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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023069567
(43)【公開日】2023-05-18
(54)【発明の名称】全反射測定装置
(51)【国際特許分類】
G01N 21/65 20060101AFI20230511BHJP
G01N 21/552 20140101ALI20230511BHJP
G01N 21/35 20140101ALI20230511BHJP
G02B 21/06 20060101ALI20230511BHJP
G02B 21/18 20060101ALI20230511BHJP
【ＦＩ】
G01N21/65
G01N21/552
G01N21/35
G02B21/06
G02B21/18
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021181521
(22)【出願日】2021-11-05
(71)【出願人】
【識別番号】000232689
【氏名又は名称】日本分光株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100092901
【弁理士】
【氏名又は名称】岩橋 祐司
(74)【代理人】
【識別番号】100188260
【弁理士】
【氏名又は名称】加藤 愼二
(72)【発明者】
【氏名】薄 正輝
(72)【発明者】
【氏名】久保 佳子
(72)【発明者】
【氏名】堂込 大介
(72)【発明者】
【氏名】▲会▼澤 見斗
(72)【発明者】
【氏名】井上 勉
【テーマコード（参考）】
2G043
2G059
2H052
【Ｆターム（参考）】
2G043AA01
2G043CA03
2G043CA05
2G043CA06
2G043CA07
2G043DA06
2G043EA03
2G043EA14
2G043FA02
2G043GA03
2G043GB01
2G043GB21
2G043HA01
2G043KA09
2G043LA03
2G043MA01
2G043NA01
2G059AA01
2G059BB04
2G059BB08
2G059BB09
2G059BB10
2G059EE02
2G059EE03
2G059EE10
2G059EE12
2G059GG01
2G059HH01
2G059JJ01
2G059JJ11
2G059JJ12
2G059JJ23
2G059KK04
2G059LL01
2G059LL04
2G059MM01
2G059MM13
2G059NN01
2G059PP04
2H052AA00
2H052AB01
2H052AB17
2H052AC04
2H052AC09
2H052AC13
2H052AC14
2H052AC18
2H052AC27
2H052AC34
2H052AD06
2H052AF07
2H052AF14
(57)【要約】
【課題】ラマン分光測定を同時に実行できて、ＡＴＲプリズム由来のラマンピークの影響を抑制しつつラマン分光測定を実行可能な全反射測定装置を提供すること。
【解決手段】全反射測定装置１００は、赤外光学機器２２０およびラマンモジュール１０を有する。赤外光学機器２２０は、試料よりもＡＴＲプリズム２００側にあり、プリズム２００へ赤外光を照射し、プリズム２００からの赤外光を収集する。ラマンモジュール１０は、試料に対してプリズム２００とは反対側にあり、励起光源１２からの励起光を試料に向けて出射するガイド筒６０と、その内部に配置されたレンズ体５８とを有する。ガイド筒６０の先端は、試料をプリズム２００側に押す位置にある。ラマンモジュール１０は、レンズ体５８を励起光軸に沿って移動させるレンズ体５８の位置調整装置４０と、レンズ体５８で集光されるラマン光を分光検出する分光器１２とを備える。
【選択図】 図１
【解決手段】全反射測定装置１００は、赤外光学機器２２０およびラマンモジュール１０を有する。赤外光学機器２２０は、試料よりもＡＴＲプリズム２００側にあり、プリズム２００へ赤外光を照射し、プリズム２００からの赤外光を収集する。ラマンモジュール１０は、試料に対してプリズム２００とは反対側にあり、励起光源１２からの励起光を試料に向けて出射するガイド筒６０と、その内部に配置されたレンズ体５８とを有する。ガイド筒６０の先端は、試料をプリズム２００側に押す位置にある。ラマンモジュール１０は、レンズ体５８を励起光軸に沿って移動させるレンズ体５８の位置調整装置４０と、レンズ体５８で集光されるラマン光を分光検出する分光器１２とを備える。
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
試料よりも屈折率の高いＡＴＲ結晶体を試料に接触させて全反射測定をする全反射測定装置であって、
赤外光学機器およびラマン分光機器を備え、
前記赤外光学機器は、試料よりも前記ＡＴＲ結晶体側に配置されて、前記ＡＴＲ結晶体へ赤外光を照射するとともに、前記ＡＴＲ結晶体から赤外光を収集し、
前記ラマン分光機器は、試料に対して前記ＡＴＲ結晶体とは反対側に配置され、
励起光を発する励起光源と、
先端から前記励起光を試料に向けて出射する筒状のガイド筒と、
前記ガイド筒内に配置され先端に向けて前記励起光を集光するレンズ体と、を有し、
前記ガイド筒の先端が試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置に設けられ、
さらに、
前記レンズ体を励起光軸に沿って移動させる前記レンズ体の位置調整装置と、
前記レンズ体によって集光される試料からのラマン光を分光して検出する分光器と、を備える、ことを特徴とする全反射光学装置。
赤外光学機器およびラマン分光機器を備え、
前記赤外光学機器は、試料よりも前記ＡＴＲ結晶体側に配置されて、前記ＡＴＲ結晶体へ赤外光を照射するとともに、前記ＡＴＲ結晶体から赤外光を収集し、
前記ラマン分光機器は、試料に対して前記ＡＴＲ結晶体とは反対側に配置され、
励起光を発する励起光源と、
先端から前記励起光を試料に向けて出射する筒状のガイド筒と、
前記ガイド筒内に配置され先端に向けて前記励起光を集光するレンズ体と、を有し、
