特開 2023-67105 振動アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023067105

(43)【公開日】2023-05-16

(54)【発明の名称】振動アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   B06B 1/04 20060101AFI20230509BHJP

   H02K 33/16 20060101ALI20230509BHJP

【ＦＩ】

B06B1/04 S

H02K33/16 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021178095

(22)【出願日】2021-10-29

(71)【出願人】

【識別番号】000112565

【氏名又は名称】フォスター電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】種村 雄太

【テーマコード（参考）】

5D107

5H633

【Ｆターム（参考）】

5D107AA02

5D107BB08

5D107CC09

5D107DD03

5D107DD12

5H633BB08

5H633BB10

5H633GG02

5H633GG06

5H633GG09

5H633GG17

5H633HH03

5H633HH04

5H633HH09

5H633HH13

5H633HH14

5H633JA03

5H633JB06

(57)【要約】

【課題】可動子の軸心がずれることを防止して、マグネットとヨークとの間のギャップを小さくすることができる振動アクチュエータを得る。
【解決手段】振動アクチュエータ１は、筒状のケース１０に設けられたコイル２４と共に磁気駆動部を構成し、板バネ２を介してケース１０に支持された状態で、ケース１０の軸方向に沿って振動する可動子３０を備えている。この可動子３０は、マグネット３４とヨーク３２を含んで構成され、ヨーク３２は、可動子３０の中心部に設けられている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

筒状のケースと、
前記ケースに設けられたコイルと、
前記ケースの軸方向の一端と他端にそれぞれ設けられた弾性部材と、
マグネットとヨークを含み、前記コイルと共に磁気駆動部を構成し、前記弾性部材を介して前記ケースに支持された状態で前記ケースの軸方向に沿って振動する可動子と、を備え、
前記可動子において、前記ヨークは、前記可動子の中心部に設けられている、
振動アクチュエータ。

【請求項2】

前記可動子において、前記マグネットは、振動方向に間隔を設けて配置され、前記ヨークの振動方向一方側に配置される第１マグネットと、前記ヨークの振動方向他方側に配置される第２マグネットを有している、請求項１に記載の振動アクチュエータ。

【請求項3】

前記可動子において、前記第１マグネット及び第２マグネット着磁方向は、振動方向に沿って同一方向とされている、請求項２に記載の振動アクチュエータ。

【請求項4】

前記可動子において、前記ヨークは、前記可動子の中心部の一方側と他方側に延び、前記マグネットの外周を覆う側部とを有している、請求項１～請求項３の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。

【請求項5】

前記可動子は、前記マグネットに対して振動方向の外側に配置されたポールピースを更に備え、
前記コイルは、前記マグネットの外周側で前記ポールピースと前記ヨークとの間に配置され、前記ポールピースと前記ヨークとの間に形成される磁気ギャップの中に配置される第１領域と、振動方向に前記磁気ギャップから露出した第２領域と、を有している、請求項４の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。

【請求項6】

前記ケースに設けられ、前記ポールピースの外周を覆う筒状のボビンを備え、
前記コイルは、前記ボビンの外周に巻回されている、請求項５に記載の振動アクチュエータ。

【請求項7】

前記可動子は、前記ケースの軸中心に沿って配置された接続部材を介して前記弾性部材に支持されている、請求項１～請求項６の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。

【請求項8】

前記ケースは、内周との間に間隙を設けて配置される円筒状の延在部を有し、
前記接続部材は、前記延在部の内側に配置されると共にその最外周部が前記延在部の内周に近接対向して配置されている、請求項７に記載の振動アクチュエータ。

【請求項9】

前記接続部材の先端部は、前記弾性部材に貫通形成された貫通孔に挿通されると共に、押し潰されてかしめられた状態で前記弾性部材に接合されている、請求項７又は請求項８に記載の振動アクチュエータ。

【請求項10】

前記可動子において、前記マグネット及び前記ヨークは接着剤を介して接合され、互いに対向する接着面の少なくとも一方に接着方向に窪んだ凹部が形成され、
前記凹部は、接着面の外周に沿って延在し、前記接着剤の一部を収容可能に構成されている、請求項１～請求項９の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。

【請求項11】

筒状のケースと、
前記ケースに設けられたコイルと、
前記ケースの軸方向の一端と他端にそれぞれ設けられた弾性部材と、
マグネットとヨークを含み、前記コイルと共に磁気駆動部を構成し、前記弾性部材を介して前記ケースに支持された状態で前記ケースの軸方向に沿って振動する可動子とを備え、
前記マグネットは、振動方向に間隔を設けて配置される第１マグネットと第２マグネットを有し、
前記ヨークは、その一部が前記第１マグネットと前記第２マグネットに挟み込まれるようにして前記第１マグネット及び前記第２マグネットと振動方向に接合されている、
振動アクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、振動アクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、筒状のケースの内周にヨークとコイルを固定してケース側駆動部（固定子）を構成し、マグネットとポールピースとマスで構成した可動子をケースに弾性支持させる振動アクチュエータが開示されている。この振動アクチュエータでは、コイルに交流の電力を通電させて可動子の磁気回路との間に磁気反発と磁気吸着を発生させて可動子を振動させている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開ＷＯ２０２０／１７５６１０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、可動子の推力を増強させるためには、マグネットとヨークとの間のギャップを小さくすることが望ましい。

【0005】

一方で、マグネットの磁力によって、マグネットとヨークの間には、互いに引き寄せあう方向の力が作用している。従って、上記特許文献１のように、固定子を構成するヨークに対してマグネットの位置が変位する場合、マグネットとヨークとの間のギャップが小さすぎると、磁力によってマグネットがヨークに引き寄せられて可動子の軸心がずれる虞がある。

【0006】

本開示は上記事実を考慮し、可動子の軸心がずれることを防止して、マグネットとヨークとの間のギャップを小さくすることができる振動アクチュエータを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の第１の態様に係る振動アクチュエータは、筒状のケースと、前記ケースに設けられたコイルと、前記ケースの軸方向の一端と他端にそれぞれ設けられた弾性部材と、マグネットとヨークを含み、前記コイルと共に磁気駆動部を構成し、前記弾性部材を介して前記ケースに支持された状態で前記ケースの軸方向に沿って振動する可動子と、を備え、前記可動子において、前記ヨークは、前記可動子の中心部に設けられている、振動アクチュエータ。

【0008】

第１の態様に係る振動アクチュエータでは、筒状のケースに設けられたコイルと共に磁気駆動部を構成し、弾性部材を介してケースに支持された状態で、ケースの軸方向に沿って振動する可動子を備えている。この可動子は、マグネットとヨークを含んで構成され、ヨークは、可動子の中心部に設けられ、マグネットと一体に振動する。従って、ヨークに対してマグネットの位置が変位しない。その結果、マグネットの磁力によって可動子の軸心がずれることが防止され、マグネットとヨークとの間のギャップを小さくすることができる。

