特開2023-72727基板検査装置の基板保持機、及びその基板保持位置を設定する方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023072727
(43)【公開日】2023-05-25
(54)【発明の名称】基板検査装置の基板保持機、及びその基板保持位置を設定する方法
(51)【国際特許分類】
G01R 31/54 20200101AFI20230518BHJP
G01R 31/50 20200101ALI20230518BHJP
【ＦＩ】
G01R31/54
G01R31/50
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021185333
(22)【出願日】2021-11-15
(71)【出願人】
【識別番号】710008198
【氏名又は名称】西川 秀雄
(72)【発明者】
【氏名】西川 秀雄
【テーマコード（参考）】
2G014
【Ｆターム（参考）】
2G014AA01
2G014AA13
2G014AB59
2G014AC09
2G014AC12
(57)【要約】
【課題】基板サイズの変更にも保持する位置精度が高く、運用が容易な基板保持機を提供する。
【解決手段】基板保持機は、略直交の中心軸方向に基板に当接する当接部がある固定位置の可変な第１から４の当接部材が、基板の四辺の順に対応する第１から４の支持部材に固定される。各々の支持部材は、各々の案内部材に案内されて各々の付勢部材により前進し制止部で制止される。第１、２の付勢部材は対向する第３、４の付勢部材よりも付勢力が小さく、第１から３の当接部材の各々の当接部は基板の中央部に当接し、第４の当接部材の当接部は基板の中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、各々の当接部材は基板の保持位置に合せて付勢状態に固定されて、基板を保持する。又、基板解放機構が有って、第１から４の付勢部材の付勢力に抗して基板から当接部を後退する方向に移動させることにより基板を保持する状態を解除する。
【選択図】図１
【解決手段】基板保持機は、略直交の中心軸方向に基板に当接する当接部がある固定位置の可変な第１から４の当接部材が、基板の四辺の順に対応する第１から４の支持部材に固定される。各々の支持部材は、各々の案内部材に案内されて各々の付勢部材により前進し制止部で制止される。第１、２の付勢部材は対向する第３、４の付勢部材よりも付勢力が小さく、第１から３の当接部材の各々の当接部は基板の中央部に当接し、第４の当接部材の当接部は基板の中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、各々の当接部材は基板の保持位置に合せて付勢状態に固定されて、基板を保持する。又、基板解放機構が有って、第１から４の付勢部材の付勢力に抗して基板から当接部を後退する方向に移動させることにより基板を保持する状態を解除する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板の電気特性を検査する基板検査装置の機構部品であり、前記基板を解放可能に保持する基板保持機であって、
ベース部材と、
前記ベース部材に設置され、前記基板を解放可能に保持する基板保持機構と、
前記ベース部材に設置され、前記基板保持機構が前記基板を保持する状態を解除することにより、前記基板を前記基板保持機構から解放する基板解放機構と、を備え、
前記基板保持機構は、
前記基板の四辺に対応し、当該四辺に沿って順に配置され、各々が、前記基板の対応する一辺に当接する当接部を有する、第１から第４の当接部材と、
前記第１から第４の当接部材にこの順序で対応し、各々が、前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、対応する前記当接部材を自身に固定して支持する、第１から第４の支持部材と、
前記第１から第４の支持部材にこの順序で対応し、前記ベース部材に設置され、各々が、対応する前記当接部材又は対応する前記支持部材を前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に案内するとともに、前記対応する前記支持部材に当接することにより、当該対応する前記支持部材の前進方向への移動を制止する制止部を有する、第１から第４の案内部材と、
前記第１から第４の当接部材に対応して設置され、各々が、対応する前記当接部材又は対応する前記支持部材を、対応する前記案内部材に対して前記基板の対応する前記一辺に向かって付勢する、第１から第４の付勢部材と、を有し、
前記第１から第３の当接部材の各々の前記当接部は、前記基板の対応する前記一辺のうちの中央部に当接し、
前記第４の当接部材の前記当接部は、前記基板の対応する前記一辺のうちの中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、
前記第１の付勢部材は、前記第３の付勢部材よりも、付勢力が小さく設定されており、
前記第２の付勢部材は、前記第４の付勢部材よりも、付勢力が小さく設定されており、
前記基板解放機構は、前記第１から第４の当接部材又は支持部材を、前記第１から第４の付勢部材の付勢力に抗して、前記基板から後退する方向に移動させることにより、前記基板保持機構が前記基板を保持する状態を解除する、基板保持機。
ベース部材と、
前記ベース部材に設置され、前記基板を解放可能に保持する基板保持機構と、
前記ベース部材に設置され、前記基板保持機構が前記基板を保持する状態を解除することにより、前記基板を前記基板保持機構から解放する基板解放機構と、を備え、
前記基板保持機構は、
前記基板の四辺に対応し、当該四辺に沿って順に配置され、各々が、前記基板の対応する一辺に当接する当接部を有する、第１から第４の当接部材と、
前記第１から第４の当接部材にこの順序で対応し、各々が、前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、対応する前記当接部材を自身に固定して支持する、第１から第４の支持部材と、
前記第１から第４の支持部材にこの順序で対応し、前記ベース部材に設置され、各々が、対応する前記当接部材又は対応する前記支持部材を前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に案内するとともに、前記対応する前記支持部材に当接することにより、当該対応する前記支持部材の前進方向への移動を制止する制止部を有する、第１から第４の案内部材と、
前記第１から第４の当接部材に対応して設置され、各々が、対応する前記当接部材又は対応する前記支持部材を、対応する前記案内部材に対して前記基板の対応する前記一辺に向かって付勢する、第１から第４の付勢部材と、を有し、
前記第１から第３の当接部材の各々の前記当接部は、前記基板の対応する前記一辺のうちの中央部に当接し、
前記第４の当接部材の前記当接部は、前記基板の対応する前記一辺のうちの中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、
前記第１の付勢部材は、前記第３の付勢部材よりも、付勢力が小さく設定されており、
前記第２の付勢部材は、前記第４の付勢部材よりも、付勢力が小さく設定されており、
前記基板解放機構は、前記第１から第４の当接部材又は支持部材を、前記第１から第４の付勢部材の付勢力に抗して、前記基板から後退する方向に移動させることにより、前記基板保持機構が前記基板を保持する状態を解除する、基板保持機。
【請求項2】
基板の電気特性を検査する基板検査装置の機構部品であり、前記基板を解放可能に保持する基板保持機であって、
ベース部材と、
前記ベース部材に設置され、前記基板を解放可能に保持する基板保持機構と、
前記ベース部材に設置され、前記基板保持機構が前記基板を保持する状態を解除することにより、前記基板を前記基板保持機構から解放する基板解放機構と、を備え、
前記基板保持機構は、
前記基板の四辺に対応し、当該四辺に沿って順に配置され、各々が、前記基板の対応する一辺に当接する当接部を有する、第１から第４の当接部材と、
前記第１から第２の当接部材にこの順序で対応し、各々が、前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、対応する前記当接部材を自身に固定して支持する、第１から第２の支持部材と、
前記第１から第２の支持部材にこの順序で対応し、前記ベース部材に設置され、各々が、対応する前記当接部材又は対応する前記支持部材を前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に案内するとともに、前記対応する前記支持部材に当接することにより、当該対応する前記支持部材の前進方向への移動を制止する制止部を有する、第１から第２の案内部材と、
前記第１から第２の当接部材に対応して設置され、各々が、対応する前記当接部材又は対応する前記支持部材を、対応する前記案内部材に対して前記基板の対応する前記一辺に向かって付勢する、第１から第２の付勢部材と、を有し、
前記第１から第３の当接部材の各々の前記当接部は、前記基板の対応する前記一辺のうちの中央部に当接し、
前記第４の当接部材の前記当接部は、前記基板の対応する前記一辺のうちの中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、
前記第３及び第４の当接部材の各々は、前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、前記ベース部材に固定され、
前記基板解放機構は、前記第１から第２の当接部材又は支持部材を、前記第１から第２の付勢部材の付勢力に抗して、前記基板から後退する方向に移動させることにより、前記基板保持機構が前記基板を保持する状態を解除する、基板保持機。
ベース部材と、
前記ベース部材に設置され、前記基板を解放可能に保持する基板保持機構と、
前記ベース部材に設置され、前記基板保持機構が前記基板を保持する状態を解除することにより、前記基板を前記基板保持機構から解放する基板解放機構と、を備え、
前記基板保持機構は、
前記基板の四辺に対応し、当該四辺に沿って順に配置され、各々が、前記基板の対応する一辺に当接する当接部を有する、第１から第４の当接部材と、
前記第１から第２の当接部材にこの順序で対応し、各々が、前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、対応する前記当接部材を自身に固定して支持する、第１から第２の支持部材と、
前記第１から第２の支持部材にこの順序で対応し、前記ベース部材に設置され、各々が、対応する前記当接部材又は対応する前記支持部材を前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に案内するとともに、前記対応する前記支持部材に当接することにより、当該対応する前記支持部材の前進方向への移動を制止する制止部を有する、第１から第２の案内部材と、
前記第１から第２の当接部材に対応して設置され、各々が、対応する前記当接部材又は対応する前記支持部材を、対応する前記案内部材に対して前記基板の対応する前記一辺に向かって付勢する、第１から第２の付勢部材と、を有し、
