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特開2023-69261ワーク搬送装置、円筒研削装置及びズレ量補正方法

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023069261

(43)【公開日】2023-05-18

(54)【発明の名称】ワーク搬送装置、円筒研削装置及びズレ量補正方法

(51)【国際特許分類】

B24B 41/06 20120101AFI20230511BHJP

B23Q 17/22 20060101ALI20230511BHJP

B23Q 7/04 20060101ALI20230511BHJP

B24B 5/04 20060101ALI20230511BHJP

B24B 49/02 20060101ALI20230511BHJP

H01L 21/304 20060101ALI20230511BHJP

H01L 21/677 20060101ALI20230511BHJP

B24B 19/02 20060101ALN20230511BHJP

【ＦＩ】

B24B41/06 J

B23Q17/22 A

B23Q7/04 Q

B24B5/04

B24B49/02 A

H01L21/304 601Z

H01L21/68 A

B24B19/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021181009

(22)【出願日】2021-11-05

(71)【出願人】

【識別番号】520364347

【氏名又は名称】株式会社オーシャンズ

(74)【代理人】

【識別番号】100103894

【弁理士】

【氏名又は名称】家入健

(72)【発明者】

【氏名】菊地茂信

(72)【発明者】

【氏名】神道広

【テーマコード（参考）】

3C029

3C033

3C034

3C043

3C049

5F057

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C029AA02

3C029AA03

3C033BB01

3C033HH06

3C033HH08

3C033HH12

3C033HH22

3C033HH30

3C034AA02

3C034AA13

3C034AA19

3C034BB72

3C034BB93

3C034CA04

3C034CA07

3C034CA22

3C034CB18

3C034CB20

3C034DD10

3C034DD20

3C043AA01

3C043CC03

3C043CC04

3C043CC12

3C043DD05

3C043DD12

3C049AA03

3C049AB03

3C049AB04

3C049AC02

3C049BA02

3C049BA07

3C049BA09

3C049BB02

3C049BC01

3C049CA01

3C049CB01

5F057AA19

5F057AA21

5F057AA42

5F057BA01

5F057BB03

5F057CA01

5F057CA03

5F057CA05

5F057DA11

5F057GA27

5F057GB02

5F057GB11

5F057GB12

5F057GB31

5F131AA01

5F131BA32

5F131BA39

5F131CA31

5F131DA01

5F131DA22

5F131DB12

5F131DC02

5F131DD82

(57)【要約】（修正有）

【課題】その中心軸と円筒研削装置の回転軸とが一致した状態でワークを主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプすることができるワーク搬送装置等を提供する。
【解決手段】ワークＷをクランプする一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを備えたクランプ機構２５０と、前記クランプ機構を移動させる移動機構と、前記クランプ機構を旋回させる旋回機構２６０と、を備える。
【選択図】図１１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

加工対象の円柱形状のワークを円筒研削装置本体まで搬送するワーク搬送装置であって、
前記ワークをクランプする一対の爪部を備えたクランプ機構と、
前記クランプ機構を移動させる移動機構と、
前記ワークをクランプした状態の前記クランプ機構を旋回させる旋回機構と、を備え、
前記円筒研削装置本体が有する回転軸をＸ軸とし、前記Ｘ軸に対して直交する軸をＹ軸とし、前記Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に対して直交する軸をＺ軸とした場合、
前記移動機構は、少なくとも前記Ｘ軸方向、前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向に、前記クランプ機構を移動させ、
前記旋回機構は、前記ワークをクランプした状態の前記クランプ機構を、当該クランプ機構がクランプした前記ワークの中心をとおり、かつ、前記Ｚ軸方向に延びるθ軸を中心に旋回させるワーク搬送装置。

【請求項2】

前記爪部移動機構は、前記Ｙ軸方向に関し、前記一対の爪部を互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部を前記ワークの外周面に当接させることで、当該ワークをクランプする請求項１に記載のワーク搬送装置。

【請求項3】

前記移動機構は、
前記クランプ機構を前記Ｚ軸方向に移動させる第１移動機構と、
前記クランプ機構及び前記第１移動機構を前記Ｙ軸方向に移動させる第２移動機構と、
前記クランプ機構、前記第１移動機構及び前記第２移動機構を前記Ｘ軸方向に移動させる第３移動機構と、を備える請求項２に記載のワーク搬送装置。

【請求項4】

前記移動機構は、
前記クランプ機構を前記Ｚ軸方向に移動させる第１移動機構と、
前記クランプ機構及び前記第１移動機構を前記Ｘ軸方向に移動させる第２移動機構と、
前記クランプ機構、前記第１移動機構及び前記第２移動機構を前記Ｙ軸方向に移動させる第３移動機構と、を備える請求項２に記載のワーク搬送装置。

【請求項5】

前記一対の爪部は、それぞれ、当該一対の爪部が互いに接近する方向に移動した場合、前記ワークの下部に当接する第１当接部及び前記ワークの上部に当接する第２当接部を有する請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。

【請求項6】

前記一対の爪部は、それぞれ、前記第１当接部及び前記第２当接部として機能する、互いに向かってＶ字状に開いたテーパ面を有する請求項５に記載のワーク搬送装置。

【請求項7】

前記移動機構は、前記円筒研削装置本体が有する主軸とテールとの間において前記ワークの中心軸と前記円筒研削装置本体が有する回転軸とが一致するまで、前記ワークをクランプした前記クランプ機構を移動させる請求項１から６のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。

【請求項8】

前記移動機構は、さらに、前記ワークの一方の端面が前記主軸に突き当たるまで、前記ワークをクランプした前記クランプ機構を移動させる請求項７に記載のワーク搬送装置。

【請求項9】

前記一対の爪部は、前記ワークの長さの中心をクランプする請求項１から８のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。

【請求項10】

円筒研削装置本体と、
加工対象の円柱形状のワークを前記円筒研削装置本体まで搬送するワーク搬送装置と、を備えた円筒研削装置であって、
前記ワーク搬送装置は、
前記ワークをクランプする一対の爪部を備えたクランプ機構と、
前記クランプ機構を移動させる移動機構と、
前記ワークをクランプした状態の前記クランプ機構を旋回させる旋回機構と、を備え、
前記円筒研削装置本体が有する回転軸をＸ軸とし、前記Ｘ軸に対して直交する軸をＹ軸とし、前記Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に対して直交する軸をＺ軸とした場合、
前記移動機構は、少なくとも前記Ｘ軸方向、前記Ｙ軸方向及び前記Ｘ軸方向に、前記クランプ機構を移動させ、
前記旋回機構は、前記ワークをクランプした状態の前記クランプ機構を、当該クランプ機構がクランプした前記ワークの中心をとおり、かつ、前記Ｚ軸方向に延びるθ軸を中心に旋回させる円筒研削装置。

【請求項11】

請求項１に記載のワーク搬送装置を用いて前記円筒研削装置本体の回転軸に対する前記クランプされた前記ワークのズレ量を補正するズレ量補正方法であって、
加工対象の円柱形状のワークのトップ側端面に円筒研削装置本体の主軸口金が当接し、かつ、当該ワークのボトム側端面に前記円筒研削装置本体のテール口金が当接した状態でクランプされた前記ワークを原点状態及び原点状態から１８０度／測定回数ｎ回転させるごとに、前記ワークのトップ側端面の外径を測定する第１測定工程と、
前記クランプされた前記ワークを原点状態及び原点状態から１８０度／測定回数ｎ回転させるごとに、前記ワークのボトム側端面の外径を測定する第２測定工程と、
前記トップ側端面の外径を測定した測定値、及び、前記ボトム側端面の外径を測定した測定値に基づき、前記円筒研削装置本体の回転軸に対する前記クランプされた前記ワークのズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量が解消されるように前記移動機構及び前記旋回機構の少なくとも一方を制御するズレ量補正工程と、を備えるズレ量補正方法。

【請求項12】

前記ズレ量補正工程後の前記ワークの前記ズレ量が設定値以下となるまで、前記第１測定工程、前記第２測定工程、前記ズレ量算出工程、及び前記ズレ量補正工程を繰り返し実行する請求項１１に記載のズレ量補正方法。

【請求項13】

前記ズレ量は、前記円筒研削装置本体の回転軸に対する前記ワークの中心軸のズレ角度であり、
前記ズレ量補正工程は、前記ワークをクランプした前記クランプ機構が前記ズレ角度旋回するように前記旋回機構を制御する請求項１１又は１２に記載のズレ量補正方法。

【請求項14】

前記ズレ量は、前記円筒研削装置本体の回転軸に対する前記ワークの中心軸のズレ角度、及び、前記円筒研削装置本体の回転軸と前記ワークの中心との間のズレ距離であり、
前記ズレ量補正工程は、前記ワークをクランプした前記クランプ機構が前記ズレ角度旋回するように前記旋回機構を制御するとともに、前記ワークをクランプした前記クランプ機構が前記ズレ距離移動するように前記移動機構を制御する請求項１２又は１３に記載のズレ量補正方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワーク搬送装置、円筒研削装置及びズレ量補正方法に関する。

【背景技術】

【0002】

円筒形状のワークを研削する円筒研削装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

これに対して、本発明者らは、様々な直径、様々な長さ（中心軸方向の長さ）の円柱形状のワークに対して予め定められた加工条件を満たすように所定加工（例えば、ワークの外周面の研削、平取面（ＯＦ）やＶ型等の切込み(ノッチ)等の追加工）を施すことができる円筒研削装置を検討した。円筒研削装置が設置された工場においては、様々な直径、様々な長さ（中心軸方向の長さ）の円柱形状のワークが保管されており、必要に応じて保管場所から取り出した該当のワークを円筒研削装置の主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプし、当該クランプしたワークに対して、予め定められた加工条件を満たすように所定加工を施すことが求められている。その際、ワークは、その中心軸と円筒研削装置の回転軸とが一致した状態で主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプされるのが望ましい。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９－１９０１４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、ワークはその中心軸と円筒研削装置の回転軸とが一致しない状態で主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプされる場合があり、この場合、当該クランプしたワークを一様な外径に仕上げるためには、ズレ量に応じて再度外径研削を行うことになる。その結果、素材径がより細くなってしまうためにワークの材料ロスが増えてしまうという課題がある。

【0006】

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、その中心軸（ワーク中心軸）と円筒研削装置の回転軸とが一致した状態でワークを主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプすることができるワーク搬送装置、円筒研削装置及びズレ量補正方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明にかかるワーク搬送装置は、
加工対象の円柱形状のワークを円筒研削装置本体まで搬送するワーク搬送装置であって、
前記ワークをクランプする一対の爪部を備えたクランプ機構と、
前記クランプ機構を移動させる移動機構と、
前記ワークをクランプした状態の前記クランプ機構を旋回させる旋回機構と、を備え、
前記円筒研削装置本体が有する回転軸をＸ軸とし、前記Ｘ軸に対して直交する軸をＹ軸とし、前記Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に対して直交する軸をＺ軸とした場合、
前記移動機構は、少なくとも前記Ｘ軸方向、前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向に、前記クランプ機構を移動させ、
前記旋回機構は、前記ワークをクランプした状態の前記クランプ機構を、当該クランプ機構がクランプした前記ワークの中心をとおり、かつ、前記Ｚ軸方向に延びるθ軸を中心に旋回させる。

