特開 2023-71140 積層型キャパシタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023071140

(43)【公開日】2023-05-22

(54)【発明の名称】積層型キャパシタ

(51)【国際特許分類】

   H01G 4/30 20060101AFI20230515BHJP

【ＦＩ】

H01G4/30 201G

H01G4/30 516

【審査請求】未請求

【請求項の数】18

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022071949

(22)【出願日】2022-04-25

(31)【優先権主張番号】10-2021-0153890

(32)【優先日】2021-11-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】594023722

【氏名又は名称】サムソン エレクトロ－メカニックス カンパニーリミテッド．

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】リー、サン ムーン

(72)【発明者】

【氏名】リー、タク ジュン

(72)【発明者】

【氏名】リー、スン ホー

(72)【発明者】

【氏名】パク、セオル ギョン

【テーマコード（参考）】

5E001

5E082

【Ｆターム（参考）】

5E001AB03

5E001AF06

5E082AA01

5E082AB03

5E082EE01

5E082FF05

5E082FG26

5E082GG10

5E082GG11

5E082GG12

(57)【要約】

【課題】電気的特性、構造的安定性が向上した外部電極構造を有する積層型キャパシタを提供する。
【解決手段】
本発明の一実施形態は、誘電体層及び上記誘電体層を間に挟んで積層された複数の内部電極を含む本体と、上記本体の外部に形成されて上記内部電極と接続された第１層及び上記第１層を覆う第２層を含む外部電極を含み、上記第１層はＡ元素を含む金属粒子、上記金属粒子に形成されたＺ元素の酸化物及びＡ－Ｂ金属間化合物相を含み、ここで、上記Ｚ元素は上記Ａ元素よりもイオン化傾向が高い積層型キャパシタを提供する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

誘電体層及び前記誘電体層を間に挟んで積層された複数の内部電極を含む本体と、
前記本体の外部に形成されて前記内部電極と接続された第１層及び前記第１層を覆う第２層を含む外部電極と、を含み、
前記第１層は、Ａ元素を含む金属粒子、前記金属粒子に形成されたＺ元素の酸化物、及びＡ－Ｚ金属間化合物相を含み、ここで、前記Ｚ元素は前記Ａ元素よりもイオン化傾向が高い、積層型キャパシタ。

【請求項2】

前記Ｚ元素の酸化物は、前記金属粒子の表面に存在する、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項3】

前記Ａ－Ｚ金属間化合物相は、前記金属粒子の内部に存在する、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項4】

前記第１層は、前記Ａ元素の酸化物をさらに含む、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項5】

前記Ａ元素の酸化物は、前記金属粒子の表面に存在する、請求項４に記載の積層型キャパシタ。

【請求項6】

前記金属粒子の一部は、前記Ａ元素の酸化物を含まない、請求項５に記載の積層型キャパシタ。

【請求項7】

前記Ａ元素は、Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｄ及びＡｕから構成された群から選択された少なくとも１つの元素である、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項8】

前記第２層はＣｕめっき層である、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項9】

前記Ｚ元素は、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｓｂ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ａｌ、Ｂ、及びＺｒから構成された群から選択された少なくとも１つの元素である、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項10】

前記第２層は、前記Ａ元素の拡散領域を含む、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項11】

前記拡散領域は、前記第２層をなす金属成分の粒界に存在する、請求項１０に記載の積層型キャパシタ。

【請求項12】

前記第２層は、前記Ｚ元素の拡散領域を含む、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項13】

前記拡散領域は、前記第２層をなす金属成分の粒界に存在する、請求項１２に記載の積層型キャパシタ。

【請求項14】

前記第２層は、前記Ａ元素及び前記Ｚ元素の拡散領域を含む、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項15】

前記拡散領域は、前記第２層をなす金属成分の粒界に存在する、請求項１４に記載の積層型キャパシタ。

【請求項16】

前記本体の内部に配置され、前記複数の内部電極の最上部及び最下部の少なくとも１つの位置に配置されたダミー電極をさらに含む、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項17】

前記複数の内部電極の積層方向から見たとき、一辺が（２５０＋ｎ×３５０）μｍの－１０％と＋１０％との間に該当する長さを有し、ここで、ｎは自然数である、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項18】

前記複数の内部電極の積層方向に測定した長さを厚さとするとき、７０μｍ以下の厚さを有する、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層型キャパシタに関するものである。

