特開 2023-63234 Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット及びその調製方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023063234

(43)【公開日】2023-05-09

(54)【発明の名称】Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット及びその調製方法

(51)【国際特許分類】

   C22C 32/00 20060101AFI20230427BHJP

   C22C 1/05 20230101ALI20230427BHJP

【ＦＩ】

C22C32/00 Z

C22C1/05 E

C22C32/00 Q

【審査請求】有

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022146747

(22)【出願日】2022-09-15

(31)【優先権主張番号】110139373

(32)【優先日】2021-10-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】502294194

【氏名又は名称】光洋應用材料科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】110000659

【氏名又は名称】弁理士法人広江アソシエイツ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】陳 又菱

(72)【発明者】

【氏名】▲呉▼ 天傑

(72)【発明者】

【氏名】鄭 惠文

【テーマコード（参考）】

4K018

【Ｆターム（参考）】

4K018AA15

4K018AA40

4K018AB01

4K018AC01

4K018BA08

4K018BA20

4K018BB04

4K018BC08

4K018BC12

4K018CA02

4K018EA01

4K018EA11

4K018EA21

4K018KA29

4K018KA58

4K018KA63

(57)【要約】      （修正有）

【課題】より高い相対密度及び曲げ強さを有し、改善された耐酸化性も有するＲｕ、Ａｌ及び酸化物を含むＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを提供する。
【解決手段】Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの全原子数を基準として、Ａｌの含有量は５ａｔ％～５０ａｔ％であり、酸化物の含有量は５ａｔ％～４０ａｔ％であり、一方、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は５０ｐｐｍ未満であり、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの縦断面のＸＲＤパターンにおいて、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比は２超である。
【選択図】なし

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ルテニウム、アルミニウム及び酸化物を含むＲｕ－Ａｌ合金ターゲットであって、前記Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの全原子数に基づいて、アルミニウムの含有量は５ａｔ％以上及び５０ａｔ％以下であり、前記酸化物の含有量は５ａｔ％以上及び４０ａｔ％以下であり、前記Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの塩素含有量は５０ｐｐｍ未満であり、前記Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの縦断面のＸＲＤパターンにおいて、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比は２より大きい、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット。

【請求項2】

前記Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの縦断面の前記ＸＲＤパターンにおいて、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比が、２よりも大きく、且つ、２５未満である、請求項１に記載のＲｕ－Ａｌ合金ターゲット。

【請求項3】

前記酸化物が、ＭｇＯ、ＴｉＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＣｏＯ、Ｃｏ_３Ｏ_４、Ｂ_２Ｏ_３、Ｆｅ_２Ｏ_３、Ａｇ_２Ｏ、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＳｎＯ_２、Ｍｇ_２ＴｉＯ_４、Ｐ_２Ｏ_５、Ｍｎ_２Ｏ_３、Ｖ_２Ｏ_５、ＺｒＯ_２、Ｔａ_２Ｏ_５、ＳｒＯ、ＨｆＯ_２、Ｎｂ_２Ｏ_５、ＷＯ_３、又はそれらの任意の組合わせを含む、請求項１に記載のＲｕ－Ａｌ合金ターゲット。

【請求項4】

前記Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの相対密度が９７％を超える、請求項１に記載のＲｕ－Ａｌ合金ターゲット。

【請求項5】

前記Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの曲げ強さが３００ＭＰａを超える、請求項１に記載のＲｕ－Ａｌ合金ターゲット。

【請求項6】

Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの調製方法であって、
以下の工程、
工程（ａ）：ルテニウム原料及びアルミニウム原料を有するＲｕ－Ａｌプレアロイ原料であって、前記アルミニウム原料の塩素含有量は５０ｐｐｍ未満である、Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料を調製する工程と、
工程（ｂ）：前記Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料及び酸化物原料を混合して混合物を得る工程と、
工程（ｃ）：９００℃～１５００℃で前記混合物を焼結してＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを得る工程と、
を含み、
前記混合物の全原子数を基準として、前記アルミニウム原料の含有量は５ａｔ％以上及び５０ａｔ％以下であり、前記酸化物原料の含有量は５ａｔ％以上及び４０ａｔ％以下であり、前記Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの塩素含有量は５０ｐｐｍ未満であり、前記Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの縦断面のＸＲＤパターンにおいて、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比は２よりも大きい、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの調製方法。

【請求項7】

前記工程（ａ）において、前記ルテニウム原料及び前記アルミニウム原料を用いて真空誘導溶解により前記Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料を調製する、請求項６に記載の調製方法。

【請求項8】

前記工程（ａ）において、前記Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料を５００℃～７００℃で熱処理する、請求項６に記載の調製方法。

【請求項9】

前記酸化物が、ＭｇＯ、ＴｉＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＣｏＯ、Ｃｏ_３Ｏ_４、Ｂ_２Ｏ_３、Ｆｅ_２Ｏ_３、Ａｇ_２Ｏ、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＳｎＯ_２、Ｍｇ_２ＴｉＯ_４、Ｐ_２Ｏ_５、Ｍｎ_２Ｏ_３、Ｖ_２Ｏ_５、ＺｒＯ_２、Ｔａ_２Ｏ_５、ＳｒＯ、ＨｆＯ_２、Ｎｂ_２Ｏ_５、ＷＯ_３、又はそれらの任意の組合わせを含む、請求項６に記載の調製方法。

