(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023078784
(43)【公開日】2023-06-07
(54)【発明の名称】チャンバ及び表面処理方法
(51)【国際特許分類】
C23C 16/511 20060101AFI20230531BHJP
【ＦＩ】
C23C16/511
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021192058
(22)【出願日】2021-11-26
(71)【出願人】
【識別番号】000000376
【氏名又は名称】オリンパス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】藤原 卓矢
(72)【発明者】
【氏名】葛西 広明
(72)【発明者】
【氏名】村野 由
(72)【発明者】
【氏名】淡路 陽介
【テーマコード（参考）】
4K030
【Ｆターム（参考）】
4K030CA16
4K030FA01
4K030GA01
4K030KA10
(57)【要約】
【課題】少ない作業工数で、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すこと。
【解決手段】チャンバ１０は、棒状体ＴＵの外面に表面処理を施すために用いられる。このチャンバ１０は、第１の外装と、第１の外装に対して組み合わされることによって第１の外装との間で表面処理を施すための処理室ＴＲを形成する第２の外装１３と、第１の外装における第２の外装との合わせ面に設けられる第１のパッキンと、第２の外装１３における第１の外装との合わせ面に設けられ、第１の外装と第２の外装とが組み合わされて棒状体ＴＵが装填された状態で、第１のパッキンとともに処理室ＴＲの気密状態を維持する第２のパッキン１４とを備える。第１のパッキン及び第２のパッキン１４には、合わせて棒状体ＴＵを気密に挟み込む溝１４Ａがそれぞれ設けられている。
【選択図】図２
【解決手段】チャンバ１０は、棒状体ＴＵの外面に表面処理を施すために用いられる。このチャンバ１０は、第１の外装と、第１の外装に対して組み合わされることによって第１の外装との間で表面処理を施すための処理室ＴＲを形成する第２の外装１３と、第１の外装における第２の外装との合わせ面に設けられる第１のパッキンと、第２の外装１３における第１の外装との合わせ面に設けられ、第１の外装と第２の外装とが組み合わされて棒状体ＴＵが装填された状態で、第１のパッキンとともに処理室ＴＲの気密状態を維持する第２のパッキン１４とを備える。第１のパッキン及び第２のパッキン１４には、合わせて棒状体ＴＵを気密に挟み込む溝１４Ａがそれぞれ設けられている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
棒状体の外面に表面処理を施すために用いられるチャンバであって、
第１の外装と、
前記第１の外装に対して組み合わされることによって前記第１の外装との間で前記表面処理を施すための処理室を形成する第２の外装と、
前記第１の外装における前記第２の外装との合わせ面に設けられる第１のパッキンと、
前記第２の外装における前記第１の外装との合わせ面に設けられ、前記第１の外装と前記第２の外装とが組み合わされて前記棒状体が装填された状態で、前記第１のパッキンとともに前記処理室の気密状態を維持する第２のパッキンと、を備え、
前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンには、
合わせて前記棒状体を気密に挟み込む溝がそれぞれ設けられているチャンバ。
第１の外装と、
前記第１の外装に対して組み合わされることによって前記第１の外装との間で前記表面処理を施すための処理室を形成する第２の外装と、
前記第１の外装における前記第２の外装との合わせ面に設けられる第１のパッキンと、
前記第２の外装における前記第１の外装との合わせ面に設けられ、前記第１の外装と前記第２の外装とが組み合わされて前記棒状体が装填された状態で、前記第１のパッキンとともに前記処理室の気密状態を維持する第２のパッキンと、を備え、
前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンには、
合わせて前記棒状体を気密に挟み込む溝がそれぞれ設けられているチャンバ。
【請求項2】
前記棒状体は、
チューブであり、
前記溝の内形形状は、
前記チューブの外形形状に倣う形状によって構成されている請求項１に記載のチャンバ。
チューブであり、
前記溝の内形形状は、
前記チューブの外形形状に倣う形状によって構成されている請求項１に記載のチャンバ。
【請求項3】
前記第１の外装と前記第２の外装との少なくとも一方の外装には、
前記溝への前記棒状体の設置を案内するガイド部材が設けられている請求項１または２に記載のチャンバ。
前記溝への前記棒状体の設置を案内するガイド部材が設けられている請求項１または２に記載のチャンバ。
【請求項4】
前記ガイド部材における前記溝の延在方向の延長線上には、
前記棒状体が挿通されるガイド用溝が設けられ、
前記ガイド用溝は、
前記ガイド用溝の開口に向かうにしたがって幅寸法が拡がる形状を有している請求項３に記載のチャンバ。
前記棒状体が挿通されるガイド用溝が設けられ、
前記ガイド用溝は、
前記ガイド用溝の開口に向かうにしたがって幅寸法が拡がる形状を有している請求項３に記載のチャンバ。
【請求項5】
前記ガイド部材における前記溝の延在方向の延長線上には、
前記棒状体が挿通されるガイド用溝が設けられ、
前記ガイド用溝の底位置は、
前記溝の底位置よりも前記少なくとも一方の外装側に位置する請求項３または４に記載のチャンバ。
前記棒状体が挿通されるガイド用溝が設けられ、
前記ガイド用溝の底位置は、
前記溝の底位置よりも前記少なくとも一方の外装側に位置する請求項３または４に記載のチャンバ。
【請求項6】
前記溝は、
複数設けられている請求項１～５のいずれか１つに記載のチャンバ。
複数設けられている請求項１～５のいずれか１つに記載のチャンバ。
【請求項7】
複数の前記溝の少なくとも１つの溝は、
他の溝に対して、前記表面処理を施すための表面処理源から、設置される前記棒状体までの距離が異なる状態で設けられている請求項６に記載のチャンバ。
他の溝に対して、前記表面処理を施すための表面処理源から、設置される前記棒状体までの距離が異なる状態で設けられている請求項６に記載のチャンバ。
【請求項8】
前記表面処理は、
プラズマによる表面改質である請求項１～７のいずれか１つに記載のチャンバ。
プラズマによる表面改質である請求項１～７のいずれか１つに記載のチャンバ。
【請求項9】
請求項１～８のいずれか１つに記載のチャンバを用いて棒状体の外面に表面処理を施す表面処理方法であって、
前記棒状体を前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの一方のパッキンの前記溝に嵌め込む工程と、
前記第１の外装と前記第２の外装とを組み合わせることによって、前記一方のパッキンの前記溝と前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの他方のパッキンの前記溝との間で前記棒状体を挟み込む工程と、を備える表面処理方法。
