特開 2023-63210 試験用キャリア

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023063210

(43)【公開日】2023-05-09

(54)【発明の名称】試験用キャリア

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20230427BHJP

【ＦＩ】

G01R31/26 Z

G01R31/26 J

【審査請求】有

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022019093

(22)【出願日】2022-02-09

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2022-08-01

(31)【優先権主張番号】17/508,077

(32)【優先日】2021-10-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】110000486

【氏名又は名称】弁理士法人とこしえ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】清川 敏之

【テーマコード（参考）】

2G003

【Ｆターム（参考）】

2G003AA07

2G003AG11

2G003AG16

(57)【要約】

【課題】ＤＵＴへの異物の付着を抑制することが可能な試験用キャリアを提供する。
【解決手段】ＤＵＴ９０を収容した状態で搬送される試験用キャリア１は、ＤＵＴ９０に対向するように配置されたＤＵＴ吸着保持用の貫通孔６４と、貫通孔６４の吸引に伴って貫通孔６４を開閉する可動弁７０と、を備え、可動弁７０は、貫通孔６４の吸引時に貫通孔６４を開放し、貫通孔６４の非吸引時に貫通孔６４を閉塞する。
【選択図】図１６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＤＵＴを収容した状態で搬送される試験用キャリアであって、
前記試験用キャリアは、
前記ＤＵＴに対向するように配置されたＤＵＴ吸着保持用の貫通孔と、
前記貫通孔の吸引に伴って前記貫通孔を開閉する可動弁と、を備え、
前記可動弁は、
前記貫通孔の吸引時に前記貫通孔を開放し、
前記貫通孔の非吸引時に前記貫通孔を閉塞する試験用キャリア。

【請求項2】

請求項１に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、前記貫通孔の吸引に伴って移動又は変形する試験用キャリア。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の試験用キャリアであって、
前記試験用キャリアは、
前記ＤＵＴを保持する保持部材と、
前記ＤＵＴを覆うと共に、前記保持部材に着脱可能に固定された蓋部材と、を備えており、
前記貫通孔は、前記蓋部材の蓋本体を貫通するように前記蓋本体に形成されている試験用キャリア。

【請求項4】

請求項３に記載の試験用キャリアであって、
前記保持部材は、
前記ＤＵＴの端子に対応するように配置された複数の接触子と、
前記接触子に電気的に接続された複数の外部端子と、
前記接触子及び前記外部端子を保持する保持本体と、を備えた試験用キャリア。

【請求項5】

請求項４に記載の試験用キャリアであって、
前記蓋本体は、前記ＤＵＴに接触する接触面を有し、
前記貫通孔の第１の開口は、前記接触面に開口しており、
前記ＤＵＴは、前記接触面と前記接触子との間に挟持される試験用キャリア。

【請求項6】

請求項５に記載の試験用キャリアであって、
前記貫通孔の第２の開口は、前記蓋本体において前記接触面とは反対側の面に開口しており、
前記第２の開口は、前記貫通孔において前記第１の開口とは反対側の開口である試験用キャリア。

【請求項7】

請求項１～６のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記貫通孔は、
第１の孔部と、
前記第１の孔部に接続されていると共に、前記可動弁を移動又は変形可能に収容している収容部と、
前記収容部を介して前記第１の孔部に接続されている第２の孔部と、を備えており、
前記可動弁は、
前記貫通孔の吸引時に、前記第１の孔部と前記第２の孔部とを連通させ、
前記貫通孔の非吸引時に、前記第１の孔部と前記第２の孔部との間を閉塞する試験用キャリア。

【請求項8】

請求項７に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、前記第２の孔部の内径よりも大きな外径を有しており、
前記貫通孔の非吸引時に、前記可動弁が、前記第２の孔部における前記収容部側の第３の開口を覆う試験用キャリア。

【請求項9】

請求項７又は８に記載の試験用キャリアであって、
前記第１の孔部と前記第２の孔部とは、透過平面視において、相互に非重複となるように配置されている試験用キャリア。

【請求項10】

請求項７～９のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記貫通孔は、複数の前記第２の孔部を備えており、
前記複数の第２の孔部は、前記収容部を介して前記第１の孔部に接続されている試験用キャリア。

【請求項11】

請求項１０に記載の試験用キャリアであって、
前記第１の孔部は、円形の断面形状を有し、
前記複数の第２の孔部は、前記第１の孔部の内径よりも小さな内径を持つ円形の断面形状をそれぞれ有し、
前記可動弁は、前記複数の第２の孔部を包含する外径を持つ円形形状を有し、
前記収容部は、前記可動弁の外径よりも大きな内径を持つ円形の断面形状を有している試験用キャリア。

【請求項12】

請求項７～１１のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、前記第１の孔部の内径よりも大きく、且つ、前記第２の孔部の内径よりも大きな外径を有し、
前記収容部は、前記可動弁の外径よりも大きな内径を有しており、
前記可動弁は、前記第１の孔部と前記第２の孔部との間を移動可能に前記収容部内に収容されている試験用キャリア。

【請求項13】

請求項７～１２のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、
第４の開口と、
前記第４の開口が形成された弁本体と、を備えており、
前記第１の孔部は、前記第４の開口に対向するように配置され、
前記第２の孔部は、前記弁本体に対向するように配置されており、
前記貫通孔の吸引時に、前記第４の開口を介して、前記第１の孔部と前記収容部とが連通し、
前記貫通孔の非吸引時に、前記弁本体が、前記第２の孔部における前記収容部側の第３の開口を覆う試験用キャリア。

【請求項14】

請求項７～１３のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、金属材料又は樹脂材料から構成され、前記貫通孔の吸引に対して非変形な剛性を有する弁部材である試験用キャリア。

【請求項15】

請求項７～１１のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、弾性材料から構成され、前記貫通孔の吸引によって弾性変形可能な弁部材であり、
前記可動弁は、固定部で前記蓋本体に固定されており、
前記固定部は、前記第１の孔部と対向するように配置されている試験用キャリア。

【請求項16】

請求項１５に記載の試験用キャリアであって、
前記収容部は、前記第１の孔部に接続されていると共に、前記可動弁を介して前記第２の孔部に対向するように配置された溝を有している試験用キャリア。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体集積回路素子等の被試験電子部品（以下単に「ＤＵＴ」（Device Under Test）と称する。）の試験を行う際に、ＤＵＴを収容した状態で搬送される試験用キャリアに関するものである。

【背景技術】

【0002】

ファインピッチの端子を有するＤＵＴの試験では、当該ＤＵＴをソケットに対して高精度に位置決めするために、複数のカメラや精密な移動機構を備えた比較的高価なハンドラを必要とする。これに対し、ＤＵＴを保持するキャリア本体と、ＤＵＴを覆うと共にキャリア本体に固定される蓋部材と、キャリア本体に形成されたＤＵＴ位置決め用の貫通孔と、を備えた試験用キャリアが知られている（例えば、特許文献１参照）。この試験用キャリアを用いることで、ファインピッチの端子を有するＤＵＴの試験を、機械的な位置決め機構を備えた比較的安価なハンドラによって行うことができる。

【0003】

この試験用キャリアにＤＵＴを収容する際、上記の位置決め用の貫通孔を介してカメラを用いて試験用キャリアの接触子に対してＤＵＴを高精度に位置決めした後に、キャリア本体と蓋部材とを固定する。この際の試験用キャリアに対するＤＵＴの位置ずれを防止するために、ＤＵＴを吸着保持するための貫通孔が蓋部材に形成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－１９７０１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のハンドラは、清浄度が比較的低い通常の作業空間に設置されているため、上記のＤＵＴ吸着用の貫通孔を介して試験用キャリア内に微少なゴミ等の異物が侵入し、当該異物がＤＵＴに付着してしまう場合がある。一方で、上記の試験用キャリアは、ＤＵＴの試験が終了した後、当該ＤＵＴを試験用キャリアから取り出すために、クリーンルーム内で分解される。従って、異物が付着したＤＵＴを収容した試験用キャリアがクリーンルームで分解されると、当該異物を次工程に持ち込んでしまう場合がある。

