特開 2023-65205 圧着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023065205

(43)【公開日】2023-05-12

(54)【発明の名称】圧着装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20230502BHJP

【ＦＩ】

H01L21/60 311T

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021175871

(22)【出願日】2021-10-27

(71)【出願人】

【識別番号】000226242

【氏名又は名称】日機装株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001243

【氏名又は名称】弁理士法人谷・阿部特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】井手迫 聡

(72)【発明者】

【氏名】森 隆博

(72)【発明者】

【氏名】澤田 智世

【テーマコード（参考）】

5F044

【Ｆターム（参考）】

5F044PP15

5F044PP16

(57)【要約】

【課題】被加工物を圧着する際に真空引きにより生じる、弾性体の突発的な変形を防止することができる圧着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】搬送板と、搬送板と当接する側壁部、及び、側壁部の上端を覆う天壁部及び押圧部を備え、搬送板のワーク載置面に対して相対移動可能であって、搬送板に当接して真空チャンバを形成する本体金型と、真空チャンバ内に位置するように本体金型の天壁部に取り付けられた金属枠体、及び、金属枠体に取り囲まれた弾性体を備える弾性体金型と、弾性体金型の金属枠体の天壁部と接触する面に形成され、金属枠体の内縁部及び外縁部を連続的に接続する溝と、を備え、溝は、真空チャンバの形成時に、本体金型の押圧部と弾性体金型の弾性体との隙間に残存するガスを真空チャンバ内へ排出し、本体金型は、天壁部及び押圧部を弾性体金型とともに複数のワークに向けて移動させ、弾性体を複数のワークに接触させる、圧着装置。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のワークを圧着する圧着装置であって、
前記複数のワークを重ねて載置して移動可能な搬送板と、
前記搬送板と当接する側壁部、及び、前記側壁部の上端を覆う天壁部及び押圧部を備え、前記搬送板のワーク載置面に対して相対移動可能であって、前記搬送板に当接して真空チャンバを形成する本体金型と、
前記真空チャンバ内に位置するように前記本体金型の前記天壁部に取り付けられた金属枠体、及び、前記金属枠体に取り囲まれた弾性体を備える弾性体金型と、
前記弾性体金型の前記金属枠体の前記天壁部と接触する面に形成され、前記金属枠体の内縁部及び外縁部を連続的に接続する溝と、
を備え、
前記溝は、前記真空チャンバの形成時に、前記本体金型の前記押圧部と前記弾性体金型の前記弾性体との隙間に残存するガスを前記真空チャンバ内へ排出し、
前記本体金型は、前記天壁部及び前記押圧部を前記弾性体金型とともに前記複数のワークに向けて移動させ、前記弾性体を前記複数のワークに接触させる、圧着装置。

【請求項2】

前記弾性体金型は矩形形状を有し、前記溝は、前記弾性体金型の外縁角部及び互いに隣接する前記外縁角部同士の中間部分から離間して設けられる、請求項１に記載の圧着装置。

【請求項3】

前記弾性体金型は前記本体金型と係合手段により取り外し可能に係合されており、前記本体金型から係合解除することにより取り外し可能である、請求項１又は請求項２に記載の圧着装置。

【請求項4】

前記係合手段は螺合手段である、請求項３に記載の圧着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を加圧型で加圧する圧着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、被加工物（ワーク）を真空雰囲気内において加圧型で加圧して圧着する圧着装置が知られている。このような圧着装置において、被加工物に対して均一に圧力を加えることができるように、加圧型は弾性体で構成されている。