【0008】

このような構成により、その中心軸（ワーク中心軸）と円筒研削装置の回転軸とが一致した状態でワークを主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプすることができるワーク搬送装置を提供することができる。

【0009】

これは、ワークをクランプした状態のクランプ機構をθ軸（当該クランプ機構がクランプしたワークの中心をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている）を中心に旋回させる旋回機構を備えていることによるものである。

【0010】

また、上記ワーク搬送装置において、
前記爪部移動機構は、前記Ｙ軸方向に関し、前記一対の爪部を互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部を前記ワークの外周面に当接させることで、当該ワークをクランプしてもよい。

【0011】

また、上記ワーク搬送装置において、
前記移動機構は、
前記クランプ機構を前記Ｚ軸方向に移動させる第１移動機構と、
前記クランプ機構及び前記第１移動機構を前記Ｙ軸方向に移動させる第２移動機構と、
前記クランプ機構、前記第１移動機構及び前記第２移動機構を前記Ｘ軸方向に移動させる第３移動機構と、を備えていてもよい。

【0012】

また、上記ワーク搬送装置において、
前記移動機構は、
前記クランプ機構を前記Ｚ軸方向に移動させる第１移動機構と、
前記クランプ機構及び前記第１移動機構を前記Ｘ軸方向に移動させる第２移動機構と、
前記クランプ機構、前記第１移動機構及び前記第２移動機構を前記Ｙ軸方向に移動させる第３移動機構と、を備えていてもよい。

【0013】

また、上記ワーク搬送装置において、
前記一対の爪部は、それぞれ、当該一対の爪部が互いに接近する方向に移動した場合、前記ワークの下部に当接する第１当接部及び前記ワークの上部に当接する第２当接部を有していてもよい。

【0014】

また、上記ワーク搬送装置において、
前記一対の爪部は、それぞれ、前記第１当接部及び前記第２当接部として機能する、互いに向かってＶ字状に開いたテーパ面を有していてもよい。

【0015】

また、上記ワーク搬送装置において、
前記移動機構は、前記円筒研削装置本体が有する主軸とテールとの間において前記ワークの中心軸と前記円筒研削装置本体が有する回転軸とが一致するまで、前記ワークをクランプした前記クランプ機構を移動させてもよい。

【0016】

また、上記ワーク搬送装置において、
前記移動機構は、さらに、前記ワークの一方の端面が前記主軸に突き当たるまで、前記ワークをクランプした前記クランプ機構を移動させてもよい。

【0017】

また、上記ワーク搬送装置において、
前記一対の爪部は、前記ワークのうち中心をクランプしてもよい。

【0018】

本発明にかかる円筒研削装置は、
円筒研削装置本体と、
加工対象の円柱形状のワークを前記円筒研削装置本体まで搬送するワーク搬送装置と、を備えた円筒研削装置であって、
前記ワーク搬送装置は、
前記ワークをクランプする一対の爪部を備えたクランプ機構と、
前記クランプ機構を移動させる移動機構と、
前記ワークをクランプした状態の前記クランプ機構を旋回させる旋回機構と、を備え、
前記円筒研削装置本体が有する回転軸をＸ軸とし、前記Ｘ軸に対して直交する軸をＹ軸とし、前記Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に対して直交する軸をＺ軸とした場合、
前記移動機構は、少なくとも前記Ｘ軸方向、前記Ｙ軸方向及び前記Ｘ軸方向に、前記クランプ機構を移動させ、
前記旋回機構は、前記ワークをクランプした状態の前記クランプ機構を、当該クランプ機構がクランプした前記ワークの中心をとおり、かつ、前記Ｚ軸方向に延びるθ軸を中心に旋回させる。

【0019】

このような構成により、その中心軸（ワーク中心軸）と円筒研削装置の回転軸とが一致した状態でワークを主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプすることができる円筒研削装置を提供することができる。

【0020】

【0021】

本発明にかかるズレ量補正方法は、
上記ワーク搬送装置を用いて前記円筒研削装置本体の回転軸に対する前記クランプされた前記ワークのズレ量を補正するズレ量補正方法であって、
加工対象の円柱形状のワークのトップ側端面に円筒研削装置本体の主軸口金が当接し、かつ、当該ワークのボトム側端面に前記円筒研削装置本体のテール口金が当接した状態でクランプされた前記ワークを原点状態及び原点状態から１８０度／測定回数ｎ回転させるごとに、当該回転停止後の前記ワークのトップ側端面の外径を測定する第１測定工程と、
前記クランプされた前記ワークを原点状態及び原点状態から１８０度／測定回数ｎ回転させるごとに、当該回転停止後の前記ワークのボトム側端面の外径を測定する第２測定工程と、
前記トップ側端面の外径を測定した測定値、及び、前記ボトム側端面の外径を測定した測定値に基づき、前記円筒研削装置本体の回転軸に対する前記クランプされた前記ワークのズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量が解消されるように前記移動機構及び前記旋回機構の少なくとも一方を制御するズレ量補正工程と、を備える。

【0022】

このような構成により、その中心軸（ワーク中心軸）と円筒研削装置の回転軸とが一致した状態でワークを主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプすることができるズレ量補正方法を提供することができる。

【0023】

【0024】

また、上記ズレ量補正方法において、
前記ズレ量補正工程後の前記ワークの前記ズレ量が設定値以下となるまで、前記第１測定工程、前記第２測定工程、前記ズレ量算出工程、及び前記ズレ量補正工程を繰り返し実行してもよい。

【0025】

また、上記ズレ量補正方法において、
前記ズレ量は、前記円筒研削装置本体の回転軸に対する前記ワークの中心軸のズレ角度であり、
前記ズレ量補正工程は、前記ワークをクランプした前記クランプ機構が前記ズレ角度旋回するように前記旋回機構を制御してもよい。

【0026】

また、上記ズレ量補正方法において、
前記ズレ量は、前記円筒研削装置本体の回転軸に対する前記ワークの中心軸のズレ角度、及び、前記円筒研削装置本体の回転軸と前記ワークの中心との間のズレ距離であり、
前記ズレ量補正工程は、前記ワークをクランプした前記クランプ機構が前記ズレ角度旋回するように前記旋回機構を制御するとともに、前記ワークをクランプした前記クランプ機構が前記ズレ距離移動するように前記移動機構を制御してもよい。

【発明の効果】

【0027】

本発明により、その中心軸（ワーク中心軸）と円筒研削装置の回転軸とが一致した状態でワークを主軸ユニット（主軸口金）とテールユニット（テール口金）との間にクランプすることができるワーク搬送装置、円筒研削装置及びズレ量補正方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】円筒研削装置１の斜視図である。

【図2】ワークＷの斜視図である。

【図3】円筒研削装置本体１００の概略構成図である。

【図4】（ａ）主軸ユニット１１０（主軸口金１１１）とテールユニット１２０（テール口金１２１）との間にワークＷをクランプした状態（ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とが一致している場合）を表す図、（ｂ）主軸ユニット１１０（主軸口金１１１）とテールユニット１２０（テール口金１２１）との間にワークＷをクランプした状態を表す図（ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗが回転軸ＡＸ_１００に対して角度θズレている場合）。

【図5】（ａ）ワークＷが、その中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態で主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている様子を表す図、（ｂ）ワークＷが、その中心軸ＡＸ_Ｗが回転軸ＡＸ_１００に対して角度θズレた状態で主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている様子を表す図、（ｃ）ワークＷが、その中心軸ＡＸ_Ｗが回転軸ＡＸ_１００に対して角度θズレた状態で主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている様子を表す図である。

【図6】（ａ）円研ユニット１３０が、ワークＷに対して円研加工又はオリフラ（オリエンテーションフラット）加工を施している様子を表す図、（ｂ）ノッチユニット１４０が、ワークＷに対してノッチ加工を施している様子を表す図である。

【図7】ワーク搬送装置２００の斜視図である。

【図8】図７から抜き出した第１可動フレーム２２０（外径測定機構２７０を含む）及びこれに付随する構成（第２可動フレーム２３０等）の斜視図である。

【図9】図７から抜き出した第１可動フレーム２２０及びこれに付随する構成（第２可動フレーム２３０等）の斜視図（図８の別角度の斜視図）である。

【図10】図７から抜き出した第３可動フレーム２４０及びこれに付随する構成（クランプ機構２５０等）の斜視図である。

【図11】クランプ機構２５０を旋回させる旋回機構（旋回用モータ２６０）の一例である。

【図12】クランプ機構２５０の斜視図である。

【図13】一対の爪部２５１ａ、２５１ｂでワークＷをクランプした様子を表す概略図である。

【図14】一対の爪部２５１ａ、２５１ｂに取り付けられたセンサの斜視図である。

【図15】一対の爪部２５１ａ、２５１ｂに取り付けられたセンサによりワークＷの長さＬを測定している様子を表す概略図である。

【図16】制御装置３００を含むシステム構成図である。

【図17】円筒研削装置１の動作例のフローチャートである。

【図18】工場内に設置された円筒研削装置１の斜視図である。

【図19】クランプ機構２５０の動作を説明するための図である。

【図20】クランプ機構２５０の動作を説明するための図である。

【図21】主軸ユニット１１０及びテールユニット１２０の動作を説明するための図である。

【図22】主軸ユニット１１０及びテールユニット１２０の動作を説明するための図である。

【図23】ズレ量測定処理のフローチャートである。

【図24】ワークＷが９０度づつ回転されることを表す図である。

【図25】外径測定機構２７０がボトム側端面Ｗｂの外径を測定している様子を表す。

【図26】図２３の処理の結果測定された、各ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}、Ｗ_{Ｗ２－Ｗ４}、Ｗ_{Ｗ１－Ｗ３}、Ｗ_{Ｗ４－Ｗ２}の測定値Δｃｔ、Δｃｂ、θ、ΔＹをまとめた表である。

【図27】ズレ量補正処理のフローチャートである。

【図28】（ａ）円筒研削装置１の各可動フレーム２２０、２３０、２４０の移動方向を説明する図、図１７（ｂ）変形例の円筒研削装置１の各可動フレーム２２０、２３０、２４０の移動方向を説明する図である。

【図29】ズレ量補正処理の具体例１について説明するための図である。

【図30】ズレ量補正処理の具体例２について説明するための図である。

【図31】ズレ量補正処理の具体例３について説明するための図である。

【図32】ズレ量補正処理の具体例４について説明するための図である。

【図33】ズレ量補正処理の具体例５について説明するための図である。

【図34】ズレ量補正処理の具体例６について説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

（実施形態１）
以下、本発明の実施形態１である円筒研削装置１について添付図面を参照しながら説明する。各図において対応する構成要素には同一の符号が付され、重複する説明は省略される。
＜円筒研削装置１＞
図１は、円筒研削装置１の斜視図である。

【0030】

図１に示すように、円筒研削装置１は、円筒研削装置本体１００、ワーク搬送装置２００、及び、円筒研削装置本体１００及びワーク搬送装置２００を制御する制御装置３００を備えている。図１中、符号ＡＸ_１００が示すのは、円筒研削装置本体１００が有する回転軸（加工軸）である。以下、回転軸ＡＸ_１００と呼ぶ。
＜ワークＷ＞
まず、加工対象の円柱形状のワークＷの構成例について説明する。

