(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023065174
(43)【公開日】2023-05-12
(54)【発明の名称】加熱炉
(51)【国際特許分類】
F27B 9/30 20060101AFI20230502BHJP
F27D 17/00 20060101ALI20230502BHJP
F27D 7/06 20060101ALI20230502BHJP
F27D 1/18 20060101ALI20230502BHJP
【ＦＩ】
F27B9/30
F27D17/00 104G
F27D7/06 B
F27D1/18 E
F27D17/00 105G
【審査請求】有
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021175833
(22)【出願日】2021-10-27
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2022-10-26
(71)【出願人】
【識別番号】000004293
【氏名又は名称】株式会社ノリタケカンパニーリミテド
(74)【代理人】
【識別番号】100117606
【弁理士】
【氏名又は名称】安部 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100121186
【弁理士】
【氏名又は名称】山根 広昭
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 美保
(72)【発明者】
【氏名】石田 洋史
(72)【発明者】
【氏名】大竹 英明
【テーマコード（参考）】
4K050
4K051
4K056
4K063
【Ｆターム（参考）】
4K050AA01
4K050AA05
4K050BA17
4K050CA10
4K050CA19
4K050CB02
4K050CC07
4K050CD13
4K050CG28
4K050DA06
4K050DA07
4K050EA10
4K051AA03
4K051AB09
4K051MA12
4K056AA09
4K056AA14
4K056BB06
4K056CA18
4K056DB04
4K056FA08
4K063AA05
4K063AA09
4K063AA15
4K063BA12
4K063CA05
4K063CA06
4K063DA05
4K063DA06
4K063DA07
4K063DA09
4K063DA22
4K063DA24
4K063DA33
(57)【要約】
【課題】加熱炉の劣化を抑制する。
【解決手段】ここで開示される加熱炉１０は、被処理物Ａを搬送方向に搬送する搬送空間２０ａを有する炉体２０と、開閉機構３０と、第１排気ダクト４０と、排気装置６０に接続される第２排気ダクト５０とを備えている。炉体２０は、炉体本体２１と、排気孔２７を有する蓋２５とを有している。開閉機構３０は、蓋２５の開閉を駆動する。第１排気ダクト４０は、蓋２５の上部に取り付けられ、排気孔２７に繋がっており、かつ、第２排気ダクト５０と接続される第１接続部４５を有している。第２排気ダクト５０は、炉体２０の外部に固定されており、第１排気ダクト４０と接続される第２接続部５５を有している。第１接続部４５と第２接続部５５は、蓋２５が閉じられているときに接続され、蓋が開かれているときに切り離される。
【選択図】図２
【解決手段】ここで開示される加熱炉１０は、被処理物Ａを搬送方向に搬送する搬送空間２０ａを有する炉体２０と、開閉機構３０と、第１排気ダクト４０と、排気装置６０に接続される第２排気ダクト５０とを備えている。炉体２０は、炉体本体２１と、排気孔２７を有する蓋２５とを有している。開閉機構３０は、蓋２５の開閉を駆動する。第１排気ダクト４０は、蓋２５の上部に取り付けられ、排気孔２７に繋がっており、かつ、第２排気ダクト５０と接続される第１接続部４５を有している。第２排気ダクト５０は、炉体２０の外部に固定されており、第１排気ダクト４０と接続される第２接続部５５を有している。第１接続部４５と第２接続部５５は、蓋２５が閉じられているときに接続され、蓋が開かれているときに切り離される。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被処理物を搬送方向に搬送する搬送空間を有する炉体と、
開閉機構と、
第１排気ダクトと、
排気装置に接続される第２排気ダクトと
を備え、
前記炉体は、
炉体本体と、
排気孔を有する蓋と
を有し、
前記炉体本体は、底壁と、前記底壁から上方に延びる一対の側壁とを有し、上方に開口が形成されており、
前記蓋は、前記炉体本体の前記開口に重ねられ、
前記開閉機構は、前記蓋の開閉を駆動し、
前記第１排気ダクトは、前記蓋の上部に取り付けられ、前記排気孔に繋がっており、かつ、前記第２排気ダクトと接続される第１接続部を有し、
前記第２排気ダクトは、前記炉体の外部に固定されており、前記第１排気ダクトと接続される第２接続部を有し、
前記第１接続部と前記第２接続部は、前記蓋が閉じられているときに接続され、前記蓋が開かれているときに切り離される、加熱炉。
開閉機構と、
第１排気ダクトと、
排気装置に接続される第２排気ダクトと
を備え、
前記炉体は、
炉体本体と、
排気孔を有する蓋と
を有し、
前記炉体本体は、底壁と、前記底壁から上方に延びる一対の側壁とを有し、上方に開口が形成されており、
前記蓋は、前記炉体本体の前記開口に重ねられ、
前記開閉機構は、前記蓋の開閉を駆動し、
前記第１排気ダクトは、前記蓋の上部に取り付けられ、前記排気孔に繋がっており、かつ、前記第２排気ダクトと接続される第１接続部を有し、
前記第２排気ダクトは、前記炉体の外部に固定されており、前記第１排気ダクトと接続される第２接続部を有し、
前記第１接続部と前記第２接続部は、前記蓋が閉じられているときに接続され、前記蓋が開かれているときに切り離される、加熱炉。
【請求項2】
前記開閉機構は、前記蓋を上下方向に開閉する、請求項１に記載された加熱炉。
【請求項3】
前記第１排気ダクトは、前記第１排気ダクトよりも広がったトラップ部に接続されている、請求項１または２に記載された加熱炉。
【請求項4】
前記第１接続部と前記第２接続部のうち一方の接続部は、シール部材を備え、他方の接続部は、接続時に前記シール部材が押し当てられる当接面を備えている、請求項１から３までの何れか一項に記載された加熱炉。
