するマスクブランクスケースであって、
上記マスクブランクスを開口から収容可能なケース本体と、
上記ケース本体に被せられて上記開口を塞ぐ上蓋と、を有し、
上記（１）から（６）のいずれか一項に記載の封止テープによって上記開口が封止されている
ことを特徴とする。

【0016】

上記の構成からなるマスクブランクスケースは、マスクブランクスケースに収納されたマスクブランクスの欠陥品質の低下を抑制できる。

【0017】

（８）本発明の一態様に係るマスクブランクスケースの封止方法は、
マスクブランクスを開口から収容可能なケース本体と、上記ケース本体に被せられて上記開口を塞ぐ上蓋と、を有するマスクブランクスケース内にマスクブランクスを収納し、
上記（１）から（６）のいずれか一項に記載の封止テープによって上記開口を封止する
ことを特徴とする。

【0018】

上記の構成からなるマスクブランクスケースの封止方法では、マスクブランクスケースに収納されたマスクブランクスの欠陥品質の低下を抑制できる。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、マスクブランクスの欠陥品質の低下の要因となるパーティクル源の発生を抑制できる封止テープを提供できる。また本発明によれば、この封止テープを用いた、マスクブランクスの欠陥品質の低下を抑制可能とする、マスクブランクスケースおよびマスクブランクスケースの封止方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の一実施形態に係るマスクブランクスケースの開放状態を示す概略的な斜視図である。

【図2】本発明の一実施形態に係るマスクブランクスケースの閉塞状態を示す概略的な斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態に係るマスクブランクスケースの封止状態を示す概略的な斜視図である。

【図4】本発明の一実施形態に係る封止テープの構成を説明するための図であって、封止テープの主面に直交する平面における概略的な断面図である。

【図5】本発明に係る封止テープの変形例を説明するための図であって、封止テープの主面に直交する平面における概略的な断面図である。

【図6】実施例の封止テープＡの基材表面のＳＥＭ画像である。

【図7】実施例の封止テープＡの粘着剤層表面のＳＥＭ画像である。

【図8】実施例の封止テープＢの基材表面のＳＥＭ画像である。

【図9】実施例の封止テープＢの粘着剤層表面のＳＥＭ画像である。

【図10】実施例２の結果を説明するためのグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明の実施形態について例を挙げて説明するが、本発明は以下で説明する例に限定されないことは自明である。以下の説明では、具体的な数値や材料を例示する場合があるが、本発明の効果が得られる限り、他の数値や材料を適用してもよい。また、以下の実施形態の各構成要素は、互いに組み合わせることができる。

【0022】

以下、本発明に係る封止テープ、マスクブランクスケースおよびマスクブランクスケースの封止方法の一実施形態を、図面に基づいて説明する。

【0023】

［マスクブランクスケース］
図１は、本実施形態に係るマスクブランクスケースの開放状態を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係るマスクブランクスケースの閉塞状態を示す斜視図である。図３は、本実施形態に係るマスクブランクスケースの封止状態を示す斜視図である。図において、符号１００は、マスクブランクスケースである。

【0024】

本実施形態に係るマスクブランクスケース１００は、図１～図３に示すように、ケース本体１と、上蓋３とを有する。ケース本体１は、樹脂性とされて、上方に開口２を備える。上蓋３は、樹脂性とされて、開口２に被せることで開口２を閉塞する。ケース本体１には、開口２からキャリア４に整列して収容したフォトマスクやマスクブランクス５が収められる。

【0025】

マスクブランクスケース１００では、ケース本体１の開口縁６に続く外周面１１と、上蓋３の下縁７に続く外周面１３と、が同一面に形成される。外周面１１と外周面１３とは、図２に示すように、上蓋３を閉じてロックしたときに、同一面になるように形成される。ロックした後、ケース本体１と上蓋３の接合部には、図３に示すように、封止テープ２０が巻き付け貼着される。このとき、外周面１１と外周面１３が同一面にあるので、外部に連なる隙間のないように封止テープ２０を貼着することができる。したがって、マスクブランクスケース１００内を外部からの汚染物質が浸入しないように密閉できる。

【0026】

マスクブランクスケース１００は、クリーンルーム内などの清浄な雰囲気に於いてキャリア４と共にマスクブランクス５を開放状態のケース本体１内に収納する。その後、上蓋３をケース本体１に被せて開口２を塞いだ閉塞状態とする。さらに、マスクブランクスケース１００は、開口２の周囲を封止テープ２０で密封した封止状態で保管・運搬される。