【0031】

図２は、ワークＷの斜視図である。

【0032】

ワークＷは、例えば、シリコンインゴット（例えば、円筒研削済みのシリコンインゴット）又は当該シリコンインゴットを切断した円柱形状のワーク（ブロックとも呼ばれる）である。ワークＷは、その中心軸ＡＸ_Ｗに対して直交するトップ側端面Ｗｔ、ボトム側端面Ｗｂを有する。なお、ワークＷとしては、様々な直径Ｄ、様々な長さＬ（ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗ方向の長さ）のものを用いることができる。
＜円筒研削装置本体１００＞
次に、円筒研削装置本体１００の構成例について説明する。

【0033】

図３は、円筒研削装置本体１００の概略構成図である。

【0034】

以下、説明の便宜のため、図１等に示すように、ＸＹＺ軸を定義する。Ｘ軸は、円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００と同一方向に延びている（水平軸）。Ｙ軸は、Ｘ軸に対して直交する方向に延びている（水平軸）。Ｚ軸は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に対して直交する方向に延びている（鉛直軸）。

【0035】

円筒研削装置本体１００は、ワークＷに対して予め定められた加工条件を満たすように所定加工を施すことができる公知の円筒研削装置である。加工条件は、例えば、ワークＷの外周面の研削量、平取面（ＯＦ）やＶ型等の切込み(ノッチ)等の追加工を行うか否か等の条件で、例えば、操作装置４００を介してオペレータが入力する。所定加工は、例えば、ワークの外周面の研削、平取面（ＯＦ）やＶ型等の切込み(ノッチ)等の追加工である。

【0036】

図３に示すように、円筒研削装置本体１００は、主軸ユニット１１０、テールユニット１２０、円研ユニット１３０、ノッチユニット１４０、Ｘ線装置１５０等を備えている。

【0037】

主軸ユニット１１０は、床面に固定された状態で設置されている。一方、テールユニット１２０は、Ｘ軸方向に移動可能な状態で設置されている。

【0038】

図４（ａ）は、主軸ユニット１１０（主軸口金１１１）とテールユニット１２０（テール口金１２１）との間にワークＷをクランプした状態を表す（ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とが一致している場合）。図４（ｂ）は、主軸ユニット１１０（主軸口金１１１）とテールユニット１２０（テール口金１２１）との間にワークＷをクランプした状態を表す（ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗが回転軸ＡＸ_１００に対して角度θズレている場合）。

【0039】

図４（ａ）に示すように、ワークＷは、主軸ユニット１１０（主軸口金１１１）とテールユニット１２０（テール口金１２１）との間にクランプされる。

【0040】

その際、主軸口金１１１と主軸モータ１１３により回転される回転軸との合わせ面は球面形状とされている（図４（ａ）参照）。そのため、図４（ｂ）に示すように、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗが回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ傾いている場合であっても、主軸口金１１１は、ワークＷのトップ側端面Ｗｔに追従して回転し、当該トップ側端面Ｗｔに当接（密着）する。

【0041】

同様に、テール口金１２１とテールモータ１２３により回転される回転軸との合わせ面は球面形状とされている（図４（ａ）参照）。そのため、図４（ｂ）に示すように、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗが回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ傾いている場合であっても、テール口金１２１は、ワークＷのボトム側端面Ｗｂに追従して回転し、当該ボトム側端面Ｗｂに当接（密着）する。

【0042】

図３に示すように、主軸ユニット１１０は、主軸口金１１１、主軸ボディ１１２、主軸モータ１１３を備えている。主軸口金１１１は、主軸モータ１１３により回転軸ＡＸ_１００を中心に回転される回転軸に取り付けられている。主軸モータ１１３は、例えば、サーボモータである。

【0043】

テールユニット１２０は、テール口金１２１、テールボディ１２２、テールモータ１２３を備えている。テール口金１２１は、テールモータ１２３により回転軸ＡＸ_１００を中心に回転される回転軸に取り付けられている。テールモータ１２３は、例えば、サーボモータである。主軸モータ１１３とテールモータ１２３は、互いに同期して回転するように制御される。

【0044】

ワークＷは、その中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態で主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされる（図５（ａ）参照）のが望ましいが、その中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とが一致しない状態で主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされる場合（図５（ｂ）、図５（ｃ）参照）がある。

【0045】

図５（ａ）は、ワークＷが、その中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態で主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている様子を表す。図５（ｂ）は、ワークＷが、その中心軸ＡＸ_Ｗが回転軸ＡＸ_１００に対して角度θズレた状態で主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている様子を表す。図５（ｂ）は、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）が回転軸ＡＸ_１００上にあり、この中心点ＣＰを中心に角度θズレていることを表す。このズレ角度θは、後述のように補正される。なお、図５（ｂ）中の点線で描いた矩形Ａ１は、図５（ａ）中のワークＷを表す。

【0046】

同様に、図５（ｃ）は、ワークＷが、その中心軸ＡＸ_Ｗが回転軸ＡＸ_１００に対して角度θズレた状態で主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている様子を表す。図５（ｃ）は、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）が回転軸ＡＸ_１００上ではなく、回転軸ＡＸ_１００からＹ軸方向にΔＹズレた位置にあり、この中心点ＣＰを中心に角度θズレていることを表す。このズレ角度θ及びズレ距離ΔＹは、後述のように補正される。なお、図５（ｃ）中の点線で描いた矩形Ａ２は、図５（ｂ）中のワークＷを表す。

【0047】

なお、図５（ｂ）、図５（ｃ）において、Δｃｔは、トップ側端面Ｗｔの中心と回転軸ＡＸ_１００との間の距離を表す。一方、Δｃｂは、ボトム側端面Ｗｂの中心と回転軸ＡＸ_１００との間の距離を表す。ΔＹは、Δｃｔ－Δｃｂにより算出できる。図５（ｂ）の場合、すなわち、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）が回転軸ＡＸ_１００上にある場合（すなわち、ワークＷの中心点ＣＰが真の中心だった場合）、Δｃｔ＝Δｃｂの関係がある。一方、図５（ｃ）の場合、すなわち、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）が回転軸ＡＸ_１００上に無い場合、Δｃｔ＞Δｃｂ（又はΔｃｔ＜Δｃｂ）の関係がある。

【0048】

円研ユニット１３０は、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされたワークＷに対して円研加工又はオリフラ（オリエンテーションフラット）加工を施すための装置で、円研ベース１３２に保持されている。円研ユニット１３０は、円研砥石１３１、円研砥石１３１を回転させる円研モータ１３３を備えている。

【0049】

図６（ａ）は、円研ユニット１３０が、ワークＷに対して円研加工又はオリフラ（オリエンテーションフラット）加工を施している様子を表す図である。

【0050】

円研モータ１３３により回転される円研砥石１３１は、回転しているワークＷに対して入力指示された研削量ｘ１切り込んで、円研加工を施す（円筒研削モード）。一方、円研ユニット１３０は、回転していないワークＷに対して入力指示された研削量ｘ１切り込んで、オリフラ（オリエンテーションフラット）加工を施す（オリフラ研削モード）。

【0051】

ノッチユニット１４０は、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされたワークＷに対してノッチ加工を施すための装置で、ノッチフレーム１４２に保持されている。ノッチユニット１４０は、ノッチ砥石１４１、ノッチ砥石１４１を回転させるノッチモータ１４３等を備えている。

【0052】

図６（ｂ）は、ノッチユニット１４０が、ワークＷに対してノッチ加工を施している様子を表す図である。ノッチモータ１４３により回転されるノッチ砥石１４１は、回転していないワークＷに対して入力指示された研削量ｘ２切り込んで、オリフラ（オリエンテーションフラット）加工を施す。

【0053】

Ｘ線装置１５０は、ワークＷの結晶方位を測定する装置で、Ｘ軸方向に移動可能に設けられている。
＜ワーク搬送装置２００＞
次に、ワーク搬送装置２００の構成例について説明する。

【0054】

図７は、ワーク搬送装置２００の斜視図である。

【0055】

図７に示すように、ワーク搬送装置２００は、Ｚ軸方向に延びる４本の縦柱２０１により支持された固定フレーム２１０と、Ｘ軸方向に移動可能に固定フレーム２１０に取り付けられた第１可動フレーム２２０と、Ｙ軸方向に移動可能に第１可動フレーム２２０に取り付けられた第２可動フレーム２３０と、Ｚ軸方向に移動可能に第２可動フレーム２３０に取り付けられた第３可動フレーム２４０と、第３可動フレーム２４０に固定されたクランプ機構２５０と、を備えている。
＜固定フレーム２１０＞
固定フレーム２１０は、Ｘ軸方向に延びる一対の第１フレーム２１１ａ、２１１ｂと、Ｙ軸方向に延びる一対の第２フレーム２１２ａ、２１２ｂと、を組み合わせて構成される矩形フレームである。

【0056】

固定フレーム２１０を支持する４本の縦柱２０１は、それぞれ、固定フレーム２１０が水平となるように縦柱底部に設けられたアジャスター（図示せず）によりＺ軸方向の長さが調整された状態で、アンカー（図示せず）により床面に固定されている。なお、各々の縦柱２０１は、ボルト等の締結部材により円筒研削装置本体１００に固定されている。
＜第１可動フレーム２２０＞
図７に示すように、第１可動フレーム２２０は、Ｘ軸方向に延びる一対の第３フレーム２２１ａ、２２１ｂと、Ｙ軸方向に延びる一対の第４フレーム２２２ａ、２２２ｂと、を組み合わせて構成される矩形フレームである。

【0057】

第１可動フレーム２２０は、Ｘ軸方向にスライド移動可能に固定フレーム２１０に取り付けられている。具体的には、第１可動フレーム２２０は、固定フレーム２１０（第１フレーム２１１ａ、２１１ｂ）の上面に設けられたＸ軸方向に延びるガイドレール２２３ａ、２２３ｂにスライド移動可能に取り付けられている。

【0058】

第１可動フレーム２２０は、当該第１可動フレーム２２０に連結されたＸ軸方向に延びるボールネジ２２４が固定フレーム２１０（第１フレーム２１１ａ）に取り付けられた駆動モータ２２５（例えば、サーボモータ）により正逆回転されることで、ガイドレール２２３ａ、２２３ｂに沿ってＸ軸方向に移動する。

【0059】

主に、ガイドレール２２３ａ、２２３ｂ、ボールネジ２２４及び駆動モータ２２５が、第１可動フレーム２２０をＸ軸方向に移動させる可動フレーム移動機構Ｍ_２２０を構成する。可動フレーム移動機構Ｍ_２２０が本発明の第１移動機構の一例である。
＜外径測定機構２７０＞
図８は、図７から抜き出した第１可動フレーム２２０（外径測定機構２７０を含む）及びこれに付随する構成（第２可動フレーム２３０等）の斜視図である。

【0060】

図８に示すように、第１可動フレーム２２０（第４フレーム２２２ａ）には、外径測定機構２７０が設けられている。

【0061】

外径測定機構２７０は、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされたワークＷの外径（トップ側端面Ｗｔ及びボトム側端面Ｗｂそれぞれの外径）を測定する装置である。