【0006】

本発明が解決しようとする課題は、ＤＵＴへの異物の付着を抑制することが可能な試験用キャリアを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

［１］本発明に係る試験用キャリアは、ＤＵＴを収容した状態で搬送される試験用キャリアであって、前記試験用キャリアは、前記ＤＵＴに対向するように配置されたＤＵＴ吸着保持用の貫通孔と、前記貫通孔の吸引に伴って前記貫通孔を開閉する可動弁と、を備え、前記可動弁は、前記貫通孔の吸引時に前記貫通孔を開放し、前記貫通孔の非吸引時に前記貫通孔を閉塞する試験用キャリアである。

【0008】

［２］上記発明において、前記可動弁は、前記貫通孔の吸引に伴って移動又は変形してもよい。

【0009】

［３］上記発明において、前記試験用キャリアは、前記ＤＵＴを保持する保持部材と、前記ＤＵＴを覆うと共に、前記保持部材に着脱可能に固定された蓋部材と、を備えており、前記貫通孔は、前記蓋部材の蓋本体を貫通するように前記蓋本体に形成されていてもよい。

【0010】

［４］上記発明において、前記保持部材は、前記ＤＵＴの端子に対応するように配置された複数の接触子と、前記接触子に電気的に接続された複数の外部端子と、前記接触子及び前記外部端子を保持する保持本体と、を備えていてもよい。

【0011】

［５］上記発明において、前記蓋本体は、前記ＤＵＴに接触する接触面を有し、前記貫通孔の第１の開口は、前記接触面に開口しており、前記ＤＵＴは、前記接触面と前記接触子との間に挟持されてもよい。

【0012】

［６］上記発明において、前記貫通孔の第２の開口は、前記蓋本体において前記接触面とは反対側の面に開口しており、前記第２の開口は、前記貫通孔において前記第１の開口とは反対側の開口であってもよい。

【0013】

［７］上記発明において、前記貫通孔は、第１の孔部と、前記第１の孔部に接続されていると共に、前記可動弁を移動又は変形可能に収容している収容部と、前記収容部を介して前記第１の孔部に接続されている第２の孔部と、を備えており、前記可動弁は、前記貫通孔の吸引時に、前記第１の孔部と前記第２の孔部とを連通させ、前記貫通孔の非吸引時に、前記第１の孔部と前記第２の孔部との間を閉塞してもよい。

【0014】

［８］上記発明において、前記可動弁は、前記第２の孔部の内径よりも大きな外径を有しており、前記貫通孔の非吸引時に、前記可動弁が、前記第２の孔部における前記収容部側の第３の開口を覆ってもよい。

【0015】

［９］上記発明において、前記第１の孔部と前記第２の孔部とは、透過平面視において、相互に非重複となるように配置されていてもよい。

【0016】

［１０］上記発明において、前記貫通孔は、複数の前記第２の孔部を備えており、前記複数の第２の孔部は、前記収容部を介して前記第１の孔部に接続されていてもよい。

【0017】

［１１］上記発明において、前記第１の孔部は、円形の断面形状を有し、前記複数の第２の孔部は、前記第１の孔部の内径よりも小さな内径を持つ円形の断面形状をそれぞれ有し、前記可動弁は、前記複数の第２の孔部を包含する外径を持つ円形形状を有し、前記収容部は、前記可動弁の外径よりも大きな内径を持つ円形の断面形状を有していてもよい。

【0018】

［１２］上記発明において、前記可動弁は、前記第１の孔部の内径よりも大きく、且つ、前記第２の孔部の内径よりも大きな外径を有し、前記収容部は、前記可動弁の外径よりも大きな内径を有しており、前記可動弁は、前記第１の孔部と前記第２の孔部との間を移動可能に前記収容部内に収容されていてもよい。

【0019】

［１３］上記発明において、前記可動弁は、第４の開口と、前記第４の開口が形成された弁本体と、を備えており、前記第１の孔部は、前記第４の開口に対向するように配置され、前記第２の孔部は、前記弁本体に対向するように配置されており、前記貫通孔の吸引時に、前記第４の開口を介して、前記第１の孔部と前記収容部とが連通し、前記貫通孔の非吸引時に、前記弁本体が、前記第２の孔部における前記収容部側の第３の開口を覆ってもよい。

【0020】

［１４］上記発明において、前記可動弁は、金属材料又は樹脂材料から構成され、前記貫通孔の吸引に対して非変形な剛性を有する弁部材であってもよい。

【0021】

［１５］上記発明において、前記可動弁は、弾性材料から構成され、前記貫通孔の吸引によって弾性変形可能な弁部材であり、前記可動弁は、固定部で前記蓋本体に固定されており、前記固定部は、前記第１の孔部と対向するように配置されていてもよい。

【0022】

［１６］上記発明において、前記収容部は、前記第１の孔部に接続されていると共に、前記可動弁を介して前記第２の孔部に対向するように配置された溝を有していてもよい。

【0023】

［１７］上記発明において、前記試験用キャリアを組み立てるキャリア組立装置の吸着保持部により前記貫通孔が吸引されることで、前記ＤＵＴが前記吸着保持部により吸着保持されてもよい。

【発明の効果】

【0024】

本発明によれば、試験用キャリアが、ＤＵＴ吸着用の貫通孔の吸引に伴って当該貫通孔を開閉する可動弁を備えているので、ＤＵＴへの異物の付着を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】図１は、本発明の実施形態における電子部品試験装置の全体構成を示す概略断面図である。

【図2】図２は、本発明の実施形態における試験対象であるＤＵＴを示す底面図である。

【図3】図３は、本発明の実施形態における試験用キャリアを上方から見た斜視図である。

【図4】図４は、本発明の実施形態における試験用キャリアを下方から見た斜視図である。

【図5】図５は、本発明の実施形態における試験用キャリアの分解斜視図である。

【図6】図６は、本発明の実施形態における試験用キャリアを示す断面図であり、図３のVI-VI線に沿った断面図である。

【図7】図７は、本発明の実施形態における試験用キャリアを示す分解断面図であり、図６に対応する図である。

【図8】図８は、本発明の実施形態におけるポゴピンを示す断面図であり、図７のVIII部の拡大図である。

【図9】図９は、図７のIX部の拡大図である。

【図10】図１０は、本発明の実施形態における吸着用の貫通孔と可動弁を示す図であり、図９のX-X線に沿った断面図である。

【図11】図１１は、本発明の実施形態における試験用キャリアの保持部材の変形例を示す分解断面図である。

【図12】図１２は、本発明の実施形態における試験用キャリアの蓋部材の変形例を示す断面図である。

【図13】図１３は、図１２に示す蓋部材の変形例における収容部の上面を示す図であり、図１２のXIII-XIII線に沿った断面図である。

【図14】図１４は、本発明の実施形態におけるキャリア組立装置の構成を示すブロック図である。

【図15】図１５は、本発明の実施形態における試験用キャリアの組立方法を示す工程図である。

【図16】図１６（ａ）及び図１６（ｂ）は、図１５のステップＳ２０を示す図であり、図１６（ａ）は、第２の吸着保持部により蓋部材とＤＵＴを吸着保持する前の状態を示す図であり、図１６（ｂ）は、第２の吸着保持部により蓋部材とＤＵＴを吸着保持した状態を示す図である。

【図17】図１７（ａ）～図１７（ｃ）は、図１５のステップＳ４０～Ｓ６０を示す図であり、図１７（ａ）は、アライメント前のＤＵＴを撮像した画像を示す図であり、図１７（ｂ）は、アライメント中のＤＵＴを撮像した画像を示す図であり、図１７（ｃ）は、アライメント後のＤＵＴを撮像した画像を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

