特開2023-73306メタル膜付き基板の分断方法

発明の名称　メタル膜付き基板の分断方法

出願人　三星ダイヤモンド工業株式会社　（識別番号 390000608）

　　　　特許公開件数ランキング 2938 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1261 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-73306

公報発行日　2023年5月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-73306

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