【0009】

本開示の第２の態様に係る振動アクチュエータは、第１の態様に記載の前記可動子において、前記マグネットは、振動方向に間隔を設けて配置され、前記ヨークの振動方向一方側に配置される第１マグネットと、前記ヨークの振動方向他方側に配置される第２マグネットを有している。

【0010】

第２の態様に係る振動アクチュエータによれば、マグネットは、ヨークに対して振動方向の一方側に配置される第１マグネットと他方側に配置される第２マグネットで構成され、振動方向に間隔を空けて配置される二つのマグネットの間にヨークの一部を配置することでマグネットの振動方向の中心にヨークを通して連結している。これにより、マグネットの振動方向の中心にヨークを通す複雑な構造部を必要とせずに、マグネットとヨークを容易に連結させることができる。

【0011】

本開示の第３の態様に係る振動アクチュエータは、第２の態様に記載の構成の前記可動子において、前記第１マグネット及び第２マグネット着磁方向は、振動方向に沿って同一方向とされている。

【0012】

第３の態様に係る振動アクチュエータでは、第１マグネットと第２マグネットの着磁方向が軸方向に同一方向とされているため、中心を通るヨークを挟んで第１マグネットと第２マグネットとの間に強力な磁気吸着力が作用する。これにより、磁気吸着力を利用してマグネットとヨークを強固に連結することができ、部材間の接着強度を容易に確保することができる。

【0013】

本開示の第４の態様に係る振動アクチュエータは、第１の態様～第３の態様の何れか１態様に記載の前記可動子において、前記ヨークは、前記マグネットの振動方向の中心を通る中心部と前記中心部の外縁から振動方向の一方側と他方側に延び、前記マグネットの外周を覆う側部とを有している。

【0014】

第４の態様に係る振動アクチュエータでは、マグネットの振動方向の中心を通るヨークの中心部に対して、振動方向の一方側と他方側に側部が延びてマグネットの外周を覆っている。これにより、ヨークの中心部を隔てて振動方向の両側に二つの磁気ギャップを形成することができる。振動方向に間隔を空けて二つのコイルを配置して、それぞれをケース内の二つの磁気ギャップに配置する構造の振動アクチュエータは従来から存在する。しかしながら、これらは、振動方向の中心に一つのマグネットを配置して磁気ギャップを形成することが一般的であるため、振動質量を考慮して磁気ギャップの位置を調整することが難しい。これに対して、ヨークの中心部を隔てて振動方向の両側に二つの磁気ギャップを形成することができる構成とすることで、ヨークの中心部の板厚を変更して振動質量や磁気ギャップの位置の調整を容易に行うことができる。

【0015】

本開示の第５の態様に係る振動アクチュエータは、第４の態様の何れか１態様に記載の構成において、前記可動子は、前記マグネットに対して振動方向の外側に配置されたポールピースを更に備え、前記コイルは、前記マグネットの外周側で前記ポールピースと前記ヨークとの間に配置され、前記ポールピースと前記ヨークとの間に形成される磁気ギャップの中に配置される第１領域と、振動方向に前記磁気ギャップから露出した第２領域と、を有している。

【0016】

第５の態様に係る振動アクチュエータでは、マグネットに対して振動方向の外側にポールピースが配置されており、ポールピースとヨークとの間に形成される磁気ギャップにコイルが配置されている。ここで、コイルは、磁気ギャップの中に配置される第１領域と、振動方向に磁気ギャップから露出した第２領域と、を有している。これにより、コイルに対して可動子が相対的に変移する振動状態において、磁気ギャップの中に配置されるコイルの領域を確保することができ、コイルを貫く磁束を安定させることができる。また、振動質量の増加によって可動子の変位が大きくなった場合でも、同一の構造にて対応することができる。

【0017】

本開示の第６の態様に係る振動アクチュエータは、第５の態様に記載の構成において、前記ケースに設けられ、前記ポールピースの外周を覆う筒状のボビンを備え、前記コイルは、前記ボビンの外周に巻回されている。

【0018】

第６の態様に係る振動アクチュエータでは、ケースに設けられた筒状のボビンによってポールピースの外周が覆われており、ボビンの外周にコイルが巻回されている。即ち、可動子を構成するポールピースと固定子を構成するコイルとの間にボビンが配置されている。これにより、ケースに対して外部からの強い衝撃が加わった際にも、ポールピースとボビンとの間の絶縁を確保することができる。

【0019】

本開示の第７の態様に係る振動アクチュエータは、第１の態様～第６の態様の何れか１態様に記載の構成において、前記可動子は、前記ケースの軸中心に沿って配置された接続部材を介して 前記弾性部材に支持されている。

【0020】

第７の態様に係る振動アクチュエータでは、ケースの軸方向に振動する可動子が、接続部材を介してケースの軸方向の一端と他端に設けられた弾性部材に支持されている。これにより、ケース側に設けられた弾性部材との接合のために、可動子を複雑な形状にすることを要しないため、部品のコスト低減を図ることができる。

【0021】

本開示の第８の態様に係る振動アクチュエータは、第７の態様に記載の構成において、前記ケースは、内周との間に間隙を設けて配置される円筒状の延在部を有し、前記接続部材は、前記延在部の内側に配置されると共にその最外周部が前記延在部の内周に近接対向して配置されている。

【0022】

第８の態様に係る振動アクチュエータによれば、ケースは、内周との間に間隙を設けて配置される円筒状の延在部を有しており、延在部の内側に接続部材が配置される。ここで、接続部材は、その最外周部が延在部に近接対向して配置されるため、ケースに対して外部からの強い衝撃が加わった際にも、接続部材の最外周部が延在部に当接して可動部がコイルに接触することを抑制することができる。

【0023】

本開示の第９の態様に係る振動アクチュエータは、第７の態様又は第８の態様に記載の構成において、前記接続部材の先端部は、前記弾性部材に貫通形成された貫通孔に挿通されると共に、押し潰されてかしめられた状態で前記弾性部材に接合されている。

【0024】

第９の態様に係る振動アクチュエータでは、接続部材は、先端部を押し潰してかしめることにより、弾性部材に接合されている。従って、接続部材と弾性部材とを接合するために接合用のネジ等の追加部品が必要とされないため、部品のコスト低減を図ることができる。

【0025】

本開示の第１０の態様に係る振動アクチュエータは、第１の態様～第９の態様の何れか１態様に記載の構成において、前記可動子において、前記マグネット及び前記ヨークは接着剤を介して接合され、互いに対向する接着面の少なくとも一方に接着方向に窪んだ凹部が形成され、前記凹部は、接着面の外周に沿って延在し、前記接着剤の一部を収容可能に構成されている。

【0026】

第１０の態様に係る振動アクチュエータでは、可動子を構成するマグネットとヨークが接着剤を介して接合されている。ここで、マグネットとヨークの互いに対向する接着面には、少なくとも一方に接着方向に窪んだ凹部が形成されている。この凹部は、接着面の外周に沿って延在し、接着剤の一部を収容可能に構成されている。これにより、マグネットとヨークを接着する際に、余った接着剤の一部は、外周側に押し出されて凹部内に収容される。その結果、接着面の外側に余剰分の接着剤が漏れ出ることで、接着剤とコイルとが干渉することを抑制することができる。