【0027】

図１は本実施形態における電子部品試験装置２００の全体構成を示す概略断面図であり、図２は本実施形態における試験対象であるＤＵＴ９０を示す底面図である。

【0028】

本実施形態における電子部品試験装置２００は、ＤＵＴ９０の電気的特性を試験する装置である。図１に示すように、この電子部品試験装置２００は、ＤＵＴをソケット４２０に押圧するハンドラ３００を備えている。このハンドラ３００は、ＤＵＴをソケット４２０に対して機械的に位置決めする位置決め機構を備えており、所謂ファインピッチのＤＵＴのための画像処理を用いた高精度な位置決め機構は備えていない。一方で、本実施形態におけるＤＵＴ９０は、半導体ウェハがダイシングされて形成されたダイであり、ファインピッチのパッド９１を有している。このため、電子部品試験装置２００によってＤＵＴ９０の試験を行う際には、試験用キャリア１が用いられる。

【0029】

本実施形態におけるＤＵＴ９０は、図２に示すように、当該ＤＵＴ９０の外縁に沿って配列されたパッド９１と、当該ＤＵＴ９０の中央に配列されたバンプ９２と、を有している。パッド９１は、ＤＵＴ９０の試験のための端子であり、比較的広いピッチで配列されている。これに対し、バンプ９２は、当該ＤＵＴ９０の基板等への実装のための端子であり、パッド９１のピッチよりも狭いピッチで配列されている。複数のバンプ９２は、矩形状に配列されている。なお、ＤＵＴ９０の構成は特に上記に限定されない。本実施形態におけるパッド９１が、本発明における「ＤＵＴの端子」の一例に相当する。

【0030】

本実施形態では、半導体ウェハがダイシングされてＤＵＴ９０が形成されると、先ず、キャリア組立装置１００（図１４参照）を用いてＤＵＴ９０を試験用キャリア１に収容する。そして、試験用キャリア１にＤＵＴ９０を収容したままの状態で、当該試験用キャリア１は、電子部品試験装置２００のハンドラ３００内に搬入され、ＤＵＴ搬送用のテストトレイ（不図示）に搭載される。

【0031】

そして、ハンドラ３００は、このテストトレイを電子部品試験装置２００のテストヘッド４００のソケット４２０上に搬送し、Ｚ軸駆動装置３１０を駆動してプッシャ３２０を下降させ、このプッシャ３２０により試験用キャリア１をソケット４２０に押圧する。これにより、テストトレイに搭載されたままの状態で試験用キャリア１がソケット４２０に押圧され、当該試験用キャリア１を介してＤＵＴ９０とソケット４２０とが電気的に接続される。この状態でテスタ５００がテストヘッド４００を介してＤＵＴ９０の試験を実行する。

【0032】

この試験が終了したら、テストトレイから試験用キャリア１を取り出した後、当該試験用キャリア１をクリーンルームに搬送する。そして、試験用キャリア１を分解し、当該試験用キャリア１からＤＵＴ９０を取り出す。この試験済みのＤＵＴ９０は次工程に搬送されるの対し、当該ＤＵＴ９０が取り出された試験用キャリア１は、別のＤＵＴ９０の試験に再利用される。

【0033】

テストトレイとしては、パッケージングされた既存のデバイス（ＤＵＴ）に用いられるものを流用することができる。こうしたテストトレイは、特に図示しないが、枠状のフレームと、当該フレームに保持された複数のインサートと、を備えている。このインサートに試験用キャリア１を収容する。ここで、試験用キャリア１の外形は、既存のデバイスの外形に合わせられており、これにより、試験用キャリア１を既存のテストトレイに搭載して搬送することが可能となっている。テストトレイ及びインサートとしては、例えば、国際公開第２００３／０７５０２４号、及び、国際公開第２００９／０６９１８９号等に記載された公知のものを使用することができる。

【0034】

次に、本実施形態における試験用キャリア１の構成について、図３～図９を参照しながら、以下に説明する。

【0035】

図３及び図４は本実施形態における試験用キャリア１を示す斜視図であり、図５は本実施形態における試験用キャリア１の分解斜視図である。図６は本実施形態における試験用キャリア１を示す断面図であり、図３のVI-VI線に沿った断面図である。図７は本実施形態における試験用キャリア１を示す分解断面図であり、図６に対応する図である。図８は本実施形態における試験用キャリア１のポゴピン２１を示す断面図であり、図７のVIII部の拡大図である。図９は図７のIX部の拡大図である。図１０は本実施形態における吸着用の貫通孔６４と可動弁７０を示す図であり、図９のX-X線に沿った断面図である。

【0036】

本実施形態における試験用キャリア１は、図３～図７に示すように、ＤＵＴ９０を保持する保持部材１０と、そのＤＵＴ９０を覆うと共に保持部材１０に着脱可能に固定される蓋部材６０と、を備えている。この試験用キャリア１では、保持部材１０と蓋部材６０との間にＤＵＴ９０を挟むことで、ＤＵＴ９０が試験用キャリア１の内部に収容される。なお、この試験用キャリア１は、蓋部材６０の貫通孔６４と可動弁７０を除いて、特開２０１９－１９７０１２号公報に記載されているキャリアの構成と、基本的に同一の構成を有している。

【0037】

保持部材１０は、保持本体１５と、当該保持本体１５に取り付けられた筒状体４０と、を備えている。保持本体１５は、保持板２０と、インタポーザ３０とを備えている。保持本体１５は、ポゴピン２１（後述）及び外部端子３２（後述）を保持している。

【0038】

保持板２０は、複数のポゴピン２１を保持している。このポゴピン２１は、ＤＵＴ９０のパッド９１に対向するようにピッチＰ_１（図５参照）で配列されている。それぞれのポゴピン２１は、図８に示すように、プランジャ２２と、固定部２３と、コイルスプリング２４と、を備えている。本実施形態におけるポゴピン２１が、本発明における「接触子」の一例に相当する。

【0039】

ポゴピン２１は、保持板２０の保持孔２０ａにそれぞれ挿入されている。そして、プランジャ２２のフランジ２２ａが保持孔２０ａの段差２０ｂに係止することで、プランジャ２２の上限位置が制限されている。この上限位置において、プランジャ２２の先端が保持孔２０ａの上側の開口２０ｃから突出している。固定部２３は、保持孔２０ａの反対側の開口２０ｄに位置する後端部２３ａと、当該後端部２３ａから先端（上方）に向かって延在する軸部２３ｂと、を備えている。この軸部２３ｂがコイルスプリング２４に挿入されており、プランジャ２２のフランジ２２ａと固定部２３の後端部２３ａとの間にコイルスプリング２４が介在している。ＤＵＴ９０が試験用キャリア１に収容されると、プランジャ２２がＤＵＴ９０のパッド９１に接触して、コイルスプリング２４の弾性力によってプランジャ２２がパッド９１を押圧し、ＤＵＴ９０はポゴピン２１に保持される。

【0040】

また、図６及び図７に示すように、この保持板２０には、当該保持板２０を貫通する４つの開口２５が形成されている。それぞれの開口２５は、ＤＵＴ９０の下面に矩形状に配列された複数のバンプ９２の中で角部に位置しているバンプ９２（以下単に「バンプ９２’」とも称する。）に対向するように配置されている（図２、及び、図１７（ａ）～図１７（ｃ）参照）。本実施形態では、試験用キャリア１の組立時に、このバンプ９２’を、試験用キャリア１に対するＤＵＴ９０の位置決めのための特徴点として利用する。

【0041】

インタポーザ３０は、保持板２０の下面に重ねられており、螺子締め等によって保持板２０に固定されている。図４，及び、図６～図８に示すように、このインタポーザ３０は、内部端子３１と、外部端子３２と、配線パターン３３と、を有している。

【0042】

内部端子３１は、インタポーザ３０の上面に設けられている。この内部端子３１は、保持板２０に保持されたポゴピン２１に対向するようにピッチＰ_１で配列されており、当該ポゴピン２１の固定部２３がこの内部端子３１に接触している。