【0062】

外径測定機構２７０は、昇降フレーム２７１、測定アーム２７２ａ、２７２ｂ、測定子２７３ａ、２７３ｂ、及び、これらが取り付けられたキャリッジ２７４を備えている。

【0063】

キャリッジ２７４は、第１可動フレーム２２０（第４フレーム２２２ａ）側に設けられたＺ軸方向に延びるガイドレール２７５にスライド移動可能に取り付けられている。

【0064】

外径測定機構２７０（測定子２７３ａ、２７３ｂ等）は、当該外径測定機構２７０に連結されたＺ軸方向に延びるボールネジ（図示せず）が第１可動フレーム２２０（第３フレーム２２１ａ）側に取り付けられた駆動モータ２７６（例えば、サーボモータ）により正逆回転されることで、ガイドレール２７５に沿ってＺ軸方向に移動（昇降）する。

【0065】

外径測定機構２７０は、図示しないが、一方の測定アーム２７２ａ（及び測定子２７３ａ）をＹ軸方向に移動させる第１測定子移動機構、及び、他方の測定アーム２７２ｂ（及び測定子２７３ｂ）をＹ軸方向に移動させる第２測定子移動機構を備えている。第１測定子移動機構及び第２測定子移動機構はそれぞれ、測定子駆動モータ（例えば、サーボモータ）を含んでいる。各々の測定子駆動モータが制御されることにより、各々の測定子２７３ａ、２７３ｂは、個別にＹ軸方向に移動する。

【0066】

外径測定機構２７０によれば、各々の測定子２７３ａ、２７３ｂが個別にＹ軸方向に移動しワークＷの外周面に接触することにより、接触点それぞれの位置（位置データ）を取得することができる。そして、制御装置３００は、この位置（位置データ）に基づき所定の演算を実行することにより、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされたワークＷの外径（ワークＷのトップ側端面Ｗｔ及びボトム側端面Ｗｂそれぞれの外径）等を測定（算出）することができる。
＜第２可動フレーム２３０＞
図９は、図７から抜き出した第１可動フレーム２２０及びこれに付随する構成（第２可動フレーム２３０等）の斜視図（図８の別角度の斜視図）である。

【0067】

図９に示すように、第２可動フレーム２３０は、Ｚ軸方向に延びる矩形筒状のフレームである。

【0068】

第２可動フレーム２３０は、Ｙ軸方向にスライド移動可能に第１可動フレーム２２０に取り付けられている。具体的には、第２可動フレーム２３０は、第１可動フレーム２２０（第４フレーム２２２ａ、２２２ｂ）の上面に設けられたＹ軸方向に延びるガイドレール２３１ａ、２３１ｂにスライド移動可能に取り付けられている。

【0069】

第２可動フレーム２３０は、当該第２可動フレーム２３０に連結されたＹ軸方向に延びるボールネジ２３２が第１可動フレーム２２０（第４フレーム２２２ｂ）に取り付けられた駆動モータ２３３（例えば、サーボモータ）により正逆回転されることで、ガイドレール２３１ａ、２３１ｂに沿ってＹ軸方向に移動する。

【0070】

主に、ガイドレール２３１ａ、２３１ｂ、ボールネジ２３２及び駆動モータ２３３が、第２可動フレーム２３０をＹ軸方向に移動させる可動フレーム移動機構Ｍ_２３０を構成する。可動フレーム移動機構Ｍ_２３０が本発明の第２移動機構の一例である。
＜第３可動フレーム２４０＞
図１０図７から抜き出した第３可動フレーム２４０及びこれに付随する構成（クランプ機構２５０等）の斜視図である。

【0071】

第３可動フレーム２４０は、Ｚ軸方向に延びる矩形筒状のフレームで、同じくＺ軸方向に延びる矩形筒状のフレームである第２可動フレーム２３０内に配置されている。

【0072】

第３可動フレーム２４０は、Ｚ軸方向にスライド移動可能に第２可動フレーム２３０に取り付けられている。具体的には、第３可動フレーム２４０は、第２可動フレーム２３０の一方の内面に取り付けられたＺ軸方向に延びるガイドレール２４１ａ、２４１ｂ（図１０参照）及び他方の内面に取り付けられたガイドレール（図示せず）にスライド移動可能に取り付けられている。

【0073】

第３可動フレーム２４０（及びこれに取り付けられたクランプ機構２５０）は、当該第３可動フレーム２４０に連結されたＺ軸方向に延びるボールネジ（図示せず）が第２可動フレーム２３０に取り付けられた駆動モータ２４２（例えば、サーボモータ）により正逆回転されることで、ガイドレール２４１ａ、２４１ｂ等に沿ってＺ軸方向に移動する。

【0074】

主に、ガイドレール２４１ａ、２４１ｂ、ボールネジ（図示せず）及び駆動モータ２４２が、第３可動フレーム２４０（及びこれに取り付けられたクランプ機構２５０）をＺ軸方向に移動させる可動フレーム移動機構Ｍ_２４０を構成する。可動フレーム移動機構Ｍ_２４０が本発明の第３移動機構の一例である。
＜クランプ機構２５０＞
図１０に示すように、第３可動フレーム２４０の下端部には、クランプ機構２５０が旋回機構（旋回用モータ２６０）を介して取り付けられている。

【0075】

クランプ機構２５０は、θ軸ＡＸ_θ（図１１参照）を中心に旋回可能にバッファ軸架台ベース２４５に取り付けられている。θ軸ＡＸ_θは、後述のようにクランプ機構２５０がクランプしたワークＷの中心（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心）をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている。図１１は、クランプ機構２５０を旋回させる旋回機構（旋回用モータ２６０）の一例である。

【0076】

具体的には、クランプ機構２５０は、そのトッププレート２６２に固定された旋回用モータ２６０（例えば中空軸モータ）の回転軸がバッファ軸架台ベース２４５に固定された状態で取り付けられている。これにより、トッププレート２６２に固定された旋回用モータ２６０が正逆回転することにより、クランプ機構２５０は、θ軸ＡＸ_θを中心にバッファ軸架台ベース２４５に対して所定角度（例えば、角度θ。図５（ｂ）、図５（ｃ）参照）旋回する。旋回用モータ２６０が本発明の旋回機構の一例である。なお、旋回機構として、旋回用モータ２６０（例えば中空軸モータ）に代えて、ウォームギヤ、ホイールギヤ及び汎用モータ等、他の駆動機構を用いてもよい。

【0077】

上記のようにクランプ機構２５０が取り付けられたバッファ軸架台ベース２４５は、Ｘ軸方向にスライド移動可能にＺ軸架台ベース２４３に取り付けられている。具体的には、バッファ軸架台ベース２４５の上面に設けられたＸ軸方向に延びるスライドレール２４４が、第３可動フレーム２４０に固定されたＺ軸架台ベース２４３の下面にスライド移動可能に係合している。これにより、後述のように、クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）によりクランプされたワークＷ（トップ側端面Ｗｔ）を主軸口金１１１に押し当てる際、バッファ軸架台ベース２４５（及びこれに取り付けられたクランプ機構２５０）は、Ｚ軸架台ベース２４３に対してＸ軸方向にスライド移動する。これにより、クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）によりクランプされたワークＷ（トップ側端面Ｗｔ）を主軸口金１１１に押し当てる際、クランプ機構２５０に過大な力が加わるのが抑制される。

【0078】

図１２は、クランプ機構２５０の斜視図である。

【0079】

図１２に示すように、クランプ機構２５０は、ワークＷをクランプする一対の爪部２５１ａ、２５１ｂと、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向又は互いに離れる方向に移動させる爪部移動機構Ｍ_２５０を備える。

【0080】

一方の爪部２５１ａは、Ｙ軸方向にスライド移動可能に第３可動フレーム２４０の下端部に取り付けられている。具体的には、一方の爪部２５１ａは、第３可動フレーム２４０の下端部に固定されたフレーム２５２の下面に設けられたＹ軸方向に延びるガイドレール２５３ａ、２５３ｂにスライド移動可能に取り付けられた一方の可動フレーム２５４ａの下面に固定されている。

【0081】

同様に、他方の爪部２５１ｂも、Ｙ軸方向にスライド移動可能に第３可動フレーム２４０の下端部に取り付けられている。具体的には、他方の爪部２５１ｂは、第３可動フレーム２４０の下端部に固定されたフレーム２５２の下面に設けられたＹ軸方向に延びるガイドレール２５３ａ、２５３ｂにスライド移動可能に取り付けられた他方の可動フレーム２５４ｂの下面に固定されている。

【0082】

一対の爪部２５１ａ、２５１ｂは、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂが固定された可動フレーム２５４ａ、２５４ｂに連結されたＹ軸方向に延びる、左右同軸のボールネジ（図示せず）が、フレーム２５２に取り付けられた駆動モータ２５５により正回転されることで、可動フレーム２５４ａ、２５４ｂと共にガイドレール２５３ａ、２５３ｂに沿って互いに接近する方向（Ｙ軸方向）に移動する。また、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂは、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂが固定された可動フレーム２５４ａ、２５４ｂに連結された左右同軸のボールネジ（図示せず）が駆動モータ２５５により逆回転されることで、可動フレーム２５４ａ、２５４ｂと共にガイドレール２５３ａ、２５３ｂに沿って互いに離れる方向（Ｙ軸方向）に移動する。

【0083】

主に、ガイドレール２５３ａ、２５３ｂ、左右同軸のボールネジ（図示せず）及び駆動モータ２５５が、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向又は互いに離れる方向に移動させる爪部移動機構Ｍ_２５０を構成する。

【0084】

図１３は、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂでワークＷをクランプした様子を表す概略図である。

【0085】

図１３に示すように、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂは、それぞれ、ワークＷの下部に当接する第１当接部２５６ａ及びワークＷの上部に当接する第２当接部２５６ｂを有する。具体的には、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂは、それぞれ、互いに向かってＶ字状（ＹＺ平面による断面形状がＶ字状）に開いたテーパ面を有する。このテーパ面が、第１当接部２５６ａ及び第２当接部２５６ｂとして機能する。以下、第１当接部２５６ａ及び第２当接部２５６ｂを、テーパ面２５６ａ、２５６ｂとも呼ぶ。

【0086】

一対の爪部２５１ａ、２５１ｂは、それぞれ、合成樹脂製、又は、テーパ面２５６ａ、２５６ｂが合成樹脂で覆われた金属製である。なお、ワークＷがシリコンインゴット以外の円柱形状のワークである場合、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂは、テーパ面２５６ａ、２５６ｂが合成樹脂で覆われていない金属製であってもよい。

【0087】

一対の爪部２５１ａ、２５１ｂは、互いに接近する方向に移動し、テーパ面２５６ａ、２５６ｂがそれぞれワークＷの外周面に当接した状態で、当該ワークＷをクランプする（図１３参照）。

【0088】

一対の爪部２５１ａ、２５１ｂによれば、ワークＷの径の大小にかかわらず、常に、当該ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗを同一位置に位置決めした状態で当該ワークＷをクランプすることができる。

【0089】

図１４は、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂに取り付けられたセンサの斜視図である。

【0090】

また、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂには、ワークＷの長さＬ（図２参照）を測定するためのセンサが取り付けられている。このセンサは、図１４に示すように、一方の爪部２５１ａの下部に取り付けられた投光器２５７ａと、他方の爪部２５１ｂの下部に取り付けられた受光器２５７ｂとで構成される。なお、これとは逆に、投光器２５７ａが他方の爪部２５１ａの下部に取り付けられ、受光器２５７ｂが一方の爪部２５１ａの下部に取り付けられていてもよい。