【0027】

封止状態において、封止テープ２０は、外周面１１と外周面１３とが同一面であり、貼り付けた際に浮き上がることがないため、マスクブランクスケース１００内を密封する貼着を行うことができ、保管中又は運搬中にケース内へ埃が浸入することがなくなる。マスクブランクスケース１００は、保管終了あるいは運搬先におけるクリーンルーム内で、封止テープ２０を剥がして開封される。

【0028】

マスクブランクスケース１００は、特に限定されないが、例えば高分子系材料から構成されてもよい。マスクブランクスケース１００に用いられる高分子系材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメタクリル酸メチル、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタラート、ポリブチレンテレフタラート、アクリロニトリルブタジエンスチレンが挙げられる。この中でも特に、低アウトガス性を有するという理由から、マスクブランクスケース１００の構成材料としては、ポリカーボネートがより好ましい。

【0029】

なお、本実施形態においては、ケース本体１と上蓋３とを上記の構成としたが、この構成に限定されず、ケース本体１と上蓋３とはヒンジなどで接続されていてもよい。また、本実施形態に係るマスクブランクスケースは、１枚のマスクブランクスを収納する枚葉平置きケースとすることもできる。また、本実施形態に係るマスクブランクスケースは、マスクブランクス以外の物品も収納してもよい。また、上記のマスクブランクスケース１００は、一例に過ぎず、マスクブランクスを収納できるものであれば、マスクブランクスケースの形状および材質は特に限定されない。

【0030】

［封止テープ］
次に、本実施形態に係る封止テープ２０について詳細に説明する。図４に、本実施形態に係る封止テープ２０の主面に直交する平面における概略的な断面図を示す。本実施形態に係る封止テープ２０は、図４に示すように、基材２１と粘着剤層２３と融着防止剤２５とを含む。

【0031】

基材２１の一方の面２１ａ上には、粘着剤層２３が形成されている。粘着剤層２３の一方の面２３ａは基材の面２１ａと向き合う。基材２１の一方の面２１ａと粘着剤層２３の一方の面２３ａとは封止テープ２０の厚さ方向内側として外部に露出せず、分離されることはない。粘着剤層２３の他方の面２３ｂは、封止テープ２０の外部に露出している。基材２１の面のうちで、粘着剤層２３が形成されていない方の面２１ｂは封止テープ２０の外部に露出している。

【0032】

基材２１には粒状の融着防止剤２５が練り込まれている。基材２１の面２１ｂには、基材２１に含まれる粒状の融着防止剤２５の一部が露出している。封止テープ２０の主面は、基材２１の面２１ｂおよび粘着剤層２３の面２３ｂとも換言できる。

【0033】

封止テープ２０は、マスクブランクスケース１００表面に貼り付けられた際に、粘着剤層２３の他方の面２３ｂが、ケース本体１と上蓋３とを密閉するようにマスクブランクスケース１００表面に貼り付けられる。この際、封止テープ２０は、基材の一方の面２１ａがマスクブランクスケース１００表面とは密着しない。なお、封止テープ２０がマスクブランクスケース１００に巻回された際に、封止テープ２０の一部では、直接ケース本体１と上蓋３とに密着せず、マスクブランクスケース１００に貼り着けられた封止テープ２０にさらに貼り着けられる。この場合、基材２１の面２１ｂの上から粘着剤層２３の面２３ｂが貼り着けられる。

【0034】

また、後述するように保管用に巻回されている封止テープ２０においては、外周側の基材２１の面２１ｂに対して粘着剤層２３の面２３ｂが貼り着けられている。従って、巻回された封止テープ２０をマスクブランクスケース１００に貼り着けようとする場合には、内周側の基材２１の面２１ｂから、外周側の粘着剤層２３の面２３ｂを剥離する。また、マスクブランクスケース１００に貼り着けられてマスクブランクスケース１００を密閉している封止テープ２０を剥がす場合には、内周側の基材２１の面２１ｂから、外周側の粘着剤層２３の面２３ｂを剥離する。

【0035】

封止テープ２０は、ケース本体１内部への外気流入を防ぐため、密着性能が高いものが望ましい。さらに、マスクブランクスケース１００の密封及び開封を容易とするため、封止テープ２０は全体として伸縮率が高いものが望ましい。