【0027】

本開示の第１１の態様に係る振動アクチュエータは、筒状のケースと、前記ケースに設けられたコイルと、前記ケースの軸方向の一端と他端にそれぞれ設けられた弾性部材と、マグネットとヨークを含み、前記コイルと共に磁気駆動部を構成し、前記弾性部材を介して前記ケースに支持された状態で前記ケースの軸方向に沿って振動する可動子とを備え、前記マグネットは、振動方向に間隔を設けて配置される第１マグネットと第２マグネットを有し、前記ヨークは、その一部が前記第１マグネットと第２マグネットに挟み込まれるようにして前記第１マグネット及び前記第２マグネットと振動方向に接合されている。

【0028】

第１１の態様に係る振動アクチュエータでは、筒状のケースに設けられたコイルと共に磁気駆動部を構成し、弾性部材を介してケースに支持された状態で、ケースの軸方向に沿って振動する可動子を備えている。この可動子は、マグネットとヨークを含んで構成され、マグネットは、振動方向に間隔を設けて配置される第１マグネットと第２マグネットを有している。ここで、ヨークは、その一部が第１マグネットと第２マグネットに挟み込まれるようにして前記第１マグネット及び前記第２マグネットと振動方向に接合されている。これにより、ヨークが可動子の一部を構成してマグネットと一体に振動するため、ヨークに対してマグネットの位置が変位しない。その結果、マグネットの磁力によって可動子の軸心がずれることが防止され、マグネットとヨークとの間のギャップを小さくすることができる。

【発明の効果】

【0029】

以上説明したように、本開示に係る振動アクチュエータでは、可動子の軸心がずれることを防止して、マグネットとヨークとの間のギャップを小さくすることができるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】本実施形態に係る振動アクチュエータであって、その一部をケースの軸方向の中心線に沿って切断して示す部分断面斜視図である。

【図2】本実施形態に係る可動子の分解斜視図である。

【図3】本実施形態に係る振動アクチュエータをケースの軸方向の中心線に沿って切断した断面図である。

【図4】本実施形態に係る振動アクチュエータの作動を説明する概略図である。

【図5】本実施形態に係る振動アクチュエータの使用例の一例を示す図３に対応する断面図である。

【図6】実施例に係る振動アクチュエータの周波数と変移の関係を示す図である。

【図7】実施例に係る振動アクチュエータの周波数と加速度の関係を示す図である。

【図8】実施例に係る振動アクチュエータの周波数と加振力の関係を示す図である。

【図9】本実施形態の振動アクチュエータの第１の変形例を示す図３に対応する断面図である。

【図10】本実施形態の振動アクチュエータの第２の変形例を示す図３に対応する断面図である。

【図11】本実施形態の振動アクチュエータの第３の変形例を示す図３に対応する断面図である。

【図12】本実施形態の振動アクチュエータの第４の変形例を示す図３に対応する断面図である。

【図13】本実施形態の振動アクチュエータの第５の変形例を示す図３に対応する断面図である。

【図14】本実施形態の振動アクチュエータの第６の変形例を示す図３に対応する断面図である。

【図15】本実施形態の振動アクチュエータの第７の変形例であって、マグネットの着磁方向を示す、図４に対応する概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

以下、図１～図５を参照して本実施形態に係る振動アクチュエータ１について説明する。なお、図１～図４の各図に適宜示される線分Ｏは、振動アクチュエータ１の振動方向（軸方向）の中心線を示している。

【0032】

図１～図３に示されるように、本実施形態の振動アクチュエータ１は、その振動方向１／２の箇所（振動方向の中心）において中心線Ｏと直交する対称面Ｓ（図３参照）を境界として、同一形状の部材を設けたものである。そこで、各部材の構成については、対称形の一方の構成のみを説明し、他方については特別に必要がない限りは同一の符号を付すことで説明は省略する。また、「可動子の中心部」という場合には、可動子における振動方向の中心側をいい、中心線Ｏを軸心とする内外方向については、中心線Ｏを基準として内周或いは外周と表現する。

【0033】

振動アクチュエータ１は、主に、外殻をなす円筒状のケース１０と、ケース１０の内部に設けられた固定子２０と、固定子２０により振動可能な可動子３０と、可動子３０の振動軸方向の両端部をそれぞれケース１０に対して弾性支持する板バネ２を備えている。

【0034】

ケース１０は、振動アクチュエータ１の振動方向を軸方向とする円筒状のケース本体１２と、その両端開口を塞ぐ図示しないカバーケース、及びケース本体１２の開口部の近傍の内周部分に設けられたコイルフレーム１４を備えている。本実施形態において、ケース本体１２、カバーケース及びコイルフレーム１４は、それぞれＡＢＳ等の樹脂材料からなるが、樹脂材料に限定されるものではない。また、ケース本体１２の外面には、リード線が接続される図示しないターミナルが形成されている

【0035】

コイルフレーム１４は、ケース本体１２の開口部に沿って設けられた環状の枠部１４Ａを有している。この枠部１４Ａには、内周部分から突出して設けられた複数のボス部１６を有している。本実実施形態では、枠部１４Ａの周方向に沿って等間隔に三つのボス部１６が設けられている。枠部１４Ａの上方側には板バネ２の外周部が配置され、ボス部１６に加締められるピン１８を用いて板バネ２がコイルフレーム１４に固定されている。なお、ケース本体１２とコイルフレーム１４の枠部１４Ａとは、ネジや接着、溶着により接合してもよい。

【0036】

更に、コイルフレーム１４には、枠部１４Ａの内側で段差部１４Ｂを介して形成された延在部１４Ｃを有している。延在部１４Ｃは、段差部１４Ｂの内縁から振動方向中心側に延びる略円筒状を成しており、外径の寸法が枠部１４Ａの外径よりも小径に形成されている。この延在部１４Ｃは、ケース本体１２の内周面に対して径方向内側に間隔を設けて配置され、ケース本体１２の内周と対向する外周側で固定子２０を支持している。

【0037】

振動アクチュエータ１は、ケース１０の内部に設けられた固定子２０と、固定子２０により振動可能な可動子３０によって電磁駆動部を構成する。

【0038】

固定子２０は、紙材で形成されたボビン２２と、ボビン２２に固定されたコイル２４とを有している。ボビン２２は、コイルフレーム１４の延在部１４Ｃの外周に接着剤を用いて固定されており、延在部１４Ｃから振動方向中心側に延びる略円筒状を成している。コイル２４は、ボビン２２の外周に沿って巻回され、接着剤を用いてボビン２２に固定されている。

【0039】

コイル２４は、ケース１０内において、ケース本体１２の内周との間に間隙を設けて配置されている。また、コイル２４は、後述するヨーク３２とポールピース３６との間の磁気ギャップＧに配置されている。振動時におけるポールピース３６とのコイル２４との接触を防止するために、ポールピース３６の表面（外周）を覆うようにボビン２２がコイルフレーム１４に支持されて、ボビン２２の内周とポールピース３６の外周との間に間隙が設けられている。コイル２４のリード線はケース本体１２の外面側で図示しないターミナルに接続され、ターミナルからの通電により磁場を発生可能となっている。

