特開 2023-69605 切断装置及び切断品の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023069605

(43)【公開日】2023-05-18

(54)【発明の名称】切断装置及び切断品の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 55/06 20060101AFI20230511BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20230511BHJP

   B24B 45/00 20060101ALI20230511BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20230511BHJP

   B23Q 3/155 20060101ALI20230511BHJP

【ＦＩ】

B24B55/06

H01L21/78 F

B24B45/00 A

B24B27/06 M

B23Q3/155 C

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021181603

(22)【出願日】2021-11-08

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2022-12-20

(71)【出願人】

【識別番号】390002473

【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100162031

【弁理士】

【氏名又は名称】長田 豊彦

(74)【代理人】

【識別番号】100175721

【弁理士】

【氏名又は名称】高木 秀文

(72)【発明者】

【氏名】堀 聡子

(72)【発明者】

【氏名】大西 将馬

(72)【発明者】

【氏名】吉岡 翔

(72)【発明者】

【氏名】堀本 京太郎

【テーマコード（参考）】

3C002

3C034

3C047

3C158

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C002DD14

3C002EE05

3C002GG02

3C002HH09

3C002KK04

3C002LL08

3C034AA13

3C034AA19

3C034BB66

3C034BB87

3C034DD10

3C034DD20

3C047FF06

3C047FF11

3C047FF19

3C047HH01

3C047HH11

3C158AA03

3C158AC02

3C158AC05

3C158BA01

3C158BB02

3C158BC01

3C158BC02

3C158CB03

5F063AA23

5F063BA17

5F063BA48

5F063DD02

5F063DD03

5F063DD06

5F063FF33

(57)【要約】

【課題】フランジの洗浄を行うことが可能な切断装置を提供する。
【解決手段】スピンドル部に設けられたブレードを交換するブレード交換機構と、前記ブレードを前記スピンドル部に固定するための一対のフランジを洗浄する洗浄機構と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

スピンドル部に設けられたブレードを交換するブレード交換機構と、
前記ブレードを前記スピンドル部に固定するための一対のフランジを洗浄する洗浄機構と、
を備える、切断装置。

【請求項2】

前記洗浄機構は、
前記一対のフランジのうち、一方のフランジを洗浄する第一洗浄機構と、
前記一対のフランジのうち、他方のフランジを洗浄する第二洗浄機構と、
を備える、請求項１に記載の切断装置。

【請求項3】

前記第一洗浄機構は、前記スピンドル部に取り付けられた状態の前記一方のフランジを洗浄可能であり、
前記第二洗浄機構は、前記スピンドル部から取り外された状態の前記他方のフランジを洗浄可能である、
請求項２に記載の切断装置。

【請求項4】

前記第一洗浄機構は、前記スピンドル部の回転により前記スピンドル部に取り付けられた前記一方のフランジが回転した状態で、前記一方のフランジを洗浄可能である、請求項２又は請求項３に記載の切断装置。

【請求項5】

前記ブレード交換機構は、
前記ブレード及び前記他方のフランジを保持することが可能な保持部と、
前記保持部及び前記第一洗浄機構を支持する支持部と、
前記支持部を移動させることが可能な移動部と、
を備え、
前記第一洗浄機構は、前記支持部において、前記保持部と異なる側に設けられる、請求項３又は請求項４に記載の切断装置。

【請求項6】

前記第二洗浄機構は、前記保持部が保持する前記他方のフランジを洗浄可能である、請求項５に記載の切断装置。

【請求項7】

前記スピンドル部が配置される空間と、交換用のブレードが配置される空間と、を仕切ると共に、開口部を有する仕切壁と、
前記移動部によって移動可能であり、前記ブレード交換機構が所定の位置にある場合に前記開口部を閉塞する閉塞部と、
を備える、請求項５又は請求項６に記載の切断装置。

【請求項8】

請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の切断装置を用いて、前記スピンドル部に設けられた前記ブレードを交換する工程と、前記一対のフランジを洗浄する工程と、前記ブレードで切断対象物を切断する工程と、を含む、切断品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、切断装置及び切断品の製造方法の技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、スピンドル部に取り付けられたブレードを交換可能なブレード交換機構を具備する切断装置が開示されている。具体的には、特許文献１に記載されているブレード交換機構は、ブレードと、ブレードを固定するためのフランジと、をそれぞれ保持し、スピンドル部に脱着することができる。ブレード交換機構によって、ブレードの交換を自動的に行うことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－５８５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ここで、特許文献１に記載のような切断装置においては、切断時に生じる切削屑や水滴がフランジに付着することがあるため、適宜フランジの洗浄作業を行うことが好ましい。そこで、作業負担軽減の観点から、自動的にフランジの洗浄を行うことが可能な技術が求められている。

