特開 2023-70578 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023070578

(43)【公開日】2023-05-19

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20230512BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20230512BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 V

B65D85/30 500

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021182856

(22)【出願日】2021-11-09

(71)【出願人】

【識別番号】591270419

【氏名又は名称】ゴールド工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100127764

【弁理士】

【氏名又は名称】小川 泰州

(72)【発明者】

【氏名】村田 太成

(72)【発明者】

【氏名】矢野 啓二

【テーマコード（参考）】

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E096AA06

3E096BA16

3E096BB03

3E096CA02

3E096CC02

3E096DA02

3E096DC04

3E096EA02X

3E096GA05

3E096GA10

5F131AA12

5F131CA09

5F131DA05

5F131DA23

5F131DA43

5F131DC06

5F131GA14

5F131GA22

5F131GA33

5F131GA53

5F131GA62

5F131GA63

5F131GA73

5F131GA88

(57)【要約】

【課題】本発明は、トップフランジを利用した操作に対する剛性が向上された新規な基板収納委容器を提供することを目的とする。
【解決手段】 容器本体２と、前記容器本体２の正面開口部を塞ぐ蓋体３と、前記容器本体２の天面２３に固定されたトップフランジ４と、を具備してなるＦＯＵＰタイプの基板収納容器１において、基板（Ｗ）を一枚ずつ個別に支持するための支持片５１が上下方向に沿って並べられた一組のパネルスロット５を、前記容器本体２内の両側面（２２Ｌ、２２Ｒ）寄りの各位置において前記容器本体２の天面２３と底面２１とを架橋するようにして配する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数枚の基板を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰタイプの基板収納容器であって、
容器本体と、
前記容器本体の正面開口部を塞ぐ蓋体と、
前記容器本体の天面に固定されたトップフランジと、
を具備してなり、
更に、基板を一枚ずつ個別に支持するための支持片が上下方向に沿って並べられた一組のパネルスロットが、前記容器本体内の両側面寄りの各位置において前記容器本体の天面と底面とを架橋する状態で配されてなることを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

請求項１に記載の基板収納容器において、
一対のトップフランジが前記容器本体の天面における両側面寄りの各位置に設けられてなる基板収納容器。

【請求項3】

請求項２に記載の基板収納容器において、
前記容器本体に固定された各トップフランジの固定端が、前記容器本体の側面と前記パネルスロットによって挟まれた範囲内に在る基板収納容器。

【請求項4】

請求項１ないし３のいずれか１項に記載の基板収納容器において、
前記容器本体と各パネルスロットとが別体となされ、
前記容器本体の天面と底面の所定位置に設けられたスリットに前記パネルスロットの上縁及び下縁を差し込むことによって、前記容器本体に各パネルスロットが取り付けられる仕組みとなされた基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数枚の基板を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰタイプの基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェハなどの基板は、基板収納容器の内部空間に収納された状態で保管、搬送、に供される。この基板収納容器は収納する基板のサイズに応じて様々なタイプのものが存在し、比較的大型の基板を収納する基板収納容器としては、複数枚の基板を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）タイプのものが用いられている。

【0003】

そして、この種の基板収納容器には、一般にＯＨＴ（Ｏｖｅｒ Ｈｅａｄ Ｔｒａｎｓｆｅｒ）と称される天井走行装置やロボットなどの自動搬送装置によって操作し得るように、容器本体の天面にトップフランジ（或いはロボティックフランジ）と称される搬送用の把手が設けられている（例えば、下記特許文献１～３参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１１‐１８１８６７号公報

【特許文献2】特開２００８‐０３４８７９号公報

【特許文献3】特開２０２０‐０６１４９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、近年の基板のサイズアップに応じた基板収納容器の大型化により、基板が収納された基板収納容器の総重量が増加しており、トップフランジを利用した基板収納容器の操作の際に基板収納容器の変形や破損等が生じる懸念が生じてきた。