【0003】

例えば、特許文献１（特に、図２参照）には、弾性体である柔軟層を有する加圧型であって、被加工物を挟持し加圧する加圧装置が記載されている。この加圧装置は、加圧により圧着を行う加圧装置において、被加工物が凹凸形状を持つものであっても、圧力分布を均一にすることができるものであり、流動性柔軟層４８と多孔質柔軟層５０の２層からなる柔軟体４６を含む介在パッド３８を介して、基板１０およびこれに載置された回路素子１６を加圧する。それにより、流動性柔軟層４８が、被加工物の凹部にも回り、全体に均一な圧力をかけることができるものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００４－２９６７４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１において、上型３２と柔軟体４６の間に空気が挟み込まれると、上型３２、下型３０、サイド型３４で囲まれた空間を減圧する際に、挟み込まれた空気が陽圧雰囲気となり柔軟体４６が突発変形する。この状態で上型３２を下降させていくと、柔軟体４６の膨張した凸部分が被加工物の中心部に接触する。さらに柔軟体４６を下降していくと柔軟体４６の接触領域は被加工物の中心から放射状に広がる。その放射状に広がっていく力によって被加工物を構成する回路素子１６に位置ズレが生じる。この時、被加工物に生じたズレは加圧工程の最後まで、そのままの状態であるため、精密な圧着工程を行うことができなくなるおそれがあった。

【0006】

そこで、本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、被加工物を圧着する際に真空引きにより生じる、弾性体の突発的な変形を防止することができる圧着装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明に係る一実施形態の複数のワークを圧着する圧着装置は、前記複数のワークを重ねて載置して移動可能な搬送板と、前記搬送板と当接する側壁部、及び、前記側壁部の上端を覆う天壁部及び押圧部を備え、前記搬送板のワーク載置面に対して相対移動可能であって、前記搬送板に当接して真空チャンバを形成する本体金型と、前記真空チャンバ内に位置するように前記本体金型の前記天壁部に取り付けられた金属枠体、及び、前記金属枠体に取り囲まれた弾性体を備える弾性体金型と、前記弾性体金型の前記金属枠体の前記天壁部と接触する面に形成され、前記金属枠体の内縁部及び外縁部を連続的に接続する溝と、を備え、前記溝は、前記真空チャンバの形成時に、前記本体金型の前記押圧部と前記弾性体金型の前記弾性体との隙間に残存するガスを前記真空チャンバ内へ排出し、前記本体金型は、前記天壁部及び前記押圧部を前記弾性体金型とともに前記複数のワークに向けて移動させ、前記弾性体を前記複数のワークに接触させる。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、被加工物を圧着する際に真空引により生じる、弾性体の突発的な変形を防止することができる圧着装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施形態に係る圧着装置を示す側断面図であり、（ａ）圧着装置の側面断面図、（ｂ）図１（ａ）のＩｂで囲まれた部分の拡大側面断面図を表す。

【図2】本発明の実施形態に係る圧着装置の弾性体金型を示す概略図であり、（ａ）図２（ｂ）のＩＩａ線方向への弾性体金型の側面断面図、（ｂ）弾性体金型の概略斜視図を表す。

【図3】本発明の実施形態に係る圧着装置の弾性体金型を示す概略平面図である。

【図4】本発明の実施形態に係る圧着装置の金属枠体に設けられる溝の概略断面図であり、（ａ）～（ｃ）は、様々な溝断面形状をそれぞれ表す。

【図5】ワークの圧着工程における真空下の圧着動作を説明する断面模式図であり、（ａ）搬送板の移動、（ｂ）本体金型及び弾性体金型の移動、（ｃ）チャンバの形成と隙間からのガスの排出、をそれぞれ表す。

【図6】ワークの圧着工程における真空下の圧着動作を説明する断面模式図であり、（ａ）チャンバ内が真空となった状態での弾性体による圧着工程、（ｂ）弾性体による圧着工程後の弾性体金型の上昇、（ｃ）真空チャンバ内の大気解放状態、をそれぞれ表す。

【図7】ワークの圧着工程における真空下の圧着動作を説明する断面模式図であり、（ａ）本体金型及び弾性体金型の上昇、（ｂ）搬送板の移動、をそれぞれ表す。

【図8】本発明の実施形態に係る圧着装置の弾性体金型が本体金型に着脱可能に係合されている様子を示す概略図であり、（ａ）図８（ｃ）のＶＩＩＩａ，ｂ線方向への本体金型及び弾性体金型とそれらを螺合するボルトの側面断面図、（ｂ）図８（ｃ）のＶＩＩＩａ，ｂ線方向への弾性体金型が本体金型にボルトにより螺合された状態を示す側面断面図、（ｃ）弾性体金型が本体金型にボルトにより螺合されている状態での下方から視た場合の弾性体金型の概略平面図、をそれぞれ表す。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下に説明する実施形態は、本発明を具体的に実現した形態を例示するものである。よって、本発明が適用される装置の構成や各種条件によって、以下に説明される実施形態の構成は適宜修正又は変更されるべきものであり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。

