特開 2023-70492 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023070492

(43)【公開日】2023-05-19

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/18 20180101AFI20230512BHJP

【ＦＩ】

G01N23/18

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021182702

(22)【出願日】2021-11-09

(71)【出願人】

【識別番号】000000572

【氏名又は名称】アンリツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100067323

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 教光

(74)【代理人】

【識別番号】100124268

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 典行

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 直也

(72)【発明者】

【氏名】増満 光希

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001PA11

2G001SA29

(57)【要約】

【課題】Ｘ線検査装置の筐体内にある複数の熱源に、筐体の外面にある送風部から冷気を適切に分配して供給し、各熱源に必要量の冷気を供給して冷却する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、筐体２と、送風孔１３から筐体内に冷気を供給する送風部１２と、筐体２内に設けられたＸ線発生部７及びＸ線検出部１０と、Ｘ線発生部７及びＸ線検出部１０に冷気を導く第１導風路１７及び第２導風路２０と、送風孔１３に対向して配置され、冷気を第１導風路１７及び第２導風路２０に導く第１導入口２１及び第２導入口２２を有している。冷気は、第１導入口と第２導入口が送風孔と対面する面積に応じて筐体内に入った時点で分配され、冷却に必要な適正量の冷気を熱源に供給できる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

筐体（２）と、
前記筐体内に配置されたＸ線発生部（７）と、
前記筐体内に配置されたＸ線検出部（１０）と、
前記筐体の外面に配置されて前記筐体の内部に通じる送風孔（１３）から冷気を供給する送風部（１２）と、
前記筐体内に設けられて前記送風部から供給される冷気を前記Ｘ線発生部に導く第１導風路（１７）と、
前記筐体内に設けられて前記送風部から供給される冷気を前記Ｘ線検出部に導く第２導風路（２０）と、
前記筐体内において前記送風孔に対向して配置され、前記送風孔を経て前記筐体内に供給された冷気を前記第１導風路に導く第１導入口（２１）と、
前記筐体内において前記送風孔に対向して配置され、前記送風孔を経て前記筐体内に供給された冷気を前記第２導風路に導く第２導入口（２２）と、
を有することを特徴とするＸ線検査装置（１，１ａ）。

【請求項2】

前記第１導風路（１７）と前記第２導風路（２０）の少なくとも一方に供給しようとする冷気が前記筐体（２）内に漏れないように、前記第１導入口（２１）と前記第２導入口（２２）の少なくとも一方の開口部が、前記送風孔（１３）と同一平面内に配置されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置（１，１ａ）。

【請求項3】

前記第１導入口（２１）と前記第２導入口（２２）は、前記送風孔（１３）の全体を覆って互いに隣接して配置されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置（１，１ａ）。

【請求項4】

前記筐体（２）内に設けられて前記Ｘ線発生部（７）と前記Ｘ線検出部（１０）を制御する制御部（９）を有しており、
前記送風孔（１３）には、前記第１導入口（２１）及び前記第２導入口（２２）に対向していない開放部（２５）があり、前記開放部から前記筐体内に供給される冷気が前記制御部を冷却することを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置（１）。

【請求項5】

前記第１導入口（２１）と前記第２導入口（２２）が、前記送風孔（１３）から遠い側に回動軸（２７，２９）を有する揺動自在の壁部（２６，２８）により隔てられ、かつ互いに隣接して配置されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置（１ａ）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、熱源であるＸ線発生部とＸ線検出部を筐体の内部に有しており、筐体の外部に設けられた送風部によって各熱源を冷却するＸ線検査装置に係り、特に送風部から送られた冷気が筐体に入る段階で熱源ごとに分配され、必要な量の冷気を各熱源に供給して確実な冷却を行うことができるＸ線検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、Ｘ線検査装置の発明が開示されている。このＸ線検査装置の第１筐体３の内部は、隔壁16によって使用制限温度等に基づき複数の冷却区画C1,C2,C3,C4 に仕切られており、各区画C2,C3,C4には各々固有の使用制限温度を有する熱源17,18,19,20 が収納されている。使用制限温度が低い熱源19,20 が使用制限温度が高い熱源17,18 の上流に配置されるように空気の流路Ｂが設定されているので冷却効率が良い。熱交換器15の吸熱部15a は第１筐体３内にあり、放熱部は外気に連通した第２筐体内にある。この発明によれば、高価なエアコンを用いずに高い冷却効果を実現できるものとされている。

