特開 2023-75815 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023075815

(43)【公開日】2023-05-31

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/06 20060101AFI20230524BHJP

【ＦＩ】

B25J9/06 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021188957

(22)【出願日】2021-11-19

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

(72)【発明者】

【氏名】志村 芳樹

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 一樹

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707AS05

3C707BS15

3C707NS21

(57)【要約】

【課題】マスク等の比較的重い搬送対象物を搬送することが可能であるとともに、ガラス基板等の比較的軽い搬送対象物を効率的に搬送することが可能であっても、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】この産業用ロボットでは、アーム７は、第１先端側アーム部１０と第２先端側アーム部１１と共通アーム部１２とを備えており、共通アーム部１２は、第１先端側アーム部１０の基端側が回動可能に連結される第１共通アーム部２０と、第２先端側アーム部１１の基端側が回動可能に連結される第２共通アーム部２１とを備えている。この産業用ロボットでは、少なくとも、第１中心間距離Ｌ１が第２中心間距離Ｌ２よりも短くなっているか、または、第１共通アーム幅Ｈ１が第２共通アーム幅Ｈ２よりも広くなっていて、共通アーム部１２の第１共通アーム部２０側の剛性が共通アーム部１２の第２共通アーム部２１側の剛性よりも高くなっている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、上下方向を回動の軸方向として前記第１ハンドおよび前記第２ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、上下方向を回動の軸方向として前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部とを備え、
前記アームは、前記第１ハンドが先端側に回動可能に連結される第１先端側アーム部と、前記第２ハンドが先端側に回動可能に連結される第２先端側アーム部と、上下方向を回動の軸方向として前記第１先端側アーム部の基端側および前記第２先端側アーム部の基端側が回動可能に連結されるとともに前記アーム支持部に回動可能に連結される共通アーム部とを備え、
前記共通アーム部は、前記第１先端側アーム部が先端側に回動可能に連結される第１共通アーム部と、前記第２先端側アーム部が先端側に回動可能に連結される第２共通アーム部とを備え、
前記アーム支持部に対する前記共通アーム部の回動中心と前記第１共通アーム部に対する前記第１先端側アーム部の回動中心との水平方向の距離を第１中心間距離とし、前記アーム支持部に対する前記共通アーム部の回動中心と前記第２共通アーム部に対する前記第２先端側アーム部の回動中心との水平方向の距離を第２中心間距離とし、前記第１共通アーム部の長手方向と上下方向とに直交する方向における前記第１共通アーム部の幅を第１共通アーム幅とし、前記第２共通アーム部の長手方向と上下方向とに直交する方向における前記第２共通アーム部の幅を第２共通アーム幅とすると、
少なくとも、前記第１中心間距離が前記第２中心間距離よりも短くなっているか、または、前記第１共通アーム幅が前記第２共通アーム幅よりも広くなっていて、前記共通アーム部の、前記第１共通アーム部側の剛性が、前記共通アーム部の、前記第２共通アーム部側の剛性よりも高くなっていることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記第１中心間距離が前記第２中心間距離よりも短くなっているとともに、前記第１共通アーム幅が前記第２共通アーム幅よりも広くなっていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記第１共通アーム部に対する前記第１先端側アーム部の回動中心と前記第１先端側アーム部に対する前記第１ハンドの回動中心との水平方向の距離を第３中心間距離とし、前記第２共通アーム部に対する前記第２先端側アーム部の回動中心と前記第２先端側アーム部に対する前記第２ハンドの回動中心との水平方向の距離を第４中心間距離とすると、
前記第１中心間距離は、前記第２中心間距離よりも短くなっており、
前記第１中心間距離と前記第３中心間距離とが等しく、かつ、前記第２中心間距離と前記第４中心間距離とが等しくなっていて、前記第１先端側アーム部の剛性が前記第２先端側アーム部の剛性よりも高くなっていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記第１先端側アーム部の長手方向と上下方向とに直交する方向における前記第１先端側アーム部の幅を第１先端側アーム幅とし、前記第２先端側アーム部の長手方向と上下方向とに直交する方向における前記第２先端側アーム部の幅を第２先端側アーム幅とすると、
前記第１先端側アーム幅が前記第２先端側アーム幅よりも広くなっていて、前記第１先端側アーム部の剛性が前記第２先端側アーム部の剛性よりも高くなっていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項5】