【請求項10】

前記工程（ｃ）において、焼結の圧力が３５０バール以上及び１８００バール以下である、請求項６に記載の調製方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット及びその調製方法に関し、特に熱アシスト磁気記録媒体の下層を製造するためのＲｕ－Ａｌ合金ターゲット及びその調製方法に関する。

【背景技術】

【0002】

より高いデータ記憶容量に対する要求が高まるにつれて、近年ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の記憶容量を増加させるために、より高い磁気記録密度を有する垂直磁気記録（Ｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ：ＰＭＲ）媒体が採用されている。しかし、磁気記録密度を更に高めるためには、本ＰＭＲ媒体の熱安定性、書込み性及び信号対雑音比（Ｓｉｇｎａｌ ｔｏ Ｎｏｉｓｅ Ｒａｔｉｏ：ＳＮＲ）を改善する必要があり、その結果、記憶容量を増加させるという目的を達成するために熱アシスト磁気記録（Ｈｅａｔ－Ａｓｓｉｓｔｅｄ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ：ＨＡＭＲ）の技術が開発されている。

【0003】

一般に、ＨＡＭＲ媒体の積層構造は、下から上に、基板、接着層、軟質下層、ヒートシンク、下層、拡散バリア、磁気記録層及びキャップ層等を含む。手短に言えば、ＨＡＭＲシステムでは、記録中、加熱のためにレーザビームを使用して磁気記録層に正確に焦点を合わせ、記録ビットの磁性粒子をキュリー温度を超える温度まで加熱して、磁性粒子の磁気保磁力を一時的に低下させ、それによってデータ記憶を達成する。

【0004】

現在、ＨＡＭＲ媒体の磁気記録層は、通常、鉄－白金系（Ｆｅ－Ｐｔ系）の材料を主成分として採用している。記録層の磁性粒子の結晶粒配向性、結晶粒径及び結晶粒分布を確保するためには、下層には結晶粒相溶性を調整できる微細な結晶粒径材料が必要であるため、したがって下層には通常ルテニウム－アルミニウム合金（Ｒｕ－Ａｌ合金）が用いられる。しかしながら、ルテニウム（Ｒｕ）の融点は２３３４℃であるのに対して、アルミニウム（Ａｌ）の融点はわずか６６０℃である。ＲｕとＡｌとの融点の差が大きいと、焼結によって高密度のターゲットを得ることが困難になる。更に、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットを調製するために使用されるＡｌ原料は、通常、塩素（Ｃｌ）の含有量が高く、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ_３）を容易に形成するが、塩化アルミニウムは高い吸湿性の特性を有する。そのため、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットを不適切な条件で保存すると、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの表面が酸化変色しやすい。

【0005】

また、Ｒｕ－Ａｌ合金の下層に酸化物を更に含有させれば、それに応じて磁気記録層の磁性粒子の結晶粒径を更に調整できることが知られている。それにもかかわらず、ターゲット調製のためのＲｕ、Ａｌ及び酸化物の混合物の焼結プロセスにおいて、Ａｌは酸化物と容易に反応して正孔を生成する酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）を形成し、それによって酸化物を含むＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは低密度で曲げ強さが不十分となる。

【0006】

したがって、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット又は酸化物を含むＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、一般に、密度が低く、曲げ強さが不十分であり、耐酸化性が不十分であるという問題を有し、これらの問題はすべて、その後のスパッタリングプロセスに影響を及ぼし、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＨＡＭＲ媒体への適用を制限し、業界の将来の傾向を満たすために新しい解決策を開発する必要がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２０１９－１１６６８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

従来技術の欠点を克服するために、本発明の目的は、より高い相対密度及び曲げ強さを有し、改善された耐酸化性も有するＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを提供することにある。したがって、本発明のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、保存が容易であり、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットをスパッタリングすることによって形成される膜の品質及び収率を改善することができ、それによって下層の材料として、及びＨＡＭＲ媒体への適用に適している。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上述した目的を達成するために、本発明は、ルテニウム（Ｒｕ）、アルミニウム（Ａｌ）及び酸化物を含むＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを提供し、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの全原子数に基づいて、Ａｌの含有量は、５原子パーセント（ａｔ％）以上及び５０ａｔ％以下であり、酸化物の含有量は５ａｔ％以上及び４０ａｔ％以下であり、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの塩素（Ｃｌ）含有量は、１，０００，０００当たり５０部（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ：ｐｐｍ）未満であり、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの縦断面のＸＲＤパターンにおいて、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ルテニウム－アルミニウム相（ＲｕＡｌ相）の結晶面の強度の比は２よりも大きい。

【0010】

本発明のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、以下の技術的特徴を同時に有する。（Ｉ）Ａｌの含有量は５ａｔ％以上及び５０ａｔ％以下であり、（ＩＩ）酸化物の含有量は５ａｔ％以上及び４０ａｔ％以下であり、（ＩＩＩ）Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は５０ｐｐｍ未満であり、（ＩＶ）（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比は２超である。上述の技術的特徴により、本発明のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、９７％を超える相対密度及び３００ＭＰａを超える曲げ強さを有するだけでなく、耐酸化性も改善されている。

【0011】

本発明によれば、異なる結晶相の異なる結晶面のピーク強度の比を算出する際に、複数のピークが存在する場合、最も強度が高いピークを算出に採用する。例えば、本発明のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットのＸＲＤパターンでは、（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面は、２θが約２９．７３゜、約４２．５４゜、及び約７７．８５゜のそれぞれに３つの明確なピークを有する。したがって、ピーク強度の比率の算出には、２θが約４２．５４゜である最も強度が高いピークを採用する。