前記棒状体を前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの一方のパッキンの前記溝に嵌め込む工程と、
前記第１の外装と前記第２の外装とを組み合わせることによって、前記一方のパッキンの前記溝と前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの他方のパッキンの前記溝との間で前記棒状体を挟み込む工程と、を備える表面処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、チャンバ及び表面処理方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、例えばチューブやケーブルといった棒状体の外面に表面処理を施すために用いられるチャンバにおいて、以下に示すパッキンを用いた技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のチャンバは、棒状体である光ファイバ心線の端面に薄膜を形成するための処理室を有する。そして、パッキンは、当該チャンバにおいて、当該処理室を気密状態に維持するために用いられる。具体的に、パッキンは、チャンバの外装を構成する蓋板と中間リングとの間に介装される。また、パッキンには、当該パッキンの幅方向に貫通し、光ファイバ心線の直径に見合った孔径の貫通孔と、当該パッキンの上面または下面から当該貫通孔に至る切込みとが設けられている。
特許文献１に記載のチャンバは、棒状体である光ファイバ心線の端面に薄膜を形成するための処理室を有する。そして、パッキンは、当該チャンバにおいて、当該処理室を気密状態に維持するために用いられる。具体的に、パッキンは、チャンバの外装を構成する蓋板と中間リングとの間に介装される。また、パッキンには、当該パッキンの幅方向に貫通し、光ファイバ心線の直径に見合った孔径の貫通孔と、当該パッキンの上面または下面から当該貫通孔に至る切込みとが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第３６３３９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載の技術では、蓋体と中間リングとの間に設けた１つのみのパッキンを通して光ファイバ心線の端面を処理室内に配置するために、当該パッキンに上述した貫通孔及び切込みを設けている。そして、このような構成では、当該パッキンの切込みを開いて光ファイバ心線を貫通孔まで導くのに工数がかかり、また処理室の減圧時において、貫通孔及び切込みと光ファイバ心線との間の隙間をパッキンの弾性力のみでは小さくすることが難しく、当該処理室の気密状態を十分に維持することができない、という問題がある。
そこで、作業工数を削減するとともに、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すことができる技術が要望されている。
そこで、作業工数を削減するとともに、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すことができる技術が要望されている。
【0005】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、少ない作業工数で、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すことができるチャンバ及び表面処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るチャンバは、棒状体の外面に表面処理を施すために用いられるチャンバであって、第１の外装と、前記第１の外装に対して組み合わされることによって前記第１の外装との間で前記表面処理を施すための処理室を形成する第２の外装と、前記第１の外装における前記第２の外装との合わせ面に設けられる第１のパッキンと、前記第２の外装における前記第１の外装との合わせ面に設けられ、前記第１の外装と前記第２の外装とが組み合わされて前記棒状体が装填された状態で、前記第１のパッキンとともに前記処理室の気密状態を維持する第２のパッキンと、を備え、前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンには、合わせて前記棒状体を気密に挟み込む溝がそれぞれ設けられている。
【0007】
本発明に係る表面処理方法は、上述したチャンバを用いて棒状体の外面に表面処理を施す表面処理方法であって、前記棒状体を前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの一方のパッキンの前記溝に嵌め込む工程と、前記第１の外装と前記第２の外装とを組み合わせることによって、前記一方のパッキンの前記溝と前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの他方のパッキンの前記溝との間で前記棒状体を挟み込む工程と、を備える。
【発明の効果】
【0008】
本発明に係るチャンバ及び表面処理方法によれば、少ない作業工数で、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施の形態）について説明する。なお、以下に説明する実施の形態によって本発明が限定されるものではない。さらに、図面の記載において、同一の部分には同一の符号を付している。
【0011】
（実施の形態１）
〔表面処理システムの概略構成〕
図１は、実施の形態に係る表面処理装置１を示す図である。
表面処理装置１は、棒状体の外面に表面処理を施す装置である。ここで、本実施の形態では、棒状体として、直線状に延在する断面円形状または断面楕円形状のチューブＴＵ（図２参照）を採用している。なお、当該チューブＴＵとしては、カテーテル、送液チューブ、送気チューブ、内視鏡の被覆チューブ、及び内視鏡チャネルチューブ等を含む柔軟な医療用チューブや医療用パイプを例示することができる。また、本実施の形態に係る表面処理は、プラズマによる表面改質である。当該表面処理によって、チューブＴＵの表面を改質し、当該表面に対して塗膜等を付着させる際の接着力を向上させている。
〔表面処理システムの概略構成〕
図１は、実施の形態に係る表面処理装置１を示す図である。
表面処理装置１は、棒状体の外面に表面処理を施す装置である。ここで、本実施の形態では、棒状体として、直線状に延在する断面円形状または断面楕円形状のチューブＴＵ（図２参照）を採用している。なお、当該チューブＴＵとしては、カテーテル、送液チューブ、送気チューブ、内視鏡の被覆チューブ、及び内視鏡チャネルチューブ等を含む柔軟な医療用チューブや医療用パイプを例示することができる。また、本実施の形態に係る表面処理は、プラズマによる表面改質である。当該表面処理によって、チューブＴＵの表面を改質し、当該表面に対して塗膜等を付着させる際の接着力を向上させている。
【0012】
この表面処理装置１は、図１に示すように、チャンバ１０と、マイクロ波供給部２０と、ガス供給部３０と、排気部４０とを備える。