【背景技術】

【0002】

キャパシタは電気を蓄えることができる素子であり、一般的に２つの電極を対向させて電圧をかけると、各電極に電気が蓄積される原理を用いる。直流電圧を印加した場合には、電気が蓄電されてキャパシタ内部に電流が流れるが、蓄積が完了すると電流が流れなくなる。一方、交流電圧を印加した場合、電極の極性が交変しながら交流電流が流れるようになる。

【0003】

このようなキャパシタは、電極間に備えられる絶縁体の種類に応じて、アルミニウムで電極を構成し、上記アルミニウム電極間に薄い酸化膜を備えるアルミニウム電解キャパシタ、電極材料としてタンタルを用いるタンタルキャパシタ、電極間にチタン酸バリウムなどの高誘電率の誘電体を用いるセラミックキャパシタ、電極間に備えられる誘電体として高誘電率系セラミックを多層構造で用いる積層セラミックキャパシタ（Ｍｕｌｔｉ－Ｌａｙｅｒ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ、ＭＬＣＣ）、電極間の誘電体としてポリスチレンフィルムを用いるフィルムキャパシタなど様々な種類に区分することができる。

【0004】

この中で、積層セラミックキャパシタは温度特性及び周波数特性に優れ、小型で実現可能であるという利点を有しており、最近では、高周波回路などの多様な分野で多く応用されている。最近では、積層セラミックキャパシタをさらに小さく実現するための試みが続けられており、このために誘電体層、内部電極、外部電極を薄く形成している。

【0005】

最近では、電子部品の厚さの減少要求が高まっており、これにより、積層セラミックキャパシタの厚さを薄くするための研究が続けられているが、厚さが薄くなる場合、積層セラミックキャパシタの電気的特性を十分に確保することは難しい。また、外部電極を薄く形成する場合、電極の機械的強度や電気的特性が低下する可能性がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的のうち一つは、電気的特性が向上した外部電極構造を有する積層型キャパシタを提供することである。本発明の目的のうち他の一つは、構造的安定性が向上した外部電極構造を有する積層型キャパシタを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決するための方法として、本発明は一例によって積層型キャパシタの新規構造を提案しようとするものであり、具体的には、誘電体層及び上記誘電体層を間に挟んで積層された複数の内部電極を含む本体と、上記本体の外部に形成されて上記内部電極と接続された第１層及び上記第１層を覆う第２層を含む外部電極を含み、上記第１層は、Ａ元素を含む金属粒子、上記金属粒子に形成されたＢ元素の酸化物及びＡ－Ｂ金属間化合物相を含み、ここで、上記ＢはＡよりもイオン化傾向がさらに高い形態である。

【0008】

一実施形態において、上記Ｚ元素の酸化物は上記金属粒子の表面に存在することができる。

【0009】

一実施形態において、上記Ａ－Ｂ金属間化合物相は上記金属粒子の内部に存在することができる。

【0010】

一実施形態において、上記第１層は上記Ａ元素の酸化物をさらに含むことができる。

【0011】

一実施形態において、上記Ａ元素の酸化物は上記金属粒子の表面に存在することができる。

【0012】

一実施形態において、上記金属粒子の一部は、上記Ａ元素の酸化物を含まないことができる。

【0013】

一実施形態において、上記Ａ元素は、Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｄ及びＡｕから構成された群から選択された少なくとも１つの元素であることができる。

【0014】

一実施形態において、上記第２層はＣｕめっき層であることができる。

【0015】

一実施形態において、上記Ｚ元素は、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｓｂ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ａｌ、Ｂ、及びＺｒから構成された群から選択された少なくとも１つの元素であることができる。

【0016】

一実施形態において、上記第２層は上記Ａ元素成分の拡散領域を含むことができる。

【0017】

一実施形態において、上記拡散領域は、上記第２層をなす金属成分の粒界に存在することができる。

【0018】

一実施形態において、上記第２層は上記Ｚ元素成分の拡散領域を含むことができる。

【0019】

一実施形態において、上記第２層は上記Ａ元素成分及びＺ元素成分の拡散領域を含むことができる。

【0020】

一実施形態において、上記本体の内部に配置され、上記複数の内部電極の最上部及び最下部の少なくとも１つの位置に配置されたダミー電極をさらに含むことができる。

【0021】

一実施形態において、上記複数の内部電極の積層方向から見たとき、一辺が（２５０＋ｎ×３５０）μｍの－１０％と＋１０％との間に該当する長さを有し、ここで、ｎは自然数であることができる。