【0012】

好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの縦断面のＸＲＤパターンにおいて、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比は、２よりも大きく且つ２５未満である。より好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの縦断面のＸＲＤパターンにおいて、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比は、２よりも大きく且つ２４未満である。

【0013】

好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は４５ｐｐｍ未満である。より好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は４３ｐｐｍ以下である。

【0014】

本発明のいくつかの実施形態では、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は、０．１ｐｐｍ以上及び５０ｐｐｍ未満であり、本発明の別の実施形態では、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は、０．１ｐｐｍ以上及び４５ｐｐｍ未満であり、本発明の別の実施形態では、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は、０．１ｐｐｍ以上及び４３ｐｐｍ以下である。

【0015】

好ましくは、酸化物は、酸化マグネシウム（ＩＩ）（ＭｇＯ）、酸化チタン（ＩＶ）（ＴｉＯ_２）、酸化ケイ素（ＩＶ）（ＳｉＯ_２）、酸化クロム（ＩＩＩ）（Ｃｒ_２Ｏ_３）、酸化コバルト（ＩＩ）（ＣｏＯ）、酸化コバルト（ＩＩ、ＩＩＩ）（Ｃｏ_３Ｏ_４）、酸化ホウ素（ＩＩＩ）（Ｂ_２Ｏ_３）、酸化鉄（ＩＩＩ）（Ｆｅ_２Ｏ_３）、酸化銀（Ｉ）（Ａｇ_２Ｏ）、酸化銅（ＩＩ）（ＣｕＯ）、酸化ニッケル（ＩＩ）（ＮｉＯ）、酸化スズ（ＩＶ）（ＳｎＯ_２）、酸化マグネシウム（ＩＩ）チタン（ＩＶ）（Ｍｇ_２ＴｉＯ_４）、酸化リン（Ｖ）（Ｐ_２Ｏ_５）、酸化マンガン（ＩＩＩ）（Ｍｎ_２Ｏ_３）、酸化バナジウム（Ｖ）（Ｖ_２Ｏ_５）、酸化ジルコニウム（ＩＶ）（ＺｒＯ_２）、酸化タンタル（Ｖ）（Ｔａ_２Ｏ_５）、酸化ストロンチウム（ＩＩ）（ＳｒＯ）、酸化ハフニウム（ＩＶ）（ＨｆＯ_２）、酸化ニオブ（Ｖ）（Ｎｂ_２Ｏ_５）、酸化タングステン（ＶＩ）（ＷＯ_３）又はそれらの任意の組合わせを含み得る。

【0016】

本発明のいくつかの実施形態では、酸化物は、ＭｇＯ、ＴｉＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＣｏＯ、Ｂ_２Ｏ_３、Ｆｅ_２Ｏ_３、Ｍｇ_２ＴｉＯ_４、Ｍｎ_２Ｏ_３、Ｖ_２Ｏ_５、ＺｒＯ_２、Ｔａ_２Ｏ_５、ＳｒＯ、Ｎｂ_２Ｏ_５、ＷＯ_３、又はそれらの任意の組合わせを含み得る。

【0017】

本発明によれば、Ｒｕの含有量は、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの全原子数に基づいて、１０ａｔ％以上及び９０ａｔ％以下である。好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの全原子数に基づいて、Ｒｕの含有量は１５ａｔ％以上及び９０ａｔ％以下である。

【0018】

好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの相対密度は９７％超である。より好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの相対密度は９７．１％以上及び９９．８％以下である。

【0019】

好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの曲げ強さは３００ＭＰａ超である。より好ましくは、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの曲げ強さは３２０ＭＰａ以上及び６８０ＭＰａ以下である。

【0020】

更に、本発明は、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの調製方法であって、工程（ａ）：Ｒｕ原料及びＡｌ原料を有するＲｕ－Ａｌプレアロイ原料を調製する工程であって、Ａｌ原料のＣｌの含有量は５０ｐｐｍ未満である、工程と、工程（ｂ）：Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料及び酸化物原料を混合して混合物を得る、工程と、工程（ｃ）：９００℃～１５００℃で混合物を焼結してＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを得る、工程と、を含むＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの調製方法を更に提供し、混合物の全原子数に基づいて、Ａｌ原料の含有量は５ａｔ％以上及び５０ａｔ％以下であり、酸化物原料の含有量は５ａｔ％以上及び４０ａｔ％以下であり、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は５０ｐｐｍ未満であり、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの縦断面のＸＲＤパターンにおいて、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比は２よりも大きい。

【0021】

したがって、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの調製方法は、以下の技術的手段、（１）Ａｌ原料及び酸化物原料の含有量を制御することと、（２）Ａｌ原料のＣｌの含有量を制御することと、（３）Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料を調製することと、（４）焼結温度を制御することと、を採用する。したがって、方法によって調製されたＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、より高い相対密度及び曲げ強さを有し、また、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの表面の酸化によって容易に変色することに起因する保存問題に効果的に対処するための改善された耐酸化性を有する。

【0022】

本発明によれば、Ｒｕ原料又は酸化物原料のＣｌの含有量は一般に５０ｐｐｍ未満であるが、Ａｌ原料のＣｌの含有量は一般により多い。したがって、Ａｌ原料のＣｌの含有量を上述の特定の範囲である５０ｐｐｍ未満に制御することにより、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量を上述の特定の範囲である５０ｐｐｍ未満に効果的に制御することができる。