チャンバ１０は、図１に示すように、チューブＴＵの外面に表面処理を施すための処理室ＴＲを有する。また、チャンバ１０には、処理室ＴＲの内壁の一部を構成する平板状の誘電体ＤＩと、当該処理室ＴＲ内と当該チャンバ１０外とをそれぞれ連通する排気口Ｏ１及びガス供給口Ｏ２が設けられている。
なお、チャンバ１０の詳細な構成については、後述する「チャンバの構成」において説明する。
チャンバ１０は、図１に示すように、チューブＴＵの外面に表面処理を施すための処理室ＴＲを有する。また、チャンバ１０には、処理室ＴＲの内壁の一部を構成する平板状の誘電体ＤＩと、当該処理室ＴＲ内と当該チャンバ１０外とをそれぞれ連通する排気口Ｏ１及びガス供給口Ｏ２が設けられている。
なお、チャンバ１０の詳細な構成については、後述する「チャンバの構成」において説明する。
【0013】
マイクロ波供給部２０は、処理室ＴＲ内にプラズマを発生させるプラズマ源である。本実施の形態では、当該プラズマ種として、２．４５ＧＨｚマイクロ波電源を用いた、マイクロ波励起表面波プラズマ（ＳＷＰ：Surface Wave Plasma）を採用している。なお、当該プラズマ種としては、マイクロ波励起表面波プラズマに限らず、用途に応じて例えば、容量結合型プラズマ（ＣＣＰ：Capacitively Coupled Plasma）、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ：Inductively Coupled Plasma）、電子サイクロトン共鳴プラズマ（ＥＣＰ：Electron Cyclotron Resonance Plasma）、及びヘリコン波励起プラズマ（ＨＷＰ：Helicon Wave Plasma）等を採用しても構わない。
【0014】
このマイクロ波供給部２０は、図１に示すように、マイクロ波を発生させるマイクロ波源２１と、当該マイクロ波源２１が発生させたマイクロ波を伝送する導波路２２とを備える。そして、導波路２２によって伝送されたマイクロ波は、誘電体ＤＩを通して処理室ＴＲ内に伝送される。これによって、当該誘電体ＤＩにおける処理室ＴＲ内に面する表面に表面波という電磁波モードが生成され、当該誘電体ＤＩ表面のガスがプラズマ化される。ここで発生したプラズマは連鎖的に処理室ＴＲ内のガスをプラズマ化する。処理室ＴＲ内に設置されたチューブＴＵの外面はプラズマによる表面改質が行われる。すなわち、誘電体ＤＩの表面は、プラズマ発生源であり、本発明に係る表面処理源に相当する。なお、本実施の形態では、本発明に係る表面処理源をプラズマ発生源としているが、例えば本発明に係る表面処理が真空蒸着である場合には当該表面処理源は蒸着源に相当する。
【0015】
ガス供給部３０は、プラズマ化されるガスを供給するガスソース（図示略）、及び当該ガスの流量を調整する流量制御器（図示略）等を備え、ガス供給口Ｏ２を通して処理室ＴＲ内にプラズマ化されるガスを供給する。本実施の形態では、当該ガスとして、アルゴンガスを採用している。なお、当該ガスとしては、酸素、窒素、これらとアルゴンを混合させたもの、水素とアルゴンを混合させたもの等を採用しても構わない。
排気部４０は、真空ポンプ（図示略）及び圧力弁（図示略）等を備え、排気口Ｏ１を通して処理室ＴＲ内のガスを排気することによって、当該処理室ＴＲ内を減圧する（大気圧よりも低い圧力に設定する）。
排気部４０は、真空ポンプ（図示略）及び圧力弁（図示略）等を備え、排気口Ｏ１を通して処理室ＴＲ内のガスを排気することによって、当該処理室ＴＲ内を減圧する（大気圧よりも低い圧力に設定する）。
【0016】
なお、以上説明したマイクロ波供給部２０、ガス供給部３０、及び排気部４０の動作の少なくとも一部を独立した制御部（図示略）によって制御しても構わない。当該制御部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）等のコントローラ、または、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の集積回路を含むことができる。
【0017】
〔チャンバの構成〕
次に、チャンバ１０の構成について説明する。
以下では、チャンバ１０の構成を説明するにあたって、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸のＸＹＺ座標軸を用いる。ここで、Ｚ軸は、鉛直軸である（＋Ｚ軸側：上方側（図１の上方側）、－Ｚ軸側：下方側（図１の下方側））。
図２及び図３は、チャンバ１０の構成を説明する図である。具体的に、図２は、チャンバ１０を＋Ｚ軸側から見た上面図である。なお、図２では、説明の便宜上、第１の外装１１及び第１のパッキン１２の図示を省略している。図３は、図２のIII-III線の位置でチャンバ１０を切断した断面図である。
次に、チャンバ１０の構成について説明する。
以下では、チャンバ１０の構成を説明するにあたって、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸のＸＹＺ座標軸を用いる。ここで、Ｚ軸は、鉛直軸である（＋Ｚ軸側：上方側（図１の上方側）、－Ｚ軸側：下方側（図１の下方側））。
図２及び図３は、チャンバ１０の構成を説明する図である。具体的に、図２は、チャンバ１０を＋Ｚ軸側から見た上面図である。なお、図２では、説明の便宜上、第１の外装１１及び第１のパッキン１２の図示を省略している。図３は、図２のIII-III線の位置でチャンバ１０を切断した断面図である。
【0018】
チャンバ１０は、図２及び図３に示すように、第１の外装１１（図３）と、第１のパッキン１２（図３）と、第２の外装１３と、第２のパッキン１４と、一対のガイド部材１５とを備える。
第１の外装１１は、気密に構成されたステンレス鋼等の金属材料からなる有底四角筒形状を有する。この第１の外装１１には、図１に示すように、導波路２２の一部が設けられているとともに、底部分に誘電体ＤＩが設けられている。そして、第１の外装１１は、－Ｚ軸側（下方側）に開口した姿勢で第２の外装１３に対して組み合わされる。ここで、第１の外装１１において、第２の外装１３と組み合わされる面１１１（図３、以下、第１の外装側合わせ面１１１と記載）は、平坦面であり、本発明に係る合わせ面に相当する。
第１の外装１１は、気密に構成されたステンレス鋼等の金属材料からなる有底四角筒形状を有する。この第１の外装１１には、図１に示すように、導波路２２の一部が設けられているとともに、底部分に誘電体ＤＩが設けられている。そして、第１の外装１１は、－Ｚ軸側（下方側）に開口した姿勢で第２の外装１３に対して組み合わされる。ここで、第１の外装１１において、第２の外装１３と組み合わされる面１１１（図３、以下、第１の外装側合わせ面１１１と記載）は、平坦面であり、本発明に係る合わせ面に相当する。
【0019】
第１のパッキン１２は、弾性部材により構成された矩形の環形状を有し、第１の外装側合わせ面１１１上に設けられている。ここで、第１のパッキン１２は、第１の外装側合わせ面１１１上に接着されていてもよく、あるいは、接着されておらず、取り外し可能に設けられていても構わない。なお、第１のパッキン１２を構成する材料としては、シリコーンゴム、ニトリルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、アクリルゴム、イソプレンゴム、スチレンゴム、クロロプレンゴム、ブタジエンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、天然ゴム、及び合成天然ゴム等を例示することができる。