【0043】

外部端子３２は、インタポーザ３０の下面に設けられており、試験用キャリア１の外部に露出している。この外部端子３２は、ＤＵＴ９０の試験の際に電子部品試験装置２００のソケット４２０のコンタクトピン（不図示）が電気的に接続される端子であり、内部端子３１のピッチＰ_１よりも広いピッチＰ_２（図４参照）で配列されている（Ｐ_２＞Ｐ_１）。内部端子３１と外部端子３２は配線パターン３３によって接続されている。

【0044】

また、図４、図６、及び、図７に示すように、このインタポーザ３０には、当該インタポーザ３０を貫通する４つの開口３４が形成されている。それぞれの開口３４は、上述の保持板２０の開口２５と実質的に一致するように配置されている。従って、この開口２５，３４によって、保持部材１０を直線状に貫通する貫通孔１１が形成されている。この貫通孔１１は、ＤＵＴ９０の位置決めに用いられる貫通孔であり、当該貫通孔１１を介して、ＤＵＴ９０の一部（具体的にはバンプ９２’）を外部から見ることが可能となっている。この貫通孔１１は、後述するように、試験用キャリア１の組立の際に、ＤＵＴ９０を当該試験用キャリア１に対して高精度に位置決めするために使用される。

【0045】

本実施形態では、ＤＵＴ９０のパッド９１に接触する接触子として、ポゴピン２１を用いているが、接触子としてポゴピン２１以外のものを用いてもよい。例えば、図１１に示すように、カンチレバー型のプローブ針２１Ｂを接触子として用いてもよい。図１１は本実施形態における試験用キャリアの保持部材の変形例を示す分解断面図である。

【0046】

このプローブ針２１Ｂは、インタポーザ３０上に実装されており、当該インタポーザ３０の内部端子３１に電気的に接続されている。或いは、特に図示しないが、試験用キャリア１の接触子として、異方導電性ゴムシートを用いたものや、絶縁膜にバンプを形成したメンブレンタイプのものを用いてもよい。

【0047】

なお、接触子としてポゴピン２１を用いる場合には、上述のように、当該ポゴピン２１を保持するための保持板２０を保持本体１５が備えている。これに対し、図１１に示すように、接触子としてプローブ針２１Ｂを用いた場合には、保持本体１５がインタポーザ３０のみを備えていればよい。この変形例では、インタポーザ３０が本発明における「保持本体」の一例に相当し、プローブ針２１Ｂが本発明における「接触子」の一例に相当する。

【0048】

図３～図７に戻り、筒状体４０は、保持板２０の上面に設けられており、螺子締め等によって保持板２０に固定されている。この筒状体４０は、ＤＵＴ９０の外形よりも大きな内孔４１を持つ角筒形状を有しており、ＤＵＴ９０の周囲を囲むことが可能となっている。この筒状体４０の側面には、蓋部材６０のラッチ８０（後述）に対応するように凹部４２が形成されている。この凹部４２にラッチ８０が係止することで、保持部材１０に蓋部材６０が着脱可能に固定される。

【0049】

また、この筒状体４０の側面には、二次元バーコード５０が貼り付けられている。この二次元バーコード５０は、試験用キャリア１のＩＤ（Identification）を表しており、当該試験用キャリア１の個体を識別するために用いられる。本実施形態では、この二次元バーコード５０は、後述のように、キャリア組立装置１００によってＤＵＴ９０を試験用キャリア１に対して位置決めする際に、個々の試験用キャリア１に固有の誤差を加味するために使用される。なお、試験用キャリア１のＩＤを表す手段は、試験用キャリア１の個体を識別可能な識別子であれば、二次元バーコードに特に限定されない。

【0050】

また、この二次元バーコード５０の用途は、特に上記に限定されない。例えば、二次元バーコード５０が、データベース上において試験用キャリア１の電気的な抵抗値と関連付けられていてもよい。或いは、二次元バーコード５０が、データベース上においてＤＵＴ９０自身や当該ＤＵＴ９０の試験結果と関連付けられてもよい。これにより、ユーザが、ＤＵＴ９０の試験に使用した試験用キャリア１を照合することができ、ＤＵＴ９０の良好なトレーサビリティ（デバイストラッキング）を確保することができる。また、不良のＤＵＴ９０が特定の試験用キャリア１で頻発している場合には、当該試験用キャリア１自体の不良を把握することもできる。

【0051】

蓋部材６０は、蓋本体６１と、可動弁７０と、一対のラッチ８０と、を備えている。蓋本体６１は、板状のベース部６２と、当該ベース部６２から下方に向かって凸状に突出する凸部６３と、を備えている。可動弁７０は、蓋本体６１に形成されたＤＵＴ吸着用の貫通孔６４（後述）内に配置されている。ラッチ８０は、ベース部６２の両端から下方に向かって突出している。

【0052】

凸部６３は、保持板２０に保持されたＤＵＴ９０の上面に接触する接触面６３１を有しており、当該ＤＵＴ９０を押圧する。なお、凸部６３によるＤＵＴ９０の押付量は、保持部材１０の筒状体４０が蓋部材６０のベース部６２に当接することで制限されており、この状態において、ＤＵＴ９０のパッド９１に対するポゴピン２１の押圧力が最適な値となるように設定されている。試験用キャリア１に収容されたＤＵＴ９０は、凸部６３の接触面６３１とポゴピン２１との間に挟持される。

【0053】

蓋本体６１の略中央には貫通孔６４が形成されており、この貫通孔６４は、ベース部６２及び凸部６３を貫通している。この貫通孔６４は一つの上側の開口６４ａを有しており、当該上側の開口６４ａはベース部６２の上面６２１で開口している。この上側の開口６４ａは、ベース部６２の上面６２１の中央に配置されている。また、この貫通孔６４は４つの下側の開口６４ｂを有しており、当該４つの下側の開口６４ｂは、凸部６３の接触面６３１で開口している。この４つの下側の開口６４ｂは、凸部６３の接触面６３１の中心を囲むように等間隔に円周状に配置されている。この貫通孔６４は、後述するように、キャリア組立装置１００によるＤＵＴ９０の吸着保持に使用される。

【0054】

本実施形態における貫通孔６４が、本発明における「ＤＵＴ吸着用の貫通孔」の一例に相当する。また、本実施形態における下側の開口６４ｂが本発明における「第１の開口」の一例に相当し、本実施形態における上側の開口６４ａが本発明における「第２の開口」の一例に相当する。

【0055】

このＤＵＴ吸着用の貫通孔６４は、図９及び図１０に示すように、第１の孔部６４１と、複数（本例では４つ）の第２の孔部６４２と、収容部６４３と、を備えている。なお、貫通孔６４が備える第１の孔部６４１の数は、特に上記に限定されず、貫通孔６４が複数の第１の孔部６４１を備えていてもよい。同様に、貫通孔６４が備える第２の孔部６４２の数は、特に上記に限定されず、貫通孔６４が一つの第２の孔部６４２を備えていてもよい。

【0056】

第１の孔部６４１は、内径Ｄ_１の円形の断面形状を有し、鉛直方向（図中のＺ方向）に沿って直線状に延在する孔部である。この第１の孔部６４１は、貫通孔６４の上側の部分を構成しており、上述の上側の開口６４ａはこの第１の孔部６４１の上端に位置している。

【0057】

それぞれの第２の孔部６４２も、内径Ｄ_２の円形の断面形状を有し、鉛直方向（図中のＺ方向）に沿って直線状に延在する孔部である。この第２の孔部６４２は、貫通孔６４の下側の部分を構成しており、上述の下側の開口６４ｂはこの第２の孔部６４２の下端に位置している。

【0058】

収容部６４３は、内径Ｄ_３の円形の断面形状を有する空間であり、貫通孔６４の中央の部分を構成している。この収容部６４３は、第１の孔部６４１と第２の孔部６４２との間に介在している。第１の孔部６４１は収容部６４３に上側から接続されている。また、４つの全ての第２の孔部６４２も収容部６４３に下側から接続されている。従って、第１の孔部６４１と第２の孔部６４２は、当該収容部６４３を介して相互に接続されている。