前記第１から第３の当接部材の各々の前記当接部は、前記基板の対応する前記一辺のうちの中央部に当接し、
前記第４の当接部材の前記当接部は、前記基板の対応する前記一辺のうちの中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、
前記第３及び第４の当接部材の各々は、前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、前記ベース部材に固定され、
前記基板解放機構は、前記第１から第２の当接部材又は支持部材を、前記第１から第２の付勢部材の付勢力に抗して、前記基板から後退する方向に移動させることにより、前記基板保持機構が前記基板を保持する状態を解除する、基板保持機。
【請求項3】
前記第１から第４の当接部材の各々は、前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に沿って貫通長孔を有しており、当該貫通長孔を貫通する締結部材によって解除可能に締結されることにより、対応する前記支持部材又は前記ベース部材に、前記固定位置を調節可能に固定される、請求項１又は２に記載の基板保持機。
【請求項4】
前記第４の当接部材は、２個の単位当接部材に分割されており、当該２個の単位当接部材の各々は、前記基板の対応する前記一辺に対する進退方向に延在する貫通長孔を有しており、当該貫通長孔を貫通する締結部材によって解除可能に締結されることにより、対応する前記支持部材又は前記ベース部材に、前記固定位置を調節可能に固定され、
前記２個の単位当接部材が固定される前記支持部材又は前記ベース部材は、前記２個の単位当接部材に対応する前記基板の前記一辺に沿った方向に延在する別の貫通長孔を有しており、前記締結部材は当該別の貫通長孔をも貫通することにより、前記２個の単位当接部材を、対応する前記基板の前記一辺に沿った方向にも固定位置を調節可能に固定する、請求項３に記載の基板保持機。
前記２個の単位当接部材が固定される前記支持部材又は前記ベース部材は、前記２個の単位当接部材に対応する前記基板の前記一辺に沿った方向に延在する別の貫通長孔を有しており、前記締結部材は当該別の貫通長孔をも貫通することにより、前記２個の単位当接部材を、対応する前記基板の前記一辺に沿った方向にも固定位置を調節可能に固定する、請求項３に記載の基板保持機。
【請求項5】
前記基板解放機構は、
前記基板を囲むように配置される環状のベルトと、
各々が、各支持部材に対応して前記ベルトに一端が連結された複数のレバーと、
前記ベルトを駆動するベルト駆動部と、を有し、
前記複数のレバーの各々は、前記ベルト駆動部により前記ベルトが駆動されるのに伴い、当該ベルトの動きを、対応する前記支持部材に伝達することにより、対応する前記支持部材を、対応する前記付勢部材の付勢力に抗して、前記基板の対応する前記一辺から後退させる、請求項１から４のいずれかに記載の基板保持機。
前記基板を囲むように配置される環状のベルトと、
各々が、各支持部材に対応して前記ベルトに一端が連結された複数のレバーと、
前記ベルトを駆動するベルト駆動部と、を有し、
前記複数のレバーの各々は、前記ベルト駆動部により前記ベルトが駆動されるのに伴い、当該ベルトの動きを、対応する前記支持部材に伝達することにより、対応する前記支持部材を、対応する前記付勢部材の付勢力に抗して、前記基板の対応する前記一辺から後退させる、請求項１から４のいずれかに記載の基板保持機。
【請求項6】
前記第１から第４の当接部材の各々は、前記基板の対応する前記一辺に当接したときに、前記基板の主面に直交する方向に沿った当該基板の位置ずれを制限するように、
前記基板の上方及び下方の双方に突起する突起部を有する、請求項１から５のいずれかに記載の基板保持機。
前記基板の上方及び下方の双方に突起する突起部を有する、請求項１から５のいずれかに記載の基板保持機。
【請求項7】
前記ベース部材は、
前記基板が保持されるときの前記基板に面する位置に開口し、前記基板が通過可能な開口部を有する、請求項１から６のいずれかに記載の基板保持機。
前記基板が保持されるときの前記基板に面する位置に開口し、前記基板が通過可能な開口部を有する、請求項１から６のいずれかに記載の基板保持機。
【請求項8】
請求項７に記載の基板保持機の、前記基板を保持する位置である基板保持位置を設定する方法であって、
前記基板検査装置が有する基板搬送テーブルに前記基板保持機を設置することと、
前記基板検査装置が有する基板載置台に、前記基板よりも主平面外形サイズが小さな基板サイズ用載置板を設置することと、
前記基板と外形サイズが同一であるサンプル基板を、前記基板サイズ用載置板の所定の位置に設置することと、
前記基板保持機の前記基板解放機構を作動させることにより、前記基板保持機構が前記サンプル基板を解放する解放状態に保つことと、
前記第１から第４の当接部材の各々が、対応する前記支持部材又はベース部材に固定された固定状態を解除する工程と、
前記基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、前記基板検査装置に設置され、前記基板保持機構が前記解放状態に設定され、かつ前記第１から第４の当接部材の固定状態が解除された前記基板保持機の前記基板保持位置に保持することと、
前記基板解放機構の作動を解除することにより、前記基板保持機構を、前記解放状態から前記サンプル基板を保持する保持状態に移行させることと、
前記第３及び第４の当接部材の各々を、前記サンプル基板の対応する一辺に当接する位置において、対応する前記支持部材又はベース部材に固定することと、
前記第１及び第２の当接部材の各々を、前記サンプル基板の対応する一辺に当接させつつ、対応する前記支持部材を前記対応する一辺から後退した位置に保持しつつ、前記第１及び第２の当接部材の各々を、対応する前記支持部材に固定することと、
前記第１から第４の当接部材の固定が終了した後に、前記基板解放機構を再び作動させることにより、前記基板保持機構が前記サンプル基板を解放する解放状態に保つことと、
前記基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、前記第１から第４の当接部材の固定が終了し、前記基板保持機構が前記解放状態に保たれている前記基板保持機の前記基板保持位置から、除去することと、を備える、基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
前記基板検査装置が有する基板搬送テーブルに前記基板保持機を設置することと、
前記基板検査装置が有する基板載置台に、前記基板よりも主平面外形サイズが小さな基板サイズ用載置板を設置することと、
前記基板と外形サイズが同一であるサンプル基板を、前記基板サイズ用載置板の所定の位置に設置することと、
前記基板保持機の前記基板解放機構を作動させることにより、前記基板保持機構が前記サンプル基板を解放する解放状態に保つことと、
前記第１から第４の当接部材の各々が、対応する前記支持部材又はベース部材に固定された固定状態を解除する工程と、
前記基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、前記基板検査装置に設置され、前記基板保持機構が前記解放状態に設定され、かつ前記第１から第４の当接部材の固定状態が解除された前記基板保持機の前記基板保持位置に保持することと、
前記基板解放機構の作動を解除することにより、前記基板保持機構を、前記解放状態から前記サンプル基板を保持する保持状態に移行させることと、
前記第３及び第４の当接部材の各々を、前記サンプル基板の対応する一辺に当接する位置において、対応する前記支持部材又はベース部材に固定することと、
前記第１及び第２の当接部材の各々を、前記サンプル基板の対応する一辺に当接させつつ、対応する前記支持部材を前記対応する一辺から後退した位置に保持しつつ、前記第１及び第２の当接部材の各々を、対応する前記支持部材に固定することと、
前記第１から第４の当接部材の固定が終了した後に、前記基板解放機構を再び作動させることにより、前記基板保持機構が前記サンプル基板を解放する解放状態に保つことと、
前記基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、前記第１から第４の当接部材の固定が終了し、前記基板保持機構が前記解放状態に保たれている前記基板保持機の前記基板保持位置から、除去することと、を備える、基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
【請求項9】
請求項７に記載の基板保持機の、前記基板を保持する位置である基板保持位置を設定する方法であって、
前記基板検査装置が有する基板搬送テーブルに前記基板保持機を設置することと、
前記基板検査装置が有する基板載置台に、前記基板よりも主平面外形サイズが小さな基板サイズ用載置板を設置することと、
前記基板と外形サイズが同一であるサンプル基板を、前記基板サイズ用載置板の所定の位置に設置することと、
前記基板保持機の前記基板解放機構を作動させることにより、前記基板保持機構が前記サンプル基板を解放する解放状態に保つことと、
前記第１から第４の当接部材の各々が、対応する前記支持部材又はベース部材に固定された固定状態を解除する工程と、
前記基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、前記基板検査装置に設置され、前記基板保持機構が前記解放状態に設定され、かつ前記第１から第４の当接部材の固定状態が解除された前記基板保持機の前記基板保持位置に保持することと、
前記第１及び第２の当接部材の各々を、前記サンプル基板の対応する一辺から間隔を保持しつつ、対応する前記支持部材に固定することと、
前記基板解放機構の作動を解除することにより、前記基板保持機構を、前記解放状態から前記サンプル基板を保持する保持状態に移行させることと、
前記第３及び第４の当接部材の各々を、前記サンプル基板の対応する一辺に当接する位置において、対応する前記支持部材又はベース部材に固定することと、
前記第１から第４の当接部材の固定が終了した後に、前記基板解放機構を再び作動させることにより、前記基板保持機構が前記サンプル基板を解放する解放状態に保つことと、
前記基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、前記第１から第４の当接部材の固定が終了し、前記基板保持機構が前記解放状態に保たれている前記基板保持機の前記基板保持位置から、除去することと、を備える、基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
前記基板検査装置が有する基板搬送テーブルに前記基板保持機を設置することと、
前記基板検査装置が有する基板載置台に、前記基板よりも主平面外形サイズが小さな基板サイズ用載置板を設置することと、
前記基板と外形サイズが同一であるサンプル基板を、前記基板サイズ用載置板の所定の位置に設置することと、
前記基板保持機の前記基板解放機構を作動させることにより、前記基板保持機構が前記サンプル基板を解放する解放状態に保つことと、
前記第１から第４の当接部材の各々が、対応する前記支持部材又はベース部材に固定された固定状態を解除する工程と、