【請求項5】
前記第１接続部と前記第２接続部のうち少なくともいずれか一方は、前記シール部材が前記当接面に押し当てられる圧力を調節可能な圧力調節部材を有している、請求項４に記載された加熱炉。
【請求項6】
前記排気孔は、前記被処理物と対向する位置に設けられている、請求項１から５までの何れか一項に記載された加熱炉。
【請求項7】
前記第１排気ダクトは、円形ダクトから構成されている、請求項１から６までの何れか一項に記載された加熱炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、加熱炉に関する。
【背景技術】
【0002】
特開２０１７－４８９７７号公報には、被乾燥物を搬送方向に搬送しつつ、上記被乾燥物に風を当てて乾燥させる乾燥装置が開示されている。同公報に開示されている乾燥装置は、被乾燥物を載置して搬送方向に搬送する載置搬送部と、載置搬送部の上方に配置され、載置搬送部に向けて風を吹き出す吹出ボックスとを備えている。吹出ボックスは、カバー部に取り付けられている。カバー部は、ヒンジを中心として回転することによって上方に移動される。これによって、被乾燥物や載置搬送部のローラ等の点検、異物除去などが容易であるとされている。
【0003】
特開２０１２－４７４０１号公報には、フィルム状の被塗工体を乾燥させる複数の乾燥室を備える乾燥装置が開示されている。それぞれの乾燥室は、本体部と、蓋部とを備えている。乾燥室は、蓋部が昇降装置によってわずかに昇降し、次いで、ガイド部に沿って水平スライドすることによって開閉自在に構成されている。かかる構成によって、例えば、乾燥室が上下二層構成であっても乾燥装置の高さ寸法を抑えることができ、また、メンテナンス性も向上するとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１７－４８９７７号公報
【特許文献2】特開２０１２－４７４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、被処理物を加熱処理または乾燥処理する際に発生するガスや雰囲気ガスは、加熱炉の炉体内や排気ダクト内で凝集しうる。それによって、加熱炉の炉体内や排気ダクトが劣化する懸念がある。本発明者は、加熱炉の劣化を抑制したいと考えている。
【課題を解決するための手段】
【0006】
ここで開示される加熱炉は、被処理物を搬送方向に搬送する搬送空間を有する炉体と、開閉機構と、第１排気ダクトと、排気装置に接続される第２排気ダクトとを備えている。炉体は、炉体本体と、排気孔を有する蓋とを有している。炉体本体は、底壁と、底壁から上方に延びる一対の側壁とを有し、上方に開口が形成されている。蓋は、炉体本体の開口に重ねられる。開閉機構は、蓋の開閉を駆動する。第１排気ダクトは、蓋の上部に取り付けられ、排気孔に繋がっており、かつ、第２排気ダクトと接続される第１接続部を有している。第２排気ダクトは、炉体の外部に固定されており、第１排気ダクトと接続される第２接続部を有している。第１接続部と第２接続部は、蓋が閉じられているときに接続され、蓋が開かれているときに切り離される。かかる加熱炉は、メンテナンス性が良好であり、加熱炉の劣化が抑制される。
【0007】
開閉機構は、蓋を上下方向に開閉してもよい。
第１排気ダクトは、第１排気ダクトよりも広がったトラップ部に接続されていてもよい。
第１接続部と第２接続部のうち一方の接続部は、シール部材を備えていてもよい。他方の接続部は、接続時にシール部材が押し当てられる当接面を備えていてもよい。
第１接続部と第２接続部のうち少なくともいずれか一方は、シール部材が当接面に押し当てられる圧力を調節可能な圧力調節部材を有していてもよい。
第１排気ダクトは、円形ダクトから構成されていてもよい。
排気孔は、被処理物と対向する位置に設けられていてもよい。
第１排気ダクトは、第１排気ダクトよりも広がったトラップ部に接続されていてもよい。
第１接続部と第２接続部のうち一方の接続部は、シール部材を備えていてもよい。他方の接続部は、接続時にシール部材が押し当てられる当接面を備えていてもよい。
第１接続部と第２接続部のうち少なくともいずれか一方は、シール部材が当接面に押し当てられる圧力を調節可能な圧力調節部材を有していてもよい。
第１排気ダクトは、円形ダクトから構成されていてもよい。
排気孔は、被処理物と対向する位置に設けられていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本開示における典型的な実施形態の１つについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の図面においては、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明している。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚み等）は実際の寸法関係を反映するものではない。上、下、左、右、前、後の向きは、図中、Ｕ、Ｄ、Ｌ、Ｒ、Ｆ、Ｒｒの矢印でそれぞれ表されている。ここで、上、下、左、右、前、後の向きは、説明の便宜上、定められているに過ぎず、特に言及されない限りにおいて本願発明を限定しない。
【0010】
〈加熱炉１０〉
加熱炉１０は、被処理物Ａを、搬送方向に搬送しながら連続的に加熱するための加熱炉である。この実施形態では、被処理物Ａは、フィルム状の被処理物である。図１は、加熱炉１０を模式的に示す断面図である。図１では、被処理物Ａの搬送方向は矢印で示されている。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ断面図である。図２では、加熱炉１０の断面が示されている。なお、図２では、被処理物Ａ、ガイドローラ１２、ヒータ１３等の加熱炉１０内の図示は省略されている。図３は、加熱炉１０の正面図である。図３には、加熱炉１０の第２排気ダクトが設けられている右側の面が図示されている。図４は、上方から見た加熱炉１０の平面図である。