【0091】

図１５は、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂに取り付けられたセンサによりワークＷの長さＬを測定している様子を表す概略図である。

【0092】

このセンサによれば、例えば、図１５に示すように、クランプ機構２５０（投光器２５７ａ及び受光器２５７ｂ）をワークＷの上方において太矢印の方向（Ｘ軸方向）に移動させ、ワークＷが、受光器２５７ｂが受ける投光器２５７ａからの光Ｒａｙ（図１４参照）を遮る位置ｐ１（ワーク搬送装置２００が有する三次元座標系における座標位置）、及び、受光器２５７ｂが投光器２５７ａからの光Ｒａｙ（図１４参照）を受ける位置ｐ２（ワーク搬送装置２００が有する三次元座標系における座標位置）をそれぞれ算出することで、ワークＷの長さＬを測定することができる。
＜制御装置３００＞
次に、制御装置３００について説明する。

【0093】

図１６は、制御装置３００を含むシステム構成図である。

【0094】

制御装置３００は、図示しないが、プロセッサ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えている。図１６に示すように、制御装置３００には、第１可動フレーム２２０をＸ軸方向に移動させる可動フレーム移動機構Ｍ_２２０を構成する駆動モータ２２５、第２可動フレーム２３０をＹ軸方向に移動させる可動フレーム移動機構Ｍ_２３０を構成する駆動モータ２３３、第３可動フレーム２４０（及びこれに取り付けられたクランプ機構２５０）をＺ軸方向に移動させる可動フレーム移動機構Ｍ_２４０を構成する駆動モータ２４２、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向又は互いに離れる方向に移動させる爪部移動機構Ｍ_２５０を構成する駆動モータ２５５、クランプ機構２５０を旋回させる旋回用モータ２６０、主軸ユニット１１０（主軸モータ１１３）、テールユニット１２０（テールモータ１２３）、円研ユニット１３０（円研モータ１３３）、ノッチユニット１４０（ノッチモータ１４３）、Ｘ線装置１５０、旋回用モータ２６０、外径測定機構２７０（駆動モータ２７６、測定子駆動モータ）、操作装置４００、パレットローダー５００、センサ（投光器２５７ａ、受光器２５７ｂ）が電気的に接続されている。

【0095】

プロセッサは、例えば、ＣＰＵである。プロセッサは、１つの場合もあるし、複数の場合もある。例えば、プロセッサは、ＲＯＭからＲＡＭに読み込まれたプログラムを実行することで、各駆動モータ２２５、２３３、２４２、２５５、主軸ユニット１１０（主軸モータ１１３）、テールユニット１２０（テールモータ１２３）、円研ユニット１３０（円研モータ１３３）、ノッチユニット１４０（ノッチモータ１４３）、Ｘ線装置１５０、旋回用モータ２６０、外径測定機構２７０（駆動モータ２７６、測定子駆動モータ）等を制御する制御手段として機能する。

【0096】

次に、上記構成の円筒研削装置１の動作例について説明する。

【0097】

図１７は、円筒研削装置１の動作例のフローチャートである。図１８は、工場内に設置された円筒研削装置１の斜視図である。図１９、図２０は、クランプ機構２５０の動作を説明するための図である。図２１、図２２（ａ）、図２２（ｂ）は、主軸ユニット１１０及びテールユニット１２０の動作を説明するための図である。

【0098】

図１８中、符号ＡＧＶ１、ＡＧＶ２が示すのは無人搬送車（Automated Guided Vehicle）、符号５００が示すのはパレットローダーである。以下、無人搬送車ＡＧＶ１、ＡＧＶ２、パレットローダー５００と呼ぶ。

【0099】

無人搬送車ＡＧＶ１は、様々な直径、様々な長さ（中心軸方向の長さ）の円柱形状のワークが保管された工場内の所定箇所から加工対象のワークＷ（図１８中、ワークＷ１）が載置されたパレットＰ１を、円筒研削装置１に隣接して設置されたパレットローダー５００まで搬送し、公知の手段により、パレットＰ１ごとパレットローダー５００に受け渡す（図１８中、ワークＷ２及びパレットＰ２）。

【0100】

パレットローダー５００は、無人搬送車ＡＧＶ１から受け渡されたパレットＰ２を、予め定められた待機位置まで搬送する（図１８中、ワークＷ３及びパレットＰ３）。待機位置まで搬送されたパレットＰ３に載置されたワークＷ（図１８中、ワークＷ３）の中心軸ＡＸ_Ｗは、Ｘ軸方向に延びている。

【0101】

以下、図１７等を参照しながら、工場内に設置された円筒研削装置１の動作例について説明する。

【0102】

まず、加工対象のワークＷに関する情報を取得する（ステップＳ１０）。加工対象のワークＷに関する情報は、例えば、加工対象のワークＷの直径Ｄ（図２参照）で、バーコードとしてパレットの所定箇所に貼り付けられている。例えば、加工対象のワークＷに関する情報（バーコード）は、パレットＰ１をパレットローダー５００に受け渡すタイミングで、パレットローダー５００の所定箇所に取り付けられたバーコード読取装置（図示せず）により読み取られる。制御装置３００は、この読み取られた加工対象のワークＷに関する情報を取得する。なお、制御装置３００は、別装置から送信される加工対象のワークＷに関する情報を取得する場合もある。

【0103】

次に、加工対象のワークＷに対する加工条件（例えば、ワークＷの外周面の研削量、平取面（ＯＦ）やＶ型等の切込み(ノッチ)等の追加工を行うか否か等）を取得する（ステップＳ１１）。加工条件は、例えば、操作装置４００を介してオペレータが入力する。制御装置３００は、この入力された加工条件を取得する。なお、制御装置３００は、別装置から送信される加工条件を取得する場合もある。

【0104】

次に、ワークＷの長さＬ（図２参照）を測定する（ステップＳ１１Ａ）。例えば、図１５に示すように、クランプ機構２５０（投光器２５７ａ及び受光器２５７ｂ）をワークＷの上方において太矢印の方向（Ｘ軸方向）に移動させる。これにより、待機位置まで搬送されたワークＷ（図１８中、ワークＷ３）が、受光器２５７ｂが受ける投光器２５７ａからの光Ｒａｙ（図１４参照）を遮る位置ｐ１（ワーク搬送装置２００が有する三次元座標系における座標位置）、及び、受光器２５７ｂが投光器２５７ａからの光Ｒａｙ（図１４参照）を受ける位置ｐ２（ワーク搬送装置２００が有する三次元座標系における座標位置）をそれぞれ算出することで、ワークＷの長さＬを測定する。これは、制御装置３００（プロセッサ）が、ＲＯＭからＲＡＭに読み込まれたプログラムを実行することで実現される。

【0105】

次に、図１９（ａ）、図１９（ｂ）に示すように、待機位置まで搬送されたワークＷ（図１８中、ワークＷ３）の上方までクランプ機構２５０を移動させる（ステップＳ１２）。

【0106】

具体的には、図１９（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に関し、一方の爪部２５１ａと他方の爪部２５１ｂとの間の中心ＰａがワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗを通る鉛直線Ｖ１に一致し、かつ、図１９（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの中心ＰｂがワークＷの中心Ｐｃ（ステップＳ１１Ａで自動測定された加工対象のワークＷの長さＬの中心）を通る鉛直線Ｖ２に一致するまでクランプ機構２５０を移動させる。これは、制御装置３００が、各制御モータ（サーボモータ）２２５、２３３、２４２を制御することで実現される。

【0107】

次に、図２０（ａ）に示すように、Ｚ軸方向に関し、一方の爪部２５１ａと他方の爪部２５１ｂとの間の中心ＰａがワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗに一致するまでクランプ機構２５０を移動（下降）させる（ステップＳ１３）。これは、制御装置３００が、駆動モータ２４２を制御することで実現される。その際のクランプ機構２５０の移動距離ｄ（下降距離。図２０（ａ）参照）は、ステップＳ１０で取得した加工対象のワークＷの直径Ｄ等に基づき算出することができる。

【0108】

次に、図２０（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ（各々のテーパ面２５６ａ、２５６ｂ）をワークＷの外周面に当接させることで、ワークＷをクランプする（ステップＳ１４）。これは、制御装置３００が、制御モータ（サーボモータ）２５５を制御することで実現される。

【0109】

次に、上記のようにクランプしたワークＷを円筒研削装置本体１００（主軸口金１１１とテール口金１２１との間）まで搬送する（ステップＳ１５）。

【0110】

その際、円筒研削装置１においては、例えば、ステップＳ１０の処理の前に、マスタワーク（図示せず）に対してステップＳ１２～Ｓ１５と同様の処理を行うことにより、円筒研削装置本体１００が有する主軸口金１１１とテール口金１２１との間においてマスタワークの中心軸ＡＸ_ＭＷと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致するように、マスタワークをクランプしたクランプ機構２５０を移動するように設定されている。

【0111】

そのため、ステップＳ１５においては、図２１に示すように、まず、円筒研削装置本体１００が有する主軸口金１１１とテール口金１２１との間において上記設定されたマスタワークの中心軸ＡＸ_ＭＷと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致するように、ワークＷをクランプしたクランプ機構２５０を移動させる。これは、制御装置３００が、各制御モータ（サーボモータ）２２５、２３３、２４２を制御することで実現される。次に、図２２（ｂ）に示すように、上記設定されたマスタワークの中心軸ＡＸ_ＭＷと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態のワークＷを主軸１０１（主軸口金１１１）とテール１０２（テール口金１２１）との間にクランプする（ステップＳ１６）。

【0112】

具体的には、まず、図２２（ａ）に示すように、ワークＷのトップ側端面Ｗｔが主軸口金１１１に突き当たるまで、ワークＷをクランプしたクランプ機構２５０をＸ軸方向に移動させる。これは、制御装置３００が、制御モータ（サーボモータ）２２５を制御することで実現される。

【0113】

次に、図２２（ｂ）に示すように、テール口金１２１がワークＷのボトム側端面Ｗｂに突き当たりワーク重量や加工外力に対して十分な力で加圧するように、テールユニット１２０をＸ軸方向に移動させる。これは、制御装置３００が、テールモータ１２３を制御することで実現される。その際、制御装置３００は、テール口金１２１がワークＷのボトム側端面Ｗｂに接触した時点の位置に基づき、当該ワークＷの長さＬを測定（算出）する。ここで測定されるワークＷの長さＬは、ステップＳ１１Ａで測定されるワークＷの長さＬより高精度で測定される。以下の説明においては、ワークＷの長さＬとして、この高精度で測定された長さＬが用いられる。

【0114】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷに対するクランプを解除する（ステップＳ１７）。これは、制御装置３００が、制御モータ（サーボモータ）２５５を制御することで実現される。

【0115】

次に、制御装置３００は、ズレ量測定処理を実行する（ステップＳ１７Ａ）。

【0116】

図２３は、ズレ量測定処理のフローチャートである。

【0117】

ズレ量測定処理は、円筒研削装置本体１００の回転軸ＡＸ_１００に対する上記クランプされたワークＷのズレ量（ズレ角度θ及びズレ距離ΔＹ。図５（ｂ）、図５（ｃ）参照）を測定（算出）する処理である。