【0011】

＜圧着装置について＞
図１は、本発明の実施形態に係る圧着装置１００を示す概略図であり、図１（ａ）は、圧着装置１００の側面断面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）においてＩｂに囲まれた領域の拡大図である。図１（ａ）に示されるように、圧着装置１００は、例えば電子回路等の基板及び基板上に配置された回路素子からなるワークＷを真空雰囲気内で均一に加圧して圧着するものである。この圧着装置１００は、本体金型１０と、弾性体金型１１と、ワークWが載置される搬送板１２と、真空ポンプ１４と、を備える。ここで、本体金型１０は、押圧部１５と、天壁部１６と、側壁部１７と、から構成される。また、弾性体金型１１は、一対の介在パッド１８，１９及び柔軟層２０からなる弾性体２１と、弾性体２１及び弾性体２１を取り囲む金属枠体２２と、から構成される。

【0012】

詳細は後述するが、本実施形態の圧着装置１００は、ワークＷを圧着する際に、真空チャンバCを真空引きする。当該真空引きの際、弾性体２１が隙間２３内のガスの陽圧雰囲気により突発変形しないように、真空ポンプ１４により真空チャンバＣ内が真空引きされるのに伴って、金属枠体２２の上面に設けられた溝２２ａを介して、隙間２３内のガスが真空引きされ、結果、ワークＷのずれが防止される。

【0013】

圧着装置１００では、図示しない昇降装置によって、搬送板１２に対して本体金型１０及び弾性体金型１１が下降し又は上昇する。これにより、本体金型１０の側壁部１７が搬送板１２に密着し真空チャンバＣが形成された後に、本体金型１０及び弾性体金型１１が搬送板１２のワークＷに対して下降して弾性体２１によりワークＷを圧着し（図６（ａ）参照）、また、圧着後にワークＷに対して上昇する（図５（ｃ）参照）。

【0014】

＜搬送板について＞
搬送板１２には、ワークＷを載置するための載置面１２ａに、複数のワークＷが重ねて載置される。搬送板１２は、圧着工程を開始する際に、複数のワークＷを載置した状態で本体金型１０の直下に移動する。また、弾性体２１により複数のワークＷを圧着する際には、本体金型１０の側壁部１７が搬送板１２に対して密着し、搬送板１２及び本体金型１０によって囲まれた真空チャンバCが形成される。そして、圧着工程が終了した後には、圧着された複数のワークＷを次の工程へと移動させるものである。

【0015】

＜弾性体金型について＞
図２は、弾性体金型１１の概略図であり、図２（ａ）は、弾性体金型１１の図２（ｂ）におけるＩＩａ線方向への概略側断面図であり、図２（ｂ）は、弾性体金型１１の概略斜視図である。図２（ａ）及び（ｂ）に示されるように、弾性体金型１１の金属枠体２２には、本体金型１０の天壁部１６と接する面に溝２２ａが設けられている。また、図２（ｂ）に示されるように、弾性体２１は金属枠体２２に取り囲まれている。そして、金属枠体２２が本体金型１０の天壁部１６に取り付けられることで、弾性体金型１１が本体金型１０に係合される。なお、図２（ｂ）においては、溝２２ａが２本設けられているがこれに限定されるわけではなく、以下で説明するように、４本以上設けられても良い。