【0020】
第２の外装１３は、気密に構成されたステンレス鋼等の金属材料からなる有底四角筒形状を有し、＋Ｚ軸側（上方側）に開口した姿勢で設置される。この第２の外装１３には、図１に示すように、当該第２の外装１３内外を連通する排気口Ｏ１及びガス供給口Ｏ２が設けられている。一方、第１の外装１１は、第２の外装１３に対して移動可能に構成され、－Ｚ軸側（下方側）に開口した姿勢で第２の外装１３に対して組み合わされる。そして、第２の外装１３は、第１の外装１１に対して組み合わされることによって当該第１の外装１１との間で処理室ＴＲ（図２）を形成する。ここで、第２の外装１３において、第１の外装側合わせ面１１１と組み合わされる面１３１（図３、以下、第２の外装側合わせ面１３１と記載）は、平坦面であり、本発明に係る合わせ面に相当する。
【0021】
第２のパッキン１４は、第１のパッキン１２と同様に弾性部材により形成された矩形の環形状を有し、第２の外装側合わせ面１３１上に設けられている。ここで、第２のパッキン１４は、第２の外装側合わせ面１３１上に接着されていてもよく、あるいは、接着されておらず、取り外し可能に設けられていても構わない。そして、第２のパッキン１４は、第１，第２の外装１１，１３が組み合わされてチューブＴＵが装填された状態で、第１のパッキン１２に対して密着し、当該第１のパッキン１２とともに処理室ＴＲの気密状態を維持する。この第２のパッキン１４を構成する材料としては、上述した第１のパッキン１２を構成する材料と同様に、シリコーンゴム、ニトリルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、アクリルゴム、イソプレンゴム、スチレンゴム、クロロプレンゴム、ブタジエンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、天然ゴム、及び合成天然ゴム等を例示することができる。なお、第１，第２のパッキン１２，１４を構成する材料としては、同一の材料であってもよいし、異なる材料であっても構わない。
【0022】
本実施の形態では、第２のパッキン１４において、第１，第２の外装１１，１３が組み合わされた状態で、第１のパッキン１２に対して密着する面１４１（図２，図３、以下、第２のパッキン側合わせ面１４１と記載）は、同一平面（ＸＹ平面）上に位置する。そして、第２のパッキン側合わせ面１４１において、Ｙ軸に沿って互いに対向する各辺縁には、図２または図３に示すように、当該Ｙ軸に沿ってそれぞれ延在し、チューブＴＵの外形形状にそれぞれ倣う断面略半円弧状の一組の第２の溝１４Ａが形成されている。本実施の形態では、第２の溝１４Ａは、五組設けられ、Ｘ軸に沿って並列している。
なお、第２の溝１４Ａの数は、五組に限らず、一組であってもよく、その他の複数組であっても構わない。
なお、第２の溝１４Ａの数は、五組に限らず、一組であってもよく、その他の複数組であっても構わない。
【0023】
また、本実施の形態では、第１のパッキン１２において、第１，第２の外装１１，１３が組み合わされた状態で、第２のパッキン側合わせ面１４１に対して密着する面１２１（図３、以下、第１のパッキン側合わせ面１２１と記載）は、当該第２のパッキン側合わせ面１４１と同様に、同一平面（ＸＹ平面）上に位置する。そして、第１のパッキン側合わせ面１２１において、五組の第２の溝１４Ａにそれぞれ対向する位置には、当該第２の溝１４Ａと同様にチューブＴＵの外形形状にそれぞれ倣う断面略半円弧状の第１の溝１２Ａが形成されている。
なお、第１の溝１２Ａの数は、第２の溝１４Ａの数と同一の数であれば、五組に限らず、一組であってもよく、その他の複数組であっても構わない。
以上説明した第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａは、本発明に係る溝に相当する。
なお、第１の溝１２Ａの数は、第２の溝１４Ａの数と同一の数であれば、五組に限らず、一組であってもよく、その他の複数組であっても構わない。
以上説明した第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａは、本発明に係る溝に相当する。
【0024】
図４は、第２の溝１４Ａとガイド用溝１５Ａとの位置関係を示す図である。
一対のガイド部材１５は、図２に示すように、第２の外装１３の＋Ｚ軸側（上方側）の面において、第２のパッキン１４のＹ軸に沿って互いに対向する各辺縁を当該Ｙ軸方向の両側から挟む位置にそれぞれ立設され、Ｘ軸方向に沿って直線状にそれぞれ延在する。そして、これら一対のガイド部材１５は、第２の溝１４ＡへのチューブＴＵの設置（嵌め込み）を案内する。
一対のガイド部材１５は、図２に示すように、第２の外装１３の＋Ｚ軸側（上方側）の面において、第２のパッキン１４のＹ軸に沿って互いに対向する各辺縁を当該Ｙ軸方向の両側から挟む位置にそれぞれ立設され、Ｘ軸方向に沿って直線状にそれぞれ延在する。そして、これら一対のガイド部材１５は、第２の溝１４ＡへのチューブＴＵの設置（嵌め込み）を案内する。
【0025】
具体的に、ガイド部材１５には、図２または図４に示すように、当該ガイド部材１５における＋Ｚ軸方向の端縁から－Ｚ軸方向に切り欠かれ、第２の溝１４Ａの延在方向の延長線上に位置し、チューブＴＵが挿通されるガイド用溝１５Ａが設けられている。本実施の形態では、ガイド用溝１５Ａは、第２の溝１４Ａと同様に五組設けられ、Ｘ軸に沿って並列している。
このガイド用溝１５Ａは、図４に示すように、当該ガイド用溝１５Ａの開口に向かうにしたがって幅寸法が拡がる形状を有している。また、ガイド用溝１５Ａの底位置は、第２の溝１４Ａよりも第２の外装１３側（－Ｚ軸側）に位置する。
チューブＴＵは、ガイド用溝１５Ａの拡がった開口からスムーズに当該ガイド用溝１５Ａの中に誘導され、この誘導により自然と第２の溝１４Ａに嵌合する。このため、第２の溝１４ＡにチューブＴＵを嵌合させるのが容易である。
このガイド用溝１５Ａは、図４に示すように、当該ガイド用溝１５Ａの開口に向かうにしたがって幅寸法が拡がる形状を有している。また、ガイド用溝１５Ａの底位置は、第２の溝１４Ａよりも第２の外装１３側（－Ｚ軸側）に位置する。
チューブＴＵは、ガイド用溝１５Ａの拡がった開口からスムーズに当該ガイド用溝１５Ａの中に誘導され、この誘導により自然と第２の溝１４Ａに嵌合する。このため、第２の溝１４ＡにチューブＴＵを嵌合させるのが容易である。
【0026】
〔表面処理方法〕
次に、上述した表面処理装置１を用いてチューブＴＵの外面に対して表面処理を施す表面処理方法について説明する。
先ず、作業者は、表面処理の対象となる五本のチューブＴＵを五組のガイド用溝１５Ａにおける＋Ｚ軸側（上方側）の開口から当該ガイド用溝１５Ａにそれぞれ挿入する。これによって、チューブＴＵは、第２の溝１４Ａに設置される（嵌め込まれる）。また、この状態では、チューブＴＵの両端部分は、図３に示すように、ガイド用溝１５Ａにそれぞれ設置され、処理室ＴＲ外にそれぞれ位置する。なお、表面処理の対象となるチューブＴＵが五本に満たない場合には、不足を補うためにダミーのチューブを用いる。