前記第１先端側アーム部の上下方向の厚さは、前記第２先端側アーム部の上下方向の厚さよりも厚くなっていて、前記第１先端側アーム部の剛性が前記第２先端側アーム部の剛性よりも高くなっていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項6】

前記アーム支持部には、前記第１共通アーム部の基端側が回動可能に連結され、
前記第２共通アーム部の基端は、前記第１共通アーム部の基端側に固定されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項7】

上下方向から見たときに、前記第１共通アーム部と前記第２共通アーム部とがなす角度が９０°となっていることを特徴とする請求項６記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物を搬送するための産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、真空中で液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、２個のハンドと、２個のハンドが回動可能に連結されるアームと、アームが回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、２個のハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個の先端側アーム部と、２個の先端側アーム部の基端側が回動可能に連結される１個の共通アーム部とから構成されている。共通アーム部は、略Ｖ形状に形成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－１５８３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の産業用ロボットは、たとえば、プロセスチャンバーにガラス基板を搬入したり、プロセスチャンバーからガラス基板を搬出したりする。プロセスチャンバーでは、液晶ディスプレイを製造するために、ガラス基板に対して所定の処理が行われる。たとえば、プロセスチャンバーでは、ガラス基板の表面を部分的に覆うマスクを用いた所定の処理がガラス基板に対して行われる。プロセスチャンバーでマスクが使用される場合、使用済みの汚れたマスクを洗浄するために、定期的に、使用済みのマスクをプロセスチャンバーから搬出して、洗浄済みのマスクをプロセスチャンバーに搬入しなければならない状況が生じうる。

【0005】

この場合、プロセスチャンバーに対してガラス基板を搬送する産業用ロボットによってプロセスチャンバーに対するマスクの搬送を行えば、液晶ディスプレイの製造システムの構成を簡素化することが可能になる。一方で、マスクの重さは、たとえば、ガラス基板の重さの３０倍以上となっており、ガラス基板に比べてマスクは重くなっている。そのため、ガラス基板を搬送する産業用ロボットをそのまま用いてマスクを搬送することは困難である。

【0006】

ガラス基板搬送用の産業用ロボットによるマスクの搬送を可能にするためには、産業用ロボットの剛性を高めれば良い。しかしながら、ガラス基板の搬送頻度と比較して搬送頻度が低いマスクを搬送するために産業用ロボットの剛性を単純に高めたのでは、産業用ロボットの製造コスト等のコストが高くなる。

【0007】

そこで、本発明の課題は、マスク等の比較的重い搬送対象物を搬送することが可能であるとともに、ガラス基板等の比較的軽い搬送対象物を効率的に搬送することが可能であっても、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、上下方向を回動の軸方向として第１ハンドおよび第２ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、上下方向を回動の軸方向としてアームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部とを備え、アームは、第１ハンドが先端側に回動可能に連結される第１先端側アーム部と、第２ハンドが先端側に回動可能に連結される第２先端側アーム部と、上下方向を回動の軸方向として第１先端側アーム部の基端側および第２先端側アーム部の基端側が回動可能に連結されるとともにアーム支持部に回動可能に連結される共通アーム部とを備え、共通アーム部は、第１先端側アーム部が先端側に回動可能に連結される第１共通アーム部と、第２先端側アーム部が先端側に回動可能に連結される第２共通アーム部とを備え、アーム支持部に対する共通アーム部の回動中心と第１共通アーム部に対する第１先端側アーム部の回動中心との水平方向の距離を第１中心間距離とし、アーム支持部に対する共通アーム部の回動中心と第２共通アーム部に対する第２先端側アーム部の回動中心との水平方向の距離を第２中心間距離とし、第１共通アーム部の長手方向と上下方向とに直交する方向における第１共通アーム部の幅を第１共通アーム幅とし、第２共通アーム部の長手方向と上下方向とに直交する方向における第２共通アーム部の幅を第２共通アーム幅とすると、少なくとも、第１中心間距離が第２中心間距離よりも短くなっているか、または、第１共通アーム幅が第２共通アーム幅よりも広くなっていて、共通アーム部の、第１共通アーム部側の剛性が、共通アーム部の、第２共通アーム部側の剛性よりも高くなっていることを特徴とする。

【0009】

本発明の産業用ロボットでは、共通アーム部は、第１先端側アーム部が先端側に回動可能に連結される第１共通アーム部と、第２先端側アーム部が先端側に回動可能に連結される第２共通アーム部とを備えている。また、本発明では、少なくとも、第１中心間距離が第２中心間距離よりも短くなっているか、または、第１共通アーム幅が第２共通アーム幅よりも広くなっていて、共通アーム部の、第１共通アーム部側の剛性が、共通アーム部の、第２共通アーム部側の剛性よりも高くなっている。