【0040】

可動子３０は、円筒状のケース１０の軸方向である中心線Ｏ方向に沿って振動するように、ケース本体１２内に配置されている。可動子３０は、ヨーク３２と、マグネット３４と、ポールピース３６と、接続部材４０と、を備えている。マグネット３４、ポールピース３６及び接続部材４０は、ケース本体１２の内部において振動方向の中心から外側に向かってこの順で配置されている。また、本実施形態において、ヨーク３２及びポールピース３６は金属製の軟磁性材料で形成され、接続部材４０はＡＢＳ等の樹脂材料で形成されている。

【0041】

ヨーク３２は、振動方向の外側に向かって開口する有底筒状に形成されており、中心部３２１と側部３２２とを備えている。中心部３２１は、円板状を成し、ケース本体１２の振動方向の中心に配置されている。側部３２２は、中心部３２１の外縁から振動方向の外側に延びる円筒状を成している。このヨーク３２は、中心線Ｏ方向（振動方向）と直交する対称面Ｓに対し、対称を成して配置される他方側のヨーク３２と互いの中心部３２１同士を接着させて一体化されている。即ち、ケース本体１２の振動方向の中心に対して一方側と他方側に配置される二つのヨーク３２が一体化されることにより、ケース本体１２の内部には、振動方向に沿った断面が略Ｈ形状を成すヨーク３２が配置されている。

【0042】

マグネット３４は、略円板状を成し、ヨーク３２の中心部３２１の振動方向外側に配置されている。更に、マグネット３４の振動方向外側には、円板状を成すポールピース３６が配置されている。上述したヨーク３２の側部３２２は、マグネット３４及びポールピース３６の外周を覆い、マグネット３４及びポールピース３６の外周と側部３２２の内周との間に間隙を設けて配置されている。そして、ポールピース３６とヨーク３２との間に形成された磁気ギャップＧの中に固定子２０のコイル２４が配置されている。

【0043】

ここで、コイル２４は、磁気ギャップＧの中に配置される領域（第１領域）と、磁気ギャップＧから振動方向に露出した領域（第２領域）とを有している。このため、コイル２４に対して可動子３０が相対的に変移する振動状態において、磁気ギャップＧの中に配置されるコイルの領域を確保することができ、コイル２４を貫く磁束を安定させることができる。

【0044】

なお、ここでいう磁気ギャップＧとは、ポールピース３６の外周とヨーク３２の側部３２２の内周とが対向する領域である。

【0045】

図３に示されるように、ポールピース３６は接続部材４０を介して板バネ２の中心に接続されている。 接続部材４０は、振動方向を軸方向とする円筒状を成し、ケース本体１２の軸中心に沿って配置されている。接続部材４０は、その両端開口がポールピース３６及び板バネ２の軸中心に貫通形成された貫通孔３６１，２１と同軸的に配置されている。ポールピース３６と接続部材４０は、ポールピース３６の貫通孔３６１と接続部材４０の開口に振動方向の中心側から第１固定ピン４２が挿入されることにより、固定されている。接続部材４０と板バネ２は、板バネ２の貫通孔２１と接続部材４０の開口に振動方向の外側から第２固定ピン４４が挿通されることにより、固定されている。これにより、ヨーク３２、マグネット３４及びポールピース３６で構成される可動子３０が板バネ２を介してケース１０に弾性支持されている。

【0046】

以下、振動アクチュエータ１の内部の対称性の成す構成について説明する。なお、以下では、説明を分かりやすくするために、ケース１０の振動方向の中心に対し一方側に配置された可動子３０を第１可動子３０Ａと称し、第１可動子３０Ａを構成するヨーク３２、マグネット３４、ポールピース３６をそれぞれ、ヨーク３２Ａ、第１マグネット３４Ａ、第１ポールピース３６Ａと称して説明する。また、ケース１０の振動方向の中心に対し他方側に配置された可動子３０を第２可動子３０Ｂと称し、第２可動子３０Ｂを構成するヨーク３２、マグネット３４、ポールピース３６をそれぞれ、第２ヨーク３２Ｂ、第２マグネット３４Ｂ、第２ポールピース３６Ｂと称して説明する。また、第１可動子３０Ａの磁気ギャップＧに配置されたコイル２４を第１コイル２４Ａと称し、第２可動子３０Ｂの磁気ギャップＧに配置されたコイル２４を第２コイル２４Ｂと称して説明する。

【0047】

本実施形態の振動アクチュエータ１では、ケース１０の振動方向の一方側に配置された第１可動子３０Ａと、他方側に配置された第２可動子３０Ｂとを有している。第１可動子３０Ａ及び第２可動子３０Ｂは、振動方向と直交する対称面Ｓに対して対称構造を成すように配置され、これにより、第１可動子３０Ａの第１マグネット３４Ａと第２可動子３０Ｂの第２マグネット３４Ｂとが振動方向に間隔を設けて配置される。そして、ヨーク３２Ａと第２ヨーク３２Ｂの中心部３２１が、第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂに挟み込まれるようにして、第１マグネット３４Ａ及び第２マグネット３４Ｂと振動方向に接合されている。即ち、本実施形態のヨーク（ヨーク３２Ａ，第２ヨーク３２Ｂ）は、その一部がマグネット３４（第１マグネット３４Ａ，第２マグネット３４Ｂ）の振動方向の中心を通って配置されている。これにより、磁気駆動部を構成する第１マグネット３４Ａ及び第２マグネット３４Ｂは、ヨーク３２Ａ及び第２ヨーク３２Ｂとの相対的な位置関係が変位されない状態で振動する構成となっている。

【0048】

ここで、第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂの着磁方向は、振動方向に沿って同一方向とされている。このため、図４に矢印で示されるように、本実施形態の第１可動子３０Ａ及び第２可動子３０Ｂでは、第２マグネット３４Ｂの磁力線がヨーク３２Ａ及び第２ヨーク３２Ｂの中心部３２１を通って第１マグネット３４Ａに至り、磁気ギャップＧ、ヨーク３２Ａの側部３２２、第２ヨーク３２Ｂの側部３２２を経て磁気ギャップＧを通る磁気回路が形成されている。従って、振動方向に沿って配置された各部材が磁気吸着力によって強力に連結されている。

【0049】

本実施形態では、第１可動子３０Ａと第２可動子３０Ｂとの間に反発磁界が生じないため、第１可動子３０Ａと第２可動子３０Ｂの組立後に着磁することができる。

【0050】

図３に示されるように、振動アクチュエータ１は、ケース１０の軸方向の一端に取り付けられた第１板バネ２Ａと、他端に取り付けられた第２板バネ２Ｂとを有する。第１可動子３０Ａ及び第２可動子３０Ｂは、ケース１０の軸中心（中心線Ｏ）に沿って配置される接続部材４０を介して第１板バネ２Ａと第２板バネ２Ｂにそれぞれ支持されている。