【0059】

そして、第１の孔部６４１の内径Ｄ_１は、収容部６４３の内径Ｄ_３よりも小さくなっている（Ｄ_１＜Ｄ_３）。図１０に示すように、透過平面視（蓋部材６０の法線方向（図中のＺ方向）に沿って当該蓋部材６０を透視した場合）において、第１の孔部６４１と収容部６４３とは同軸上に配置されている。

【0060】

また、それぞれの第２の孔部６４２の内径Ｄ_２は、第１の孔部６４１の内径Ｄ_１よりも小さくなっており（Ｄ_２＜Ｄ_１）、第１の孔部６４１と複数の第２の孔部６４２とは、透過平面視において、相互に非重複となるように配置されている。特に限定されないが、本実施形態では、図１０に示すように、第１の孔部６４１を取り囲むように４つの第２の孔部６４２が等間隔に円周状に配置されている。なお、第１の孔部６４１の内径Ｄ_１と第２の孔部６４２の内径Ｄ_２との関係は、特に上記に限定されず、第２の孔部６４２の内径Ｄ_２が第１の孔部６４１の内径Ｄ_１と同一であってもよいし（Ｄ_２＝Ｄ_１）、第２の孔部６４２の内径Ｄ_２が第１の孔部６４１の内径Ｄ_１より大きくてもよい（Ｄ_２＞Ｄ_１）。

【0061】

また、収容部６４３の内径Ｄ_３は、第２の孔部６４２の内径Ｄ_２よりも大きくなっている（Ｄ_３＞Ｄ_２）。本実施形態では、収容部６４３の内径Ｄ_３は、上述の円周状に配置された４つの第２の孔部６４２の外接円よりも大きくなっている。このため、収容部６４３は、図１０に示すように、透過平面視において、収容部６４３が全ての第２の孔部６４２を包含するように配置されており、全ての第２の孔部６４２が収容部６４３と接続されている。

【0062】

可動弁７０は、図９及び図１０に示すように、外径Ｄ_４を持つ円環状の部材であり、開口７２と、当該開口７２が中央に形成された弁本体７１と、を備えている。この可動弁７０は、例えば金属材料又は樹脂材料から構成されており、キャリア組立装置１００（後述）により貫通孔６４が吸引された場合であっても変形することがない剛性を有している。本実施形態における可動弁７０の開口７２が、本発明における「第４の開口」の一例に相当する。なお、貫通孔６４の吸引によって可動弁７０が収容部６４３内を移動可能であれば、当該可動弁７０を弾性材料で構成してもよい。

【0063】

この可動弁７０は、蓋本体６１の貫通孔６４の収容部６４３内に収容されている。この可動弁７０の外径Ｄ_４は、収容部６４３の内径Ｄ_３よりも小さくなっている（Ｄ_４＜Ｄ_３）。また、この可動弁７０の厚みｔは、収容部６４３の深さｄよりも小さくなっている（ｔ＜ｄ）。そして、この可動弁７０は、蓋本体６１に対して固定されていない。また、この可動弁７０の外径Ｄ_４は、第１の孔部６４１の内径Ｄ_１よりも大きくなっている（Ｄ_４＞Ｄ_１）と共に、第２の孔部６４２の内径Ｄ_２よりも大きくなっている（Ｄ_４＞Ｄ_２）。従って、可動弁７０は、収容部６４３内において上下方向（図中のＺ軸方向）に沿って移動することが可能となっており、収容部６４３内において第１の孔部６４１と第２の孔部６４２との間を移動することが可能となっている。

【0064】

この可動弁７０の開口７２は、図１０に示すように、透過平面視において、第１の孔部６４１と同軸上に配置されている。すなわち、この開口７２は、第１の孔部６４１と対向するように配置されている。また、この開口７２の内径Ｄ_５は、第１の孔部６４１の内径Ｄ_１と実質的に同一の大きさを有している（Ｄ_５＝Ｄ_１）。このため、キャリア組立装置１００による貫通孔６４の吸引によって可動弁７０が収容部６４３の上面６４３ｂに接触した状態であっても、この開口７２を介して第１の孔部６４１と収容部６４３とが連通しており、第１の孔部６４１が可動弁７０により閉塞されることはない。なお、開口７２の内径Ｄ_５は、特に上記に限定されず、可動弁７０の弁本体７１が第２の孔部６４２と対向している限り、第１の孔部６４１の内径Ｄ_１より小さくてもよいし（Ｄ_５＜Ｄ_１）、第１の孔部６４１の内径Ｄ_１より大きくてもよい（Ｄ_５＞Ｄ_１）。

【0065】

また、本実施形態では、可動弁７０の外径Ｄ_４は、上述の円周状に配置された４つの第２の孔部６４２の外接円よりも大きくなっている。そして、この可動弁７０は、収容部６４３と同様に、図１０に示すように、透過平面視において、全ての第２の孔部６４２を包含するように配置されている。このため、キャリア組立装置１００による貫通孔６４の非吸引時には、可動弁７０が収容部６４３の下面６４３ａに接触し、全ての第２の孔部６４２の上側の開口６４２ａが、可動弁７０の弁本体７１によって覆われる。本実施形態における第２の孔部６４２の上側の開口６４２ａが、本発明における「第３の開口」の一例に相当する。

【0066】

なお、本実施形態では、こうした中央が拡径した貫通孔６４を形成するために、図７及び図９に示すように、蓋本体６１を２つの部材６５，６６で構成している。なお、特にこれに限定されず、蓋本体６１を単一の部材で構成してもよい。

【0067】

第１の部材６５は、ベース部６２と凸部６３が一体的に形成されたブロック状の部材である。この第１の部材６５の中央には、第２の孔部６４２及び収容部６４３が形成されていると共に、収容部６４３よりも大きな凹部６５ａが形成されている。この凹部６５ａは、収容部６４３の上方に配置されており、当該収容部６４３に接続されている。

【0068】

一方、第２の部材６６は、その中央に第１の孔部６４１を有する環状の部材である。この第２の部材６６を第１の部材６５の凹部６５ａに挿入することで、貫通孔６４を有する蓋本体６１が形成されている。本実施形態では、第２の部材６６の外周面に形成されたオネジ部と、第１の部材６５の凹部６５ａの内周面に形成されたメネジ部とを螺合させることで、第２の部材６６が第１の部材６５に固定されている。なお、接着剤を用いて第２の部材６６を第１の部材に固定してもよい。

【0069】

なお、可動弁の構成は、特に上記に限定されず、図１２及び図１３に示すような構成にしてもよい。図１２は本実施形態における試験用キャリアの蓋部材の変形例を示す断面図であり、図１３は、図１２に示す蓋部材の変形例における収容部の上面を示す図であり、図１２のXIII-XIII線に沿った断面図である。

【0070】

この図１２及び図１３に示す変形例では、可動弁７０Ｂは、開口７２を有しない円板形状を有している。この可動弁７０は、例えばゴム等の弾性材料から構成されており、キャリア組立装置１００により貫通孔６４が吸引された場合に弾性変形することが可能となっている。この可動弁７０Ｂは、固定部７３で収容部６４３の下面（底面）６４３ａに固定されている。この固定部７３は、可動弁７０Ｂの中央に位置しており、第１の孔部６４１に対向している。固定部７３の具体例としては、特に限定されないが、ネジ締結や接着を例示することができる。

【0071】

この変形例では、キャリア組立装置１００による貫通孔６４の非吸引時には、可動弁７０Ｂが弾性変形していないので、可動弁７０Ｂが収容部６４３の下面６４３ａに接触し、第２の孔部６４２の上側の開口６４２ａが可動弁７０Ｂによって覆われている。これに対し、キャリア組立装置１００による貫通孔６４の吸引時には、可動弁７０Ｂの中央部が固定部７３によって固定されつつ当該可動弁７０Ｂの周縁部が上方に向かって弾性変形するので、第２の孔部６４２の上側の開口６４２ａが開放されて、収容部６４３を介して第１の孔部６４１と第２の孔部６４２とが連通する。この際、、可動弁７０Ｂは、第１の孔部６４１に対向している固定部７３で収容部６４３の下面６４３ａに固定されているので、当該第１の孔部６４１を閉塞することはない。

