特開 2023-69251 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023069251

(43)【公開日】2023-05-18

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230511BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021180997

(22)【出願日】2021-11-05

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】鳴河 正之

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA18

5F131EC33

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

(57)【要約】

【課題】フレーム部材に対して被着体が適切な位置となるように接着シートが貼付されたことを判定することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供する。
【解決手段】シート貼付装置ＥＡは、リングフレームＲＦおよび当該リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１内に配置された被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する貼付手段１０を備え、接着シートＡＳが貼付されたリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫ体において、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査する検査手段２０をさらに備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フレーム部材および当該フレーム部材の開口部内に配置された被着体に接着シートを貼付する貼付手段を備え、
前記接着シートが貼付された前記フレーム部材および前記被着体において、前記フレーム部材に対する前記被着体の位置を検査する検査手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記検査手段は、所定の第１仮想線に沿って前記フレーム部材の縁から前記被着体の縁までの距離である第１距離と、前記第１仮想線とは異なる所定の第２仮想線に沿って前記フレーム部材の前記縁から前記被着体の前記縁までの距離である第２距離とを測定し、前記第１距離および前記第２距離の各測定結果を基に前記フレーム部材に対する前記被着体の位置を検査することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

フレーム部材および当該フレーム部材の開口部内に配置された被着体に接着シートを貼付する貼付工程を実施し、
前記接着シートが貼付された前記フレーム部材および前記被着体において、前記フレーム部材に対する前記被着体の位置を検査する検査工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

フレーム部材および当該フレーム部材の開口部内に配置された被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７－２０４６１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ貼着装置２（シート貼付装置）は、フレーム１３（フレーム部材）および被加工物１１（被着体）にテープ３ａ（接着シート）を貼付した後に、フレーム部材に対する被着体の位置を検査するように構成されていないため、フレーム部材に対して被着体が適切な位置となるように接着シートが貼付されたことを判定することができないという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、フレーム部材に対して被着体が適切な位置となるように接着シートが貼付されたことを判定することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、接着シートが貼付されたフレーム部材および被着体において、フレーム部材に対する被着体の位置を検査するため、フレーム部材に対して被着体が適切な位置となるように接着シートが貼付されたことを判定することができる。
また、検査手段が、所定の第１仮想線に沿ってフレーム部材の縁から被着体の縁までの距離である第１距離と、第１仮想線とは異なる所定の第２仮想線に沿ってフレーム部材の縁から被着体の縁までの距離である第２距離とを測定し、第１距離および第２距離の各測定結果を基にフレーム部材に対する被着体の位置を検査すれば、被着体位置の検査の精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

シート貼付装置ＥＡは、フレーム部材としてのリングフレームＲＦおよび当該リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１内に配置された被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する貼付工程を実施する貼付手段１０と、接着シートＡＳが貼付されたリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫにおいて、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査する検査工程を実施する検査手段２０とを備え、リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫを支持する支持手段３０の近傍に配置されている。

【0011】

貼付手段１０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、剥離縁１３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１３と、駆動機器としての回動モータ１４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１４と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１５と、リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１６とを備えている。

【0012】

検査手段２０は、リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰを反転させる反転手段２１と、リングフレームＲＦの縁としての外縁ＲＦ２および被着体ＷＫの縁としての外縁ＷＫ１を検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成され、前後方向に並設された複数の検知手段２２と、リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに対して検知手段２２を相対移動させる相対移動手段２３と、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査するとともに、シート貼付装置ＥＡの全体的または部分的な動作を制御するパーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段２４とを備えている。本実施形態の場合、検査手段２０は、所定の第１仮想線ＳＬ１に沿ってリングフレームＲＦの外縁ＲＦ２から被着体ＷＫの外縁ＷＫ１までの距離である第１距離ＳＤ１と、第１仮想線ＳＬ１とは異なる所定の第２仮想線ＳＬ２に沿ってリングフレームＲＦの外縁ＲＦ２から被着体ＷＫの外縁ＷＫ１までの距離である第２距離ＳＤ２とを測定し、第１距離ＳＤ１および第２距離ＳＤ２の各測定結果を基にリングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査する構成となっている。
反転手段２１は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム２１Ｂで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット２１Ａと、一体物ＵＰを保持する保持手段であって、先端アーム２１Ｂに支持された駆動機器としてのチャックシリンダ２１Ｃとを備えている。
相対移動手段２３は、駆動機器としてのリニアモータ２３Ａと、リニアモータ２３Ａのスライダ２３Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ２３Ｃと、回動モータ２３Ｃの出力軸２３Ｄに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面２３Ｅを有する検査テーブル２３Ｆとを備えている。なお、第１、第２仮想線ＳＬ１、ＳＬ２は、平面視で回動モータ２３Ｃの出力軸２３Ｄの軸中心ＡＲから前後方向に所定距離ＰＤ１、ＰＤ２離れた位置を通り、左右方向に延びる互いに平行な線である。
制御手段２４は、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査した検査結果から、リングフレームＲＦに対して被着体ＷＫが不適切な位置にある状態で接着シートＡＳが貼付された貼付不良が発生したと判定した場合、表示器やスピーカ等の図示しない警告手段に不良判定信号を出力するようになっている。なお、図示しない警告機器は、制御手段２４によって出力された不良判定信号を受信すると、表示器やスピーカ等を介して光や音等の警告シグナルを出力するようになっている。