次に、上述した表面処理装置１を用いてチューブＴＵの外面に対して表面処理を施す表面処理方法について説明する。
先ず、作業者は、表面処理の対象となる五本のチューブＴＵを五組のガイド用溝１５Ａにおける＋Ｚ軸側（上方側）の開口から当該ガイド用溝１５Ａにそれぞれ挿入する。これによって、チューブＴＵは、第２の溝１４Ａに設置される（嵌め込まれる）。また、この状態では、チューブＴＵの両端部分は、図３に示すように、ガイド用溝１５Ａにそれぞれ設置され、処理室ＴＲ外にそれぞれ位置する。なお、表面処理の対象となるチューブＴＵが五本に満たない場合には、不足を補うためにダミーのチューブを用いる。
【0027】
次に、作業者は、第１の外装１１を第２の外装１３に対して組み合わせる。これによって、第１，第２のパッキン１２，１４同士が密着し、第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａは、チューブＴＵを挟み込む。なお、第１のパッキン１２が第１の外装側合わせ面１１１上に接着されていない場合には、第２のパッキン１４に第１のパッキン１２を被せてから、第１の外装１１を第２の外装１３に対して組み合わせる。ここで、チューブＴＵは、上述したように、直線形状を有し、誘電体ＤＩの表面（本発明に係る表面処理源）からの距離が同一の状態で設置される。すなわち、本実施の形態では、第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａは、誘電体ＤＩの表面から、設置されるチューブＴＵまでの距離が同一となる状態で設けられている。
【0028】
次に、作業者は、排気部４０を動作させ、排気口Ｏ１を通して、処理室ＴＲ内を減圧する（大気圧よりも低い圧力に設定する）。
次に、作業者は、ガス供給部３０を動作させ、ガス供給口Ｏ２を通して、処理室ＴＲ内にプラズマ化されるガスを導入する。
次に、作業者は、マイクロ波供給部２０を動作させ、処理室ＴＲ内に設置されたチューブＴＵの外面に対してプラズマによる表面改質を行う。
そして、五本チューブＴＵの外面に対して表面処理が施された後、作業者は、第２の外装１３から第１の外装１１を取り外すとともに、当該五本のチューブＴＵを取り外す。
次に、作業者は、ガス供給部３０を動作させ、ガス供給口Ｏ２を通して、処理室ＴＲ内にプラズマ化されるガスを導入する。
次に、作業者は、マイクロ波供給部２０を動作させ、処理室ＴＲ内に設置されたチューブＴＵの外面に対してプラズマによる表面改質を行う。
そして、五本チューブＴＵの外面に対して表面処理が施された後、作業者は、第２の外装１３から第１の外装１１を取り外すとともに、当該五本のチューブＴＵを取り外す。
【0029】
以上説明した本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
本実施の形態に係るチャンバ１０では、第１，第２のパッキン１２，１４には、チューブＴＵを挟み込む第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａがそれぞれ設けられている。
このため、処理室ＴＲの減圧時には、チューブＴＵと第１の溝１２Ａとの隙間に存在する空気と、当該チューブＴＵと第２の溝１４Ａとの隙間に存在する空気とがそれぞれ吸引され、第１，第２のパッキン１２，１４が互いに近付く方向（Ｚ軸方向）に近接する。すなわち、チューブＴＵと第１の溝１２Ａとを密着させるとともに、当該チューブＴＵと第２の溝１４Ａとを密着させることができ、処理室ＴＲの気密状態を十分に維持することができる。
したがって、本実施の形態に係るチャンバ１０によれば、処理室ＴＲの気密状態を十分に維持しつつ、チューブＴＵの外面に表面処理を良好に施すことができる。
本実施の形態に係るチャンバ１０では、第１，第２のパッキン１２，１４には、チューブＴＵを挟み込む第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａがそれぞれ設けられている。
このため、処理室ＴＲの減圧時には、チューブＴＵと第１の溝１２Ａとの隙間に存在する空気と、当該チューブＴＵと第２の溝１４Ａとの隙間に存在する空気とがそれぞれ吸引され、第１，第２のパッキン１２，１４が互いに近付く方向（Ｚ軸方向）に近接する。すなわち、チューブＴＵと第１の溝１２Ａとを密着させるとともに、当該チューブＴＵと第２の溝１４Ａとを密着させることができ、処理室ＴＲの気密状態を十分に維持することができる。
したがって、本実施の形態に係るチャンバ１０によれば、処理室ＴＲの気密状態を十分に維持しつつ、チューブＴＵの外面に表面処理を良好に施すことができる。
【0030】
ここで、本出願人は、第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａを設けていないチャンバにおいて、チューブＴＵを設置しない状態で処理室ＴＲの減圧を行った。結果としては、目標圧力に到達するまでに第１の時間が掛かった。また、本出願人は、本実施の形態に係るチャンバ１０において、チューブＴＵを設置した状態で処理室ＴＲの現在を行った。結果としては、上述した目標圧力に到達するまでに第２の時間が掛かった。当該第２の時間は、上述した第１の時間と同一の時間である。
以上のことから、本実施の形態に係るチャンバ１０においてチューブＴＵを設置しても、処理室ＴＲの気密状態を十分に維持することができることが分かった。
以上のことから、本実施の形態に係るチャンバ１０においてチューブＴＵを設置しても、処理室ＴＲの気密状態を十分に維持することができることが分かった。
【0031】
また、本実施の形態に係るチャンバ１０では、第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａの内形形状は、チューブＴＵの外形形状に倣う断面略半円弧状にそれぞれ形成されている。
このため、処理室ＴＲの減圧時において、チューブＴＵと第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａとをより良好に密着させることができる。
このため、処理室ＴＲの減圧時において、チューブＴＵと第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａとをより良好に密着させることができる。
【0032】
また、本実施の形態に係るチャンバ１０では、第２の外装１３には、ガイド用溝１５Ａを有するガイド部材１５が設けられている。
このため、チャンバ１０に対するチューブＴＵの設置及び取り外しに関する作業性を向上させることができる。
このため、チャンバ１０に対するチューブＴＵの設置及び取り外しに関する作業性を向上させることができる。
【0033】
ここで、本出願人は、特許文献１に記載のパッキンに切込みと貫通孔とを設けたチャンバにおいて、表面処理前のチューブＴＵを設置する作業に掛かる時間（以下、第３の時間と記載）、及び表面処理後のチューブＴＵを取り外す作業に掛かる時間（以下、第４の時間と記載）を計測した。結果としては、第３，第４の時間は、それぞれ２００秒であった。また、本出願人は、本実施の形態に係るチャンバ１０において、表面処理前のチューブＴＵを設置する作業に掛かる時間（以下、第５の時間と記載）、及び表面処理後のチューブＴＵを取り外す作業に掛かる時間（以下、第６の時間と記載）を計測した。結果としては、第５，第６時間は、それぞれ１５秒であった。