加熱炉１０は、被処理物Ａを、搬送方向に搬送しながら連続的に加熱するための加熱炉である。この実施形態では、被処理物Ａは、フィルム状の被処理物である。図１は、加熱炉１０を模式的に示す断面図である。図１では、被処理物Ａの搬送方向は矢印で示されている。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ断面図である。図２では、加熱炉１０の断面が示されている。なお、図２では、被処理物Ａ、ガイドローラ１２、ヒータ１３等の加熱炉１０内の図示は省略されている。図３は、加熱炉１０の正面図である。図３には、加熱炉１０の第２排気ダクトが設けられている右側の面が図示されている。図４は、上方から見た加熱炉１０の平面図である。
【0011】
加熱炉１０は、フィルム状の被処理物Ａを加熱処理または乾燥処理する際に用いられる。加熱炉１０は、例えば、フレキシブル銅張積層板ＦＣＣＬ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｃｕｐｐｅｒ Ｃｌａｄ Ｌａｍｉｎａｔｅ）を製造する際に用いられうる。被処理物Ａは、図示しない巻出ロールと巻取ロールに巻き付けられている。巻出ロールに巻き付けられている被処理物Ａは、例えば、銅箔等の金属箔の表面に、ポリイミド等の樹脂材料と有機溶剤との混合物が塗工されたものでありうる。被処理物Ａは、加熱炉１０内で搬送されながら連続的に加熱処理され、有機溶剤が除去され、巻取ロールに巻き付けられる。
【0012】
図１に示されているように、加熱炉１０は、被処理物Ａを搬送方向に搬送する搬送空間２０ａを有する炉体２０と、開閉機構３０（図２参照）と、第１排気ダクト４０と、排気装置６０（図２参照）に接続される第２排気ダクト５０（図２参照）と、を備えている。第１排気ダクト４０は、蓋２５の上部に取り付けられている。第２排気ダクト５０は、炉体２０の外部に固定されている。加熱炉１０は、炉体２０内の搬送空間２０ａに、被処理物Ａをガイドするガイドローラ１２と、被処理物Ａを加熱処理するヒータ１３とを備えている。炉体２０は、炉体本体２１と蓋２５とを有している。開閉機構３０は、蓋２５の開閉を駆動する。被処理物Ａを加熱処理する時に蓋２５は閉じられる。被処理物Ａを加熱炉１０にセットする時や、加熱炉１０内の清掃等のメンテナンスを行う時に、蓋２５は開かれる。なお、以下では、炉体本体２１に対して蓋２５が閉じられている状態を単に「閉状態Ｓ１」ともいい、炉体本体２１に対して蓋２５が開かれている状態を単に「開状態Ｓ２」ともいう。図２において、開状態Ｓ２は、二点鎖線で示されている。
【0013】
〈炉体２０〉
炉体２０は、図２に示されているように、閉状態Ｓ１において搬送空間２０ａの周りを全周に亘って囲っている。炉体２０は、断熱材によって構成されている。断熱材としては、例えば、所定の形状に成形されたセラミックファイバーボードやロックウール等が用いられうる。断熱材の厚さは、搬送空間２０ａの熱が十分に断熱される程度の所要の厚さに設定されている。断熱材の外側面や内側面は、剛性および耐熱性に優れる金属製の内壁や外壁によって覆われている。内壁や外壁には、例えば、ステンレス等が用いられうる。
炉体２０は、図２に示されているように、閉状態Ｓ１において搬送空間２０ａの周りを全周に亘って囲っている。炉体２０は、断熱材によって構成されている。断熱材としては、例えば、所定の形状に成形されたセラミックファイバーボードやロックウール等が用いられうる。断熱材の厚さは、搬送空間２０ａの熱が十分に断熱される程度の所要の厚さに設定されている。断熱材の外側面や内側面は、剛性および耐熱性に優れる金属製の内壁や外壁によって覆われている。内壁や外壁には、例えば、ステンレス等が用いられうる。
【0014】
炉体２０は、炉体本体２１と、排気孔２７を有する蓋２５とを有している。炉体本体２１は、底壁２１ａと、底壁２１ａから上方に延びる側壁２１ｂとを有し、上方に開口２１ｃが形成されている。蓋２５は、炉体本体２１の開口２１ｃに重ねられる。この実施形態では、側壁２１ｂは、炉体２０の長手方向に沿って底壁２１ａの端部から延びる一対の側壁２１ｂ１と、炉体２０の幅方向に沿って底壁２１ａの端部から延びる一対の側壁２１ｂ２（図１参照）から構成されている。側壁２１ｂの上面には、全周に亘ってシール部材２２が設けられている。蓋２５は、底壁２１ａと対向する天井２５ａと、天井２５ａから下方に向かって延びる段差２５ｂとを有している。段差２５ｂの下面は、炉体本体２１の側壁２１ｂの上面と対応する形状を有している。閉状態Ｓ１では、段差２５ｂの下面は、全周に亘って側壁２１ｂ上面のシール部材２２に押し当てられる。それによって、炉体２０の気密性が保たれる。シール部材２２としては、例えば、シリコンスポンジ等が用いられうる。
【0015】
図１に示されているように、炉体２０には、被処理物Ａを搬入するための搬入口１０ａと、被処理物Ａを搬出するための搬出口１０ｂが設けられている。この実施形態では、搬入口１０ａおよび搬出口１０ｂは、炉体本体２１の側壁２１ｂ２に設けられている。搬入口１０ａおよび搬出口１０ｂは、搬送空間２０ａの幅方向に広い矩形状の隙間であり、フィルム状の被処理物Ａを挿通できるような寸法に設定されている。搬入口１０ａからは、加熱処理前の被処理物Ａが搬入される。搬出口１０ｂからは、加熱処理された被処理物Ａが搬出される。被処理物Ａの搬入および搬出は、図示しない巻取装置や巻出装置によって行われうる。特に限定されないが、巻出装置や巻取装置には、例えば、巻出ロールと巻取ロールを回転させるモータ、被処理物Ａにかかる張力を調整する張力調整用のローラ、被処理物Ａをガイドするガイドローラ等の種々の構成が設けられうる。炉体２０の外部において、搬入口１０ａや搬出口１０ｂの近傍には、炉体２０内の雰囲気を維持するためのエアカーテンが設けられていてもよい。また、搬入口１０ａや搬出口１０ｂには、被処理物Ａをさらに別の条件で加熱処理するための加熱炉等の設備が接続されていてもよい。
【0016】
炉体２０は、基台１５に載せられている。基台１５は、図２に示されているように、基台の下端を構成する下部フレーム１５ａと、下部フレーム１５ａから上方に延びる支柱フレーム１５ｂと、支柱フレーム１５ｂから水平に延び炉体２０の下面が載せられる上側フレーム１５ｃとを有している。
【0017】
〈ガイドローラ１２〉