【0013】

支持手段３０は、リニアモータ２３Ａのスライダ２３Ｇに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって各々吸着保持が可能な被着体支持面３１Ａおよびフレーム支持面３１Ｂを有するテーブル３１を備え、リニアモータ２３Ａを相対移動手段２３と兼用する構成となっている。

【0014】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板１３の剥離縁１３Ａで所定長さ剥離されると、貼付手段１０が回動モータ１４Ａの駆動を停止する。

【0015】

次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫ、リングフレームＲＦを被着体支持面３１Ａ、フレーム支持面３１Ｂ上の所定の位置に載置すると、支持手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、被着体支持面３１Ａ、フレーム支持面３１Ｂでの被着体ＷＫ、リングフレームＲＦの吸着保持を開始する。その後、支持手段３０がリニアモータ２３Ａを駆動し、テーブル３１を左方に移動させ、当該テーブル３１が所定の位置に到達すると、貼付手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、テーブル３１の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、先頭の接着シートＡＳが剥離板１３の剥離縁１３Ａで剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、押圧ローラ１６によってリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに押圧されて貼付される。

【0016】

次に、先頭の接着シートＡＳ全体がリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに貼付されて一体物ＵＰが形成され、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板１３の剥離縁１３Ａで所定長さ剥離されると、貼付手段１０が回動モータ１４Ａの駆動を停止する。そして、一体物ＵＰを支持したテーブル３１が押圧ローラ１６の下方を抜け出て、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、多関節ロボット２１Ａの前方の所定位置に到達すると、支持手段３０がリニアモータ２３Ａの駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、被着体支持面３１Ａ、フレーム支持面３１Ｂでの被着体ＷＫ、リングフレームＲＦの吸着保持を解除する。次いで、検査手段２０が多関節ロボット２１Ａおよびチャックシリンダ２１Ｃを駆動し、当該チャックシリンダ２１Ｃで一体物ＵＰを持ち上げて上下反転させると、支持手段３０がリニアモータ２３Ａを駆動し、テーブル３１を初期位置に復帰させる。その後、検査手段２０がリニアモータ２３Ａを駆動し、検査テーブル２３Ｆを右方に移動させ、当該検査テーブル２３Ｆが多関節ロボット２１Ａの前方の所定位置に到達すると、検査手段２０がリニアモータ２３Ａの駆動を停止する。次に、検査手段２０が多関節ロボット２１Ａを駆動し、上下反転した一体物ＵＰを支持面２３Ｅ上の所定の位置に載置した後、図示しない減圧手段を駆動し、支持面２３Ｅでの一体物ＵＰの吸着保持を開始する。そして、検査手段２０が多関節ロボット２１Ａおよびリニアモータ２３Ａを駆動し、チャックシリンダ２１Ｃおよび検査テーブル２３Ｆを初期位置に復帰させる。