【0023】

本発明によれば、工程（ａ）において、Ｒｕ原料及びＡｌ原料を用いて、真空誘導溶解（Ｖａｃｕｕｍ Ｉｎｄｕｃｔｉｏｎ Ｍｅｌｔｉｎｇ：ＶＩＭ）又はアトマイズによりＲｕ－Ａｌプレアロイ原料を調製してもよいが、これに限定されるものではない。好ましくは、工程（ａ）において、Ｒｕ原料及びＡｌ原料を用いて、真空誘導溶解及びアトマイズによりＲｕ－Ａｌプレアロイ原料を調製してもよい。

【0024】

本発明によれば、工程（ａ）において、Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料を５００℃～７００℃で熱処理する。熱処理は、Ａｌ原料に含まれる酸化材料を還元するために行われる。具体的には、工程（ａ）では、Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料を水素雰囲気下に置き、５００℃～７００℃で１時間～４時間熱処理する。

【0025】

本発明によれば、原料を均一に混合することができる任意の方法を工程（ｂ）に採用することができる。例えば、原料を均一に混合する目的でボールミルにより混合してもよいが、これに限定されない。

【0026】

本発明によれば、工程（ｃ）において、混合物を焼結する前に仮圧締工程を行うことができる。仮圧締工程は、混合物を固定形状に圧締することができる任意の方法であってもよい。例えば、混合物は、室温で約１０００ポンド／平方インチ（ｐｓｉ）～２０００ｐｓｉの圧力下で仮圧締するために油圧プレスに入れられてもよいが、これに限定されない。

【0027】

本発明によれば、混合物の全原子数に基づいて、Ｒｕ原料の含有量は、１０ａｔ％以上及び９０ａｔ％以下である。好ましくは、混合物の全原子数に基づいて、Ｒｕ原料の含有量は、１５ａｔ％以上及び９０ａｔ％以下である。

【0028】

好ましくは、酸化物原料は、ＭｇＯ原料、ＴｉＯ_２原料、ＳｉＯ_２原料、Ｃｒ_２Ｏ_３原料、ＣｏＯ原料、Ｃｏ_３Ｏ_４原料、Ｂ_２Ｏ_３原料、Ｆｅ_２Ｏ_３原料、Ａｇ_２Ｏ原料、ＣｕＯ原料、ＮｉＯ原料、ＳｎＯ_２原料、Ｍｇ_２ＴｉＯ_４原料、Ｐ_２Ｏ_５原料、Ｍｎ_２Ｏ_３原料、Ｖ_２Ｏ_５原料、ＺｒＯ_２原料、Ｔａ_２Ｏ_５原料、ＳｒＯ原料、ＨｆＯ_２原料、Ｎｂ_２Ｏ_５原料、ＷＯ_３原料、又はこれらの任意の組合わせを含み得る。

【0029】

本発明のいくつかの実施形態では、酸化物は、ＭｇＯ原料、ＴｉＯ_２原料、ＳｉＯ_２原料、Ｃｒ_２Ｏ_３原料、ＣｏＯ原料、Ｂ_２Ｏ_３原料、Ｆｅ_２Ｏ_３原料、Ｍｇ_２ＴｉＯ_４原料、Ｍｎ_２Ｏ_３原料、Ｖ_２Ｏ_５原料、ＺｒＯ_２原料、Ｔａ_２Ｏ_５原料、ＳｒＯ原料、Ｎｂ_２Ｏ_５原料、ＷＯ_３原料、又はそれらの任意の組合わせを含み得る。

【0030】

本発明のいくつかの実施形態では、Ｒｕ原料の平均粒径は１００マイクロメートル（μｍ）未満であり、Ａｌ原料の平均粒径は１５０μｍ未満であり、酸化物原料の平均粒径は３５μｍ未満である。本発明の別の実施形態では、Ｒｕ原料の平均粒径は５μｍ以上及び１００μｍ未満であり、Ａｌ原料の平均粒径は１μｍ以上及び１５０μｍ未満であり、酸化物原料の平均粒径は０．１μｍ以上及び３５μｍ未満である。

【0031】

好ましくは、工程（ｃ）において、焼結の圧力は３５０バール以上及び１８００バール以下である。

【0032】

本発明によれば、当該焼結は、ホットプレス（Ｈｏｔ Ｐｒｅｓｓｉｎｇ：ＨＰ）、放電プラズマ焼結（Ｓｐａｒｋ Ｐｌａｓｍａ Ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ：ＳＰＳ）又は熱間静水圧プレス（Ｈｏｔ Ｉｓｏｓｔａｔｉｃ Ｐｒｅｓｓｉｎｇ：ＨＩＰ）であってもよい。例えば、当該焼結がＨＰによって行われる場合、焼結の温度は、１０００℃～１４００℃の範囲であってもよいが、これらに限定されず、焼結の圧力は、３５０バール～４００バールの範囲であってもよいが、これらに限定されず、焼結の時間は、２時間～４時間の範囲であってもよいが、これらに限定されず、当該焼結がＳＰＳによって行われる場合、焼結の温度は、９００℃～１４００℃の範囲であってもよいが、これらに限定されず、焼結の圧力は、４５０バール～５５０バールの範囲であってもよいが、これらに限定されず、焼結の時間は、５分～１時間の範囲であってもよいが、これらに限定されず、当該焼結がＨＩＰによって行われる場合、焼結の温度は、９００℃～１４００℃の範囲であってもよいが、これらに限定されず、焼結の圧力は、１２００バール～１８００バールの範囲であってもよいが、これらに限定されず、焼結の時間は、１時間～４時間の範囲であってもよいが、これらに限定されない。