前記基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、前記基板検査装置に設置され、前記基板保持機構が前記解放状態に設定され、かつ前記第１から第４の当接部材の固定状態が解除された前記基板保持機の前記基板保持位置に保持することと、
前記第１及び第２の当接部材の各々を、前記サンプル基板の対応する一辺から間隔を保持しつつ、対応する前記支持部材に固定することと、
前記基板解放機構の作動を解除することにより、前記基板保持機構を、前記解放状態から前記サンプル基板を保持する保持状態に移行させることと、
前記第３及び第４の当接部材の各々を、前記サンプル基板の対応する一辺に当接する位置において、対応する前記支持部材又はベース部材に固定することと、
前記第１から第４の当接部材の固定が終了した後に、前記基板解放機構を再び作動させることにより、前記基板保持機構が前記サンプル基板を解放する解放状態に保つことと、
前記基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、前記第１から第４の当接部材の固定が終了し、前記基板保持機構が前記解放状態に保たれている前記基板保持機の前記基板保持位置から、除去することと、を備える、基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
【請求項10】
前記基板載置台と前記基板サイズ用載置板と前記サンプル基板とには、位置と傾きを同じにする機械位置合せの位置手段が有る、請求項８又は９に記載の基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板の電気特性を検査する基板検査装置の基板を保持する基板保持機及びその基板保持位置を設定する方法に関する。
【0002】
尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、多層配線基板、ガラス基板、セラミック基板、及び半導体パッケージ基板や種々の平板状に形成された回路基板を保持する際に適用できる。この明細書では、それら種々の基板を総称して「基板」と称する。
【背景技術】
【0003】
近年、プリント配線基板の微細、高密度に対応して検査点の増加した電気検査が定在化している。多数の微細な検査端子にプローブを両面から同時に導電接触させて検査を実施するためには、基板と検査用治具を整合させる光学的位置合せ機能のある基板検査装置が必要になっている。この光学的位置合せ（ΔＸＹΘ）は、基板を保持する基板保持機が基板を機械的に位置合せして保持した時点から基板の位置認識と電気検査の終了まで位置ずれがなく確実に保持していることが前提条件となる。図３を参照。
【0004】
図３（ｃ）に示す様に、基板２の両面電気検査時に基板の両面に複数のコンタクトプローブ３１の不均等な荷重が上下から掛かることから基板保持の位置に影響することがある状況にある。この基板保持に関する先行技術には次のものがある。
【0005】
特許文献１の図４、５、７の基板保持手段５２の基板載置台５１では、基板の隣接する２辺に当接する固定の３つの位置決めピン５３に基板の対向する２辺に押圧する可動式の２つの押圧部材５４Ｘ、５４Ｙによって基板をばねで付勢して保持している。
これで、基板を所定位置にコイルばね５５、７３自身の付勢力にて押圧し位置決めして高精度に基板保持を行うことができる。
しかし、検査する基板のサイズが変わると、３つの位置決め５３など関連する複数の部材がある基板保持手段５２の交換が必要になる。又、基板検査装置に複数の配置には、更に好ましくない。
これで、基板を所定位置にコイルばね５５、７３自身の付勢力にて押圧し位置決めして高精度に基板保持を行うことができる。
しかし、検査する基板のサイズが変わると、３つの位置決め５３など関連する複数の部材がある基板保持手段５２の交換が必要になる。又、基板検査装置に複数の配置には、更に好ましくない。
【0006】
特許文献２の図９の基板検査装置では、基板を搬送する回転テーブルに８個の基板保持装置２を配置して、基板処理工程に沿った搬入、位置認識、電気検査、搬出を同時に行って、検査時間の短縮をしている。
図１では、基板に当接する当接部材があるＸ方向に可動な可動保持部材３、４と、Ｙ方向に可動な可動保持部材５、６に可動保持部材３、５の位置を調節する位置調節機構７、８が基板の保持位置を移動可能に調整している。対向する可動保持部材４、６は付勢機構９、１０を備えて付勢し、基板を所定位置に保持している。
図１では、基板に当接する当接部材があるＸ方向に可動な可動保持部材３、４と、Ｙ方向に可動な可動保持部材５、６に可動保持部材３、５の位置を調節する位置調節機構７、８が基板の保持位置を移動可能に調整している。対向する可動保持部材４、６は付勢機構９、１０を備えて付勢し、基板を所定位置に保持している。
【0007】
これに依り、可動保持部材３、５の基板保持位置を調節する（移動する）ことにより、基板サイズだけでなく、円形、矩形等の違いや、矩形基板の縦横比などの形状の異なる基板にも可動保持部材３、４、５、６の交換を要せず、即座に対応することができる。連続する自動検査などの場合、基板のサイズ又は形状に応じて位置調節機構７、８によって予め調節しておくことにより、被検査基板を保持する際には、圧縮コイルばね４６、４７の付勢力のある付勢機構９、１０だけの基板保持及び保持解除の動作が簡単であり、被検査基板を保持する位置精度の信頼性が高いと記載されており、回転テーブルに複数の基板保持装置２を配置している。
しかし、可動保持部材３、５、４、６の位置を調整又は付勢力から離反する駆動力Ｆ１，２，３を動作させる回転の２つと直動の１又は２つの駆動源を基板検査装置の基板の搬入機構に要している。
しかし、可動保持部材３、５、４、６の位置を調整又は付勢力から離反する駆動力Ｆ１，２，３を動作させる回転の２つと直動の１又は２つの駆動源を基板検査装置の基板の搬入機構に要している。
【0008】
特許文献３の基板固定機構１では、図１、２の当接壁１１と支持爪１２ を有するチャック２と、載置爪１３を有するチャック３ と、チャック３上で空気圧シリンダ６と引っ張りばね７によって進退を駆動されて基板２０を押圧固定するクランプ片４と、図１のチャック２、３の腕部２ａ、３ａに螺合挿通されると共に、螺合部分５ａ、５ｂの螺旋が逆方向に形成されたねじロッド５とを備えている。
【0009】
これは、基板の底面を支持する支持爪１２と載置爪１３が有るので装置本体の基板を受け取る補助台（基板載置台）を不要にしている。又、正方形の基板サイズの変更に、２辺が内角９０度の当接壁１１とクランプ片４が対向して正方形をなすことから、螺旋が逆方向に形成されたねじロッド５を回転することにより、基板サイズ変更の対応を部材の交換を要せず容易にしている。
しかし、空気圧シリンダ６に駆動されるクランプ片４は、基板２０の２辺を押圧固定するに、４５度方向の押圧になる。又、基板を置く補助台が無いことで基板を置く位置のバラツキ許容量は小さい。そこで、基板の底面に対し支持爪１２と載置爪１３の支持幅を大きくすると下側の電気検査できるエリアが小さくなる制約がある。
上記の様に基板の保持とサイズ変更に各種の工夫がなされているが、各々には改善の余地がある。
しかし、空気圧シリンダ６に駆動されるクランプ片４は、基板２０の２辺を押圧固定するに、４５度方向の押圧になる。又、基板を置く補助台が無いことで基板を置く位置のバラツキ許容量は小さい。そこで、基板の底面に対し支持爪１２と載置爪１３の支持幅を大きくすると下側の電気検査できるエリアが小さくなる制約がある。
上記の様に基板の保持とサイズ変更に各種の工夫がなされているが、各々には改善の余地がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0010】
【特許文献1】特開２０００－３３８１６４号公報
【特許文献2】特開２００８－７８５９９号公報
【特許文献3】特開２０１０－３２４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0011】
特許文献１では基板サイズの変更に部材の交換を要し作業性が悪い、特許文献２、３は部材の交換を要せず作業性が良い。基板保持の位置精度については、特許文献２の図１、５、６と、特許文献３の図１では、基板の隣接２辺と当接して位置を定める部材の２辺の内角が設計上９０度の直線状で、被検査基板の隣接２辺に加工誤差などが有ると基板の傾きを定める辺の当接部分が定かではなく、基板を保持する位置精度の信頼性が高い、又、上下方向からのプローブの不均等な荷重にも保持力がある、とは言えない不安定要素がある。
基板サイズの変更に、基板の位置を定める部材２辺を移動して位置を定め、基板を対向する部材で付勢して機械的な位置補正と保持をしている。しかし、検査基板毎に基板の４辺を４方向から挟み込む機械的位置合せと保持が基板の保持時の移動を最小にする。（図３（ａ）を参照）上記の状況から、基板の両面検査においても、基板保持の位置精度を確保し、基板サイズの変更に作業性が良い適切な改善が望まれる。
基板サイズの変更に、基板の位置を定める部材２辺を移動して位置を定め、基板を対向する部材で付勢して機械的な位置補正と保持をしている。しかし、検査基板毎に基板の４辺を４方向から挟み込む機械的位置合せと保持が基板の保持時の移動を最小にする。（図３（ａ）を参照）上記の状況から、基板の両面検査においても、基板保持の位置精度を確保し、基板サイズの変更に作業性が良い適切な改善が望まれる。
【0012】
本発明は、上記の観点から基板を保持する位置精度の信頼性が高く、基板サイズの変更に作業性が良い。基板検査装置の基板保持機、及びその基板保持位置を設定する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0013】
本発明の第１の手段は、基板の電気特性を検査する基板検査装置の機構部品であり、基板を解放可能に保持する基板保持機であって、ベース部材と、ベース部材に設置され、基板を解放可能に保持する基板保持機構と、ベース部材に設置され、基板保持機構が基板を保持する状態を解除することにより、基板を基板保持機構から解放する基板解放機構と、を備え、
基板保持機構は、基板の四辺に対応し、当該四辺に沿って順に配置され、各々が、基板の対応する一辺に当接する当接部を有する、第１から第４の当接部材と、第１から第４の当接部材にこの順序で対応し、各々が、基板の対応する一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、対応する当接部材を自身に固定して支持する、第１から第４の支持部材と、第１から第４の支持部材にこの順序で対応し、ベース部材に設置され、各々が、対応する当接部材又は対応する支持部材を基板の対応する一辺に対する進退方向に案内するとともに、対応する支持部材に当接することにより、当該対応する支持部材の前進方向への移動を制止する制止部を有する、第１から第４の案内部材と、第１から第４の当接部材に対応して設置され、各々が、対応する当接部材又は対応する支持部材を、対応する案内部材に対して基板の対応する一辺に向かって付勢する、第１から第４の付勢部材と、を有し、第１から第３の当接部材の各々の当接部は、基板の対応する一辺のうちの中央部に当接し、第４の当接部材の当接部は、基板の対応する一辺のうちの中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、第１の付勢部材は、第３の付勢部材よりも、付勢力が小さく設定されており、第２の付勢部材は、第４の付勢部材よりも、付勢力が小さく設定されており、