【0017】

次いで、検査手段２０がリニアモータ２３Ａを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、検査テーブル２３Ｆを右方に所定の距離移動させる。この際、検査テーブル２３Ｆが右方に移動している間に、検査テーブル２３ＦとリングフレームＲＦとの段差が各検知手段２２の下方を通過すると、検査手段２０が各検知手段２２でリングフレームＲＦの外縁ＲＦ２を検知し、それまでに検査テーブル２３Ｆが初期位置から移動した移動距離を制御手段２４に記憶する。その後、接着シートＡＳと被着体ＷＫとの段差が各検知手段２２の下方を通過すると、検査手段２０が各検知手段２２で被着体ＷＫの外縁ＷＫ１を検知し、それまでに検査テーブル２３Ｆが初期位置から移動した距離を制御手段２４に記憶する。次に、検査手段２０が制御手段２４に記憶した各移動距離を基に、図１（Ｂ）に示す第１、第２仮想線ＳＬ１、ＳＬ２に沿ってリングフレームＲＦの外縁ＲＦ２から被着体ＷＫの外縁ＷＫ１までの距離を算出することで、第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２を測定し、これらの測定結果を基に、下記式（１）を用いて、検査テーブル２３ＦのＤＸ軸方向でリングフレームＲＦに対する被着体ＷＫのずれ量を算出する。

【0018】

ずれ量＝基準距離ＲＤ－（第１距離ＳＤ１＋第２距離ＳＤ２）／２ ・・・式（１）
なお、上記式（１）における基準距離ＲＤは、予め定められる設計値であり、図１（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫの外縁ＷＫ１の中心がリングフレームＲＦの中心に一致している場合の第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２に相当する。そして、検査手段２０がリニアモータ２３Ａを駆動し、検査テーブル２３Ｆを初期位置に復帰させる。次いで、検査手段２０がリニアモータ２３Ａの駆動を停止した後、回動モータ２３Ｃを駆動し、図１（Ｃ）に示すように、出力軸２３Ｄの軸中心ＡＲを中心として検査テーブル２３Ｆを時計回転方向に９０度回転させる。その後、検査手段２０は、上記と同様にして、検査テーブル２３Ｆを所定の距離移動させることで第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２を測定した後、これらの測定結果を基に、検査テーブル２３ＦのＤＹ軸方向でリングフレームＲＦに対する被着体ＷＫのずれ量を算出する。

【0019】

次に、検査手段２０が制御手段２４でＤＸ軸方向、ＤＹ軸方向の各ずれ量の絶対値と、所定の閾値とを対比し、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査する。検査の結果、ＤＸ軸方向、ＤＹ軸方向の各ずれ量が所定の閾値以下である場合、検査手段２０は、リングフレームＲＦに対して被着体ＷＫが適切な位置となるように接着シートＡＳが貼付されたと判定し、図示しない警告手段に不良判定信号を出力することはない。そして、検査手段２０が図示しない減圧機器の駆動を停止し、支持面２３Ｅでの一体物ＵＰの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、検査手段２０がリニアモータ２３Ａおよび回動モータ２３Ｃを駆動し、検査テーブル２３Ｆを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0020】

ここで、被着体ＷＫ位置の検査の結果、ＤＸ軸方向およびＤＹ軸方向の何れかの方向のずれ量が所定の閾値を超えた場合、検査手段２０は、リングフレームＲＦに対して被着体ＷＫが不適切な位置にある状態で接着シートＡＳが貼付された貼付不良が発生したと判定する。例えば、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、リングフレームＲＦに対して被着体ＷＫがＤＹ軸の矢印方向の逆方向に位置ずれしている場合、検査手段２０がＤＸ軸方向における第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２を測定したとき、第１距離ＳＤ１が基準距離ＲＤよりも短くなるが、第２距離ＳＤ２が基準距離ＲＤよりも長くなるため、ＤＸ軸方向のずれ量の絶対値が所定の閾値以下となる。一方、図１（Ｃ）に示すように、検査手段２０がＤＹ軸方向における第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２を測定したとき、第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２のそれぞれが基準距離ＲＤよりも短くなるため、ＤＹ軸方向のずれ量の絶対値が所定の閾値を超える。このため、検査手段２０は、貼付不良が発生したと判定し、図示しない警告手段に不良判定信号を出力する。図示しない警告機器が不良判定信号を受信すると、当該警告機器が表示器やスピーカ等を介して警告シグナルを発し、貼付不良が発生したことを使用者に伝える。その後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを検査テーブル２３Ｆ上から除去すると、検査手段２０がリニアモータ２３Ａおよび回動モータ２３Ｃを駆動し、検査テーブル２３Ｆを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳが貼付されたリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫにおいて、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査するため、リングフレームＲＦに対して被着体ＷＫが適切な位置となるように接着シートＡＳが貼付されたことを判定することができる。