【0010】

そのため、本発明では、第１共通アーム部、第１先端側アーム部および第１ハンドを用いてマスク等の比較的重い搬送対象物を搬送することが可能になる。また、本発明では、共通アーム部の第２共通アーム部側の剛性が共通アーム部の第１共通アーム部側の剛性よりも低くなっているため、第２共通アーム部、第２先端側アーム部および第２ハンドを用いて比較的重い搬送対象物を搬送することは困難になるおそれがあるが、ガラス基板等の比較的軽い搬送対象物であれば、第２共通アーム部、第２先端側アーム部および第２ハンドを用いて搬送対象物を搬送することが可能になる。すなわち、本発明では、第１ハンドおよび第２ハンドの２個のハンドを用いて比較的軽い搬送対象物を搬送することが可能になる。したがって、本発明では、ガラス基板等の比較的軽い搬送対象物を効率良く搬送することが可能になる。

【0011】

また、本発明では、共通アーム部の第２共通アーム部側の剛性が共通アーム部の第１共通アーム部側の剛性と同等になっている場合と比較して、産業用ロボットのコストを低減することが可能になる。すなわち、本発明では、比較的重い搬送対象物を搬送することが可能であるとともに、比較的軽い搬送対象物を効率的に搬送することが可能であっても、産業用ロボットのコストを低減することが可能になる。

【0012】

本発明において、第１中心間距離が第２中心間距離よりも短くなっているとともに、第１共通アーム幅が第２共通アーム幅よりも広くなっていることが好ましい。このように構成すると、共通アーム部の第１共通アーム部側の剛性をより高めることが可能になる。したがって、第１共通アーム部、第１先端側アーム部および第１ハンドを用いてより重い搬送対象物を搬送することが可能になる。

【0013】

本発明において、第１共通アーム部に対する第１先端側アーム部の回動中心と第１先端側アーム部に対する第１ハンドの回動中心との水平方向の距離を第３中心間距離とし、第２共通アーム部に対する第２先端側アーム部の回動中心と第２先端側アーム部に対する第２ハンドの回動中心との水平方向の距離を第４中心間距離とすると、第１中心間距離は、第２中心間距離よりも短くなっており、第１中心間距離と第３中心間距離とが等しく、かつ、第２中心間距離と第４中心間距離とが等しくなっていて、第１先端側アーム部の剛性が第２先端側アーム部の剛性よりも高くなっていることが好ましい。

【0014】

このように構成すると、第１共通アーム部に連結される第１先端側アーム部の剛性が高くなっているため、第１共通アーム部、第１先端側アーム部および第１ハンドを用いてより重い搬送対象物を搬送することが可能になる。また、第２先端側アーム部の剛性が第１先端側アーム部の剛性と同等になっている場合と比較して、産業用ロボットのコストを低減することが可能になる。

【0015】

本発明において、第１先端側アーム部の長手方向と上下方向とに直交する方向における第１先端側アーム部の幅を第１先端側アーム幅とし、第２先端側アーム部の長手方向と上下方向とに直交する方向における第２先端側アーム部の幅を第２先端側アーム幅とすると、第１先端側アーム幅が第２先端側アーム幅よりも広くなっていて、第１先端側アーム部の剛性が第２先端側アーム部の剛性よりも高くなっていることが好ましい。

【0016】

このように構成すると、第１共通アーム部に連結される第１先端側アーム部の剛性が高くなっているため、第１共通アーム部、第１先端側アーム部および第１ハンドを用いてより重い搬送対象物を搬送することが可能になる。また、第２先端側アーム部の剛性が第１先端側アーム部の剛性と同等になっている場合と比較して、産業用ロボットのコストを低減することが可能になる。

【0017】

本発明において、第１先端側アーム部の上下方向の厚さは、第２先端側アーム部の上下方向の厚さよりも厚くなっていて、第１先端側アーム部の剛性が第２先端側アーム部の剛性よりも高くなっていることが好ましい。このように構成すると、第１共通アーム部に連結される第１先端側アーム部の剛性が高くなっているため、第１共通アーム部、第１先端側アーム部および第１ハンドを用いてより重い搬送対象物を搬送することが可能になる。また、第２先端側アーム部の剛性が第１先端側アーム部の剛性と同等になっている場合と比較して、産業用ロボットのコストを低減することが可能になる。

