特開 2023-69746 シート供給装置およびシート供給方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023069746

(43)【公開日】2023-05-18

(54)【発明の名称】シート供給装置およびシート供給方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230511BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021181850

(22)【出願日】2021-11-08

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】坂本 和紀

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA18

5F131EC33

5F131EC44

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC68

5F131EC69

(57)【要約】

【課題】抜きかすが発生することのないエア抜き切込を備えた接着シートを供給することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供する。
【解決手段】シート供給装置ＥＡは、剥離シートＲＬに接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出された原反ＲＳにおける接着シート基材ＡＢに閉ループ状の輪郭切込ＣＵ１を形成し、当該輪郭切込ＣＵ１の内側に接着シートＡＳを形成する輪郭切込形成手段２３および、当該輪郭切込ＣＵ１の内側に被着体ＷＫとの間から空気を抜くエア抜き切込ＣＵ２を形成するエア抜き切込形成手段２４を有する切断手段２０と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離し、当該接着シートＡＳを供給する剥離手段３０とを備え、エア抜き切込形成手段２４は、閉ループ部を有しない線状のエア抜き切込ＣＵ２を形成する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

剥離シートに接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された前記原反における前記接着シート基材に閉ループ状の輪郭切込を形成し、当該輪郭切込の内側に接着シートを形成する輪郭切込形成手段および、当該輪郭切込の内側に被着体との間から空気を抜くエア抜き切込を形成するエア抜き切込形成手段を有する切断手段と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、当該接着シートを供給する剥離手段とを備え、
前記エア抜き切込形成手段は、閉ループ部を有しない線状の前記エア抜き切込を形成することを特徴とするシート供給装置。

【請求項2】

前記エア抜き切込形成手段は、前記エア抜き切込を前記原反の繰出方向に延びるように形成することを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。

【請求項3】

前記エア抜き切込形成手段は、前記被着体としてのフレーム部材の開口部を覆うように貼付される前記接着シートにおいて前記開口部の内縁よりも外側に位置する領域であって、当該接着シートの外縁よりも内側に位置する接着シート領域に前記エア抜き切込を形成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート供給装置。

【請求項4】

剥離シートに接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出された前記原反における前記接着シート基材に閉ループ状の輪郭切込を形成し、当該輪郭切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該輪郭切込の内側に被着体との間から空気を抜くエア抜き切込を形成する切断工程と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、当該接着シートを供給する剥離工程とを実施し、
前記切断工程では、閉ループ部を有しない線状の前記エア抜き切込を形成することを特徴とするシート供給方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート供給装置およびシート供給方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着シートを供給するシート供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－２５３０８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたシート供給装置１１（シート供給装置）では、ウエハＷ（被着体）との間から空気を抜くエア抜き切込として、貫通孔Ｈが形成された半導体ウエハ処理用接着シートＳ（接着シート）を供給するようになっている。そのため、貫通孔Ｈが形成される際に発生した接着シートの抜きかすが、接着シートと被着体との間に入り込むといった不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、抜きかすが発生することのないエア抜き切込を備えた接着シートを供給することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、閉ループ部を有しない線状のエア抜き切込を形成するので、抜きかすが発生することのないエア抜き切込を備えた接着シートを供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート供給装置の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

シート供給装置ＥＡは、剥離シートＲＬに接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出工程を実施する繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出された原反ＲＳにおける接着シート基材ＡＢに閉ループ状の輪郭切込ＣＵ１を形成し、当該輪郭切込ＣＵ１の内側に接着シートＡＳを形成する輪郭切込形成手段としての第１切断刃２３および、当該輪郭切込ＣＵ１の内側に被着体であってフレーム部材としてのリングフレームＲＦとの間から空気を抜くエア抜き切込ＣＵ２を形成するエア抜き切込形成手段としての第２切断刃２４を有する切断工程を実施する切断手段２０と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離し、当該接着シートＡＳを供給する剥離工程を実施する剥離手段としての剥離板３０とを備え、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４０と、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦを支持する支持手段５０とでシート貼付装置ＥＡ１を構成している。本実施形態の場合、接着シートＡＳは、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１を覆う大きさの形状で形成される。

【0011】

繰出手段１０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、輪郭切込ＣＵ１の外側に形成された不要シートＵＳを折り返し、当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離部材としての剥離ローラ１３と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、剥離ローラ１３との間に存在する不要シートＵＳに常に所定の張力を付与し、当該不要シートＵＳを回収する回収手段としての回収ローラ１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６とを備えている。

【0012】

切断手段２０は、駆動機器としての回動モータ２１の出力軸２１Ａに支持されたダイカットローラ２２と、図１（Ａ）中ＡＡを付したダイカットローラ２２の展開図に示すように、ダイカットローラ２２の円周面に支持された第１切断刃２３と、第１切断刃２３の内側でダイカットローラ２２の円周面に支持された第２切断刃２４と、ダイカットローラ２２と同期回転するプラテンローラ２５とを備え、第２切断刃２４は、閉ループ部を有しない線状のエア抜き切込ＣＵ２を形成する構成となっている。
本実施形態の場合、第２切断刃２４は、エア抜き切込ＣＵ２を原反ＲＳの繰出方向に延びるように形成するとともに、被着体としてのリングフレームＲＦの開口部ＲＦ１を覆うように貼付される接着シートＡＳにおいて開口部ＲＦ１の内縁よりも外側に位置する領域であって、当該接着シートＡＳの外縁よりも内側に位置する接着シート領域ＡＳ１にエア抜き切込ＣＵ２を形成する構成となっている。

【0013】

支持手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１と、リニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって各々吸着保持が可能な被着体支持面５２Ａおよびフレーム支持面５２Ｂを有するテーブル５２とを備えている。