【0118】

ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ１～Ｓ１７Ａ３）は、ワークＷに対してｎ回実行される。以下、ｎが２の場合を例にして説明する。ｎ（測定回数）は、例えば、操作装置４００を介してオペレータが入力する。ｎは、ズレ量測定処理が実行される前のいずれかのタイミングで入力される。なお、予め入力され所定記憶部に記憶されているｎを用いてもよい。なお、ｎは、２以上の整数であればよい。すなわち、ｎの最小値は２である。また、ｎの最大値は、実用性を考慮すると、１６程度である。

【0119】

ｎが２の場合、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ１～Ｓ１７Ａ３）は、図２４（ａ）の状態（以下、原点状態又は原点位置とも呼ぶ）のワークＷ（以下、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}と記載する）、原点状態から反時計回りに１８０度／ｎ（ここでは、９０度）回転させた状態のワークＷ（図２４（ｂ）参照。以下、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}と記載する）それぞれに対して実行される（合計２回実行される）。

【0120】

まず、原点状態のワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}（図２４（ａ）参照）に対してステップＳ１７Ａ１以下の処理を実行する。

【0121】

すなわち、トップ側端面Ｗｔの外径を測定する（ステップＳ１７Ａ１）。具体的には、Ｚ軸方向に関し、一方の測定子２７３ａと他方の測定子２７３ｂとの間の中心が、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}のトップ側端面Ｗｔ近傍において回転軸ＡＸ_１００に一致するまで外径測定機構２７０を下降させる。次に、測定アーム２７２ａ、２７２ｂを互いに接近する方向（Ｙ軸方向）に移動させる。これにより、測定子２７３ａ、２７３ｂをワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}のトップ側端面Ｗｔ近傍の外周面に接触させる。これにより、接触点それぞれの位置（位置データ）を取得する。制御装置３００は、この位置（位置データ）に基づき、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}のトップ側端面Ｗｔの中心位置、及び、当該中心位置と回転軸ＡＸ_１００との間の距離Δｃｔを算出する。

【0122】

次に、ボトム側端面Ｗｂの外径を測定する（ステップＳ１７Ａ２）。図２５は、外径測定機構２７０がボトム側端面Ｗｂの外径を測定している様子を表す。なお、図２５においては、説明の都合上、クランプされていない状態のワークＷを描いているが、実際には、外径測定機構２７０は、主軸口金１１１がトップ側端面Ｗｔに当接し、かつ、テール口金１２１がボトム側端面Ｗｂに当接した状態の（すなわち、クランプされた状態の）ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}のトップ側端面Ｗｔの外径及びボトム側端面Ｗｂの外径を測定する。

【0123】

具体的には、Ｚ軸方向に関し、一方の測定子２７３ａと他方の測定子２７３ｂとの間の中心が、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}のボトム側端面Ｗｂ近傍において回転軸ＡＸ_１００に一致するまで外径測定機構２７０を下降させる（図２５参照）。次に、測定アーム２７２ａ、２７２ｂを互いに接近する方向（Ｙ軸方向）に移動させる（図２５参照）。これにより、測定子２７３ａ、２７３ｂをワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}のボトム側端面Ｗｂ近傍の外周面に接触させる。これにより、接触点それぞれの位置（位置データ）を取得する。制御装置３００は、この位置（位置データ）に基づき、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}のボトム側端面Ｗｂの中心位置、及び、当該中心位置と回転軸ＡＸ_１００との間の距離Δｃｂを算出する。

【0124】

次に、制御装置３００は、測定値（位置データ）に基づき、ズレ量を算出する（ステップＳ１７Ａ３）。具体的には、制御装置３００は、ズレ量としてズレ角度θ及びズレ距離ΔＹ（図５（ｂ）、図５（ｃ）参照）を算出する。

【0125】

角度θは、回転軸ＡＸ_１００に対するワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗのズレ角度である（図５（ｂ）、図５（ｃ）参照）。ΔＹは、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）と回転軸ＡＸ_１００との間の距離である（図５（ｃ）参照）。

【0126】

ズレ角度θは、次のようにして算出することができる。

【0127】

図５（ａ）のように、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態の場合、Δｃｔ＝Δｃｂ＝０の関係になる。

【0128】

一方、図５（ｂ）に示すように、回転軸ＡＸ_１００に対してワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗが角度θ傾いた状態の場合（中心点ＣＰが回転軸ＡＸ_１００上にある場合）、Δｃｔ＝Δｃｂ≠０の関係になる。この場合、次の式１により、ズレ角度θを算出することができる。

図５（ｃ）に示すように、回転軸ＡＸ_１００に対してワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗが角度θ傾いた状態の場合（中心点ＣＰが回転軸ＡＸ_１００上にない場合）、Δｃｔ＞Δｃｂ（又はΔｃｔ＜Δｃｂ）の関係になる。この場合も、上記と同様にしてズレ角度θを算出することができる。

【0129】

次に、ステップＳ１７Ａ１～Ｓ１７Ａ３がｎ回（ここでは、ｎ＝２回）実行されたか否かを判定し（ステップＳ１７Ａ４）、ｎ回実行されていない場合（ステップＳ１７Ａ４：Ｎｏ）、ワークＷを１８０度／ｎ（ここでは、９０度）回転させて（ステップＳ１７Ａ５）、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}（図２４（ｂ）参照）に対して上記と同様にステップＳ１７Ａ１～Ｓ１７Ａ３を実行する（２回目実行）。

【0130】

そして、ステップＳ１７Ａ１～Ｓ１７Ａ３がｎ回（ここでは、ｎ＝２回）実行された場合（ステップＳ１７Ａ４：Ｙｅｓ）、図２３の処理を終了する。

【0131】

図２６は、図２３の処理の結果測定された、各ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}、Ｗ_{Ｗ２－Ｗ４}の測定値Δｃｔ、Δｃｂ、θ、ΔＹ（所定記憶部に記憶されている）をまとめた表である。図２６中、測定値Δｃｔ_{Ｗ３－Ｗ１}、Δｃｂ_{Ｗ３－Ｗ１}、θ_{Ｗ３－Ｗ１}、ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}は、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}を測定することにより得られた測定値であることを表す。同様に、測定値Δｃｔ_{Ｗ２－Ｗ４}、Δｃｂ_{Ｗ２－Ｗ４}、θ_{Ｗ２－Ｗ４}、ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}は、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}を測定することにより得られた測定値であることを表す。

【0132】

次に、図１７に戻って、ステップＳ１７Ａで測定したズレ量≦設定値（予め定められた閾値）か否かを判定する（ステップＳ１７Ｂ）。

【0133】

ステップＳ１７Ｂの判定結果がＮｏの場合、制御装置３００は、ズレ量補正処理を実行する（ステップＳ１７Ｃ）。

【0134】

図２７は、ズレ量補正処理のフローチャートである。

【0135】

ズレ量補正処理は、ステップＳ１７Ａで測定された、円筒研削装置本体１００の回転軸ＡＸ_１００に対する上記クランプされたワークＷのズレ量（ズレ角度θ及びズレ距離ΔＹ。図５（ｂ）、図５（ｃ）参照）を補正する処理である。

【0136】

以下、ズレ量補正処理の具体例１～６について説明する。
＜具体例１＞
図２９は、ズレ量補正処理の具体例１について説明するための図である。

【0137】

具体例１においては、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）及びズレ量補正処理（ステップＳ１７ｃ）の対象のワークＷは、図２９（ａ）に示すように、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている。その際、矢印Ａｒ１（図２９（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗは、回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）ズレている。また、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）は、回転軸ＡＸ_１００上にある。

【0138】

一方、矢印Ａｒ２（図２９（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とは一致している。

【0139】

上記のようにクランプされたワークＷに対して、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）を実行した結果、図２９（ｃ）に示す測定値が得られる。図２９（ｃ）中、円で囲んだ測定値θ_{Ｗ３－Ｗ１}は、０以外の数値であることを表す。

【0140】

まず、Ｙ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ（各々のテーパ面２５６ａ、２５６ｂ）をワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}（図２９（ａ）、図２９（ｂ）参照）の外周面に当接させることで、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプする（ステップＳ１７Ｃ１）。このように、クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）がワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプした状態で、θ軸ＡＸ_θは、当該クランプ機構２５０がクランプしたワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}の中心（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心）をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている。

【0141】

次に、主軸口金１１１及びテール口金１２１の、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ２）。

【0142】

次に、再ローディングを実行する（ステップＳ１７Ｃ３）。すなわち、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプしたクランプ機構２５０を、ステップＳ１７Ａ３で算出された、図２９（ｃ）中の円で囲んだズレ角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）が解消されるようにθ軸ＡＸ_θを中心にズレ角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）旋回させる。これは、制御装置３００が、旋回用モータ２６０を制御することで実現される。これにより、角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）が補正される。

【0143】

次に、図２２（ｂ）に示すように、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}を主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプする（ステップＳ１７Ｃ４）。すなわち、まず、円筒研削装置本体１００が有する主軸口金１１１とテール口金１２１との間において上記角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）補正後のワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致するように、ワークＷをクランプしたクランプ機構２５０を移動させる。次に、上記角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）補正後のワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態で、当該移動後のワークＷを主軸１０１（主軸口金１１１）とテール１０２（テール口金１２１）との間にクランプする。

【0144】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ５）。

【0145】

次に、図１７に戻って、ステップＳ１７Ａ、１７Ｂの処理を再度実行する。

【0146】

そして、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓの場合、すなわち、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}についてステップＳ１７Ａで再度測定したズレ量≦設定値となった場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００の回転軸ＡＸ_１００とが一致（略一致）していることを意味するため、ステップＳ１８以下の処理を実行する。一方、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＮｏの場合、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓとなるまで、ステップＳ１７Ｃ、１７Ａの処理が繰り返し実行される。
＜具体例２＞
図３０は、ズレ量補正処理の具体例２について説明するための図である。

【0147】

具体例２においては、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）及びズレ量補正処理（ステップＳ１７ｃ）の対象のワークＷは、図３０（ａ）に示すように、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている。その際、矢印Ａｒ１（図３０（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とは一致している。

【0148】

一方、矢印Ａｒ２（図３０（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗは、回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）ズレている。また、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）は、回転軸ＡＸ_１００上にある。

【0149】

上記のようにクランプされたワークＷに対して、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）を実行した結果、図３０（ｃ）に示す測定値が得られる。図３０（ｃ）中、円で囲んだ測定値θ_{Ｗ２－Ｗ４}は、０以外の数値であることを表す。

【0150】

まず、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}を原点状態（図３０（ｂ）参照）から反時計回りに１８０度／ｎ（ここでは、９０度）回転させ、図３０（ｄ）に示すように、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}の状態とする。これは、制御装置３００が、主軸モータ１１３及びテールモータ１２３を制御することで実現される。

【0151】

次に、Ｙ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ（各々のテーパ面２５６ａ、２５６ｂ）をワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}（図３０（ｄ）参照）の外周面に当接させることで、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプする（ステップＳ１７Ｃ１）。このように、クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）がワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプした状態で、θ軸ＡＸ_θは、当該クランプ機構２５０がクランプしたワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}の中心（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心）をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている。