ガイドローラ１２は、図１に示されているように、被処理物Ａをガイドするローラである。炉体２０内には、搬送方向に沿って複数のガイドローラ１２が並べられている。ガイドローラ１２は、円筒形状の金属製のローラであり、高さを揃え、予め定められたピッチで並べられている。図示は省略するが、ガイドローラ１２は、炉体本体２１の側壁２１ｂ１を貫通し、炉体２０の外部で軸受を介して回転可能に支持されている。この実施形態では、被処理物Ａは、搬送時に撓まないように、複数のガイドローラ１２によって支持されている。ガイドローラ１２としては、例えば、セラミック製のローラが用いられてもよい。
なお、配置される高さやピッチ等、ガイドローラ１２の構成は、かかる形態に限定されない。ガイドローラ１２は、例えば、ガイドローラ１２ごとに異なる高さに配置されていてもよい。ガイドローラ１２には、異なる２つの高さが設定されていてもよく、ガイドローラ１２は、搬送方向に沿って上記の２つの高さに交互に配置されていてもよい。
ガイドローラ１２は、図１に示されているように、被処理物Ａをガイドするローラである。炉体２０内には、搬送方向に沿って複数のガイドローラ１２が並べられている。ガイドローラ１２は、円筒形状の金属製のローラであり、高さを揃え、予め定められたピッチで並べられている。図示は省略するが、ガイドローラ１２は、炉体本体２１の側壁２１ｂ１を貫通し、炉体２０の外部で軸受を介して回転可能に支持されている。この実施形態では、被処理物Ａは、搬送時に撓まないように、複数のガイドローラ１２によって支持されている。ガイドローラ１２としては、例えば、セラミック製のローラが用いられてもよい。
なお、配置される高さやピッチ等、ガイドローラ１２の構成は、かかる形態に限定されない。ガイドローラ１２は、例えば、ガイドローラ１２ごとに異なる高さに配置されていてもよい。ガイドローラ１２には、異なる２つの高さが設定されていてもよく、ガイドローラ１２は、搬送方向に沿って上記の２つの高さに交互に配置されていてもよい。
【0018】
〈ヒータ１３〉
ヒータ１３は、搬送空間２０ａにおいて被処理物Ａを加熱する装置である。ヒータ１３は、搬送空間２０ａにおいて、複数のガイドローラ１２の上方および下方に搬送方向に沿って並べられている。この実施形態では、ヒータ１３として、遠赤外線加熱式の板状の電気式のプレートヒータが用いられている。図示は省略するが、ヒータ１３は、炉体２０に支持されている。ガイドローラ１２の下方に配置されているヒータ１３は、底壁２１ａに支持されている。ガイドローラ１２の上方に配置されているヒータ１３は、蓋２５に支持されている。ヒータ１３としては、加熱温度や加熱雰囲気等に応じて種々のヒータが用いられうる。ヒータ１３としては、例えば、板状の電気式のプレートヒータの他に、電気式パイプヒータ、金属シースヒータ、セラミックヒータ等が用いられうる。また、ヒータ１３は、遠赤外線加熱式のヒータに限られない。例えば、ヒータ１３としては、被処理物に熱風が吹き付けられる熱風加熱式のヒータが用いられてもよい。
ヒータ１３は、搬送空間２０ａにおいて被処理物Ａを加熱する装置である。ヒータ１３は、搬送空間２０ａにおいて、複数のガイドローラ１２の上方および下方に搬送方向に沿って並べられている。この実施形態では、ヒータ１３として、遠赤外線加熱式の板状の電気式のプレートヒータが用いられている。図示は省略するが、ヒータ１３は、炉体２０に支持されている。ガイドローラ１２の下方に配置されているヒータ１３は、底壁２１ａに支持されている。ガイドローラ１２の上方に配置されているヒータ１３は、蓋２５に支持されている。ヒータ１３としては、加熱温度や加熱雰囲気等に応じて種々のヒータが用いられうる。ヒータ１３としては、例えば、板状の電気式のプレートヒータの他に、電気式パイプヒータ、金属シースヒータ、セラミックヒータ等が用いられうる。また、ヒータ１３は、遠赤外線加熱式のヒータに限られない。例えば、ヒータ１３としては、被処理物に熱風が吹き付けられる熱風加熱式のヒータが用いられてもよい。
【0019】
〈給気孔２３〉
給気孔２３は、炉体２０内に雰囲気ガスを供給するための孔である。給気孔２３には、図示しないガス導入管が接続され、ガス導入管には、導入する雰囲気ガスのボンベが接続されている。この実施形態では、給気孔２３は、側壁２１ｂ１の上方および下方に複数設けられている。炉体２０内に供給される雰囲気ガスは特に限定されない。雰囲気ガスとしては、例えば、窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスや、酸素ガス、水素ガス、塩素ガス、塩化水素ガス等が用いられうる。
給気孔２３は、炉体２０内に雰囲気ガスを供給するための孔である。給気孔２３には、図示しないガス導入管が接続され、ガス導入管には、導入する雰囲気ガスのボンベが接続されている。この実施形態では、給気孔２３は、側壁２１ｂ１の上方および下方に複数設けられている。炉体２０内に供給される雰囲気ガスは特に限定されない。雰囲気ガスとしては、例えば、窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスや、酸素ガス、水素ガス、塩素ガス、塩化水素ガス等が用いられうる。
【0020】
〈排気孔２７〉
排気孔２７は、炉体２０内の雰囲気ガスや、被処理物Ａから揮発する有機溶剤等を排気する孔である。排気孔２７は、蓋２５の天井２５ａに設けられている。排気孔２７は、後述する第１排気ダクト４０と第２排気ダクト５０を介して排気装置６０と接続されている（図２参照）。排気装置６０によって炉体２０内のガスが吸引され、排気孔２７から排気が行われる。排気装置６０としては、例えば、ファンやブロワ等が用いられうる。排気装置６０には、廃棄されるガスに応じて溶剤回収装置等が接続されていてもよい。また、排気装置６０には、回収された溶剤を燃焼させる燃焼装置等が接続されていてもよい。
排気孔２７は、炉体２０内の雰囲気ガスや、被処理物Ａから揮発する有機溶剤等を排気する孔である。排気孔２７は、蓋２５の天井２５ａに設けられている。排気孔２７は、後述する第１排気ダクト４０と第２排気ダクト５０を介して排気装置６０と接続されている（図２参照）。排気装置６０によって炉体２０内のガスが吸引され、排気孔２７から排気が行われる。排気装置６０としては、例えば、ファンやブロワ等が用いられうる。排気装置６０には、廃棄されるガスに応じて溶剤回収装置等が接続されていてもよい。また、排気装置６０には、回収された溶剤を燃焼させる燃焼装置等が接続されていてもよい。
【0021】