【0003】

下記特許文献２には、Ｘ線異物検出装置の発明が開示されている。このＸ線異物検出装置１は、温度センサ１４で検出した筐体３内の温度が所定温度以上である時、制御手段１０が制御弁１３を開とし、筐体３の上面に設けられたボルテックスチューブ１１を作動させて筐体３内に冷却空気を供給し、Ｘ線発生手段７を冷却する。同時にアクチュエータ２０が作動されて扉１６が駆動され、筐体３の排気口１５が開放される。この発明によれば、筐体内の圧力上昇が抑えられ、排気によって冷却効率が向上するものとされている。また、この特許文献２には、図１４において、Ｘ線異物検出装置１００の筐体１０１の背面側にエアコン１０２を設け、筐体の内部を冷却する例が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１６－１０９４８８号公報

【特許文献2】特開２００９－３００３７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記特許文献１に開示されたＸ線検査装置の発明によれば、使用制限温度が低い熱源が高い熱源の上流に配置されるように空気の流路が筐体内に設けられているので、一定の冷却効果は得られるものの、冷却器を用いた場合のような高い冷却効果が得られないという問題があった。

【0006】

上記特許文献２に開示されたＸ線異物検出装置の発明によれば、筐体の上面に設けられたボルテックスチューブによって、一つの空間である筐体内に冷却空気を流入させている。また同文献の図１４に開示されたＸ線異物検出装置では、筐体の背面にあるエアコンから供給される冷気は、筐体の背面側から一つの空間である筐体内に直接供給されていた。何れの構成も、Ｘ線発生器のような主たる熱源に冷気を導くことを優先すれば、これら以外の熱源、例えばＸ線検出器や電源部等には冷気が届きにくくなり、これらＸ線検出器等のような熱源に対する冷却効率が良くないという問題があった。

【0007】

また、近年進展しているＸ線検査装置の高性能化に伴い、冷却すべき機器の種類が増加する傾向にある。例えば、制御部は、画像処理用の第１制御部と、検査データおよび画像データの外部機器への出力や周辺機器との連動を制御する第２制御部のように複数化しており、Ｘ線検査装置では多くの冷却対象について各々適切な冷却性能が求められるようになっている。特に、前述した制御部については、Ｘ線検査装置の高性能化の一例として、透過画像の分解能の向上が求められており、高分解能のために従来よりも素子数の大きいＸ線検出器が使用されるようになり、画像処理に要する制御部のＣＰＵの負荷が増大している。ＣＰＵの性能は温度の上昇によって低下するため、制御部のＰＣ（ＣＰＵ）近傍は特に冷却の効果に留意しなければならない。さらに、Ｘ線検査装置の高性能化の他の例として、深層学習の付加が求められる場合があり、その場合には深層学習に必要な要素としてＧＰＵを使用するため、さらに熱源が増加し、効率的な冷却が一層求められる状況となっている。

【0008】

本発明は、以上の課題に鑑みてなされたものであり、少なくとも筐体内にあるＸ線発生部とＸ線検出部を含む複数の熱源に、筐体の外面に設けた送風部からの冷気を適切に分配して供給し、各熱源に必要な量の冷気を導いて確実な冷却を行うことができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

請求項１に記載されたＸ線検査装置１，１ａは、
筐体２と、
前記筐体２内に配置されたＸ線発生部７と、
前記筐体２内に配置されたＸ線検出部１０と、
前記筐体２の外面に配置されて前記筐体２の内部に通じる送風孔１３から冷気を供給する送風部１２と、
前記筐体２内に設けられて前記送風部１２から供給される冷気を前記Ｘ線発生部７に導く第１導風路１７と、
前記筐体２内に設けられて前記送風部１２から供給される冷気を前記Ｘ線検出部１０に導く第２導風路２０と、
前記筐体２内において前記送風孔１３に対向して配置され、前記送風孔１３を経て前記筐体２内に供給された冷気を前記第１導風路１７に導く第１導入口２１と、
前記筐体２内において前記送風孔１３に対向して配置され、前記送風孔１３を経て前記筐体２内に供給された冷気を前記第２導風路２０に導く第２導入口２２と、
を有することを特徴としている。