【0005】

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、フランジの洗浄を行うことが可能な切断装置及び切断品の製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る切断装置は、スピンドル部に設けられたブレードを交換するブレード交換機構と、前記ブレードを前記スピンドル部に固定するための一対のフランジを洗浄する洗浄機構と、を備えるものである。

【0007】

また、本発明に係る切断品の製造方法は、前記切断装置を用いて、前記スピンドル部に設けられた前記ブレードを交換する工程と、前記一対のフランジを洗浄する工程と、前記ブレードで切断対象物を切断する工程と、を含むものである。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、フランジの洗浄を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】一実施形態に係る切断装置の全体的な構成を示した平面模式図。

【図2】ブレード交換機構、洗浄機構及びスピンドルの位置関係を示した斜視図。

【図3】移動部の動作を示した斜視図。

【図4】スピンドル部の構成を示した拡大断面斜視図。

【図5】（ａ）第一洗浄スポンジの形状を示した斜視図。（ｂ）第一洗浄スポンジの変形例を示した斜視図。

【図6】（ａ）エアノズルからの空気でブレードを洗浄する様子を示した模式図。（ｂ）第二フランジ及びブレードがスピンドルから取り外される様子を示した模式図。（ｃ）使用済みのブレードが収容される様子を示した模式図。（ｄ）第二フランジが第二洗浄スポンジで洗浄される様子を示した模式図。

【図7】（ａ）保持部が未使用のブレードを保持する様子を示した模式図。（ｂ）エアノズルからの空気で第一フランジを洗浄する様子を示した模式図。（ｃ）第一フランジが第一洗浄スポンジで洗浄される様子を示した模式図。（ｄ）第二フランジ及びブレードがスピンドルに取り付けられる様子を示した模式図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

＜切断装置１の構成＞
まず、本実施形態に係る切断装置１の構成について説明する。本実施形態においては、例えば、切断装置１による切断対象物として、半導体チップが装着された基板を樹脂封止した封止済基板Ｗを用いる場合の、切断装置１の構成について説明する。

【0011】

封止済基板Ｗとしては、例えば、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ ｇｒｉｄ ａｒｒａｙ）パッケージ基板、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ ｓｉｚｅ ｐａｃｋａｇｅ）パッケージ基板、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ）パッケージ基板等が使用される。また、切断対象物としては、封止済基板Ｗだけでなく、半導体チップが装着されたリードフレームを樹脂封止した封止済みリードフレームが使用されることもある。

【0012】

図１に示す切断装置１は、切断対象物である封止済基板Ｗを切断することによって、複数の切断品（製品Ｐ）に個片化する加工装置である。切断装置１は、構成要素として、基板供給モジュールＡ、切断モジュールＢ及び収納モジュールＣを具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。

【0013】

＜基板供給モジュールＡ＞
基板供給モジュールＡには、主として基板供給機構１１及び制御部ＣＴＬが設けられる。

【0014】

切断対象物である封止済基板Ｗは、基板供給機構１１から搬出され、移送機構（不図示）によって切断モジュールＢに移送される。制御部ＣＴＬは切断装置１の各部の動作を制御するものである。制御部ＣＴＬによって切断装置１の各部が制御されることで、封止済基板Ｗの搬入、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、製品Ｐの搬出等を行うことができる。なお、制御部ＣＴＬは、基板供給モジュールＡ以外のモジュールに設けることも可能である。また制御部ＣＴＬは、複数に分割して設けることも可能である。例えば、各モジュールに制御部ＣＴＬを設け、制御部ＣＴＬ同士を連係させて各部を制御することも可能である。

【0015】

＜切断モジュールＢ＞
図１に示す切断モジュールＢには、主として切断用テーブル２１、切断用治具２２、移動機構２３、回転機構２４、スピンドル部２５、仕切壁２６、ブレード交換台２７、ブレード交換機構１００、閉塞部２００、第一洗浄機構３１０（洗浄機構３００）及び第二洗浄機構３２０（洗浄機構３００）が設けられる。

【0016】

本実施形態では、２個の切断用テーブル２１を有するツインカットテーブル方式の切断装置１を例示している。切断用テーブル２１には、切断用治具２２が設けられる。切断用テーブル２１は、移動機構２３によってＹ方向に移動可能であり、かつ、回転機構２４によってθ方向に回動可能である。

【0017】

また本実施形態では、２個のスピンドル部２５を有するツインスピンドル構成の切断装置１を例示している。２個のスピンドル部２５は、互いに独立してＸ方向及びＺ方向に移動可能である。

【0018】

仕切壁２６は、スピンドル部２５が配置される空間と、ブレード交換台２７が配置される空間と、を仕切るように適宜の位置に設けられる。本実施形態では、仕切壁２６は一方のスピンドル部２５の背後（図示右側）に配置される。また仕切壁２６は、ブレード交換台２７を囲むように配置される。仕切壁２６の一部分には、スピンドル部２５が配置される空間と、ブレード交換台２７が配置される空間と、を接続する開口部２６ａが形成される。