【0036】

（基材）
封止テープ２０の基材２１としては、特に限定されないが、例えば、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ塩化ビニル、ナイロン樹脂、ポリエチレンテレフタラート樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂、などが好ましく用いられる。この中でも、低アウトガス性を有するという理由から、基材２１としてはポリエチレンテレフタラート樹脂（ＰＥＴ）又はポリエチレン樹脂（ＰＥ）がより好ましい。

【0037】

基材２１の厚さは、引張強度の観点から、２０～５０μｍが好ましい。また、基材２１の幅は、蓋－本体嵌合部の密閉という観点から、５０～６０ｍｍが好ましい。基材２１の厚さは、ＪＩＳ Ｚ ０２３７の粘着テープ・粘着シート試験方法に基づき、ＪＩＳ Ｂ ７５０３に規定するダイヤルゲージで測定する。基材の幅は、ＪＩＳ Ｚ ０２３７の粘着テープ・粘着シート試験方法に基づき、ＪＩＳ Ｂ ７５０７に規定する最小読取値０．０５ ｍｍのノギス、ＪＩＳ Ｂ ７５１２に規定する鋼製巻尺、又はＪＩＳ Ｂ ７５１６に規定する金属製直尺で測定する。基材２１の厚さとは、基材２１の面２１ａと面２１ｂとの間の距離を意味し、基材２１の幅とは、基材２１の厚さ方向と直交しかつ、基材２１の長尺方向と直交する方向における長さを意味する。

【0038】

（粘着剤層）
封止テープ２０の粘着剤層２３としては、特に限定されないが、例えば、アクリル系樹脂、ポリアクリル酸エステル系樹脂、ポリメタクリル酸エステル系樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、ゴム（ラバー）などが好ましく用いられる。この中でも、材料設計の自由度が高いという理由から、粘着剤層２３としてはアクリル系樹脂がより好ましい。

【0039】

粘着剤層２３の厚さは、粘着力の観点から、２０～３０μｍが好ましい。粘着剤層２３の厚さは、ＪＩＳ Ｚ ０２３７の粘着テープ・粘着シート試験方法に基づき、ＪＩＳ Ｂ ７５０３に規定するダイヤルゲージで測定する。また、粘着剤層２３は基材２１の面全体に設けられていてもよく、例えば特定のパターンで基材２１の面の一部に設けられていてもよい。

【0040】

（融着防止剤）
本実施形態に係る封止テープ２０では、粘着剤層２３が設けられた面２１ａとは反対側の基材２１の面２１ｂに露出するように、粒状の融着防止剤２５が多数埋め込まれている。なお、融着防止剤は表面だけでなく、基材内部にも存在して良い。封止テープ２０では、粘着剤層２３が設けられていない基材２１の面２１ｂにおいて、基材２１表面の単位面積当たりの融着防止剤２５の個数が１０００～２５００個である。基材２１表面の単位面積当たりの融着防止剤２５の個数が１５００～２０００個であることがより好ましい。ここで、単位面積とは、１ｃｍ^２を意味する。

【0041】

基材２１表面の単位面積当たりの融着防止剤２５の個数は、走査電子顕微鏡（株式会社日立ハイテク製 ＳＵ－７０など）を用いて表面のＳＥＭ観察を行い、任意面積の融着防止剤数を目視でカウントし算出する。

【0042】

ここで、融着防止剤２５が基材２１表面に露出しているとは、巻回された封止テープ２０を剥離する、あるいは、マスクブランクスケース１００から封止テープ２０を剥離するなど、基材２１の面２１ｂと貼り合わされた粘着剤層２３の面２３ｂとを剥離するなど、封止テープ２０に応力を印加した際に、基材２１から粒状の融着防止剤２５が分離する範囲を含むものであり、基材２１の表面付近に融着防止剤２５が潜っている状態で目視が可能な状態も含むものである。

【0043】

封止テープ２０は長尺であるため、基材２１と粘着剤層２３が交互に重ね合わされるように、ロール状に巻かれた状態で保管される。融着防止剤２５は、封止テープ２０の保管中に、基材２１と重ね合わされた粘着剤層２３とが融着して剥離が難しくならないように機能する。そのため、融着防止剤２５は、基材２１の面２１ｂの表面の単位面積当たり１０００個以上存在していることが好ましい。