前記ガイド筒の先端が試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置に設けられ、
さらに、
前記レンズ体を励起光軸に沿って移動させる前記レンズ体の位置調整装置と、
前記レンズ体によって集光される試料からのラマン光を分光して検出する分光器と、を備える、ことを特徴とする全反射光学装置。
【請求項2】
請求項１記載の全反射光学装置において、
前記レンズ体は、前記ガイド筒と二重筒構造をなすレンズ筒に固定され、
前記レンズ体の位置調整装置は、
励起光軸に沿って可動する可動部材と、
前記可動部材を支持する固定部材と、を含み、
前記可動部材に前記レンズ筒が保持され、
前記固定部材に前記ガイド筒が保持される、ことを特徴とする全反射光学装置。
前記レンズ体は、前記ガイド筒と二重筒構造をなすレンズ筒に固定され、
前記レンズ体の位置調整装置は、
励起光軸に沿って可動する可動部材と、
前記可動部材を支持する固定部材と、を含み、
前記可動部材に前記レンズ筒が保持され、
前記固定部材に前記ガイド筒が保持される、ことを特徴とする全反射光学装置。
【請求項3】
請求項２記載の全反射光学装置において、
前記レンズ筒の先端に固定されたレンズ体、または、前記レンズ筒の先端が、試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置になるように、該レンズ筒は、前記レンズ体の位置調整装置によって位置調整可能に設けられていることを特徴とする全反射光学装置。
前記レンズ筒の先端に固定されたレンズ体、または、前記レンズ筒の先端が、試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置になるように、該レンズ筒は、前記レンズ体の位置調整装置によって位置調整可能に設けられていることを特徴とする全反射光学装置。
【請求項4】
請求項２または３記載の全反射光学装置において、
前記可動部材に前記レンズ筒が着脱可能に保持され、
前記固定部材に前記ガイド筒が着脱可能に保持される、ことを特徴とする全反射光学装置。
前記可動部材に前記レンズ筒が着脱可能に保持され、
前記固定部材に前記ガイド筒が着脱可能に保持される、ことを特徴とする全反射光学装置。
【請求項5】
請求項１から４のいずれかに記載の全反射光学装置において、
前記レンズ体の集光点の位置の調整範囲に、試料の位置およびＡＴＲ結晶体の位置が含まれるように、前記レンズ体の位置調整装置が構成されている、ことを特徴とする全反射光学装置。
前記レンズ体の集光点の位置の調整範囲に、試料の位置およびＡＴＲ結晶体の位置が含まれるように、前記レンズ体の位置調整装置が構成されている、ことを特徴とする全反射光学装置。
【請求項6】
請求項１から４のいずれかに記載の全反射光学装置において、
前記レンズ体の形状が半球または球であり、
該レンズ体が試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置になるように、該レンズ体は、前記レンズ体の位置調整装置によって位置調整可能に設けられている、ことを特徴とする全反射光学装置。
前記レンズ体の形状が半球または球であり、
該レンズ体が試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置になるように、該レンズ体は、前記レンズ体の位置調整装置によって位置調整可能に設けられている、ことを特徴とする全反射光学装置。
【請求項7】
請求項６記載の全反射光学装置において、
前記ラマン分光機器は、さらに、
前記励起光源の出口のコリメートレンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調整装置と、
前記分光器前の結像レンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調整装置と、
を備える、ことを特徴とする全反射光学装置。
前記ラマン分光機器は、さらに、
前記励起光源の出口のコリメートレンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調整装置と、
前記分光器前の結像レンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調整装置と、
を備える、ことを特徴とする全反射光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はラマン分光測定を同時に実行できる全反射測定（ＡＴＲ）装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１のフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）用のＡＴＲ付属品は、全反射測定法とラマン分光法を同時に実行できる装置であり、試料ステージ上の加圧棒に、ラマン測定用の光ファイバーを埋め込んで、ファイバー先端から励起光を試料に照射し、試料からのラマン光をファイバーの先端部から集光して、ラマン検出機構で検出するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】国際公開２０１９／０９２７７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１の全反射測定装置では、光ファイバーから出射する励起光の照射範囲が広範囲になる。そのため、特に、少量の試料や厚さの薄い試料をラマン分光測定する際、ステージに埋め込まれたＡＴＲプリズム由来のラマンピークが測定結果に重なってしまうという課題があった。
【0005】
本発明の目的は、ラマン分光測定を同時に実行できる全反射測定装置であって、ＡＴＲプリズム由来のラマンピークの影響を抑制しつつラマン分光測定を実行可能な全反射測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
すなわち、本発明に係る全反射測定装置は、
試料よりも屈折率の高いＡＴＲ結晶体を試料に接触させて全反射測定をする全反射測定装置であって、
赤外光学機器およびラマン分光機器を備え、