【0018】

本発明において、アーム支持部には、第１共通アーム部の基端側が回動可能に連結され、第２共通アーム部の基端は、第１共通アーム部の基端側に固定されていることが好ましい。たとえば、アーム支持部に回動可能に連結される部材を共通アーム部が備えていて、この部材に第１共通アーム部の基端および第２共通アーム部の基端が固定されている場合（すなわち、所定の部材を介して第１共通アーム部がアーム支持部に連結されている場合）には、この部材に対して第１共通アーム部が固定された部分の剛性が低下するおそれがあるが、このように構成すると、第１共通アーム部がアーム支持部に直接連結されているため、このような問題は生じない。

【0019】

本発明において、上下方向から見たときに、第１共通アーム部と第２共通アーム部とがなす角度が９０°となっていることが好ましい。このように構成すると、上下方向から見たときに、第１共通アーム部と第２共通アーム部とがなす角度が鋭角や鈍角になっている場合と比較して、第１共通アーム部および第２共通アーム部の構成を簡素化して、第２共通アーム部の基端を第１共通アーム部の基端側に容易に固定することが可能になる。

【発明の効果】

【0020】

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、マスク等の比較的重い搬送対象物を搬送することが可能であるとともに、ガラス基板等の比較的軽い搬送対象物を効率的に搬送することが可能であっても、産業用ロボットのコストを低減することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【図2】図１に示すアームの内部の構成を説明するための断面図である。

【図3】図１に示すアームの平面図である。

【図4】本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0023】

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示すアーム７の内部の構成を説明するための断面図である。

【0024】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、たとえば、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板２や液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するための水平多関節ロボットである。ロボット１は、ディスプレイの製造システムに組み込まれて使用され、真空中で基板２を搬送する。ディスプレイの製造システムは、複数のプロセスチャンバーを備えている。

【0025】

ロボット１は、プロセスチャンバーに対する基板２の搬送を行う。すなわち、ロボット１は、プロセスチャンバーへの基板２の搬入と、プロセスチャンバーからの基板２の搬出とを行う。プロセスチャンバーでは、ディスプレイを製造するために、基板２の表面を部分的に覆うマスク３を用いた所定の処理が基板２に対して行われる。マスク３は、定期的に洗浄される。マスク３の洗浄は、プロセスチャンバーの外部で行われる。

【0026】

本形態のロボット１は、プロセスチャンバーに対するマスク３の搬送も行う。すなわち、ロボット１は、プロセスチャンバーからのマスク３の搬出と、プロセスチャンバーへのマスク３の搬入とを行う。ロボット１は、たとえば、プロセスチャンバーから搬出した使用済みのマスク３をマスク収容部に搬入するとともに、洗浄済みのマスク３をマスク収容部から搬出してプロセスチャンバーに搬入する。マスク３は、基板２よりも重たくなっている。たとえば、マスク３の重量は、基板２の重量の３０倍以上となっている。本形態の基板２およびマスク３は、ロボット１によって搬送される搬送対象物である。

【0027】

ロボット１は、基板２およびマスク３が搭載されるハンド５と、基板２が搭載されるハンド６と、上下方向を回動の軸方向としてハンド５、６が回動可能に連結されるアーム７と、上下方向を回動の軸方向としてアーム７が回動可能に連結される本体部８とを備えている。ハンド５、６は、アーム７の先端側に回動可能に連結されている。本体部８には、アーム７の基端側が回動可能に連結されている。ロボット１は、通常、２個のハンド５、６によって基板２を搬送し、マスク３の交換を行うときに、ハンド５によってマスク３を搬送する。本形態のハンド５は、第１ハンドであり、ハンド６は、第２ハンドであり、本体部８は、アーム支持部である。

【0028】

アーム７は、ハンド５が回動可能に連結される先端側アーム部１０と、ハンド６が回動可能に連結される先端側アーム部１１と、上下方向を回動の軸方向として先端側アーム部１０、１１が回動可能に連結されるとともに本体部８に回動可能に連結される共通アーム部１２とを備えている。本形態のアーム７は、先端側アーム部１０、１１と共通アーム部１２とによって構成されている。ハンド５は、先端側アーム部１０の先端側に回動可能に連結されている。ハンド６は、先端側アーム部１１の先端側に回動可能に連結されている。本形態の先端側アーム部１０は、第１先端側アーム部であり、先端側アーム部１１は、第２先端側アーム部である。