【0033】

本発明のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットをスパッタリングして形成したＲｕ－Ａｌ合金膜は、微細な結晶粒径の性質を有するため、結晶粒径の微細化効果を発揮するＨＡＭＲメディアの下層に特に適している。

【0034】

本明細書において、ターゲットの前述の「相対密度」は、ターゲットの理論密度に対するターゲットの測定密度の百分率を示し、ターゲットの測定密度はアルキメデスの原理によって得られる。

【0035】

本明細書において、前述の「１，０００，０００当たりの部（ｐｐｍ）」は、比較基準の材料の重量を取得することによって得られる。例えば、「Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量が５０ｐｐｍ未満である」は、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの総重量に基づいて、Ｃｌの含有量がＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの１，０００，０００重量当たり５０部未満であることを示す。

【0036】

本明細書において、「下端点の値～上端点の値」で表される範囲は、特に限定しない限り、下端点の値以上、及び上端点の値以下であることを示す。例えば、５００℃～７００℃の範囲の温度は、その温度が「５００℃以上～７００℃以下」であることを示す。

【0037】

本発明の他の目的、利点、及び新規な特徴は、添付の図面と併せて以下の詳細な説明からより明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0038】

【図1】実施例１のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットのＸＲＤパターンである。

【図2】比較実施例２のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットのＸＲＤパターンである。

【図3】耐酸化性実験を６１時間行った後の、実施例１のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの光学顕微鏡（ＯＭ）による倍率５０倍の画像である。

【図4】耐酸化性実験を５時間行った後の、比較実施例５のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットのＯＭによる倍率５０倍の画像である。

【発明を実施するための形態】

【0039】

組成物、Ｃｌの含有量、及びＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度と（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度との関係の影響を検証するために、以下の例としていくつかのＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを提供して、本発明の実施を説明する。当業者であれば、本明細書の内容に従って本発明の利点及び効果を容易に実現することができる。本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本発明を実施又は適用するために、様々な修正及び変形を行うことができる。

【0040】

・実施例１～１１（Ｅ１～Ｅ１１）：Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット
表１に列挙した組成に従って、平均粒径が１００μｍ未満のＲｕ粉末及び平均粒径が１５０μｍ未満のＡｌ粉末の適切な量を採用して、Ｒｕ－Ａｌプレアロイ粉を形成し、ここで、Ａｌ粉末のＣｌの含有量を誘導結合プラズマ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ：ＩＣＰ）法により測定し、Ｅ１～Ｅ１１中のＣｌの含有量は、それぞれ４２ｐｐｍ、４８ｐｐｍ、１５ｐｐｍ、４２ｐｐｍ、２３ｐｐｍ、２６ｐｐｍ、３７ｐｐｍ、３７ｐｐｍ、１１ｐｐｍ、４２ｐｐｍ、１１ｐｐｍであった。更に、Ｅ１～Ｅ１１のＲｕ－Ａｌプレアロイ粉を真空誘導溶融によって調製し、真空誘導溶融の圧力は約１０^－７バールであり、真空誘導溶融の温度は約１４００℃～１９００℃であった。

【0041】

次に、Ｒｕ－Ａｌプレアロイ粉を水素雰囲気下に置き、約６００℃で約２時間熱処理した。次いで、熱処理されたＲｕ－Ａｌプレアロイ粉及び３５μｍ未満の平均粒径を有する適切な量の酸化物粉末をボールミル機に入れ、次いで、１～２．５の材料に対する粉砕媒体の比で約１時間～４時間粉砕して、粉末混合物を得た。

【0042】

次に、油圧プレスで約１５００ｐｓｉの圧力で仮圧締した後、表１に記載の方法及び温度で焼結して、Ｅ１～Ｅ１１のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを得、ここで、当該焼結がＨＰによって行われた場合、焼結の圧力は約３６２バールであり、焼結の時間は約３時間であり、当該焼結がＳＰＳによって行われた場合、焼結の圧力は約５００バールであり、焼結の時間は約１０分であり、当該焼結がＨＩＰによって行われた場合、焼結の圧力は約１７５０バールであり、焼結の時間は約１時間であった。