前記赤外光学機器は、試料よりも前記ＡＴＲ結晶体側に配置されて、前記ＡＴＲ結晶体へ赤外光を照射するとともに、前記ＡＴＲ結晶体から赤外光を収集し、
前記ラマン分光機器は、試料に対して前記ＡＴＲ結晶体とは反対側に配置され、
励起光を発する励起光源と、
先端から前記励起光を試料に向けて出射する筒状のガイド筒と、
前記ガイド筒内に配置され先端に向けて前記励起光を集光するレンズ体と、を有し、
前記ガイド筒の先端が試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置に設けられ、
さらに、
前記レンズ体を励起光軸に沿って移動させる前記レンズ体の位置調整装置と、
前記レンズ体によって集光される試料からのラマン光を分光して検出する分光器と、を備える、ことを特徴とする。
この構成では、ＡＴＲ結晶体を含む赤外光学機器と、ラマン分光測定用のラマン光学機器とが、試料を挟む位置に配置されていることに特徴がある。つまり、ラマン光学機器側のガイド筒の先端が試料をＡＴＲ結晶体の方へ押す位置にあるので、ＡＴＲ結晶体に試料を密着させた状態でＡＴＲ測定を実行することができる。また、ガイド筒から励起光が試料に照射され、そのガイド筒を使って試料からのラマン散乱光が収集されることで、ラマン分光測定も実行することができる。よって、ＡＴＲ測定とラマン分光測定を同時に実行することができる。
しかも、ガイド筒の先端が試料に接触した状態でラマン分光測定が実行されるので、ガイド筒内への外部の光は遮られて、遮光された空間内で外部光の影響を抑制しつつラマン分光測定を実行することができる。
さらに、レンズ体の位置調整装置によってレンズ体を移動させることが可能になり、例えば、励起光の集光位置が試料の表面または内部に合うようにレンズ体の位置を調整することによって、ＡＴＲ結晶体を由来とするピークがラマン分光測定の結果に重なることを回避しやすくなる。
試料よりも屈折率の高いＡＴＲ結晶体を試料に接触させて全反射測定をする全反射測定装置であって、
赤外光学機器およびラマン分光機器を備え、
前記赤外光学機器は、試料よりも前記ＡＴＲ結晶体側に配置されて、前記ＡＴＲ結晶体へ赤外光を照射するとともに、前記ＡＴＲ結晶体から赤外光を収集し、
前記ラマン分光機器は、試料に対して前記ＡＴＲ結晶体とは反対側に配置され、
励起光を発する励起光源と、
先端から前記励起光を試料に向けて出射する筒状のガイド筒と、
前記ガイド筒内に配置され先端に向けて前記励起光を集光するレンズ体と、を有し、
前記ガイド筒の先端が試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置に設けられ、
さらに、
前記レンズ体を励起光軸に沿って移動させる前記レンズ体の位置調整装置と、
前記レンズ体によって集光される試料からのラマン光を分光して検出する分光器と、を備える、ことを特徴とする。
この構成では、ＡＴＲ結晶体を含む赤外光学機器と、ラマン分光測定用のラマン光学機器とが、試料を挟む位置に配置されていることに特徴がある。つまり、ラマン光学機器側のガイド筒の先端が試料をＡＴＲ結晶体の方へ押す位置にあるので、ＡＴＲ結晶体に試料を密着させた状態でＡＴＲ測定を実行することができる。また、ガイド筒から励起光が試料に照射され、そのガイド筒を使って試料からのラマン散乱光が収集されることで、ラマン分光測定も実行することができる。よって、ＡＴＲ測定とラマン分光測定を同時に実行することができる。
しかも、ガイド筒の先端が試料に接触した状態でラマン分光測定が実行されるので、ガイド筒内への外部の光は遮られて、遮光された空間内で外部光の影響を抑制しつつラマン分光測定を実行することができる。
さらに、レンズ体の位置調整装置によってレンズ体を移動させることが可能になり、例えば、励起光の集光位置が試料の表面または内部に合うようにレンズ体の位置を調整することによって、ＡＴＲ結晶体を由来とするピークがラマン分光測定の結果に重なることを回避しやすくなる。
【0007】
また、前記レンズ体は、前記ガイド筒と二重筒構造をなすレンズ筒に固定され、
前記レンズ体の位置調整装置は、
励起光軸に沿って可動する可動部材と、
前記可動部材を支持する固定部材と、を含み、
前記可動部材に前記レンズ筒が保持され、
前記固定部材に前記ガイド筒が保持されることが好ましい。
この構成では、レンズ体の位置調整装置の稼働部材にレンズ筒が保持され、固定部材にガイド筒が保持されているので、レンズ筒とガイド筒の二重筒の構造体は、位置調整装置よりも試料側に配置される。よって、位置調整装置の位置は、試料から筒の長さ分だけ離れる。そうすると、レンズ筒とガイド筒の二重筒の構造体は、位置調整装置の機構を含まず、可能な限り細くすることができるので、測定者がガイド筒と試料の接触状態を視認し易くなり、ラマン光学機器の位置調整が容易になる。
前記レンズ体の位置調整装置は、
励起光軸に沿って可動する可動部材と、
前記可動部材を支持する固定部材と、を含み、
前記可動部材に前記レンズ筒が保持され、
前記固定部材に前記ガイド筒が保持されることが好ましい。
この構成では、レンズ体の位置調整装置の稼働部材にレンズ筒が保持され、固定部材にガイド筒が保持されているので、レンズ筒とガイド筒の二重筒の構造体は、位置調整装置よりも試料側に配置される。よって、位置調整装置の位置は、試料から筒の長さ分だけ離れる。そうすると、レンズ筒とガイド筒の二重筒の構造体は、位置調整装置の機構を含まず、可能な限り細くすることができるので、測定者がガイド筒と試料の接触状態を視認し易くなり、ラマン光学機器の位置調整が容易になる。
【0008】
また、前記レンズ筒の先端に固定されたレンズ体、または、前記レンズ筒の先端が、試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置になるように、該レンズ筒は、前記レンズ体の位置調整装置によって位置調整可能に設けられていることが好ましい。
この構成では、２重筒構造をなす２本の筒の両方を試料に接触させることができる。レンズ筒については、レンズ筒自体の先端でも、レンズ筒の先端に固定されたレンズ体でも、いずれかが試料に接触するように、レンズ体の位置調整装置によって位置が調整されるようになっているとよい。これによって、試料とＡＴＲ結晶体との密着状態をより確実にすることができて、より良好なＡＴＲ測定結果を得ることができる。