【0152】

次に、主軸口金１１１及びテール口金１２１の、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ２）。

【0153】

次に、再ローディングを実行する（ステップＳ１７Ｃ３）。すなわち、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプしたクランプ機構２５０を、ステップＳ１７Ａ３で算出された、図３０（ｃ）中の円で囲んだズレ角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）が解消されるようにθ軸ＡＸ_θを中心にズレ角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）旋回させる。これは、制御装置３００が、旋回用モータ２６０を制御することで実現される。これにより、角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）が補正される。

【0154】

次に、図２２（ｂ）に示すように、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}を主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプする（ステップＳ１７Ｃ４）。すなわち、まず、円筒研削装置本体１００が有する主軸口金１１１とテール口金１２１との間において上記角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）補正後のワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致するように、ワークＷをクランプしたクランプ機構２５０を移動させる。次に、上記角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）補正後のワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態で、当該移動後のワークＷを主軸１０１（主軸口金１１１）とテール１０２（テール口金１２１）との間にクランプする。

【0155】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ５）。

【0156】

次に、図１７に戻って、ステップＳ１７Ａ、１７Ｂの処理を再度実行する。

【0157】

そして、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓの場合、すなわち、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}についてステップＳ１７Ａで再度測定したズレ量≦設定値となった場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００の回転軸ＡＸ_１００とが一致（略一致）していることを意味するため、ステップＳ１８以下の処理を実行する。一方、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＮｏの場合、すなわち、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}についてステップＳ１７Ａで再度測定したズレ量≦設定値とならなかった場合、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓとなるまで、ステップＳ１７Ｃ、１７Ａの処理が繰り返し実行される。
＜具体例３＞
図３１は、ズレ量補正処理の具体例３について説明するための図である。

【0158】

具体例３においては、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）及びズレ量補正処理（ステップＳ１７ｃ）の対象のワークＷは、図３１（ａ）に示すように、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている。その際、矢印Ａｒ１（図３１（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗは、回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）ズレている。また、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）は、回転軸ＡＸ_１００上ではなく、回転軸ＡＸ_１００からＹ軸方向にΔＹ（ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}）ズレた位置にある。

【0159】

一方、矢印Ａｒ２（図３１（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とは一致している。

【0160】

上記のようにクランプされたワークＷに対して、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）を実行した結果、図３１（ｃ）に示す測定値が得られる。図３１（ｃ）中、円で囲んだ測定値θ_{Ｗ３－Ｗ１}、ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}は、０以外の数値であることを表す。

【0161】

まず、Ｙ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ（各々のテーパ面２５６ａ、２５６ｂ）をワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}（図３１（ａ）、図３１（ｂ）参照）の外周面に当接させることで、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプする（ステップＳ１７Ｃ１）。このように、クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）がワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプした状態で、θ軸ＡＸ_θは、当該クランプ機構２５０がクランプしたワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}の中心（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心）をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている。

【0162】

次に、主軸口金１１１及びテール口金１２１の、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ２）。

【0163】

次に、再ローディングを実行する（ステップＳ１７Ｃ３）。すなわち、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプしたクランプ機構２５０を、ステップＳ１７Ａ３で算出された、図３１（ｃ）中の円で囲んだズレ角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）が解消されるようにθ軸ＡＸ_θを中心にズレ角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）旋回させる。これは、制御装置３００が、旋回用モータ２６０を制御することで実現される。これにより、角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）が補正される。

【0164】

これとともに、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプしたクランプ機構２５０を、図３１（ｃ）中の円で囲んだズレ距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}）が解消されるようにズレ距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}）移動させる。これは、制御装置３００が、駆動モータ２３３を制御することで実現される。これにより、距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}）が補正される。

【0165】

【0166】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ５）。

【0167】

次に、図１７に戻って、ステップＳ１７Ａ、１７Ｂの処理を再度実行する。

【0168】

そして、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓの場合、すなわち、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}についてステップＳ１７Ａで再度測定したズレ量≦設定値となった場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００の回転軸ＡＸ_１００とが一致（略一致）していることを意味するため、ステップＳ１８以下の処理を実行する。一方、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＮｏの場合、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓとなるまで、ステップＳ１７Ｃ、１７Ａの処理が繰り返し実行される。
＜具体例４＞
図３２は、ズレ量補正処理の具体例４について説明するための図である。

【0169】

具体例４においては、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）及びズレ量補正処理（ステップＳ１７ｃ）の対象のワークＷは、図３２（ａ）に示すように、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている。その際、矢印Ａｒ１（図３２（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと回転軸ＡＸ_１００とは一致している。

【0170】

一方、矢印Ａｒ２（図３２（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗは、回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）ズレている。また、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）は、回転軸ＡＸ_１００上ではなく、回転軸ＡＸ_１００からＺ軸方向にΔＹ（ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}）ズレた位置にある。

【0171】

上記のようにクランプされたワークＷに対して、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）を実行した結果、図３２（ｃ）に示す測定値が得られる。図３２（ｃ）中、円で囲んだ測定値θ_{Ｗ２－Ｗ４}、ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}は、０以外の数値であることを表す。

【0172】

まず、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}を原点状態（図３２（ｂ）参照）から反時計回りに１８０度／ｎ（ここでは、９０度）回転させ、図３２（ｄ）に示すように、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}の状態とする。これは、制御装置３００が、主軸モータ１１３及びテールモータ１２３を制御することで実現される。

【0173】

次に、Ｙ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ（各々のテーパ面２５６ａ、２５６ｂ）をワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}（図３２（ｄ）参照）の外周面に当接させることで、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプする（ステップＳ１７Ｃ１）。このように、クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）がワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプした状態で、θ軸ＡＸ_θは、当該クランプ機構２５０がクランプしたワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}の中心（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心）をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている。

【0174】

次に、主軸口金１１１及びテール口金１２１の、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ２）。

【0175】

次に、再ローディングを実行する（ステップＳ１７Ｃ３）。すなわち、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプしたクランプ機構２５０を、ステップＳ１７Ａ３で算出された、図３２（ｃ）中の円で囲んだズレ角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）が解消されるようにθ軸ＡＸ_θを中心にズレ角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）旋回させる。これは、制御装置３００が、旋回用モータ２６０を制御することで実現される。これにより、角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）が補正される。

【0176】

これとともに、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプしたクランプ機構２５０を、図３２（ｃ）中の円で囲んだズレ距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}）が解消されるようにズレ距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}）移動させる。これは、制御装置３００が、駆動モータ２３３を制御することで実現される。これにより、距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}）が補正される。

【0177】

【0178】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ５）。

【0179】

次に、図１７に戻って、ステップＳ１７Ａ、１７Ｂの処理を再度実行する。

【0180】

そして、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓの場合、すなわち、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}についてステップＳ１７Ａで測定したズレ量≦設定値となった場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００の回転軸ＡＸ_１００とが一致（略一致）していることを意味するため、ステップＳ１８以下の処理を実行する。一方、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＮｏの場合、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓとなるまで、ステップＳ１７Ｃ、１７Ａの処理が繰り返し実行される。
＜具体例５＞
図３３は、ズレ量補正処理の具体例５について説明するための図である。

【0181】

具体例５においては、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）及びズレ量補正処理（ステップＳ１７ｃ）の対象のワークＷは、図３３（ａ）に示すように、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている。その際、矢印Ａｒ１（図３３（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗは、回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）ズレている。また、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）は、回転軸ＡＸ_１００上にある。

【0182】

一方、矢印Ａｒ２（図３３（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗは、回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）ズレている。また、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）は、回転軸ＡＸ_１００上にある。

【0183】

上記のようにクランプされたワークＷに対して、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）を実行した結果、図３３（ｃ）に示す測定値が得られる。図３３（ｃ）中、円で囲んだ測定値θ_{Ｗ３－Ｗ１}、θ_{Ｗ２－Ｗ４}は、０以外の数値であることを表す。

【0184】

まず、Ｙ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ（各々のテーパ面２５６ａ、２５６ｂ）をワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}（図３３（ａ）、図３３（ｂ）参照）の外周面に当接させることで、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプする（ステップＳ１７Ｃ１）。このように、クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）がワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプした状態で、θ軸ＡＸ_θは、当該クランプ機構２５０がクランプしたワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}の中心（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心）をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている。

【0185】

次に、主軸口金１１１及びテール口金１２１の、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ２）。

【0186】

次に、再ローディングを実行する（ステップＳ１７Ｃ３）。すなわち、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプしたクランプ機構２５０を、ステップＳ１７Ａ３で算出された、図３３（ｃ）中の円で囲んだズレ角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）が解消されるようにθ軸ＡＸ_θを中心にズレ角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）旋回させる。これは、制御装置３００が、旋回用モータ２６０を制御することで実現される。これにより、図３３（ｄ）に示すように、角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）が補正される。

【0187】

【0188】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ５）。

【0189】

次に、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}を図３３（ｄ）の状態から反時計回りに１８０度／ｎ（ここでは、９０度）回転させ、図３３（ｅ）に示すように、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}の状態とする。

【0190】

次に、ステップＳ１７Ｃ１と同様に、クランプ機構２５０によりワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプする。そして、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプしたクランプ機構２５０を、ステップＳ１７Ａ３で算出された、図３３（ｃ）中の円で囲んだズレ角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）が解消されるようにθ軸ＡＸ_θを中心にズレ角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）旋回させる。これは、制御装置３００が、旋回用モータ２６０を制御することで実現される。これにより、角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）が補正される。

【0191】

【0192】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ５）。

【0193】

次に、図１７に戻って、ステップＳ１７Ａ、１７Ｂの処理を再度実行する。

【0194】

そして、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓの場合、すなわち、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}についてステップＳ１７Ａで再度測定したズレ量≦設定値となった場合、かつ、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}についてステップＳ１７Ａで再度測定したズレ量≦設定値となった場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００の回転軸ＡＸ_１００とが一致（略一致）していることを意味するため、ステップＳ１８以下の処理を実行する。一方、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＮｏの場合、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓとなるまで、ステップＳ１７Ｃ、１７Ａの処理が繰り返し実行される。
＜具体例６＞
図３４は、ズレ量補正処理の具体例６について説明するための図である。

【0195】

具体例６においては、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）及びズレ量補正処理（ステップＳ１７ｃ）の対象のワークＷは、図３４（ａ）に示すように、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされている。その際、矢印Ａｒ１（図３４（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗは、回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）ズレている。また、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）は、回転軸ＡＸ_１００上ではなく、回転軸ＡＸ_１００からＹ軸方向にΔＹ（ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}）ズレた位置にある。

【0196】

一方、矢印Ａｒ２（図３４（ｂ）参照）の方向から見た場合、ワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗは、回転軸ＡＸ_１００に対して角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）ズレている。また、ワークＷの中心点ＣＰ（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心点）は、回転軸ＡＸ_１００上ではなく、回転軸ＡＸ_１００からＺ軸方向にΔＹ（ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}）ズレた位置にある。

【0197】

上記のようにクランプされたワークＷに対して、ズレ量測定処理（ステップＳ１７Ａ）を実行した結果、図３４（ｃ）に示す測定値が得られる。図３４（ｃ）中、円で囲んだ測定値θ_{Ｗ３－Ｗ１}、θ_{Ｗ２－Ｗ４}、ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}、ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}は、０以外の数値であることを表す。