基板解放機構は、第１から第４の当接部材又は支持部材を、第１から第４の付勢部材の付勢力に抗して、基板から後退する方向に移動させることにより、基板保持機構が基板を保持する状態を解除する、基板保持機。
基板保持機構は、基板の四辺に対応し、当該四辺に沿って順に配置され、各々が、基板の対応する一辺に当接する当接部を有する、第１から第４の当接部材と、第１から第４の当接部材にこの順序で対応し、各々が、基板の対応する一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、対応する当接部材を自身に固定して支持する、第１から第４の支持部材と、第１から第４の支持部材にこの順序で対応し、ベース部材に設置され、各々が、対応する当接部材又は対応する支持部材を基板の対応する一辺に対する進退方向に案内するとともに、対応する支持部材に当接することにより、当該対応する支持部材の前進方向への移動を制止する制止部を有する、第１から第４の案内部材と、第１から第４の当接部材に対応して設置され、各々が、対応する当接部材又は対応する支持部材を、対応する案内部材に対して基板の対応する一辺に向かって付勢する、第１から第４の付勢部材と、を有し、第１から第３の当接部材の各々の当接部は、基板の対応する一辺のうちの中央部に当接し、第４の当接部材の当接部は、基板の対応する一辺のうちの中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、第１の付勢部材は、第３の付勢部材よりも、付勢力が小さく設定されており、第２の付勢部材は、第４の付勢部材よりも、付勢力が小さく設定されており、
基板解放機構は、第１から第４の当接部材又は支持部材を、第１から第４の付勢部材の付勢力に抗して、基板から後退する方向に移動させることにより、基板保持機構が基板を保持する状態を解除する、基板保持機。
【0014】
本発明の第２の手段は、基板の電気特性を検査する基板検査装置の機構部品であり、基板を解放可能に保持する基板保持機であって、ベース部材と、ベース部材に設置され、基板を解放可能に保持する基板保持機構と、ベース部材に設置され、基板保持機構が基板を保持する状態を解除することにより、基板を基板保持機構から解放する基板解放機構と、を備え、
基板保持機構は、基板の四辺に対応し、当該四辺に沿って順に配置され、各々が、基板の対応する一辺に当接する当接部を有する、第１から第４の当接部材と、第１から第２の当接部材にこの順序で対応し、各々が、基板の対応する一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、対応する当接部材を自身に固定して支持する、第１から第２の支持部材と、第１から第２の支持部材にこの順序で対応し、ベース部材に設置され、各々が、対応する当接部材又は対応する支持部材を基板の対応する一辺に対する進退方向に案内するとともに、対応する支持部材に当接することにより、当該対応する支持部材の前進方向への移動を制止する制止部を有する、第１から第２の案内部材と、第１から第２の当接部材に対応して設置され、各々が、対応する当接部材又は対応する支持部材を、対応する案内部材に対して基板の対応する一辺に向かって付勢する、第１から第２の付勢部材と、を有し、第１から第３の当接部材の各々の当接部は、基板の対応する一辺のうちの中央部に当接し、第４の当接部材の当接部は、基板の対応する一辺のうちの中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、第３及び第４の当接部材の各々は、基板の対応する一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、ベース部材に固定され、
基板解放機構は、第１から第２の当接部材又は支持部材を、第１から第２の付勢部材の付勢力に抗して、基板から後退する方向に移動させることにより、基板保持機構が基板を保持する状態を解除する、基板保持機。
基板保持機構は、基板の四辺に対応し、当該四辺に沿って順に配置され、各々が、基板の対応する一辺に当接する当接部を有する、第１から第４の当接部材と、第１から第２の当接部材にこの順序で対応し、各々が、基板の対応する一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、対応する当接部材を自身に固定して支持する、第１から第２の支持部材と、第１から第２の支持部材にこの順序で対応し、ベース部材に設置され、各々が、対応する当接部材又は対応する支持部材を基板の対応する一辺に対する進退方向に案内するとともに、対応する支持部材に当接することにより、当該対応する支持部材の前進方向への移動を制止する制止部を有する、第１から第２の案内部材と、第１から第２の当接部材に対応して設置され、各々が、対応する当接部材又は対応する支持部材を、対応する案内部材に対して基板の対応する一辺に向かって付勢する、第１から第２の付勢部材と、を有し、第１から第３の当接部材の各々の当接部は、基板の対応する一辺のうちの中央部に当接し、第４の当接部材の当接部は、基板の対応する一辺のうちの中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接し、第３及び第４の当接部材の各々は、基板の対応する一辺に対する進退方向に固定位置を調節可能に、ベース部材に固定され、
基板解放機構は、第１から第２の当接部材又は支持部材を、第１から第２の付勢部材の付勢力に抗して、基板から後退する方向に移動させることにより、基板保持機構が基板を保持する状態を解除する、基板保持機。
【0015】
本発明の第３の手段は、第１又は２の手段において、第１から第４の当接部材の各々は、基板の対応する一辺に対する進退方向に沿って貫通長孔を有しており、当該貫通長孔を貫通する締結部材によって解除可能に締結されることにより、対応する支持部材又はベース部材に、固定位置を調節可能に固定される。
【0016】
本発明の第４の手段は、第３の手段において、第４の当接部材は、２個の単位当接部材に分割されており、当該２個の単位当接部材の各々は、基板の対応する一辺に対する進退方向に延在する貫通長孔を有しており、当該貫通長孔を貫通する締結部材によって解除可能に締結されることにより、対応する支持部材又はベース部材に、固定位置を調節可能に固定され、
２個の単位当接部材が固定される支持部材又はベース部材は、２個の単位当接部材に対応する基板の一辺に沿った方向に延在する別の貫通長孔を有しており、締結部材は当該別の貫通長孔をも貫通することにより、２個の単位当接部材を、対応する基板の一辺に沿った方向にも固定位置を調節可能に固定する。
２個の単位当接部材が固定される支持部材又はベース部材は、２個の単位当接部材に対応する基板の一辺に沿った方向に延在する別の貫通長孔を有しており、締結部材は当該別の貫通長孔をも貫通することにより、２個の単位当接部材を、対応する基板の一辺に沿った方向にも固定位置を調節可能に固定する。
【0017】
本発明の第５の手段は、第１乃至４の何れかの手段において、基板解放機構は、基板を囲むように配置される環状のベルトと、各々が、各支持部材に対応してベルトに一端が連結された複数のレバーと、ベルトを駆動するベルト駆動部と、を有し、
複数のレバーの各々は、ベルト駆動部によりベルトが駆動されるのに伴い、当該ベルトの動きを、対応する支持部材に伝達することにより、対応する支持部材を、対応する付勢部材の付勢力に抗して、基板の対応する一辺から後退させる。
複数のレバーの各々は、ベルト駆動部によりベルトが駆動されるのに伴い、当該ベルトの動きを、対応する支持部材に伝達することにより、対応する支持部材を、対応する付勢部材の付勢力に抗して、基板の対応する一辺から後退させる。
【0018】
本発明の第６の手段は、第１乃至５の何れかの手段において、第１から第４の当接部材の各々は、基板の対応する一辺に当接したときに、基板の主面に直交する方向に沿った当該基板の位置ずれを制限するように、基板の上方及び下方の双方に突起する突起部を有する。
【0019】
本発明の第７の手段は、第１乃至６の何れかの手段において、ベース部材は、基板が保持されるときの基板に面する位置に開口し、基板が通過可能な開口部を有する。
【0020】
本発明の第８の手段は、第７の手段の基板保持機の基板を保持する位置である基板保持位置を設定する方法であって、基板検査装置が有する基板搬送テーブルに基板保持機を設置することと、基板検査装置が有する基板載置台に、基板よりも主平面外形サイズが小さな基板サイズ用載置板を設置することと、基板と外形サイズが同一であるサンプル基板を、基板サイズ用載置板の所定の位置に設置することと、
基板保持機の基板解放機構を作動させることにより、基板保持機構がサンプル基板を解放する解放状態に保つことと、第１から第４の当接部材の各々が、対応する支持部材又はベース部材に固定された固定状態を解除する工程と、基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、基板検査装置に設置され、基板保持機構が解放状態に設定され、かつ第１から第４の当接部材の固定状態が解除された基板保持機の基板保持位置に保持することと、
基板解放機構の作動を解除することにより、基板保持機構を、解放状態からサンプル基板を保持する保持状態に移行させることと、第３及び第４の当接部材の各々を、サンプル基板の対応する一辺に当接する位置において、対応する支持部材又はベース部材に固定することと、第１及び第２の当接部材の各々を、サンプル基板の対応する一辺に当接させつつ、対応する支持部材を対応する一辺から後退した位置に保持しつつ、第１及び第２の当接部材の各々を、対応する支持部材に固定することと、
第１から第４の当接部材の固定が終了した後に、基板解放機構を再び作動させることにより、基板保持機構がサンプル基板を解放する解放状態に保つことと、基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、第１から第４の当接部材の固定が終了し、基板保持機構が解放状態に保たれている基板保持機の基板保持位置から、除去することと、を備える、基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
基板保持機の基板解放機構を作動させることにより、基板保持機構がサンプル基板を解放する解放状態に保つことと、第１から第４の当接部材の各々が、対応する支持部材又はベース部材に固定された固定状態を解除する工程と、基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、基板検査装置に設置され、基板保持機構が解放状態に設定され、かつ第１から第４の当接部材の固定状態が解除された基板保持機の基板保持位置に保持することと、
基板解放機構の作動を解除することにより、基板保持機構を、解放状態からサンプル基板を保持する保持状態に移行させることと、第３及び第４の当接部材の各々を、サンプル基板の対応する一辺に当接する位置において、対応する支持部材又はベース部材に固定することと、第１及び第２の当接部材の各々を、サンプル基板の対応する一辺に当接させつつ、対応する支持部材を対応する一辺から後退した位置に保持しつつ、第１及び第２の当接部材の各々を、対応する支持部材に固定することと、