この構成では、２重筒構造をなす２本の筒の両方を試料に接触させることができる。レンズ筒については、レンズ筒自体の先端でも、レンズ筒の先端に固定されたレンズ体でも、いずれかが試料に接触するように、レンズ体の位置調整装置によって位置が調整されるようになっているとよい。これによって、試料とＡＴＲ結晶体との密着状態をより確実にすることができて、より良好なＡＴＲ測定結果を得ることができる。
【0009】
また、前記可動部材に前記レンズ筒が着脱可能に保持され、
前記固定部材に前記ガイド筒が着脱可能に保持されることが好ましい。
この構成では、２重筒構造をなす２本の筒がどちらも着脱式であれば、交換が容易になるだけでなく、長さの異なる筒への適宜変更も容易になる。また、レンズ筒については、複数種類のレンズ体からの選択も容易になるし、ガイド筒については、先端の押し付け部分の材質や形状を試料に合わせて変更することも容易になる。
前記固定部材に前記ガイド筒が着脱可能に保持されることが好ましい。
この構成では、２重筒構造をなす２本の筒がどちらも着脱式であれば、交換が容易になるだけでなく、長さの異なる筒への適宜変更も容易になる。また、レンズ筒については、複数種類のレンズ体からの選択も容易になるし、ガイド筒については、先端の押し付け部分の材質や形状を試料に合わせて変更することも容易になる。
【0010】
また、前記レンズ体の集光点の位置の調整範囲に、試料の位置およびＡＴＲ結晶体の位置が含まれるように、前記レンズ体の位置調整装置が構成されていることが好ましい。
この構成では、ラマン分光測定の際の励起光の集光点の位置を、試料およびＡＴＲ結晶体のそれぞれの位置に合わせることができるので、それぞれのスペクトルの差スペクトルを算出できる。よって、ＡＴＲ結晶体からの蛍光がラマン測定に影響しうる試料の場合、ＡＴＲ結晶体由来のピークを効率的に除去することができる。
また、集光点の位置を、ガイド筒の先端位置から試料側の位置にも合わせることができるので、試料の内部のラマン分光測定を行える。例えば、ガイド筒の先端にＡＴＲ結晶体と試料との密着性を高めるためにキャップを取り付けて、キャップを試料に押し付けるようにする場合でも、キャップの厚さの分だけ、集光点の位置を試料側に移動させることで、試料に集光点を合わせることができるので、キャップを付けた状態でもラマン分光測定を実行できる。
この構成では、ラマン分光測定の際の励起光の集光点の位置を、試料およびＡＴＲ結晶体のそれぞれの位置に合わせることができるので、それぞれのスペクトルの差スペクトルを算出できる。よって、ＡＴＲ結晶体からの蛍光がラマン測定に影響しうる試料の場合、ＡＴＲ結晶体由来のピークを効率的に除去することができる。
また、集光点の位置を、ガイド筒の先端位置から試料側の位置にも合わせることができるので、試料の内部のラマン分光測定を行える。例えば、ガイド筒の先端にＡＴＲ結晶体と試料との密着性を高めるためにキャップを取り付けて、キャップを試料に押し付けるようにする場合でも、キャップの厚さの分だけ、集光点の位置を試料側に移動させることで、試料に集光点を合わせることができるので、キャップを付けた状態でもラマン分光測定を実行できる。
【0011】
また、前記レンズ体の形状が半球または球であり、
該レンズ体が試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置になるように、該レンズ体は、前記レンズ体の位置調整装置によって位置調整可能に設けられていることが好ましい。
また、前記ラマン分光機器は、前記励起光源の出口のコリメートレンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調整装置と、
前記分光器前の結像レンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調整装置と、
を備えることが好ましい。
この構成では半球または球のレンズ体を用いることで、開口数が大きく、かつ、バックフォーカス（ＢＦＬ）の短いレンズ体を選択し易くなる。そうすると、微量な試料や厚さの薄い試料にレンズ体を押し付けた状態にしても、コリメートレンズおよび結像レンズのレンズ位置調整装置を操作して、励起光の集光点を試料に合わせることが可能になり、そのような試料のラマン分散光を測定することができる。しかも、レンズ体の開口数が大きければ、共焦点性に優れた測定が可能になるので、ＡＴＲ結晶体を由来とするピークがラマン分光測定の結果に重なることを更に回避し易くなる。
該レンズ体が試料をＡＴＲ結晶体側に押す位置になるように、該レンズ体は、前記レンズ体の位置調整装置によって位置調整可能に設けられていることが好ましい。
また、前記ラマン分光機器は、前記励起光源の出口のコリメートレンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調整装置と、
前記分光器前の結像レンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調整装置と、
を備えることが好ましい。
この構成では半球または球のレンズ体を用いることで、開口数が大きく、かつ、バックフォーカス（ＢＦＬ）の短いレンズ体を選択し易くなる。そうすると、微量な試料や厚さの薄い試料にレンズ体を押し付けた状態にしても、コリメートレンズおよび結像レンズのレンズ位置調整装置を操作して、励起光の集光点を試料に合わせることが可能になり、そのような試料のラマン分散光を測定することができる。しかも、レンズ体の開口数が大きければ、共焦点性に優れた測定が可能になるので、ＡＴＲ結晶体を由来とするピークがラマン分光測定の結果に重なることを更に回避し易くなる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】第一実施形態に係るＡＴＲ付属品の全体構成を示す図である。
【図2】前記ＡＴＲ付属品におけるラマンモジュールの構成を示す図である。
【図3】前記ラマンモジュールのフォーカス調整装置の構成を示す図である。
【図4】（Ａ）、（Ｂ）は差スペクトルでＡＴＲプリズム由来のピークを除去する方法を示す図である。