【0198】

まず、Ｙ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂを互いに接近する方向に移動させ、当該一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ（各々のテーパ面２５６ａ、２５６ｂ）をワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}（図３４（ａ）、図３４（ｂ）参照）の外周面に当接させることで、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプする（ステップＳ１７Ｃ１）。このように、クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）がワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプした状態で、θ軸ＡＸ_θは、当該クランプ機構２５０がクランプしたワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}の中心（中心軸ＡＸ_Ｗ上の中心）をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている。

【0199】

次に、主軸口金１１１及びテール口金１２１の、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ２）。

【0200】

次に、再ローディングを実行する（ステップＳ１７Ｃ３）。すなわち、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプしたクランプ機構２５０を、ステップＳ１７Ａ３で算出された、図３４（ｃ）中の円で囲んだズレ角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）が解消されるようにθ軸ＡＸ_θを中心にズレ角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）旋回させる。これは、制御装置３００が、旋回用モータ２６０を制御することで実現される。これにより、角度θ（θ_{Ｗ３－Ｗ１}）が補正される。

【0201】

これとともに、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}をクランプしたクランプ機構２５０を、図３４（ｃ）中の円で囲んだズレ距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}）が解消されるようにズレ距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}）移動させる。これは、制御装置３００が、駆動モータ２３３を制御することで実現される。これにより、距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ３－Ｗ１}）が補正される。

【0202】

【0203】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ５）。

【0204】

次に、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}を図３４（ｄ）の状態から反時計回りに１８０度／ｎ（ここでは、９０度）回転させ、図３４（ｅ）に示すように、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}の状態とする。

【0205】

次に、ステップＳ１７Ｃ１と同様に、クランプ機構２５０によりワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプする。そして、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプしたクランプ機構２５０を、ステップＳ１７Ａ３で算出された、図３４（ｃ）中の円で囲んだズレ角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）が解消されるようにθ軸ＡＸ_θを中心にズレ角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）旋回させる。これは、制御装置３００が、旋回用モータ２６０を制御することで実現される。これにより、角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）が補正される。

【0206】

これとともに、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}をクランプしたクランプ機構２５０を、図３４（ｃ）中の円で囲んだズレ距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}）が解消されるようにズレ距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}）移動させる。これは、制御装置３００が、駆動モータ２３３を制御することで実現される。これにより、距離ΔＹ（ΔＹ_{Ｗ２－Ｗ４}）が補正される。

【0207】

次に、図２２（ｂ）に示すように、ワークＷ_{Ｗ３－Ｗ１}を主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプする（ステップＳ１７Ｃ４）。すなわち、まず、円筒研削装置本体１００が有する主軸口金１１１とテール口金１２１との間において上記角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）補正後のワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致するように、ワークＷをクランプしたクランプ機構２５０を移動させる。次に、上記角度θ（θ_{Ｗ２－Ｗ４}）補正後のワークＷの中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００が有する回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態で、当該移動後のワークＷを主軸１０１（主軸口金１１１）とテール１０２（テール口金１２１）との間にクランプする。

【0208】

次に、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの、ワークＷ_{Ｗ２－Ｗ４}に対するクランプを解除する（ステップＳ１７Ｃ５）。

【0209】

次に、図１７に戻って、ステップＳ１７Ａ、１７Ｂの処理を再度実行する。

【0210】

【0211】

次に、ステップＳ１８以降の処理について説明する。

【0212】

すなわち、ステップＳ１７Ｂの判定結果がＹｅｓの場合、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされたワークＷに対して、ステップＳ１１で取得した加工条件を満たすように所定加工を施す（ステップＳ１８）。例えば、主軸口金１１１とテール口金１２１との間にクランプされたワークＷの外周面を研削する。

【0213】

そして、加工対象のワークＷに対する所定加工（例えば、ワークの外周面の研削、平取面（ＯＦ）やＶ型等の切込み(ノッチ)等の追加工）が完了すると（ステップＳ１９：Ｙｅｓ）、当該加工済みのワークＷを上記と同様にクランプ機構２５０によりクランプし、当該クランプした加工済みのワークＷを所定箇所（例えば、図１８中、パレットＰ４）まで搬送する（ステップＳ２０）。

【0214】

この加工済みのワークＷ（図１８中、ワークＷ４）が載置されたパレットＰ４は、例えば、公知の手段により、パレットＰ４ごと無人搬送車ＡＧＶ２に受け渡される（図１８中、ワークＷ５及びパレットＰ５）。

【0215】

そして、無人搬送車ＡＧＶ２は、加工済みのワークＷ（図１８中、ワークＷ５）が載置されたパレットＰ５を次工程に搬送する。

【0216】

以上説明したように、本実施形態によれば、その中心軸ＡＸ_Ｗと円筒研削装置本体１００の回転軸ＡＸ_１００とが一致した状態でワークＷを主軸ユニット１１０（主軸口金１１１）とテールユニット１２０（テール口金１２１）との間にクランプすることができる。

【0217】

これは、ワークＷをクランプした状態のクランプ機構２５０をθ軸ＡＸ_θ（当該クランプ機構２５０がクランプしたワークＷの中心をとおり、かつ、Ｚ軸方向に延びている）を中心に旋回させる旋回機構（旋回用モータ２６０）を備えていることによるものである。

【0218】

また、本実施形態によれば、様々な長さのワークＷを、常に安定した状態で搬送することができる。

【0219】

これは、Ｙ軸方向に関し、一対の爪部２５１ａ、２５１ｂの中心ＰｂがワークＷの中心Ｐｃ（ステップＳ１１Ａで自動測定された加工対象のワークＷの長さＬの中心）を通る鉛直線Ｖ２に一致するまでクランプ機構２５０が移動し（ステップＳ１２、図１９（ｂ）参照）、当該クランプ機構２５０（一対の爪部２５１ａ、２５１ｂ）がワークＷのＹ軸方向の中心をクランプすることによるものである。

【0220】

次に、変形例について説明する。

【0221】

図２８（ａ）は円筒研削装置１の各可動フレーム２２０、２３０、２４０の移動方向を説明する図、図２８（ｂ）は変形例の円筒研削装置１の各可動フレーム２２０、２３０、２４０の移動方向を説明する図である。

【0222】

上記実施形態では、図２８（ａ）に示すように、本発明の移動機構として、第３可動フレーム２４０（及びこれに取り付けられたクランプ機構２５０）をＺ軸方向に移動させる、第２可動フレーム２３０に取り付けられた可動フレーム移動機構Ｍ_２４０（本発明の第１移動機構の一例）と、第２可動フレーム２３０（クランプ機構２５０及び可動フレーム移動機構Ｍ_２４０）をＹ軸方向に移動させる、第１可動フレーム２２０に取り付けられた可動フレーム移動機構Ｍ_２３０（本発明の第２移動機構の一例）と、第１可動フレーム２２０（クランプ機構２５０、可動フレーム移動機構Ｍ_２３０及び可動フレーム移動機構Ｍ_２４０）をＸ軸方向に移動させる、固定フレーム２１０に取り付けられた可動フレーム移動機構Ｍ_２２０（本発明の第３移動機構の一例）と、を用いた例について説明したが、これに限らない。

【0223】

例えば、図２８（ｂ）に示すように、本発明の移動機構として、第３可動フレーム２４０（及びこれに取り付けられたクランプ機構２５０）をＺ軸方向に移動させる、第２可動フレーム２３０に取り付けられた可動フレーム移動機構Ｍ_２４０（本発明の第１移動機構の一例）と、第２可動フレーム２３０（クランプ機構２５０及び可動フレーム移動機構Ｍ_２４０）をＸ軸方向に移動させる、第１可動フレーム２２０に取り付けられた可動フレーム移動機構Ｍ_２３０（本発明の第２移動機構の一例）と、第１可動フレーム２２０（クランプ機構２５０、可動フレーム移動機構Ｍ_２３０及び可動フレーム移動機構Ｍ_２４０）をＹ軸方向に移動させる、固定フレーム２１０に取り付けられた可動フレーム移動機構Ｍ_２２０（本発明の第３移動機構の一例）と、を用いてもよい。

【0224】

上記実施形態で示した数値は全て例示であり、これと異なる適宜の数値を用いることができるのは無論である。

【0225】

上記実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎない。上記実施形態の記載によって本発明は限定的に解釈されるものではない。本発明はその精神または主要な特徴から逸脱することなく他の様々な形で実施することができる。

【符号の説明】

【0226】

１…円筒研削装置
１００…円筒研削装置本体
１１０…主軸ユニット
１１１…主軸口金
１１２…主軸ボディ
１１３…主軸モータ
１２０…テールユニット
１２１…テール口金
１２２…テールボディ
１２３…テールモータ
１３０…円研ユニット
１３１…円研砥石
１３２…円研ベース
１３３…円研モータ
１４０…ノッチユニット
１４１…ノッチ砥石
１４２…ノッチフレーム
１４３…ノッチモータ
１５０…Ｘ線装置
２００…ワーク搬送装置
２０１…縦柱
２１０…固定フレーム
２１１ａ…第１フレーム
２１１ｂ…第１フレーム
２１２ａ…第２フレーム
２１２ｂ…第２フレーム
２２０…第１可動フレーム
２２１ａ…第３フレーム
２２１ｂ…第３フレーム
２２２ａ…第４フレーム
２２２ｂ…第４フレーム
２２３ａ…ガイドレール
２２３ｂ…ガイドレール
２２４…ボールネジ
２２５…駆動モータ
２３０…第２可動フレーム
２３１ａ…ガイドレール
２３１ｂ…ガイドレール
２３２…ボールネジ
２３３…駆動モータ
２４０…第３可動フレーム
２４１ａ、２４１ｂ…ガイドレール
２４２…駆動モータ
２４３…Ｚ軸架台ベース
２４４…スライドレール
２４５…バッファ軸架台ベース
２５０…クランプ機構
２５１ａ、２５１ｂ…爪部
２５２…フレーム
２５３ａ…ガイドレール
２５３ｂ…ガイドレール
２５４ａ…可動フレーム
２５４ｂ…可動フレーム
２５５…駆動モータ
２５６ａ…第１当接部（テーパ面）
２５６ｂ……第１当接部（テーパ面）
２５７ａ…投光器
２５７ｂ…受光器
２６０…旋回用モータ
２６２…トッププレート
２７０…外径測定機構
２７１…昇降フレーム
２７２ａ、２７２ｂ…測定アーム
２７３ａ、２７３ｂ…測定子
２７４…キャリッジ
２７５…ガイドレール
２７６…駆動モータ
３００…制御装置
４００…操作装置
５００…パレットローダー
Ａ１、Ａ２…矩形
ＡＧＶ１、ＡＧＶ２…無人搬送車
ＡＸ_１００…回転軸
ＡＸ_Ｗ…中心軸
ＡＸ_θ…θ軸
ＡＸ_ＭＷ…マスタワーク中心軸
ＣＰ…中心点
Ｍ_２２０…可動フレーム移動機構
Ｍ_２３０…可動フレーム移動機構
Ｍ_２４０…可動フレーム移動機構
Ｍ_２５０…爪部移動機構
Ｐ１～Ｐ５…パレット
Ｗ…ワーク
Ｗｔ…トップ側端面
Ｗｂ…ボトム側端面
ｄ…移動距離
ｘ１、ｘ２…研削量
θ…ズレ角度
ΔＹ…ズレ距離

【図1】