特開 2023-6341出願番号特願 2021-108893
基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム

出願人ＳＰＰテクノロジーズ株式会社（識別番号 511265154）

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2026年特許取得件数ランキング 3435位 3件（※）

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公報発行日　2023年1月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-6341　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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技術分野

基板処理装置のプロセスの成否やプロセスのばらつきを判定する基板処理装置のプロセス判定装置、これを備えた基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラムに関する。特に、本発明は、高い判定精度を得ることが可能な基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】プロセスの成否を高い判定精度で判定することが可能な基板処理装置のプロセス判定装置等を提供する。
【解決手段】プロセス判定装置２０は、プロセスログに基づき作成した入力データに基づき、基板群についてのプロセスの成否を判定する判定部２２を備える。判定部は、機械学習を行うことで生成される学習モデル２４を具備する。判定部は、基板群のうちの一の基板Ｗである基準基板についての入力データを教師データの入力として用いて、学習モデルの機械学習を行う。判定部は、基板群のうちの残りの判定対象基板についての入力データを学習モデルに入力した場合の出力と、基準基板についての入力データを学習モデルに入力した場合の出力とを比較することで、基板群についてのプロセスの成否を判定する。
【選択図】図１

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は、の従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、基板処理装置のプロセスの成否を高い判定精度で判定することが可能な基板処理装置のプロセス判定装置、これを備えた基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラムを提供することを課題とする。また、本発明は、基板処理装置のプロセスのばらつきを判定することが可能な基板処理装置のプロセス判定装置を提供することを課題とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

前記課題を解決するため、本発明は、第１の手段として、基板処理装置によって同一のレシピで複数の基板からなる基板群を順次処理する際の前記基板処理装置のプロセスの成否を判定する装置であって、前記基板処理装置のプロセスログに基づき入力データを作成し、前記入力データに基づき、前記プロセスの成否を判定する判定部を備え、前記判定部は、前記入力データが入力され、前記基板処理装置のプロセスの成否を出力する、学・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、基板処理装置のプロセスの成否（同一のレシピで順次処理される複数の基板からなる基板群についてのプロセスの成否）を高い判定精度で判定することが可能である。また、基板処理装置のプロセスのばらつき（同一のレシピで順次処理される複数の基板からなる基板群についてのプロセスのばらつき）を判定することが可能である。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の第１基板処理システムの概略構成を模式的に示す図である。

【図2】測定されるパラメータであるＶｐｐ及びＶＤＣを説明する説明図である。

【図3】図１に示す正規化部２３の動作を説明する説明図である。

【図4】図１に示す判定部２２が実行する学習工程を概略的に示すフロー図である。

【図5】図１に示す判定部２２が実行する判定工程を概略的に示すフロー図である。

【図6】本発明の第２基板処理システムが備えるプロセス判定装置の概略構成を示すブロック図である。

【図7】本発明の第３基板処理システムが備えるプロセス判定装置の概略構成を示すブロック図である。

【図8】本発明の第４基板処理システムが備えるプロセス判定装置の概略構成及び判定工程を示す図である。

【図9】本発明の第５基板処理システムが備えるプロセス判定装置の概略構成を示すブロック図である。

【図10】本発明の第４基板処理システムを用いた試験の内容及び結果を説明する説明図である。

選択図図1出願人が指定した本件の代表的な図

１・・・チャンバ２・・・載置台１０・・・基板処理装置２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ・・・プロセス判定装置２１・・・プロセスログ取得部２２、２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ・・・判定部２３・・・正規化部２４・・・学習モデル２５・・・比較部２６・・・論理和演算部２７・・・多数決決定部２８・・・ばらつき判定部１００・・・基板処理システムＷ・・・基板

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特開2023-6341IP Force 特許公報全文掲載

特開 2023-6341出願番号 特願 2021-108893基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム

出願人 ＳＰＰテクノロジーズ株式会社（識別番号 511265154）