【0010】

請求項２に記載されたＸ線検査装置１，１ａは、請求項１記載のＸ線検査装置１，１ａにおいて、
前記第１導風路１７と前記第２導風路２０の少なくとも一方に供給しようとする冷気が前記筐体２内に漏れないように、前記第１導入口２１と前記第２導入口２２の少なくとも一方の開口部が、前記送風孔１３と同一平面内に配置されていることを特徴としている。

【0011】

請求項３に記載されたＸ線検査装置１，１ａは、請求項１に記載のＸ線検査装置１，１ａにおいて、
前記第１導入口２１と前記第２導入口２２が、前記送風孔１３の全体を覆って互いに隣接して配置されていることを特徴としている。

【0012】

請求項４に記載されたＸ線検査装置１，１ａは、請求項１記載のＸ線検査装置１，１ａにおいて、
前記筐体２内に設けられて前記Ｘ線発生部７と前記Ｘ線検出部１０を制御する制御部９を有しており、
前記送風孔１３には、前記第１導入口２１及び前記第２導入口２２に対向していない開放部２５があり、前記開放部２５から前記筐体２内に供給される冷気が前記制御部９を冷却することを特徴としている。

【0013】

請求項５に記載されたＸ線検査装置１ａは、請求項１に記載のＸ線検査装置１ａにおいて、
前記第１導入口２１と前記第２導入口２２が、前記送風孔１３から遠い側に回動軸２７，２９を有する揺動自在の壁部２６，２８により隔てられ、かつ互いに隣接して配置されていることを特徴としている。

【発明の効果】

【0014】

請求項１に記載されたＸ線検査装置によれば、送風部で生成された冷気は、送風孔から筐体内へ供給される。筐体内においては、第１導風路の入口である第１導入口と、第２導風路の入口である第２導入口が、送風孔に対向した所定の配置で設けられている。このため冷気は、第１導入口と第２導入口が、送風孔と対面している各面積に応じて筐体内に入った時点で分配され、それぞれ第１導風路と第２導風路に供給される。従って、適正な冷却に必要な量の冷気をＸ線発生部とＸ線検出部にそれぞれ供給して適正な冷却を行うことができる。

【0015】

請求項２に記載されたＸ線検査装置によれば、例えば第１導入口の開口部を、送風孔が開口している面と同一平面内に配置すれば、送風孔から筐体内に供給された冷気のうち、第１導入口に供給しようとした冷気の全量が漏れなく確実に第１導入口に入るので、第１導風路を経て送られた冷気によってＸ線発生部の適正な冷却を確実に実行することができる。また、例えば第２導入口の開口部を、送風孔が開口している面と同一平面内に配置すれば、送風孔から筐体内に供給された冷気のうち、第２導入口に供給しようとした冷気の全量が漏れなく確実に第２導入口に入るので、第２導風路を経て送られた冷気でＸ線検出部の適正な冷却を確実に実行することができる。

【0016】

請求項３に記載されたＸ線検査装置によれば、第１導入口と第２導入口は、送風孔の全体を覆う大きさで、互いに隙間なく隣接して配置された構造であるため、隙間がある場合や送風孔の特定の一部分を覆う程度の大きさである場合等に較べれば、筐体構造が比較的単純であり、送風孔に対する位置決めが簡易に行えるため、より容易に製作することができる。

【0017】

請求項４に記載されたＸ線検査装置によれば、第１導入口及び第２導入口に対向していない送風孔の開放部から出てくる冷気によって制御部を冷却することができる。

【0018】

請求項５に記載されたＸ線検査装置によれば、第１導入口と第２導入口を隔てている壁部を揺動させれば、第１導入口が対向している送風孔の面積と、第２導入口が対向している送風孔の面積を変えることができ、Ｘ線発生部とＸ線検出部に供給される冷気の量や比率を任意に設定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】実施形態のＸ線検査装置の右側面図である。

【図2】図１のＡ－Ａ切断線における断面図である。

【図3】図１の矢印Ｂ方向の視線において、第１導入口及び第２導入口と送風孔との配置関係のバリエーションを示す模式図である。

【図4】第１導入口と第２導入口に供給される冷気の配分が変更可能である構造を示す第２実施形態の模式図であって、分図（ａ）は第１例の横断面図であり、分図（ｂ）は第２例の縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