【0006】

本発明は、前記技術的課題に鑑みて完成されたものであり、トップフランジを利用した操作に対する剛性が向上された新規な基板収納委容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記技術的課題を解決する本発明の基板収納容器は、複数枚の基板を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰタイプの基板収納容器であって、容器本体と、前記容器本体の正面開口部を塞ぐ蓋体と、前記容器本体の天面に固定されたトップフランジと、を具備してなり、更に、基板を一枚ずつ個別に支持するための支持片が上下方向に沿って並べられた一組のパネルスロットが、前記容器本体内の両側面寄りの各位置において前記容器本体の天面と底面とを架橋する状態で配されてなることを特徴とする（以下、「本発明容器」と称する。）。

【0008】

前記本発明容器においては、一対のトップフランジが前記容器本体の天面における両側面寄りの各位置に設けられてなるものが好ましい態様となる。

【0009】

前記本発明容器においては、前記容器本体に固定された各トップフランジの固定端が、前記容器本体の側面と前記パネルスロットによって挟まれた範囲内に在るものが好ましい態様となる。

【0010】

前記本発明容器においては、前記容器本体と各パネルスロットとが別体となされ、前記容器本体の天面と底面の所定位置に設けられたスリットに前記パネルスロットの上縁及び下縁を差し込むことによって、前記容器本体に各パネルスロットが取り付けられる仕組みとなされたものが好ましい態様となる。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、トップフランジを利用した操作に対する剛性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１（ａ）は、本発明容器の一実施形態を示す斜視図であり、図１（ｂ）は、前記本発明容器の蓋体を解放した状態を示す斜視図である。

【図2】図２（ａ）、（ｂ）は、前記本発明容器の容器本体にトップフランジを固定する様子を示す斜視図である。

【図3】図３（ａ）、（ｂ）は、前記本発明容器の容器本体にパネルスロットを取り付ける様子を示す斜視図であり、図３（ｃ）は、前記容器本体に設けられたスリットに前記パネルスロットを挿入する状態を示す断面図である。

【図4】図４は、前記トップフランジと前記パネルスロットとの位置関係を示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明するが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。

【0014】

＜本発明容器１＞
図１に、本発明容器１の一実施形態を示す。前記本発明容器１は、「容器本体（２）」と、「蓋体（３）」と、「トップフランジ（４）」と、「パネルスロット（５）」と、を具備する。

【0015】

‐容器本体２‐
前記容器本体２は、正面開口部２０を有する箱型の樹脂成型品である。前記容器本体２は、底面２１、両側面２２（２２Ｌ、２２Ｒ）、天面２３、及び背面２４によって囲まれた空間内に複数枚の基板（Ｗ）を上下方向に並べた状態で収納するための容器であり、基板（Ｗ）は前記正面開口部２０を通じて出し入れされる。なお、本実施形態においては、前記容器本体２内の中央部には収納された基板（Ｗ）の中央部を支持することによって、基板（Ｗ）の反りを防止するための櫛状の支持具（センターバー）２５が設けられている。

【0016】

‐蓋体３‐
前記蓋体３は、前記容器本体２の正面開口部２０を塞ぐ役割を担う。前記蓋体３は前記容器本体２の正面開口部２０に嵌合し得る寸法を有し、正面開口部２０に嵌合させた状態でラッチ３１を操作することによって前記容器本体２に取り付けることができる仕組みとなされている。

【0017】

‐トップフランジ４‐
前記トップフランジ４は、前記容器本体２の天面２３に固定された搬送用の把手である。即ち、前記本発明容器１は、ＯＨＴによって搬送されることを前提としており、前記トップフランジ４はＯＨＴ搬送の際の把手となる。本実施形態においては、前記トップフランジ４として一対の長板状の樹脂成型品を用い、各々、前記容器本体２の天面２３における両側面２２（２２Ｌ、２２Ｒ）寄りの各位置に設けた。なお、図２に示すように、前記容器本体２への前記トップフランジ４の固定は、前記容器本体２の天面２３から両側に向かって張り出す軒部２３１に沿って複数本の支持柱４１を設けたうえで、前記支持柱４１に前記トップフランジ４をネジ止めすることによって行った。即ち、前記支持柱４１は、特許請求の範囲における「（トップフランジの）固定端」に相当する。