【0022】

一実施形態において、上記積層型キャパシタは上記複数の内部電極の積層方向に測定した長さを厚さとするとき、７０μｍ以下の厚さを有することができる。

【発明の効果】

【0023】

本発明の一例による積層型キャパシタに含まれる外部電極の場合、構造的安定性、電気的特性の少なくとも１つの特性が向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の一実施形態に係る積層型キャパシタの外観を概略的に示した斜視図である。

【図2】図１の断面図に該当する図面である。

【図3】図１の断面図に該当する図面である。

【図4】外部電極の一部領域を拡大して示した図面である。

【図5】外部電極の金属粒子を拡大して示した図面である。

【図6】外部電極の一部領域を拡大して示した図面である。

【図7】本発明の変形例による積層型キャパシタを示した図面である。

【図8】本発明の変形例による積層型キャパシタを示した図面である。

【図9】本発明の変形例による積層型キャパシタを示した図面である。

【図10】本発明の変形例による積層型キャパシタを示した図面である。

【図11】本発明の変形例による積層型キャパシタを示した図面である。

【図12】本発明の変形例による積層型キャパシタを示した図面である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下では、具体的な実施形態及び添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。しかし、本発明の実施形態は、いくつかの他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、通常の技術者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）がされることがあり、図面上の同一の符号で示される要素は同一の要素である。

【0026】

そして、図面において本発明を明確に説明するために説明と関係のない部分は省略し、複数の層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示し、同一思想の範囲内の機能が同一である構成要素は、同一の参照符号を付与して説明する。さらに、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。

【0027】

図１は、本発明の一実施形態に係る積層型キャパシタの外観を概略的に示した斜視図であり、図２及び図３は、図１の断面図に該当する図面であり、図４及び図６は、外部電極の一部領域を拡大して示した図面であり、図５は、外部電極の金属粒子を拡大して示した図面である。

【0028】

図１～図３を参照すると、本発明の一実施形態に係る積層型キャパシタ１００は、誘電体層１１１及びこれを間に挟んで積層された複数の内部電極１２１、１２２を含む本体１１０、そして、外部電極１３１、１３２を含む。ここで、外部電極１３１、１３２は、第１層１３１ａ、１３２ａ及び第２層１３１ｂ、１３２ｂを含み、さらに第３層１３１ｃ、１３２ｃを含むことができる。図４及び図５に示した形態のように、第１層１３１ａ、１３２ａの場合、金属粒子１４０、これに形成されたＺ元素の酸化物１４１及びＡ－Ｚ金属間化合物相１４２を含むが、ここで、上記Ａは金属粒子に含まれた金属元素である。そして、上記Ｚ元素は上記Ａ元素よりもイオン化傾向がさらに高い。

【0029】

本体１１０は、複数の誘電体層１１１が第１方向（Ｘ方向）に積層された積層構造を含み、例えば、複数のグリーンシートを積層した後に焼結して得られる。このような焼結工程によって、複数の誘電体層１１１は一体化した形態を有することができ、複数のグレインを含むことができる。そして、図１に示した形態のように、本体１１０は直方体と類似した形状を有することができる。本体１１０に含まれた誘電体層１１１は、高誘電率を有するセラミック材料を含むことができ、例えば、ＢＴ系、すなわち、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）系セラミックを含むことができるが、十分な静電容量が得られる限り、当技術分野で知られている他の物質も使用可能である。誘電体層１１１には、主成分であるこのようなセラミック材料と併せて必要な場合には添加剤、有機溶剤、可塑剤、結合剤及び分散剤などがさらに含まれることができる。ここで、添加剤の場合、これらは製造過程において金属酸化物の形態で添加されることができる。このような金属酸化物の添加剤の例として、ＭｎＯ_２、Ｄｙ_２Ｏ_３、ＢａＯ、ＭｇＯ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３及びＣａＣＯ_３の少なくとも１つの物質を含むことができる。

【0030】

複数の内部電極１２１、１２２は、セラミックグリーンシートの一面に所定厚さで導電性金属（例えば、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｐｄなど）を含むペーストを印刷した後、これを焼結して得られる。この場合、複数の内部電極１２１、１２２は、本体１１０の互いに対向する方向に露出した第１及び第２内部電極１２１、１２２を含むことができる。第１及び第２内部電極１２１、１２２は、互いに異なる外部電極１３１、１３２と連結されて駆動する際に互いに異なる極性を有することができ、これらの間に配置された誘電体層１１１によって互いに電気的に分離されることができる。但し、外部電極１３１、１３２の個数や内部電極１２１、１２２との連結方式は実施形態によって変わることができる。