【0043】

表１において、Ｅ１～Ｅ１１のＲｕ－Ａｌ合金ターゲット（以下、「ターゲット」と呼ぶ）の組成物は、一般式「ａＲｕ－ｂＡｌ－ｃ１ＭｇＯ－ｃ２ＴｉＯ_２－ｃ３ＳｉＯ_２－ｃ４Ｃｒ_２Ｏ_３－ｃ５Ｍｎ_２Ｏ_３－ｃ６Ｂ_２Ｏ_３－ｃ７Ｔａ_２Ｏ_５－ｃ８ＣｏＯ－ｃ９Ｆｅ_２Ｏ_３－ｃ１０Ｖ_２Ｏ_５－ｃ１１ＺｒＯ_２－ｃ１２ＷＯ_３－ｃ１３Ｍｇ_２ＴｉＯ_４－ｃ１４Ｎｂ_２Ｏ_５－ｃ１５ＳｒＯ」によって表すことができ、式中、「ａ」は、ターゲットの全原子数に対する原子の百分率でのＲｕの含有量を表し、「ｂ」は、ターゲットの全原子数に対する原子の百分率でのＡｌの含有量を表し、「ｃ１」、「ｃ２」、「ｃ３」、「ｃ４」、「ｃ５」、「ｃ６」、「ｃ７」、「ｃ８」、「ｃ９」、「ｃ１０」、「ｃ１１」、「ｃ１２」、「ｃ１３」、「ｃ１４」及び「ｃ１５」は、それぞれ、ターゲットの全原子数に対する原子の百分率で、ＭｇＯ、ＴｉＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、Ｍｎ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３、Ｔａ_２Ｏ_５、ＣｏＯ、Ｆｅ_２Ｏ_３、Ｖ_２Ｏ_５、ＺｒＯ_２、ＷＯ_３、Ｍｇ_２ＴｉＯ_４、Ｎｂ_２Ｏ_５及びＳｒＯの含有量を表した。

【0044】

・比較実施例１～９（ＣＥ１～ＣＥ９）：Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット
表１に記載の組成に従って、平均粒径が１００μｍ未満のＲｕ粉末及び平均粒径が２００μｍ未満のＡｌ粉末及び平均粒径が３５μｍ未満の酸化物粉末の適量を採用し、ボールミル機に投入し、次いで粉砕媒体の材料に対する比が１～２．５となるように約１時間～４時間粉砕して、粉末混合物を得、ＣＥ１～ＣＥ９で採用したＡｌ粉末のＣｌの含有量もＩＣＰ法により測定し、Ｃｌの含有量はそれぞれ４６２ｐｐｍ、４６２ｐｐｍ、２２１ｐｐｍ、４１７ｐｐｍ、５８３ｐｐｍ、４５５ｐｐｍ、３４９ｐｐｍ、２６６ｐｐｍ及び３７４ｐｐｍであった。その後、実施例に記載したものと同様の仮圧締及び焼結の調製プロセスを実施して、ＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを得た。ＣＥ１～ＣＥ９と実施例との主な違いは、ＣＥ１～ＣＥ９が、Ａｌ粉末に含まれるＣｌの含有量を制御し、Ｒｕ－Ａｌプレアロイ粉を調製し、Ｒｕ－Ａｌプレアロイ粉を熱処理する技術的手段を同時に採用しなかったことである。

【0045】

ＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの組成及びＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの各成分の原子百分率での含有量を表１に列挙した。ＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットも実施例に示す一般式で表すことができ、一般式における各成分の含有量の表現は実施例の定義と同じであった。

【0046】

本明細書中、当該「酸化物の含有量」は、「ｃ１」～「ｃ１５」の和を示す。

【0047】

【表1】

【0048】

・分析１：（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面及び（１１１）Ａｌ相の結晶面のピーク強度関係
この分析には、サンプルとしてＥ１～Ｅ１１、ＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを採用し、Ｘ線回折装置を用いて各サンプルの結晶形態を求めて、（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面と（１１１）Ａｌ相の結晶面とのピーク強度関係を分析した。

【0049】

具体的には、試験するサンプルを、番号＃６０、＃１２０、＃２４０、＃３２０、＃６００、＃１０００、＃１５００、＃２０００及び＃４０００のサンドペーパで順次研磨した。次いで、サンプルを、０．０４゜の工程サイズ及び２０゜～８０゜である２θのスキャン範囲で分析のためにＸＲＤに入れた。

【0050】

Ｅ１及びＣＥ２の結果を、以下に記載される説明のための例として選択し、それらの群のＸＲＤパターンの結果をそれぞれ図１及び図２に示した。各群のＸＲＤパターンの結果を比較し、「ｊａｄｅ」という名称のＸＲＤ分析ソフトウェアによって特定し、次いで異なる結晶相のピークもマークした。

【0051】

図１において、Ｅ１のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、ＲｕＡｌ相及びＡｌ相を有しており、（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面に対応する３つの明確なピーク及び（１１１）Ａｌ相の結晶面に対応する１つのみの明確なピークが存在していた。したがって、Ｅ１のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、ＲｕＡｌ相及びＡｌ相を同時に有する。

【0052】

図２において、ＣＥ２のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、ＲｕＡｌ相、Ａｌ相及びＲｕ相を有しており、（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面に対応する明確なピークは１つしかなく、（１１１）Ａｌ相の結晶面に対応する明確なピークは４つあった。したがって、ＣＥ２のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、ＲｕＡｌ相及びＡｌ相及びＲｕ相を同時に有する。また、Ｅ１及びＣＥ２の結果を比較すると、Ｅ１のＸＲＤパターンでは、（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面のピーク強度が（１１１）Ａｌ相の結晶面のピーク強度よりも明らかに高く、ＣＥ２のＸＲＤパターンでは、（１１１）Ａｌ相の結晶面及び（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面のピーク強度の関係がほぼ逆であった。