なお、被処理物Ａが加熱処理されることによって揮発する有機溶剤は、炉体２０内の雰囲気ガスよりも軽く、上方に向かって流れうる。かかる観点から、排気孔２７は、蓋２５の天井に設けられていることが好ましい。また、炉体２０の高さ方向において、排気孔２７は、被処理物Ａと対向する位置に設けられていることが好ましい。かかる構成によって、被処理物Ａが加熱されることによって発生するガスを効率よく排気しうる。なお、炉体２０内のガスを排気する排気孔は、蓋２５の天井に限られず、炉体本体２１の下部にも設けられていてもよい。
【0022】
また、この実施形態では、排気孔２７は、複数設けられている。排気孔２７は、搬送方向の上流側と下流側に２個ずつ炉体２０の幅方向に並んで設けられており、合計４個の排気孔２７が設けられている。排気孔２７の位置や数は、加熱条件や搬送空間２０ａの容積等に応じて適宜設定されるが、排気孔率を向上させる観点から、複数の排気孔２７が設けられていることが好ましい。複数の排気孔２７が設けられていることによって、加熱炉１０内から万遍なくガスが排気されやすくなる。
【0023】
〈開閉機構３０〉
図２に示されているように、開閉機構３０は、炉体２０の蓋２５を開閉させる。開閉機構３０の構成は特に限定されないが、この実施形態では、開閉機構３０は、リニアガイド３１と、モータ３２と、ボールねじ３３と、接続部材３４とを備えている。蓋２５の上部には、接続部材３４が固定されている。接続部材３４は、両端がリニアガイド３１に接続されている。蓋２５は、リニアガイド３１の昇降に合わせて開閉される。
図２に示されているように、開閉機構３０は、炉体２０の蓋２５を開閉させる。開閉機構３０の構成は特に限定されないが、この実施形態では、開閉機構３０は、リニアガイド３１と、モータ３２と、ボールねじ３３と、接続部材３４とを備えている。蓋２５の上部には、接続部材３４が固定されている。接続部材３４は、両端がリニアガイド３１に接続されている。蓋２５は、リニアガイド３１の昇降に合わせて開閉される。
【0024】
蓋２５の開閉を駆動するモータ３２は、下部フレーム１５ａに取り付けられている。ボールねじ３３は、カップリング等を介してモータ３２と接続されている。ボールねじ３３は、モータ３２から上方に延びている。ボールねじ３３は、炉体２０と対向する面を除いて支柱３５に覆われている。接続部材３４は、炉体２０とボールねじ３３やリニアガイド３１とを接続している。リニアガイド３１と、モータ３２と、ボールねじ３３と、支柱３５は、炉体２０の幅方向の両側に設けられている。接続部材３４の両端は、炉体２０の幅方向の両側のリニアガイド３１に接続されている。また、接続部材３４は、蓋２５の上部に固定されている。モータ３２を回転させることによってリニアガイド３１に固定されている接続部材３４が昇降し、蓋２５が開閉される。開閉機構３０は、リニアガイド３１によって蓋２５の開閉方向が設定されている。この実施形態では、開閉機構３０は、蓋２５を上下方向に開閉する。
【0025】
〈第１排気ダクト４０〉
第１排気ダクト４０は、炉体２０内のガスを排気するための排気経路である。第１排気ダクト４０は、蓋２５の上部に取り付けられているため、蓋２５の開閉に合わせて開閉方向に動くように構成されている。第１排気ダクト４０は、排気孔２７に繋がっている。第１排気ダクト４０は、排気孔２７に接続されている上流部４１と、第２排気ダクト５０に向かって延びる下流部４３とを備えている。第１排気ダクト４０は、第２排気ダクト５０と接続される第１接続部４５を有している。第１接続部４５は、第１排気ダクト４０の最も下流側である下流部４３の先端に設けられている。特に限定されないが、この実施形態では、第１排気ダクト４０は、円形ダクトから構成されている。第１排気ダクト４０が円形ダクトから構成されていることによって、配管内で有機溶剤が凝集したとしても残留しにくくなっている。
第１排気ダクト４０は、炉体２０内のガスを排気するための排気経路である。第１排気ダクト４０は、蓋２５の上部に取り付けられているため、蓋２５の開閉に合わせて開閉方向に動くように構成されている。第１排気ダクト４０は、排気孔２７に繋がっている。第１排気ダクト４０は、排気孔２７に接続されている上流部４１と、第２排気ダクト５０に向かって延びる下流部４３とを備えている。第１排気ダクト４０は、第２排気ダクト５０と接続される第１接続部４５を有している。第１接続部４５は、第１排気ダクト４０の最も下流側である下流部４３の先端に設けられている。特に限定されないが、この実施形態では、第１排気ダクト４０は、円形ダクトから構成されている。第１排気ダクト４０が円形ダクトから構成されていることによって、配管内で有機溶剤が凝集したとしても残留しにくくなっている。
【0026】
第１排気ダクト４０は、第１排気ダクト４０よりも広がったトラップ部４２に接続されている。この実施形態では、上流部４１と下流部４３は、上流部４１と下流部４３の配管の径よりも広がった空間を有するトラップ部４２に接続されている。トラップ部４２には、炉体２０内で発生したガスや雰囲気ガスが温度の高い状態で流入しうる。トラップ部４２は、これらのガスの一部をトラップしうる部位である。トラップ部４２は、上流部４１と下流部４３の間に設けられている。トラップ部４２は、炉体２０の蓋２５の略中央部に位置している。トラップ部４２は、略直方体形状であり、内部に空間を有している。トラップ部４２は、蓋２５の上面から上方に延びる脚部４２ａに支持され、蓋２５に取り付けられている。トラップ部４２と蓋２５の間には空間が形成されている。
【0027】
上流部４１は、それぞれの排気孔２７に接続されている４本の配管から構成されている。上流部４１は、排気孔２７から２回屈曲してトラップ部４２に接続されている。上流部４１は、排気孔２７から上方に延び、略垂直に屈曲して炉体２０の長手方向と平行に延びている（図２～４参照）。上流部４１はさらに、炉体２０の長手方向と平行に延びた部位から略垂直に屈曲し、炉体２０の幅方向と平行にトラップ部４２に向かって延びている（図４参照）。上流部４１は、トラップ部４２の幅方向の側面４２ｂに接続されている。
【0028】
下流部４３は、トラップ部４２の幅方向の一方の側面４２ｂ１の上部に接続されている。下流部４３は、トラップ部４２の側面４２ｂ１から炉体２０の幅方向に延び、次いで、下方に向かって屈曲している。この実施形態では、下流部４３の、炉体２０の幅方向に延びている部位は、蓋２５の側面に取り付けられている支持部材２６によって下方から支持されている。当該支持されている部位は、パイプバンド２６ａによって周方向に巻かれて、支持部材２６に取り付けられている。これによって、第１排気ダクト４０の下流部４３は、撓むことなく蓋２５に固定されている。