【0051】

なお、接続部材４０は、ＡＢＳ等の軽量な樹脂材料で形成してもよい。若しくは、金属や樹脂等の比較的重い非磁性材料で形成し、第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂと第１及び第２板バネ２Ａ，２Ｂとの間の負荷質量を調整するためのマスとして構成されてもよい。

【0052】

第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂは、金属製の一枚ないし複数枚の板バネで構成されており、例えば本実施形態ではステンレスの薄板を加工したものを使用している。第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂの材料は、金属に限らず樹脂や繊維を含む複合材料であってもよい。また、第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂの材料は、耐久性及び可撓性に優れた材料であればよく、例えば、コイルバネでもよい。なお、第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂが、本開示における「弾性部材」に相当する。

【0053】

第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂのそれぞれは、中心部から外周方向へ渦巻き状に延びる三本の腕部２３を有しており、各腕部２３の外周端がコイルフレーム１４の枠部１４Ａとケース本体１２のボス部１６に連結されて、支持されている。

【0054】

本実施形態において、第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂは、対称面Ｓを境界として対称形に設けられている。これら２つの板バネの腕部２３の渦巻き方向は互いに逆方向になっている。これにより、振動アクチュエータ１の振動時において、第１可動子３０Ａおよび第２可動子３０Ｂは、第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂから各々逆方向のトルクを受けるため、振動方向に振動しても、中心線Ｏに沿った軸周りに回転しない。

【0055】

このように構成された第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂは、振動方向（中心線Ｏ方向）及び振動方向と直交する対称面Ｓの面方向において所定の範囲で弾性変形可能である。なお、この所定の範囲は、振動アクチュエータ１として通常に使用した場合の第１可動子３０Ａ及び第２可動子３０Ｂの振幅範囲に相当する。従って、所定の範囲は少なくとも第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂがケース１０に接触しない範囲であり、第１板バネ２Ａ及び第２板バネ２Ｂの弾性変形の限界を超えない範囲である。

【0056】

（作用並びに効果）

【0057】

以上のように構成された振動アクチュエータ１において、第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂは、第１及び第２コイル２４Ａ、２４Ｂに通電していない状態では、図３に示すように、第１及び第２コイル２４Ａ、２４Ｂの中央に位置している。

【0058】

第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂを振動させる際には、ケース１０の外面に設けたターミナル（不図示）を介して、第１及び第２コイル２４Ａ、２４Ｂに交互に逆極性の磁界を発生させる向きに交流の電力を通電させる。即ち、第１及び第２コイル２４Ｂの隣り合う部分に同極が発生するようになっている。

【0059】

例えば、図４に示す極性の場合、第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂには実線矢印Ａで示す振動方向他方側（図４では下方側）への推力が発生し、第１及び第２コイル２４Ａ、２４Ｂへ流す電流を反転させれば、第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂには点線矢印Ｂで示す振動方向一方側（図４では上方側）への推力が発生する。

【0060】

このように、第１及び第２コイル２４Ａ、２４Ｂに交流の電力を通電させると、第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂは、第１及び第２板バネ２Ａ，２Ｂによる付勢力を両側から受けながら、中心線Ｏ方向に沿って振動する。

【0061】

ところで、第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂに発生する推力は、基本的にはフレミングの左手の法則に基づいて与えられる推力に準じられる。本実施形態では、第１及び第２コイル２４Ａ、２４Ｂがケース１０に固定されているため、第１及び第２マグネット３４Ａ，３４Ｂが取り付けられた第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂに、第１及び第２コイル２４Ａ、２４Ｂに発生する力の反力としての推力が発生する。よって、第１及び第２マグネット３４Ａ，３４Ｂの磁束の水平成分（対称面Ｓの面方向の成分）が推力に寄与している。そして、第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂは、第１及び第２マグネット３４Ａ，３４Ｂの磁束の水平成分を増大するものであるため、第１及び第２マグネット３４Ａ，３４Ｂと第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂとの間には、互いに引き合う磁力が作用している。

【0062】

従って、仮に、第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂが、ケース１０側に固定される固定子を構成した場合において、第１及び第２マグネット３４Ａ，３４Ｂと第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂとの間のギャップが小さくなり過ぎると、互いに引き合う磁力の作用によって可動子３０の軸心がずれる虞がある。このため、第１及び第２可動子３０Ａ，３０Ｂの推力を増強させるために、第１及び第２マグネット３４Ａ，３４Ｂと第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂとの間のギャップを小さくすることが困難になる。

【0063】

これに対して、本実施形態によれば、第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂから成るヨーク３２は、その一部が第１及び第２マグネット３４Ａ、３４Ｂから成るマグネット３４の振動方向の中心を通り、マグネット３４と振動方向に接合されている。従って、ヨーク３２が可動子３０の一部を構成してマグネット３４と一体に振動するため、ヨーク３２に対してマグネット３４の位置が変位しない。その結果、マグネット３４の磁力によって可動子３０の軸心がずれることが防止され、マグネット３４とヨーク３２との間のギャップを小さくすることができる。

【0064】

また、本実施形態によれば、マグネット３４は、ヨーク３２の中心部３２１に対して振動方向の一方側に配置される第１マグネット３４Ａと他方側に配置される第２マグネット３４Ｂで構成され、振動方向に間隔を空けて配置される二つのマグネットの間にヨークの一部を配置することでマグネット３４の振動方向の中心にヨーク３２を通して連結している。これにより、マグネット３４の振動方向の中心にヨークを通す複雑な構造部を必要とせずに、マグネット３４とヨーク３２を容易に連結させることができる。

【0065】

また、本実施形態によれば、第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂの着磁方向が軸方向に同一方向とされているため、中心を通るヨーク３２の中心部３２１を挟んで第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂとの間に強力な磁気吸着力が作用する。これにより、磁気吸着力を利用してマグネット３４とヨーク３２を強固に連結することができ、部材間の接着強度を容易に確保することができる。

【0066】

また、本実施形態によれば、ヨーク３２Ａと第２ヨーク３２Ｂを連結して一体化し、振動方向に沿った断面形状がＨ形状を成す一つのヨーク３２を構成している。従って、マグネット３４の振動方向の中心を通るヨーク３２の中心部３２１に対して、振動方向の一方側と他方側に側部３２２が延びてマグネット３４の外周を覆っている。これにより、ヨーク３２の中心部３２１を隔てて振動方向の両側に二つの磁気ギャップＧを形成することができる。振動方向に間隔を空けて二つのコイルを配置して、それぞれをケース内の二つの磁気ギャップに配置する構造の振動アクチュエータは従来から存在する。しかしながら、これらは、振動方向の中心に一つのマグネットを配置して磁気ギャップを形成することが一般的であるため、振動質量を考慮して磁気ギャップの位置を調整することが難しい。これに対して、ヨーク３２の中心部３２１を隔てて振動方向の両側に二つの磁気ギャップＧを形成することができる構成とすることで、ヨーク３２の中心部３２１の板厚を変更して振動質量や磁気ギャップＧの位置の調整を容易に行うことができる。