以上のことから、本実施の形態に係るチャンバ１０によれば、ガイド部材１５を設けたことによって、チャンバ１０に対するチューブＴＵの設置及び取り外しに関する作業性を大きく向上させることができることが分かった。
以上のことから、本実施の形態に係るチャンバ１０によれば、ガイド部材１５を設けたことによって、チャンバ１０に対するチューブＴＵの設置及び取り外しに関する作業性を大きく向上させることができることが分かった。
【0034】
なお、本出願人は、本実施の形態に係るチャンバ１０において、ガイド部材１５を取り外した状態で、表面処理前のチューブＴＵを設置する作業に掛かる時間（以下、第７の時間と記載）、及び表面処理後のチューブＴＵを取り外す作業に掛かる時間（以下、第８の時間と記載）を計測した。結果としては、第７，第８時間は、それぞれ２０秒であった。このため、ガイド部材１５を設けていない場合であっても、特許文献１に記載のパッキンと比較して、チャンバ１０に対するチューブＴＵの設置及び取り外しに関する作業性を十分に向上させることができることが分かった。
【0035】
また、本実施の形態に係るチャンバ１０では、第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａは、複数組（本実施の形態では五組）設けられている。
このため、当該複数組の第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａに対してチューブＴＵをそれぞれ設置し、複数のチューブＴＵの外面に対して表面処理を同時に施すことができる。
このため、当該複数組の第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａに対してチューブＴＵをそれぞれ設置し、複数のチューブＴＵの外面に対して表面処理を同時に施すことができる。
【0036】
（その他の実施形態）
ここまで、本発明を実施するための形態を説明してきたが、本発明は上述した実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。
上述した実施の形態では、本発明に係る表面処理として、プラズマによる表面改質を例に説明していたが、これに限らない。本発明に係る表面処理として、棒状体の外面に対して薄膜を形成するＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等を採用しても構わない。
ここまで、本発明を実施するための形態を説明してきたが、本発明は上述した実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。
上述した実施の形態では、本発明に係る表面処理として、プラズマによる表面改質を例に説明していたが、これに限らない。本発明に係る表面処理として、棒状体の外面に対して薄膜を形成するＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等を採用しても構わない。
【0037】
図５は、実施の形態の変形例１を説明する図である。
上述した実施の形態では、直線状に延在するチューブＴＵの外面における長手方向の略中央部分に対して表面処理を施していたが、これに限らない。
例えば、チューブＴＵの一端側に対してのみ表面処理を施しても構わない。この場合には、図５に示すように、チューブＴＵの他端側が処理室ＴＲ外に位置する状態で、当該処理室ＴＲ内に当該チューブＴＵの一端側を配置する。そして、チューブＴＵの他端の開口に対しては、当該チューブＴＵを通して処理室ＴＲ内外が連通することを回避するために、弾性部材ＴＵ１によって閉塞する。この際、第１，第２のパッキン１２，１４において、本発明に係る溝を設ける位置は、チューブＴＵが処理室ＴＲ内外を跨ぐ位置である。
ここで、弾性部材ＴＵ１には、チューブＴＵが挿し込まれる穴が設けられている。当該穴の形状は、奥に行くにしたがって細くなっている。これにより、種々の径のチューブＴＵに対して弾性部材ＴＵ１を共通に用いることができる。
上述した実施の形態では、直線状に延在するチューブＴＵの外面における長手方向の略中央部分に対して表面処理を施していたが、これに限らない。
例えば、チューブＴＵの一端側に対してのみ表面処理を施しても構わない。この場合には、図５に示すように、チューブＴＵの他端側が処理室ＴＲ外に位置する状態で、当該処理室ＴＲ内に当該チューブＴＵの一端側を配置する。そして、チューブＴＵの他端の開口に対しては、当該チューブＴＵを通して処理室ＴＲ内外が連通することを回避するために、弾性部材ＴＵ１によって閉塞する。この際、第１，第２のパッキン１２，１４において、本発明に係る溝を設ける位置は、チューブＴＵが処理室ＴＲ内外を跨ぐ位置である。
ここで、弾性部材ＴＵ１には、チューブＴＵが挿し込まれる穴が設けられている。当該穴の形状は、奥に行くにしたがって細くなっている。これにより、種々の径のチューブＴＵに対して弾性部材ＴＵ１を共通に用いることができる。
【0038】
図６Ａ及び図６Ｂは、実施の形態の変形例２を説明する図である。
上述した実施の形態では、図６Ａに示すように、直線状に延在するチューブＴＵの外面における長手方向の略中央部分に対して表面処理を施す。そして、当該表面処理を施した後、位置Ｐ１，Ｐ２（図６Ｂ）においてチューブＴＵを切断することによって、外面全体に対して表面処理が施されたチューブＴＵ´を生成しても構わない。
上述した実施の形態では、図６Ａに示すように、直線状に延在するチューブＴＵの外面における長手方向の略中央部分に対して表面処理を施す。そして、当該表面処理を施した後、位置Ｐ１，Ｐ２（図６Ｂ）においてチューブＴＵを切断することによって、外面全体に対して表面処理が施されたチューブＴＵ´を生成しても構わない。
【0039】
図７は、実施の形態の変形例３を説明する図である。
上述した実施の形態では、直線状に延在するチューブＴＵの外面における長手方向の略中央部分に対して表面処理を施していたが、これに限らない。
例えば、Ｌ字状に屈曲したチューブＴＵの外面における屈曲部分に対して表面処理を施しても構わない。この場合には、図７に示すように、チューブＴＵの両端が処理室ＴＲ外に位置する状態で、当該処理室ＴＲ内に当該チューブＴＵの屈曲部分を配置する。この際、第１，第２のパッキン１２，１４において、本発明に係る溝を設ける位置は、チューブＴＵが処理室ＴＲ内外を跨ぐ位置である。
上述した実施の形態では、直線状に延在するチューブＴＵの外面における長手方向の略中央部分に対して表面処理を施していたが、これに限らない。
例えば、Ｌ字状に屈曲したチューブＴＵの外面における屈曲部分に対して表面処理を施しても構わない。この場合には、図７に示すように、チューブＴＵの両端が処理室ＴＲ外に位置する状態で、当該処理室ＴＲ内に当該チューブＴＵの屈曲部分を配置する。この際、第１，第２のパッキン１２，１４において、本発明に係る溝を設ける位置は、チューブＴＵが処理室ＴＲ内外を跨ぐ位置である。
【0040】
図８は、実施の形態の変形例４を説明する図である。
上述した実施の形態では、直線状に延在するチューブＴＵの外面における長手方向の略中央部分に対して表面処理を施していたが、これに限らない。