【0029】

共通アーム部１２には、先端側アーム部１０、１１の基端側が回動可能に連結されている。具体的には、共通アーム部１２は、上下方向から見たときの形状がＶ形状となるように形成されており、Ｖ形状をなす共通アーム部１２の一方の先端側に先端側アーム部１０の基端側が回動可能に連結され、共通アーム部１２の他方の先端側に先端側アーム部１１の基端側が回動可能に連結されている。本体部８には、共通アーム部１２の基端側が回動可能に連結されている。具体的には、Ｖ形状をなす共通アーム部１２の中心部分（頂点部分）が本体部８に回動可能に連結されている。アーム７のより具体的な構成については後述する。

【0030】

ハンド５は、ハンド６よりも下側に配置されている。先端側アーム部１０は、ハンド５よりも下側に配置されている。先端側アーム部１１は、ハンド６よりも上側に配置されている。共通アーム部１２は、先端側アーム部１０よりも下側に配置されている。すなわち、先端側アーム部１０、１１は、共通アーム部１２よりも上側に配置されている。共通アーム部１２は、本体部８よりも上側に配置されている。

【0031】

ハンド５、６は、アーム７に連結される基部１４と、基部１４から水平方向へ突出するフォーク部１５とを備えている。ハンド５の基部１４は、先端側アーム部１０の先端側に回動可能に連結され、ハンド６の基部１４は、先端側アーム部１１の先端側に回動可能に連結されている。フォーク部１５は、基部１４に固定されている。ハンド５のフォーク部１５には、基板２およびマスク３が搭載される。すなわち、ハンド５は、基板２を搬送するとともにマスク３も搬送する。ハンド６のフォーク部１５には、基板２が搭載される。すなわち、ハンド６は、基板２を搬送するがマスク３は搬送しない。

【0032】

ロボット１は、共通アーム部１２に対して先端側アーム部１０を回動させるとともに先端側アーム部１０に対してハンド５を回動させるアーム部駆動機構１６と、共通アーム部１２に対して先端側アーム部１１を回動させるとともに先端側アーム部１１に対してハンド６を回動させるアーム部駆動機構１７とを備えている。また、ロボット１は、本体部８に対して共通アーム部１２を回動させるアーム部駆動機構と、本体部８に対してアーム７を昇降させる昇降機構とを備えている。

【0033】

（アームの具体的な構成）
図３は、図１に示すアーム７の平面図である。

【0034】

上述のように、アーム７は、先端側アーム部１０、１１と共通アーム部１２とによって構成されている。先端側アーム部１０、１１は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となるとともに上下方向の厚さが比較的薄いブロック状に形成されている。先端側アーム部１０、１１は、中空状に形成されている。先端側アーム部１０の厚さ（上下方向の厚さ）ｔ１は一定になっており、先端側アーム部１１の厚さ（上下方向の厚さ）ｔ２は一定になっている。

【0035】

共通アーム部１２は、上述のように、上下方向から見たときの形状がＶ形状となるように形成されている。共通アーム部１２は、中空状に形成されている。共通アーム部１２は、先端側アーム部１０が回動可能に連結される第１共通アーム部２０と、先端側アーム部１１が回動可能に連結される第２共通アーム部２１とを備えている。本形態の共通アーム部１２は、第１共通アーム部２０と第２共通アーム部２１とによって構成されている。

【0036】

第１共通アーム部２０は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となるとともに上下方向の厚さが比較的薄いブロック状に形成されている。第２共通アーム部２１は、上下方向から見たときの形状が細長い略長方形状となるとともに上下方向の厚さが比較的薄いブロック状に形成されている。上下方向から見たときの第２共通アーム部２１の先端の形状は、半円状となっており、上下方向から見たときの第２共通アーム部２１の基端の形状は、直線状となっている。第１共通アーム部２０の厚さ（上下方向の厚さ）は一定になっており、第２共通アーム部２１の厚さ（上下方向の厚さ）は一定になっている。また、第１共通アーム部２０の厚さと第２共通アーム部２１の厚さとが等しくなっている。

【0037】

先端側アーム部１０は、第１共通アーム部２０の先端側に回動可能に連結されている。先端側アーム部１１は、第２共通アーム部２１の先端側に回動可能に連結されている。本体部８には、第１共通アーム部２０の基端側が回動可能に連結されている。第２共通アーム部２１の基端は、第１共通アーム部２０の基端側に固定されている。第１共通アーム部２０と第２共通アーム部２１とは、上下方向において同じ位置に配置されている。上下方向から見たときに、第１共通アーム部２０と第２共通アーム部２１とがなす角度θは９０°となっている。