【0067】

また、本実施形態では、マグネット３４に対して振動方向の外側にポールピース３６が配置されており、ポールピース３６とヨーク３２との間に形成される磁気ギャップＧにコイル２４が配置されている。ここで、コイル２４は、磁気ギャップＧの中に配置される第１領域と、振動方向に磁気ギャップＧから露出した第２領域と、を有している。これにより、コイル２４に対して可動子３０が相対的に変移する振動状態において、磁気ギャップＧの中に配置されるコイル２４の領域を確保することができ、コイル２４を貫く磁束を安定させることができる。また、振動質量の増加によって可動子３０の変位が大きくなった場合でも、同一の構造にて対応することができる。

【0068】

また、本実施形態によれば、ケース１０に設けられた筒状のボビン２２によってポールピース３６の外周が覆われており、ボビン２２の外周にコイル２４が巻回されている。即ち、可動子３０を構成するポールピース３６と固定子２０を構成するコイル２４との間にボビン２２が配置されている。これにより、ケース１０に対して外部からの強い衝撃が加わった際にも、ポールピース３６とボビン２２との間の絶縁を確保することができる。

【0069】

また、本実施形態では、ケース１０の軸方向に振動する可動子３０が、接続部材４０を介して間にマスを介さずにケース１０の軸方向の一端と他端に設けられた第１板バネ２Ａと第２板バネ２Ｂに弾性支持されている。これにより、振動アクチュエータ１では、重量やバランス特性を考慮した複雑な形状のマスが必要とされないため、部品のコスト低減を図ることができる。

【0070】

また、本実施形態では、ヨーク３２Ａ、第１マグネット３４Ａ及び第１ポールピース３６Ａを有する第１可動子３０Ａと、第２ヨーク３２Ｂ、第２マグネット３４Ｂ及び第２ポールピース３６Ｂを有する第２可動子３０Ｂによって可動子３０が構成されている。ここで、第１可動子３０Ａと第２可動子３０Ｂは、ケース１０の振動方向の中心側でヨーク３２Ａ及び第２ヨーク３２Ｂを対向させて接合し、振動方向に対称構造を成して配置されている。これにより、共通する機能部品を第１可動子３０Ａと第２可動子３０Ｂで共用することができ、部品コストを低減させることができる。また、組立を容易にすることができる。

【0071】

更にまた、本実施形態の振動アクチュエータ１は、多様な用途での実施が可能である。例えば、携帯電話やスマートフォン等の携帯端末、ゲーム機のコントローラ、美顔器、マッサージ器等を含む美容機器、並びにダイヤフラムポンプ等の端末の振動のための用途で用いることができる。なお、本実施形態に係る第１及び第２板バネ２Ａ，２Ｂの振幅（変位量）は、これらの板バネの硬さを変更し、より弾性変形し易くすることで大きくすることができる。このため、図５に示す一例のように、第１可動子３０Ａと第１板バネ２Ａとを連結する接続部材５０の先端を弾性材料から成るダイヤフラム７０に固定することによって、ダイヤフラム７０の往復動作のためのアクチュエータとして用いることができる。

【0072】

図５に示す一例では、接続部材５０の先端が、筐体６０に固定されたダイヤフラム７０の中心に接続されている。筐体６０には、ダイヤフラム７０と対向する上面に吸引用の開口部６２が形成されており、振動アクチュエータ１の作動により、ダイヤフラム７０が振動方向の他方側（図５では下方側）に変位すると、筐体６０の開口部６２から外部の空気が吸引される。このように、本実施形態の振動アクチュエータ１は、気体の吸引用の用途で用いることも可能である。なお、図５では、図面を分かりやすくするために、一部の符号を省略して図示している。

【0073】

なお、接続部材５０について補足すると、接続部材５０は、ケース１０の軸中心に沿って配置された第１接続部材５２と第２接続部材５４によって構成されている。第１接続部材５２は、振動方向を軸方向とする円柱状を成し、第１可動子３０Ａと第１板バネ２Ａとの間に配置されている。第１接続部材５２は、振動方向の中心側の端部は、上記実施形態の接続部材４０と同様に第１固定ピン４２を用いて第１ポールピース３６Ａに機械的に接合されている。第１接続部材５２の振動方向外側の端部には、第１板バネ２Ａの貫通孔２１に挿通され、振動方向の外側に突出した突起部５２１が形成されている。第２接続部材５４は、振動方向を軸方向とする円柱状を成し、振動方向中心側の端部に第１接続部材５２の突起部５２１に対応して設けられた凹部５４１が形成されている。第１接続部材５２及び第２接続部材５４は、第１板バネ２Ａを挟むようにして突起部５２１を凹部５４１に挿入した状態で固定されている。

【0074】

［実施例］
発明者らは、アクチュエータの用途別に本願発明の効果を確認するために、振動方向の中心に一つのマグネットが配置され、ヨークがケース側に固定される固定子を構成する従来例の振動アクチュエータ（例えば、国際公開ＷＯ２０２０／１７５６１０号に記載の振動アクチュエータ）と、振動用の用途のために設計された図１～図３に相当する振動アクチュエータ１と、吸引用の用途のために設計された図５に相当する振動アクチュエータ１のそれぞれについて、周波数（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ［Ｈｚ］）－変位（Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ［ｍｍ］）、周波数（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ［Ｈｚ］）－加速度（Ａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎ［ｍ／ｓｓ］）及び周波数（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ［Ｈｚ］）－加振力（Ｆｏｒｃｅｓ［Ｎ］）の関係を調べた。その結果を図６～図８に示す。

【0075】

図６～図８の各図では、従来例の振動アクチュエータについて実線で示し、振動用の用途のために設計された振動アクチュエータ１について破線で示し、吸引用の用途のために設計された振動アクチュエータ１について一点鎖線で示している。

【0076】

各実施例では、入力電力が１［Ｗ］に設定され、固定子を構成する二つのコイルの性能を同一の構成にした。また、樹脂材料で形成された上記実施形態の接続部材４０を金属の軟磁性材料から成る構成に変更し、接続部材４０を１００［ｇ］の負荷質量のマスとして構成した。更に、振動用の振動アクチュエータ１及び吸引用の振動アクチュエータ１では、従来例と比較して、振動質量（ヨーク、マグネット、ポールピース、及びマスの質量の加算値）が大きく設定され、且つ、磁気ギャップＧが小さく設定されている。

【0077】

振動用の振動アクチュエータ１と吸引用の振動アクチュエータ１との間の構成の違いは、第１及び第２板バネ２Ａ，２Ｂの機械的コンプライアンス値（バネ定数の逆数で示される）のみである。振動用の振動アクチュエータ１では、機械的コンプライアンス値が０．５０［ｍｍ／Ｎ］に設定され、吸引用では１．２５［ｍｍ／Ｎ］に設定されている。