例えば、Ｕ字状に屈曲したチューブＴＵの両端側の外面に対して表面処理を施しても構わない。この場合には、図８に示すように、チューブＴＵの屈曲部分が処理室ＴＲ外に位置する状態で、当該処理室ＴＲ内に当該チューブＴＵの両端側を配置する。この際、第１，第２のパッキン１２，１４において、本発明に係る溝を設ける位置は、チューブＴＵが処理室ＴＲ内外を跨ぐ位置である。
上述した実施の形態では、直線状に延在するチューブＴＵの外面における長手方向の略中央部分に対して表面処理を施していたが、これに限らない。
例えば、Ｕ字状に屈曲したチューブＴＵの両端側の外面に対して表面処理を施しても構わない。この場合には、図８に示すように、チューブＴＵの屈曲部分が処理室ＴＲ外に位置する状態で、当該処理室ＴＲ内に当該チューブＴＵの両端側を配置する。この際、第１，第２のパッキン１２，１４において、本発明に係る溝を設ける位置は、チューブＴＵが処理室ＴＲ内外を跨ぐ位置である。
【0041】
なお、表面処理を施す対象となるチューブＴＵの形状としては、上述した変形例３，４に示したＬ字状、Ｕ字状に限らず、その他の形状を採用しても構わない。また、チューブＴＵの断面形状についても、断面円形状、断面楕円形状に限らず、その他の形状を採用しても構わない。
さらに、表面処理を施す対象としては、棒状体であれば、チューブＴＵに限らず、その他の部材を採用しても構わない。
さらに、表面処理を施す対象としては、棒状体であれば、チューブＴＵに限らず、その他の部材を採用しても構わない。
【0042】
図９は、実施の形態の変形例５を説明する図である。具体的に、図９は、図３に対応した断面図である。
上述した実施の形態では、第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａは、誘電体ＤＩの表面から、設置されるチューブＴＵまでの距離が同一となる状態で設けられていたが、これに限らない。
例えば、五組の第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａの少なくとも１つの溝が他の溝に対して、誘電体ＤＩの表面から、設置されるチューブＴＵまでの距離が異なる状態で設けられていても構わない。具体的に、図９に示す本変形例５では、第１，第２のパッキン側合わせ面１２１，１４１は、第１の外装１１に近接する側の面１２１１，１４１１と、第１の外装１１から離間する側の面１２１２，１４１２とを有する段付き状にそれぞれ形成されている。そして、五組の第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａのうち三組の第１，第２の溝１２Ａ１，１４Ａ１は、面１２１１，１４１１にそれぞれ設けられている。一方、残りの二組の第１，第２の溝１２Ａ２，１４Ａ２は、面１２１２，１４１２に設けられている。これによって、第１，第２の溝１２Ａ１，１４Ａ１に設置されるチューブＴＵは、第１，第２の溝１２Ａ２，１４Ａ２に設置されるチューブＴＵよりも誘電体ＤＩの表面に近接した位置に配置される。
上述した実施の形態では、第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａは、誘電体ＤＩの表面から、設置されるチューブＴＵまでの距離が同一となる状態で設けられていたが、これに限らない。
例えば、五組の第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａの少なくとも１つの溝が他の溝に対して、誘電体ＤＩの表面から、設置されるチューブＴＵまでの距離が異なる状態で設けられていても構わない。具体的に、図９に示す本変形例５では、第１，第２のパッキン側合わせ面１２１，１４１は、第１の外装１１に近接する側の面１２１１，１４１１と、第１の外装１１から離間する側の面１２１２，１４１２とを有する段付き状にそれぞれ形成されている。そして、五組の第１，第２の溝１２Ａ，１４Ａのうち三組の第１，第２の溝１２Ａ１，１４Ａ１は、面１２１１，１４１１にそれぞれ設けられている。一方、残りの二組の第１，第２の溝１２Ａ２，１４Ａ２は、面１２１２，１４１２に設けられている。これによって、第１，第２の溝１２Ａ１，１４Ａ１に設置されるチューブＴＵは、第１，第２の溝１２Ａ２，１４Ａ２に設置されるチューブＴＵよりも誘電体ＤＩの表面に近接した位置に配置される。
【0043】
以上説明した本変形例５によれば、上述した実施の形態と同様の効果の他、以下の効果を奏する。
複数のチューブＴＵにおいて、誘電体ＤＩの表面から、当該チューブＴＵの設置位置までの距離が異なる場合には、外面に施されるプラズマによる表面改質の程度が異なるものとなる。
本変形例５では、複数のチューブＴＵにおいて、誘電体ＤＩの表面から、当該チューブＴＵの設置位置までの距離が異なる。このため、プラズマによる表面改質の程度が異なる複数のチューブＴＵを生成したい場合に、本変形例５に係るチャンバ１０によれば、当該複数のチューブＴＵを同時に一括して生成することができる。
複数のチューブＴＵにおいて、誘電体ＤＩの表面から、当該チューブＴＵの設置位置までの距離が異なる場合には、外面に施されるプラズマによる表面改質の程度が異なるものとなる。
本変形例５では、複数のチューブＴＵにおいて、誘電体ＤＩの表面から、当該チューブＴＵの設置位置までの距離が異なる。このため、プラズマによる表面改質の程度が異なる複数のチューブＴＵを生成したい場合に、本変形例５に係るチャンバ１０によれば、当該複数のチューブＴＵを同時に一括して生成することができる。
【0044】
図１０は、実施の形態の変形例６を説明する図である。具体的に、図１０は、図３に対応した断面図である。
上述した実施の形態において、第１の外装１１の代わりに図１０に示した本変形例６に係る第１の外装１１Ａを採用しても構わない。
第１の外装１１Ａは、図１０に示すように、第１の外装本体１１２と、第３のパッキン１１３と、第４のパッキン１１４と、補助外装１１５とを備える。
第１の外装本体１１２は、気密に構成されたステンレス鋼等の金属材料からなる有底四角筒形状を有する。この第１の外装本体１１２には、具体的な図示は省略したが、導波路２２の一部が設けられているとともに、底部分に誘電体ＤＩが設けられている。そして、第１の外装本体１１２は、－Ｚ軸側（下方側）に開口した姿勢で補助外装１１５に対して組み合わされる。ここで、第１の外装本体１１２において、補助外装１１５と組み合わされる面１１２１（以下、第１の外装本体側合わせ面１１２１と記載）は、平坦面である。
上述した実施の形態において、第１の外装１１の代わりに図１０に示した本変形例６に係る第１の外装１１Ａを採用しても構わない。
第１の外装１１Ａは、図１０に示すように、第１の外装本体１１２と、第３のパッキン１１３と、第４のパッキン１１４と、補助外装１１５とを備える。
第１の外装本体１１２は、気密に構成されたステンレス鋼等の金属材料からなる有底四角筒形状を有する。この第１の外装本体１１２には、具体的な図示は省略したが、導波路２２の一部が設けられているとともに、底部分に誘電体ＤＩが設けられている。そして、第１の外装本体１１２は、－Ｚ軸側（下方側）に開口した姿勢で補助外装１１５に対して組み合わされる。ここで、第１の外装本体１１２において、補助外装１１５と組み合わされる面１１２１（以下、第１の外装本体側合わせ面１１２１と記載）は、平坦面である。