【0019】

図１及び図２に示すブレード交換台２７の上面には、スピンドル部２５で使用された使用済みのブレード２５ａが収容される使用済みブレード収容部２７ａと、交換用の未使用のブレード２５ａが収容される未使用ブレード収容部２７ｂが設けられる。使用済みブレード収容部２７ａは、上面が開放された箱状に形成される。また、ブレード交換台２７の上面には、後述する第二洗浄機構３２０（洗浄機構３００）が設けられる。

【0020】

なお、未使用ブレード収容部２７ｂ及び使用済みブレード収容部２７ａの構成は本実施形態に限るものではなく、任意に変更することが可能である。一例として、使用済みブレード収容部２７ａを、上下に延びる円柱状の部材を具備する構成とすることも可能である。このような構成においては、円柱状の部材にブレード２５ａの中心を挿入することで、ブレード２５ａを保持することが可能である。

【0021】

ブレード交換機構１００は、スピンドル部２５に設けられたブレード２５ａを交換するものである。ブレード交換機構１００は、２個のスピンドル部２５の背後（図示右側）に配置される。ブレード交換機構１００には、仕切壁２６の開口部２６ａを閉塞可能な閉塞部２００が設けられる。またブレード交換機構１００には、後述する第一洗浄機構３１０（洗浄機構３００）が設けられる。

【0022】

切断モジュールＢにおいて、切断用テーブル２１に封止済基板Ｗが保持された状態で、切断用テーブル２１と２個のスピンドル部２５とを相対的に移動させることで、封止済基板Ｗを切断して個片化することができる。スピンドル部２５のブレード２５ａは、Ｙ方向及びＺ方向を含む面内において回転することで、切断用テーブル２１に保持された封止済基板Ｗを切断する。この際、ブレード２５ａに向かって切削水を噴射しながら封止済基板Ｗを切断することもできる。

【0023】

＜収納モジュールＣ＞
収納モジュールＣには、主として検査用テーブル３１及びトレイ３２が設けられる。

【0024】

検査用テーブル３１には、封止済基板Ｗを切断して個片化された複数の製品Ｐからなる集合体が載置される。複数の製品Ｐは、検査用のカメラ（不図示）によって検査され、良品と不良品とに選別される。選別された良品は、トレイ３２に収容される。選別された不良品は、別途用意されたトレイ（不図示）に収容され、製品Ｐから除外される。なお、収納モジュールＣにおいて、必ずしも製品Ｐの検査を行う必要はない。

【0025】

＜ブレード交換機構１００等の詳細な構成＞
次に、ブレード交換機構１００、閉塞部２００及び洗浄機構３００の構成について、より詳細に説明する。なお、ブレード交換機構１００等の各部の詳細な構造や形状等は特に限定しないため、本実施形態では各部の形状等を適宜簡略化して図示している。

【0026】

＜ブレード交換機構１００＞
図２及び図３に示すように、ブレード交換機構１００は、主として支持部１１０、保持部１２０及び移動部１３０を具備する。

【0027】

支持部１１０は、保持部１２０及び後述する第一洗浄機構３１０を支持するものである。支持部１１０は、適宜の部材（棒状部材、板状部材等）を組み合わせて形成することができる。本実施形態では、支持部１１０は一方向（図２及び図３では、Ｘ方向）に長い長手状に形成されている。

【0028】

保持部１２０は、スピンドル部２５に設けられたブレード２５ａ、及び、ブレード２５ａをスピンドル部２５に固定するための第二フランジ２５ｄを保持することが可能なものである。保持部１２０は、支持部１１０の長手方向における一端部に設けられる。

【0029】

ここで、図４を用いて、スピンドル部２５（特に、ブレード２５ａの固定に関する部位）の構成について説明する。図４は、２個のスピンドル部２５のうち一方（図２における紙面左側のスピンドル部２５）の一部分の断面を示したものである。

【0030】

スピンドル部２５の回転軸２５ｂには、略円環状の第一フランジ２５ｃが固定される。さらに、第一フランジ２５ｃと対向するように、略円環状の第二フランジ２５ｄが設けられる。なお、第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄは、それぞれ本発明に係る一方のフランジ及び他方のフランジの実施の一形態である。

【0031】

ナット等の脱着部材２５ｅが第一フランジ２５ｃのボス部分に締め付けられることによって、第二フランジ２５ｄが第一フランジ２５ｃに向かって押し付けられる。第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄの外周部分には、互いに向き合う方向に突出した第一接触面２５ｆ及び第二接触面２５ｇが形成されている。第一接触面２５ｆと第二接触面２５ｇとの間に略円環状のブレード２５ａが挟まれて固定される。