【0016】

＜金属枠体に設けられた溝について＞
図３は、弾性体金型１１の金属枠体２２に設けられる溝２２ａの位置を示す平面概略図である。溝２２ａは、本体金型１０の天壁部１６と接する金属枠体２２上面に設けられている。また、溝２２ａは、押圧部１５と弾性体２１との隙間２３と真空チャンバＣ内を流体連通させており、金属枠体２２の内縁部及び外縁部を連続的に接続し、隙間２３内に残存しているガスを排出するための経路である。この溝２２ａが設けられることによって、真空チャンバＣ内を真空引きすると同時に、隙間２３に残存した空気、窒素又はアルゴン等のガスが負圧によって隙間２３から真空チャンバＣ内へと排出され、隙間２３内を真空引きすることができる。これにより、真空チャンバＣ内を真空引きした時に、隙間２３に残存するガスによって隙間２３内が陽圧雰囲気となることが防止され、当該陽圧雰囲気によって引き起こされる弾性体２１の突発的な変形を防止することができる。

【0017】

なお、図３においては、溝２２ａが４本設けられているがこれに限定されるわけではなく、５本以上設けられても良い。ただし、溝２２ａの設けられる位置は、図３において、鎖線で囲まれた範囲、つまり、矩形形状の弾性体金型１１の外縁角部、及び、互いに隣接する前記外縁角部同士の中間部分から離間した位置である。このような位置に溝２２ａを設けることで、圧着工程において弾性体金型１１の破断を招く応力集中が生じやすい位置を避けることができる。

【0018】

図４は、溝２２ａの様々な断面形状の例を示す概略断面図である。図４（ａ）は、断面形状がＶ字型である溝２４を示し、図４（ｂ）は、断面形状が矩形である溝２５を示し、図４（ｃ）は、断面形状が半円形である溝２６を示す。溝２４～２６がこれらの断面形状を有することで、真空チャンバＣ内を真空引きすると同時に、隙間２３に残存したガスが負圧によって隙間２３から真空チャンバＣ内へと排出され易くなり、隙間２３内の真空引きを容易にすることができる。

【0019】

＜本体金型について＞
本体金型１０は、押圧部１５と、天壁部１６と、側壁部１７とからなる。天壁部１６に弾性体金型１１の金属枠体２２が取り付けられている。本体金型１０は、図示しない昇降装置によって、搬送板１２のワークＷ載置面１２ａに対して上昇下降することができ、また、側壁部１７が搬送板１２に密着した状態では、押圧部１５と天壁部１６が搬送板１２のワークＷ載置面１２ａに対して上昇下降することができる。

【0020】

＜押圧部について＞
押圧部１５は、本体金型１０を構成する各部の内、本体金型１０の中央部に位置し、弾性体金型１１の弾性体２１との隙間２３を形成している。押圧部１５は、弾性体金型１１の弾性体２１と対向して設けられており、金属枠体２２が取り付けられている天壁部１６とともに弾性体金型１１を下降させ、圧力を加えることで、弾性体２１によるワークＷへの加圧を可能にしている。

【0021】

＜ワークの圧着工程について＞
図５～７は、搬送板１２がワークＷを本体金型１０の直下へ搬送し、ワークＷが圧着された後に搬送板１２がワークＷを再度搬送するまでの各圧着工程を示す断面模式図である。

【0022】

図５は、搬送板１２が移動してから、真空チャンバＣが形成されるまでの工程を示す断面模式図である。図５（ａ）に示されるように、矢印Ａ１の方向にワークＷを載置した搬送板１２が移動してワークＷが本体金型１０の直下、特に弾性体２１の直下に位置するように停止する。次に、図５（ｂ）に示されるように、本体金型１０と弾性体金型１１が搬送板１２へ矢印Ａ２の方向に移動する。そして、本体金型１０の側壁部１７が搬送板１２に密着し、本体金型１０と搬送板１２とで真空チャンバCが形成され、図５（ｃ）に示されるように、真空ポンプ１４が真空チャンバＣ内を真空引きし始めると、矢印に示されるように溝２２ａを介して、隙間２３内のガスが排出される。