【0053】

（１１１）Ａｌ相の結晶面と（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面とのピーク強度関係を定量化するために、本分析では、更にＸＲＤパターンのＲｕＡｌ相に対応し得る最高強度のピークを分子、ＸＲＤパターンのＡｌ相に対応し得る最高強度のピークを分母として、（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比を求め、これを用いて両者の関係を具体的に評価した。Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９の上述の比を以下の表２に列挙し、以下では「ＲｕＡｌ／Ａｌ比」と略した。Ｅ１及びＣＥ２の結果を例に説明すると、Ｅ１のＸＲＤパターンにおいて、ＲｕＡｌ相（２θが約４２．５４゜）に相当し得る最大強度のピークの強度は５５２であり、Ａｌ相（２θが約３８．４７゜）に相当し得る最大強度のピークの強度は１６であり、表２に示すように、したがって、Ｅ１のＲｕＡｌ／Ａｌ比は１２であった。ＣＥ２のＸＲＤパターンにおいて、ＲｕＡｌ相（２θが約４２．５４゜）に対応し得る最高強度のピークの強度は４８であり、Ａｌ相（２θが約３８．４７゜）に対応し得る最高強度のピークの強度は９９２であり、したがって表２に示すようにＣＥ２のＲｕＡｌ／Ａｌ比は０．０５であった。

【0054】

・分析２：ターゲットのＣｌの含有量
Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９の各Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットをワイヤーカットで加工して、２センチメートル（ｃｍ）×２ｃｍのサイズのサンプルを得た。その後、粉砕を行い、番号＃２４０のサンドペーパを用いて、ワイヤーカットによる各サンプル表面の炭化領域を除去して、Ｃｌの含有量を測定可能な表面を得た。次いで、グロー放電質量分析法（Ｇｌｏｗ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ：ＧＤ－ＭＳ）により、Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９のサンプルのＣｌの含有量を測定し、測定したＥ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９のＣｌの含有量を下記表２に示した。

【0055】

・分析３：ターゲットの相対密度
Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを更にワイヤーカット及び粉砕によって処理して、外径１６５ミリメートル（ｍｍ）及び厚さ６ｍｍの円板形状のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを得た。次に、Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの相対密度をアルキメデスの原理に従って求め、結果を以下の表２に列挙した。

【0056】

・分析４：ターゲットの曲げ強さ
Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを更にワイヤーカット及び粉砕によって処理して、ターゲットの約半半径（ｒ／２）のスポットから厚さ３ｍｍ、幅４ｍｍ、及び長さ２５ｍｍのサンプルを得た。次に、サンプルを３点曲げ試験用のユニバーサル試験機に置いた。具体的には、３点曲げ試験の治具にサンプルを載置し、サンプルが破断する直前の治具スパン２０ｍｍ、加圧速度０．００８ｍｍ／秒の条件で最大荷重を測定した。次いで、曲げ強さ＝（３×最大荷重×治具スパン）／（２×サンプルの幅×サンプルの厚さ×サンプルの厚さ）の式により、Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの曲げ強さを求め、その結果を下記表２に示した。

【0057】

・分析５：ターゲットの耐酸化性
Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを更にワイヤーカット及び粉砕によって処理して、１０ｍｍ×１０ｍｍのサイズのサンプルを得た。その後、粉砕を行い、番号＃４００のサンドペーパを用いて、ワイヤーカットによる各サンプル表面の炭化領域を除去し、Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９の試験準備が整ったサンプルを得た。

【0058】

次に、Ｅ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９のサンプルを、温度４５℃、相対湿度９０％の高温高湿環境の炉に入れた。耐酸化性を評価するため、サンプル表面の外観を光学顕微鏡で１時間毎に繰り返し観察した。サンプルの表面に顕著な変色が現れ、観察できるようになったら、最初から変色が観察されるまでの期間を「変色出現時間」として記録した。ここでは、図３及び図４にそれぞれ示すＥ１及びＣＥ５の結果を例に挙げて説明した。図３では、Ｅ１のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを高温高湿環境の炉内に６１時間入れた後、酸化に起因するわずかに濃い色の変色が光学顕微鏡で観察することができたが、図４では、ＣＥ５のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットを高温高湿環境の炉内にわずか５時間入れた後、酸化に起因する複数の濃い色の変色を光学顕微鏡で容易に観察することができた。従って、変色出現時間が長いほど、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットが耐酸化性に優れており、変色出現時間が短いほど、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの耐酸化性がより劣ると理解することができた。高温高湿環境下の炉内でのＥ１～Ｅ１１及びＣＥ１～ＣＥ９の変色出現時間を下記表２に示した。

【0059】

【表2】

【0060】

・実験結果の考察
実施例の調製方法及び表２に列挙した結果によれば、以下の技術的手段、（１）Ａｌ原料及び酸化物原料の含有量を制御することと、（２）Ａｌ原料のＣｌの含有量を制御することと、（３）Ｒｕ－Ａｌプレアロイ原料を調製することと、（４）焼結温度を制御することと、を同時に採用することによって、調製されたＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、以下の技術的特徴、（Ｉ）Ａｌの含有量は５ａｔ％以上及び５０ａｔ％以下であることと、（ＩＩ）酸化物の含有量は５ａｔ％以上及び４０ａｔ％以下であることと、（ＩＩＩ）Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＣｌの含有量は５０ｐｐｍ未満であることと、（ＩＶ）（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比は２超であることと、を同時に有することができる。したがって、Ｅ１～Ｅ１１のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、曲げ強さが３００ＭＰａを超え、相対密度が９７％を超える特性を有するだけでなく、変色出現時間が５１時間以上である。