【0031】

外部電極１３１、１３２は、本体１１０の外部に形成されて内部電極１２１、１２２と接続され、具体的には、本体１１０で互いに対向する面に配置された第１及び第２外部電極１３１、１３２を含むことができる。外部電極１３１、１３２は、第１層１３１ａ、１３２ａ及び第２層１３１ｂ、１３２ｂを含み、ここで、第２層１３１ｂ、１３２ｂはめっき層であることができる。さらに具体的には、第２層１３１ｂ、１３２ｂはＣｕめっき層であることができる。そして、第３層１３１ｃ、１３２ｃもめっき層であることができ、例えば、４．５μｍ以上の厚さを有するＳｎめっき層であることができる。

【0032】

本実施形態の場合、外部電極１３１、１３２に含まれた第１層１３１ａ、１３２ａは、構造的安定性及び高い電気導電性を有するように考案された構造として、上述したようにＡ元素を含む金属粒子１４０と金属粒子１４０に形成されたＺ元素の酸化物１４１及びＡ－Ｚ金属間化合物相１４２を含む。ここで、上記Ａ元素は、電気導電性に優れ、第２層１３１ｂ、１３２ｂに拡散する上で適した元素として選択されることができ、例えば、Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｄ及びＡｕから構成された群から選択された少なくとも１つの元素であることができる。この場合、第１層１３１ａ、１３２ａは、導電性ペーストを焼結して得られた焼結電極層であることができ、金属成分以外にガラス成分などをさらに含むことができる。したがって、図４などに示された形態とは異なって金属粒子１４０は、焼結後の粒子間の境界が区別されない可能性がある。以下では、上記Ａ元素を代表的な例としてＮｉを基準に説明するが、Ｎｉ以外の他の元素を用いることもできる。金属粒子１４０のＮｉを含む場合、Ｎｉ成分は第２層１３１ｂ、１３２ｂに拡散して第１層１３１ａ、１３２ａと第２層１３１ｂ、１３２ｂとの密着力が向上することができ、これによって外部電極１３１、１３２の構造的安定性が向上することができる。

【0033】

このような密着力向上の効果は、金属粒子１４０が酸化されてＮｉ酸化物が生じる場合に低下するおそれがあるが、これはＮｉ酸化物によってＮｉ成分の拡散が減るためである。また、このようなＮｉ酸化物が多く発生するほど、第１層１３１ａ、１３２ａの電気導電性は低くなることがある。本実施形態では、Ｎｉ酸化物の発生を最小化するためにイオン化傾向（あるいは酸化傾向）が比較的高いＺ元素を添加した。ここで、上記Ｚ元素は、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｓｂ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ａｌ、Ｂ及びＺｒから構成された群から選択された少なくとも１つの元素であることができる。以下では、Ｚ元素がＡｌである場合を例に挙げて説明するが、Ａｌ以外に上述した金属元素を用いることもできる。

【0034】

第１層１３１ａ、１３２ａを形成するために、Ｎｉ粒子にＡｌ成分を添加することができ、ここでのＡｌ成分は粒子形態であることができる。但し、Ａｌ成分はＮｉ粒子表面にコーティングされた形態であることもできる。焼結過程において、Ａｌ成分はＡｌ酸化物（例：Ａｌ_２Ｏ_３）を形成するが、この過程でイオン化傾向がＡｌよりも低いＮｉの酸化は抑制されることができる。すなわち、ＮｉＯはＡｌと反応して還元され、この過程で逆にＡｌは酸化されるため、ＮｉＯの生成が抑制されることができる。図５に示された形態のように、このようなＡｌ酸化物、すなわち、Ｚ元素の酸化物１４１は、金属粒子１４０の表面に存在することができる。このようなＺ元素の酸化物１４１によってＮｉの酸化が抑制されることができるため、Ｎｉ粒子１４０の電気導電性が向上することができる。また、Ａｌのイオン化傾向によるＮｉの酸化防止効果以外に、Ｎｉ粒子１４０の表面に形成されたＡｌ_２Ｏ_３膜はそれ自体でもＮｉの酸化を防止することができる。このようにＮｉＯの発生が低減される場合、第１層１３１ａ、１３２ａの電気導電性が向上するとともに、第２層１３１ｂ、１３２ｂに拡散されるＮｉ成分の量が増加する可能性があるため、第１層１３１ａ、１３２ａ及び第２層１３１ｂ、１３２ｂの密着力も強化されることができる。一方、Ｚ元素の酸化物１４１は、ラマン分析によってその存在有無及び酸化程度を確認することができる。