【0072】

また、この変形例では、収容部６４３の上面（天井面）６４３ｂに複数（本例では４本）の直線状の溝６４３ｃが形成されている。この複数の溝６４３ｃは、第１の孔部６４１を中心として放射状に広がっており、それぞれの溝６４３ｃは、第１の孔部６４１に接続されていると共に、可動弁７０Ｂを介して第２の孔部６４２に対向するように配置されている。これにより、収容部６４３の上面６４３ｂへの弾性変形した可動弁７０Ｂの接触による貫通孔６４の閉塞を抑制することができる。

【0073】

また、ＤＵＴ吸着用の貫通孔の構成も、特に上記に限定されない。例えば、可動弁がキャリア組立装置の吸引により弾性変形するタイプである場合には、特に図示しないが、第１の孔部と第２の孔部とが、透過平面視において、相互に重複するように配置されていてもよいし、或いは、ＤＵＴ吸着用の貫通孔から第１の孔部を省略してもよい。さら、キャリア組立装置の吸着保持部の先端部の形状を可動弁を包囲可能な形状とすることで、ＤＵＴ吸着用の貫通孔から、第１の孔部に加えて、収容部を省略してもよい。

【0074】

図３～図７に戻り、ラッチ８０は、ベース部６２の両端でシャフト８１によって回転可能に支持されており、下方に向かってそれぞれ延在している。それぞれのラッチ８０は、特に図示しないバネによって、内側に向かって付勢されている。それぞれのラッチ８０の先端には、内側に向かって突出する爪部８２が設けられている。この爪部８２が保持部材１０の凹部４２に係止することで、蓋部材６０が保持部材１０に固定される。

【0075】

次に、以上に説明した試験用キャリア１を組み立てるキャリア組立装置１００の構成について、図１４を参照しながら説明する。図１４は本実施形態におけるキャリア組立装置の構成を示すブロック図である。

【0076】

本実施形態におけるキャリア組立装置１００は、図１４に示すように、第１の吸着保持部１１０と、第２の吸着保持部１２０と、減圧部１３０と、駆動部１４０と、カメラ１５０と、画像処理部１６０と、リーダ１７０と、制御部１８０と、記憶部１９０と、を備えている。

【0077】

第１の吸着保持部１１０は、減圧部１３０に接続されており、保持部材１０を吸着保持することが可能となっている。第２の吸着保持部１２０も、減圧部１３０に接続されており、蓋部材６０を吸着保持することが可能となっている。本実施形態では、ＤＵＴ９０が、蓋部材６０の貫通孔６４を介して、第２の吸着保持部１２０によって蓋部材６０と共に吸着保持される。特に限定されないが、第１及び第２の吸着保持部１１０，１２０の具体例としては、例えば、吸着パッドを例示することができる。また、減圧部１３０としては、例えば、真空ポンプを例示することができる。

【0078】

なお、本実施形態では、ポゴピン２１の先端が上方を向いた状態で第１の吸着保持部１１０が保持部材１０を吸着保持するが、特にこれに限定されず、保持部材１０を反転させた状態（すなわち、ポゴピン２１の先端が下方を向いた状態）で第１の吸着保持部１１０が当該保持部材１０を吸着保持してもよい。同様に、本実施形態では、パッド９１及びバンプ９２が下方に向いた状態で第２の吸着保持部１２０が蓋部材６０及びＤＵＴ９０を保持するが、特にこれに限定されず、蓋部材６０及びＤＵＴ９０を反転させた状態（すなわち、パッド９１及びバンプ９２が上方を向いた状態）で第２の吸着保持部１２０が当該蓋部材６０及びＤＵＴ９０を保持してもよい。

【0079】

本実施形態では、第２の吸着保持部１２０に駆動部１４０が接続されている。この第２の吸着保持部１２０は、駆動部１４０が有するアクチュエータによって、ＸＹＺ方向に移動可能であると共にＺ軸を中心としたθ方向の回転が可能となっており、第１の吸着保持部１１０に対して相対的に移動及び回転することが可能となっている。なお、第１の吸着保持部１１０が第２の吸着保持部１２０に対して移動可能であってもよいし、第１及び第２の吸着保持部１１０，１２０の両方が移動可能であってもよい。

【0080】

カメラ１５０は、第１の吸着保持部１１０によって保持された保持部材１０の貫通孔１１を介して、ＤＵＴ９０の一部を撮像する。具体的には、カメラ１５０は、保持部材１０の貫通孔１１と、ＤＵＴ９０が有するバンプ９２の中で角部に位置するバンプ９２’と、を包含する画像を撮像する（図１７（ａ）～図１７（ｃ）参照）。カメラ１５０によって取得された画像情報は、画像処理部１６０に送信される。

【0081】

画像処理部１６０は、この画像情報に対して画像処理を行うことで、貫通孔１１の中心１２の位置を検出すると共に、バンプ９２’の位置を検出することで、貫通孔１１の中心１２に対するバンプ９２’の相対位置を取得する（図１７（ａ）～図１７（ｃ）参照）。なお、バンプ９２’の相対位置の基準は、貫通孔１１に関する部位であれば、当該貫通孔１１の中心１２に特に限定されない。

【0082】

また、試験用キャリア１に対するＤＵＴ９０の位置決めのために画像処理部１６０によって取得されるＤＵＴ９０の特徴点は、ＤＵＴ９０において特徴的な部分であれば、上述のバンプ９２’に特に限定されない。特に図示しないが、例えば、位置決め用のアライメントマークをＤＵＴ９０に形成しておき、このアライメントマークをＤＵＴ９０の特徴点として利用してもよい。

【0083】

リーダ１７０は、第１の吸着保持部１１０によって保持された保持部材１０の二次元バーコード５０を読み取るバーコードリーダである。このリーダ１７０によって読み取られたＩＤ情報は、制御部１８０に送信される。制御部１８０は、この試験用キャリア１のＩＤ情報に対応した補正値を記憶部１９０から読み出す。

【0084】

記憶部１９０には、試験用キャリア１のＩＤにそれぞれ対応した複数の補正値を有する補正値テーブルが予め記憶されている。この補正値は、保持部材１０の加工によって生じたポゴピン２１に対する貫通孔１１の相対位置の誤差に対応した補正値であり、個々の試験用キャリア１に固有の値である。具体的には、この補正値は、以下のように求められる。すなわち、先ず、試験用キャリア１を実際に計測することで、ポゴピン２１の中心に対する貫通孔１１の中心１２の実際の相対位置（ｘ_１、ｙ_１）を求める。次いで、ポゴピン２１の中心に対する貫通孔１１の中心１２の設計上の相対位置（ｘ_０，ｙ_０）と実際の相対位置（ｘ_１、ｙ_１）との差（Δｘ，Δｙ）（＝ｘ_０－ｘ_１、ｙ_０－ｙ_１）を求め、この差（Δｘ，Δｙ）を上述の補正値として設定する。補正値テーブルは、個々の試験用キャリア１のＩＤに対して当該試験用キャリア１の補正値が個別に対応付けられることで構成されている。なお、ポゴピン２１の中心に対する貫通孔１１の中心１２の設計上の相対位置（ｘ_０，ｙ_０）は、ＤＵＴ９０におけるパッド９１の中心に対するバンプ９２’の中心の相対位置に対応している（図１参照）。

【0085】

さらに、制御部１８０は、画像処理部１６０によって取得されたバンプ９２’の相対位置と、上述の補正値とに基づいて、保持部材１０に対してＤＵＴ９０を位置決めするように、駆動部１４０を制御する。画像処理部１６０、制御部１８０、及び、記憶部１９０は、例えば、コンピュータによって実現することができる。