【0045】
第３のパッキン１１３は、第１，第２のパッキン１２，１４と同様に弾性部材により形成された矩形の環形状を有し、第１の外装本体側合わせ面１１２１上に設けられている。ここで、第３のパッキン１１３は、第１の外装本体側合わせ面１１２１上に接着されていてもよく、あるいは、接着されておらず、取り外し可能に設けられていても構わない。この第３のパッキン１１３を構成する材料としては、第１，第２のパッキン１２，１４を構成する材料と同様に、シリコーンゴム、ニトリルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、アクリルゴム、イソプレンゴム、スチレンゴム、クロロプレンゴム、ブタジエンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、天然ゴム、及び合成天然ゴム等を例示することができる。
【0046】
補助外装１１５は、気密に構成されたステンレス鋼等の金属材料からなる四角筒形状を有する。ここで、補助外装１１５において、第１の外装本体１１２と組み合わされる面１１５１（以下、補助外装側第１合わせ面１１５１と記載）と、当該補助外装側第１合わせ面１１５１と表裏をなす面１１５２（以下、補助外装側第２合わせ面１１５２と記載）とは、平坦面である。そして、第１のパッキン１２は、補助外装側第２合わせ面１１５２上に設けられている。ここで、第１のパッキン１２は、補助外装側第２合わせ面１１５２上に接着されてもよく、あるいは、接着されておらず、取り外し可能に設けられていても構わない。
【0047】
第４のパッキン１１４は、第１～第３のパッキン１２，１４，１１３と同様に弾性部材により形成された矩形の環形状を有し、補助外装側第１合わせ面１１５１上に設けられている。ここで、第４のパッキン１１４は、補助外装側第１合わせ面１１５１上に接着されていてもよく、あるいは、接着されておらず、取り外し可能に設けられていても構わない。そして、第４のパッキン１１４は、第１の外装本体１１２及び補助外装１１５が組み合わされた状態で、第３のパッキン１１３に対して密着し、当該第３のパッキン１１３とともに当該第１の外装本体１１２及び当該補助外装１１５間を気密に封止する。この第４のパッキン１１４を構成する材料としては、第１～第３のパッキン１２，１４，１１３を構成する材料と同様に、シリコーンゴム、ニトリルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、アクリルゴム、イソプレンゴム、スチレンゴム、クロロプレンゴム、ブタジエンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、天然ゴム、及び合成天然ゴム等を例示することができる。なお、第１～第４のパッキン１２，１４，１１３，１１４を構成する材料としては、同一の材料であってもよいし、異なる材料であっても構わない。
【0048】
本変形例６では、第４のパッキン１１４において、第１の外装本体１１２及び補助外装１１５が組み合わされた状態で、第３のパッキン１１３に対して密着する面１１４１（以下、第４のパッキン側合わせ面１１４１と記載）は、同一平面（ＸＹ平面）上に位置する。そして、第４のパッキン側合わせ面１１４１において、Ｙ軸に沿って互いに対向する各辺縁には、当該Ｙ軸に沿ってそれぞれ延在し、チューブＴＵの外形形状にそれぞれ倣う断面略半円弧状の一組の第４の溝１１４Ａが形成されている。本変形例６では、第４の溝１１４Ａは、五組設けられ、Ｘ軸に沿って並列している。
【0049】
また、本変形例６では、第３のパッキン１１３において、第１の外装本体１１２及び補助外装１１５が組み合わされた状態で、第４のパッキン側合わせ面１１４１に対して密着する面１１３１（以下、第３のパッキン側合わせ面１１３１と記載）は、当該第４のパッキン側合わせ面１１４１と同様に、同一平面（ＸＹ平面）上に位置する。そして、第３のパッキン側合わせ面１１３１において、五組の第４の溝１１４Ａにそれぞれ対向する位置には、当該第４の溝１１４Ａと同様にチューブＴＵの外形形状にそれぞれ倣う断面略半円弧状の第３の溝１１３Ａが形成されている。
【0050】
以上のように、本変形例６に係るチャンバ１０では、第１，第２の外装１１Ａ，１３を組み合わせることによって、第１，第２のパッキン１２，１４の間と第３，第４のパッキン１１３，１１４の間とに計１０本のチューブＴＵを設置可能とする。すなわち、本変形例６に係るチャンバ１０では、１０本のチューブＴＵの外面に対して同時に表面処理を施すことが可能な構造となっている。
【0051】
なお、上述した変形例６では、第１の外装１１Ａとして、第１の外装本体１１２と補助外装１１５との２つの外装が組み合わされる構成としていたが、これに限らず、３つ以上の外装が組み合わされる構成としても構わない。また、第２の外装１３についても、複数の外装が組み合わされる構成としても構わない。
【符号の説明】
【0052】
１ 表面処理装置
１０ チャンバ
１１，１１Ａ 第１の外装
１２ 第１のパッキン
１２Ａ，１２Ａ１，１２Ａ２ 第１の溝
１３ 第２の外装
１４ 第２のパッキン
１４Ａ，１４Ａ１，１４Ａ２ 第２の溝
１５ ガイド部材
１５Ａ ガイド用溝
２０ マイクロ波供給部
２１ マイクロ波源
２２ 導波路
３０ ガス供給部
４０ 排気部
１１１ 第１の外装側合わせ面
１１２ 第１の外装本体
１１３ 第３のパッキン
１１３Ａ 第３の溝
１１４ 第４のパッキン
１１４Ａ 第４の溝
１１５ 補助外装
１２１ 第１のパッキン側合わせ面
１３１ 第２の外装側合わせ面
１４１ 第２のパッキン側合わせ面
１１２１ 第１の外装本体側合わせ面
１１３１ 第３のパッキン側合わせ面
１１４１ 第４のパッキン側合わせ面
１１５１ 補助外装側第１合わせ面
１１５２ 補助外装側第２合わせ面
１２１１，１２１２，１４１１，１４１２ 面
ＤＩ 誘電体
Ｏ１ ガス供給口
Ｏ２ 排気口
Ｐ１，Ｐ２ 位置
ＴＲ 処理室
ＴＵ，ＴＵ´ チューブ
ＴＵ１ 弾性部材
１０ チャンバ
１１，１１Ａ 第１の外装
１２ 第１のパッキン
１２Ａ，１２Ａ１，１２Ａ２ 第１の溝
１３ 第２の外装
１４ 第２のパッキン
１４Ａ，１４Ａ１，１４Ａ２ 第２の溝
１５ ガイド部材
１５Ａ ガイド用溝
２０ マイクロ波供給部
２１ マイクロ波源
２２ 導波路
３０ ガス供給部
４０ 排気部
１１１ 第１の外装側合わせ面
１１２ 第１の外装本体
１１３ 第３のパッキン
１１３Ａ 第３の溝
１１４ 第４のパッキン
１１４Ａ 第４の溝
１１５ 補助外装
１２１ 第１のパッキン側合わせ面
１３１ 第２の外装側合わせ面
１４１ 第２のパッキン側合わせ面
１１２１ 第１の外装本体側合わせ面
１１３１ 第３のパッキン側合わせ面
１１４１ 第４のパッキン側合わせ面
１１５１ 補助外装側第１合わせ面
１１５２ 補助外装側第２合わせ面
１２１１，１２１２，１４１１，１４１２ 面
ＤＩ 誘電体
Ｏ１ ガス供給口
Ｏ２ 排気口
Ｐ１，Ｐ２ 位置
ＴＲ 処理室
ＴＵ，ＴＵ´ チューブ
ＴＵ１ 弾性部材
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】