【0038】

図３に示すように、本体部８に対する共通アーム部１２の回動中心Ｃ１と第１共通アーム部２０に対する先端側アーム部１０の回動中心Ｃ２との水平方向の距離を第１中心間距離Ｌ１とし、第２共通アーム部２１に対する先端側アーム部１１の回動中心Ｃ３と回動中心Ｃ１との水平方向の距離を第２中心間距離Ｌ２とすると、第１中心間距離Ｌ１は、第２中心間距離Ｌ２よりも短くなっている。また、第１共通アーム部２０の長手方向と上下方向とに直交する方向における第１共通アーム部２０の幅を第１共通アーム幅Ｈ１とし、第２共通アーム部２１の長手方向と上下方向とに直交する方向における第２共通アーム部２１の幅を第２共通アーム幅Ｈ２とすると、第１共通アーム幅Ｈ１は、第２共通アーム幅Ｈ２よりも広くなっている。

【0039】

このように、第１中心間距離Ｌ１が第２中心間距離Ｌ２よりも短くなり、かつ、第１共通アーム幅Ｈ１が第２共通アーム幅Ｈ２よりも広くなっているとともに、上述のように、第１共通アーム部２０の厚さと第２共通アーム部２１の厚さとが等しくなっており、共通アーム部１２の、第１共通アーム部２０側の剛性は、共通アーム部１２の、第２共通アーム部２１側の剛性よりも高くなっている。具体的には、共通アーム部１２の、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ２との間の部分の剛性が、共通アーム部１２の、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３との間の部分の剛性よりも高くなっている。

【0040】

また、図３に示すように、先端側アーム部１０に対するハンド５の回動中心Ｃ４と回動中心Ｃ２との水平方向の距離を第３中心間距離Ｌ３とし、先端側アーム部１１に対するハンド６の回動中心Ｃ５と回動中心Ｃ３との水平方向の距離を第４中心間距離Ｌ４とすると、第１中心間距離Ｌ１と第３中心間距離Ｌ３とが等しく、かつ、第２中心間距離Ｌ２と第４中心間距離Ｌ４とが等しくなっている。すなわち、第３中心間距離Ｌ３は、第４中心間距離Ｌ４よりも短くなっている。

【0041】

また、先端側アーム部１０の長手方向と上下方向とに直交する方向における先端側アーム部１０の幅を第１先端側アーム幅Ｈ３とし、先端側アーム部１１の長手方向と上下方向とに直交する方向における先端側アーム部１１の幅を第２先端側アーム幅Ｈ４とすると、第１先端側アーム幅Ｈ３は、第２先端側アーム幅Ｈ４よりも広くなっている。さらに、図２に示すように、先端側アーム部１０の厚さｔ１は、先端側アーム部１１の厚さｔ２よりも厚くなっている。

【0042】

そのため、先端側アーム部１０の剛性は、先端側アーム部１１の剛性よりも高くなっている。具体的には、先端側アーム部１０の、回動中心Ｃ２と回動中心Ｃ４との間の部分の剛性が、先端側アーム部１１の、回動中心Ｃ３と回動中心Ｃ５との間の部分の剛性よりも高くなっている。また、本形態では、先端側アーム部１０の長さ（長手方向の長さ）は、先端側アーム部１１の長さ（長手方向の長さ）よりも短くなっている。

【0043】

アーム７は、本体部８と共通アーム部１２との連結部である関節部２３からハンド５、６の先端（具体的には、フォーク部１５の先端）が離れるように伸びる位置と、ハンド５、６の先端が関節部２３に近づくように縮む位置との間で本体部８に対して伸縮可能となっている。関節部２３からハンド５の先端が離れるように、アーム７の、先端側アーム部１０側の部分が伸びるときには、アーム７の、先端側アーム部１１側の部分は縮んでおり、関節部２３からハンド６の先端が離れるように、アーム７の、先端側アーム部１１側の部分が伸びるときには、アーム７の、先端側アーム部１０側の部分は縮んでいる。本体部８に対してアーム７が伸縮するときには、ハンド５、６は、本体部８に対して一定方向を向いた状態で水平方向に直線的に移動する。