【0044】

また、基材２１と重ね合わされた粘着剤層２３とを剥離した際に、マスクブランクス５の汚染源となる融着防止剤２５が粉塵として周囲に放出されてしまう、あるいは、封緘したケース本体１と上蓋３とを開放する際に融着防止剤２５が粉塵として周囲に放出されてしまう、さらに、発塵を抑制するため、融着防止剤２５は、面２１ｂの表面の単位面積当たり２５００個以下であることが好ましい。特に、外部空間に放出される融着防止剤２５が多くなると、粉塵として周囲に放出された融着防止剤２５が、清浄環境であるクリーンルーム（作業空間）を汚染し、汚染された作業空間でマスクブランクスケース１００を開放することで、マスクブランクス５の表面に付着して、欠陥の原因となるため好ましくない。

【0045】

あるいは、粉塵として周囲に放出された融着防止剤２５が、マスクブランクスケース１００の密閉・開放作業をする作業員に付着して、これがさらに再拡散し、汚染された作業空間でマスクブランクスケース１００を開放することで、マスクブランクス５の表面に再付着する、等の不具合が起こる可能性があるため好ましくない。これらの融着防止剤２５の飛散は、マスクブランクスケース１００の密閉作業、および、密閉後の再開放作業のいずれにおいても発生する可能性がある。

【0046】

基材２１の面２１ｂ上で観察できる融着防止剤２５は、その一部が基材２１の内部に埋没し、その一部が基材２１の外部に露出している。このような融着防止剤２５を基材２１の面２１ｂ側から見ると、基材２１の表面上に融着防止剤２５が露出して見える。なお、全体が基材２１の内部に埋没し、基材２１の表面からは確認できない融着防止剤２５も存在する。

【0047】

ここで、基材２１表面（面２１ｂ）における融着防止剤２５の含有率は、ＳＥＭ等によって撮影した基材２１の面２１ｂにおける、基材２１の表面の面積に対する融着防止剤２５の面積の割合として規定することもできる。この場合、基材２１の表面の面積に対する基材２１の表面に露出する融着防止剤２５の面積の割合は、０．３０～１．００％である。より好ましくは、基材２１の表面の面積に対する基材２１の表面に露出する融着防止剤２５の面積の割合は０．３０～０．７０％の範囲とすることができる。

【0048】

基材２１の表面の面積に対する基材２１の表面に露出する融着防止剤２５の面積の割合は、任意面積のＳＥＭ像より融着防止剤粒径を計測しかつ、融着防止剤の数をカウントし単位面積あたりの面積の割合に換算する。

【0049】

なお、基材２１表面に露出している融着防止剤２５がこれらの条件を満たしていれば、基材２１の厚さ方向の内部に練り込まれている融着防止剤２５の個数、面積又は粒径は、特に限定されない。

【0050】

融着防止剤２５は、図４に示すように基材２１において粘着剤層２３が設けられていない側の面に露出していればよいが、基材２１の厚さ方向の中央部にも融着防止剤２５が存在してもよい。また、粘着剤層２３が設けられている面２１ａ側にも融着防止剤２５が存在してもよい。

【0051】

融着防止剤２５としては、剥離容易性、作業空間への影響抑制、マスクブランクス５に付着した際の洗浄容易性、さらに、裏面側の基材との融着を防止するという観点から、チタン含有粒子、カルシウム含有粒子、シリコン含有粒子などが好ましく用いられる。融着防止剤２５は、酸化ケイ素、酸化チタンおよび炭酸カルシウムからなる群から選択される少なくとも一種からなることが好ましい。

【0052】

なお、基材２１は、図５に示すように、融着防止剤２５を含まない層２１Ａと融着防止剤２５を含む層２１Ｂとを有してもよい。

【0053】

なお、本実施形態に係る封止テープ２０では、封止テープ２０の使用時において、粘着剤層２３の表面に付着している融着防止剤２５の個数が１０００個以下であることがより好ましい。これにより発塵を抑制できるという利点がある。封止テープ２０の使用時とは、封止テープ２０をロール状に巻かれた状態から展開した状態とする時点を意味する。

【0054】

特に、マスクブランクスケース１００を封止するために、マスクブランクスケース１００表面等に貼り着ける際には、封止テープ２０は、多少なりとも引張される。このため、密閉するために、マスクブランクスケース１００表面等に封止テープ２０を貼り着けた場合には、封止テープ２０に引張応力が作用して、引っ張られた基材２１の面２１ｂでも、埋め込まれていた融着防止剤２５の観測状態が変化する可能性がある。