【0078】

図６に示されるように、一点鎖線で示す吸引用の振動アクチュエータ１では、第１及び第２板バネ２Ａ，２Ｂの機械的コンプライアンス値が振動用に比べて大きく設定され、軟らかいバネが使用されているため、周波数が４０［Ｈｚ］以下の低周波数帯域で、変位量が従来例及び振動用のアクチュエータを上回っていることが分かる。

【0079】

図７に示されるように、破線で示す振動用の振動アクチュエータ１では、従来例と比較して、振動質量が上回り、加速度のピーク値が他の実施例を上回っている。

【0080】

図８に示されるように、破線で示す振動用の振動アクチュエータ１と実線で示す従来例では、マスによる質量負荷が共通していても、ヨーク、マグネット及びポールピースの質量を含む振動質量において、振動用の振動アクチュエータ１が従来例を上回るため、加振力の大きさが従来例を上回ることが分かる。

【0081】

[補足説明]
以上、本実施形態の振動アクチュエータ１について説明したが、各部の構成は、その要旨を変更しない範囲で変更又は組み合わせが可能である。また、本開示は、上記実施形態に限らず、図９～図１１に示す各変形例に係る構成を適用してもよい。なお、図９～図１１に示す各変形例は、変形した一部の部材を除き、基本的には、上記実施形態に係る振動アクチュエータ１の構成を踏襲している。従って、図面を分かりやすくするために、各図において、一部の符号を省略して図示している。

【0082】

（第１の変形例）
上記実施形態では、第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂによって、第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂの中心部３２１が直接挟み込まれるように構成されたが、本開示はこれに限らない。図９に示す第１の変形例に係る可動子８０（８０Ａ，８０Ｂ）のように、第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂの中心部３２１が、部材を介して第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂに挟み込まれる構成としてもよい。この第１の変形例では、第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂの中心部３２１と第１及び第２マグネット３４Ａ，３４Ｂとの間に金属の軟磁性材料で形成された円板状の中間ポールピース８２が配置されている。上記構成では、中間ポールピース８２のように、簡単な形状の軟磁性材料を用いて振動方向に沿った可動子８０の位置を調整することができるため、コイル２４に対する磁気ギャップの高さ調整が容易である。また、中間ポールピース８２を設けることで、固定子２０の先端と第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂの中心部３２１との距離を確保することができるため、コイル２４と第１及び第２ヨーク３２Ａ，３２Ｂとが干渉しない位置で可動子８０を振動させることができる。

【0083】

（第２の変形例）
また、上記実施形態では、それぞれが有底筒状に形成されたヨーク３２Ａと第２ヨーク３２Ｂを用いて、互いの中心部３２１を一体化させることにより、断面Ｈ形状のヨークを形成したが、本開示はこれに限らない。ヨーク３２Ａと第２ヨーク３２Ｂを一体に形成して、一つの部品として構成してもよい。即ち、図１０に示す第２の変形例に係る可動子９０のように、ケース１０内において振動方向の中心に配置される円板状の中心部９４の外縁に振動方向の一方側と他方側に延びる側部９６を一体に形成して、振動方向の断面がＨ形状を成すヨーク９２を形成してもよい。

【0084】

また、上記実施形態では、第１及び第２ポールピース３６Ａ，３６Ｂと接続部材４０が別部材で構成されたが、これに限らず、第２の変形例に係るポールピース１００のように、ポールピースと接続部材が一体に形成される構成でもよい。第２の変形例に係るポールピース１００では、円板状の本体部１０２に、ケース１０の軸中心に沿って立設された円柱状の接続部１０４が一体に形成されている。接続部１０４は、その先端部に形成された凹部１０４に第２固定ピン４４が挿通されて第１及び第２板バネ２Ａ，２Ｂに接続されている。

【0085】

（第３の変形例）
また、上記実施形態では、可動子３０と板バネ２を連結させる接続部材４０が細長い円筒状に形成されたが、本開示はこれに限らない。この第３の変形例では、接続部材１１０は、円筒状の接続部１１２と、接続部１１２の振動方向中心側の端部から径方向に広がる底部１１４と、底部１１４の外縁から振動方向の外側に立設された円筒状の外周壁部１１６とを備えている。そして、接続部材１１０の最外周部を構成する外周壁部１１６が、コイルフレーム１４の延在部１４Ｃに近接対向して配置されている。このため、振動アクチュエータ１に外部からの衝撃などが加わった際にも、接続部材１１０の外周壁部１１６がコイルフレーム１４の延在部１４Ｃに当接し、可動子３０とコイル２４の接触を抑制することができる。なお、この際、接続部材１１０の外周壁部１１６と延在部１４Ｃとの間の間隙の大きさを、可動子３０を構成するヨーク３２の側部３２２とコイル２４との間の間隙の大きさよりも小さく設定することで可動子３０とコイル２４との接触を確実に防止することができる。

【0086】

（第４の変形例）
また、上記図５では、接続部材５０を用いてダイヤフラム７０に固定される吸引用の振動アクチュエータ１の構成について説明したが、当該構成により、図１２に示すように振動アクチュエータ１をダイヤフラムポンプ１２０のアクチュエータを構成することができる。ダイヤフラムポンプ１２０の筐体１２２には、底面にダイヤフラム７０が固定され、ダイヤフラム７０の変形（振動）により、内部のチャンバＣの容積を変更可能に構成されている。筐体１２２には、チャンバＣと連通する第１流路１２４と第２流路１２６が形成されており、第１流路１２４には、吸引弁１３０が取り付けられており、図１２（Ａ）に示すように、チャンバＣの容積を増加させる方向にダイヤフラム７０が変位されると、吸引弁１３０が開いて吸気サイクルとなる。また、第２流路１２６には、吐出弁１４０が取り付けられており、図１２（Ｂ）に示すように、チャンバＣの容積を縮小させる方向にダイヤフラム７０が変位されると、吐出弁１４０が開いて吐出のサイクルとなる。

【0087】

（第５の変形例）
また、上記実施形態では、可動子３０（３０Ａ，３０Ｂ）と接続部材４０、接続部材４０と板バネ２（２Ａ，２Ｂ）が、それぞれ第１及び第２固定ピン４２，４４を介して接合される構成としたが、本開示はこれに限らない。図１３に示すように、固定用のピンやネジを使用せずに接合してもよい。

【0088】

即ち、図１３に示す振動アクチュエータ２００では、接続部材２５０と可動子２１０（２１０Ａ，２１０Ｂ）のポールピース２４０とが接着剤２６０を用いて固定されている。また、接続部材２５０と板バネ２は、接続部材２５０の先端部２５０Ａを板バネ２の軸中心に貫通形成された貫通孔２１に挿通されると共に、押し潰されてかしめられた状態で板バネ２に接合されている。これにより、接続部材２５０と板バネ２、並びに可動子２１０を接合するために接合用のネジ等の追加部品が必要とされないため、部品のコスト低減を図ることができる。