【0023】

図６は、真空チャンバＣの内部空間２７が真空引きされ、弾性体２１がワークＷを圧着する工程を示す断面模式図である。図６（ａ）に示されるように、真空ポンプ１４が真空チャンバＣの内部空間２７のガスを真空引きし、真空チャンバＣの内部空間２７は真空雰囲気となる。これにより、弾性体２１とワークＷの間にガスが挟み込まれ、ワークＷを弾性体２１が均一に加圧できなくなることを防ぐことができる。また、この時、すでに隙間２３は溝２２ａを介して内部のガスが真空引きされていることから、弾性体２１が隙間２３内のガスによる陽圧雰囲気により、突発変形を生じることが防止される。次に、本体金型１０の内、押圧部１５と天壁部１６が搬送板１２に対して矢印Ａ４の方向へと下降し、それと共に弾性体金型１１が下降して弾性体２１がワークＷを圧着する。そして図６（ｂ）に示されるように、押圧部１５と天壁部１６並びに弾性体金型１１が搬送板１２に対して矢印Ａ５の方向へと上昇する。その後、図６（ｃ）に示されるように、真空状態となっていた真空チャンバCが大気解放される。

【0024】

図７は、真空チャンバＣ内が大気解放された後に、搬送板１２が圧着されたワークＷを移動させる工程を示す断面模式図である。図７（ａ）に示されるように、本体金型１０と弾性体金型１１が搬送板１２に対して矢印Ａ６の方向へと上昇する。そして、図７（ｂ）に示されるように、ワークＷが載置された搬送板１２が圧着後のワークＷを矢印Ａ７の方向、すなわち次の工程へと移動させる。なお、ワークＷの搬送方向は矢印Ａ７の方向に限定されることなく、例えば、図５（ａ）の矢印Ａ１の逆方向に戻るように搬送してもよい。

【0025】

本実施形態の圧着装置１００においては、ワークＷを圧着するために真空チャンバＣを真空引きする際に、溝２２ａを介して、隙間２３内のガスを真空引きする。これにより、弾性体２１が隙間２３内のガスの陽圧雰囲気により突発変形することが抑制され、ワークＷのずれを防止することができる。

【0026】

＜本体金型から着脱可能な弾性体金型について＞
図１～図７までは、金属枠体２２と本体金型１０の天壁部１６との係合手段は具体的に説明してこなかったが、本実施例では、金属枠体２２と本体金型１０の天壁部１６とが係合手段により取り外し可能に係合されており、その係合手段は、ボルト１０１による螺合である。また、本実施例においては、金属枠体２２と本体金型１０の天壁部１６の螺合は、ボルト１０１によって行われているが、これに限定されるわけではなく、例えばネジ等、その他の係合手段であっても良い。

【0027】

図８は、弾性体金型が本体金型と着脱可能に係合された、本発明の圧着装置１００を示す図である。図８（ａ）に示されるように、本実施形態は、前述の圧着装置１００と同様の構成を有す。その一方で、金属枠体２２と本体金型１０の天壁部１６との係合が、複数のボルト１０１によって行われる。なお、本図は、図８（ｃ）におけるＶＩＩＩａ，ｂ線方向への断面図であるが、説明のためボルトが螺合解除された状態を示している。また、金属枠体２２と天壁部１６にはボルト穴１０２が設けられており、ボルト１０１をねじ込むことで、金属枠体２２が天壁部１６を介して本体金型１０に締結される。

【0028】

図８（ｂ）に示されるように、金属枠体２２と本体金型１０の天壁部１６が、ボルト１０１により螺合され、また、螺合解除される。なお、本図は、図８（ｃ）におけるＶＩＩＩａ，ｂ線方向への断面図であるが、説明のためボルト１０１を鎖線で示している。

【0029】

図８（ｃ）に示されるように、各ボルト１０１は、溝２２ａを避けつつ、圧着工程中に高い圧力が加わった場合にも外れないよう弾性体金型１１が本体金型１０に螺合する。各ボルト１０１は、平面視で矩形形状の弾性体金型１１の四角に２本ずつ、合計で８本用いられている。ただし、これに限定されるわけではなく、他の位置に３本ずつ以上を用いても良い。