【0035】

金属粒子１４０はＡ－Ｚ金属間化合物相１４２を含むが、この場合、Ａ－Ｚ金属間化合物相１４２は金属粒子１４０の内部に存在することができる。Ａ－Ｚ金属間化合物相１４２が形成される場合、第２層１３１ｂ、１３２ｂへの拡散性がさらに向上することができるため、第１層１３１ａ、１３２ａ及び第２層１３１ｂ、１３２ｂの密着力がさらに強化されることができる。例えば、Ｎｉ粒子１４０にＡｌ成分を添加する場合、Ｎｉ－Ａｌ金属間化合物は、ＮｉＡｌ_３、Ｎｉ_２Ａｌ_３、ＮｉＡｌ、Ｎｉ_５Ａｌ_３、Ｎｉ_３Ａｌなどを含むことができる。図５は一部金属粒子１４０を示すが、金属粒子１４０の内部にＡ－Ｚ金属間化合物相１４２が存在し、表面にはＺ元素の酸化物１４１が存在する。これに加えて、金属粒子１４０の表面にはＡ元素の酸化物１４３、すなわち、Ｎｉ酸化物が形成されることができる。但し、上述したように、本実施形態ではＺ元素の酸化物１４１の発生を最小化し、金属粒子１４０の一部はＡ元素の酸化物１４３を含まないことができる。

【0036】

図６は、第１層１３１ａ、１３２ａから一部成分が第２層１３１ｂ、１３２ｂに拡散して拡散領域１４４が形成された例を示す。上述したように、第２層１３１ｂ、１３２ｂはＣｕめっき層であることができ、上記Ａ元素、例えば、Ｎｉ成分の拡散領域１４４を含むことができる。これによって、拡散領域１４４はＣｕ－Ｎｉの金属間化合物を含むことができる。さらに、拡散領域１４４は、上記Ｚ成分、例えば、Ａｌ成分を含むことができ、これによって拡散領域１４４はＣｕ－Ａｌの金属間化合物を含むことができる。さらに、上記Ａ元素とＺ元素がすべて拡散して拡散領域１４４が形成されることもでき、これによって拡散領域１４４はＣｕ－Ｎｉ－Ａｌの金属間化合物を含むことができる。このような拡散が起こる場合、第２層１３１ｂ、１３２ｂの拡散領域１４４は、第２層１３１ｂ、１３２ｂをなす金属成分、例えば、Ｃｕの粒界に存在することができる。

【0037】

以下、図７～１２を参照して変形例による積層型キャパシタを説明する。上述した外部電極を有する積層型キャパシタは、構造的安定性及び電気的特性に優れるため、小型化された部品に適用する上で適しており、特に薄い厚さを有する積層型キャパシタに採用される場合、その効果が顕著である。図７の実施形態の場合、内部電極１２１、１２２の他にさらにダミー電極１２３、１２４が配置されており、これにより積層型キャパシタの厚さが薄い場合でも十分な剛性を確保することができる。この場合、積層型キャパシタの厚さＴは、複数の内部電極１２１、１２２の積層方向（Ｘ方向）に測定した長さと定義されることができ、７０μｍ以下であることができる。このような厚さ条件は、前の実施形態及び後の実施形態のいずれにも適用されることができる。ダミー電極１２３、１２４の場合、隣接した内部電極１２１、１２２と同一の形態で形成され、同一の極性の外部電極１３１、１３２と接続されることができる。但し、ダミー電極１２３、１２４は、隣接した内部電極１２１、１２２と異なる形状を有することもでき、外部電極１３１、１３２と接続されないこともできる。図７には、ダミー電極１２３、１２４は、本体１１０の上部及び下部にそれぞれ１つずつ適用された例が示されているが、本体１１０の上部及び下部にそれぞれ複数個備えられることもできる。また、ダミー電極１２３、１２４は、以下の実施形態にも適用されることができる。

【0038】

次に、図８の実施形態は、外部電極の形状の面で前の実施形態と差異がある。本変形例の場合、外部電極１３１'、１３２'は、いわゆる下面電極形態として本体１１０の側面及び下面を覆うように形成される。この場合、外部電極１３１'、１３２'は、上述した外部電極１３１、１３２と同一の多層構造、すなわち、第１層１３１ａ、１３２ａ及び第２層１３１ｂ、１３２ｂを含むことができる。下面電極構造を採用することにより、外部電極１３１'、１３２'の全体的な大きさ（Ｘ方向の長さ）を減らすことができるため、積層型キャパシタの薄型化に有利である。そして、このような下面電極構造は以下の実施形態にも適用されることができる。