【0089】

更に、この振動アクチュエータ２００では、ケース３００を構成するケース本体３０２、コイルフレーム３０４及びコイルフレーム３０４とカバーケース３０６が、図示しない接着剤を用いて互い接合されている。そして、可動子２１０を構成するヨーク２２０、マグネット２３０及びポールピース２４０が接着剤２６０を用いて互いに接合されているため、接合用のネジやピンを用いることなく振動アクチュエータ２００を組み立てることができる。

【0090】

ここで、可動子２１０のヨーク２２０は、可動子の振動方向（中心線Ｏ方向）に沿った断面が略Ｅ形状を成している。このヨーク２２０には、底部を構成する円板状の中心部２２１と、中心部２２１の外縁から立設された円筒状の側部２２２と、側部２２２の内側で、中心部２２１から立設された円柱状の中柱部２２３とが一体に形成されている。即ち、この第５の変形例に係るヨーク２２０は、図９に示す第１の変形例のヨーク３２（３２Ａ，３２Ｂ）と中間ポールピース８２とが一体に形成された構成に相当する。従って、基本的には、第１の変形例に係る可動子８０（８０Ａ，８０Ｂ）の構成を踏襲しているため、同様の作用効果を奏する。また、中間ポールピース８２に相当する部材をヨーク２２０と一体に形成することで、部品点数を減らすことができる。

【0091】

また、変形例５のヨーク２２０及びポールピース２４０には、マグネット２３０と対向する接着面に接着方向に窪んだ凹部２７０がそれぞれ形成されている。凹部２７０は、接着面の外周に沿って延在しており、本実施形態では、リング状に形成されている。そして、マグネット２３０とヨーク２２０、マグネット２３０とポールピース２４０をそれぞれ接着する際に、余った接着剤２６０の一部は、接着面の外周側に押し出されて凹部２７０内に収容される。このようにして、接着面の外側に余剰分の接着剤が漏れ出ることを防止することがきるので、余剰分の接着剤とコイルとが干渉する懸念を生じない。これにより、可動子２１０の磁気ギャップＧを小さく設定することができる。

【0092】

なお、上記変形例５では、凹部２７０をヨーク２２０及びポールピース２４０の接着面に形成したが、これに限らない。凹部２７０は、ヨーク２２０、マグネット２３０及びポールピース２４０において、互いに対向する接着面の少なくとも一方に設ける構成とすればよく、凹部２７０をマグネット２３０の接着面に設ける構成としてもよい。

【0093】

（第６の変形例）
また、第５の変形例では、ヨーク２２０に中柱部２２３を設けることで、振動方向に沿った可動子８０の位置を調整する構成としたが、これに限らない。図１４に示す第６の変形例のように、振動方向に沿って間隔を空けて配置された二つのヨーク２２０の間に板状のスペーサ２８０を配置して、可動子８０の位置を調整してもよい。このスペーサ２８０は、磁気回路を構成しない非磁性体材料で形成してもよいし、軟磁性体材料で形成してヨーク２２０と共に磁気回路の一部を構成してもよい。なお、第６の変形例は、二つのヨーク２２０の間に板状のスペーサ２８０を配置する以外は、第５の変形例と同様の構成であるため、詳細な説明を割愛する。また、図１４では、図面を分かりやすくするために、一部の符号を省略して図示している。

【0094】

（第７の変形例）
なお、上記実施形態では、第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂ の着磁方向が、振動方向に沿って同一方向に設定されたが、本開示はこれに限らない。図１５に示す第７の変形例のように、第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂの着磁方向を、振動方向に沿って互いに逆方向に着磁することもできる。この場合、図１５に矢印で示すように、第１マグネット３４Ａによって、第１ポールピース３６Ａ、磁気ギャップＧを経てヨーク３２Ａを通る磁気回路が形成される。また、第２マグネット３４Ｂによって第２ポールピース３６Ｂ、磁気ギャップＧを経て第２ヨーク３２Ｂを通る磁気回路が形成される。

【0095】

上記の磁気回路では、第２マグネット３４Ｂが第１マグネット３４Ａの反発マグネットとなって磁気漏洩を抑制することができる。なお、第１ヨーク３２Ａと第２ヨーク３２Ｂとの間には反発磁界が発生するが、中心部３２１の厚みを確保することで第１ヨーク３２Ａと第２ヨーク３２Ｂを接合した際の機械的強度を確保することができる。また、第１可動子３０Ａと第２可動子３０Ｂは、予め、第１マグネット３４Ａと第２マグネット３４Ｂに着磁した後に、接着剤等を用いて接合することにより組み立てることができる。

【0096】

なお、上記各実施形態及び変形例では、ヨーク、マグネット、ポールピースの寸法及び形状が、第１可動子３０Ａと第２可動子３０Ｂとで同一に構成したが、必須ではない。即ち、磁気駆動部の可動子３０を、振動方向の中心に対して対称構造を成して配置することは必須ではなく、例えば、第１マグネット３４Ａの大きさと第２マグネット３４Ｂの大きさが異なる構成としてもよい。

【0097】

また、本実施形態では、ケース１０の内部に第１ヨーク３２Ａと第２ヨーク３２Ｂを配置したが、本開示はこれに限らない。即ち、少なくとも一つのヨークが可動子の中心部に設けられ、マグネットと振動方向に接合される構造であればよいので、ケース１０内から、第２ヨーク３２Ｂ、第２ポールピース３６Ｂ及び第２コイル２４Ｂを省いた構成としてもよい。

【0098】

なお、上記実施形態及び各変形例では、コイル２４は、磁気ギャップＧの中に配置される領域（第１領域）と、磁気ギャップＧから振動方向に露出した領域（第２領域）とを有する構成とされたが、本開示はこれに限らない。巻回されたコイルの軸方向のコイル長を短く設定し、コイルの全体が磁気ギャップＧの中に配置される構成としてもよい。当該構成においても、コイル長を短く設定することで可動子の振動中もコイル全体を磁気ギャップＧの中に配置させることができるため、コイルを貫く磁束を安定させ、コイルが受ける磁力の変化を低減させることができる。

【符号の説明】

【0099】

１ 振動アクチュエータ
２ 弾性部材（第１板バネ２Ａ，第２板バネ２Ｂ）
１０ ケース
１４Ｃ 延在部
２４ コイル
３４ マグネット（第１マグネット３４Ａ，第２マグネット３４Ｂ）
３２ ヨーク（３２Ａ，３２Ｂ）
３２１ 中心部
３２２ 側部
３６ ポールピース（３６Ａ，３６Ｂ）
３０ 可動子（３０Ａ，３０Ｂ）
２１ 貫通孔（弾性部材に貫通形成された貫通孔）
２２ ボビン
４０ 接続部材
５０ 接続部材
８０ 可動子（８０Ａ，８０Ｂ）
１１０ 接続部材
１１６ 外周壁部（最外周部）
２００ 振動アクチュエータ
２１０ 可動子（２００Ａ，２００Ｂ）
２５０ 接続部材
２５０Ａ先端部
２６０ 接着剤
２７０ 凹部
３００ ケース
Ｇ 磁気ギャップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】