【0032】

図２及び図３に示す保持部１２０は、スピンドル部２５に取り付けられた脱着部材２５ｅを回転させて、脱着部材２５ｅを第一フランジ２５ｃのボス部分に着脱することができる。また保持部１２０は、ブレード２５ａ及び第二フランジ２５ｄをそれぞれ独立して保持することができる。保持部１２０がブレード２５ａ及び第二フランジ２５ｄを保持する方法としては、例えばブレード２５ａ等を吸着して保持する方法や、爪状の部材をブレード２５ａ等に引っ掛けて機械的に保持する方法等が挙げられる。

【0033】

このように保持部１２０は、スピンドル部２５に取り付けられたブレード２５ａ及び第二フランジ２５ｄを、スピンドル部２５から取り外すことができる。また保持部１２０は、保持しているブレード２５ａ及び第二フランジ２５ｄを、スピンドル部２５に取り付けることができる。

【0034】

移動部１３０は、支持部１１０を任意の方向に移動させるものである。移動部１３０は、主として回転部１３１、第一直線移動部１３２、第二直線移動部１３３及び第三直線移動部１３４を具備する。

【0035】

回転部１３１は、支持部１１０を回転させるものである。回転部１３１は、支持部１１０を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて支持部１１０を回転させることができる。回転部１３１は、Ｙ方向に平行な軸線回りに支持部１１０を回転させることができる。

【0036】

第一直線移動部１３２は、回転部１３１を直線的に移動させるものである。第一直線移動部１３２は、回転部１３１を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて回転部１３１を移動させることができる。第一直線移動部１３２は、回転部１３１をＹ方向に沿って直線的に移動させることができる。

【0037】

第二直線移動部１３３は、第一直線移動部１３２を直線的に移動させるものである。第二直線移動部１３３は、第一直線移動部１３２を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて第一直線移動部１３２を移動させることができる。第二直線移動部１３３は、第一直線移動部１３２をＺ方向に沿って直線的に移動させることができる。

【0038】

図２に示す第三直線移動部１３４は、第二直線移動部１３３を直線的に移動させるものである。第三直線移動部１３４は、第二直線移動部１３３を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて第二直線移動部１３３を移動させることができる。第三直線移動部１３４は、第二直線移動部１３３をＸ方向に沿って直線的に移動させることができる。

【0039】

上記のように構成された移動部１３０の各部の移動を組み合わせることにより、支持部１１０を任意の位置に移動させると共に、Ｙ方向に沿った軸線回りに任意に回転させることができる。

【0040】

＜閉塞部２００＞
閉塞部２００は、仕切壁２６の開口部２６ａを閉塞することが可能なものである。閉塞部２００は、開口部２６ａに応じた形状の板状に形成される。閉塞部２００は、Ｘ方向において、支持部１１０の一側（図２における紙面右側）に配置される。閉塞部２００は、板面をＸ方向に向けた状態で移動部１３０に設けられる。具体的には、閉塞部２００は第二直線移動部１３３に設けられ、第三直線移動部１３４によってＸ方向に直線的に移動することができる。

【0041】

＜洗浄機構３００＞
洗浄機構３００は、スピンドル部２５にブレード２５ａを固定するためのフランジ（第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄ）を洗浄するためのものである。洗浄機構３００は、主として第一洗浄機構３１０及び第二洗浄機構３２０を具備する。

【0042】

図３に示す第一洗浄機構３１０は、スピンドル部２５に取り付けられた状態の第一フランジ２５ｃを洗浄するものである。第一洗浄機構３１０は、主として第一洗浄スポンジ３１１及びエアノズル３１２を具備する。

【0043】

図３及び図５（ａ）に示す第一洗浄スポンジ３１１は、第一フランジ２５ｃを洗浄するための洗浄部材である。第一洗浄スポンジ３１１は、第一フランジ２５ｃと同等の外径を有する円筒状に形成される。第一洗浄スポンジ３１１は、円板状の取付部材３１１ａを介して、支持部１１０の長手方向における一端部に取り付けられる。第一洗浄スポンジ３１１は、支持部１１０の長手方向において、保持部１２０と反対側に設けられる。言い換えると、第一洗浄スポンジ３１１は、回転部１３１の回転軸を中心として、保持部１２０から１８０度反転した位置に設けられる。なお、本実施形態において第一洗浄スポンジ３１１が配置された「保持部１２０と反対側」は、本発明に係る「保持部と異なる側」の一例である。

【0044】

なお、第一洗浄スポンジ３１１は、図５（ａ）に示す円筒状に限らず、任意の形状とすることができる。例えば図５（ｂ）に示す変形例のように、円筒を複数に分割した形状としてもよい。これによって、スポンジの角部で第一フランジ２５ｃの洗浄を行うことができ、第一洗浄スポンジ３１１の洗浄能力の向上を図ることができる。

【0045】

図３に示すエアノズル３１２は、コンプレッサ（不図示）から供給された圧縮空気を吹き出すことができる。エアノズル３１２は、支持部１１０の長手方向における一端部（第一洗浄スポンジ３１１と同じ側）に設けられる。エアノズル３１２は、空気の吹き出し方向を第一洗浄スポンジ３１１側に向けた状態で配置される。