第１から第４の当接部材の固定が終了した後に、基板解放機構を再び作動させることにより、基板保持機構がサンプル基板を解放する解放状態に保つことと、基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、第１から第４の当接部材の固定が終了し、基板保持機構が解放状態に保たれている基板保持機の基板保持位置から、除去することと、を備える、基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
【0021】
本発明の第９手段は、 第７の手段の基板保持機の、基板を保持する位置である基板保持位置を設定する方法であって、基板検査装置が有する基板搬送テーブルに基板保持機を設置することと、基板検査装置が有する基板載置台に、基板よりも主平面外形サイズが小さな基板サイズ用載置板を設置することと、基板と外形サイズが同一であるサンプル基板を、基板サイズ用載置板の所定の位置に設置することと、
基板保持機の基板解放機構を作動させることにより、基板保持機構がサンプル基板を解放する解放状態に保つことと、第１から第４の当接部材の各々が、対応する支持部材又はベース部材に固定された固定状態を解除する工程と、基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、基板検査装置に設置され、基板保持機構が解放状態に設定され、かつ第１から第４の当接部材の固定状態が解除された基板保持機の基板保持位置に保持することと、第１及び第２の当接部材の各々を、サンプル基板の対応する一辺から間隔を保持しつつ、対応する支持部材に固定することと、基板解放機構の作動を解除することにより、基板保持機構を、解放状態からサンプル基板を保持する保持状態に移行させることと、第３及び第４の当接部材の各々を、サンプル基板の対応する一辺に当接する位置において、対応する支持部材又はベース部材に固定することと、
第１から第４の当接部材の固定が終了した後に、基板解放機構を再び作動させることにより、基板保持機構がサンプル基板を解放する解放状態に保つことと、基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、第１から第４の当接部材の固定が終了し、基板保持機構が解放状態に保たれている基板保持機の基板保持位置から、除去することと、を備える、基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
基板保持機の基板解放機構を作動させることにより、基板保持機構がサンプル基板を解放する解放状態に保つことと、第１から第４の当接部材の各々が、対応する支持部材又はベース部材に固定された固定状態を解除する工程と、基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、基板検査装置に設置され、基板保持機構が解放状態に設定され、かつ第１から第４の当接部材の固定状態が解除された基板保持機の基板保持位置に保持することと、第１及び第２の当接部材の各々を、サンプル基板の対応する一辺から間隔を保持しつつ、対応する支持部材に固定することと、基板解放機構の作動を解除することにより、基板保持機構を、解放状態からサンプル基板を保持する保持状態に移行させることと、第３及び第４の当接部材の各々を、サンプル基板の対応する一辺に当接する位置において、対応する支持部材又はベース部材に固定することと、
第１から第４の当接部材の固定が終了した後に、基板解放機構を再び作動させることにより、基板保持機構がサンプル基板を解放する解放状態に保つことと、基板サイズ用載置板に設置されたサンプル基板を、第１から第４の当接部材の固定が終了し、基板保持機構が解放状態に保たれている基板保持機の基板保持位置から、除去することと、を備える、基板保持機の基板保持位置を設定する方法。
【0022】
本発明の第１０段は、第８又は９の手段において、基板載置台と基板サイズ用載置板とサンプル基板とには、位置と傾きを同じにする機械位置合せの位置手段が有る。
【発明の効果】
【0023】
本発明の第１の手段に依れば、基板保持機は基板サイズの変更に際し、部材の交換を要せず、基板に合せて４つの当接部材の位置を調節し固定することで、４方向から挟み込む機械的位置合せと保持が出来る。複数の基板保持機を回転テーブルなどの基板搬送テーブルに複数配置して、基板の搬入保持、位置認識、電気検査、基板搬出工程を同時に行い検査時間の短縮に好ましい。
基板の保持位置は、対向する付勢部材の付勢力の差で位置決めの第３、４の支持部材が当接する制止部に間接固定された当接部材の３つの当接部で決まるので基板保持の位置精度は高い。
基板を保持する保持力は、付勢力の小さい方の付勢の第１、２の当接部材の付勢力で決まるが、適切な付勢部材の配置により必要な付勢力は確保することができる。
第１から第３の当接部材の各々の当接部は、基板の中央部に当接し、第４の当接部材の当接部は、基板の中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接するので、基板の隣接２辺に位置決めの３つの当接部が当接し基板位置を定めている。
基板の保持位置は、対向する付勢部材の付勢力の差で位置決めの第３、４の支持部材が当接する制止部に間接固定された当接部材の３つの当接部で決まるので基板保持の位置精度は高い。
基板を保持する保持力は、付勢力の小さい方の付勢の第１、２の当接部材の付勢力で決まるが、適切な付勢部材の配置により必要な付勢力は確保することができる。
第１から第３の当接部材の各々の当接部は、基板の中央部に当接し、第４の当接部材の当接部は、基板の中央部を挟んで互いに離れた２つの部位に当接するので、基板の隣接２辺に位置決めの３つの当接部が当接し基板位置を定めている。
【0024】
本発明の第２の手段に依れば、基板保持機は基板サイズの変更に際し、部材の交換を要せず、基板に合せて４つの当接部材の位置を調節し固定することで、２方向から挟み込む機械的位置合せと保持が出来る。
基板の保持位置は、ベース部材に固定された隣接する位置決めの第３、４の当接部材の３つの当接部に当接して決まるので基板保持位置の精度は高い。
基板保持機は部材の点数が少なく簡素なので、コスト低減に帰与する。
基板の保持位置は、ベース部材に固定された隣接する位置決めの第３、４の当接部材の３つの当接部に当接して決まるので基板保持位置の精度は高い。
基板保持機は部材の点数が少なく簡素なので、コスト低減に帰与する。
【0025】
本発明の第３の手段に依れば、当接部材の各々は基板の対応する一辺に対する進退方向に沿って貫通長孔を有して固定位置を調節可能に固定されるので、当接部材などの交換を要せずに基板の外形変更が容易である。
本発明の第４の手段に依れば、第４の当接部材は、２個の単位当接部材に分割されて当接部が２つ有って、基板の隣接する２辺に３点の当接部を当接させて、基板の位置を３点支持にて基板保持位置を定めている。又、基板の一辺に沿った方向にも固定位置を調節可能に固定することが出来て基板サイズの変更に容易に対処が出来る。
本発明の第４の手段に依れば、第４の当接部材は、２個の単位当接部材に分割されて当接部が２つ有って、基板の隣接する２辺に３点の当接部を当接させて、基板の位置を３点支持にて基板保持位置を定めている。又、基板の一辺に沿った方向にも固定位置を調節可能に固定することが出来て基板サイズの変更に容易に対処が出来る。
【0026】
本発明の第５の手段に依れば、基板解放機構は、基板を囲むように配置される環状のベルトを駆動することで、連動して基板の４辺に対応する当接部材を支持する支持部材を付勢部材の付勢力に抗して基板の対応する一辺から略同時に後退し基板を解放させることが出来る。又、基板解放機構の解除により、４方向から同期に挟み込む機械的位置合せと基板保持を実現している。
本発明の第６の手段に依れば、第１から第４の当接部材の各々には、基板の上方及び下方の双方に突起する突起部を有するので、上下から不均等な荷重が有っても、基板の落下、位置ずれが抑止される。又、突起幅を小さくすることで、基板の電気検査エリアの縮小を避けることが出来る。
発明の第７の手段に依れば、ベース部材は、基板が保持されるとき基板が通過可能な開口部を有するので、検査エリアの制約が少ない基板の両面電気検査が出来る。
本発明の第６の手段に依れば、第１から第４の当接部材の各々には、基板の上方及び下方の双方に突起する突起部を有するので、上下から不均等な荷重が有っても、基板の落下、位置ずれが抑止される。又、突起幅を小さくすることで、基板の電気検査エリアの縮小を避けることが出来る。
発明の第７の手段に依れば、ベース部材は、基板が保持されるとき基板が通過可能な開口部を有するので、検査エリアの制約が少ない基板の両面電気検査が出来る。
【0027】
発明の第８、９、１０手段に依れば、基板のサイズ変更に際し、基板保持機の基板を保持する基板保持位置を設定するに、基板載置台、基板サイズ用載置板、サンプル基板には、各々を所定位置に設置する機械位置合せの位置手段があるので、基板保持位置にサンプル基板を容易に設置すること出来る。
基板保持機の基板保持状態おいて、移動可能な第３、４当接部材の各々をサンプル基板に当接させて固定し、基板解放状態において、移動可能な第１、２当接部材の各々をサンプル基板に当接させつつ、支持部材を後退した位置に保持しつつ固定する。
又は、基板保持状態おいて、サンプル基板と第３、４当接部材を当接させて固定し、第１、２当接部材は間隔を保持しつつ固定することで、基板保持位置を容易に設定することが出来る。
そして、サンプル基板を除去すれば、基板を検査可能な状態になる。
検査基板の外形サイズが変わっても、固定位置を調節可能な当接部材を所定位置に設置されたサンプル基板に当接又は付勢状態に調節し固定することで部材などの交換を要せずに容易に基板のサイズ変更に対処が出来る。
本発明の手段別に発明の効果を述べたが、共通した特定事項は他の手段にも同様の効果がある。又、相互に作用していることがある。
基板保持機の基板保持状態おいて、移動可能な第３、４当接部材の各々をサンプル基板に当接させて固定し、基板解放状態において、移動可能な第１、２当接部材の各々をサンプル基板に当接させつつ、支持部材を後退した位置に保持しつつ固定する。
又は、基板保持状態おいて、サンプル基板と第３、４当接部材を当接させて固定し、第１、２当接部材は間隔を保持しつつ固定することで、基板保持位置を容易に設定することが出来る。
そして、サンプル基板を除去すれば、基板を検査可能な状態になる。
検査基板の外形サイズが変わっても、固定位置を調節可能な当接部材を所定位置に設置されたサンプル基板に当接又は付勢状態に調節し固定することで部材などの交換を要せずに容易に基板のサイズ変更に対処が出来る。
本発明の手段別に発明の効果を述べたが、共通した特定事項は他の手段にも同様の効果がある。又、相互に作用していることがある。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【図1】本発明の４方向から基板を挟み込む基板保持機の上面からの説明図。
【図2】本発明の基板検査装置１の電気検査を行う装置本体の機構構成の説明図。