【0086】

以下に、このキャリア組立装置１００を用いてＤＵＴ９０を試験用キャリア１に収容する手順について、図１５～図１７（ｃ）を参照しながら説明する。

【0087】

図１５は本実施形態における試験用キャリア１の組立方法の工程図である。また、図１６（ａ）及び図１６（ｂ）は、図１５のステップＳ２０を示す図であり、図１６（ａ）は、第２の吸着保持部１２０により蓋部材６０とＤＵＴ９０を保持する前の状態を示す図であり、図１６（ｂ）は、第２の吸着保持部１２０により蓋部材６０とＤＵＴ９０を保持した状態を示す図である。また、図１７（ａ）～図１７（ｃ）は、図１５のステップＳ４０～Ｓ６０を示す図であり、図１７（ａ）はアライメント前にカメラ１５０により貫通孔１１を介してＤＵＴ９０の下面を撮像した画像を示す図であり、図１７（ｂ）はアライメント中にカメラ１５０により貫通孔１１を介してＤＵＴ９０の下面を撮像した画像を示す図であり、図１７（ｃ）は、アライメント後にカメラ１５０により貫通孔１１を介してＤＵＴ９０の下面を撮像した画像を示す図である。

【0088】

先ず、図１５のステップＳ１０において、第１の吸着保持部１１０が試験用キャリア１の保持部材１０を吸着保持する。この際、第１の吸着保持部１１０は、ポゴピン２１の先端が上方を向いた状態で保持部材１０を下側から吸着保持する。

【0089】

次いで、図１５のステップＳ２０において、第２の吸着保持部１２０が蓋部材６０とＤＵＴ９０を吸着保持する。この際、第２の吸着保持部１２０は、パッド９１及びバンプ９２が下方に向いた状態で、蓋部材６０及びＤＵＴ９０を上側から吸着保持する。

【0090】

ここで、キャリア組立装置１００により貫通孔６４を吸引する前は、図１６（ａ）に示すように、可動弁７０は、その自重によって、収容部６４３内において下降して当該収容部６４３の下面６４３ａに接触しており、第２の孔部６４２の上側の開口６４２ａが、可動弁７０の弁本体７１によって覆われている。このように、本実施形態では、キャリア組立装置１００により蓋部材６０及びＤＵＴ９０を吸着保持していない時（すなわち、第２の吸着保持部１２０が蓋部材６０に接触していない時）に、貫通孔６４の第１の孔部６４１と第２の孔部６４２との間が可動弁７０により閉塞されているので、当該貫通孔６４を介して微少なゴミ等の異物が試験用キャリア１内に侵入してしまうのを抑制することができる。

【0091】

そして、このステップＳ２０において、キャリア組立装置１００により貫通孔６４を吸引すると、図１６（ｂ）に示すように、可動弁７０は、収容部６４３内で吸い上げられて、当該収容部６４３の上面６４３ｂに接触する。この際、当該可動弁７０の開口７２を介して第１の孔部６４１と収容部６４３とが連通しており、第１の孔部６４１が可動弁７０により閉塞されることはないため、第２の吸着保持部１２０は蓋部材６０とＤＵＴ９０を吸着保持することができる。また、この際、可動弁７０が貫通孔６４を閉塞していなくても、第２の吸着保持部１２０が蓋部材６０に接触しているので、貫通孔６４を介して試験用キャリア１内に異物が侵入することはない。

【0092】

また、第２の吸着保持部１２０が蓋部材６０に接触していない時に貫通孔６４内に侵入した異物が可動弁７０上に付着していても、このステップＳ２０でのキャリア組立装置１００による貫通孔６４の吸引により、当該異物は試験用キャリア１の外部に排出される。

【0093】

次いで、図１５のステップＳ３０において、駆動部１４０によって第２の吸着保持部１２０をＺ軸方向に沿って下降させて、ＤＵＴ９０のパッド９１と保持部材１０のポゴピン２１を近接させる。特に限定されないが、例えば、この状態において、パッド９１とポゴピン２１との間の間隔は０．０５ｍｍ程度である。

【0094】

次いで、図１５のステップＳ４０において、図１７（ａ）に示すように、カメラ１５０によって貫通孔１１を介してＤＵＴ９０の一部を撮像して、その画像情報を画像処理部１６０に送信する。画像処理部１６０は、この画像情報から、貫通孔１１の中心１２に対するバンプ９２’の中心の相対位置を取得する。画像処理部１６０は、このバンプ９２’の相対位置を制御部１８０に送信する。

【0095】

次いで、図１５のステップＳ５０において、保持部材１０に付与された二次元バーコード５０をリーダ１７０によって読み取り、制御部１８０が、そのＩＤ情報に対応した補正値を記憶部１９０から読み出す。

【0096】

次いで、図１５のステップＳ６０において、制御部１８０は、画像処理部１６０によって取得されたバンプ９２’の相対位置に基づいて、駆動部１４０を制御する。本実施形態では、制御部１８０は、バンプ９２’の中心を貫通孔１１の中心１２に一致させるように、駆動部１４０を制御する。駆動部１４０は、制御部１８０からの指示に従って第２の吸着保持部１２０をＸＹ平面上で移動させ、これにより、ＤＵＴ９０のバンプ９２’ の中心が貫通孔１１の中心１２に位置する（図１７（ｂ）参照）。

【0097】

また、このステップＳ６０において、制御部１８０は、記憶部１９０から読み出した補正値に基づいて駆動部１４０を制御する。駆動部１４０は、制御部１８０からの指示に従って第２の吸着保持部１２０をＸＹ平面上でさらに移動させ、これにより、ＤＵＴ９０のバンプ９２’ の中心が貫通孔１１の中心１２から補正量（Δｘ，Δｙ）分だけ離れる（図１７（ｃ）参照）。これにより、個々の試験用キャリア１が有する誤差が加味されるので、パッド９１がポゴピン２１に対して高精度に位置決めされる。

【0098】

なお、実際には、このステップＳ６０において、バンプ９２’の相対位置に基づく駆動部１４０の制御と、補正値に基づく駆動部１４０の制御とが同時に実行される。また、ステップＳ６０において、制御部１８０が、複数のバンプ９２’の位置に基づいて、第２の吸着保持部１２０をθ方向に回転させるように駆動部１４０を制御してもよい。

【0099】

次いで、図１５のステップＳ７０において、駆動部１４０によって第２の吸着保持部１２０をＺ軸方向に沿ってさらに下降させて、保持部材１０の筒状体４０を蓋部材６０のベース部６２に当接させる。これにより、ポゴピン２１によって最適な押圧力でＤＵＴ９０のパッド９１が押圧されると共に、ポゴピン２１と蓋部材６０によってＤＵＴ９０が挟持される。また、駆動部１４０による第２の吸着保持部１２０の下降に伴って、ラッチ８０の爪部８２が筒状体４０の凹部４２に係止して、蓋部材６０が保持部材１０に固定される。

【0100】

次いで、図１５のステップＳ８０において、搬送手段（不図示）によって試験用キャリア１を保持した状態で、第１及び第２の吸着保持部１１０，１２０の吸着が解除されて、試験用キャリア１へのＤＵＴ９０の収容作業が完了する。

【0101】

第２の吸着保持部１２０の吸着が解除されると、貫通孔６４が吸引されていない状態となるので、上述した図１６（ａ）の状態と同様に、可動弁７０はその自重によって下降し、第２の孔部６４２の上側の開口６４２ａが可動弁７０によって覆われる。このように、本実施形態では、キャリア組立装置１００により蓋部材６０及びＤＵＴ９０を吸着保持していない時（すなわち、第２の吸着保持部１２０が蓋部材６０に接触していない時）に、貫通孔４３の第１の孔部６４１と第２の孔部６４２との間が可動弁７０により閉塞されているので、当該貫通孔６４を介して微少なゴミ等の異物が試験用キャリア１内に侵入してしまうのを抑制することができる。

