特開2023-63234Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット及びその調製方法

発明の名称　Ｒｕ－Ａｌ合金ターゲット及びその調製方法

出願人　光洋應用材料科技股▲分▼有限公司　（識別番号 502294194）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4182 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-63234

公報発行日　2023年5月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-63234

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