【0029】
〈第２排気ダクト５０〉
第２排気ダクト５０は、炉体２０内のガスを排気するための排気経路である。第２排気ダクト５０は、炉体２０の外部に固定されている。この実施形態では、第２排気ダクト５０は、図３に示されているように、支持部材１６に取り付けられている。特に限定されないが、この実施形態では、第２排気ダクト５０は、第１排気ダクト４０同様に円形ダクトから構成されている。第２排気ダクト５０の内径は、第１排気ダクト４０の内径よりも大きい。このように、第１排気ダクト４０よりも第２排気ダクト５０の内径を大きくすることによって、排気時の圧力損失を小さくすることができる。
第２排気ダクト５０は、炉体２０内のガスを排気するための排気経路である。第２排気ダクト５０は、炉体２０の外部に固定されている。この実施形態では、第２排気ダクト５０は、図３に示されているように、支持部材１６に取り付けられている。特に限定されないが、この実施形態では、第２排気ダクト５０は、第１排気ダクト４０同様に円形ダクトから構成されている。第２排気ダクト５０の内径は、第１排気ダクト４０の内径よりも大きい。このように、第１排気ダクト４０よりも第２排気ダクト５０の内径を大きくすることによって、排気時の圧力損失を小さくすることができる。
【0030】
第２排気ダクト５０は、第１排気ダクト４０と接続される第２接続部５５を有している。第１排気ダクト４０の第１接続部４５と第２排気ダクト５０の第２接続部５５は、蓋２５が閉じられているときに接続され、蓋２５が開かれているときに切り離されるように構成されている。この実施形態では、第１接続部４５と第２接続部５５の着脱方向は、蓋２５の開閉方向（上下方向）と一致している。
【0031】
〈第１接続部４５、第２接続部５５〉
図５は、第１接続部４５と第２接続部５５の構成を模式的に示す断面図である。第１排気ダクト４０の第１接続部４５と第２排気ダクト５０の第２接続部５５は、図５に示されているように、それぞれ他方の接続部に対向した開口４５ａ，５５ａを有している。この実施形態では、第２接続部５５の開口５５ａは、第１接続部４５の外径よりも広くなっている。閉状態Ｓ１（図２参照）では、第１接続部４５の先端部４５ｂは、第２接続部５５に収められる。第１接続部４５の先端部４５ｂには、第２接続部５５の内壁との隙間を埋めるためのフッ素ゴム等が設けられていてもよい。第２接続部５５には、第１接続部４５が収められる部位から下流側に向かうに従って徐々に狭くなる傾斜部５５ｂが設けられている。傾斜部５５ｂよりも下流側では、第２排気ダクト５０の内径は、第１排気ダクト４０の内径よりも大きい。
図５は、第１接続部４５と第２接続部５５の構成を模式的に示す断面図である。第１排気ダクト４０の第１接続部４５と第２排気ダクト５０の第２接続部５５は、図５に示されているように、それぞれ他方の接続部に対向した開口４５ａ，５５ａを有している。この実施形態では、第２接続部５５の開口５５ａは、第１接続部４５の外径よりも広くなっている。閉状態Ｓ１（図２参照）では、第１接続部４５の先端部４５ｂは、第２接続部５５に収められる。第１接続部４５の先端部４５ｂには、第２接続部５５の内壁との隙間を埋めるためのフッ素ゴム等が設けられていてもよい。第２接続部５５には、第１接続部４５が収められる部位から下流側に向かうに従って徐々に狭くなる傾斜部５５ｂが設けられている。傾斜部５５ｂよりも下流側では、第２排気ダクト５０の内径は、第１排気ダクト４０の内径よりも大きい。
【0032】
第１接続部４５と第２接続部５５のうち一方の接続部は、シール部材５６を備え、他方の接続部は、接続時にシール部材が押し当てられる当接面４６ａを備えていてもよい。この実施形態では、第２接続部５５は、シール部材５６を備えている。第２接続部５５には、フランジ状のフランジ部５５ｃが設けられている。フランジ部５５ｃの、第１接続部４５と対向する面には、シール部材５６が取り付けられる基部５５ｄが設けられている。シール部材５６は、所要の耐熱性や耐腐食性等を有している限りにおいて特に限定されない。シール部材５６としては、例えば、シリコンスポンジ等が用いられうる。第１接続部４５は、先端部４５ｂに、第１接続部４５から外側に向かって延びる円盤４６を備えている。円盤４６の一方の面は、第２接続部５５と対向している。当該第２接続部５５と対向している面は、閉状態Ｓ１でシール部材５６が押し当てられる当接面４６ａである。シール部材５６および当接面４６ａは、それぞれ第１接続部４５および第２接続部５５の周方向に連続して設けられている。これによって、第１接続部４５と第２接続部５５は、閉状態Ｓ１の時に気密に接続されるように構成されている。
【0033】
なお、第１接続部４５と第２接続部５５のうち少なくともいずれか一方は、シール部材５６が当接面４６ａに押し当てられる圧力を調節可能な圧力調節部材４７を有していてもよい。この実施形態では、第１接続部４５は、圧力調節部材４７を有している。圧力調節部材４７の構成は特に限定されない。この実施形態では、圧力調節部材４７は、円盤４７ａと、ねじボルト４７ｂと、ナット４７ｃ，４７ｄを備えている。
【0034】
円盤４７ａは、第１接続部４５から外側に向かって延びている。円盤４７ａは、円盤４６よりも上流側に設けられており、第１接続部４５に固定されている。円盤４７ａには、ねじボルト４７ｂが挿通される挿通孔４７ａ１が設けられている。円盤４６の、当接面４６ａと反対側の面には、ナット４７ｃが固定されている。また、ナット４７ｃには、ねじボルト４７ｂの一端が固定されている。ねじボルト４７ｂは、円盤４７ａの挿通孔４７ａ１に挿通され、上下方向からナット４７ｄに締め付けられることによって、円盤４７ａに固定される。ねじボルト４７ｂが円盤４７ａに対して固定されることによって、円盤４６の位置が固定される。挿通孔４７ａ１、ねじボルト４７ｂおよびナット４７ｃ，４７ｄは、円盤４７ａの周方向に沿って複数設けられている。これによって、円盤４６は円盤４７ａに対して安定的に固定される。ナット４７ｄをゆるめ、ねじボルト４７ｂが円盤４７ａに固定される位置を調節することにより、円盤４７ａに対する円盤４６の位置を上下方向に調節することができる。その結果、開状態Ｓ２（図２参照）での円盤４７ａの当接面４６ａからシール部材５６までの距離が調節され、閉状態Ｓ１でシール部材５６が当接面４６ａに押し当てられる圧力が調節される。例えば、円盤４６の位置を上方に移動させることによって、シール部材５６が当接面４６ａに押し当てられる圧力が低くなる。円盤４６の位置を下方に移動させることによって、シール部材５６が当接面４６ａに押し当てられる圧力が高くなる。