【0022】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0023】

例えば、貼付手段１０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断刃等の切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよいし、支持ローラ１１やガイドローラ１２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳ、剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなくファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートＡＳを保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳをリングフレームＲＦや被着体ＷＫに押圧して貼付する構成でもよいし、上記の実施形態では、移動することのない貼付手段１０に対してリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫを移動させ、当該リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付したが、リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫを移動させることなくまたは、リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫを移動させつつ、貼付手段１０を移動させ、当該リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよい。

【0024】

検査手段２０は、反転手段２１が備わっていなくてもよく、この場合、テーブル３１の上方に設けた検知手段２２で、透過性を有する接着シートＡＳ越しに被着体ＷＫの外縁ＷＫ１を検知してもよいし、検査テーブル２３Ｆを透過性を有するものとし、当該検査テーブル２３Ｆの下方に設けた検知手段２２で、当該検査テーブル２３Ｆ越しにリングフレームＲＦの外縁ＲＦ２および被着体ＷＫの外縁ＷＫ１を検知してもよい。
検査手段２０は、１つまたは３つ以上の検知手段２２を備えてもよいし、相対移動手段２３が検知手段２２を前後方向に移動させる駆動手段を備え、１つの検知手段２２で第１仮想線ＳＬ１に沿ってリングフレームＲＦの外縁ＲＦ２と被着体ＷＫの外縁ＷＫ１とを検知した後、第２仮想線ＳＬ２に沿ってリングフレームＲＦの外縁ＲＦ２と被着体ＷＫの外縁ＷＫ１とを検知してもよいし、リングフレームＲＦの外縁ＲＦ２に代えて、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１で形成される内縁を当該リングフレームＲＦの縁として検知し、リングフレームＲＦの内縁から被着体ＷＫの外縁ＷＫ１までの距離を第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２として測定してもよいし、被着体ＷＫが環状である場合、被着体ＷＫの外縁ＷＫ１に代えて、被着体ＷＫの縁としての内縁を検知し、リングフレームＲＦの外縁ＲＦ２から被着体ＷＫの内縁までの距離を第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２として測定したり、リングフレームＲＦの内縁から被着体ＷＫの内縁までの距離を第１、第２距離ＳＤ１、ＳＤ２として測定したりしてもよい。
検査手段２０は、回動モータ２３Ｃを備えなくてもよく、回動モータ２３Ｃを備えない場合、検査テーブル２３ＦのＤＸ軸方向におけるずれ量を基に、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査してもよいし、検査テーブル２３Ｆの回転動作を複数回に分けて実施し、検査テーブル２３Ｆの３つ以上の方向において算出したずれ量を基に、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査してもよいし、第１、第２仮想線ＳＬ１、ＳＬ２と回動モータ２３Ｃの出力軸２３Ｄの軸中心ＡＲとの間の所定距離ＰＤ１、ＰＤ２を互いに等しい距離としてもよいし、互いに異なる距離としてもよいしもよいし、検査テーブル２３ＦのＤＸ軸方向、ＤＹ軸方向の各方向で、１つの仮想線に沿ってリングフレームＲＦの外縁ＲＦ２から被着体ＷＫの外縁ＷＫ１までの距離を測定し、これらの距離を基に、リングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査してもよい。
検査手段２０は、リングフレームＲＦに対して被着体ＷＫの位置がずれている方向やずれ量を警告手段に出力し、当該警告手段に設けた表示器に表示させてもよい。

【0025】

支持手段３０は、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫやリングフレームＲＦを支持してもよい。

【0026】

シート貼付装置ＥＡは、検査テーブル２３Ｆ上に支持された一体物ＵＰのリングフレームＲＦに対する被着体ＷＫの位置を検査している間、テーブル３１上に支持されたリングフレームＲＦ、被着体ＷＫに次の接着シートＡＳを貼付してもよい。
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。

【0027】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、フレーム部材および当該フレーム部材の開口部内に配置された被着体に接着シートを貼付可能なものであれば、どのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0028】

接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよびフレーム部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよびフレーム部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0029】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0030】

ＥＡ…シート貼付装置
１０…貼付手段
２０…検査手段
ＡＳ…接着シート
ＲＦ…リングフレーム（フレーム部材）
ＷＫ…被着体

【図1】