【0030】

本発明の圧着装置１００は、弾性体金型１１が本体金型１０と着脱可能に係合できることから、繰り返しの圧着工程の実施により弾性体２１が劣化してきた場合に、弾性体２１を弾性体金型１１ごと新たなものへと交換することができる。また、溝が設けられていない弾性体金型を有する従来の装置に、溝２２ａが設けられた弾性体金型１１を装着することもできる。これにより、従来の装置においても、本実施形態の圧着装置１００と同様の効果を得ることができる。そして、係合手段が螺合手段である場合には、弾性体金型１１の本体金型１０からの着脱が、より容易に行える。

【0031】

（発明の実施態様）
本発明の第１の実施の態様は、複数のワークを圧着する圧着装置であって、複数のワークを重ねて載置して移動可能な搬送板と、搬送板と当接する側壁部、及び、側壁部の上端を覆う天壁部及び押圧部を備え、搬送板のワーク載置面に対して相対移動可能であって、搬送板に当接して真空チャンバを形成する本体金型と、真空チャンバ内に位置するように本体金型の天壁部に取り付けられた金属枠体、及び、金属枠体に取り囲まれた弾性体を備える弾性体金型と、弾性体金型の金属枠体の天壁部と接触する面に形成され、金属枠体の内縁部及び外縁部を連続的に接続する溝と、を備え、溝は、真空チャンバの形成時に、本体金型の押圧部と弾性体金型の弾性体との隙間に残存するガスを真空チャンバ内へ排出し、本体金型は、天壁部及び押圧部を弾性体金型とともに複数のワークに向けて移動させ、弾性体を複数のワークに接触させる、圧着装置である。

【0032】

このように、ワークＷを圧着するために真空チャンバCを真空引きする際に、溝２２ａを介して、隙間２３を真空引きする。これにより、弾性体２１が隙間２３内のガスの陽圧雰囲気により突発変形することが抑制され、ワークＷのずれを防止することができるという効果を奏する。

【0033】

本発明の第２の実施の態様は、第１の実施の態様において、弾性体金型は矩形形状を有し、溝は、弾性体金型の外縁角部及び互いに隣接する外縁角部同士の中間部分から離間して設けられる。

【0034】

このように、弾性体金型１１は矩形形状を有しており、溝２２ａは、弾性体金型１１の外縁角部及び互いに隣接する外縁角部同士の中間部分から離間して設けられる。それにより、弾性体金型１１の応力集中が生じやすい箇所を回避して、圧着工程中の弾性体金型１１の破断を防止することができるという効果を奏する。

【0035】

本発明の第３の実施の態様は、第１の実施の態様又は第２の実施の態様において、弾性体金型は本体金型と係合手段により取り外し可能に係合されており、本体金型から係合解除することにより取り外し可能である。

【0036】

このように、弾性体金型１１は本体金型１０と係合手段により取り外し可能に係合されており、本体金型１０から係合解除することにより取り外し可能である。これにより、繰り返しの圧着工程の実施により弾性体２１が劣化してきた場合に、弾性体２１を弾性体金型１１ごと新たなものへと交換することができるという効果を奏する。

【0037】

さらには、溝が設けられていない弾性体金型を有する従来の装置に、溝２２ａが設けられた弾性体金型１１を装着することもできる。これにより、従来の装置においても、弾性体が隙間内のガスの陽圧雰囲気により突発変形することが抑制され、ワークのずれを防止することができるという効果を奏する。

【0038】

本発明の第４の実施の態様は、第３の実施の態様において、係合手段は螺合手段である。

【0039】

このように、弾性体金型１１は本体金型１０と螺合手段により取り外し可能に螺合されており、本体金型１０から螺合解除することにより取り外し可能である。これにより、弾性体金型１１の本体金型１０からの着脱が、より容易に行えるという効果を奏する。

【符号の説明】

【0040】

１００ 圧着装置
１０ 本体金型
１１ 弾性体金型
１２ 搬送板
１２ａ 載置面
１４ 真空ポンプ
１５ 押圧部
１６ 天壁部
１７ 側壁部
１８ 介在パッド
１９ 介在パッド
２０ 柔軟層
２１ 弾性体
２２ 金属枠体
２２ａ 溝
２３ 隙間
２７ 内部空間
１０１ ボルト
１０２ ボルト穴

Ｗ ワーク
Ｃ 真空チャンバ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】