【0061】

これに対して、ＣＥ１～ＣＥ９は、技術的手段（１）～（４）を同時に採用していないため、調製されたＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、技術的特徴（Ｉ）～（ＩＶ）も同時に有さない。したがって、ＣＥ１～ＣＥ９のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットでは、曲げ強さは３００ＭＰａ未満であり、最高相対密度はわずか９５．１４％であり、変色出現時間はすべて６３時間未満であり、これは後続のスパッタリングプロセス及びＨＡＭＲ媒体への適用に影響を及ぼす。

【0062】

したがって、本発明によって提供される技術的手段は、より高い曲げ強さ、より高い相対密度、及び改善された耐酸化性の有益な効果を同時に満たすことができ、それによってＨＡＭＲ媒体の下層として適しており、業界の要件を満たすことができる。

【0063】

ＣＥ１、ＣＥ２及びＣＥ４の結果を更に参照すると、ＣＥ１、ＣＥ２及びＣＥ４のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの組成は、本発明によって特許請求される特定の範囲を満たし、ＣＥ１及びＥ１の組成は同じであり、ＣＥ２及びＥ２の組成は同じであり、ＣＥ４及びＥ４の組成は同じである。しかし、ＣＥ１、ＣＥ２及びＣＥ４は調製プロセス中に上述の（２）及び（３）の技術的手段を同時に採用しないため、ＣＥ１、ＣＥ２及びＣＥ４のターゲットのＣｌの含有量はすべて１００ｐｐｍを超え、ＣＥ１、ＣＥ２及びＣＥ４のＲｕＡｌ／Ａｌ比はすべて０．１２未満である。ターゲットのＣｌの含有量及びＣＥ１、ＣＥ２及びＣＥ４のＲｕＡｌ／Ａｌ比は、本発明によって特許請求される範囲内ではない。したがって、ＣＥ１、ＣＥ２及びＣＥ４では、曲げ強さはそれぞれわずか２１６ＭＰａ、２６５ＭＰａ及び２７３ＭＰａであり、相対密度はそれぞれわずか９５．１４％、９３．６７％及び９４．４３％であり、変色出現時間はそれぞれ１１時間、８時間及び２０時間である。したがって、ターゲットのＣｌの含有量及びＲｕＡｌ／Ａｌ比が本発明の特許請求の範囲にないため、曲げ強さ及び相対密度を高めることができず、耐酸化性を向上させることもできない。

【0064】

更にＣＥ３の結果を参照すると、ＣＥ３のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの組成は、本発明によって特許請求される特定の範囲を満たし、ＣＥ３及びＥ３の組成は同じである。しかしながら、ＣＥ３は調製プロセス中に上述の（３）の技術的手段を採用していないため、ＣＥ３のＲｕＡｌ／Ａｌ比はわずか０．８９であり、本発明によって特許請求される２を超える範囲にはない。したがって、ＣＥ３の曲げ強さはわずか１５４ＭＰａであり、ＣＥ３の相対密度はわずか９０．１８％である。したがって、ターゲットのＲｕＡｌ／Ａｌ比のみが本発明の特許請求の範囲にない場合であっても、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットは、依然として曲げ強さ及び相対密度を向上させ、耐酸化性を向上させる効果を同時に得ることはできない。

【0065】

ＣＥ８の結果を更に参照すると、ＣＥ８は調製プロセス中に上述の（１）及び（３）の技術的手段を同時に採用しないため、ＣＥ８のターゲットのＡｌの含有量は４ａｔ％であり、ＣＥ８のＲｕＡｌ／Ａｌ比はわずか０．９１である。ターゲットのＡｌの含有量及びＣＥ８のＲｕＡｌ／Ａｌ比は、本発明によって特許請求される範囲内ではない。したがって、ＣＥ８の曲げ強さはわずか２４９ＭＰａであり、ＣＥ８の相対密度はわずか９２．６６％である。したがって、ターゲットの組成及びＲｕＡｌ／Ａｌ比が特許請求の範囲内にないので、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットは、依然として曲げ強さ及び相対密度を向上させ、耐酸化性を向上させる効果を同時に有することができない。

【0066】

更に、Ｅ１及びＥ１１の結果を更に参照すると、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの酸化物の含有量を５ａｔ％以上及び４０ａｔ％以下の特定の範囲で適切に制御することにより、異なる種類の酸化物又はそれらの組合わせをＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの酸化物として採用することができ、それらの群のＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは依然として曲げ強さ及び相対密度を向上させ、耐酸化性も向上させる効果を有する。

【0067】

結論として、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットのＡｌ、酸化物及びＣｌの含有量、並びにＲｕ－Ａｌ合金ターゲットの（１１１）Ａｌ相の結晶面の強度に対する（１１０）ＲｕＡｌ相の結晶面の強度の比も制御することによって、Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲットの曲げ強さ及び相対密度を高めることができ、同時にＲｕ－Ａｌターゲットの耐酸化性を改善することができる。したがって、本発明によって提供されるＲｕ－Ａｌ合金ターゲットは、ＨＡＭＲ媒体の下層として適しており、不適切な条件下で保存された酸化によって容易に変色するという問題も防止し、それによって業界における価値を高める。

【0068】

本発明の多くの特徴及び利点が、本発明の構造及び特徴の詳細と共に前述の説明に記載されているが、本開示は例示にすぎない。添付の特許請求の範囲が表現される用語の広い一般的な意味によって示される最大限まで、本発明の原理内の詳細、特にサイズの事項において変更を加えることができる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】