本発明の第１実施形態のＸ線検査装置１について、図１～図４を参照して説明する。
第１実施形態のＸ線検査装置１は、Ｘ線発生器から被検査物にＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ線検出器で検出することにより、被検査物に含まれる異物の有無や被検査物の材質等についての検査を行う装置である。

【0021】

図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、上述した機能を発揮するために必要な各種の構成を収納する容器である筐体２を備えている。筐体２は、設置面ＧＬの上に支持台３をもって設置されている。筐体２は、その背面側を構成する縦長の基部４と、基部４の正面上部に設けられた大箱型の上部５と、前記上部５に対して縦方向に間隔をおいて基部４の正面下部に設けられた薄い小箱型の下部６を有しており、図１に示すように全体としては正面（図中左側）の下方に被検査物を検査する凹部状の検査領域Ｓを備えた略コ字形の全体形状となっている。

【0022】

図１に示すように、筐体２の上部５の内部にはＸ線発生部７が配置されており、筐体２の上部５の正面外側には操作パネル８が設けられている。また、筐体２の基部４の内部には制御部９が配置されている。また、筐体２の下部６の内部にはＸ線検出部１０が配置されている。

【0023】

図１に示すように、筐体２の下部６の上面には、図１の紙面と直交する搬送方向に沿って被検査物Ｗを搬送する搬送手段１１（ベルトコンベア等）が設けられている。筐体２の上部５と下部６の間の空間、すなわち搬送手段１１が設けられた前記検査領域Ｓには、その正面側（図中左側）に開閉自在の蓋体１１が設けられている。また、図１には現れないが、図１の紙面に垂直な方向について搬送手段１１の奥側と手前側には、被検査物Ｗが検査領域Ｓに出入りするための入口と出口が設けられている。筐体２と、検査領域Ｓに設けられた蓋体１１と入口及び出口は、何れもＸ線遮蔽構造となっている。

【0024】

以上の構成によれば、搬送手段１１によって被検査物Ｗを検査領域Ｓ内で搬送しながら、上部５のＸ線発生部７によってＸ線を下方に照射し、被検査物Ｗを透過したＸ線を下部６のＸ線検出部１０で検出することにより、被検査物Ｗの検査を行うことができる。

【0025】

次に、このＸ線検査装置１における冷却システムについて説明する。
図１に示すように、筐体２の外面のうち、基部４の背面側（図１において右側）には、縦長薄型であるパネル状の送風部１２（冷却器又はエアコン）が設けられている。送風部１２は、外気よりも低温の空気である冷気を生成して筐体２内に供給し、対象を冷却した後に温度が上昇した空気（温気）を回収し、再び冷気として筐体２内に循環して供給することができる。

【0026】

図１に示す基部４に接している送風部１２の壁体及び送風部１２に接している基部４の背面の壁体には、筐体２と送風部１２を貫通して設けられた送風孔１３が設けられている。図２に示すように、この送風孔１３は、送風部１２で生成されて筐体２内に供給される冷気が通過するための円形の孔である。図１に示すように筐体２と送風部１２の間に若干の隙間がある場合には、この隙間において筐体２と送風部１２を繋ぐ円筒形の短い連絡路も含めて送風孔１３と称するものとする。図２に示すように、送風孔１３には網状のガード１４が設けられ、さらに図１及び図２に示すように筐体２内に向けて冷気を送り込む送風ブロア１５が設けられている。また、図１及び図２に示すように、送風孔１３の下方には筐体２から戻ってきた空気が吸い込まれる吸込口１６が設けられている。なお、筐体２と送風部１２の間に図１に示したような隙間がなく、筐体２と送風部１２を隔てている壁体が１枚である場合は、この壁体に形成された円形の孔が送風孔１３となる。

【0027】

なお、この送風孔１３の円形の開口の内側は、冷気が通過する部分であるから、当然壁体や構造物等の遮蔽物は存在しないが、この孔の範囲に円形の面を仮想し、冷気が通過可能な範囲を示す面との意味で、この面を送風面と称することとする。すなわち、送風面又は送風面を含む平面は、送風孔１３が形成された筐体２の壁体又は送風部１２の壁体の表面と実質的に同一平面となる。この「送風面」なる用語は、以下に説明するが、筐体２内で冷気を導く導風路の導入口（ダクトの入口）の開口部と、送風孔１３との配置関係を説明するための便宜上の概念である。