【0018】

‐パネルスロット５‐
前記パネルスロット５は、前記容器本体２内に収納された基板（Ｗ）を一枚ずつ個別に支持するための支持片５１が上下方向に沿って並べられた板状の樹脂成型品である。そして、前記パネルスロット５は、前記容器本体２内の両側面２２（２２Ｌ、２２Ｒ）寄りの各位置において前記容器本体２の天面２３と底面２１とを架橋する状態で配される。図３（ａ）に示すように、本実施形態では前記容器本体２と各パネルスロット５とが別体となされており、図３（ｂ）に示すように、前記容器本体２の天面２３と底面２１の所定位置に設けられたスリット（Ｓ）に前記パネルスロット５の上縁及び下縁を差し込むことによって、前記容器本体２に各パネルスロット５が取り付けられる仕組みとなされている。又、図３（ｃ）に示すように前記スリット（Ｓ）の奥側には、奥に向かって狭くなるテーパ壁が設けられており、挿入端側に同じテーパ角が設けられた前記パネルスロット５を圧入することによって、前記容器本体２に前記パネルスロット５が確実に固定される仕組みとなされている。

【0019】

前記構成を有する前記本発明容器１は、複数枚の基板（Ｗ）を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰタイプの基板収納容器である。そして、基板（Ｗ）が収納された前記本発明容器１は、天井走行装置やロボットなどの自動搬送装置に前記トップフランジ４が把持された状態で搬送される。この搬送の際、前記本発明容器１は相当な重量を有していることから、前記本発明容器１の容器本体２には相当な負荷が掛かることになる。しかしながら、前記本発明容器１は前記パネルスロット５が前記容器本体２の天面２３と底面２１とを架橋する状態で配されているため、前記トップフランジ４を利用した前記本発明容器１の操作に対する剛性が高くなっており、その結果、前記容器本体２に変形や破損が生じ難くなる。

【0020】

ところで、本実施形態においては、前記容器本体２、前記蓋体３、前記トップフランジ４、及びパネルスロット５の各部品をいずれも樹脂成型品としているが、これらの部品は必ずしも樹脂成型品でなくても良く、樹脂成型品の素材も特に限定されない。

【0021】

又、本実施形態においては前記トップフランジ４につき、一対の長板状の樹脂成型品を前記容器本体２の天面２３における両側面２２（２２Ｌ、２２Ｒ）寄りの各位置に設けているが、本発明において前記トップフランジ４は前記容器本体２の天面２３に固定されるのであれば、その形状や個数は特に限定されない。

【0022】

但し、本実施形態のように一対の長板状の樹脂成型品を前記容器本体２の天面２３における両側面２２（２２Ｌ、２２Ｒ）寄りの各位置に設けることによって前記トップフランジ４を構築するのであれば、図４に示すように、前記トップフランジ４の固定端（この場合、前記支持柱４１）が、前記容器本体２の側面２２Ｒ（２２Ｌ）と前記パネルスロット５によって挟まれた範囲内に在るようにすることが好ましい。前記トップフランジ４と前記パネルスロット５との位置関係をこのようにすれば、前記トップフランジ４を利用した前記本発明容器１の操作に対する剛性がより向上することが確認されている。

【0023】

なお、本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。

【産業上の利用可能性】

【0024】

本発明は、複数枚の基板を収納する手段として好適に用いられる。

【符号の説明】

【0025】

１ 本発明容器（基板収納容器）
２ 容器本体
２０ 正面開口部
２１ 底面
２２ 側面
２３ 天面
２３１ 軒部
２４ 背面
２５ 支持具
３ 蓋体
３１ ラッチ
４ トップフランジ
４１ 支持柱
５ パネルスロット
５１ 支持片

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】