【0035】
ところで、加熱炉内で被処理物を加熱処理または乾燥処理する際には、種々のガスが発生しうる。例えば、ポリイミド樹脂のような樹脂材料を含む被処理物を処理する際は、被処理物に含まれる有機溶剤が加熱炉内で気化しうる。硫黄成分が含まれる被処理物を処理する際は、硫化水素が発生しうる。加熱炉内で気化した有機溶剤は、排気ダクトを通って加熱炉外で回収される。しかしながら、加熱炉内で気化した有機溶剤が凝集し排気ダクトや加熱炉内に付着しうる。また、例えば、塩素ガスや塩化水素雰囲気で被処理物を処理する際は、かかる雰囲気ガスが凝集し排気ダクトや加熱炉内に付着しうる。
【0036】
これに対して、上述した実施形態では、加熱炉１０は、炉体２０と、開閉機構３０と、第１排気ダクト４０と、第２排気ダクト５０とを備えている。炉体２０は、炉体本体２１と、排気孔２７を有する蓋２５とを有している。開閉機構３０は、蓋の開閉を駆動する。第１排気ダクト４０は、蓋２５の上部に取り付けられている。一方、第２排気ダクト５０は、炉体２０の外部に固定されている。第１排気ダクト４０と第２排気ダクト５０は、炉体２０の炉体本体２１と蓋２５が閉じられているときに接続され、炉体２０の炉体本体２１と蓋２５が開かれているときに切り離される。このため、第１排気ダクト４０と第２排気ダクト５０が切り離された状態で排気ダクト内の清掃等のメンテナンス作業をすることができる。その結果、排気ダクトを含めた加熱炉１０の劣化が抑制される。
【0037】
上述した実施形態では、開閉機構３０は、蓋２５を上下方向に開閉するように構成されている。蓋２５が上下方向に開閉されることによって、加熱炉１０を設置するスペースを小さくすることができる。また、蓋２５の開閉と連動して第１排気ダクト４０と第２排気ダクト５０も上下方向に着脱される。そのため、第１排気ダクト４０と第２排気ダクト５０とが切り離された状態でも、第１排気ダクト４０の開口４５ａの下方に第２排気ダクト５０の開口５５ａが位置する。例えば、凝集した有機溶剤等の液体が第１排気ダクト４０内に残っている場合にも、液体が排気ダクトの外に流れることを抑制することができる。また、第２接続部５５の開口５５ａが第１接続部４５の外径よりも広くすることによって、液体を排気ダクトの外により流れにくくすることができる。
【0038】
上述した実施形態では、第１排気ダクト４０は、第１排気ダクト４０よりも広がったトラップ部４２に接続されている。トラップ部４２は、内部に第１排気ダクト４０よりも広がった空間を有している。このため、トラップ部４２では、上流部４１を通ったガスの温度と圧力が低下する。ガスの温度と圧力が低下すると、トラップ部４２に流入したガスのうち、例えば、有機溶剤が凝縮しうる。凝集した有機溶剤は、トラップ部４２の底に溜まる。このため、トラップ部４２よりも下流側の、第１排気ダクト４０の下流部４３や、後述する第２排気ダクト５０に流入する有機溶剤を減らすことができる。その結果、トラップ部４２よりも下流側で有機溶剤の凝集が抑制され、排気ダクトを腐食しにくくすることができる。なお、トラップ部４２には、凝集した有機溶剤を廃棄できるよう、上部に蓋等が設けられているとよい。
【0039】
以上、具体的な実施形態を挙げて詳細な説明を行ったが、これらは例示にすぎず、請求の範囲を限定するものではない。例えば、上述した実施形態では、第１排気ダクトの第１接続部４５に圧力調節部材４７が設けられており、第２排気ダクト５０の第２接続部５５にシール部材５６が設けられている。しかしながら、特に言及されない限りにおいて、かかる形態に限定されない。シール部材５６は、第１接続部４５に設けられていてもよく、第１接続部４５と第２接続部５５の両方に設けられていてもよい。圧力調節部材４７は、第２接続部５５に設けられていてもよく、第１接続部４５と第２接続部５５の両方に設けられていてもよい。
【0040】
このように、請求の範囲に記載の技術には、以上に記載した実施形態を様々に変形、変更したものが含まれる。また、上記実施形態で例示された複数の技術の一部を加熱炉に採用することも可能である。
【符号の説明】
【0041】
１０ 加熱炉
１０ａ 搬入口
１０ｂ 搬出口
１２ ガイドローラ
１３ ヒータ
１５ 基台
１６ 支持部材
２０ 炉体
２０ａ 搬送空間
２１ 炉体本体
２２ シール部材
２３ 給気孔
２５ 蓋
２６ 支持部材
２７ 排気孔
３０ 開閉機構
３１ リニアガイド
３２ モータ
３３ ボールねじ
３４ 接続部材
３５ 支柱
４０ 第１排気ダクト
４１ 上流部
４２ トラップ部
４３ 下流部
４５ 第１接続部
４５ａ 開口
４５ｂ 先端部
４６ 円盤
４６ａ 当接面
４７ 圧力調節部材
４７ａ 円盤
４７ａ１ 挿通孔
４７ｂ ねじボルト
４７ｃ，４７ｄ ナット
５０ 第２排気ダクト
５５ 第２接続部
５５ａ 開口
５５ｂ 傾斜部
５５ｃ フランジ部
５５ｄ 基部
５６ シール部材
６０ 排気装置
Ａ 被処理物
１０ａ 搬入口
１０ｂ 搬出口
１２ ガイドローラ
１３ ヒータ
１５ 基台
１６ 支持部材
２０ 炉体
２０ａ 搬送空間
２１ 炉体本体
２２ シール部材
２３ 給気孔
２５ 蓋
２６ 支持部材
２７ 排気孔
３０ 開閉機構
３１ リニアガイド
３２ モータ
３３ ボールねじ
３４ 接続部材
３５ 支柱
４０ 第１排気ダクト
４１ 上流部
４２ トラップ部
４３ 下流部
４５ 第１接続部
４５ａ 開口
４５ｂ 先端部
４６ 円盤
４６ａ 当接面
４７ 圧力調節部材
４７ａ 円盤
４７ａ１ 挿通孔
４７ｂ ねじボルト
４７ｃ，４７ｄ ナット
５０ 第２排気ダクト
５５ 第２接続部
５５ａ 開口
５５ｂ 傾斜部
５５ｃ フランジ部
５５ｄ 基部
５６ シール部材
６０ 排気装置
Ａ 被処理物
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【手続補正書】