【0102】

以上のように、本実施形態では、試験用キャリア１が、ＤＵＴ吸着用の貫通孔６４の吸引に伴って当該貫通孔６４を開閉する可動弁７０を備えている。このため、貫通孔６４が吸引されている状態では、可動弁７０によって当該貫通孔６４が閉塞されていないので、ＤＵＴ９０を吸着保持することが可能となっている。一方、貫通孔６４が吸引されていない状態では、可動弁７０によって当該貫通孔６４が閉塞されているので、貫通孔６４を介した試験用キャリア１内への異物の侵入を抑制することができる。このため、クリーンルーム内において試験用キャリア１から取り出される試験済みのＤＵＴ９０への異物の付着を抑制することができ、次工程への異物の持ち込みを抑制することができる。

【0103】

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

【0104】

例えば、試験用キャリア１が、位置決め用の貫通孔１１を備えていなくてもよい。この場合に、ＤＵＴ９０のパッド９１を撮像した画像と、ポゴピン２１を撮像した画像とを取得し、これらの画像に基づいて、ポゴピン２１に対するＤＵＴ９０の相対位置を演算することで、ＤＵＴ９０を試験用キャリア１に対して位置決めしてもよい。

【0105】

また、例えば、上述の実施形態では、ＤＵＴ９０の具体例として、ダイを例示したが、特にこれに限定されない。例えば、ＤＵＴ９０は、パッケージングされたデバイスであってもよい。また、上述の実施形態におけるＤＵＴ９０は、メモリ系のデバイスであるが、特にこれに限定されない。例えば、ＤＵＴ９０が、ＳｏＣ（System on a chip）やロジック系のデバイスであってもよい。

【0106】

また、上述の実施形態における電子部品試験装置２００は、テストトレイにＤＵＴ９０を保持した状態で当該ＤＵＴ９０をソケット４２０に押圧するタイプのハンドラ３００を備えているが、ハンドラ３００の構成は特にこれに限定されない。例えば、ハンドラ３００が、ＤＵＴを吸着保持するアームにより当該ＤＵＴをソケットに押圧するタイプのハンドラであってもよい。

【符号の説明】

【0107】

１…試験用キャリア
１０…保持部材
１５…保持本体
２１…ポゴピン
２１Ｂ…プローブ針
３２…外部端子
６０…蓋部材
６１…蓋本体
６２…ベース部
６２１…上面
６３…凸部
６３１…接触面
６４…貫通孔（ＤＵＴ吸着用の貫通孔）
６４ａ…開口
６４ｂ…開口
６４１…第１の孔部
６４２…第２の孔部
６４２ａ…開口
６４３…収容部
６４３ａ…下面
６４３ｂ…上面
６４３ｃ…溝
７０，７０Ｂ…可動弁
７１…弁本体
７２…開口
７３…固定部
９０…ＤＵＴ
１００…キャリア組立装置
１２０…第２の吸着保持部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【手続補正書】

【提出日】2022-05-20

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＤＵＴを収容した状態で搬送される試験用キャリアであって、
前記試験用キャリアは、
前記ＤＵＴを保持する保持部材と、
前記ＤＵＴを覆うと共に、前記保持部材に着脱可能に固定された蓋部材と、
前記ＤＵＴに対向するように配置されたＤＵＴ吸着保持用の貫通孔と、
前記貫通孔の吸引に伴って前記貫通孔を開閉する可動弁と、を備え、
前記貫通孔は、前記蓋部材の蓋本体を貫通するように前記蓋本体に形成されており、
前記可動弁は、前記貫通孔の吸引によって移動又は変形することで、前記貫通孔の吸引時に前記貫通孔を開放し、前記貫通孔の非吸引時に前記貫通孔を閉塞する試験用キャリア。

【請求項2】

請求項１に記載の試験用キャリアであって、
前記貫通孔は、
第１の孔部と、
前記第１の孔部に接続されていると共に、前記可動弁を移動又は変形可能に収容している収容部と、
前記収容部を介して前記第１の孔部に接続されている第２の孔部と、を備えており、
前記可動弁は、
前記貫通孔の吸引時に、前記第１の孔部と前記第２の孔部とを連通させ、
前記貫通孔の非吸引時に、前記第１の孔部と前記第２の孔部との間を閉塞する試験用キャリア。

【請求項3】

請求項２に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、前記第２の孔部の内径よりも大きな外径を有しており、
前記貫通孔の非吸引時に、前記可動弁が、前記第２の孔部における前記収容部側の第３の開口を覆う試験用キャリア。

【請求項4】

請求項２又は３に記載の試験用キャリアであって、
前記第１の孔部と前記第２の孔部とは、透過平面視において、相互に非重複となるように配置されている試験用キャリア。

【請求項5】

請求項２～４のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記貫通孔は、複数の前記第２の孔部を備えており、
前記複数の第２の孔部は、前記収容部を介して前記第１の孔部に接続されている試験用キャリア。

【請求項6】

請求項５に記載の試験用キャリアであって、
前記第１の孔部は、円形の断面形状を有し、
前記複数の第２の孔部は、前記第１の孔部の内径よりも小さな内径を持つ円形の断面形状をそれぞれ有し、
前記可動弁は、前記複数の第２の孔部を包含する外径を持つ円形形状を有し、
前記収容部は、前記可動弁の外径よりも大きな内径を持つ円形の断面形状を有している試験用キャリア。

【請求項7】

請求項２～６のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、前記第１の孔部の内径よりも大きく、且つ、前記第２の孔部の内径よりも大きな外径を有し、
前記収容部は、前記可動弁の外径よりも大きな内径を有しており、
前記可動弁は、前記第１の孔部と前記第２の孔部との間を移動可能に前記収容部内に収容されている試験用キャリア。

【請求項8】

請求項２～７のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、
第４の開口と、
前記第４の開口が形成された弁本体と、を備えており、
前記第１の孔部は、前記第４の開口に対向するように配置され、
前記第２の孔部は、前記弁本体に対向するように配置されており、
前記貫通孔の吸引時に、前記第４の開口を介して、前記第１の孔部と前記収容部とが連通し、
前記貫通孔の非吸引時に、前記弁本体が、前記第２の孔部における前記収容部側の第３の開口を覆う試験用キャリア。

【請求項9】

請求項２～８のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、金属材料又は樹脂材料から構成され、前記貫通孔の吸引に対して非変形な剛性を有する弁部材である試験用キャリア。

【請求項10】

請求項２～６のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記可動弁は、弾性材料から構成され、前記貫通孔の吸引によって弾性変形可能な弁部材であり、
前記可動弁は、固定部で前記蓋本体に固定されており、
前記固定部は、前記第１の孔部と対向するように配置されている試験用キャリア。

【請求項11】

請求項１０に記載の試験用キャリアであって、
前記収容部は、前記第１の孔部に接続されていると共に、前記可動弁を介して前記第２の孔部に対向するように配置された溝を有している試験用キャリア。

【請求項12】

請求項１～１１のいずれか一項に記載の試験用キャリアであって、
前記保持部材は、
前記ＤＵＴの端子に対応するように配置された複数の接触子と、
前記接触子に電気的に接続された複数の外部端子と、
前記接触子及び前記外部端子を保持する保持本体と、を備えた試験用キャリア。

【請求項13】

請求項１２に記載の試験用キャリアであって、
前記蓋本体は、前記ＤＵＴに接触する接触面を有し、
前記貫通孔の第１の開口は、前記接触面に開口しており、
前記ＤＵＴは、前記接触面と前記接触子との間に挟持される試験用キャリア。

【請求項14】

請求項１３に記載の試験用キャリアであって、
前記貫通孔の第２の開口は、前記蓋本体において前記接触面とは反対側の面に開口しており、
前記第２の開口は、前記貫通孔において前記第１の開口とは反対側の開口である試験用キャリア。