【0044】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第１中心間距離Ｌ１が第２中心間距離Ｌ２よりも短くなっているとともに、第１共通アーム幅Ｈ１が第２共通アーム幅Ｈ２よりも広くなっていて、共通アーム部１２の第１共通アーム部２０側の剛性が、共通アーム部１２の第２共通アーム部２１側の剛性よりも高くなっている。そのため、本形態では、第１共通アーム部２０、先端側アーム部１０およびハンド５を用いて重量の重いマスク３を搬送することが可能になる。

【0045】

また、本形態では、共通アーム部１２の第２共通アーム部２１側の剛性が共通アーム部１２の第１共通アーム部２０側の剛性よりも低くなっているため、第２共通アーム部２１、先端側アーム部１１およびハンド６を用いてマスク３を搬送することは困難であるが、重量の軽い基板２であれば、第２共通アーム部２１、先端側アーム部１１およびハンド６を用いて基板２を搬送することは可能である。すなわち、本形態では、２個のハンド５、６を用いて基板２を搬送することが可能になる。したがって、本形態のロボット１では、重量の軽い基板２を効率良く搬送することが可能になる。

【0046】

また、本形態では、共通アーム部１２の第２共通アーム部２１側の剛性が共通アーム部１２の第１共通アーム部２０側の剛性と同等になっている場合と比較して、ロボット１のコストを低減することが可能になる。すなわち、本形態のロボット１では、重量の重いマスク３を搬送することが可能であるとともに、重量の軽い基板２を効率的に搬送することが可能であっても、ロボット１のコストを低減することが可能になる。

【0047】

本形態では、第３中心間距離Ｌ３が第４中心間距離Ｌ４よりも短くなっており、かつ、第１先端側アーム幅Ｈ３が第２先端側アーム幅Ｈ４よりも広くなっているとともに、先端側アーム部１０の厚さｔ１が先端側アーム部１１の厚さｔ２よりも厚くなっていて、先端側アーム部１０の剛性が先端側アーム部１１の剛性よりも高くなっている。すなわち、本形態では、第１共通アーム部２０に連結される先端側アーム部１０の剛性が高くなっている。そのため、本形態では、第１共通アーム部２０、先端側アーム部１０およびハンド５を用いてより重いマスク３を搬送することが可能になる。また、本形態では、先端側アーム部１１の剛性が先端側アーム部１０の剛性と同等になっている場合と比較して、ロボット１のコストを低減することが可能になる。

【0048】

本形態では、本体部８に、第１共通アーム部２０の基端側が回動可能に連結され、第２共通アーム部２１の基端は、第１共通アーム部２０の基端側に固定されている。たとえば、本体部８に回動可能に連結される部材を共通アーム部１２が備えていて、この部材に第１共通アーム部２０の基端および第２共通アーム部２１の基端が固定されている場合（すなわち、所定の部材を介して第１共通アーム部２０が本体部８に連結されている場合）には、この部材に対して第１共通アーム部２０が固定された部分の剛性が低下するおそれがあるが、本形態では、第１共通アーム部２０が本体部８に直接連結されているため、このような問題は生じない。

【0049】

本形態では、上下方向から見たときに、第１共通アーム部２０と第２共通アーム部２１とがなす角度θは９０°となっている。そのため、本形態では、角度θが鋭角や鈍角になっている場合と比較して、第１共通アーム部２０および第２共通アーム部２１の構成を簡素化して、第２共通アーム部２１の基端を第１共通アーム部２０の基端側に容易に固定することが可能になる。

【0050】

（産業用ロボットの変更例）
図４は、本発明の他の実施の形態にかかるロボット１の平面図である。

【0051】

上述した形態において、ロボット１は、図４に示すように、アーム７の基端側が回動可能に連結されるとともに本体部８に回動可能に連結されるスイングアーム２５を備えていても良い。図４に示す変更例では、スイングアーム２５は、アーム７の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部となっている。スイングアーム２５は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となるとともに上下方向の厚さが比較的薄いブロック状に形成されている。アーム７の基端側は、スイングアーム２５の先端側に連結されている。本体部８には、スイングアーム２５の基端側が連結されている。

【0052】

スイングアーム２５は、アーム７より下側に配置されるとともに本体部８より上側に配置されている。アーム７は、上下方向を回動の軸方向としてスイングアーム２５に対して回動可能となっている。スイングアーム２５は、上下方向を回動の軸方向として本体部８に対して回動可能となっている。ロボット１は、スイングアーム２５に対して共通アーム部１２を回動させるアーム部駆動機構と、本体部８に対してスイングアーム２５を回動させるアーム部駆動機構と、本体部８に対してスイングアーム２５を昇降させる昇降機構とを備えている。