【図5】（Ａ）は前記ガイド筒の先端に押えキャップを取り付けた状態を示す図であり、（Ｂ）は前記ガイド筒の先端自体に窓板を嵌め込んだ状態を示す図である。
【図6】前記ラマンモジュールに球レンズを適用した例を示す図である。
【図7】前記ラマンモジュールに半球レンズを適用した例を示す図である。
【図8】試料を押さえながら、光軸方向に集光点を移動させる機構の説明図。
【図9】前記ラマンモジュールからガイド筒およびレンズ筒などを取り外した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
図を用いて本発明に係るＡＴＲ付属品（全反射測定装置に相当する。）の実施形態を具体的に説明する。
【0014】
図１は、第一実施形態に係るＡＴＲ付属品１００の構成を表す模式図である。ＡＴＲ付属品１００は、試料よりも屈折率の高いＡＴＲプリズム（ＡＴＲ結晶体に相当する。）２００を試料に接触させて全反射測定をするのに用いられるＦＴＩＲ３００用の付属品であり、ＦＴＩＲ３００の試料室３１０に装着される。
【0015】
図１に示すように、ＡＴＲ付属品１００は、ステージ２１０の中央部の孔に嵌め込まれたＡＴＲプリズム２００と、ステージ２１０の下方に配置された赤外光学機器２２０と、ステージ２１０上の昇降装置２４０と、この昇降装置２４０の移動部分（リフト部）に着脱自在に取り付けられたラマンモジュール（ラマン分光機器に相当する。）１０と、を有する。
【0016】
＜赤外光学機器＞
赤外光学機器２２０は、赤外光の入射窓２２２、複数の反射鏡２２４ａ～２２４ｆ、および赤外光の出射窓２２６を有し、これらがステージ２１０を天板とする筐体２２８の中に配置されている。ＦＴＩＲ３００の赤外光源３２０からの赤外光は、ＡＴＲ付属品１００の入射窓２２２の前の集光レンズ３３０で集光されて、入射窓２２２から筐体２２８に入る。筐体２２８内で赤外光は、入射側の複数の反射鏡２２４ａ～２２４ｃを反射し、ＡＴＲプリズム２００に入って、ＡＴＲプリズム２００内部で試料との密着面を全反射する。その全反射光は、ＡＴＲプリズム２００を出て、出射側の複数の反射鏡２２４ｄ～２２４ｆを反射し、出射窓２２６から出る。そして、出射窓２２６の外のコリメートレンズ３４０によって平行光となって赤外検出器３５０に送られる。
赤外光学機器２２０は、赤外光の入射窓２２２、複数の反射鏡２２４ａ～２２４ｆ、および赤外光の出射窓２２６を有し、これらがステージ２１０を天板とする筐体２２８の中に配置されている。ＦＴＩＲ３００の赤外光源３２０からの赤外光は、ＡＴＲ付属品１００の入射窓２２２の前の集光レンズ３３０で集光されて、入射窓２２２から筐体２２８に入る。筐体２２８内で赤外光は、入射側の複数の反射鏡２２４ａ～２２４ｃを反射し、ＡＴＲプリズム２００に入って、ＡＴＲプリズム２００内部で試料との密着面を全反射する。その全反射光は、ＡＴＲプリズム２００を出て、出射側の複数の反射鏡２２４ｄ～２２４ｆを反射し、出射窓２２６から出る。そして、出射窓２２６の外のコリメートレンズ３４０によって平行光となって赤外検出器３５０に送られる。
【0017】
＜昇降装置＞
次に、昇降装置２４０は、ステージ２１０上に立設されたコラム２４２と、コラム２４２上端に支持されたアーム部２４４と、このアーム部２４４をベースとして上下に移動自在に支持されたリフト部２４６と、を有する。昇降装置２４０は市販品を用いることが可能で、例えば、ツマミ部２４８を測定者が回転させることで、リフト部２４６が昇降する機構のものを採用してもよい。なお、アーム部２４４は、コラム２４２の中心軸周りに旋回自在に支持されるようにしてもよい。コラム２４２の中心軸は鉛直方向であり、図１にＺ軸として示す。
次に、昇降装置２４０は、ステージ２１０上に立設されたコラム２４２と、コラム２４２上端に支持されたアーム部２４４と、このアーム部２４４をベースとして上下に移動自在に支持されたリフト部２４６と、を有する。昇降装置２４０は市販品を用いることが可能で、例えば、ツマミ部２４８を測定者が回転させることで、リフト部２４６が昇降する機構のものを採用してもよい。なお、アーム部２４４は、コラム２４２の中心軸周りに旋回自在に支持されるようにしてもよい。コラム２４２の中心軸は鉛直方向であり、図１にＺ軸として示す。
【0018】
＜ラマンモジュール＞
ラマンモジュール１０は、昇降装置２４０のリフト部２４６に着脱自在に支持される。ラマンモジュール１０のリフト部２４６への取り付けには、ネジやマグネット等を用いるとよい。ラマンモジュール１０は、図２で詳しく説明するが、モジュール本体（筐体２８）と、モジュール本体の下端に接続されたフォーカス調整装置４０と、下端から励起光を出射する筒状のガイド筒６０とを有し、ガイド筒６０の下端開口がＡＴＲプリズム２００を向く姿勢でリフト部２４６に支持される。なお、ラマンモジュール１０は、リフト部２４６から取り外した状態では、片手で掴むことができる大きさであり、単独でのラマン分光測定が可能に構成されている。
ラマンモジュール１０は、昇降装置２４０のリフト部２４６に着脱自在に支持される。ラマンモジュール１０のリフト部２４６への取り付けには、ネジやマグネット等を用いるとよい。ラマンモジュール１０は、図２で詳しく説明するが、モジュール本体（筐体２８）と、モジュール本体の下端に接続されたフォーカス調整装置４０と、下端から励起光を出射する筒状のガイド筒６０とを有し、ガイド筒６０の下端開口がＡＴＲプリズム２００を向く姿勢でリフト部２４６に支持される。なお、ラマンモジュール１０は、リフト部２４６から取り外した状態では、片手で掴むことができる大きさであり、単独でのラマン分光測定が可能に構成されている。
【0019】
測定者は、昇降装置２４０に取り付けられたラマンモジュール１０を上昇させて、ステージ２１０のＡＴＲプリズム２００上に試料を載置する。例えば、少量の粉体試料や厚さの薄いシート状の試料を載せる。そして、昇降装置２４０でラマンモジュール１０を下降させて、ガイド筒６０の下端をゆっくりステージ２１０上の試料に接触させる。昇降装置２４０のツマミ部２４８には、ガイド筒６０の先端が試料を過度に押えないようにトルクリミッター（ツマミ部２４８に設定以上のトルクが作用したらツマミ部２４８が空回りする機構）を設けてもよい。
【0020】