【0055】

封止テープ２０の製造方法は、特に限定されないが、例えば、溶剤によって流動体となっている基材樹脂に融着防止剤となる粒子を含有させ、練り込み等必要な成形をおこなった後に乾燥させて溶剤を飛ばすことによって融着防止剤２５が含まれる基材２１を製造する工程を含む。また、さらに、基材の面２１ａに粘着剤を塗布して成形することによって、基材２１の面に粘着剤層２３を形成する工程を含む。なお、基材２１が融着防止剤を含まない層を有する場合には、融着防止剤を含む層と融着防止剤を含まない層とを積層する工程を含む。粘着剤層２３が複数からなる場合には、それぞれの層を積層する工程を含む。なお、封止テープ２０の製造方法は上記に限定されない。

【0056】

なお、上記実施形態において、ガラス基板などの透光性基板の全面に遮光性膜などの金属層を形成した段階のもの、透光性基板の全面に金属層およびレジスト層を積層した段階のもののいずれについてもマスクブランクスと称する。

【0057】

上記実施形態に係るマスクブランクスケース内にマスクブランクス基板を収納して、封止テープによってマスクブランクスケースを封止した状態で、マスクブランクスケースを保管・輸送してもよい。

【実施例0058】

以下、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし本発明はこの実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
本実施例では、基材に融着防止剤が配合された封止テープＡと粘着剤層に融着防止剤が配合された封止テープＢについて、テープ使用時（剥がしたとき）の発塵を測定した。

【0059】

具体的には、封止テープＡは以下の構成とし、基材を作成する際に、基材の原料となる以下の流動状態の樹脂に融着防止剤の原料となる酸化シリコン粒子を混合し、溶剤を飛ばして乾燥することで基材を作成した。その後、基材の片面に、以下の液状樹脂を塗布・乾燥することにより粘着剤層を形成した。
封止テープＢでは、基材の原料となる半硬質塩化ビニルから基材を作成した。その後、基材の片面に、以下の融着防止剤を混ぜた以下の液状樹脂を塗布・乾燥することにより粘着剤層を形成した。すなわち、封止テープＡが本発明に係る封止テープであり、封止テープＢが従来の封止テープである。

【0060】

封止テープＡ
基材：ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）（厚さ２５μｍ）
粘着剤層：アクリル系樹脂（厚さ２０μｍ）
融着防止剤：酸化シリコン（粒径２．５μｍ）

【0061】

封止テープＢ
基材：半硬質塩化ビニル（ＰＶＣ）
粘着剤層：ラバー系
（基材と粘着剤層の合計厚さ：０．１ｍｍ）
融着防止剤：酸化チタンと酸化カルシウムの混合粒子（粒径１～３μｍ）

【0062】

また、基材の表面における融着防止剤の個数と面積の割合を算出した。まず、封止テープＡと封止テープＢとにおいて、粘着剤層表面と基材表面とのＳＥＭ画像を撮影した。この画像を、それぞれ図６～図９に示す。ここで、図６は、封止テープＡの基材表面のＳＥＭ画像であり（（Ａ）は倍率が１０００倍、（Ｂ）は倍率が５０００倍）、図７は、封止テープＡの粘着剤層表面のＳＥＭ画像である（（Ａ）は倍率が１０００倍、（Ｂ）は倍率が２００００倍）。図８は、封止テープＢの基材表面のＳＥＭ画像であり（（Ａ）は倍率が１０００倍、（Ｂ）は倍率が５０００倍）、図９は、封止テープＢの粘着剤層表面のＳＥＭ画像である（（Ａ）は倍率が１０００倍、（Ｂ）は倍率が５０００倍）。なお、封止テープは実際の使用時と同様にロール状に巻かれた状態から展開したため、粘着剤層に融着防止剤を有する封止テープＢの基材表面においても、粘着剤層に由来する融着防止剤が付着していた。

【0063】

これらのＳＥＭ画像から融着防止剤の粒径を計測しかつ、融着防止剤の個数を目視でカウントし、単位面積あたりの融着防止剤の個数および面積に換算した。使用した装置は、株式会社日立ハイテク製 ＳＵ－７０形走査電子顕微鏡（加速電圧：１５ｋＶ、Ｗ．Ｄ． １５．０ｍｍ、観察範囲：８５ｕｍｘ１２５ｕｍ）であった。このような手段で、各封止テープの基材側の表面における、単位面積当たりの上記融着防止剤の個数、ならびに基材表面の面積に対する基材表面に露出する上記融着防止剤の面積の割合を算出した。