【0046】

第二洗浄機構３２０は、スピンドル部２５から取り外された状態（保持部１２０に保持された状態）の第二フランジ２５ｄを洗浄するものである。第二洗浄機構３２０は、主として第二洗浄スポンジ３２１及び駆動部３２２を具備する。

【0047】

図２に示す第二洗浄スポンジ３２１は、第二フランジ２５ｄを洗浄するための洗浄部材である。第二洗浄スポンジ３２１は、第二フランジ２５ｄと同等の径を有する円筒状に形成される。第二洗浄スポンジ３２１は、図５に示す第一洗浄スポンジ３１１と同様の形状に形成される。第二洗浄スポンジ３２１は、円筒の軸線をＺ方向に向けた状態で、ブレード交換台２７の上面に設けられる。

【0048】

駆動部３２２は、第二洗浄スポンジ３２１を回転させるものである。駆動部３２２は、例えばモータ等の駆動源を有する。駆動部３２２の出力軸は、第二洗浄スポンジ３２１に接続される。駆動部３２２の駆動力によって、第二洗浄スポンジ３２１をＺ方向に平行な軸線回りに回転させることができる。

【0049】

＜ブレード交換機構１００等の動作＞
次に、以上の如く構成されたブレード交換機構１００及び洗浄機構３００が、スピンドル部２５に設けられたブレード２５ａの交換、並びに、第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄの洗浄を行う動作について説明する。なお、以下では２個のスピンドル部２５のうち、一方のスピンドル部２５（例えば、図２における紙面左側のスピンドル部２５）のブレード２５ａの交換等を行う場合について説明する。

【0050】

切断装置１による封止済基板Ｗの切断が行われている場合、図２に二点鎖線で示すように、閉塞部２００は、仕切壁２６の開口部２６ａを閉塞する位置で待機する。このように、開口部２６ａを閉塞部２００によって閉塞することで、ブレード交換台２７が配置された空間と、スピンドル部２５が配置された空間を区画することができる。これによって、封止済基板Ｗの切断時に生じる切削屑や水滴が、ブレード交換台２７（特に、交換用のブレード２５ａが収容される未使用ブレード収容部２７ｂ）に付着するのを防止することができる。なおこの状態では、保持部１２０及び第一洗浄機構３１０は、ブレード交換台２７が配置された空間に位置している。

【0051】

ブレード２５ａの交換等を行う場合、切断装置１による封止済基板Ｗの切断は一時的に中断される。なお、ブレード２５ａの交換、並びに、第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄの洗浄は、任意のタイミングで行うことができる。例えば、ブレード２５ａの磨耗量を適宜のセンサで検出し、磨耗量が一定量を超えたタイミングでブレード２５ａの交換等を行うことができる。また、切断装置１の稼働時間、製品Ｐの生産数等が所定の値を超えたタイミングでブレード２５ａの交換等を行うこともできる。

【0052】

ブレード２５ａの交換等を行う場合、移動部１３０によって支持部１１０及び保持部１２０と一体的に閉塞部２００が移動し、仕切壁２６の開口部２６ａが開放される。支持部１１０等は、開放された開口部２６ａを介して、スピンドル部２５側の空間と、ブレード交換台２７側の空間と、の間を移動することができる。

【0053】

ブレード２５ａの交換等を行う場合、まず図６（ａ）に示すように、移動部１３０によって支持部１１０が移動され、エアノズル３１２の先端がスピンドル部２５に取り付けられたブレード２５ａに向けられる。この状態でエアノズル３１２から空気が吹き出され、ブレード２５ａに付着した切削屑や水滴が除去される。

【0054】

なお、エアノズル３１２によって除去できなかった切削屑や水滴は、ブレード２５ａに残ることになる。すると、後述するように、スピンドル部２５から第二フランジ２５ｄとブレード２５ａを取り外す際に、ブレード２５ａに残った切削屑や水滴が第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄに付着して汚染することがある。

【0055】

次に図６（ｂ）に示すように、移動部１３０によって、支持部１１０が反転されると共に、保持部１２０がスピンドル部２５のブレード２５ａと対向する位置に移動される。そして、保持部１２０によってスピンドル部２５から第二フランジ２５ｄとブレード２５ａが取り外される。

【0056】

次に図６（ｃ）に示すように、移動部１３０によって、保持部１２０がブレード交換台２７に設けられた使用済みブレード収容部２７ａに上方から対向する位置に移動される。そして、保持部１２０によるブレード２５ａの保持が解除され、使用済みのブレード２５ａが使用済みブレード収容部２７ａに収容される。