なお、固体や粉体の試料に限らず、液体試料やこれらの混合物でもよい。また、試料の量については、載置面上に載置される少量の試料から、容器・袋などに入った多量の試料まで、測定できる。
【0021】
図２に示すようにラマンモジュール１０の筐体２８内には、励起光源１２、コリメートレンズ１５ｃ、ダイクロイックミラー（ＤＭ）１４、分光器１６、光検出器１８、マイクロプロセッサおよびメモリーを有する制御回路２０、電源２２、アナログ・ディジタル（Ａ／Ｄ）変換器２４、および通信インタフェース（Ｉ／Ｆ）２６が配置されている。電源２２には、バッテリーを設けてもよいが、バッテリーを用いないで直接電源供給部（ＡＣアダプター等）を設けてもよい。
【0022】
励起光源１２は、レーザーダイオード等であり、レーザー光を励起光として出力する。筐体２８に開閉カバーを設けて、励起光源１２を着脱自在に構成することで、試料の種類・形態に応じた波長の励起光源１２への交換が容易になる。
【0023】
図２の構成では、励起光源１２からの励起光は、コリメートレンズ１５ｃで平行光になって、ダイクロイックミラー（ＤＭ）１４を透過し、フォーカス調整装置４０およびガイド筒６０を通って試料を照射する。ＤＭ１４とフォーカス調整装置４０の間にはシャッター３０が設けられ、ラマンモジュール１０を使用しない時にシャッター３０を閉じて、励起光の不要な出射を防止する。
【0024】
また、ガイド筒６０からの戻り光（ここではラマン光）は、フォーカス調整装置４０を通ってＤＭ１４を反射し、結像レンズ１５ａおよびスリット１５ｂを介して、分光器１６で波長毎に分散され、光検出器１８を構成するＣＭＯＳイメージセンサ等によって光強度のスペクトル分布として検出される。ＤＭ１４は、特定の波長域の入射光を反射し、それ以外を透過することで、入射光から必要な光（ラマン光）を分離することができる光学素子であり、同様の機能を持つ他の光学素子に置き換えることもできる。
【0025】
本実施形態では、光検出器１８に、小型・軽量・省電力化のために冷却機能のない検出器またはセンサを用いているが、冷却機能のついたものでも構わない。ＳＮ比が小さい場合は、測定時間を延長し、検出信号の積算を増やすとよい。光検出器１８からの検出信号は、Ａ／Ｄ変換器２４でディジタル信号に変換され、制御回路２０に送られる。制御回路２０は、検出信号に基づいて、試料のスペクトル情報を算出し、これを保存する。また、制御回路２０は、スペクトル情報をＵＳＢなどの通信Ｉ／Ｆ２６を経由して外部コンピュータ（ＰＣ）４００に出力し、そのモニターに表示させることができる。なお、外部ＰＣ４００は、スマートフォン等の携帯型コンピュータであってもよい。ラマンモジュール１０の測定スペクトルを携帯型コンピュータが暗号化メールにして、さらに外部のデータベースを有するサーバーコンピュータに送信してもよい。サーバーコンピュータが受信した測定スペクトルを詳細に分析して、携帯型コンピュータがその分析結果を受信しモニター等に表示してもよい。
【0026】
図３にラマンモジュール１０の筐体２８に接続されるフォーカス調整装置４０およびガイド筒６０の構成例を示す。
【0027】
＜フォーカス調整装置＞
フォーカス調整装置４０は、筐体２８に固定される固定部材４２と、固定部材４２に対してＺ方向に移動自在に支持される可動部材４４とを有する。固定部材４２は、筐体２８からの励起光の光軸に沿った貫通孔４６を有する。貫通孔４６の筐体２８寄りの内面には内ネジ４８が加工され、また、貫通孔４６の中央部には、可動部材４２のツマミ部５２を操作するための比較的大きい開口部がＺ方向と直交する方向に形成されている。
フォーカス調整装置４０は、筐体２８に固定される固定部材４２と、固定部材４２に対してＺ方向に移動自在に支持される可動部材４４とを有する。固定部材４２は、筐体２８からの励起光の光軸に沿った貫通孔４６を有する。貫通孔４６の筐体２８寄りの内面には内ネジ４８が加工され、また、貫通孔４６の中央部には、可動部材４２のツマミ部５２を操作するための比較的大きい開口部がＺ方向と直交する方向に形成されている。
【0028】
可動部材４４は、励起光の光路を形成する筒状の部材であり、筐体２８寄りの外面には固定部材４２の内ネジ４８と螺合する外ネジ５０が加工されている。また、可動部材４４の試料寄りの端部には、外ネジ５０の部分よりも大径のツマミ部５２が形成されている。可動部材４４の貫通孔５４には、試料側から筒状のレンズ筒５６が着脱自在に取り付けられる。また、レンズ筒５６の試料側の先端付近にはレンズ体（凸レンズまたはアクロマティックレンズ）５８が支持されている。
【0029】
＜ガイド筒＞
固定部材４２の貫通孔４６には、試料側からガイド筒６０が着脱自在に取り付けられる。ガイド筒６０の貫通孔６２の試料側の先端は、内径が小さく形成され、丁度、レンズ筒５６の先端が挿入されて、レンズ筒５６がＺ方向に移動できるように形成されている。
固定部材４２の貫通孔４６には、試料側からガイド筒６０が着脱自在に取り付けられる。ガイド筒６０の貫通孔６２の試料側の先端は、内径が小さく形成され、丁度、レンズ筒５６の先端が挿入されて、レンズ筒５６がＺ方向に移動できるように形成されている。
【0030】
ガイド筒６０およびレンズ筒５６は二重筒構造を形成し、外側のガイド筒６０は固定部材４２に支持され、内側のレンズ筒５６は可動部材４４に支持されているので、測定者がツマミ部５２を回して可動部材４４をＺ方向に下降／上昇させると、レンズ筒５６の先端が試料に密着／離間する方向に移動する。ガイド筒６０およびレンズ筒５６の二重筒構造を形成することで、フォーカス調整装置４０を試料から離れた位置に設けることができ、二重筒の構造体を極力細くすることができるので、測定者が、ガイド筒６０の先端と試料との接触状態を視認し易くなり、ラマンモジュール１０の位置調整が容易になる。
【0031】
レンズ筒５６内を進む励起光（平行光）は、レンズ体５８で集光されて、レンズ筒５６の先端よりも試料側に出た位置に集光点Ｐを形成する。レンズ体５８による励起光の集光点の位置と、分光器１６前のスリット１５ｂとは共役の位置関係になっている。図３に示すように、可動部材４４が基準位置（ツマミ部５２が最も筐体２８寄りの位置）にある場合に、この集光点Ｐの位置は、丁度、ガイド筒６０の先端の位置になる。