【図3】（ａ）は、基板を基板載置台に載置した時の上面からの状態図。 （ｂ）は、基板を基板載置台の基板サイズ用載置板に載置し保持した時の正面からの状態図。 （ｃ）は、基板の電気検査時に上下から検査用治具と複数のプローブが当接する時の正面からの状態図。
【図4】本発明の、基板を保持する時の、３種のばねの荷重特性と変位量の遷移状態を示す説明図と、基板を解放する駆動力を示す。
【図7】本発明の、基板に４方向から当接する当接部の移動可能な範囲の説明図。
【図8】（ａ）本発明の実施の形態が異なるＹ型当接部材の、基板保持機の１/４部分の上面からの説明図。 （ｂ）本発明の実施の形態が異なるＹ型当接部材の、基板保持機の１/４部分の上面からの説明図。
【発明を実施するための形態】
【0029】
以下に、添付図面に基づいて、本発明の望ましい実施形態に係る基板検査装置の基板保持機、及び基板保持位置を設定する方法について、図を参照して説明を行う。
［実施の形態１］
［実施の形態１］
【0030】
図１は基板検査装置１の基板保持機４の上面図で、基板保持機４はベース部材４０を装置本体１１の基板２を搬送する搬送テーブル１２の複数の位置決めピンにベース部材設置穴４０１を嵌めた位置に設置して、基板２を保持又は解放する基板保持機構４００を構成している。基板保持機４を交換又は複数、装置本体１１の搬送テーブル１２の所定位置に配置することが出来る。
図５に図１の基板保持機４のＸ軸断面の正面図、図２に装置本体１１の機構構成を示している。
図５に図１の基板保持機４のＸ軸断面の正面図、図２に装置本体１１の機構構成を示している。
【0031】
基板２を基板検査装置１にて電気検査する主な工程Ｓ１０は、図２に示す搬送テーブル１２に４分割の回転テーブル１２Ｒを採用している。
Ｓ１１・装置本体１１の基板搬入に、基板載置台１４がリフト１４Ｚにて所定位置に上昇し、基板載置台１４に設置された基板サイズ用載置板１４１に基板２を載置して、基板保持機４が基板２を保持する。その後、基板載置台１４は下降し待機位置に戻る搬入工程。
図２のＳ１１、基板保持機４の下側に基板サイズ用載置板１４１、基板載置台１４とリフト１４Ｚがある。図３（ｂ）では、吸着ハンド１０５が基板２を自動搬入している。
Ｓ１２・搬送テーブル１２は、基板２を保持し９０度回転移動し、基板の位置であるＸＹ位置と傾きをカメラ１０２がＸＹに相対移動し複数の基板マークの位置から位置認識する基板の位置認識工程。
Ｓ１１・装置本体１１の基板搬入に、基板載置台１４がリフト１４Ｚにて所定位置に上昇し、基板載置台１４に設置された基板サイズ用載置板１４１に基板２を載置して、基板保持機４が基板２を保持する。その後、基板載置台１４は下降し待機位置に戻る搬入工程。
図２のＳ１１、基板保持機４の下側に基板サイズ用載置板１４１、基板載置台１４とリフト１４Ｚがある。図３（ｂ）では、吸着ハンド１０５が基板２を自動搬入している。
Ｓ１２・搬送テーブル１２は、基板２を保持し９０度回転移動し、基板の位置であるＸＹ位置と傾きをカメラ１０２がＸＹに相対移動し複数の基板マークの位置から位置認識する基板の位置認識工程。
【0032】
Ｓ１３・搬送テーブル１２が９０度回転移動する間に、制御装置１０１は基板２と検査用治具３の位置を整合させる位置合せ補正（ΔＸＹΘ）を完了し、電気検査位置となると、図３（ｃ）に示す、検査用治具３Ｔ、３Ｂが上下移動して、複数のプローブ３１が基板２の両面の検査端子に当接する。テスター１１０の電気検査が実行し完了すると、検査用治具３Ｔ、３Ｂが待機位置に移動して上下のプローブ３１の当接を解除する検査工程。
Ｓ１４・最後に、搬送テーブル１２は、基板２を保持し９０度回転移動し基板２を搬出する搬出工程となる。
搬送テーブル１２に回転テーブル１２Ｒを採用すれば、Ｓ１１からＳ１４を連続して繰り返すことになる。この場合、基板保持機４は少なくとも４つ配置することになる。
Ｓ１４・最後に、搬送テーブル１２は、基板２を保持し９０度回転移動し基板２を搬出する搬出工程となる。
搬送テーブル１２に回転テーブル１２Ｒを採用すれば、Ｓ１１からＳ１４を連続して繰り返すことになる。この場合、基板保持機４は少なくとも４つ配置することになる。
【0033】
Ｓ１１の搬入工程において、図３（ａ）に基板サイズ用載置板１４１上の状態を示している。太線の実線は基板２を保持する位置である基板保持位置を、１点鎖線の細線は機械保持位置のＸＹ座標軸を示している。２点鎖線の太線は基板２が置かれた仮想位置、２点鎖線の細線は基板２を挟み込むことができる最大範囲を示している。両側矢印は基板２に当接し付勢する第１、２の当接部材９０１の可動範囲、片側矢印は基板２に当接し位置決めする第３、４の当接部材９０２の可動範囲を示す。
【0034】
図３（ｂ）の１点鎖線の太線は基板底面のＸＹΘＺ基板基準面１４５位置を示している。これは、基板載置台１４の上昇時の基板サイズ用載置板１４１の上面である。基板サイズ用載置板１４１は基板載置台１４の機械位置の複数の穴又は溝１４０に、1対の位置決め穴１４２に固定装備した1対の位置決めピン１４３を挿入して固定されている。又、上面には置かれた基板２の付勢時の回転を抑制する逃げ溝１４４が内側にある。４側面は当接する当接部材９と干渉しない基板２より小さい外寸になっている。
【0035】
基板保持機４の詳細を、図１、５に基づいて説明する。ベース部材４０の中央は両面検査が可能な最大サイズの基板２より大きな基板窓４０２が開いている。付勢部材６の圧縮コイルばねＳＦ１、ＳＦ２の付勢力によって前進移動し基板２に当接して保持する当接部材９がプラス、マイナスＸＹ軸の４方向にある。当接部材９は４つの支持部材５に複数の貫通長穴９１によって、固定位置を移動可能に固定ノブ９２にて固定されている。
支持部材５はベーブ部材４０に固定された支持部材ガイドベース４５の貫通穴に挿通されＥリング４６１止めされたガイドシャフト４６に案内されてＸＹ方向に付勢部材６の付勢力ＳＦ１又はＳＦ２を有して基板（前進）方向に移動する。
基板２に当接する４つの当接部材９が固定された支持部材５の移動を案内する複数の案内部材４５０を構成している。
支持部材５はベーブ部材４０に固定された支持部材ガイドベース４５の貫通穴に挿通されＥリング４６１止めされたガイドシャフト４６に案内されてＸＹ方向に付勢部材６の付勢力ＳＦ１又はＳＦ２を有して基板（前進）方向に移動する。
基板２に当接する４つの当接部材９が固定された支持部材５の移動を案内する複数の案内部材４５０を構成している。
【0036】
この付勢力を発生させる付勢部材６について、図４に基づいて説明する。Ｆ１は４つの支持部材５の隣接する２つの第１、２の支持部材５１をガイドシャフト４６に外装されてＸマイナス、Ｙプラス方向から付勢して基板２を付勢する弾性の圧縮コイルばねの付勢力である。同様に、Ｆ２は対向する隣接の２つの位置決めの第３、４の支持部材５２をガイドシャフト４６に外装されてＸプラス、Ｙマイナスから付勢して基板２と、支持部材ガイドベース４５の制止部４５２を付勢する弾性の圧縮コイルばねの付勢力である。
【0037】
ＰＦは、基板２を保持から解放する装置本体１１の基板解放駆動機１７から伝達される基板解放駆動力であるＰＦ６４である。工程Ｓ１１の基板の搬入とＳ１４の搬出に動作する。それ以外は基板保持のＳＦ１、ＳＦ２、ＳＦ３が付勢動作の状態にある。ＳＦ３はＰＦ基板解放駆動力６４と反対方向に付勢しＰＦが非動作時のベルト位置を初期化する弾性の引っ張りコイルばね６３で、タイミングベルト７２に挟着された駆動部材７２１Ａの始点を駆動始点具７４０に当接して定める。この回転駆動力ＰＦは、ＰＦ＞（２（ＳＦ１＋ＳＦ２）＋ＳＦ３）の図３に示す駆動力を要する。１つの圧縮コイルばねの付勢力はＳＦ１、２の半分となる。
【0038】
各々の付勢部材６のばねの付勢力には、ＳＦ１＜ＳＦ２、（ＳＦ２－ＳＦ１）＝ΔＳＦ２１は制止部４５２に当接する基板保持位置を定める保持位置付勢力Ｆｉｘ．Ｆ＝ΔＳＦ２１になって、基板保持機４が基板２を保持する機械的位置を定める。制止部４５２はベーブ部材４０の位置決めピン４１に組立用ホール４５１を嵌めて位置固定された支持部材ガイドベース４５の固定位置の端部である。この制止部４５２と内寸を成す付勢基端部４５３が圧縮コイルばね基端部６０３の反力を発生させる付勢力ＳＦ１、ＳＦ２の付勢源である。この端部である４５２、４５３はベース部材４０に製造時に固定された位置手段の要となっている。
【0039】
次に、基板２を解放する基板解放機構７について、図１、５に基づいて説明する。基板解放機構７の構成は、当接部材９が４方向から同期して基板２を保持から解放するために、装置本体１１の基板解放駆動機１７の回転駆動力ＰＦを下側からタイミング歯車７１（ベルト駆動部）に同軸に連結された円盤体７１１（ベルト駆動部）で受取り、タイミング歯車７１を介してタイミングベルト７２に伝達し、ベース部材４０のコーナーにある他の３つのタイミング歯車７１に伝達し、元のタイミング歯車７１に戻る。これで、回転駆動を直線駆動に変換している。
【0040】
タイミングベルト７２を挟んで取付けられた駆動部材Ａ７２１Ａは、駆動終点７４１に当接し係止する。４つの駆動部材Ｂ７２１Ｂの駆動端部７２２は、駆動アーム７３５に固定の駆動ベアリング７３８を押圧し、アーム支持点７３６で方向を反転し、アーム端部７３７が支持部材５に固定の駆動ベアリング７３８を押圧して支持部材５は後退し基板２を解放する解放状態となる。
これらの、駆動部材Ａ７２１Ａ、駆動部材Ｂ７２１Ｂ、駆動端部７２２、駆動アーム７３５、アーム支持点７３６、アーム端部７３７、駆動ベアリング７３８が駆動の複数のレバーを構成している。
これらの、駆動部材Ａ７２１Ａ、駆動部材Ｂ７２１Ｂ、駆動端部７２２、駆動アーム７３５、アーム支持点７３６、アーム端部７３７、駆動ベアリング７３８が駆動の複数のレバーを構成している。
【0041】
図１、５に示す、円盤体７１１に基板解放駆動機１７が下側から上昇して当接し、真空チャック１０５をＯＮし連結後、定時間（回転角、定距離）の回転駆動と停止保持の基板解放状態ＯＰＥＮとする。次に、基板保持のスタート動作の真空チャック１０５をＯＦＦし連結解除後、下降する。基板解放駆動機１７にトルクリミットあることが好ましく、図３に駆動力ＰＦとトルクリミットＴＬの荷重点が縦軸に示されている。
【0042】
連結（解放）解除後は、図３において、支持部材５は付勢力ＳＦ１、ＳＦ２を有して保持方向に４つの支持部材５が同期して移動ＭＯＶＥする。位置決めの第３、４の支持部材５２は複数の制限部４５２により機械的位置で固定Ｆｉｘする。付勢の第１、２の支持部材５１に固定された付勢の第１、２の当接部材９０１は基板２に当接して基板２を付勢して保持ＨＯＬＤする。
図１に各部品が鎖線で示されている様に、基板解放機構７はベース部材４０の裏側に機構構成されている。表側では４つの支持部材５と当接部材９が進退移動するだけになる。図５にＸ軸断面の正面からの説明図を示している。
図１に各部品が鎖線で示されている様に、基板解放機構７はベース部材４０の裏側に機構構成されている。表側では４つの支持部材５と当接部材９が進退移動するだけになる。図５にＸ軸断面の正面からの説明図を示している。
【0043】
基板２の一辺に対し進退方向に固定位置を調節可能な当接部材９について、図１、５、６に基づいて詳細を説明する。基板２の側面に当接する当接部９０が先端にある。図１の上面図には当接部材９の中心線上に貫通長孔９１が２つ間隔を開けてある。下側の支持部材５には直下の所定位置に雌ネジ９２１が加工されており、２つの固定ノブ９２の雄ネジ部分にて進退方向に固定位置を調節可能にしている。