【提出日】2022-03-17
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被処理物を搬送方向に搬送する搬送空間を有する炉体と、
開閉機構と、
第１排気ダクトと、
排気装置に接続される第２排気ダクトと
を備え、
前記炉体は、
炉体本体と、
排気孔を有する蓋と
を有し、
前記炉体本体は、底壁と、前記底壁から上方に延びる一対の側壁とを有し、上方に開口が形成されており、
前記蓋は、前記炉体本体の前記開口に重ねられ、
前記開閉機構は、前記蓋の開閉を駆動し、
前記第１排気ダクトは、前記蓋の上部に取り付けられ、前記排気孔に繋がっており、かつ、前記第２排気ダクトと接続される第１接続部を有し、
前記第２排気ダクトは、前記炉体の外部に固定されており、前記第１排気ダクトと接続される第２接続部を有し、
前記第１接続部と前記第２接続部は、前記蓋の開閉に合わせて、前記蓋が閉じられているときに接続され、前記蓋が開かれているときに切り離されるように構成された、加熱炉。
開閉機構と、
第１排気ダクトと、
排気装置に接続される第２排気ダクトと
を備え、
前記炉体は、
炉体本体と、
排気孔を有する蓋と
を有し、
前記炉体本体は、底壁と、前記底壁から上方に延びる一対の側壁とを有し、上方に開口が形成されており、
前記蓋は、前記炉体本体の前記開口に重ねられ、
前記開閉機構は、前記蓋の開閉を駆動し、
前記第１排気ダクトは、前記蓋の上部に取り付けられ、前記排気孔に繋がっており、かつ、前記第２排気ダクトと接続される第１接続部を有し、
前記第２排気ダクトは、前記炉体の外部に固定されており、前記第１排気ダクトと接続される第２接続部を有し、
前記第１接続部と前記第２接続部は、前記蓋の開閉に合わせて、前記蓋が閉じられているときに接続され、前記蓋が開かれているときに切り離されるように構成された、加熱炉。
【請求項2】
前記開閉機構は、前記蓋を上下方向に開閉する、請求項１に記載された加熱炉。
【請求項3】
前記第１排気ダクトは、前記第１排気ダクトよりも広がったトラップ部に接続されている、請求項１または２に記載された加熱炉。
【請求項4】
前記第１接続部と前記第２接続部のうち一方の接続部は、シール部材を備え、他方の接続部は、接続時に前記シール部材が押し当てられる当接面を備えている、請求項１から３までの何れか一項に記載された加熱炉。
【請求項5】
前記第１接続部と前記第２接続部のうち少なくともいずれか一方は、前記シール部材が前記当接面に押し当てられる圧力を調節可能な圧力調節部材を有している、請求項４に記載された加熱炉。
【請求項6】
前記排気孔は、前記被処理物と対向する位置に設けられている、請求項１から５までの何れか一項に記載された加熱炉。
【請求項7】
前記第１排気ダクトは、円形ダクトから構成されている、請求項１から６までの何れか一項に記載された加熱炉。
【手続補正書】
【提出日】2022-07-15
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
炉体と、
開閉機構と、
第１排気ダクトと、
排気装置に接続される第２排気ダクトと
を備え、
前記炉体は、
炉体本体と、
排気孔を有する蓋と
を有し、
前記炉体本体は、底壁と、前記底壁から上方に延びる一対の側壁とを有し、上方に開口が形成されており、
前記蓋は、前記炉体本体の前記開口に重ねられ、
前記炉体は、
前記底壁と、前記側壁と、前記蓋とに囲まれた搬送空間を有しており、
前記搬送空間は、被処理物を搬送方向に沿って搬送するための空間であり、
前記炉体は、前記搬送方向の一端に前記被処理物を前記搬送空間に搬送する搬入口と、他端に前記被処理物を前記搬送空間から搬出するための搬出口を有し、
前記開閉機構は、前記蓋の開閉を駆動し、
前記第１排気ダクトは、前記蓋の上部に取り付けられ、前記排気孔に繋がっており、かつ、前記第２排気ダクトと接続される第１接続部を有し、
前記第２排気ダクトは、前記炉体の外部に固定されており、前記第１排気ダクトと接続される第２接続部を有し、
前記第１接続部と前記第２接続部は、前記蓋の開閉に合わせて、前記蓋が閉じられているときに接続され、前記蓋が開かれているときに切り離されるように構成された、加熱炉。
開閉機構と、
第１排気ダクトと、
排気装置に接続される第２排気ダクトと
を備え、
前記炉体は、
炉体本体と、
排気孔を有する蓋と
を有し、
前記炉体本体は、底壁と、前記底壁から上方に延びる一対の側壁とを有し、上方に開口が形成されており、
前記蓋は、前記炉体本体の前記開口に重ねられ、
前記炉体は、
前記底壁と、前記側壁と、前記蓋とに囲まれた搬送空間を有しており、
前記搬送空間は、被処理物を搬送方向に沿って搬送するための空間であり、
前記炉体は、前記搬送方向の一端に前記被処理物を前記搬送空間に搬送する搬入口と、他端に前記被処理物を前記搬送空間から搬出するための搬出口を有し、
前記開閉機構は、前記蓋の開閉を駆動し、
前記第１排気ダクトは、前記蓋の上部に取り付けられ、前記排気孔に繋がっており、かつ、前記第２排気ダクトと接続される第１接続部を有し、
前記第２排気ダクトは、前記炉体の外部に固定されており、前記第１排気ダクトと接続される第２接続部を有し、
前記第１接続部と前記第２接続部は、前記蓋の開閉に合わせて、前記蓋が閉じられているときに接続され、前記蓋が開かれているときに切り離されるように構成された、加熱炉。
【請求項2】
前記開閉機構は、前記蓋を上下方向に開閉する、請求項１に記載された加熱炉。
【請求項3】
前記第１排気ダクトは、前記第１排気ダクトよりも広がったトラップ部に接続されている、請求項１または２に記載された加熱炉。
【請求項4】
前記第１接続部と前記第２接続部のうち一方の接続部は、シール部材を備え、他方の接続部は、接続時に前記シール部材が押し当てられる当接面を備えている、請求項１から３までの何れか一項に記載された加熱炉。
【請求項5】
前記第１接続部と前記第２接続部のうち少なくともいずれか一方は、前記シール部材が前記当接面に押し当てられる圧力を調節可能な圧力調節部材を有している、請求項４に記載された加熱炉。
【請求項6】
前記排気孔は、前記被処理物と対向する位置に設けられている、請求項１から５までの何れか一項に記載された加熱炉。
【請求項7】
前記第１排気ダクトは、円形ダクトから構成されている、請求項１から６までの何れか一項に記載された加熱炉。