【0014】

以上のシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段１０および切断手段２０が回動モータ１５Ａ、２１を駆動し、接着シート基材ＡＢに輪郭切込ＣＵ１およびエア抜き切込ＣＵ２を形成しつつ、原反ＲＳを繰り出し、図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板３０の剥離縁３１で所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、２１の駆動を停止する。

【0015】

次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫ、リングフレームＲＦを被着体支持面５２Ａ、フレーム支持面５２Ｂ上の所定の位置に載置すると、支持手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、被着体支持面５２Ａ、フレーム支持面５２Ｂでの被着体ＷＫ、リングフレームＲＦの吸着保持を開始する。その後、支持手段５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を左方に移動させ、当該テーブル５２が所定の位置に到達すると、繰出手段１０および切断手段２０が回動モータ１５Ａ、２１を駆動し、テーブル５２の移動速度に合わせて接着シート基材ＡＢに輪郭切込ＣＵ１およびエア抜き切込ＣＵ２を形成しつつ、原反ＲＳを繰り出す。これにより、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、先頭の接着シートＡＳが剥離板３０の剥離縁３１で剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、押圧ローラ４０によってリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに押圧されて貼付される。ここで、図１（Ｂ）に示すように、接着シート領域ＡＳ１に形成されたエア抜き切込ＣＵ２は、閉ループ部を有しない線状となっているため、接着シート基材ＡＢを切り抜いた抜きかすを発生させることなく、リングフレームＲＦと接着シートＡＳとの間に入り込んだ気泡を外に逃がすことができる。

【0016】

次に、先頭の接着シートＡＳ全体がリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに貼付されて一体物ＵＰが形成され、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板３０の剥離縁３１で所定長さ剥離されると、繰出手段１０および切断手段２０が回動モータ１５Ａ、２１の駆動を停止する。そして、一体物ＵＰを支持したテーブル５２が押圧ローラ４０の下方を抜け出ると、支持手段５０がリニアモータ５１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、被着体支持面５２Ａ、フレーム支持面５２Ｂでの被着体ＷＫ、リングフレームＲＦの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、支持手段５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0017】

以上のような実施形態によれば、閉ループ部を有しない線状のエア抜き切込ＣＵ２を形成するので、抜きかすが発生することのないエア抜き切込ＣＵ２を備えた接着シートＡＳを供給することができる。

【0018】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0019】

例えば、繰出手段１０は、支持ローラ１１やガイドローラ１２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳ、剥離シートＲＬ、不要シートＵＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬや不要シートＵＳを巻回することなくファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬや不要シートＵＳを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよい。

【0020】

切断手段２０は、例えば、第１切断刃２３と第２切断刃２４とを分離して別々のダイカットローラに支持させる等、輪郭切込形成手段とエア抜き切込形成手段とを相互に独立した構成としてもよいし、輪郭切込ＣＵ１を形成しながらエア抜き切込ＣＵ２を形成したり、輪郭切込ＣＵ１を形成した後にエア抜き切込ＣＵ２を形成したり、エア抜き切込ＣＵ２を形成した後に輪郭切込ＣＵ１を形成したりしてもよいし、ダイカットローラ２２を接着シート基材ＡＢに離間接近させる切断部材接離手段としての駆動機器を採用してもよい。

エア抜き切込形成手段は、エア抜き切込ＣＵ２を原反ＲＳの繰出方向に交差する方向に延びるように形成してもよいし、エア抜き切込ＣＵ２を直線形状や、円弧形状、Ｕ字形状、Ｓ字形状等の湾曲線形状、Ｖ字形状、Ｗ字形状等の屈曲線形状に形成してもよいし、エア抜き切込ＣＵ２をリングフレームＲＦの内縁よりも内側に延びるように形成したり、接着シートＡＳの外縁に交わるように形成したりしてもよいし、被着体ＷＫが貼付される接着シート領域全体または部分的にエア抜き切込ＣＵ２を形成してもよい。

【0021】

押圧手段は、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付してもよいし、被着体ＷＫにのみ接着シートＡＳを貼付してもよいし、リングフレームＲＦにのみ接着シートＡＳを貼付してもよいし、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１を完全に覆うように接着シートＡＳを貼付してもよいし、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１の一部を覆わないように接着シートＡＳを貼付してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートＡＳを保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫやリングフレームＲＦに押圧して貼付する構成でもよいし、押圧ローラ４０を被着体ＷＫに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用してもよいし、シート供給装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で接着シートＡＳを被着体ＷＫやリングフレームＲＦに押圧して貼付してもよい。

【0022】

支持手段５０は、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦを支持してもよいし、被着体ＷＫのみを支持してもよいし、リングフレームＲＦのみを支持してもよいし、テーブル５２を移動させることなくまたは移動させつつ、繰出手段１０および押圧ローラ４０を移動させてもよいし、シート供給装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0023】

接着シートＡＳは、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１全体を覆う大きさに形成されてもよいし、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１の一部を覆う大きさに形成されてもよい。
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。

【0024】

接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよびフレーム部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよびフレーム部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0025】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、剥離シートに接着シート基材が仮着された原反を繰り出すものであればどのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0026】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切込形成手段等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0027】

ＥＡ…シート供給装置
１０…繰出手段
２０…切断手段
２３…第１切断刃（輪郭切込形成手段）
２４…第２切断刃（エア抜き切込形成手段）
３０…剥離板（剥離手段）
ＡＢ…接着シート基材
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…接着シート領域
ＣＵ１…輪郭切込
ＣＵ２…エア抜き切込
ＲＦ…リングフレーム（被着体、フレーム部材）
ＲＦ１…開口部
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反

【図1】