【0057】

次に図６（ｄ）に示すように、移動部１３０によって、保持部１２０に保持された第二フランジ２５ｄが、第二洗浄機構３２０の第二洗浄スポンジ３２１の上面と接触する位置に移動される。この状態で、駆動部３２２によって第二洗浄スポンジ３２１が回転されることで、第二フランジ２５ｄの表面（特に、図４に示す第二接触面２５ｇ）が洗浄される。これによって、第二フランジ２５ｄに付着した切削屑等を除去することができる。

【0058】

次に図７（ａ）に示すように、移動部１３０によって、保持部１２０がブレード交換台２７に設けられた未使用ブレード収容部２７ｂに上方から対向する位置に移動される。そして、未使用ブレード収容部２７ｂに収容された未使用のブレード２５ａが、保持部１２０によって保持される。本実施形態のように、使用済みブレード収容部２７ａ、未使用ブレード収容部２７ｂ及び第二洗浄機構３２０を同じブレード交換台２７に設けることで、保持部１２０が使用済みブレード収容部２７ａ、未使用ブレード収容部２７ｂ及び第二洗浄機構３２０の間を移動する際の移動距離を短く抑えることができる。

【0059】

次に図７（ｂ）に示すように、移動部１３０によって支持部１１０が移動され、エアノズル３１２の先端がスピンドル部２５に取り付けられた第一フランジ２５ｃに向けられる。この状態でエアノズル３１２から空気が吹き出され、第一フランジ２５ｃに付着した切削屑や水滴が除去される。

【0060】

次に図７（ｃ）に示すように、移動部１３０によって、第一洗浄機構３１０の第一洗浄スポンジ３１１が、スピンドル部２５に取り付けられた第一フランジ２５ｃと接触する位置に移動される。この状態で、スピンドル部２５が回転することで、第一フランジ２５ｃの表面（特に、図４に示す第一接触面２５ｆ）が洗浄される。これによって、第一フランジ２５ｃに付着した切削屑等を除去することができる。

【0061】

次に図７（ｄ）に示すように、移動部１３０によって、支持部１１０が反転されると共に、保持部１２０がスピンドル部２５の第一フランジ２５ｃと対向する位置に移動される。そして、保持部１２０に保持された第二フランジ２５ｄとブレード２５ａが、スピンドル部２５に取り付けられる。

【0062】

なお、上述の例では一方のスピンドル部２５のブレード２５ａの交換等を行う動作を説明したが、もう一方のスピンドル部２５のブレード２５ａの交換等を行う動作についても概ね同様であるため、説明は省略する。

【0063】

上述のように、スピンドル部２５のブレード２５ａの交換、並びに、第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄの洗浄が完了すると、再び閉塞部２００が仕切壁２６の開口部２６ａを閉塞する位置に移動する（図２参照）。その後、切断装置１による封止済基板Ｗの切断が再開される。

【0064】

このように、本実施形態では、スピンドル部２５に設けられたブレード２５ａを交換する工程と、第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄを洗浄する工程と、を並行して行うことができる。また、交換されたブレード２５ａで封止済基板Ｗを切断する工程を実行することができる。

【0065】

以上の如く、本実施形態に係る切断装置１は、スピンドル部２５に設けられたブレード２５ａを交換するブレード交換機構１００と、前記ブレード２５ａを前記スピンドル部２５に固定するための一対のフランジ（第一フランジ２５ｃ及び第二フランジ２５ｄ）を洗浄する洗浄機構３００と、を備えるものである。
このように構成することにより、フランジの洗浄を行うことができる。また洗浄機構３００によってフランジの洗浄を行うことで、ユーザーの洗浄作業の負担の軽減を図ることができる。またフランジの洗浄を行うことで、ブレード２５ａを適切に固定することができる。

【0066】

また、前記洗浄機構３００は、前記一対のフランジのうち、第一フランジ２５ｃ（一方のフランジ）を洗浄する第一洗浄機構３１０と、前記一対のフランジのうち、第二フランジ２５ｄ（他方のフランジ）を洗浄する第二洗浄機構３２０と、を備えるものである。
このように構成することにより、一対のフランジを個別に洗浄することで、一対のフランジをより効果的に洗浄することができる。

【0067】

また、前記第一洗浄機構３１０は、前記スピンドル部２５に取り付けられた状態の前記第一フランジ２５ｃを洗浄可能であり、前記第二洗浄機構３２０は、前記スピンドル部２５から取り外された状態の前記第二フランジ２５ｄを洗浄可能である。
このように構成することにより、ブレード２５ａを交換する際にスピンドル部２５から取り外された第二フランジ２５ｄと、スピンドル部２５に残った第一フランジ２５ｃを、それぞれ洗浄することができる。

【0068】

また、前記第一洗浄機構３１０は、前記スピンドル部２５の回転により前記スピンドル部２５に取り付けられた前記第一フランジ２５ｃが回転した状態で、前記第一フランジ２５ｃを洗浄可能である。
このように構成することにより、スピンドル部２５の回転を利用して、第一フランジ２５ｃの洗浄を行うことができる。これによって、第一洗浄機構３１０の構造の簡素化を図ることができる。