【0032】
本実施形態では、図３に示すように、測定者が昇降装置２４０を操作してラマンモジュール１０を下降させて、ガイド筒６０の下端で試料をＡＴＲプリズム側に押圧することで、試料をＡＴＲプリズム２００に密着させることができ、ＡＴＲ測定を良好な条件で実行できる。
同時に、ガイド筒６０の下端が試料に接触する位置にあるため、ガイド筒６０内が遮光状態となって、外部からの光の影響を受けないラマン分光測定を実行することができる。
さらに、測定者がフォーカス調整装置４０を操作してレンズ体５８の集光点Ｐの位置をＺ方向に調整することが可能になり、特に、集光点Ｐを試料の表面または内部に合わせることで、ＡＴＲプリズム２００を由来とするピークがラマン分光測定の結果に重なることを回避することができる。
従って、それぞれ良好な測定条件下で、ＡＴＲ測定とラマン分光測定を同時に実行することができる。
同時に、ガイド筒６０の下端が試料に接触する位置にあるため、ガイド筒６０内が遮光状態となって、外部からの光の影響を受けないラマン分光測定を実行することができる。
さらに、測定者がフォーカス調整装置４０を操作してレンズ体５８の集光点Ｐの位置をＺ方向に調整することが可能になり、特に、集光点Ｐを試料の表面または内部に合わせることで、ＡＴＲプリズム２００を由来とするピークがラマン分光測定の結果に重なることを回避することができる。
従って、それぞれ良好な測定条件下で、ＡＴＲ測定とラマン分光測定を同時に実行することができる。
【0033】
ラマンモジュール１０は、赤外光源１２出口のコリメートレンズ１５ｃ、試料に近いレンズ体５８、および分光器１６の入口の結像レンズ１５ａを有し、これらが共焦点光学系を形成するので、共焦点性の高いラマン測定が実行される。例えば、試料が多層構造の場合、フォーカス調整装置４０を操作することで、集光点ＰをＡＴＲプリズム２００の測定面に位置合わせすることも可能になり、ＡＴＲ測定との整合を取れる。図４に示すように、ラマンモジュール１０の共焦点光学系と、レンズ体５８のフォーカス調整装置４０とを利用して、励起光の集光点Ｐを光軸方向に移動させる。ＡＴＲプリズム２００由来のピークが試料のピークと重なる場合に、集光点Ｐの位置を変えて、図４（Ａ）の試料のスペクトルと、図４（Ｂ）のダイヤモンドプリズムのスペクトルとをそれぞれ測定して、例えば試料のスペクトルに対して、プリズムのスペクトルに係数を掛けて、両者の差スペクトルを算出すれば、ＡＴＲプリズム２００由来のピークを計算によって除去することができる。測定点は、プリズムの測定点と試料の測定点の少なくとも２点あればよい。
【0034】
＜押しキャップ＞
図５（Ａ）に、ガイド筒６０の下端に押しキャップ６４を取り付けた状態を示す。押しキャップ６４は、ガイド筒６０の開口を覆うとともに、中央部に小径の孔６５を有していて、ここから集光された励起光が出射する。押しキャップ６４を取り付けることで、ガイド筒６０が試料を押圧する面積が大きくなり、ＡＴＲプリズム２００と試料の密着状態が良好になる。また、フォーカス調整装置４０を操作してレンズ体５８の集光点Ｐの位置を、押しキャップ６４の厚さ分だけＺ方向に調整することで、試料における集光点Ｐの位置を押しキャップ６４の取付前と同じ状態にすることができる。
図５（Ａ）に、ガイド筒６０の下端に押しキャップ６４を取り付けた状態を示す。押しキャップ６４は、ガイド筒６０の開口を覆うとともに、中央部に小径の孔６５を有していて、ここから集光された励起光が出射する。押しキャップ６４を取り付けることで、ガイド筒６０が試料を押圧する面積が大きくなり、ＡＴＲプリズム２００と試料の密着状態が良好になる。また、フォーカス調整装置４０を操作してレンズ体５８の集光点Ｐの位置を、押しキャップ６４の厚さ分だけＺ方向に調整することで、試料における集光点Ｐの位置を押しキャップ６４の取付前と同じ状態にすることができる。
【0035】
なお、様々な下端の形状を有する押しキャップ６４から適宜選択したものを用いてもよい。例えば、試料との接触面が金属製であるものと樹脂製であるものとを選択できるとよい。また、接触面がフラットであるものと凹形状であるものとを選択できるとよい。また、試料との接触部分の動きに自由度があるフレキシブルタイプのものを選択できるとよい。
【0036】
＜窓板付きガイド筒＞
図５（Ｂ）に、キャップ方式ではなく、ガイド筒６０の下端の開口自体を窓板７２で塞いだ状態のものを示す。窓板７２は、ラマン測定を妨害する光を発生し難い石英などの材質を用いるとよい。窓板７２を取り付けることで、励起光は窓板７２を透過するが、試料はその形状が液体やゲル状であってもガイド筒６０の内部に侵入しない。よって、内部のレンズ５８が汚染されず、ＡＴＲ測定とラマン測定を容易に実行できる。
図５（Ｂ）に、キャップ方式ではなく、ガイド筒６０の下端の開口自体を窓板７２で塞いだ状態のものを示す。窓板７２は、ラマン測定を妨害する光を発生し難い石英などの材質を用いるとよい。窓板７２を取り付けることで、励起光は窓板７２を透過するが、試料はその形状が液体やゲル状であってもガイド筒６０の内部に侵入しない。よって、内部のレンズ５８が汚染されず、ＡＴＲ測定とラマン測定を容易に実行できる。
【0037】
＜他のレンズ体＞
図３のレンズ体（凸レンズ）５８の開口数が大きければ、フォーカス調整装置４０を操作して更にレンズ筒５６を下降させて、レンズ筒５６の先端で試料を押圧させることもできる。しかし、試料が少量である場合や、試料の厚さが薄い場合は、レンズ体５８の集光点Ｐが試料から外れる場合があるので、ラマン測定の結果にＡＴＲプリズム２００由来のラマンピークが重なってしまうことに注意する必要がある。
図３のレンズ体（凸レンズ）５８の開口数が大きければ、フォーカス調整装置４０を操作して更にレンズ筒５６を下降させて、レンズ筒５６の先端で試料を押圧させることもできる。しかし、試料が少量である場合や、試料の厚さが薄い場合は、レンズ体５８の集光点Ｐが試料から外れる場合があるので、ラマン測定の結果にＡＴＲプリズム２００由来のラマンピークが重なってしまうことに注意する必要がある。
【0038】