【0028】

図１に示すように、筐体２の基部４と上部５の内部には、送風部１２から供給される冷気をＸ線発生部７に導くダクトである第１導風路１７が設けられている。第１導風路１７は、前記送風孔１３に近い基部４内の上方に後述する冷気の入口を有しており、ここから上方に延設され、さらに上部５内を正面に向けて延設されて、上部５内にあるＸ線発生部７に達している。Ｘ線発生部７に近接した第１導風路１７の第１出口１８には、冷気を吸引してＸ線発生部７に確実に供給するためのファン１９が設けられている。第１導風路１７の冷気の入口である第１導入口２１は、角筒状の部材であり、基部４内にある第１導風路１７の一端に接続され、前記送風孔１３（または前記送風面）に対向して配置されている。

【0029】

図１に示すように、筐体２の基部４の内部には、送風部１２から供給される冷気をＸ線検出部１０に導くダクトである第２導風路２０が設けられている。第２導風路２０は、前記送風孔１３に近い基部４内に後述する冷気の入口を有しており、ここから下方に延設され、さらに基部４内を正面に向け延設されて、下部６内にあるＸ線検出部１０に達している。第２導風路２０の第２出口２３に近接しているＸ線検出部１０の一部には、冷気を吸引してＸ線検出部１０に確実に供給するためのファン１９が設けられている。第２導風路２０の冷気の入口である第２導入口２２は、角筒状の部材であり、基部４内にある第２導風路２０の一端に接続され、第１導入口２１の下方に隣接して、前記送風孔１３（または前記送風面）に対向して配置されている。

【0030】

図１及び図３を参照しながら、第１導入口２１及び第２導入口２２と、送風孔１３（または送風面）の配置関係について説明する。なお図３は、図１の矢印Ｂ方向の視線において、第１導入口２１及び第２導入口２２と送風孔１３との配置関係のバリエーションを示す模式図であり、図１に示す配置関係は図３では分図（ａ）に相当する。

【0031】

まず、図１に示すように、第１導入口２１と第２導入口２２は、送風孔１３に対向して配置されている。対向して配置されるとは、第１導入口２１と第２導入口２２の開口部が、送風面又は送風面を含む平面に対して近距離で向き合っているか、又は送風面又は送風面を含む平面に突き当たっていることを意味する。突き当たっているとは、第１導入口２１と第２導入口２２の各開口部が、送風面又は送風面を含む平面と同一平面内に配置されていることを意味するが、その場合には、第１導入口２１と第２導入口２２の開口部が、送風面を含む平面に溶接等により隙間なく固定されていてもよいし、固定されずに当接しているだけでもよい。このような配置関係であれば、送風孔１３から筐体２内に送られてくる冷気は、筐体２内に入った時点で、図１の矢印Ｂ方向から見て第１導入口２１と第２導入口２２が送風孔１３を覆っている面積（又はその割合）に応じて、対向する第１導入口２１と第２導入口２２に分配されて流入することになり、第１導入口２１と第２導入口２２に流入すべき冷気が筐体２内に漏れてしまうことはない。従って、第１導入口２１と第２導入口２２が送風孔１３を覆っている面積（又はその割合）を適宜に定めておけば、冷却に適した量の冷気をＸ線発生部７とＸ線検出部１０に確実に供給することができる。図１及び図３（ａ）に示す例では、第１導入口２１と第２導入口２２が送風孔１３を覆う面積の割合は、概ね６：４程度となっており、送風孔１３から入ってくる冷気の概ね６０％がＸ線発生部７に供給され、概ね４０％がＸ線検出部１０に供給されることとなる。なお、この段での説明では、第１導入口２１と第２導入口２２の何れもが、送風孔１３に対向して配置されているものとしたが、少なくとも一方がそのような配置となっていれば、当該導入口及びこれに連通する導風路には所期量の冷気が確実に供給されることとなり、所定の効果が得られる。