【0064】

封止テープＡでは、単位面積における融着防止剤の占有率、すなわち基材表面の面積に対する基材表面に露出する融着防止剤の面積の割合が０．４５７％であった。封止テープＢでは、単位面積における融着防止剤の占有率が３．２８％であった。基材面の融着防止剤占有率を比較しても、封止テープＡの方が融着防止剤量も少ない。このため、封止テープの貼り付け作業時に、ケースや基板、作業者の手袋などに融着防止剤がついてしまうリスクが小さくなる。例えば、図６と図８とを比較すると、封止テープＢに比べて、封止テープＡのほうが、基材表面に露出している融着防止材が少ないことがわかる。また、図７と図９とを比較すると、封止テープＢに比べて、封止テープＡのほうが、粘着剤層表面に付着している融着防止材が少ないことがわかる。

【0065】

封止テープＡおよび封止テープＢ共に、実験用のテープの幅は５０ｍｍ、長さは１ｍとした。封止テープＡおよび封止テープＢのそれぞれについて、実験用のテープを樹脂ケースに対して貼り付け、気中パーティクル測定器（リオン株式会社製 ＫＣ－３１）を封止テープから１０ｃｍの距離に近づけ、封止テープを剥がした際のパーティクル数の確認を行った。

【0066】

ここで、テープ使用時（剥がしたとき）の発塵の測定は、巻回された状態から上記の長さの封止テープを全て剥離して剥がした後、３０秒以内に１０ｃｍの距離でおこなった。なお、これらの測定は、クラス１，００のクリーンルーム内でおこなった。
この結果を下記の表１に示す。

【0067】

【表1】

【0068】

表１の結果より、本発明に係る封止テープＡの方が、封止テープを剥がした際の発塵が少ないことが理解できる。

【0069】

（実施例２）
本実施例では、マスクブランクスケースに収めたマスクブランクス基板の増加欠陥について検討した。本実施例では、実施例１と同じ封止テープＡおよび封止テープＢを用いた。
まず、基板を５枚収納したマスクブランクスケースを、封止テープＡを用いて封止した。次いで、封止テープＡを剥がし、ハンドリング治具を用いて基板を他のケースに移した。そして、他のケースに移した基板を、再度元のケースへ移して、封止テープＡで封止した。以上を１０回繰り返し、基板の増加欠陥を確認した。
ここで、基板の増加欠陥とは、上記の操作後の欠陥数から操作前の欠陥数を引いたものである。基板の欠陥数は、検査機（レーザーテック株式会社製 ＭＡＧＩＣＳ１３２０Ｕ）を用いて確認した。

【0070】

上記と同様の作業を封止テープＢについても実施し、基板の増加欠陥を確認した。その結果を図１０に示す。図１０の縦軸は、基板５枚の平均の増加欠陥（欠陥数／個）を示している。図１０に示すように、封止テープＡでは増加欠陥がないのに対して、封止テープＢでは、基板への異物増加があることから、上記のようなマスクブランクスケースの封止作業が原因で発塵していることがわかった。

【0071】

（実施例３）
本実施例では、実施例２で用いた封止テープＢの各基板について、増加欠陥のＳＥＭ／ＥＤＸ分析を実施した。具体的には、ＥＤＸ（株式会社堀場製作所製 エネルギー分散形Ｘ線分析装置ＥＸ－２５０）を用いた成分分析により、欠陥成分を確認した。この成分分析において、融着防止剤（酸化チタン：ＴｉＯ）成分を検出したことから、基板への融着防止剤の転着が封止テープに由来するものであることが確認できた。

【産業上の利用可能性】

【0072】

本発明に係る封止テープによれば、マスクブランクスの欠陥品質の低下の要因となるパーティクル源の発生を抑制できるため、産業上極めて有用である。また本発明に係るマスクブランクスケースおよびマスクブランクスケースの封止方法は、マスクブランクスの欠陥品質の低下を抑制できるため、産業上極めて有用である。

【符号の説明】

【0073】

１ ケース本体
２ 開口
３ 上蓋
４ キャリア
５ マスクブランクス
６ 開口縁
７ 下縁
１１ 外周面
１３ 外周面
２０ 封止テープ
２１ 基材
２３ 粘着剤層
２５ 融着防止剤
１００ マスクブランクスケース

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】