これに対して、図６，図７に示す異なる形状のレンズ体を用いた実施形態を説明する。図６では、レンズ筒５６の先端に球レンズ６６が固定され、球レンズ６６の一部がレンズ筒５６から下方に突出した状態になっている。球レンズ５６は開口数が大きく、かつ、バックフォーカス（ＢＦＬ）も短く、感度・空間分解能が高くなる。つまり、球レンズ５６の下端から集光点Ｐまでの距離が小さいので、フォーカス調整装置４０で球レンズ５６の位置を下げて、球レンズ５６を試料に接触させた状態にしても、集光点Ｐの位置が試料から外れないようにすることができる。
【0039】
同様に、図７に示す半球レンズ（例えばソリッドイマージョン（ＳＩＬ）レンズ）６８も、開口数が大きく、かつ、バックフォーカス（ＢＦＬ）も短いので、球レンズ６６と同様に、試料に接触させた状態でのラマン分光測定が可能になる。また、球レンズ６６のように点接触ではなく、半球レンズ６８では試料と面接触することができる。
【0040】
これらの球レンズ６６、半球レンズ６８を用いれば、ガイド筒６０とレンズ体の両方を試料に接触させることができるので、試料とＡＴＲプリズム２００との密着状態をより確実にすることができて、より良好なＡＴＲ測定結果を得ることができる。
【0041】
図８に、コリメートレンズ１５ｃのレンズ位置調整装置８０と、結像レンズ１５ａのレンズ位置調整装置８２とを設けたラマンモジュール１０の例を示す。球レンズ６６や半球レンズ６８付きのレンズ筒５６を利用する場合、図８（Ａ）に示すように、レンズ位置調整装置８０を操作して、励起光源１２の出口のコリメートレンズ１５ｃの位置を光軸に沿って移動させると、フォーカス調整装置４０を操作することなく、球レンズ６６の集光点Ｐの位置を変えることができる。この場合、分光器１６のスリット１５ｂでの結像位置も移動するので、コリメートレンズ１５ｃの位置と、分光器１６のスリット前の結像レンズ１５ａの位置とを同期させる必要がある。そこで、図８（Ｂ）のように、結像レンズ１５ａのレンズ位置調整装置８２を設ければ、球レンズ６６の集光点Ｐの位置が移動しても、結像位置をスリット１５ｂの位置に合わせることができる。このように、凸レンズ５８だけでなく、球レンズ６６や半球レンズ６８付きのレンズ筒５６を利用する場合も、試料を押さえながら、集光点Ｐの深さ（光軸）方向の位置を変更することができる。
【0042】
＜交換性＞
図３に示すように、可動部材４４の貫通孔５４の内面には、ボールプランジャー７０が１つ以上埋め込まれている。ボールプランジャー７０はバネと球体で構成され、バネ力で球体の一部が貫通孔の内面から突出するように保持される。また、レンズ筒５６の上端付近の外周には、ボールプランジャー７０の球体に対応する溝が形成されている。レンズ筒５６を貫通孔５４に押し込むと、球体が溝に嵌って、レンズ筒５６が可動部材４４に保持された状態になる。また、レンズ筒５６を一定以上の力で引くと、球体と溝との篏合が解除されて、レンズ筒５６が貫通孔５４から取り出される。このようにして、可動部材４４にレンズ筒５６をクィックジョイント・クィックリリースすることができる。
図３に示すように、可動部材４４の貫通孔５４の内面には、ボールプランジャー７０が１つ以上埋め込まれている。ボールプランジャー７０はバネと球体で構成され、バネ力で球体の一部が貫通孔の内面から突出するように保持される。また、レンズ筒５６の上端付近の外周には、ボールプランジャー７０の球体に対応する溝が形成されている。レンズ筒５６を貫通孔５４に押し込むと、球体が溝に嵌って、レンズ筒５６が可動部材４４に保持された状態になる。また、レンズ筒５６を一定以上の力で引くと、球体と溝との篏合が解除されて、レンズ筒５６が貫通孔５４から取り出される。このようにして、可動部材４４にレンズ筒５６をクィックジョイント・クィックリリースすることができる。
【0043】
同様に、固定部材４２の貫通孔４６とガイド筒６０の間も、ボールプランジャー７０を用いた着脱構造になっており、ガイド筒６０のクィックジョイント・クィックリリースが可能になっている。
【0044】
図９に、フォーカス調整装置４０からレンズ筒５６およびガイド筒６０を取り外した状態を示す。また、ガイド筒６０から取り外した押しキャップ６４も示す。このような着脱式のレンズ筒５６、ガイド筒６０、および押しキャップ６４を適宜選択して用いれば、交換が容易になるだけでなく、長さの異なる筒への適宜変更も容易になる。また、図９に示すように、レンズ筒５６については、複数種類のレンズ体（凸レンズ５８、球レンズ６６、半球レンズ６８）からの選択・交換も容易になる。また、ガイド筒６０については、先端の押し付け部分の材質や形状を、押しキャップ６４と同様に試料に合わせて変更することも容易になる。図９には、先端に微小開口７４を設けたガイド筒６０、および、窓板７２を設けたガイド筒６０の例も示す。
【0045】
なお、昇降装置２４０の昇降動作およびフォーカス調整装置４０の駆動を手動ではなく、電動にしてもよい。
【0046】
また、図１に示すようにＡＴＲプリズム２００を下方から撮像するカメラ２３０を設けるとよい。カメラ２３０は、ＡＴＲプリズム２００越しに試料の可視光像を撮像する。試料の可視光像は、試料の測定部位の位置調整に役立つ。さらに、ラマン用の励起光の集光点Ｐの光軸方向の位置合わせ、および、励起光の集光点Ｐに試料の測定部位を調整するのにも役立つ。
【符号の説明】
【0047】
１０ ラマンモジュール（ラマン分光機器）
１２ 励起光源
１６ 分光器
４０ フォーカス調整装置（レンズ体の位置調整装置）
４２ 固定部材
４４ 可動部材
５６ レンズ筒
５８ 凸レンズ（レンズ体）
６０ ガイド筒
６６ 球レンズ（レンズ体）
６８ 半球レンズ（レンズ体）
１００ ＡＴＲ付属品（全反射測定装置）
２００ ＡＴＲプリズム（ＡＴＲ結晶体）
２２０ 赤外光学機器
３００ フーリエ変換分光光度計（ＦＴＩＲ）
１２ 励起光源
１６ 分光器
４０ フォーカス調整装置（レンズ体の位置調整装置）
４２ 固定部材
４４ 可動部材
５６ レンズ筒
５８ 凸レンズ（レンズ体）
６０ ガイド筒
６６ 球レンズ（レンズ体）
６８ 半球レンズ（レンズ体）
１００ ＡＴＲ付属品（全反射測定装置）
２００ ＡＴＲプリズム（ＡＴＲ結晶体）
２２０ 赤外光学機器
３００ フーリエ変換分光光度計（ＦＴＩＲ）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