【0044】
Ｙ方向マイナス側にある基板２の１辺のＹ位置と傾きを定める位置決めの第４の支持部材５２はＸ方向にも固定位置を調節可能にしている。図６に底面を示す、位置決めの第４の支持部材５２にはＸ方向に４つの貫通長穴Ａ９２３と、その周辺底面には止め具長溝９２４が４つ間隔を開けてある。止め具長溝９２４には４つの固定ノブ９２の雄ネジ部分にてネジ止めする外形が略正方形の中心に雌ネジが加工された止め具９２２がある。４つの固定ノブ９２は雄ネジ部分にてネジ止めされて、２つの位置決めの第４の当接部材９０２がＸＹ方向に固定位置を調節可能にしている。２つの当接部９０は略中央に間隔を開けて略Ｘ軸方向に配置されている。
【0045】
これで、基板２の１辺のＹ位置と傾きΘが決まる。基板２の隣接１辺のＸ位置は、位置決めの第３の当接部材９０２を固定した位置で決まる。基板２の４外辺を３つの位置決めの第３、４の当接部材９０２と、２つの付勢の第１、２の当接部材９０１の５つの当接部材９の当接部９０が基板２に４方向から当接し付勢して、基板２を機械的に位置決めし保持している。この機械的保持に合えば、基板の外形は正方形で無くても良いが、基板側面を付勢して挟み込むことで撓み変形する基板は適合しないことになる。
上述は、基板２を解放可能に保持する基板保持機４をベース部材４０に機構構成した基板保持機構４００と基板解放機構７の説明である。基板検査機１に複数の配置に好ましい。
上述は、基板２を解放可能に保持する基板保持機４をベース部材４０に機構構成した基板保持機構４００と基板解放機構７の説明である。基板検査機１に複数の配置に好ましい。
【0046】
検査する基板２の機種の外形が変わる場合の作業について、上述の５つの当接部９０、５つの当接部材９の固定位置を変えることになる。図７にその移動可能な範囲を示している。細実線の網目の範囲が５つの当接部９０の位置になる。図７の位置決めの第３、４の当接部材９０２の当接部９０の形状は円弧となっている。付勢の当接部材９０１の当接部９０は直線状の部分に幅が有る。
【0047】
これは、基板保持時に付勢の第１、２の当接部材９０１が先に基板２に当接した場合、基板の１辺の略中央を付勢することで、基板２が回転することを抑制して、基板２の移動を最小化する。当接部９０の直線状の部分に幅が有っても通常、主当接点は１点になる。
Ｙ方向マイナス側の位置決めの第４の支持部材５２の２つの位置決めの第４の当接部材９０２は、平行のＩＩ型、Ｖ型、逆Ｖ型（ハ型）などの配置により、基板の外形に広く対応できる。当接部９０の形状は、円弧の当接部９０が基板２の１点にのみ当接することが明確で好ましい。
Ｙ方向マイナス側の位置決めの第４の支持部材５２の２つの位置決めの第４の当接部材９０２は、平行のＩＩ型、Ｖ型、逆Ｖ型（ハ型）などの配置により、基板の外形に広く対応できる。当接部９０の形状は、円弧の当接部９０が基板２の１点にのみ当接することが明確で好ましい。
【0048】
基板２のサイズ変更時の作業手順（段取り）の工程Ｓ１００は、従来通り、基板２と同寸のサンプル基板２０１があることが好ましい。検査基板の損傷を防止する。検査基板に合せて当接部材９を調節移動し固定する工程となる。図３の（a）、（ｂ）を参照して説明する。
【0049】
検査基板２を置く基板サイズ用載置板１４１は基板２の外形により複数あって、マイナスサイズの適切なものを設置セットする。この基板サイズ用載置板１４１にはサンプル基板２０１を所定の位置にする複数の基準貫通穴１４２があって、１対の基準ピンが下側に挿入固定されている。基板載置台１４には複数の位置決め穴又は溝１４０があり、１対の基準ピンを入れると機械位置ＸＹΘＺ１４５となる。サンプル基板２０１にも対応する位置に１対の基準穴がある。これに１対の基準ピンツールを貫通し基板サイズ用載置板１４１の基準貫通穴１４２に挿入するとサンプル基板２０１を所定位置の機械位置に設置セットが出来る。サンプル基板２０１を所定位置に設置する機械位置合せの位置手段となっている。サンプル基板２０１は検査基板２に１対の基準穴を追加工するか、検査用治具３の付属品として１対の基準穴がある同じ寸法の平板を事前に作成する。
【0050】
Ｓ１０１・作業者が、基板保持機４の基板保持機構４００を解放状態（後退方向）に操作パネルにて操作して、当接部材９を最大に広げ、基板載置台１４を基板受取り位置に上昇させる。そして、基板サイズ用載置板１４１と、サンプル基板２０１を設置セットする、基板の機械位置を設定する工程。
【0051】
Ｓ１０２・基板を保持する前進方向に基板保持機構４００を操作し、図１、５のサンプル基板２０１の位置を定める隣接する１辺に２つの当接部９０を略中央に間隔を開けて、他の１辺に１つの当接部９０を略中央に当接させて、位置決めの第３、４の支持部材５２に位置決めの第３、４の当接部材９０２を固定ノブ９２で固定する、基板の保持位置を定める工程。
Ｓ１０３・基板を解放する後退方向に基板保持機構４００を操作し、付勢の第１、２の当接部材９０１の当接部９０がサンプル基板２０１のＳ１０２と対向する２辺の＋１から２ミリの位置（後退位置）の略中央に、第１、２の支持部材５２に第１、２の当接部材９０２を固定ノブ９２で固定する、付勢位置を定める工程。図３（ａ）の細２点鎖線に相当する。
この付勢位置を定める工程は、Ｓ１０２において、第１、２の支持部材５２を＋１から２ミリ後退させて、当接部９０を基板２に当接して第１、２の当接部材９０２を固定しても良い。同じ付勢位置となる。
Ｓ１０３・基板を解放する後退方向に基板保持機構４００を操作し、付勢の第１、２の当接部材９０１の当接部９０がサンプル基板２０１のＳ１０２と対向する２辺の＋１から２ミリの位置（後退位置）の略中央に、第１、２の支持部材５２に第１、２の当接部材９０２を固定ノブ９２で固定する、付勢位置を定める工程。図３（ａ）の細２点鎖線に相当する。
この付勢位置を定める工程は、Ｓ１０２において、第１、２の支持部材５２を＋１から２ミリ後退させて、当接部９０を基板２に当接して第１、２の当接部材９０２を固定しても良い。同じ付勢位置となる。
【0052】
Ｓ１０４・１対の基準ピンツールを抜いて、サンプル基板２０１の位置をずらした後に、再度、基板を保持する保持状態に基板保持機構４００を操作セットし、サンプル基板２０１が保持されるか、を基板の外辺に５つの当接部９０が当接していることを目視にて確認する、目視工程。
Ｓ１０５・次に、基板載置台１４を待機位置に下降させる。そして、サンプル基板２０１が確実に保持されているか、接触荷重を掛けて確認する、確認工程。この接触荷重は作業者の接触感覚でも良いが、小型のフォースゲージ（荷重計）でサンプル基板２０１を押し引きすることが好ましい。
Ｓ１０５・次に、基板載置台１４を待機位置に下降させる。そして、サンプル基板２０１が確実に保持されているか、接触荷重を掛けて確認する、確認工程。この接触荷重は作業者の接触感覚でも良いが、小型のフォースゲージ（荷重計）でサンプル基板２０１を押し引きすることが好ましい。
【0053】
Ｓ１０６・最後に、基板載置台１４を基板受取り位置に上降させて、基板を解放する後退方向に基板保持機構４００を操作セットする。サンプル基板２０１を取り出して、基板載置台１４を待機位置に下降させる。
これで、検査基板のサイズ変更の段取り作業は終了するが、工程のＳ１０４とＳ１０５をサンプル基板２０１の載置位置を変えて数回繰り返すことが好ましい。
これで、検査基板のサイズ変更の段取り作業は終了するが、工程のＳ１０４とＳ１０５をサンプル基板２０１の載置位置を変えて数回繰り返すことが好ましい。
【0054】
図４に示す、支持部材５の解放位置ＯＰＥＮと始点位置ＳＥＴの間隔は３ミリになっている。基板２が無いと、付勢の第１、２の支持部材５１と付勢の第１、２の当接部材９０１は３ミリ進退移動する。図４の付勢力ＳＦ１の６１は実線と２点鎖線の太線になる。位置決めの第３、４の支持部材５２と位置決めの第３、４の当接部材９０２は２ミリ進退移動する。付勢力ＳＦ２の６２となる。基板２を置く位置にプラス、マイナス２ミリのバラツキを許容していることになる。この搬入位置の余裕量は解放状態を定める駆動終点具７４１の固定位置で変えられるが、進退量は一定で有ることが好ましい。基板保持スタートでＭｏｖｅ移動してＨＯＬＤ表記の位置（機械的位置）にＦＩＸ固定したことになる。
【0055】
図４の矢印は、４つの支持部材５が、ＳＥＴ位置の丸４角印から駆動力ＰＦにより解放方向に後退移動し、ＯＰＥＮで係止する解放状態となる。ＰＦを解除の基板保持がスタートし、ＭＯＶＥ前進移動する。ＳＦ２はＦＩＸ位置（制止部４５２）で付勢力Ｆｉｘ．Ｆで固定する。ＳＦ１は基板２を付勢して係止するＨＯＬＤ保持状態となる、Ｓｔａｔｅ状態の遷移のサイクルを示している。横軸のＴＩＭＥ、ＭＯＶＥ Ｄｉｓ．の表記は支持部材５が保持前進移動する時間と距離（変位量）となる。基板２を保持する保持力はＳＦ１となる。付勢力Ｆｉｘ．Ｆは、基板保持位置への付勢力となる。
［実施の形態２］
［実施の形態２］
【0056】
図１、７では、基板の外形を３０ミリから６０ミリの正方形に対応し作図されている。Ｙ方向マイナス側の位置決めの第４の支持部材５２の形状が他の３つの支持部材５と異なっている。同じ支持部材５を４つ使用し、位置決めの第４の当接部材９０２の形状をＹ型に変えた実施の形態２を説明する。
【0057】
図８（ａ）に基づいて説明する。位置決めの第４の当接部材９０２Ｙは、当接部９０が２つＹ型の本体の頭側の両端にあって、略中央に基板２と当接しない凹部９０４がある形状となっている。２つの当接部９０はＸ方向に位置を変えられない固定形状であるが、当接部９０と凹部９０４には幅が有る。基板２は３０ミリから６０ミリに想定しているので、当接部９０の幅は、約ＦＷ＝（６０－３０）／２＝１５ミリ、凹部９０４の幅は、約ＢＷ＝（３０－２）＝２８ミリとなっている。凹部９０４の幅ＢＷ＝２８ミリなので、プラスＹ方向から付勢の第２の当接部材９０１が基板２を付勢して、少なくとも約ＳＦ１＊（２８／２）のトルクで基板２の傾きΘを機械的に補正する。Ｙ方向の進退方向の固定位置は、移動可能な貫通長穴９１が間隔を開けて複数ある他の当接部材９と同じである。
【0058】
これで、基板２の１辺のＹ位置と傾きΘが決まる。基板２の隣接１辺のＸ位置は、位置決めの第３の当接部材９０２を固定した位置で決まり、基板保持機４の基板の保持位置の設定は完了し、基板２の位置（ＸＹΘ）のが確定する。
この形態２は、４つの当接部材９を略直交軸上の位置の変更のみに対処することで、容易に基板サイズ変更の段取り作業が完了して作業者の負担を軽減しるのに好ましい。又、当接部９０の幅が１５ミリあるので、３０－６０ミリ強の基板サイズに対応が出来る。
［実施の形態３］
この形態２は、４つの当接部材９を略直交軸上の位置の変更のみに対処することで、容易に基板サイズ変更の段取り作業が完了して作業者の負担を軽減しるのに好ましい。又、当接部９０の幅が１５ミリあるので、３０－６０ミリ強の基板サイズに対応が出来る。
［実施の形態３］
【0059】