【0053】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0054】

上述した形態において、第１共通アーム部２０の厚さが第２共通アーム部２１の厚さより厚くなっていても良い。また、上述した形態において、第１中心間距離Ｌ１が第２中心間距離Ｌ２よりも短くなっていて、共通アーム部１２の第１共通アーム部２０側の剛性が共通アーム部１２の第２共通アーム部２１側の剛性よりも高くなっているのであれば、第１共通アーム幅Ｈ１と第２共通アーム幅Ｈ２とが等しくなっていても良い。また、上述した形態において、第１共通アーム幅Ｈ１が第２共通アーム幅Ｈ２よりも広くなっていて、共通アーム部１２の第１共通アーム部２０側の剛性が共通アーム部１２の第２共通アーム部２１側の剛性よりも高くなっているのであれば、第１中心間距離Ｌ１と第２中心間距離Ｌ２とが等しくなっていても良い。

【0055】

すなわち、少なくとも、第１中心間距離Ｌ１が第２中心間距離Ｌ２よりも短くなっているか、または、第１共通アーム幅Ｈ１が第２共通アーム幅Ｈ２よりも広くなっていて、共通アーム部１２の第１共通アーム部２０側の剛性が共通アーム部１２の第２共通アーム部２１側の剛性よりも高くなっていれば良い。ただし、上述した形態のように、第１中心間距離Ｌ１が第２中心間距離Ｌ２よりも短くなっているとともに、第１共通アーム幅Ｈ１が第２共通アーム幅Ｈ２よりも広くなっていれば、共通アーム部１２の第１共通アーム部２０側の剛性をより高めることが可能になる。そのため、上述した形態では、第１共通アーム部２０、先端側アーム部１０およびハンド５を用いてより重いマスク３を搬送することが可能になる。

【0056】

上述した形態において、先端側アーム部１０の剛性が先端側アーム部１１の剛性よりも高くなっているのであれば、第３中心間距離Ｌ３と第４中心間距離Ｌ４とが等しくなっていても良いし、第１先端側アーム幅Ｈ３と第２先端側アーム幅Ｈ４とが等しくなっていても良いし、先端側アーム部１０の厚さｔ１と先端側アーム部１１の厚さｔ２とが等しくなっていても良い。また、上述した形態において、先端側アーム部１１の剛性が先端側アーム部１０の剛性と同等となっていても良い。

【0057】

上述した形態において、共通アーム部１２は、本体部８に回動可能に連結されるアーム基部を備えていても良い。この場合には、たとえば、第１共通アーム部２０の基端および第２共通アーム部２１の基端がこのアーム基部に固定されている。また、上述した形態において、上下方向から見たときに、第１共通アーム部２０と第２共通アーム部２１とがなす角度θは、鈍角になっていても良いし、鋭角になっていても良い。また、上述した形態において、基板２およびマスク３以外の搬送対象物がハンド５によって搬送されても良いし、基板２以外の搬送対象物がハンド６によって搬送されても良い。

【符号の説明】

【0058】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
３ マスク（搬送対象物）
５ ハンド（第１ハンド）
６ ハンド（第２ハンド）
７ アーム
８ 本体部（アーム支持部）
１０ 先端側アーム部（第１先端側アーム部）
１１ 先端側アーム部（第２先端側アーム部）
１２ 共通アーム部
２０ 第１共通アーム部
２１ 第２共通アーム部
２５ スイングアーム（アーム支持部）
Ｃ１ アーム支持部に対する共通アーム部の回動中心
Ｃ２ 第１共通アーム部に対する第１先端側アーム部の回動中心
Ｃ３ 第２共通アーム部に対する第２先端側アーム部の回動中心
Ｃ４ 第１先端側アーム部に対する第１ハンドの回動中心
Ｃ５ 第２先端側アーム部に対する第２ハンドの回動中心
Ｌ１ 第１中心間距離
Ｌ２ 第２中心間距離
Ｌ３ 第３中心間距離
Ｌ４ 第４中心間距離
Ｈ１ 第１共通アーム幅
Ｈ２ 第２共通アーム幅
Ｈ３ 第１先端側アーム幅
Ｈ４ 第２先端側アーム幅
ｔ１ 第１先端側アーム部の上下方向の厚さ
ｔ２ 第２先端側アーム部の上下方向の厚さ
θ 第１共通アーム部と第２共通アーム部とがなす角度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】