【0069】

また、前記ブレード交換機構１００は、前記ブレード２５ａ及び前記第二フランジ２５ｄを保持することが可能な保持部１２０と、前記保持部１２０及び前記第一洗浄機構３１０を支持する支持部１１０と、前記支持部１１０を移動させることが可能な移動部１３０と、を備え、前記第一洗浄機構３１０は、前記支持部１１０において、前記保持部１２０と異なる側に設けられるものである。
このように構成することにより、第一洗浄機構３１０と保持部１２０を異なる側に設けることで、支持部１１０の重心が偏るのを抑制することができる。これによって、支持部１１０の移動を円滑に行うことができる。特に本実施形態では、第一洗浄機構３１０と保持部１２０を反対側に設けているため、支持部１１０の重心の偏りを効果的に防止することができる。

【0070】

また、前記第二洗浄機構３２０は、前記保持部１２０が保持する前記第二フランジ２５ｄを洗浄可能である。
このように構成することにより、ブレード２５ａを交換する際に保持部１２０によって保持された第二フランジ２５ｄをそのまま洗浄することができるため、第二フランジ２５ｄの洗浄を効率的に行うことができる。

【0071】

また、切断装置１は、前記スピンドル部２５が配置される空間と、交換用のブレード２５ａが配置される空間と、を仕切ると共に、開口部２６ａを有する仕切壁２６と、前記移動部１３０によって移動可能であり、前記ブレード交換機構１００が所定の位置にある場合に前記開口部２６ａを閉塞する閉塞部２００と、を備えるものである。
このように構成することにより、開口部２６ａを介して保持部１２０等を移動させることができると共に、必要に応じて閉塞部２００によって開口部２６ａを閉塞することができる。例えば、封止済基板Ｗの切断中には閉塞部２００によって開口部２６ａを閉塞することによって、切削屑等が交換用のブレード２５ａに付着するのを防止することができる。特に本実施形態では、閉塞部２００が開口部２６ａを閉塞した状態において、保持部１２０及び第一洗浄機構３１０が交換用のブレード２５ａ側の空間に配置されることになるため、封止済基板Ｗの切断中に生じる切削屑等が保持部１２０等に付着するのを防止することもできる。

【0072】

また、本実施形態に係る製品Ｐ（切断品）の製造方法は、前記切断装置１を用いて、前記スピンドル部２５に設けられた前記ブレード２５ａを交換する工程と、前記一対のフランジを洗浄する工程と、前記ブレード２５ａで封止済基板Ｗ（切断対象物）を切断する工程と、を含むものである。
このように構成することにより、フランジの洗浄を行うことができる。特に本実施形態では、ブレード２５ａを交換する工程と、一対のフランジを洗浄する工程と、を並行して行うことができるため、製品Ｐの製造を効率的に行うことができる。

【0073】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。

【0074】

例えば、本実施形態の移動部１３０の構成（図３等参照）は一例であり、保持部１２０及び第一洗浄機構３１０を必要な位置に移動させることができる構成であれば、具体的な構成は限定されない。また、閉塞部２００は第二直線移動部１３３に設けられるものとしたが、本発明はこれに限るものではない。すなわち閉塞部２００は、移動部１３０によって移動して開口部２６ａを閉塞できる構成であればよく、例えば第二直線移動部１３３とは独立して第三直線移動部１３４に設けられる構成とすることも可能である。

【0075】

また本実施形態では、第一フランジ２５ｃを洗浄する場合、スピンドル部２５を回転させる例を示したが（図７（ｃ）参照）、例えば第一洗浄スポンジ３１１を回転させる構成とすることも可能である。

【0076】

また、第一洗浄スポンジ３１１及び第二洗浄スポンジ３２１の形状は本実施形態の形状（図５参照）に限るものではなく、任意に変更することができる。

【0077】

また本実施形態に係る洗浄機構３００は、洗浄部材としてスポンジ（第一洗浄スポンジ３１１及び第二洗浄スポンジ３２１）を用いて洗浄を行うものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、任意の洗浄部材（例えば、ウエス等）を用いることも可能である。

【0078】

また本実施形態に係る洗浄機構３００は、スポンジ及びエアノズル３１２によってフランジの洗浄を行うものとしたが、フランジの洗浄方法はこれに限るものではなく、任意の洗浄方法でフランジの洗浄を行うことが可能である。例えば、フランジに洗浄水を吹き付けて洗浄することや、フランジに付着した切削屑等を吸引してフランジの洗浄を行うことも可能である。また洗浄機構３００は、複数の洗浄方法を組み合わせてフランジの洗浄を行うことも可能である。