２つ又は３つの位置決めの第３、４の当接部材９０２を直接にベース部材４０に対し固定位置をＸＹ方向に移動可変にしている実施の形態３について図６、図８（ｂ）に基づいて説明する。位置決めの第３、４の支持部材５２と案内部材４５０がなく、付勢の当接部材９０１のＸＹ２方向からのみの機械的位置合せと保持になる。上述の先行技術と同様になる。基板の搬入工程Ｓ１１の基板２の載置位置に手動又はロボットに視覚補正機能がある等で載置位置にバラツキが小さければ基板保持機４の構成が簡素になる。第４の当接部材９０２は、平行のＩＩ型、Ｖ型、逆Ｖ型（ハ型）、Ｙ型などの配置も同様に可能である。
【0060】
マイナスＹ方向の２つの位置決めの第４の当接部材９０２は、ベース部材４０にＸＹ方向に固定位置を調節可能にしている。基板２を４方向から挟み込む機械的補正の動作はしない。位置決め支持部材５２がない状態で、その固定位置には、ベース部材４０のＸ方向に４つの貫通長穴Ａ９２３と、その周辺底面には止め具長溝９２４が４つ間隔を開けてある。止め具長溝９２４には４つの固定ノブ９２の雄ネジ部分にてネジ止めする外形が略正方形の中心に雌ネジが加工された止め具９２２がある。４つの固定ノブ９２は雄ネジ部分にてネジ止めされて、２つの位置決めの第４の当接部材９０２がＸＹ方向に固定位置を移動調節可能にしている。
【0061】
プラスＸ方向の１つの位置決めの第３の当接部材９０２は、図８（ｂ）に示す、ベース部材４０にその固定位置の雌ネジ９２１又は貫通穴９２５と止め具溝９２４の止め具９２２に固定されている。これで、基板２の保持位置を定めている。
図５に示す、位置決めの第３の支持部材５２がなく、同じ高さのスペーサをベース部材４０に固定設置すると、４つの当接部材９の高さが同じになる。
図５に示す、位置決めの第３の支持部材５２がなく、同じ高さのスペーサをベース部材４０に固定設置すると、４つの当接部材９の高さが同じになる。
【0062】
実施の形態２の２ヶ所に当接部９０がある第４のＹ型当接部材９０２Ｙを採用すれば、図８（ｂ）に示す、ベース部材４０のＹ軸の略中央の所定の位置に２つの雌ネジ９２１がある。より簡素な構成になる。又、上述の２つの第４の当接部材９０２用の４つの貫通長穴Ａ９２３と、その周辺底面の止め具長溝９２４とは、位置が干渉しなので、ベース部材４０に２つの雌ネジ９２１、４つの貫通長穴Ａ９２３とその周辺底面に止め具長溝９２４の加工の両方が在っても良い。基板保持機４の多様な実施の構成に容易に対処が出来る。
［実施の形態４］
［実施の形態４］
【0063】
図２（ｃ）に示す様に、基板２の両面に複数のコンタクトプローブ３２の不均等な荷重のストレスを上下から掛けることから基板保持の位置精度に影響する状況にある。この上下方向Ｚに対する手段である。当接部材９には、垂直の当接部９０と上下の端部に当接部９０より突起した突起部９５２のある側面が凹型の側面凹型当接部材９５について説明する。
例えば、基板厚さは１ミリ、突起幅は約０．２ミリ、当接部９０の上下幅は、（１＋０．４）＝１．４ミリであれば、これで、上下荷重のアンバランスによる基板の落下、損傷を防止する。当接部９０は基板２を保持した時は、上下に０．２ミリの余裕があり基板２とは干渉しない上下幅となっている。
例えば、基板厚さは１ミリ、突起幅は約０．２ミリ、当接部９０の上下幅は、（１＋０．４）＝１．４ミリであれば、これで、上下荷重のアンバランスによる基板の落下、損傷を防止する。当接部９０は基板２を保持した時は、上下に０．２ミリの余裕があり基板２とは干渉しない上下幅となっている。
【0064】
突起幅の約０．２ミリでは、基板の片側が傾いた場合、基板の厚さ１ミリ、幅４５ミリであれば、基板の当接部９０との隙間は約（１．２/４５）＝０．０３ミリとなり、突起幅はその（＝０．２／０．０３）約７倍となり、基板の端部は上下の突起部９５２に係止されて、傾きは制限される。又、突起幅が０．２ミリであるので、検査用治具３Ｔ、３Ｂのプローブ３１の導電接触のエリアを縮小することなく、プローブ保持部３２と当接部材９との干渉を防止出来る。
［その他の実施の形態］
［その他の実施の形態］
【0065】
基板解放駆動機１７の回転駆動力ＰＦを２倍にするに、図１の駆動アーム７３５の支持点７３６の比を２/１としたが、その倍率と比率を変えても良い。
又、ＰＦの回転駆動力の伝達をタイミング歯車７１とタイミングベルト７２を使用したが、複数の傘歯車とシャフトにて駆動力を伝達しても良い。同期に連動動作の構成が機械的位置補正に好ましい。
又、ＰＦの回転駆動力の伝達をタイミング歯車７１とタイミングベルト７２を使用したが、複数の傘歯車とシャフトにて駆動力を伝達しても良い。同期に連動動作の構成が機械的位置補正に好ましい。
【0066】
当接部材９を固定するのに、回す複数の固定ノブ９２を使用しているが、上下するレバーにしても良い。
別の形態の固定部材９２Ａで、複数個の当接部材９を同時に押圧して固定しても良い。複数の貫通長穴９１も無くて良いことになる。
実施の形態１では、当接部材９の固定ノブ９２を１０個使用しているが、少なくとも４個以上であれば良い。当接部材９を固定するのに多様な形態があるが何れにしても、１つの当接部材９に２ヶ所の固定が確実で好ましい。
別の形態の固定部材９２Ａで、複数個の当接部材９を同時に押圧して固定しても良い。複数の貫通長穴９１も無くて良いことになる。
実施の形態１では、当接部材９の固定ノブ９２を１０個使用しているが、少なくとも４個以上であれば良い。当接部材９を固定するのに多様な形態があるが何れにしても、１つの当接部材９に２ヶ所の固定が確実で好ましい。
【0067】
当接部材９の先端部分を基板２との相性、Ｚ方向の差異などで、交換可能にしても良い。実施の形態４の突起部９５２の適用が容易に出来る。
支持部材５の進退移動の複数の案内部材４５０にガイドレール機構を採用しても良い。
付勢の第１、２の支持部材５１に取付ける付勢の第１、２の当接部材９０１には、１つの当接部９０に幅が有あると説明したが、２つの当接部９０があっても良いことになる。対向してある位置決め第４の当接部材９０２の２つの当接部９０の間隔の略中央側にあれば、付勢して基板２の１辺のＹ位置と傾きを定めることになる。付勢の第１、２の当接部材９０１に１つ略中央部に当接部９０あるのが基板２の１辺の傾きを機械的に補正するトルクＳＦ１＊（対向する２つの当接部９０の間隔／２）が最大となって好ましい。付勢の第１、２の当接部材９０１と当接部９０には形態と位置の制約があることになる。この制約の範囲内で２つの当接部９０があっても良いことになるが、何れにしても主な付勢の当接部位は１つとなる。
支持部材５の進退移動の複数の案内部材４５０にガイドレール機構を採用しても良い。
付勢の第１、２の支持部材５１に取付ける付勢の第１、２の当接部材９０１には、１つの当接部９０に幅が有あると説明したが、２つの当接部９０があっても良いことになる。対向してある位置決め第４の当接部材９０２の２つの当接部９０の間隔の略中央側にあれば、付勢して基板２の１辺のＹ位置と傾きを定めることになる。付勢の第１、２の当接部材９０１に１つ略中央部に当接部９０あるのが基板２の１辺の傾きを機械的に補正するトルクＳＦ１＊（対向する２つの当接部９０の間隔／２）が最大となって好ましい。付勢の第１、２の当接部材９０１と当接部９０には形態と位置の制約があることになる。この制約の範囲内で２つの当接部９０があっても良いことになるが、何れにしても主な付勢の当接部位は１つとなる。
【0068】
付勢部材６にコイルばねの自力を使用しているが、圧縮エヤー等を使用しても良い。しかし、多様な外乱に対しても耐力のある自力（ばね弾性）の付勢力が好ましい。
コイルばねの荷重を設定するに、コイルばね基端部６０３に対し荷重補正部材を付加しても良い。図３のＳＦ１、ＳＦ２の荷重特性を増すことが出来る。例えば、ガイドシャフト４６にパイプを入れる、同等の部材を付加する等。基板保持機４の付勢力特性の調整、応急処置に好ましい。
コイルばねの荷重を設定するに、コイルばね基端部６０３に対し荷重補正部材を付加しても良い。図３のＳＦ１、ＳＦ２の荷重特性を増すことが出来る。例えば、ガイドシャフト４６にパイプを入れる、同等の部材を付加する等。基板保持機４の付勢力特性の調整、応急処置に好ましい。
【0069】
複数の基板サイズ用板１４１を準備し基板サイズに合せて交換しているが、移動可能なスペーサを少なくも４つを対角方向の４隅に基板に合せ移動固定しても良い。その交換を要さなくなる。例えば、図示はないが、汎用の基板サイズ用板には、サンプル基板２０１を機械位置にセットする基準ピンツール用の位置決め穴が中心に１つと、Ｘ軸方向に位置決め長穴の位置手段がある。スペーサは固定ノブ９２と同様に長穴を貫通し止め具９２２に止めるなどの形態がある。当接部材９と干渉を避けて、基板サイズ用板１４１と同等になる。
【0070】
実施の形態１、２の井型、Ｙ型の当接部材９のある位置決めの第４の支持部材５２は
、ベース部材４０への組立て位置が異なるだけで交換が可能である。又、井型の位置決めの第４の支持部材５２には、ＩＩ型又はＹ型の当接部材９を選択し使用できる。実施の形態３のベース部材４０への固定も同様である。
上述の様に、複数の貫通長穴Ａ９１が間隔を同じにしている等で、固定位置が移動し調節可能な当接部材９は、多様な基板保持機４を構成できる。
、ベース部材４０への組立て位置が異なるだけで交換が可能である。又、井型の位置決めの第４の支持部材５２には、ＩＩ型又はＹ型の当接部材９を選択し使用できる。実施の形態３のベース部材４０への固定も同様である。
上述の様に、複数の貫通長穴Ａ９１が間隔を同じにしている等で、固定位置が移動し調節可能な当接部材９は、多様な基板保持機４を構成できる。
【0071】
各々の付勢部材６のばねの付勢力を、第１と第２の付勢部材の付勢力は同じとしたが、異なっていても良い。各々の対向する第３と第４の付勢力より小さければ良いことになる。
【0072】
本発明の特定の実施形態についての上述の説明は、例示を目的として提示したものである。記載に前後はあるがそれらは、網羅的であったり、記載した形態そのままに本発明を制限したりすることを意図したものではない。数多くの変形や変更が、上述の記載内容に照らして可能であることは当業者に自明である。
【産業上の利用可能性】
【0073】
本発明の基板検査装置の基板保持機は、プリント配線基板、ＩＣパッケージ、ＩＣ等の個辺の平板型の固体電子部品に備えられた複数の検査端子にプローブを同時に導電接触させる通電装置全般に用いることができる。
【符号の説明】
【0074】
１・基板検査装置 １１０・テスター １１・装置本体 １２・搬送テーブル、回転テーブル １４・基板載置台 １４１・基板サイズ用載置板 １７・基板解放駆動機 ２・基板 ２０１・サンプル基板 ３・検査用治具 ３１・プローブ ３２・プローブ保持部 ４・基板保持機 ４０・ベース部材 ４００・基板保持機構 ４５・支持部材ガイドベース、案内部材 ４５２・制止部 ５・支持部材 ５１・第１、２の支持部材、付勢の支持部材 ５２・第３、４の支持部材、位置決めの支持部材 ６・付勢部材 ６１・ＳＦ１、付勢圧縮コイルばね ６２・ＳＦ２、位置圧縮コイルばね ６３・ＳＦ３、始点設定コイルばね ６４・ＰＦ、基板解放駆動力、駆動力 ７・基板解放機構 ７１・タイミング歯車 ７２・タイミングベルト、ベルト ７１１・円盤体、ベルト駆動部 ９・当接部材 ９０・当接部 ９０１・第１、２の当接部材、付勢の当接部材 ９０２・第３、４の当接部材、位置決めの当接部材 ９０２Ｙ・Ｙ型当接部材 ９０４・凹部 ９１・貫通長穴 ９２・固定ノブ、締結部材 ９５・側面凹型当接部材 ９５２・突起部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】