【0032】

また、図１及び図３（ａ）に示す第１導入口２１と第２導入口２２は、送風孔１３の全体を覆っており、かつ互いに隣接して配置されている。すなわち、図３（ａ）から理解されるように、第１導入口２１と第２導入口２２は何れも箱型の部材であるが、境壁を共通の部材とした１個の箱体における隣接した２つの部屋として作られているため、構造的に簡単であり、製作が容易である。また、一体に構成された第１導入口２１と第２導入口２２は、図３（ａ）に示すように正方形であり、これが円形の送風孔１３を完全に覆っているため、特定の箇所において送風孔１３の一部を露出させるような構成（後述する図３（ｅ），（ｆ），（ｇ）に示す）に較べれば、送風孔１３に対する位置決めを簡易に行えるため、この点においても製作が容易である。このような製造上の利点は、次に説明する図３（ｂ），（ｃ），（ｄ）に示す変形例も同様である。

【0033】

図３（ｂ）は、第１導入口２１ｂ及び第２導入口２２ｂの送風孔１３に対する配置例である第１変形例を示している。第１変形例では、第１導入口２１ｂと第２導入口２２ｂを、送風孔１３の全体を覆う略正方形状とし、かつ図３（ａ）と同様の割合で左右に隣接して配置した。

【0034】

図３（ｃ）は、第１導入口２１ｃ及び第２導入口２２ｃの送風孔１３に対する配置例である第２変形例を示している。第２変形例では、第１導入口２１ｃと第２導入口２２ｃを、第１変形例と同様に送風孔１３の全体を覆う略正方形状とし、第１導入口２１ｃは、送風孔１３の左側半分と、同右側半分の上半分を覆う構造とし、第２導入口２２ｃは、送風孔１３の右側半分の下半分を覆う構造とし、第１導入口２１ｃと第２導入口２２ｃが、図１のＢ矢視でＬ字形に見える境壁を共通の部材として隣接する構造とした。従って、送風孔１３から入ってくる冷気の概ね７５％がＸ線発生部７に供給され、概ね１５％がＸ線検出部１０に供給される。

【0035】

図３（ｄ）は、第１導入口２１ｄ及び第２導入口２２ｄの送風孔１３に対する配置例である第３変形例を示している。第３変形例では、第１導入口２１ｄを、第１変形例と同様に送風孔１３の全体を覆う略正方形状とし、第２導入口２２ｄは、第１導入口２１ｄの一側面を貫通して第１導入口２１ｄの内外を連通させる細い角筒状の構造とした。この構造によれば、図示の状態では、送風孔１３から入ってくる冷気の概ね７５％がＸ線発生部７に供給され、概ね１５％がＸ線検出部１０に供給されるが、Ｘ線発生部７とＸ線検出部１０の発熱量が異なる異機種のＸ線検査装置１に登載する場合には、導入口の基本構成は図３（ｄ）と同様とし、組立において第２導入口２２ｄの第１導入口２１ｄに対する挿入長さを調整した上で両者を固定すれば、第１導風路１７と第２導風路２０に供給される冷気の配分をある程度の範囲で調整することができ、発熱量が異なるＸ線発生部７とＸ線検出部１０に対応することができる。

【0036】

図３（ｅ）は、第１導入口２１ｅ及び第２導入口２２ｅの送風孔１３に対する配置例である第４変形例を示している。第４変形例では、第１導入口２１ｅと第２導入口２２ｅが、送風孔１３を完全には覆っておらず、送風孔１３の略中央付近において送風孔１３の一部が筐体２内に露出している。すなわち、第１導入口２１ｅは、送風孔１３の上半分を覆う構造とし、第２導入口２２ｅは、送風孔１３の下半分のさらに下半分を覆う構造とし、第１導入口２１ｅと第２導入口２２ｅの間に、何れの導入口も対向してないために送風孔１３又は送風面が筐体２内に露出する部分が生じるような構造となっている。この送風孔１３が露出した部分を、送風孔１３又は送風面の開放部２５と称する。図１の構造に図３（ｅ）の構造を組み込んだ場合、図１中、矢印Ｂで示す位置に開放部２５が来るので、開放部２５から筐体２内に供給された冷気は制御部９に吹き付けられ、これを冷却する。この構造によれば、送風孔１３から入ってくる冷気の概ね５０％がＸ線発生部７に供給され、概ね２５％がＸ線検出部１０に供給され、概ね２５％が制御部９に供給される。開放部２５は横方向に長いので、冷気も横方向に広がって制御部９に供給されるため、制御部９において特に冷却したい範囲が横方向に長い場合に適している。