【0079】

また本実施形態では、第一フランジ２５ｃをスピンドル部２５に取り付けた状態で、第一フランジ２５ｃの洗浄を行う例（図７（ｂ）及び（ｃ）参照）を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、第一フランジ２５ｃをスピンドル部２５から取り外した状態で、第一フランジ２５ｃの洗浄を行う構成とすることも可能である。この場合、第一フランジ２５ｃの着脱を行う機構を別途設けて、自動的に第一フランジ２５ｃの着脱を行うことも可能である。

【0080】

また本実施形態では、保持部１２０と第一洗浄機構３１０とが支持部１１０の反対側（正面から見て１８０度反転した位置、図６等参照）に設けられる例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、保持部１２０及び第一洗浄機構３１０は、支持部１１０の任意の位置に設けることが可能である。例えば第一洗浄機構３１０を、保持部１２０に対して９０度回転した位置や、１２０度回転した位置に配置することも可能である。

【0081】

また本実施形態では、保持部１２０と第一洗浄機構３１０をいずれも支持部１１０に設けて、一体的に移動させる例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、保持部１２０と第一洗浄機構３１０をそれぞれ別の部材に設けて、互いに独立して移動させる構成とすることも可能である。

【0082】

また、本実施形態では、切断装置１による封止済基板Ｗの切断を一時的に中断して、ブレード２５ａの交換、及び、フランジの洗浄を行う例を示したが、ブレード２５ａの交換等を行うタイミングは任意に決定することができる。例えば切断装置１による封止済基板Ｗの切断が開始される前や、切断装置１による封止済基板Ｗの切断が全て完了した後に、ブレード２５ａの交換等を行うことも可能である。また、本実施形態のように、切断装置１にスピンドル部２５が複数設けられている場合、それぞれのスピンドル部２５のブレード２５ａの交換等は、同じタイミングで行うことも、別々のタイミングで行うことも可能である。

【符号の説明】

【0083】

１ 切断装置
２５ スピンドル
２５ａ ブレード
２５ｃ 第一フランジ
２５ｄ 第二フランジ
２６ 仕切壁
２６ａ 開口部
１００ ブレード交換機構
１１０ 支持部
１２０ 保持部
１３０ 移動部
２００ 閉塞部
３００ 洗浄機構
３１０ 第一洗浄機構
３２０ 第二洗浄機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【手続補正書】

【提出日】2022-11-08

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

スピンドル部に設けられたブレードを交換するブレード交換機構と、
前記ブレードを前記スピンドル部に固定するための一対のフランジを洗浄する洗浄機構と、
を備え、
前記洗浄機構は、
前記一対のフランジのうち、一方のフランジを洗浄する第一洗浄機構と、
前記一対のフランジのうち、他方のフランジを洗浄する第二洗浄機構と、
を備え、
前記第一洗浄機構は、前記スピンドル部に取り付けられた状態の前記一方のフランジを洗浄可能であり、
前記第二洗浄機構は、前記スピンドル部から取り外された状態の前記他方のフランジを洗浄可能である、切断装置。

【請求項2】

前記第一洗浄機構は、前記スピンドル部の回転により前記スピンドル部に取り付けられた前記一方のフランジが回転した状態で、前記一方のフランジを洗浄可能である、請求項１に記載の切断装置。

【請求項3】

前記ブレード交換機構は、
前記ブレード及び前記他方のフランジを保持することが可能な保持部と、
前記保持部及び前記第一洗浄機構を支持する支持部と、
前記支持部を移動させることが可能な移動部と、
を備え、
前記第一洗浄機構は、前記支持部において、前記保持部と異なる側に設けられる、
請求項１又は請求項２に記載の切断装置。

【請求項4】

前記第二洗浄機構は、前記保持部が保持する前記他方のフランジを洗浄可能である、請求項３に記載の切断装置。

【請求項5】

前記スピンドル部が配置される空間と、交換用のブレードが配置される空間と、を仕切ると共に、開口部を有する仕切壁と、
前記移動部によって移動可能であり、前記ブレード交換機構が所定の位置にある場合に前記開口部を閉塞する閉塞部と、
を備える、請求項３又は請求項４に記載の切断装置。

【請求項6】

請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の切断装置を用いて、前記スピンドル部に設けられた前記ブレードを交換する工程と、前記一対のフランジを洗浄する工程と、前記ブレードで切断対象物を切断する工程と、を含む、切断品の製造方法。

【手続補正2】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0006】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る切断装置は、スピンドル部に設けられたブレードを交換するブレード交換機構と、前記ブレードを前記スピンドル部に固定するための一対のフランジを洗浄する洗浄機構と、を備え、前記洗浄機構は、前記一対のフランジのうち、一方のフランジを洗浄する第一洗浄機構と、前記一対のフランジのうち、他方のフランジを洗浄する第二洗浄機構と、を備え、前記第一洗浄機構は、前記スピンドル部に取り付けられた状態の前記一方のフランジを洗浄可能であり、前記第二洗浄機構は、前記スピンドル部から取り外された状態の前記他方のフランジを洗浄可能なものである。