【0039】

次に、図９～図１２の実施形態は、積層型キャパシタ２００が４端子正方形構造を有するが、これは薄い厚さでも高い剛性を維持する上で適した形態に該当する。本体２１０は、誘電体層２１１及び複数の内部電極２２１、２２２を含み、複数の内部電極２２１、２２２の積層方向（Ｘ方向）から見たとき、正方形構造を有することができ、これにより積層型キャパシタ２００も全体的に正方形に類似した形態になることができる。積層型キャパシタ２００の大きさは、例えば、Ｘ方向から見たとき、一辺の長さＡ１、Ａ２が（２５０＋ｎ×３５０）μｍであり、ここでｎは自然数であることができる。例えば、ｎが１である場合、積層型キャパシタ２００は、６００μｍ×６００μｍの大きさを有する。但し、誤差範囲を考慮して一辺の長さＡ１、Ａ２は（２５０＋ｎ×３５０）μｍの－１０％と＋１０％との間に該当する値を有することができる。ここで、一辺の長さが３５０μｍの倍数に大きくなるようにした理由は、実装時のはんだボールなどのピッチ値を考慮するためである。そして、積層型キャパシタ２００の厚さＴはＸ方向に測定した長さを基準に７０μｍ以下に薄く実現することができる。一方、積層型キャパシタ２００の厚さＴ及び一辺の長さＡ１、Ａ２は、多数の領域で測定された値のうち最大値を意味することができ、これとは異なり、多数の値を平均した値であることもできる。

【0040】

本変形例において、外部電極２３１、２３２は、上述した外部電極１３１、１３２と同一の多層構造、すなわち、第１層２３１ａ、２３２ａ及び第２層２３１ｂ、２３２ｂを含み、さらに第３層２３１ｃ、２３２ｃを含むことができる。

【0041】

図１１及び図１２を参照すると、第１内部電極２２１は一対の第１外部電極２３１と接続され、第１メイン部２１１ａ及び第１引き出し部２１１ｂを含むことができる。第１引き出し部２１１ｂの場合、第１メイン部２１１ａから本体２１０の第１及び第２角Ｃ１、Ｃ２を連結する斜め方向に延長して第１外部電極２３１と接続されることができる。第２内部電極２１２は、一対の第２外部電極２３２と接続され、第２メイン部２１２ａ及び第２引き出し部２１２ｂを含むことができる。第２引き出し部２１２ｂの場合、第２メイン部２１２ａから本体２１０の第３及び第４角Ｃ３、Ｃ４を連結する斜め方向に延長して第２外部電極２３２と接続されることができる。

【0042】

第１外部電極２３１は、本体１１０において互いに隣接していない第１角Ｃ１及び第２角Ｃ２にそれぞれ配置され、第１内部電極２１１と接続され、このために一対以上備えられることができる。これと類似して、第２外部電極２３２は、本体２１０において互いに隣接していない第３角Ｃ３及び第４角Ｃ４にそれぞれ配置され、第２内部電極２２２と接続され、このために一対以上備えられることができる。図示の形態のように、第１及び第２外部電極２３１、２３２は、本体２１０において第１及び第２内部電極２２１、２２２の積層方向（Ｘ方向）に対向する面にそれぞれ形成され、本体２１０の側面の一部を覆うように延長した形態であることができる。

【0043】

本発明は、上述の実施形態及び添付の図面によって限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲によって限定される。したがって、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な形態の置換、変形及び変更が可能であることは、当技術分野の通常の知識を有する者には自明であり、これも添付の特許請求の範囲に記載された技術的思想に属するといえる。

【符号の説明】

【0044】

１００ 積層型キャパシタ
１１０ 本体
１１１ 誘電体層
１２１、１２２ 内部電極
１３１、１３２ 外部電極
１３１ａ、１３２ａ 第１層
１３１ｂ、１３２ｂ 第２層
１３１ｃ、１３２ｃ 第３層
１４０ 金属粒子
１４１ Ｚ元素の酸化物
１４２ Ａ－Ｚ金属間化合物相
１４３ Ａ元素の酸化物
１４４ 拡散領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】