【0037】

図３（ｆ）は、第１導入口２１ｆ及び第２導入口２２ｆの送風孔１３に対する配置例である第５変形例を示している。第５変形例は、第４変形例の図３（ｅ）に示す配置を、反時計廻り方向に９０度回転した配置となっている。Ｘ線発生部７とＸ線検出部１０と制御部９に対して、それぞれ供給される冷気の割合は第４変形例と同一である。開放部２５は縦方向に長いので、冷気も縦方向に広がって制御部９に供給されるため、制御部９において特に冷却したい範囲が縦方向に長い場合に適している。

【0038】

図３（ｇ）は、第１導入口２１ｇ及び第２導入口２２ｇの送風孔１３に対する配置例である第６変形例を示している。第６変形例では、第１導入口２１ｇは、送風孔１３の左側半分を覆う構造とし、第２導入口２２ｇは、送風孔１３の右側半分の下半分を覆う構造とし、送風孔１３の右側半分の上半分が、何れの導入口も対向してないために送風孔１３又は送風面が筐体２内に露出する開放部２５となっている。第１導入口２１ｇと第２導入口２２ｇは、共通の境壁を介して隣接している。送風孔１３から入ってくる冷気の概ね５０％がＸ線発生部７に供給され、概ね２５％がＸ線検出部１０に供給され、概ね２５％が制御部９に供給される。

【0039】

図４は、第１導入口２１及び第２導入口２２の構造、並びにこれらの送風孔１３に対する配置例である第６変形例を示している。第１導入口２１と第２導入口２２に供給される冷気の配分が変更可能である構造を示す模式図であって、分図（ａ）は第１の例の横断面図であり、分図（ｂ）は第１の例を左側面における縦断面図で示したものである。

【0040】

本発明の第２実施形態のＸ線検査装置１の２つの構造例について図４（ａ）と図４（ｂ）を参照して説明する。
第２実施形態のＸ線検査装置１ａのＸ線検査に関与する機構の基本構造は、図１を参照して説明した第１実施形態と同一である。第２実施形態のＸ線検査装置１ａの構成のうち、第１実施形態と構造が異なっているのは実質的に第１導入口２１と第２導入口２２の部分であるので、当該部分を中心として説明する。

【0041】

図４（ａ）は、第２実施形態の第１例を示す横断面図である。第１導入口２１ｈと第２導入口２２ｈは、第１実施形態の変形例を示す図３（ｂ）のように、横方向に隣接する一体型の箱型に構成されており、送風孔１３の全体を覆いつつ送風面に対向している。第１導入口２１ｈと第２導入口２２ｈの境となる壁部２６は、垂直方向（図中紙面に垂直な方向）に平行であり、送風孔１３から遠い側に垂直方向と平行に配置された回動軸２７に軸支されて揺動自在となっている。従って、図中に示すように壁部２６を左右方向に揺動させれば、第１導入口２１ｈが対向している送風孔１３の面積と、第２導入口２２ｈが対向している送風孔１３の面積を変えることができ、Ｘ線発生部７とＸ線検出部１０に供給される冷気の量や比率を任意に設定することができる。

【0042】

図４（ｂ）は、第２実施形態の第２例を示す縦断面図である。第１導入口２１ｋと第２導入口２２ｋは、第１実施形態を示す図３（ａ）のように、縦方向に隣接する一体型の箱型に構成されており、送風孔１３の全体を覆いつつ送風面に対向している。第１導入口２１ｋと第２導入口２２ｋの境となる壁部２８は、第１導入口２１ｋと第２導入口２２ｋを上下に仕切っており、送風孔１３から遠い側に水平方向（図中紙面に垂直な方向）と平行に配置された回動軸２９に軸支されて前端縁が上下方向に揺動自在となっている。従って、図中に示すように壁部２８を上下に揺動させれば、第１導入口２１ｋが対向している送風孔１３の面積と、第２導入口２２ｋが対向している送風孔１３の面積を変えることができ、Ｘ線発生部７とＸ線検出部１０に供給される冷気の量や比率を任意に設定することができる。

【符号の説明】

【0043】

１，１ａ…Ｘ線検査装置
２…筐体
７…Ｘ線発生部
９…制御部
１０…Ｘ線検出部
１２…送風部
１３…送風孔
１７…第１導風路
２０…第２導風路
２１…第１導入口
２２…第２導入口
２５…開放部
２６，２８…壁部
２７，２９…回動軸
Ｗ…被検査物
Ｓ…検査領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】